JP4129597B2 - 円筒状基材の乾燥方法 - Google Patents
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Description
(1)塗布膜を外周面に塗布された円筒状基材を外周にリング状の周方向均一吸引部材を同心に設け筒状部材の挿入開口部より挿入し、前記円筒状基材の挿入時に前記円筒状基材面と同心の前記筒状部材の内面との隙間部を吸引して気流をおこし、塗布膜の乾燥を促進させる円筒状基材の乾燥方法において、
前記塗布膜の膜厚は、乾燥膜厚が0.5μm以下となるような膜厚であり、
前記筒状部材の全長をL0、前記筒状部材の円筒状基材の挿入開口部より前記吸引部材までの距離をL1としたとき、
0.6<L1/L0<0.9
なる条件を満足することを特徴とする円筒状基材の乾燥方法。
実験の条件は以下の通りである。
a)筒状部材9B、10Bの長さは共に400mm、外径は80mm
b)円筒状基材の移動スピードは20mm/S
c)コータ、乾燥装置間の距離:200mm
d)測定箇所:筒状部材の端部にて測定
e)塗布液 :下記に示すUCL−1塗布液組成物
f)乾燥膜厚:0.1μm
UCL−1塗布液組成物
共重合ナイロン樹脂(CM−8000 東レ社製)
メタノール/n−ブタノール=10/1(Vol比)
これ等の実験は図9、図10、図11、図12に示す装置で行った。その結果を表1に示す。
(実施例2)
下記に示すCGL−1塗布液組成物を用いた以外、(実施例1)と同様にし、乾燥膜厚0.2μmになるように塗布した。
CGL−1塗布液組成物
Y型チタニルフタロシアニン(CGM−1)
シリコーン樹脂(KR−5240 信越化学社製)
t−酢酸ブチル
上記塗布液組成物(固形分については固形分重量比CGM−1:KR−5240=2:1に固定)をサンドミルを用いて17時間分散したもの。CGM−1の化学式を化1に示す。
11 塗布液
12A 塗布液流出口
13A 塗布液分配用スリット
14A 塗布液分配室
12B 吸引チャンバー
13B バッファー空間
14B 空気流
15B 吸引ノズル
16B 吸引スリット
18B 吸引スリット部材(吸引部材)
2,2A 塗布膜
20 位置決め装置(位置決め手段)
21A 外筒部材
22A 内筒部材(フッ素樹脂)
23A 給気口
25A 吐出口
26A 排気口
28A テーパー面
30,32 塗布ヘッド(コータ,塗布手段)
4 ホッパー面
4b,42b 環状端部
6a,6b,6c 塗布液供給口
7 塗布液分配室
8 塗布液分配スリット
9 出口開口部
9B,10B 筒状部材
150 乾燥装置
GP 隙間
G 隙間
Claims (1)
- 塗布膜を外周面に塗布された円筒状基材を外周にリング状の周方向均一吸引部材を同心に設け筒状部材の挿入開口部より挿入し、前記円筒状基材の挿入時に前記円筒状基材面と同心の前記筒状部材の内面との隙間部を吸引して気流をおこし、塗布膜の乾燥を促進させる円筒状基材の乾燥方法において、
前記塗布膜の膜厚は、乾燥膜厚が0.5μm以下となるような膜厚であり、
前記筒状部材の全長をL0、前記筒状部材の円筒状基材の挿入開口部より前記吸引部材までの距離をL1としたとき、
0.6<L1/L0<0.9
なる条件を満足することを特徴とする円筒状基材の乾燥方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005227778A JP4129597B2 (ja) | 2005-08-05 | 2005-08-05 | 円筒状基材の乾燥方法 |
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US9516989B2 (en) | 2010-12-14 | 2016-12-13 | Whirlpool Corporation | Dishwasher system with a reuse tank |
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- 2005-08-05 JP JP2005227778A patent/JP4129597B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9516989B2 (en) | 2010-12-14 | 2016-12-13 | Whirlpool Corporation | Dishwasher system with a reuse tank |
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JP2005331987A (ja) | 2005-12-02 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110530 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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