JP4120255B2 - 工具の成膜方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ドリルやエンドミル等の工具に各種被膜を物理蒸着法によって成膜するための工具の成膜方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種の工具においては、特にその切刃が形成される工具本体の先端部の表面に、Ti系コーティング被膜等の硬質被膜をイオンプレーティング等の物理的蒸着法によって成膜して、耐摩耗性等を向上させることにより工具寿命の延長を図ることが行われている。そして、このような硬質被膜の成膜は、複数の工具を成膜治具の保持部に保持して成膜装置のチャンバーに収容し、この成膜治具をその治具中心線回りに回転させながら、またこれと合わせて成膜治具自体も回転可能な治具テーブルに載置してそのテーブル中心線回りに回転させたりしながら、チャンバー内の蒸着源によって保持部から露出した工具先端部の表面に被膜を成膜してゆくといったバッチ式の作業によって行われる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、このようにして工具表面に被膜を成膜するに際して、工具外径の異なる複数種の工具をまとめて成膜装置のチャンバーに収容して被膜を成膜しようとすると、蒸着条件が同じであるにも関わらず、各工具の工具外径の違いから成膜された被膜の膜厚が工具の種類ごとに異なるものとなってしまうという問題が生じる。このため、このように異なる工具外径の複数の工具に等しい膜厚の被膜を成膜する場合には、その工具外径ごとに別々のバッチで成膜作業を行わなければならず、作業効率の著しい劣化を招く結果となる。
【0004】
本発明は、このような背景の下になされたもので、このように工具に成膜作業を行うに際して、工具外径の異なる複数種の工具に対し同一のバッチで等しい膜厚の被膜を成膜することが可能な工具の成膜方法を提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
ここで、本発明の発明者らは、このような課題を解決するために種々の実験を試みた結果、同一バッチで成膜される被膜の膜厚は、工具外径の相違に関わらず、工具が保持される成膜治具における隣接する保持部同士の間隔と工具外径との比に応じて一定となるとの知見を得るに至った。これは、成膜時にチャンバー内には蒸着源から発せられた被膜を生成する粒子が略均一な濃度で分散させられているため、保持部同士の間隔すなわち工具の周囲の空間を工具外径の大きさに合わせて確保すれば、この空間の大きさに応じて分散する粒子によって、個々の工具外径自体には関わらずに等しい膜厚の被膜が工具表面に成膜されることによるものであると考えられる。
【0006】
そこで、このような知見に基づき、上記目的を達成するために、本発明の成膜方法は、例えば上述のような成膜装置を用いるなどして、工具外径の異なる複数種の工具を種類ごとに複数種の成膜治具にそれぞれ複数ずつ、該成膜治具の治具中心線を中心とした円周上に等間隔に設けられた保持部に保持し、これらの成膜治具をチャンバー内に収容して上記治具中心線回りに回転させつつ物理蒸着法により上記工具の表面に被膜を生成する工具の成膜方法であって、上記複数種の成膜治具のうち少なくとも2種の成膜治具同士の間では、それぞれの成膜治具において周方向に隣接する上記保持部の中心線同士の間隔Lとこの保持部に保持される工具の上記工具外径Dとの比L/Dの差を0.43以内とすることを特徴とする。
【0007】
すなわち、これら2種の成膜治具同士の間で、上記比L/Dの差が0.43を上回るほど大きくなると、各成膜治具に保持された複数種の工具の間での被膜の膜厚が著しく異なる結果となる。また、成膜治具をその治具中心線回りに回転させるのは、個々の工具においてより均一な膜厚の被膜を形成するためであり、さらに被膜の膜厚の均一化を図るには、チャンバー内において上記成膜治具を、テーブル中心線回りに回転可能とされた治具テーブルの該テーブル中心線を中心とした円周上に上記治具中心線を位置させて配設し、成膜治具がテーブル中心線回りに回転しつつ自身も治具中心線に回転しながら成膜が施されるのが望ましい。
【0008】
ところで、このような成膜方法によれば、上述のように比L/Dの差を0.43以下とした少なくとも2種の成膜治具の間で、これらの成膜治具に保持された少なくとも2種の工具の表面に等しい膜厚の被膜を成膜することができるが、工具外径の異なる少なくとも3種の工具を種類ごとに少なくとも3種の上記成膜治具にそれぞれ複数ずつ保持し、このうち少なくとも2種よりなる一部の成膜治具同士の間では上記比L/Dの差を0.43以内とする一方、残りの一部の成膜治具における上記比L/Dを、上記一部の成膜治具同士の上記比L/Dの差が0.43以内となる範囲と異なる大きさとすることにより、この残りの一部の成膜治具に保持された工具には、同一のバッチで上記一部の成膜治具の工具とは異なる膜厚の被膜を成膜することができ、膜厚に応じて異なるバッチで作業を行ったりする必要がなくなってより効率的である。そして、この場合にはさらに、上記残りの一部の成膜治具をさらに少なくとも2種の成膜治具より構成し、これらの残りの一部の成膜治具同士の間で上記比L/Dの差を0.43以内となるようにすれば、工具外径の異なる複数種ずつの少なくとも2群以上の工具の間で、それぞれの群ごとに異なり、しかしながら同一群内では互いに等しい膜厚の被膜を、同一バッチで成膜することが可能となる。
【0009】
【発明の実施の形態】
図1ないし図3は、本発明の成膜方法の一実施形態に係わる成膜装置を示すものである。このうち図1において符号1で示すのは、当該成膜装置のチャンバーであり、このチャンバー1内には、その中央に垂直なテーブル中心軸O回りに回転可能とされた大径の円板状のテーブル2が配設されるとともに、このテーブル2を挟んだチャンバー1の両内壁部には、該チャンバー1内に収容された工具Tに物理的蒸着法によって被膜を成膜する蒸着源3,3が設けられている。そして、テーブル2の上記テーブル中心線Oを中心とした円の円周上には、図3に示すような成膜治具4が周方向に等間隔に複数箇所(本実施形態では6カ所)に配設されていて、テーブル2の回転に伴い図1に示すようにテーブル中心線O回りに一定の方向に一定の速度で周回可能とされている。
【0010】
ここで、本実施形態において被膜が成膜される工具Tは、ドリルやエンドミル、あるいはリーマなど、円柱状の工具本体を有してその先端部に切刃が形成されるとともに、基端部が当該工具Tを工作機械の主軸に取り付けるためのシャンク部とされたものであり、この切刃の外径が当該工具Tの工具外径Dとされる。なお、上記シャンク部の外径はこの工具外径Dと異なる大きさであっても構わない。そして、これに合わせて本実施形態における成膜治具4は、図3に示すように円板状の治具本体5の上面に、工具T基端側の上記シャンク部が嵌挿可能な円筒状の保持部(パイプ)6が複数(図3においては9つ)、該治具本体5がなす円板の中心線すなわち治具中心線Cを中心とした円周上に等間隔に、かつその中心線を上記治具中心線Cと平行にして上向きに形成されたものであり、周方向に隣接する保持部6,6同士の上記中心線間の間隔が、各成膜治具4における保持部6…の間隔Lとされる。
【0011】
さらに、上記成膜装置では、このような成膜治具4が、テーブル2の上記複数箇所に複数ずつ(2つずつ)、図2に示すように上記治具中心線Cに沿って延びる支柱7に支持されて配設されている。従って、この成膜装置では合計12の成膜治具4…がチャンバー1内に収容可能とされる。ここで、上段の成膜治具4の治具本体5の下面と下段の成膜治具4に保持された工具Tの先端との間には適当な間隔があけられており、また最上段の成膜治具4の上には治具本体5と同径の天板8が、やはりこの最上段の成膜治具4に保持された工具Tの先端との間に適当な間隔をあけて配設されている。さらにまた、こうして支柱7に支持された複数段の成膜治具4…は、テーブル2の上記複数箇所においてそれぞれその治具中心線C回りにやはり一定の方向に一定の速度で回転可能とされており、従ってこれらの成膜治具4…は、図1に示すように自身がこの治具中心線C回りに自転しながら上記テーブル中心線Oの回りを公転させられつつ、上記保持部6から露出した工具Tの先端部の表面に蒸着源3,3によって被膜が成膜されることとなる。
【0012】
そして、本実施形態では、これらの成膜治具4…のうち少なくとも2つの成膜治具4…においては、その保持部6…に保持される工具Tが工具外径Dの異なるものとされ、かつその保持部6…の上記間隔Lも異なる大きさとされており、しかしながらこれらの成膜治具4…における上記間隔Lと工具外径Dとの比L/Dの値aは0.43以内の範囲とされている。また、特に本実施形態では、上記少なくとも2つの一部の成膜治具4…同士でこの比L/Dの値aの差が0.43以内とされる一方、他の一部の成膜治具4では、上記一部の成膜治具4…の比L/Dの値aとの差が0.43よりも大きくされている。しかも、これに加えて本実施形態ではさらに、この他の一部の成膜治具4も少なくとも2つの成膜治具4…によって構成されていて、これら他の一部の成膜治具4…の間でもその比L/Dの値aの差は0.43以内とされている。
【0013】
次に、このような成膜装置を用いた本発明の成膜方法の一実施形態について、より具体的に説明する。本実施形態では、工具Tは超硬合金等の硬質材料によって形成されたドリルであり、また上記合計12の成膜治具4…として、まず次表1、2に示すように保持部(パイプ)6に保持される工具Tの工具外径Dや保持部6…の間隔(パイプ間距離)Lが互いに異なる12種の成膜治具4…を備えた。このうち表1に示す6種の成膜治具4A〜4Fは、上記一部の成膜治具4…とされるものであって、これら一部の成膜治具4A〜4Fにおける上記間隔Lと工具外径Dとの比L/Dの値aは約2.0〜2.3とされ、その差が0.43の範囲内とされている。一方、表2に示すやはり6種の成膜治具4G〜4Lは上記他の一部の成膜治具4…とされるものであり、その上記比L/Dの値aは約3.2〜3.7とされ、上記一部の成膜治具4A〜4Fとは異なる範囲で、やはりその差が0.43以内とされている。なお、これら表1、2においてパイプ外径は保持部6がなす円筒の外径、パイプ取付位置径Rは、治具本体5の上面において保持部6…がなす円筒の上記中心線が配置される治具中心線Cを中心とした上記円の直径(図3参照)、パイプ本数は各成膜治具4…に設けられる保持部6の数である。また、このときの各成膜治具4…の治具本体5の外径および上記天板8の外径は、いずれも110mmであった。
【0014】
【表1】
【0015】
【表2】
【0016】
そして、これら12種の成膜治具4A〜4Lのすべての保持部6…にそれぞれの工具外径Dの上記工具Tを保持してチャンバー1内に収容し、同一バッチにおいて物理的蒸着法によって被膜の成膜を行った後、各工具Tをその先端から2mmの位置で切断し、工具T表面部分の断面をSEMによって観察して、上記被膜の膜厚を測定した。この膜厚の測定結果の平均値を各成膜治具4ごとに上記表1、2に合わせて示すとともに、工具外径D(ドリル外径)と膜厚との関係をa値ごとに図4に示す。なお、このときの蒸着条件は、アークイオンプレーティング法で(Al0.5Ti0.5)N被膜を成膜し、成膜時間は100分であった。また、テーブル2の各箇所において2段に重ねられた成膜治具4,4間では、上段の成膜治具4の治具本体5の下面と下段の成膜治具4に保持された工具Tの先端との間隔と、上記天板8の下面と上段の成膜治具4に保持された工具Tの先端との間隔とは、ともに等しく40mmとされた。
【0017】
また、本実施形態では、上記と同様の成膜装置において、保持される工具T(ドリル)の工具外径(ドリル外径)Dと保持部(パイプ)6…の間隔Lとが異なり、しかしながら上記比L/Dの値aが約4.8〜5.3で差が0.43以内とされた次表3に示す5種の成膜治具4M〜4Qを用意し、これらをチャンバー1内に収容して上記表1、2と同じ蒸着条件で物理的蒸着法により工具Tの先端部表面に被膜を形成した。従って、この表3の複数種の成膜治具4M〜4Qは、表1、2に示したそれぞれ複数種の成膜治具4A〜4F,4G〜4Lを上記一部の成膜治具としたときに上記他の一部の成膜治具となる。このときの膜厚の平均値を各成膜治具4ごとに表3に示し、また工具外径(ドリル外径)Dと膜厚との関係をa値ごとに上記図4に、表1、2の結果と合わせてそれぞれ示す。なお、このときの各成膜治具4…の治具本体5の外径および天板8の外径、あるいは上段の成膜治具4の治具本体5の下面と下段の成膜治具4に保持された工具Tの先端との間隔と、上記天板8の下面と上段の成膜治具4に保持された工具Tの先端との間隔も、表1、2に示したものと同じである。
【0018】
【表3】
【0019】
しかして、これら表1〜3および図4の結果より、まず保持部6…の間隔Lと工具外径Dとの比L/D=aの値の差が0.43以内にある成膜治具4A〜4F,4G〜4L,4M〜4Qの各群のなかでは、工具外径(ドリル外径)Dに関わらず0.2μm程度の誤差の範囲で略等しい膜厚が得られていることが分かる。しかも、表1の上記一部の成膜治具4A〜4Fと表2の他の一部の成膜治具4G〜4Lでは、同一バッチで同じ蒸着条件で蒸着を行ったにも関わらず、各々略等しく、しかしながら互いには異なる膜厚の被膜が成膜されている。これは、異なるバッチではあるものの同一の蒸着条件で蒸着を行った、表1、2の成膜治具4A〜4F、4G〜4Lに対して他の一部の成膜治具となる表3の成膜治具4M〜4Qでも同様である。従って、このような構成の成膜方法においては、工具外径Dの異なる複数種の工具Tを同一のバッチで処理しても、上記比L/Dを調整することによって互いに等しい膜厚の被膜を確実に成膜することができ、しかもこの比L/Dの差を大きくすればやはり同一バッチで異なる膜厚の被膜も形成することができ、さらにはこれら比L/Dが大きく異なるもの同士でその差を各々0.43以内とすることにより、それぞれ複数種ずつの工具Tに互いに異なり、しかしそれぞれでは略等しい膜厚の被膜を形成することができる。これは、蒸着条件が同じなら異なるバッチであっても同様である。このため、多種多数の工具Tに対してそれぞれに応じた膜厚の被膜を同時に成膜することが可能となるので、上記構成の成膜方法によれば、きわめて効率的な成膜作業を図ることが可能となる。
【0020】
また、上記実施形態では、各成膜治具4…がチャンバー1内に設けられたテーブル2に配設されて、自身も治具中心線C回りに回転するとともにこのテーブル2のテーブル中心線O回りにも回転可能とされており、従って上述のように多種多数の工具Tがチャンバー1内に収容されるときでも、個々の工具Tの表面に成膜される被膜の膜厚を均一にすることができ、より確実に当該工具Tに高い耐摩耗性を与えて工具寿命の延長を図ったりすることができる。加えて、本実施形態の成膜治具4では、工具Tが略円柱状の工具本体を有してその先端部に切刃が形成されたドリルであるのに対し、保持部6がこの工具本体の基端部が嵌挿可能な円筒状のものとされており、すなわち硬質被膜等を成膜する必要のないシャンク部には円筒状の保持部6によって成膜を防ぎつつ、当該工具本体を確実に保持して安定した成膜を行うことができるという利点も得られる。
【0021】
なお、本実施形態では、工具Tとしてこのようにドリルの先端部表面に被膜を成膜する場合について説明したが、これ以外の例えばエンドミルやリーマなどといった円柱状の工具Tの成膜に本発明を適用することも勿論可能であり、また保持部の形状を変えるなどすれば、これら以外の工具Tの成膜にも適用可能である。さらに、本実施形態ではこの工具Tの表面にTi系被膜を成膜しているが、このような硬質被膜を成膜することによって工具Tに耐摩耗性を付与する場合以外にも、他の種の機能的被膜を物理的蒸着法により成膜する場合にも適用可能である。
【0022】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の工具の成膜方法によれば、異なる工具外径を有する複数種の工具に同一バッチで成膜を行う場合でも、これらの工具間で等しい膜厚の被膜を成膜することができ、これにより多種多数の工具を1つの成膜装置で1度に成膜処理することが可能となって、成膜作業の著しい効率化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の成膜方法の一実施形態に係わる成膜装置を示す平面図である。
【図2】 図1に示す成膜装置においてテーブル2に配設される複数段の成膜治具4…の(イ)側面図、(ロ)工具Tを保持した成膜治具4の平面図である。
【図3】 図1に示す成膜装置に用いられる成膜治具4の(イ)側面図、(ロ)平面図である。
【図4】 本発明の成膜方法の実施形態による工具外径(ドリル外径)Dと膜厚との関係を示す図である。
【符号の説明】
1 チャンバー
2 テーブル
3 蒸着源
4 成膜治具
5 治具本体
6 保持部
7 支柱
8 天板
C 治具中心線
O テーブル中心線
T 工具
D 工具外径
L 保持部6の間隔
Claims (4)
- 工具外径の異なる複数種の工具を種類ごとに複数種の成膜治具にそれぞれ複数ずつ、該成膜治具の治具中心線を中心とした円周上に等間隔に設けられた保持部に保持し、これらの成膜治具をチャンバー内に収容して上記治具中心線回りに回転させつつ物理蒸着法により上記工具の表面に被膜を生成する工具の成膜方法であって、上記複数種の成膜治具のうち少なくとも2種の成膜治具同士の間では、それぞれの成膜治具において周方向に隣接する上記保持部の中心線同士の間隔Lとこの保持部に保持される工具の上記工具外径Dとの比L/Dの差を0.43以内とすることを特徴とする工具の成膜方法。
- 工具外径の異なる少なくとも3種の工具を種類ごとに少なくとも3種の上記成膜治具にそれぞれ複数ずつ保持し、このうち少なくとも2種よりなる一部の成膜治具同士の間では上記比L/Dの差を0.43以内とする一方、他の一部の成膜治具における上記比L/Dを、上記一部の成膜治具同士の上記比L/Dの差が0.43以内となる範囲と異なる大きさとすることを特徴とする請求項1に記載の工具の成膜方法。
- 上記他の一部の成膜治具をさらに少なくとも2種の成膜治具により構成し、これらの他の一部の成膜治具同士の間でも上記比L/Dの差を0.43以内とすることを特徴とする請求項2に記載の工具の成膜方法。
- 上記チャンバー内において上記成膜治具を、テーブル中心線回りに回転可能とされた治具テーブルの該テーブル中心線を中心とした円周上に上記治具中心線を位置させて配設することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の工具の成膜方法。
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