JP4117793B2 - ペースト塗布装置 - Google Patents
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- 基板にペーストを予め設定されたパターンで塗布するペースト塗布装置であって、
前記基板を載置する保持面を有するステージと、
このステージの上方で前記保持面に沿う方向に延設された梁状部材と、
この梁状部材と前記ステージとを前記保持面に沿う方向であって前記梁状部材の延設方向とは直交する方向に相対的に移動させる移動装置と、
前記梁状部材に、前記梁状部材の延設方向に沿って設けられたガイド部材と、
このガイド部材に案内されて移動可能な塗布ヘッドとを備え、
前記ガイド部材は、上下方向に離間して平行に複数配置されてなり、
前記複数のガイド部材の下側に、前記ガイド部材個々に沿ってそれぞれ設けられ前記ガイド部材から発生した塵を吸引する複数の吸引部を具備する
ことを特徴とするペースト塗布装置。 - 前記吸引部は、前記梁状部材に形成された吸引孔であることを特徴とする請求項1記載のペースト塗布装置。
- 前記塗布ヘッドは、複数備えられてなり、
前記複数の塗布ヘッドは、それぞれが前記複数のガイド部材個々に摺動自在に設けられた可動台を備え、
前記各可動台は、一つの塗布ヘッドについて見たときには千鳥状の配置で、かつ隣り合う塗布ヘッドについて見たときには前記塗布ヘッドの移動方向において同一方向に突出するように配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載のペースト塗布装置。 - 前記塗布ヘッドは、複数備えられてなり、
前記複数の塗布ヘッドをそれぞれ移動させるリニアモータを備え、
前記リニアモータは、前記複数のガイド部材に対して平行に設けられた複数の固定子と、前記塗布ヘッドの移動方向において塗布ヘッドよりも長大に形成されるとともに、隣り合う塗布ヘッドについて見たときには異なる固定子に対向するように前記各塗布ヘッドに固定された可動子とを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のペースト塗布装置。
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