JP4113361B2 - 複層半導体ナノ粒子の製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 118
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 title claims description 117
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 20
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 31
- RMZAYIKUYWXQPB-UHFFFAOYSA-N trioctylphosphane Chemical group CCCCCCCCP(CCCCCCCC)CCCCCCCC RMZAYIKUYWXQPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- ZMBHCYHQLYEYDV-UHFFFAOYSA-N trioctylphosphine oxide Chemical compound CCCCCCCCP(=O)(CCCCCCCC)CCCCCCCC ZMBHCYHQLYEYDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 claims description 19
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 13
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 11
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 claims description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 9
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 8
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims description 7
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 7
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 6
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- -1 thiol compound Chemical class 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 claims description 2
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 claims description 2
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 claims description 2
- ODJQKYXPKWQWNK-UHFFFAOYSA-N 3,3'-Thiobispropanoic acid Chemical compound OC(=O)CCSCCC(O)=O ODJQKYXPKWQWNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 235000021360 Myristic acid Nutrition 0.000 claims 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 claims 1
- TUNFSRHWOTWDNC-UHFFFAOYSA-N tetradecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC(O)=O TUNFSRHWOTWDNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 15
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 11
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 8
- 238000002189 fluorescence spectrum Methods 0.000 description 7
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);selenium(2-) Chemical compound [Se-2].[Cd+2] UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 5
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 230000005476 size effect Effects 0.000 description 3
- YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N (2,5-dioxopyrrolidin-1-yl) 4-pyren-1-ylbutanoate Chemical compound C=1C=C(C2=C34)C=CC3=CC=CC4=CC=C2C=1CCCC(=O)ON1C(=O)CCC1=O YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 description 2
- 238000001311 chemical methods and process Methods 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000006228 supernatant Substances 0.000 description 2
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical compound S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004262 HgTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007709 ZnTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001222 biopolymer Polymers 0.000 description 1
- PSIBWKDABMPMJN-UHFFFAOYSA-L cadmium(2+);diperchlorate Chemical compound [Cd+2].[O-]Cl(=O)(=O)=O.[O-]Cl(=O)(=O)=O PSIBWKDABMPMJN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 150000004770 chalcogenides Chemical class 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000007385 chemical modification Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000002270 exclusion chromatography Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229940005740 hexametaphosphate Drugs 0.000 description 1
- 229910000037 hydrogen sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000693 micelle Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000012454 non-polar solvent Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- FIKAKWIAUPDISJ-UHFFFAOYSA-L paraquat dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].C1=C[N+](C)=CC=C1C1=CC=[N+](C)C=C1 FIKAKWIAUPDISJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- GCLGEJMYGQKIIW-UHFFFAOYSA-H sodium hexametaphosphate Chemical compound [Na]OP1(=O)OP(=O)(O[Na])OP(=O)(O[Na])OP(=O)(O[Na])OP(=O)(O[Na])OP(=O)(O[Na])O1 GCLGEJMYGQKIIW-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 235000019982 sodium hexametaphosphate Nutrition 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001577 tetrasodium phosphonato phosphate Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
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- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- C09C3/006—Combinations of treatments provided for in groups C09C3/04 - C09C3/12
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B82Y5/00—Nanobiotechnology or nanomedicine, e.g. protein engineering or drug delivery
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09C—TREATMENT OF INORGANIC MATERIALS, OTHER THAN FIBROUS FILLERS, TO ENHANCE THEIR PIGMENTING OR FILLING PROPERTIES ; PREPARATION OF CARBON BLACK ; PREPARATION OF INORGANIC MATERIALS WHICH ARE NO SINGLE CHEMICAL COMPOUNDS AND WHICH ARE MAINLY USED AS PIGMENTS OR FILLERS
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C01P2004/51—Particles with a specific particle size distribution
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- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
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- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、波長幅の狭い蛍光を放出する複層半導体ナノ粒子の製造方法に関するものであり、また該方法によって製造された複層半導体ナノ粒子に関する。
【0002】
【従来の技術】
粒径が10nm以下の半導体ナノ粒子は、バルク半導体結晶と分子との遷移領域に位置することから、いずれとも異なった物理化学特性を示す。このような領域では、量子サイズ効果の発現により、粒径の減少に伴って半導体ナノ粒子のエネルギーギャップが増大する。さらにこれに付随して、バルク半導体で見られたエネルギーバンドの縮退が解け軌道が離散化し、伝導帯下端が負側に、価電子帯上端が正側にシフトする。
【0003】
半導体ナノ粒子の製造方法は、Cd及びX(XはS、Se、Te)の前駆体を等モル量溶解することで簡単に調製することができる。これらは、CdSe、ZnS、ZnSe、HgS、HgSe、PbS、PbSe等における製造についても同様である。
【0004】
しかし、前記方法により得られた半導体ナノ粒子は、広い粒径分布を示すため、半導体ナノ粒子の特性を十分に利用することができない。このため、調製直後の広い粒径分布を有する半導体ナノ粒子から、化学的手法を用いて粒径分離を精密に行い、特定の粒子サイズの半導体ナノ粒子のみを分離・抽出することで単分散化することが試みられている。これまでに、ナノ粒子の有する表面電荷が粒径によって変化することを利用した電気泳動分離法、粒径による保持時間の差を利用した排除クロマトグラフィー、粒子サイズの違いによる有機溶媒中への分散性の差を利用したサイズ選択沈殿法、サイズ選択光エッチング法などが報告されている。
【0005】
以上のような方法により得られた半導体ナノ粒子は、比較的波長幅の狭いピークを持つ蛍光スペクトルを示す。ただし、このような単分散の状態においても、その結晶子の発光特性はあまりよくない。この原因は、ナノ粒子の示すバンドギャップの禁制帯内に、粒子表面の欠陥サイトのエネルギーレベルが存在するためであると考えられる。すなわち、このようなバンドギャップの禁制帯内のエネルギーバンドを除去することで、半導体ナノ粒子の発光特性を向上させることができる。このため、このようなバンドギャップの禁制帯内のエネルギーギャップを除去する方法が試みられている。
【0006】
これまでに、トリ−n−オクチルホスフィン(TOP)及びトリ−n−オクチルホスフィンオキシド(TOPO)のような有機成分により半導体ナノ粒子表面を被覆する方法、CdX、ZnXのような無機成分により半導体ナノ粒子表面を被覆する方法などがある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
サイズ選択光エッチング法を用いた半導体ナノ粒子製造方法は、非常に容易にかつ大量の半導体ナノ粒子を製造することを可能とするだけでなく、非常に狭い粒径分布をもつ半導体ナノ粒子を製造することが可能である。また、バンドギャップの禁制帯内のエネルギーバンドを除去するため、半導体ナノ粒子の表面を無機成分で被覆することで、波長幅の狭いピークを持つスペクトルを示す複層半導体ナノ粒子を調製することができる。しかし、前者と後者の間には、安定化剤の相違による問題により、一連の方法として組み合わせることが困難であった。
【0008】
そこで、単分散半導体ナノ粒子の製造法と複層半導体ナノ粒子の調製法とを結びつける一連の有効な製造法の開発が求められる。本発明は、非常に狭い粒径分布を持ち、波長幅の狭いピークを持つスペクトルを示す複層半導体ナノ粒子の調製を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の複層半導体ナノ粒子の製造方法は、表面安定化剤によって安定化された単分散半導体ナノ粒子溶液の、前記表面安定化剤を置換することにより、親水性と親油性の相互変性を行い、前記安定化された半導体ナノ粒子を水層と有機層に相互移動させ、移動した層から半導体ナノ粒子を回収する分液抽出を行うことを特徴とする。
【0010】
ここで、前記単分散半導体ナノ粒子は、サイズ選択光エッチング法で得られたことが好ましい。他に、前記単分散半導体ナノ粒子は、逆ミセル法で得られたものでも良い。
前記親水性を与える表面安定剤は、ヘキサメタリン酸、ポリビニルピロリドン、グリコールジメチルエーテル、又はチオール化合物であることが好ましい。また、前記親油性を与える表面安定剤は、トリ−n−オクチルホスフィン又はトリ−n−オクチルホスフィンオキシドであることが好ましい。
【0011】
より具体的には、前記親水性から親油性に変性された半導体ナノ粒子を、酸化亜鉛、1−テトラデカンリン酸(TDPA)、トリ−n−オクチルホスフィンオキシド(TOPO)、トリ−n−オクチルホスフィン(TOP)及びS(Powder)を高温環境下にて反応させることにより調製することが出来る。
【0012】
ここで、核及び核表面に均一に積層されている被覆層の材質は、ZnO、ZnS、ZnSe、ZnTe、CdO、CdS、CdSe、CdTe、HgS、HgSe、HgTe、InP、InAs、GaN、GaP、GaAs、TiO2、WO3、PbS、又はPbSe等からそれぞれ選択される。
例えば、核の材質がCdSであり、核表面に均一に積層されている被覆層の材質がZnSである場合が例示される。
【0013】
また、本発明の複層半導体ナノ粒子は、上記の方法によって製造された、励起されたときに半値全幅(FWHM)約50nm以下の波長幅の狭い領域においてピークを示す蛍光を発することを特徴とする複層半導体ナノ粒子である。
ここで、前記複層半導体ナノ粒子の粒径が直径10%rms未満の偏差を示すことが好ましい。
【0014】
図1に本発明の一例を模式図で示す。例えば、サイズ選択光エッチング法で得られたCdS半導体ナノ粒子は安定化剤であるヘキサメタリン酸(HMP)がCdS半導体ナノ粒子表面を覆っている状態で水溶液中に存在している。この水溶液と、TOP/TOPOを主とした有機溶媒とを混合すると、水層と有機層の界面が形成される。水層中のHMPで安定化された半導体ナノ粒子表面のHMPは、界面において、TOP/TOPOと置換し、TOP/TOPOで安定化された半導体ナノ粒子となり、有機層中へ移動する。その後、有機層を抽出し精製を行い、TOP/TOPOで安定化された半導体ナノ粒子を得る。ここで、未反応のCdイオン、Sイオン、ヘキサメタリン酸等の不純物は、水層中へ残ることとなり、大部分を除去することが可能となる。前記TOP/TOPOを安定化剤としたCdS半導体ナノ粒子は、酸化亜鉛、1−テトラデカンリン酸(TDPA)、トリ−n−オクチルホスフィンオキシド(TOPO)、トリ−n−オクチルホスフィン(TOP)、及びS(Powder)と混合し、高温環境下で反応させることにより、CdS半導体ナノ粒子表面に対してZnS無機成分による被覆をおこない、半導体ナノ粒子内部に存在するバンドギャップの禁制帯内に存在したエネルギーバンドを除去する。
【0015】
【実施例】
以下、実施例を示して、本発明を詳細に説明する。
半導体ナノ粒子の調製
半導体ナノ粒子の調製方法にはさまざまな方法があるが、本発明においては、その中での一例を用いて説明する。
半導体ナノ粒子は、その体積に対する表面積の割合が極めて大きく、非常に凝集しやすい状態にある。したがって半導体ナノ粒子を安定に存在させるためには、粒子同士の衝突・融合を防ぐための施策が必要になる。これまでにさまざまな方法が考案されており、大別すると、固体マトリクス及び高分子マトリクス中への取り込みによる半導体ナノ粒子同士の物理的隔離と、粒子表面の金属イオンサイトをこれと高い作形成能を有する低分子有機物で化学修飾することによる粒子表面の不活性化になる。
【0016】
本方法では、後者の考えに基づき、ヘキサメタリン酸を安定化剤として用いる。ヘキサメタリン酸ナトリウム(0.1mmol)と過塩素酸カドミウム(0.2mmol)の水溶液を1000ml作成し、pH10.3に調整する。その後、溶液中を窒素ガスでバブリングを行い、硫化水素ガス(0.2mmol)を激しく攪拌させながら溶液中に注入する。その後、しばらく攪拌を行う。このとき溶液の色は、光学的に透明な無色から光学的に透明な黄色へ変化する。
【0017】
このときすでにヘキサメタリン酸により安定化された半導体ナノ粒子が溶液中に存在しているが、前記半導体ナノ粒子は、広い粒径分布を持ち、その標準偏差は平均粒径の15%以上にまでにおよぶ。半導体ナノ粒子の物理化学特性は、量子サイズ効果により粒径に依存して現れる。したがって、この状態では物性が平均化されてしまい、半導体ナノ粒子の特性を十分に発揮することができない。このため、調製直後の広い粒径分布を有する半導体ナノ粒子から、化学的手法を用いて粒径分離を精密に行い、特定の粒子サイズの半導体ナノ粒子のみを分離・抽出することで単分散化する必要がある。ここでは、サイズ選択光エッチング法を用いる。
【0018】
サイズ選択光エッチング法による半導体ナノ粒子の単分散化
サイズ選択光エッチング法は、半導体ナノ粒子が量子サイズ効果により粒径減少に伴ってエネルギーギャップが増大すること、及び金属カルコゲナイド半導体が溶存酸素下で光照射により酸化溶解することを利用しており、広い粒径分布を有する半導体ナノ粒子に、その吸収端の波長よりも短い波長の単色光を照射することで、粒径の大きな半導体ナノ粒子のみを選択的に光励起し溶解させ、より小さな半導体ナノ粒子へと粒径をそろえていく方法である。
【0019】
広い粒径分布を持った半導体ナノ粒子溶液を窒素ガスでバブリングを行い、さらに10分間酸素によるバブリングを行う。その後、メチルビオロゲンを溶液中に50μmol/lになるように加え、攪拌を行いながらレーザーを当てる。このとき、照射するレーザーの波長は、短波長側へ段階的にシフトさせていく。また、用いる光源は波長に応じて600mVのアルゴンイオンレーザー(ION LASER TECHNOLGY,MODEL 5500AMC−00)及び500WHgランプ(ウシオ電機MODEL UI−501C)と光学フィルター(東芝色ガラスフィルターL−39,Y−43)を用いた。
【0020】
ここで得られた半導体ナノ粒子は、波長476.5nmの波長の光を照射した場合、平均粒径3.2nm、標準偏差0.19nmであり、標準偏差が平均粒径の約6%と非常に狭い粒径分布を示す。すなわち、きわめて単分散に近い半導体ナノ粒子溶液を得ることができる。
【0021】
半導体ナノ粒子の抽出
後述する理由において、半導体ナノ粒子は、有機成分及び無機成分による被覆を行うことが望ましい。ところで、半導体ナノ粒子をZnSで被覆する方法においては、無極性溶媒中で行う方法が確立されており、この場合、TOP/TOPO等により安定化された半導体ナノ粒子を準備する必要がある。ヘキサメタリン酸により安定化された半導体ナノ粒子を用いて、TOP/TOPOにより安定化されたナノ粒子へのZnSによる被覆をおこなうためには、ヘキサメタリン酸を安定化剤とした半導体ナノ粒子からTOP/TOPOを安定化剤とした半導体ナノ粒子に変換する必要がある。
【0022】
ここでは、半導体ナノ粒子表面の安定化剤をヘキサメタリン酸からTOP/TOPOに置換させるのと同時に抽出を行う方法について説明する。前記抽出方法は、半導体ナノ粒子表面の安定化剤を置換するのと同時に、分液抽出を行う方法である。すなわち、水層で安定なヘキサメタリン酸で安定化された半導体ナノ粒子表面を、TOP/TOPOに置換することで親油性とし、有機層へ移動したTOP/TOPOで安定化された半導体ナノ粒子を分液抽出する方法である。
【0023】
前記サイズ選択光エッチング法により得られた1000mlヘキサメタリン酸半導体ナノ粒子溶液をエバポレートし、150mlまで濃縮を行う。これにTOP10gまたはTOP4g、TOPO7gまたはTOPO10gを加え長時間攪拌を行う。この場合、TOP/TOPOの割合及び総量はその値を問わない。その後ヘキサンを100ml加え、分液を行い、有機層を回収した。さらに回収した溶液は、無水硫酸ナトリウムを加え攪拌を行った後、減圧限外濾過をおこない、エバポレートしてヘキサンを除く。得られた溶液を無水メタノール中に加え、遠心分離(5000rpm、10分間)により沈殿を回収した。さらに、無水ブタノールによる洗浄の後、遠心分離(5000rpm、10分間)による沈殿の回収を数回繰り返し、TOP/TOPOにより安定化された半導体ナノ粒子を得ることができた。
【0024】
複層半導体ナノ粒子の調製
前記抽出方法により抽出された半導体ナノ粒子には、前記サイズ選択光エッチング法により得られた半導体ナノ粒子と同一のものである。したがって、非常に狭い粒径分布を持ち、半導体ナノ粒子としての特性をすでに持っている。しかしながら、この状態での半導体ナノ粒子は、禁制帯中に半導体ナノ粒子表面のエネルギーレベルが存在するため、よい発光特性が得られない。したがって、禁制帯中に存在するエネルギーレベルを除去するために、バルク半導体ナノ粒子を有機成分及び無機成分により被覆を行うことが望ましい。
【0025】
これまでに、バルク半導体ナノ粒子の被覆は、トリ−n−オクチルホスフィン(TOP)及びトリ−n−オクチルホスフィンオキシド(TOPO)によるCdSeの被覆、CdSによるCdSeの被覆、ZnSによるCdSの被覆、SiO2によるSiの被覆、ZnSによるCdSeの被覆、CdSeによるZnSの被覆などが試されている。ここでは、TOP/TOPOにより安定化されたCdS半導体ナノ粒子をZnSで被覆する方法について説明する。
【0026】
前記TOP/TOPOにより安定化された半導体ナノ粒子を、酸化亜鉛(2.5mmol)、TDPA(5mmol)、TOPO(7.7g)と共に混合し、を反応容器に入れ窒素雰囲気下にした。これら粉末を反応容器中で温度300℃まで上昇させて、光学的に透明な黄色の溶液とした。その後、攪拌をはじめ、反応容器中の温度を270℃まで下げ、S(Powder)(1mmol)とTOP(4g)をゆっくり注入した。注入後、温度を150℃まで下げ、6時間反応を行った。
【0027】
時間経過後、反応溶液は全量がシリンジで注出され、25mlの無水メタノール中に急速に注入し急冷を行った。この溶液を遠心分離(5000rpm、10分間)した後、沈殿を回収した。前記沈殿は、無水ブタノール溶液で洗浄後、遠心分離(5000rpm、10分間)をして、沈殿を回収する操作を数回繰り返した。最終的に前記沈殿は、ヘキサン中に溶解した後、遠心分離(5000rpm、10分間)をし、上清を回収した。前記上清は、エバポレートし、粉末状の複層半導体ナノ粒子を調製した。
【0028】
上記の方法によって製造されたCdSをZnSで被覆した複層半導体ナノ粒子の吸収スペクトルと、比較のためにCdSのみの半導体ナノ粒子の吸収スペクトルを図2に示す。また、CdSをZnSで被覆した複層半導体ナノ粒子の蛍光スペクトルと、比較のためにCdSのみの半導体ナノ粒子の蛍光スペクトルを図3に示す。
【0029】
【発明の効果】
サイズ選択光エッチング法を用いた半導体ナノ粒子製造方法は、非常に容易にかつ大量の半導体ナノ粒子を製造することを可能とするだけでなく、非常に狭い粒径分布をもつ半導体ナノ粒子を製造することが可能である。また、バンドギャップの禁制帯内のエネルギーバンドを除去するため、半導体ナノ粒子の表面を無機成分で被覆することで、波長幅の狭いピークを持つ蛍光スペクトルを示す複層半導体ナノ粒子を調製することができる。しかし、前者と後者の間には、安定化剤の相違による問題により、一連の方法として組み合わせることが困難であった。本発明において、安定化剤の相違による問題が解決され、前者と後者の長所を含んだ複層ナノ粒子の調製に成功した。また、複層化においては、酸化亜鉛、テトラデカンリン酸(TDPA)、トリ−n−オクチルホスフィンオキシド(TOPO)、トリ−n−オクチルホスフィン(TOP)、S(Powder)のような安定な材料を用いることができるようになった。
本発明で製造される複層半導体ナノ粒子は、波長幅の狭いピークを有する蛍光スペクトルを示すため、生体高分子の検出に用いる際に多くの情報量を容易に検出できる他に、バイオイメージングへの応用が期待出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の複層半導体ナノ粒子の製造工程を示す模式図。
【図2】CdSをZnSで被覆した複層半導体ナノ粒子の吸収スペクトルと、CdSのみの半導体ナノ粒子の吸収スペクトル。
【図3】CdSをZnSで被覆した複層半導体ナノ粒子の蛍光スペクトルと、CdSのみの半導体ナノ粒子の蛍光スペクトル。
Claims (7)
- 半導体ナノ粒子の表面を無機成分で被覆して複層半導体ナノ粒子を製造する方法において、半導体ナノ粒子表面を無機成分で被覆する工程に先立って、親水性を与える表面安定化剤によって安定化された単分散半導体ナノ粒子溶液の、前記表面安定化剤を親油性を与える表面安定化剤と置換することにより、親水性から親油性への変性を行い、前記安定化された半導体ナノ粒子を水層から有機層に移動させ、移動した層から半導体ナノ粒子を回収する分液抽出を行うことを特徴とする複層半導体ナノ粒子の製造方法。
- 前記単分散半導体ナノ粒子がサイズ選択光エッチング法で得られたことを特徴とする請求項1に記載の複層半導体ナノ粒子の製造方法。
- 前記親水性を与える表面安定化剤が、ヘキサメタリン酸、ポリビニルピロリドン、グリコールジメチルエーテル、又はチオール化合物であることを特徴とする請求項1または2に記載の複層半導体ナノ粒子の製造方法。
- 前記親油性を与える表面安定化剤が、トリ−n−オクチルホスフィン、及び/又はトリ−n−オクチルホスフィンオキシドであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の複層半導体ナノ粒子の製造方法。
- 半導体ナノ粒子がCdSである請求項1〜4のいずれかに記載の複層半導体ナノ粒子の製造方法。
- 半導体ナノ粒子の表面を被覆する無機成分がZnSである請求項1〜5のいずれかに記載の複層半導体ナノ粒子の製造方法。
- 前記親水性から親油性に変性された半導体ナノ粒子に、酸化亜鉛、1−テトラデカンリン酸(TDPA)、トリ−n−オクチルホスフィンオキシド(TOPO)、トリ−n−オクチルホスフィン(TOP)及びS(Powder)を加えて高温環境下にて反応させることにより調製されることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の複層半導体ナノ粒子の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002028022A JP4113361B2 (ja) | 2002-02-05 | 2002-02-05 | 複層半導体ナノ粒子の製造方法 |
US10/348,002 US6911082B2 (en) | 2002-02-05 | 2003-01-22 | Method of manufacturing a multi-layer semiconductor nanoparticle, and a multi-layer semiconductor nanoparticle manufactured by the method |
EP03001539A EP1333064B1 (en) | 2002-02-05 | 2003-01-23 | Method of manufacturing a multi-layer semiconductor nanoparticle, and a multi-layer semiconductor nanoparticle manufactured by the method |
DE60317586T DE60317586T2 (de) | 2002-02-05 | 2003-01-23 | Verfahren zur Herstellen eines mehrschichtigen Halbleiter-Nanopartikels und einmehrschichtiger Halbleiter-Nanopartikel, hergestellt durch das Verfahren |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002028022A JP4113361B2 (ja) | 2002-02-05 | 2002-02-05 | 複層半導体ナノ粒子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003226521A JP2003226521A (ja) | 2003-08-12 |
JP4113361B2 true JP4113361B2 (ja) | 2008-07-09 |
Family
ID=19192423
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002028022A Expired - Fee Related JP4113361B2 (ja) | 2002-02-05 | 2002-02-05 | 複層半導体ナノ粒子の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6911082B2 (ja) |
EP (1) | EP1333064B1 (ja) |
JP (1) | JP4113361B2 (ja) |
DE (1) | DE60317586T2 (ja) |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4005850B2 (ja) * | 2002-06-10 | 2007-11-14 | 日立ソフトウエアエンジニアリング株式会社 | 半導体ナノ粒子製造方法 |
JP3847677B2 (ja) * | 2002-07-23 | 2006-11-22 | 日立ソフトウエアエンジニアリング株式会社 | 半導体ナノ粒子、その製造方法、及び半導体ナノ粒子蛍光試薬 |
JP4230741B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2009-02-25 | 日立ソフトウエアエンジニアリング株式会社 | 半導体ナノ粒子の精製方法 |
US7193098B1 (en) * | 2003-03-20 | 2007-03-20 | The Research Foundation Of State University Of New York | Process for producing semiconductor nanocrystal cores, core-shell, core-buffer-shell, and multiple layer systems in a non-coordinating solvent utilizing in situ surfactant generation |
JP5086517B2 (ja) | 2004-02-02 | 2012-11-28 | 株式会社日立ソリューションズ | 半導体ナノ粒子製造方法 |
US7190264B2 (en) * | 2004-03-05 | 2007-03-13 | Simon Fraser University | Wireless computer monitoring device with automatic arming and disarming |
CN1232608C (zh) * | 2004-04-06 | 2005-12-21 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 在液-液界面上纳米半导体发光材料的合成方法 |
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US20080277625A1 (en) * | 2004-07-16 | 2008-11-13 | Nat'l Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Phosphor And Production Process Of Same |
US7340957B2 (en) | 2004-07-29 | 2008-03-11 | Los Alamos National Security, Llc | Ultrasonic analyte concentration and application in flow cytometry |
WO2006023612A2 (en) * | 2004-08-19 | 2006-03-02 | Zetetic Institute | Sub-nanometer overlay, critical dimension, and lithography tool projection optic metrology systems based on measurement of exposure induced changes in photoresist on wafers |
JP2006104411A (ja) | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Sharp Corp | 蛍光体、その製造方法およびこれを用いた発光装置 |
CN1325577C (zh) * | 2004-12-03 | 2007-07-11 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 合成有机包覆剂包覆的二氧化钛纳米粒子的方法 |
US7625835B2 (en) * | 2005-06-10 | 2009-12-01 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Photocatalyst and use thereof |
US20070037365A1 (en) * | 2005-08-15 | 2007-02-15 | Ranganath Tirumala R | Semiconductor nanostructures and fabricating the same |
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WO2008048302A2 (en) * | 2005-11-29 | 2008-04-24 | Nanodynamics Inc. | Bulk thermoelectric compositions from coated nanoparticles |
US7835000B2 (en) * | 2006-11-03 | 2010-11-16 | Los Alamos National Security, Llc | System and method for measuring particles in a sample stream of a flow cytometer or the like |
EP2479552B1 (en) | 2007-04-02 | 2015-09-02 | Acoustic Cytometry Systems, Inc. | Methods for enhanced analysis of acoustic field focused cells and particles |
US7837040B2 (en) * | 2007-04-09 | 2010-11-23 | Los Alamos National Security, Llc | Acoustic concentration of particles in fluid flow |
US8083068B2 (en) | 2007-04-09 | 2011-12-27 | Los Alamos National Security, Llc | Apparatus for separating particles utilizing engineered acoustic contrast capture particles |
US8263407B2 (en) | 2007-10-24 | 2012-09-11 | Los Alamos National Security, Llc | Method for non-contact particle manipulation and control of particle spacing along an axis |
US8528406B2 (en) * | 2007-10-24 | 2013-09-10 | Los Alamos National Security, LLP | Method for non-contact particle manipulation and control of particle spacing along an axis |
US8266950B2 (en) | 2007-12-19 | 2012-09-18 | Los Alamos National Security, LLP | Particle analysis in an acoustic cytometer |
EP2349918B1 (en) * | 2008-10-24 | 2018-03-21 | Life Technologies Corporation | Stable nanoparticles and methods of making such particles |
KR101942966B1 (ko) | 2011-08-18 | 2019-01-29 | 삼성전자주식회사 | 단분산 입자의 제조 방법, 이에 따라 제조된 단분산 입자 및 가변 광결정 소자 |
KR101968634B1 (ko) | 2011-08-24 | 2019-04-15 | 삼성전자주식회사 | 고굴절률 나노 입자의 제조 방법, 이에 따라 제조된 나노 입자 및 나노 입자를 이용한 광결정 소자 |
US9593053B1 (en) | 2011-11-14 | 2017-03-14 | Hypersolar, Inc. | Photoelectrosynthetically active heterostructures |
CN103013520B (zh) * | 2012-10-25 | 2014-06-18 | 深圳先进技术研究院 | 水溶性近红外量子点,其制备方法及应用 |
US10100415B2 (en) | 2014-03-21 | 2018-10-16 | Hypersolar, Inc. | Multi-junction artificial photosynthetic cell with enhanced photovoltages |
JP6606418B2 (ja) * | 2015-01-29 | 2019-11-13 | スタンレー電気株式会社 | 量子ドット集合体の製造方法 |
KR102342801B1 (ko) * | 2016-05-25 | 2021-12-22 | 고려대학교 세종산학협력단 | 글라임 용매를 기반으로 하는 CdSe 코어를 포함하는 코어-쉘 구조 제조방법 및 이로부터 제조된 CdSe 코어를 포함하는 코어-쉘 구조 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5441712A (en) * | 1993-10-15 | 1995-08-15 | Bhp Minerals International Inc. | Hydrometallurgical process for producing zinc oxide |
JP3266426B2 (ja) | 1994-10-11 | 2002-03-18 | 株式会社リコー | 複写機の原稿押え装置 |
US6120751A (en) * | 1997-03-21 | 2000-09-19 | Imarx Pharmaceutical Corp. | Charged lipids and uses for the same |
US6322901B1 (en) | 1997-11-13 | 2001-11-27 | Massachusetts Institute Of Technology | Highly luminescent color-selective nano-crystalline materials |
JP4005850B2 (ja) | 2002-06-10 | 2007-11-14 | 日立ソフトウエアエンジニアリング株式会社 | 半導体ナノ粒子製造方法 |
-
2002
- 2002-02-05 JP JP2002028022A patent/JP4113361B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-01-22 US US10/348,002 patent/US6911082B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-01-23 DE DE60317586T patent/DE60317586T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-01-23 EP EP03001539A patent/EP1333064B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE60317586T2 (de) | 2008-10-23 |
US6911082B2 (en) | 2005-06-28 |
EP1333064B1 (en) | 2007-11-21 |
DE60317586D1 (de) | 2008-01-03 |
EP1333064A2 (en) | 2003-08-06 |
JP2003226521A (ja) | 2003-08-12 |
EP1333064A3 (en) | 2005-03-09 |
US20030162393A1 (en) | 2003-08-28 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418 Year of fee payment: 3 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140418 Year of fee payment: 6 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |