JP4112423B2

JP4112423B2 - Method for producing multilayer optical information recording medium

Info

Publication number: JP4112423B2
Application number: JP2003130363A
Authority: JP
Inventors: 林　　　　一英; 和也久田; 一弘東丸; 鋭二大野
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2002-05-10
Filing date: 2003-05-08
Publication date: 2008-07-02
Anticipated expiration: 2023-05-08
Also published as: JP2004030885A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の信号記録層の間に分離層を有する片面より記録及び再生を行う、多層光情報記録媒体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
高密度光情報記録媒体として、片面２層再生のＤＶＤのような厚み方向に信号記録面を複数層有する、多層光情報記録媒体が提案されている。たとえば、片面２層再生のＤＶＤは２枚の基板のうち１枚の情報記録面に金、シリコン等の透光性の反射層を、もう一枚の情報記録面に従来のアルミニウム等からなる反射層を、それぞれ成膜し、これらの情報記録面が内側になるように貼り合せた構造となっている。
【０００３】
さらに、１層あたりの面記録密度を向上するために、青紫色レーザ光源（波長４００ｎｍ前後）と高ＮＡのレンズを用い、厚さが０．１ｍｍといった薄型の記録再生側透明カバー層を持つ高密度光情報記録媒体が提案されている。この高密度光情報記録媒体は、厚い信号基板の表面に信号の案内溝あるいはピットを形成して、その上に書き換え可能な記録多層膜を成膜、さらにその上に透明カバー層が形成された構造になっている。この薄型透明カバー層タイプの高密度光情報記録媒体でも２つの信号記録面を有するものが考えられる。その作製方法の一つの例としては以下の方法が挙げられる。
【０００４】
（１）表面に信号の案内溝あるいはピットが形成され、書き換え可能な記録多層膜が成膜された厚い基板の上に、さらに紫外線硬化樹脂を用いて分離層を形成するとともに、その分離層の表面に２層目の信号の案内溝あるいはピットを形成する。
【０００５】
（２）２層目の信号の案内溝あるいはピットの上に書き換え可能な透光性の記録多層膜を成膜する。
【０００６】
（３）厚さが０．１ｍｍといった薄型の記録再生側透明カバー層を形成する。
【０００７】
具体的な作製方法として（例えば、特許文献１参照。）、図１３に示すように、上記（１）の工程のためにプラスチック製のスタンパ２１００を用いて、そのスタンパ２１００上の信号案内溝あるいはピットを覆って第１の紫外線硬化樹脂を塗布し硬化する。その後、異なる性質を有する第２の紫外線硬化樹脂を接着層として用いて、１層目の信号記録層２１０６が成膜された基板と硬化された第１の紫外線硬化樹脂とを貼り合わせ、第２の紫外線硬化樹脂の硬化後スタンパ２１００を剥離している。このようにして第１の紫外線硬化樹脂と第２の紫外線硬化樹脂から分離層２１１０が形成される。このような方法を用いれば、剛性のある厚い信号基板２１０５をベースとして、その上に分離層２１１０を介して、もう一層の信号記録層２１０６、さらには複数の信号記録層２１０６を積み上げて多層光情報記録媒体を作製することができる。
【０００８】
【特許文献１】
特開２００２−２６０３０７号公報
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、多層光情報記録媒体の信号記録層２１０６の間に存在する分離層２１１０の厚みは均一である必要がある。分離層２１１０の厚みが均一であれば、分離層２１１０の前後にある一方の信号記録層２１０６では記録あるいは再生の際に受ける他方の信号記録層２１０６からの反射光の影響が一定になる。他方の信号記録層２１０６からの反射光が変動すると、再生信号の外乱成分となり、Ｓ／Ｎが悪化する。逆に、分離層２１１０の厚みが均一であれば、他方の信号記録層２１０６からの外乱が一定であるため、記録あるいは再生が安定になり、再生信号の品質は向上する。
【００１０】
図１２は、従来の多層光情報記録媒体を製造する際の、信号基板２１０５またはスタンパ２１００への紫外線硬化樹脂の滴下量の時間変化と、紫外線硬化樹脂が滴下された状態の信号基板２１０５またはスタンパ２１００の回転数を示す図である。図１２に示すように、従来の製造方法では、信号基板２１０５またはスタンパ２１００の中心部付近に紫外線硬化樹脂を滴下させ、滴下が終了した後、信号基板２１０５またはスタンパ２１００を回転させることにより、その遠心力によって紫外線硬化樹脂が信号基板２１０５またはスタンパ２１００の中心部付近から外側に向かって引きのばされていた。
【００１１】
上記のような製造方法では、スタンパ２１００または信号基板２１０５が回転するときの遠心力により、紫外線硬化樹脂は、スタンパ２１００または信号基板２１０５の中心側よりも外側の方においてその厚みが厚くなる。従って、図１３に示すように、異なる性質の紫外線硬化樹脂を合わせて形成された分離層２１１０も中心側から外側に向かってその厚みが厚くなる傾向となり、上記のように、従来の製造方法による多層光情報記録媒体のＳ／Ｎ比は満足できるものではなかった。
【００１２】
本発明は、上記従来の製造方法の課題に鑑み、分離層を挟む信号記録層への記録及び信号記録層からの再生を安定に行うことができ、良質な信号を得ることができる多層光情報記録媒体を製造する方法を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための第１の本発明は、多層光情報記録媒体の製造方法であって、
スタンパの上の、案内溝とピットの少なくとも一つを有する信号記録領域を有する面に隣接して、半径方向に厚みが変化するような分布をする第ｎ＋１層をスピンコート法で形成する第１の工程と、
信号記録層を有する信号基板に隣接して半径方向に厚みが変化するような分布をする第ｎ層をスピンコート法で形成する第２の工程と、
前記スタンパと、前記信号記録層を有する信号基板とを、前記第ｎ層と前記第ｎ＋１層を対向させて減圧環境下で重ね合わせる第３の工程と、を含み、
前記第ｎ層と前記第ｎ＋１層の厚みが増加する半径方向が互いに逆であり、前記第ｎ層および前記第ｎ＋１層を重ね合わせた厚みが実質上均一であることを特徴とする多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００１４】
第２の本発明は、前記第１の工程で第ｎ＋１層を硬化させることを特徴とする第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００１５】
第３の本発明は、前記第ｎ層を硬化させる第４の工程を更に含むことを特徴とする第２の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００１６】
第４の本発明は、前記第ｎ＋１層の半径方向の厚みが、内周部より外周部の方が薄く、前記第ｎ層の半径方向の厚みが、内周部より外周部の方が厚いことを特徴とする第１〜３のいずれかの本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００１７】
第５の本発明は、前記第１の工程は、前記スタンパの実質上中心の中心穴に蓋をした状態で、前記蓋上に樹脂を滴下する工程と前記スタンパを回転させる工程との一部が同時に行われることを特徴とする第１〜４のいずれかの本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００１８】
第６の本発明は、前記第２の工程で第ｎ層を硬化させることを特徴とする第１の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００１９】
第７の本発明は、前記第ｎ＋１層を硬化させる第４の工程を更に含むことを特徴とする第６の本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００２０】
第８の本発明は、前記第ｎ＋１層の半径方向の厚みが、内周部より外周部の方が厚く、前記第ｎ層の半径方向の厚みが、内周部より外周部の方が薄いことを特徴とする第１、２、３、６、７のいずれかの本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００２１】
第９の本発明は、前記第２の工程は、前記信号基板の実質上中心の中心穴に蓋をした状態で、前記蓋上に樹脂を滴下する工程と前記スタンパを回転させる工程との一部が同時に行われることを特徴とする第１、６、７、８のいずれかの本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００２２】
第１０の本発明は、前記第ｎ層と前記第ｎ＋１層の少なくとも一方が放射線硬化材料であることを特徴とする第１〜９のいずれかの本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００２３】
第１１の本発明は、前記第ｎ層の内周部と外周部の膜厚差と、前記第ｎ＋１層の内周部と外周部の膜厚差が等しくなるように、前記第ｎ層と前記第ｎ＋１層の少なくとも一方の塗布条件を設定することを特徴とする第１〜１０のいずれかの本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００２４】
第１２の本発明は、第１〜１１のいずれかの本発明の製造方法を用いて事前に作成された多層光情報記録媒体の、前記第ｎ層と前記第ｎ＋１層を重ね合わせた層の膜厚分布に基づいて、前記第ｎ層と前記第ｎ＋１層の少なくとも一方の塗布条件を設定することを特徴とする第１〜１１のいずれかの本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００２５】
第１３の本発明は、前記スタンパと前記第ｎ＋１層を剥離する第５の工程を更に含むことを特徴とする第１〜１２のいずれかの本発明の多層光情報記録媒体の製造方法である。
【００４９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明及び本発明に関連する発明の実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。
【００５０】
（実施の形態１）
本実施の形態について図１を用いて説明する。ここでは、本発明の第ｎ＋１層の一例である転写層の半径方向の厚みがスタンパ（モールド）の内周部で厚く外周になるにつれて徐々に薄くなる傾向であり、また、本発明の第ｎ層の一例である接着層の半径方向の厚みが、信号基板の内周部で薄く外周になるにつれて徐々に厚くなる傾向である場合の例について示す。
【００５１】
図１に本発明の概念図を示す。まず、図１（ａ）に示すように、円形をなすスタンパ１００表面の凹凸部１０２の上に転写層１０３を形成する。信号記録領域に形成された凹凸部１０２は案内溝とピットの少なくとも一つを有する。例えば、アドレス情報を示すウォブルを有するトラックピッチ０．３２ミクロン、深さ２０ｎｍの溝が挙げられる。また、スタンパ１００の中心には中心穴１０１があってもよい。転写層１０３は、その厚みがスタンパ１００の半径方向に対して内周部では厚く、外周部にかけて徐々に薄くなるような分布を有するように形成される。
【００５２】
次に、図１（ｂ）に示すように、信号基板１０５の表面には、本発明の信号記録層の一例である信号記録膜１０６が設けられている。信号基板１０５の信号記録膜１０６のある面と、転写層１０３が形成されたスタンパ１００の間に、接着層１０７を形成して、スタンパ１００と信号基板１０５を接着する。信号基板１０５には中心穴１０８があってもよい。ここで、接着層１０７は、その厚みが半径方向に対して内周部では薄く、外周部にかけて徐々に厚くなるような分布を有するように形成される。転写層１０３と接着層１０７の厚みの増加する半径方向が互いに逆であるため、その２つからなる分離層１１０の厚みは均一となる。最後に図１（ｃ）のように、スタンパ１００を転写層１０３との界面より剥離する。転写層１０３の表面にはスタンパ１００から転写された凹凸部１０９が形成される。転写層１０３はスタンパ１００上の凹凸部１０２を転写するための層であるが、転写層１０３とスタンパ１００の界面での剥離が容易となるように各々の材料を適宜選ぶ必要がある。
【００５３】
以上のようにして、半径方向に厚みが均一な分離層１１０を得る。分離層１１０の転写された凹凸部１０９には、信号記録膜３００１が形成されたのち、さらに分離層あるいは保護層３０００が形成される。以上が本発明の概略である。なお、信号基板１０５は信号記録膜１０６の下に他の信号記録層を有していてもよい（図示せず）。すなわち、信号記録膜１０６が分離層上に形成されていてもよいということである。
【００５４】
以下、図１（ａ）〜（ｃ）の各工程について詳細に説明する。
【００５５】
まず、転写層の形成工程について一例を用いて説明する。転写層の材料として本発明の放射線硬化材料の一例としての紫外線硬化樹脂を用いて、スピンコートにより転写層を形成する場合を図２と図３に示す。図２（ａ）に示すような中心穴１０１を有するスタンパ１００を準備する。中心穴１０１の直径は１５ｍｍ、スタンパ１００の外径は直径１２０ｍｍである。ここでは転写層の材料として紫外線硬化樹脂を用いるので、スタンパの材質は例えば、アクリル樹脂、オレフィン樹脂、ポリカーボネート、ノルボルネン系樹脂等の紫外線に対してある程度透明なプラスチックが好ましい。
【００５６】
次に、図２（ｂ）のように、スタンパ１００を回転テーブル２０１の上におく。回転テーブル２０１はスタンパ１００を真空吸引等の方法で固定する。そして、中心穴１０１は蓋２０２でカバーする。蓋２０２の外形は直径１５ｍｍ〜４２ｍｍの範囲のものでよいが、ここでは直径２２ｍｍのものである。蓋２０２の上にノズル２０５を配置して、転写層の材料である紫外線硬化樹脂２００を滴下しはじめる。滴下前に、回転テーブル２０１は回転していてもよい。紫外線硬化樹脂２００は粘度１５０ｍＰａ・ｓである。紫外線硬化樹脂２００としては、図１（ｃ）で示すように、スタンパ１００との界面で剥離しやすくなる材料を選ぶ必要がある。例えば、紫外線照射によりラジカル重合を起こすアクリル系材料等が挙げられる。樹脂の滴下時間は９ｓｅｃである。滴下とほぼ同時に、図２（ｃ）に示すように回転テーブル２０１を回転する。初期の６ｓｅｃは低速で、その後の回転数は２０００ｒｐｍであり、２０００ｒｐｍにおける回転時間は１０ｓｅｃである。したがって、滴下終了後７ｓｅｃ回転をつづける。回転後、回転テーブル２０１は停止する。
【００５７】
図３に停止した後の工程を示す。図３（ａ）は停止した直後の様子を示している。スタンパ内周部で厚く、外周部にかけて徐々に薄くなる傾向になっている。図３（ｂ）は半径方向に対する転写層の厚みを示すものである。半径２０ｍｍ付近では１５ミクロンくらいであり厚いが、中心から半径方向に離れるにつれ薄くなり、中心から半径方向に５８ｍｍの点で約１３ミクロンになる。このような厚み分布は、紫外線硬化樹脂の滴下時間と滴下時の回転テーブルの回転数、滴下停止後の回転時間により制御することができる。回転数と回転時間が大きくなると、半径方向の厚みの変化は小さくなり全体的に均一になる。
【００５８】
最後に図３（ｃ）に示すように、蓋２０２をスタンパ１００上より除去した上で紫外線ランプ２１０により紫外線硬化樹脂２００を硬化させ、転写層１０３を得る。硬化前に蓋２０２を除去する目的は、硬化後に紫外線硬化樹脂２００が固体化して、蓋２０２を除去しづらくなることを防ぐためである。蓋２０２の除去はロボットアームで掴んでもよいし、蓋の一部を磁性体で構成して磁石を用いて持ち上げても良い。図３（ｃ）では回転テーブル２０１上で硬化を行っているが、スタンパ１００を紫外線ランプが設置された異なるテーブルに移動させて硬化を行ってもよい。紫外線ランプ２１０としてはメタルハライドランプ、水銀ランプ、キセノンランプ等を用いることができる。
【００５９】
次に、接着層を形成する工程について一例を用いて説明する。ここでは、接着層として紫外線硬化樹脂を用いる場合を説明する。紫外線硬化樹脂としては、信号基板の材料や信号記録層の材料、また転写層１０３との接着力の強い材料を選択する必要がある。たとえば、アクリル系材料が挙げられる。図４にスピンにより接着層を延伸する場合を示す。図４（ａ）に示すように、まず信号記録膜１０６が形成された信号基板１０５を回転テーブル４０１上に配置して固定する。信号基板１０５の外径は直径１２０ｍｍ、中心穴１０８は直径１５ｍｍであり、材質はポリカーボネートやアクリル、またオレフィン等のプラスチックが用いられる。信号記録膜１０６は例えば、ＧｅＳｂＴｅやＡｇＩｎＳｂＴｅ等の相変化膜、磁性体膜、色素膜といった記録膜とそれらを挟むＺｎＳ等の誘電体膜、金属反射膜等であってもよい。一般にスパッタリングや蒸着によって成膜される。
【００６０】
回転テーブル４０１への固定は、信号基板１０５との接触面を真空吸引で行われる。回転テーブル４０１には中心穴１０８に嵌合するセンターピン４０２があり、信号基板１０５の中心出しが行われる。回転テーブル４０１を回転させて、信号基板１０５上の半径２０〜３０ｍｍの位置に配置されたノズル４００より紫外線硬化樹脂４０３を滴下する。ここでは紫外線硬化樹脂４０３として、粘度４５０ｍＰａ・ｓのアクリル樹脂を用いる。信号基板１０５が回転されるため、紫外線硬化樹脂４０３はリング状になる。
【００６１】
次に図２と図３に示した工程から得られるスタンパ１００を信号基板１０５の上に重ね合わせる。図４（ｂ）のように、信号基板１０５上にはリング状の紫外線硬化樹脂４０４が形成されており、その上方より転写層１０３がリング状の紫外線硬化樹脂４０４に接するようにスタンパ１００を重ね合わせす。スタンパ１００の中心穴１０１は直径１５ｍｍであるためセンターピン４０２と嵌合し、信号基板１０５とスタンパ１００の中心が互いに合う。重ね合わせは、転写層１０３とリング状の紫外線硬化樹脂４０４が接する際に混入する恐れのある気泡を防ぐため、減圧環境下で行ってもよい。
【００６２】
次に、図４（ｃ）に示すように回転テーブル４０１を高速回転し、紫外線硬化樹脂を全面に延伸する。ここでは、５０００ｒｐｍの高速で３０ｓｅｃ回転する。これにより、延伸された接着層４０５が転写層１０３と信号基板１０５の間に形成される。この後の剥離工程で剥離を安定に行うために、図４（ｃ）のように延伸された接着層４０５がスタンパ１００と直接接しないようにする必要がある。延伸の後、図３（ｃ）と同様、紫外線ランプによりスタンパ１００側より延伸された接着層４０５を硬化する。スタンパ１００が透明であるため、硬化が可能となる。
【００６３】
得られた接着層の厚み分布と、転写層と接着層からなる分離層の厚み分布を図５に示す。図５（ａ）のように接着層の厚みは高速回転による遠心力で、内周部で１０ミクロン、外周にかけて徐々に厚くなり外周端で１２．５ミクロンになっている。また、転写層と接着層からなる分離層の厚み分布は図５（ｂ）であり、図３（ｂ）と図５（ａ）が足されたものとなり、厚みは内周から外周まで２４．５±０．５ミクロンの範囲にあり、非常に均一になる。
【００６４】
最後に図６にスタンパの剥離工程について示す。ここでは、くさびと圧縮空気を用いた剥離方法を示す。図６（ａ）に示すように、接着工程で得られたスタンパ１００と信号基板１０５が接着された剥離前中間物６２０を固定台６００の上に固定する。固定法は真空吸引が好ましい。固定台６００にはセンターポスト６０１があり、その一部に吹き出し口６０２が設けられている。
【００６５】
次に、図６（ｂ）に示すように、センターポスト６０１よりくさび６１０を出し、スタンパ１００と転写層１０３の界面に挿入する。このとき、転写層１０３がくさび６１０により多少削ずれてもかまわない。くさび６１０が挿入されたのち、吹き出し口６０２より圧縮空気６１５が吹き出される。圧縮空気６１５はくさび６１０が挿入されたスタンパ１００と転写層１０３の界面に入り込み、スタンパ１００を剥がし始める。しばらく待つと図６（ｃ）のようにスタンパ１００は転写層１０３の界面できれいに剥離され、分離層１１０の表面（転写層１０３表面）に転写された凹凸部１０９が露出される。図６（ｂ）において圧縮空気６１５のみで剥離が進行しない場合は上方からスタンパ１００を持ち上げるようにすると、剥離をより効率良く行うことができる。
【００６６】
剥離された信号基板を多層光情報記録媒体として完成させるためには、さらに、図６の剥離工程のあとに、転写された凹凸部１０９の上にさらにスパッタリングにより信号記録層を形成したうえで、その上にさらに透明なカバー層（例えば厚み７５ミクロン）を均一に形成する必要がある。透明カバー層の形成方法は所望の透明カバー層の厚みより薄い厚み精度の高い透明フィルムを透明な接着剤で貼る方法や、透明なオーバコート剤で所望の厚みの層を直接形成する方法とがある。上記本実施の形態で説明した方法で作製された多層光情報記録媒体では、信号記録層の間を分離する分離層が均一になるため、記録及び再生を行っている信号記録層と隣接した信号記録層からの迷光等の影響がどの半径位置でも一定となり、安定な記録及び再生が可能であり、どの半径位置でも良質かつ安定な信号を得ることができる。
【００６７】
なお、本実施の形態では転写層と接着層としてともに紫外線硬化樹脂を用いたが、熱硬化性材料であっても良い。このとき、スタンパの材質は、例えば、ニッケル、鉄をはじめとする金属類、プラスチックであればＡＢＳ樹脂等の耐熱性の高いものを選ぶ必要がある。
【００６８】
また、図４ではスタンパ１００を信号基板１０５の上から重ねたが、スタンパ１００を下におき信号基板１０５を上から重ねても良い。また、信号基板１０５上に接着層用の紫外線硬化樹脂４０３を滴下したが、スタンパ１００上の転写層１０３に滴下してもよい。信号基板１０５とスタンパ１００のどちらを上から重ね合わせてもかまわない。また、接着層用の紫外線硬化樹脂４０３を信号基板１０５とスタンパ１００の両方に滴下してもかまわない。いずれの場合にも、接着層用の紫外線硬化樹脂と滴下する表面との塗れ性等を考えて、接着層の所望の厚み分布を得るように回転条件を決定すればよい。
【００６９】
（実施の形態２）
実施の形態２では、図４に示した接着層の形成方法と異なる第２の接着層形成工程について説明する。図７にその概念図を示す。図７（ａ）のように図４（ａ）と同様の方法にて回転テーブル７０１に信号基板１０５を保持して、リング状の紫外線硬化樹脂４０４を配置する。ただし、滴下位置は実施の形態１の場合より内側であり、半径１５ｍｍの位置である。接着層用の紫外線硬化樹脂は実施の形態１と同じものでかまわない。
【００７０】
次に図７（ｂ）のように、回転テーブル７０１を高速回転する。これにより信号基板１０５上には延伸された接着層４０５が形成される。回転条件は５０００ｒｐｍで２０ｓｅｃである。この条件であれば、図５（ａ）に示した厚み分布とほぼ同じものが得られる。次に図７（ｃ）に示すように、図３（ｃ）で得られた転写層１０３が形成されたスタンパ１００と接着層７０６の形成された信号基板１０５を減圧チャンバ７０５内に導入して減圧下で重ね合わせる。転写層１０３と接着層７０６が接するように重ね合わせる。減圧チャンバ７０５内には信号基板１０５を固定するテーブル７０２がある。テーブル７０２にはセンターピン７０３があり、上から重ねるスタンパ１００と固定された信号基板１０５と中心をあわせることができる。
【００７１】
減圧チャンバ７０５の内部は信号基板１０５とスタンパ１００が導入された後、真空ポンプ７０４で減圧される。減圧下で重ね合わせるため、転写層１０３と接着層７０６の間には気泡が混入することはない。重ね合わせた後、減圧チャンバ７０５内が大気開放されて空気を導入したのち、信号基板１０５とスタンパ１００を取り出し、図３（ｃ）のように紫外線ランプ２１０を用いて接着層７０６を硬化する。硬化後、図６に示した方法でスタンパ１００を剥離する。剥離後の工程は実施の形態１に示したものと同様なのでここでは省略する。
【００７２】
なお、実施の形態２では、信号基板１０５の上に接着層７０６を形成して、スタンパ１００と重ね合わせたが、転写層１０３の上に接着層７０６を形成して、接着層のない信号基板１０５と重ね合わせてもよい。また、信号基板１０５とスタンパ１００の両方に接着層を形成して重ね合わせてもよい。いずれの場合にも、接着層用の紫外線硬化樹脂と滴下する表面との塗れ性等を考えて、接着層の所望の厚み分布を得るように回転条件を決定すればよい。
【００７３】
また、図７（ｃ）に示した工程の後、減圧チャンバ７０５より重ね合わせされた信号基板１０５とスタンパ１００を取り出し、加圧チャンバ内に導入して、オートクレーブにより微小な気泡（内部は減圧空気）を潰してもよい。
【００７４】
（実施の形態３）
実施の形態３では、転写層の半径方向の厚みがスタンパの内周部で薄く外周になるにつれて徐々に厚くなる傾向であり、また、接着層の半径方向の厚みが信号基板の内周部で厚く外周になるにつれて徐々に薄くなる傾向である場合の例について説明する。転写層の形成は図７（ａ），（ｂ）と同様、接着層の形成は図２及び図３で示した方法とほぼ同じである。まず、図８を用いて工程概略を説明する。
【００７５】
第１に、転写層の形成である。図８（ａ）に示すように、回転テーブル７０１に固定したスタンパ１００に転写層用の紫外線硬化樹脂を滴下して、回転テーブル７０１を回転して紫外線硬化樹脂を延伸する。スタンパ１００は実施の形態１及び２で用いたものと同じものが使用できる。紫外線硬化樹脂としては、実施の形態１及び２と同じ樹脂でよい。滴下位置は半径１１ｍｍの位置である。回転は４０００ｒｐｍで回転時間は５ｓｅｃである。回転停止後、紫外線ランプにて延伸された転写層８０１を硬化する。図９（ａ）に延伸された転写層８０１の厚み分布を示す。内周部で８ミクロン、外周部で１０ミクロンと徐々に厚い傾向になっている。
【００７６】
次に、信号基板との接着である。図８（ｂ）に示すように、図２及び３で説明した方法と同様に回転テーブル２０１の上に信号記録膜１０６の形成された信号基板１０５を固定して、中心穴１０８を直径２２ｍｍの蓋２０２で塞いでノズル２０５より接着層用の紫外線硬化樹脂８０２を塗布する。紫外線硬化樹脂８０２を滴下しながら回転テーブル２０１を回転する。このとき、信号基板１０５は実施の形態１及び２と同様のものでよい。紫外線硬化樹脂８０２は、実施の形態１とは異なり２００ｍＰａ・ｓのアクリル樹脂である。樹脂の滴下時間は９ｓｅｃである。初期の６ｓｅｃは低速で、その後の回転数は２０００ｒｐｍであり、回転時間は１０ｓｅｃである。回転停止後、蓋２０２を除去する。得られた接着層８０４の厚み分布は図９（ｂ）のようなものである。内周部で１７ミクロン、外周部で１５〜１６ミクロンである。外周にかけて徐々に薄くなるように回転条件を制御したことになる。
【００７７】
最後に、紫外線硬化樹脂８０２を硬化することなく、信号基板１０５と硬化された転写層８０３が形成されたスタンパを、図８（ｃ）に示すような減圧チャンバ内に導入して、減圧下で重ね合わせる。減圧チャンバ７０５内は真空ポンプ７０４で減圧される。信号基板１０５の中心とスタンパ１００の中心はテーブル７０２のセンターピン７０３で合わされる。重ね合わされた信号基板１０５とスタンパ１００に紫外線を照射して、接着層８０４を硬化する。硬化後、図６に示した方法でスタンパ１００を剥離する。得られた分離層（転写層と接着層からなる層）の厚み分布を図９（ｃ）に示す。転写層１０３と接着層８０４が各々半径方向の厚み分布が制御されているため、得られる分離層の厚みは２５．５±０．５ミクロンの範囲に入る分布となり、非常に均一となる。
【００７８】
なお、剥離後の工程は実施の形態１に示したものと同様なのでここでは省略する。
【００７９】
また、実施の形態３では、接着層８０４を安定に作製するために信号基板１０５上に形成したが、スタンパ１００上の硬化された転写層８０３の上に形成して、接着層のない信号基板と重ね合わせてもよい。また、信号基板１０５上に接着層８０４を形成して蓋２０２を除去して硬化した上で、図８（ａ）の延伸された転写層８０１を硬化することなく、減圧チャンバ７０５内で重ね合わせてもよい。
【００８０】
この場合、重ねた後紫外線で延伸された転写層８０１を硬化するが、転写層用の紫外線硬化樹脂が硬化後の接着層との接着力が十分強いことが必須条件となる。さもなければ、剥離工程においてスタンパ１００と転写層との界面でうまく剥離ができなくなる。いずれの場合にも、塗布する転写層あるいは接着層の厚み分布が所望のものになるように回転条件を決定することが重要である。
【００８１】
また、図８（ｃ）の後、減圧チャンバ７０５より重ね合わせされた信号基板１０５とスタンパ１００を取り出し、加圧チャンバ内に導入して、オートクレーブにより微小な気泡（内部は減圧空気）を潰してもよい。
【００８２】
（実施の形態４）
本発明に関連する発明の実施の形態４では、転写層あるいは接着層が感圧性接着剤である場合について説明する。
【００８３】
第１の例は、転写層が上記実施の形態１〜３と同様、紫外線硬化樹脂であり、接着層が感圧性接着剤である場合である。転写層は実施の形態３の図８（ａ）と同様に形成する。図８（ａ）の方法は図２及び３で示した方法より蓋を用いないことから容易である。転写層用の紫外線硬化樹脂を実施の形態３と同じものを用いれば、厚み分布は図９（ａ）と同様になる。転写層の形成方法に関しては上記と同様であるため、省略する。接着層として感圧性接着剤を用いる場合、感圧性接着剤は予め円盤状にしておく必要がある。
【００８４】
感圧性接着剤の厚み分布は図９（ｂ）のように制御しておく必要がある。感圧性接着剤は半固体状のものであるため、一般的に厚み分布をコントロールしやすい。図１０に感圧性接着剤を接着層として用いたときの分離層の作製方法を示す。図１０（ａ）は信号基板１０５に感圧性接着剤１００５を貼り付ける方法を示している。感圧性接着剤１００５には中心穴１００６があり、また、その厚みが内周から外周にかけて徐々に薄くなるような分布を持たせてある。中心穴１００６があるため、固定テーブル１０００のセンターピン１００１により信号基板１０５の中心と合わすことができる。感圧性接着剤１００５は、ローラ１０１０により信号基板１０５の外周端より順に他方の外周端まで貼られる。ローラ１０１０は感圧性接着剤１００５とくっつかないような表面処理（例えばフッ化処理）が施されているゴムであることが望ましい。ゴム製であれば弾力性があるため、感圧性接着剤１００５と信号基板１０５の間には大気中でも気泡が混入しづらくなる。
【００８５】
この図１０（ａ）の工程は減圧チャンバ内で行ってもよい。ローラ１０１０を感圧性接着剤１００５へ押す圧力が十分高ければ、信号基板上の凹凸部に感圧性接着剤１００５を埋め込むことは可能である。また、感圧性接着剤１００５のローラ１０１０と接する面にローラ１０１０とのくっつきを防止する保護フィルムがあってもよい。図１０（ｂ）は硬化された転写層８０３が形成されたスタンパ１００と減圧チャンバ７０５内で重ね合わせされる様子を示す図である。手順は実施の形態２および３に示したものと同じである。感圧性接着剤１００５に保護フィルムがついている場合、この工程の前で剥がしておく必要があることは言うまでもない。重ね合わせた後、感圧性接着剤１００５に紫外線硬化性等の特長があり硬化することができるものの場合は硬化してもよい。最後に剥離工程を行い、厚みが均一な分離層を得ることができる。
【００８６】
第２の例は、転写層が紫外線硬化性のある感圧性接着剤であり、接着層が紫外線硬化樹脂である場合である。接着層は図７（ａ）および（ｂ）と同じである。ここでは、説明を省略する。図１１は転写層用の感圧性接着剤１１０５をバルーン１１００によりスタンパ１００に重ねる方法を示している。感圧性接着剤１１０５は、その厚みが内周から外周にかけて徐々に薄くなる分布を有するように形成されている。図１１（ａ）に示すように、感圧性接着剤１１０５には中心穴１１０６があり、固定テーブル１０００のセンターピン１００１によりスタンパ１００の中心と合わされる。固定テーブル１０００の中心上方よりバルーン１１００を下ろし、徐々にエア１１０１を入れていく。バルーン１１００は感圧性接着剤１１０５とくっつかないような表面処理（例えばフッ化処理）が施されているゴムであることが望ましい。
【００８７】
バルーン１１００にエア１１０１を入れていくと、図１１（ｂ）のように弾力性のあるバルーン１１００は膨らみ、スタンパ１００の中心より外周端へと感圧性接着剤１１０５をスタンパ１００に接触させていく。バルーン１１００の弾力性と中心から徐々に感圧性接着剤１１０５をスタンパ１００に接触させることにより、感圧性接着剤１１０５とスタンパ１００の界面への気泡混入を防ぐことができる。また、感圧性接着剤１１０５はバルーン１１００で押されるため、スタンパ１００上の凹凸部１０２に埋め込まれる。この工程の後、紫外線照射により感圧性接着剤１１０５を硬化する。硬化することにより、剥離工程の際でも感圧性接着剤１１０５に形成された凹凸部１０２が変形したりすることはない。感圧性接着剤の硬化後、図７（ｃ）の方法と同様に信号基板と重ね合わせ接着層を硬化したのち、最後に剥離工程が行われる。
【００８８】
なお、実施の形態４では、接着層形成方法としてローラを、転写層形成方法としてバルーンを用いる場合を説明したが、接着層形成方法としてバルーンを、転写層形成方法としてローラを用いてもよい。
【００８９】
また、実施の形態４では、接着層あるいは転写層が感圧性接着剤である場合についてのみ説明したが、接着層と転写層両方が感圧性接着剤であってもよい。また、上記で説明した紫外線硬化樹脂の厚みが内周から外周にかけて徐々に薄くなるように制御して、感圧性接着剤の厚みを内周から外周にかけて徐々に厚くなるように制御してもよい。
【００９０】
以上までの説明における多層光情報記録媒体の製造方法および製造装置は、転写層と接着層を有する分離層の厚み分布を制御することができ、分離層の厚みを均一にすることができる。これにより、分離層を挟む信号記録層の記録および再生を安定に行うことができ、かつ良質な信号を得ることができる。また、分離層の厚みむらについて生産マージンを得ることができ、量産性を向上することができる。
【００９１】
このように製造された多層光情報記録媒体３００２の一例を図１４に示す。このように本発明の実施の形態による製造方法により製造された多層光情報記録媒体の断面を見ると、分離層１１０を構成する転写層１０３および接着層１０７の界面が中心から外側に向かって斜めになっており、分離層１１０は半径方向において一定の厚みを有することがわかる。この場合、斜めの程度は製造条件により様々であり、場合によってはこの界面が実質上水平であることもあり得る。
【００９２】
また、以上までの説明において、各転写層および各接着層の半径方向の厚み分布は、互いに補うように両者の厚み分布が制御されてもよいし、一方の層の厚み分布を他方の層の厚み分布を考慮しながら制御されてもよく、各転写層および各接着層の両者の厚みの合計が半径方向において均一であれば上記の場合と同様の効果を得ることができる。さらに、各転写層および各接着層の半径方向のそれぞれの厚みが均一であってもよい。
【００９３】
また、以上までの説明において、分離層は、各転写層および各接着層の２層から構成されるとしたが、分離層は、３層以上の複数の層から構成されていてもよい。その場合、例えば、分離層が３層から構成される場合、本発明の信号基板は、信号基板１０５および信号基板１０５上に形成された第ｎ−１層に対応する。そして、分離層がｍ層から構成される場合は、本発明の信号基板は、信号基板１０５と第１層から第ｎ−１層までが積層された層に対応する。図１５にそのような場合の信号基板の例を示す。
【００９４】
また、ｎ＋１層およびｎ層が形成されて、その一方の層の厚み分布の制御を他方の層の厚み分布を考慮しながら制御するのは、例えば、１つ前の製造ロットにおける厚み分布を考慮しながら、上記一方の層の厚み分布を制御する場合も含まれる。その場合、一番最初の製造ロットとして試作品における厚み分布を考慮しながら一方の厚み分布を制御する場合も考えられる。
【００９５】
また、上記の実施の形態１〜４では、分離層が１つしかない場合について説明したが、本発明はこの場合に限られず、分離層が複数存在してもよく、その場合は、複数ある分離層のうち少なくとも１つの分離層に対して適用され得る。
【００９６】
なお、実施の形態２及び３の場合と同様に、図１０（ｂ）の後、減圧チャンバ７０５より重ね合わせされた信号基板１０５とスタンパ１００を取り出し、加圧チャンバ内に導入して、オートクレーブにより微小な気泡（内部は減圧空気）を潰してもよい。
【００９７】
以上、上記実施の形態１〜４では、本発明の多層光情報記録媒体の製造方法の実施形態を主として説明したが、本発明に関連する発明の多層光情報記録媒体の製造装置は、図２〜４、図６〜８、図１０、１１に示す各工程で用いた回転テーブルやノズルといった構成部品を各手段として構成されている。
【００９８】
また、以上の説明においては、本発明の信号記録層は、信号記録膜１０６であるとしたが、本発明の信号記録層は、案内溝またはピットにより構成されていてもよい。
【００９９】
また、以上までの説明では、本発明の放射線硬化材料は紫外線硬化樹脂であるとして説明したが、それ以外の放射線により硬化される材料であってもよい。
【０１００】
【発明の効果】
以上のように、本発明の多層光情報記録媒体の製造方法は、分離層を挟む信号記録層への記録及び信号記録層からの再生を安定に行うことができ、良質な信号を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態における多層光情報記録媒体の製造方法を示す模式図
【図２】本発明の一実施の形態の転写層形成工程における転写層の塗布方法の一例を示す図
【図３】本発明の一実施の形態の転写層形成工程における転写層の硬化方法の一例と得られた厚
み分布を示す図
【図４】本発明の一実施の形態における接着層形成工程の一例を示す図
【図５】図２、図３及び図４の工程の結果得られた接着層と分離層の厚み分布を示す図
【図６】本発明の一実施の形態におけるスタンパの剥離工程の一例を示す図
【図７】本発明の一実施の形態における接着層形成工程の第２の例を示す図
【図８】本発明の一実施の形態における、厚み分布が図２ないし図７と異なる場合の転写層形成
および接着層形成の方法を示す図
【図９】図８の形成方法で得られる厚み分布を示す図
【図１０】本発明に関連する発明の一実施の形態における、接着層として感圧性接着剤を用いた場
合の接着層形成工程を示す図
【図１１】本発明に関連する発明の一実施の形態における、転写層として感圧性接着剤を用いた場
合の転写層形成工程を示す図
【図１２】従来技術の多層光情報記録媒体の製造方法の一部を示す図
【図１３】従来技術により製造された多層光情報記録媒体の断面図
【図１４】本発明の実施の形態の製造方法により製造された多層光情報記録媒体の断面図
【図１５】本発明の実施の形態の変形例を示す図
【符号の説明】
１００スタンパ
１０１、１０８、１００６、１１０６中心穴
１０２凹凸部
１０３転写層
１０５信号基板
１０６信号記録膜
１０７、７０６、８０４接着層
１０９転写された凹凸部
１１０分離層
２００、４０３、８０２紫外線硬化樹脂
２０１、４０１、７０１回転テーブル
２０２蓋
２０５、４００ノズル
２１０紫外線ランプ
４０２、７０３、１００１センターピン
４０４リング状の紫外線硬化樹脂
４０５延伸された接着層
６００固定台
６０１センターポスト
６０２吹き出し口
６１０くさび
６１５圧縮空気
６２０剥離前中間物
７０２テーブル
７０４真空ポンプ
７０５減圧チャンバ
８０１延伸された転写層
８０３硬化された転写層
１０００固定テーブル
１００５、１１０５感圧性接着剤
１０１０ローラ
１１００バルーン
１１０１エア[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
  The present invention relates to a method of manufacturing a multilayer optical information recording medium that performs recording and reproduction from one side having a separation layer between a plurality of signal recording layers.To the lawIt is related.
[0002]
[Prior art]
As a high-density optical information recording medium, a multilayer optical information recording medium having a plurality of signal recording surfaces in the thickness direction, such as a single-sided dual-layer playback DVD, has been proposed. For example, a single-sided dual-layer playback DVD has a light-reflective reflective layer made of gold, silicon, etc. on one information recording surface of two substrates and a reflection made of conventional aluminum or the like on the other information recording surface. Each layer is formed and bonded so that these information recording surfaces are inside.
[0003]
Further, in order to improve the surface recording density per layer, a blue-violet laser light source (wavelength around 400 nm) and a high NA lens are used, and a thin recording / reproducing side transparent cover layer having a thickness of 0.1 mm is used. A density optical information recording medium has been proposed. In this high-density optical information recording medium, a signal guide groove or pit is formed on the surface of a thick signal substrate, a rewritable recording multilayer film is formed thereon, and a transparent cover layer is further formed thereon. It has a structure. This thin transparent cover layer type high-density optical information recording medium may have two signal recording surfaces. The following method is mentioned as an example of the preparation method.
[0004]
(1) A separation layer is further formed using a UV curable resin on a thick substrate on which a signal guide groove or pit is formed on the surface and a rewritable recording multilayer film is formed. A second-layer signal guide groove or pit is formed on the surface.
[0005]
(2) A rewritable translucent recording multilayer film is formed on the signal guide groove or pit of the second layer.
[0006]
(3) A thin recording / reproducing side transparent cover layer having a thickness of 0.1 mm is formed.
[0007]
  As a specific manufacturing method (see, for example, Patent Document 1),As shown in FIG.For the step (1), a plastic stamper 2100 is used, and the first UV curable resin is applied and cured so as to cover the signal guide groove or pit on the stamper 2100. Thereafter, the second ultraviolet curable resin having different properties is used as the adhesive layer, and the substrate on which the first signal recording layer 2106 is formed and the cured first ultraviolet curable resin are bonded to each other. After the UV curable resin is cured, the stamper 2100 is peeled off. In this way, the separation layer 2110 is formed from the first ultraviolet curable resin and the second ultraviolet curable resin. If such a method is used, a thick signal substrate 2105 as a base is used as a base, and another signal recording layer 2106 and a plurality of signal recording layers 2106 are stacked thereon via a separation layer 2110. An information recording medium can be manufactured.
[0008]
[Patent Document 1]
JP 2002-260307 A
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, the thickness of the separation layer 2110 existing between the signal recording layers 2106 of the multilayer optical information recording medium needs to be uniform. If the thickness of the separation layer 2110 is uniform, the influence of the reflected light from the other signal recording layer 2106 received during recording or reproduction becomes constant in one signal recording layer 2106 before and after the separation layer 2110. When the reflected light from the other signal recording layer 2106 fluctuates, it becomes a disturbance component of the reproduction signal and S / N deteriorates. On the contrary, if the thickness of the separation layer 2110 is uniform, since the disturbance from the other signal recording layer 2106 is constant, recording or reproduction becomes stable, and the quality of the reproduction signal is improved.
[0010]
FIG. 12 shows changes over time in the dripping amount of the ultraviolet curable resin onto the signal substrate 2105 or the stamper 2100 and the signal substrate 2105 or the stamper in a state where the ultraviolet curable resin is dripped when the conventional multilayer optical information recording medium is manufactured. It is a figure which shows the rotation speed of 2100. As shown in FIG. 12, in the conventional manufacturing method, an ultraviolet curable resin is dropped near the center of the signal board 2105 or the stamper 2100, and after the dropping is finished, the signal board 2105 or the stamper 2100 is rotated. The ultraviolet curable resin was stretched outward from the vicinity of the central portion of the signal board 2105 or the stamper 2100 by centrifugal force.
[0011]
In the manufacturing method as described above, the thickness of the ultraviolet curable resin becomes thicker on the outer side than the center side of the stamper 2100 or the signal substrate 2105 due to the centrifugal force when the stamper 2100 or the signal substrate 2105 rotates. Therefore, as shown in FIG. 13, the separation layer 2110 formed by combining the ultraviolet curable resins having different properties also tends to increase in thickness from the center side toward the outside, and as described above, according to the conventional manufacturing method. The S / N ratio of the multilayer optical information recording medium was not satisfactory.
[0012]
  In view of the above-described problems of the conventional manufacturing method, the present invention can stably perform recording on a signal recording layer sandwiching a separation layer and reproduction from the signal recording layer, and can obtain a high-quality signal. Manufacture recording mediamethodThe purpose is to provide.
[0013]
[Means for Solving the Problems]
  A first aspect of the present invention for solving the above problems is a method of manufacturing a multilayer optical information recording medium,
  Thickness in the radial direction adjacent to the surface having a signal recording area having at least one of a guide groove and a pit on the stamperMigaTo changeHave a good distributionA first step of forming the (n + 1) th layer by spin coating;
  Thickness in radial direction adjacent to signal substrate with signal recording layerMigaTo changeHave a good distributionA second step of forming the nth layer by spin coating;
  A third step of superimposing the stamper and the signal substrate having the signal recording layer in a reduced pressure environment with the nth layer and the n + 1th layer facing each other,
  The thickness of the nth layer and the n + 1th layerMigaThe method of manufacturing a multilayer optical information recording medium is characterized in that increasing radial directions are opposite to each other, and a thickness obtained by superimposing the nth layer and the n + 1th layer is substantially uniform.
[0014]
  The second aspect of the present invention is the method for producing a multilayer optical information recording medium according to the first aspect of the present invention, wherein the (n + 1) th layer is cured in the first step.
[0015]
  The third aspect of the present invention providesThe method for producing a multilayer optical information recording medium according to the second aspect of the present invention, further comprising a fourth step of curing the n-th layer.
[0016]
  According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a radial thickness of the n + 1th layer.MigaThe outer peripheral portion is thinner than the inner peripheral portion, and the radial thickness of the nth layer isMigaThe method for producing a multilayer optical information recording medium according to any one of the first to third aspects, wherein the outer peripheral part is thicker than the inner peripheral part.
[0017]
  According to a fifth aspect of the present invention, the first step includes a step of dripping a resin on the lid and a step of rotating the stamper in a state where the substantially central hole of the stamper is covered. The method for producing a multilayer optical information recording medium according to any one of the first to fourth aspects of the present invention, wherein
[0018]
  The sixth aspect of the present invention is the method for producing a multilayer optical information recording medium according to the first aspect of the present invention, wherein the nth layer is cured in the second step.
[0019]
  The seventh aspect of the present invention is the method for producing a multilayer optical information recording medium according to the sixth aspect of the present invention, further comprising a fourth step of curing the n + 1th layer.
[0020]
  The eighth aspect of the present invention is the thickness in the radial direction of the (n + 1) th layer.MigaThe outer peripheral portion is thicker than the inner peripheral portion, and the radial thickness of the nth layer isMigaThe method for producing a multilayer optical information recording medium according to any one of the first, second, third, sixth and seventh aspects, wherein the outer peripheral portion is thinner than the inner peripheral portion.
[0021]
In a ninth aspect of the present invention, the second step includes one of a step of dripping a resin on the lid and a step of rotating the stamper in a state where the central hole at the substantially center of the signal board is covered. The multilayer optical information recording medium according to any one of the first, sixth, seventh, and eighth aspects of the present invention is characterized in that the first and second portions are simultaneously performed.
[0022]
A tenth aspect of the present invention is the method for producing a multilayer optical information recording medium according to any one of the first to ninth aspects, wherein at least one of the nth layer and the (n + 1) th layer is a radiation curable material. is there.
[0023]
In an eleventh aspect of the present invention, the difference between the film thicknesses of the inner and outer peripheral parts of the n-th layer and the film thickness difference of the inner and outer peripheral parts of the (n + 1) th layer are equal to each other. The method for producing a multilayer optical information recording medium according to any one of the first to tenth aspects of the present invention, wherein at least one coating condition of the (n + 1) th layer is set.
[0024]
  A twelfth aspect of the present invention is a multilayer optical information recording medium prepared in advance using any one of the first to eleventh manufacturing methods of the present invention, wherein the nth layer and the (n + 1) th layer are superposed. In the method for producing a multilayer optical information recording medium according to any one of the first to eleventh aspects of the present invention, the coating condition of at least one of the nth layer and the n + 1th layer is set based on a film thickness distribution. is there.
[0025]
A thirteenth aspect of the present invention is the method for producing a multilayer optical information recording medium according to any one of the first to twelfth aspects of the present invention, further comprising a fifth step of peeling the stamper from the n + 1th layer. .
[0049]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
  Hereinafter, the present inventionAnd inventions related to the present inventionThe embodiment will be described in detail with reference to the drawings.
[0050]
  (Embodiment 1)
  This embodiment will be described with reference to FIG. Here, the radial thickness of the transfer layer which is an example of the (n + 1) th layer of the present inventionMigaThe stamper (mold) is thicker at the inner peripheral portion and tends to be thinner as it becomes the outer periphery, and the thickness in the radial direction of the adhesive layer as an example of the nth layer of the present inventionMigaAn example of a case where the inner peripheral portion of the signal board tends to become gradually thicker as it becomes thinner and outer peripheral will be described.
[0051]
  FIG. 1 shows a conceptual diagram of the present invention. First, as shown in FIG. 1A, a transfer layer 103 is formed on an uneven portion 102 on the surface of a stamper 100 having a circular shape. The uneven portion 102 formed in the signal recording area has at least one of a guide groove and a pit. For example, a groove having a track pitch of 0.32 microns and a depth of 20 nm having wobbles indicating address information can be mentioned. A center hole 101 may be provided at the center of the stamper 100. The transfer layer 103 isIts thicknessIt is thicker at the inner periphery with respect to the radial direction of the stamper 100 and is gradually thinner toward the outer periphery.LikeIt is formed to have a distribution.
[0052]
  Next, as shown in FIG. 1B, a signal recording film 106 which is an example of the signal recording layer of the present invention is provided on the surface of the signal substrate 105. An adhesive layer 107 is formed between the surface of the signal substrate 105 where the signal recording film 106 is provided and the stamper 100 on which the transfer layer 103 is formed, and the stamper 100 and the signal substrate 105 are bonded. The signal board 105 may have a center hole 108. Here, the adhesive layer 107 isIts thicknessIt is thin at the inner periphery with respect to the radial direction, and gradually increases toward the outer periphery.LikeIt is formed to have a distribution. Between the transfer layer 103 and the adhesive layer 107.The radial direction of increasing thickness isSince the two are opposite to each other, the thickness of the two separation layers 110 isMihaIt becomes uniform. Finally, the stamper 100 is peeled off from the interface with the transfer layer 103 as shown in FIG. An uneven portion 109 transferred from the stamper 100 is formed on the surface of the transfer layer 103. The transfer layer 103 is a layer for transferring the concavo-convex portion 102 on the stamper 100, but it is necessary to appropriately select each material so that peeling at the interface between the transfer layer 103 and the stamper 100 is easy.
[0053]
As described above, the separation layer 110 having a uniform thickness in the radial direction is obtained. After the signal recording film 3001 is formed on the transferred concavo-convex portion 109 of the separation layer 110, a separation layer or a protective layer 3000 is further formed. The above is the outline of the present invention. The signal substrate 105 may have another signal recording layer under the signal recording film 106 (not shown). That is, the signal recording film 106 may be formed on the separation layer.
[0054]
Hereafter, each process of Fig.1 (a)-(c) is demonstrated in detail.
[0055]
First, the transfer layer forming step will be described using an example. FIGS. 2 and 3 show the case where the transfer layer is formed by spin coating using the ultraviolet curable resin as an example of the radiation curable material of the present invention as the material of the transfer layer. A stamper 100 having a center hole 101 as shown in FIG. The diameter of the center hole 101 is 15 mm, and the outer diameter of the stamper 100 is 120 mm. Here, since the ultraviolet curable resin is used as the material of the transfer layer, the stamper is preferably made of a plastic that is transparent to some extent with respect to ultraviolet rays, such as acrylic resin, olefin resin, polycarbonate, norbornene resin.
[0056]
Next, the stamper 100 is placed on the rotary table 201 as shown in FIG. The rotary table 201 fixes the stamper 100 by a method such as vacuum suction. The center hole 101 is covered with a lid 202. The outer shape of the lid 202 may be in the range of 15 mm to 42 mm in diameter, but here the diameter is 22 mm. The nozzle 205 is disposed on the lid 202, and the ultraviolet curable resin 200, which is the material of the transfer layer, starts to be dropped. Before the dropping, the rotary table 201 may be rotating. The ultraviolet curable resin 200 has a viscosity of 150 mPa · s. As the ultraviolet curable resin 200, as shown in FIG. 1C, it is necessary to select a material that easily peels at the interface with the stamper 100. For example, an acrylic material that undergoes radical polymerization upon irradiation with ultraviolet rays can be used. The dropping time of the resin is 9 sec. Almost simultaneously with the dropping, the rotary table 201 is rotated as shown in FIG. The initial 6 seconds is a low speed, the subsequent rotation speed is 2000 rpm, and the rotation time at 2000 rpm is 10 seconds. Therefore, the rotation continues for 7 seconds after the dropping is completed. After the rotation, the rotary table 201 stops.
[0057]
  FIG. 3 shows the process after stopping. FIG. 3A shows a state immediately after stopping. The stamper tends to be thicker at the inner periphery of the stamper and gradually thinner toward the outer periphery. FIG. 3B shows the thickness of the transfer layer in the radial direction. The thickness is about 15 microns near a radius of 20 mm, but it becomes thinner as it moves away from the center in the radial direction, and becomes about 13 microns at a point of 58 mm in the radial direction from the center. Such thickness distribution can be controlled by the dropping time of the ultraviolet curable resin, the number of rotations of the rotary table at the time of dropping, and the rotation time after the dropping is stopped. As the rotation speed and rotation time increase, the radial thickness increases.MinoThe change is small and uniform throughout.
[0058]
Finally, as shown in FIG. 3C, the lid 202 is removed from the stamper 100 and the ultraviolet curable resin 200 is cured by the ultraviolet lamp 210 to obtain the transfer layer 103. The purpose of removing the lid 202 before curing is to prevent the ultraviolet curable resin 200 from solidifying after curing and making it difficult to remove the lid 202. The lid 202 may be removed by a robot arm, or a part of the lid may be made of a magnetic material and lifted using a magnet. In FIG. 3C, curing is performed on the rotary table 201, but curing may be performed by moving the stamper 100 to a different table provided with an ultraviolet lamp. As the ultraviolet lamp 210, a metal halide lamp, a mercury lamp, a xenon lamp, or the like can be used.
[0059]
Next, the process of forming the adhesive layer will be described using an example. Here, a case where an ultraviolet curable resin is used as the adhesive layer will be described. As the ultraviolet curable resin, it is necessary to select a material for the signal substrate, a material for the signal recording layer, and a material having a strong adhesive force with the transfer layer 103. For example, an acrylic material is mentioned. FIG. 4 shows a case where the adhesive layer is stretched by spin. As shown in FIG. 4A, first, the signal substrate 105 on which the signal recording film 106 is formed is arranged and fixed on the rotary table 401. The signal board 105 has an outer diameter of 120 mm, the center hole has a diameter of 15 mm, and is made of a plastic such as polycarbonate, acrylic, or olefin. The signal recording film 106 may be, for example, a phase change film such as GeSbTe or AgInSbTe, a recording film such as a magnetic film or a dye film, and a dielectric film such as ZnS sandwiching them, a metal reflective film, or the like. In general, the film is formed by sputtering or vapor deposition.
[0060]
Fixing to the rotary table 401 is performed by vacuum suction of the contact surface with the signal substrate 105. The turntable 401 has a center pin 402 that fits into the center hole 108, and the signal board 105 is centered. The rotary table 401 is rotated, and the ultraviolet curable resin 403 is dropped from the nozzle 400 arranged at a radius of 20 to 30 mm on the signal substrate 105. Here, an acrylic resin having a viscosity of 450 mPa · s is used as the ultraviolet curable resin 403. Since the signal substrate 105 is rotated, the ultraviolet curable resin 403 becomes ring-shaped.
[0061]
Next, the stamper 100 obtained from the steps shown in FIGS. 2 and 3 is overlaid on the signal substrate 105. As shown in FIG. 4B, a ring-shaped ultraviolet curable resin 404 is formed on the signal substrate 105, and the stamper 100 is overlaid so that the transfer layer 103 contacts the ring-shaped ultraviolet curable resin 404 from above. Combine. Since the center hole 101 of the stamper 100 has a diameter of 15 mm, it fits with the center pin 402 so that the signal board 105 and the center of the stamper 100 are aligned with each other. The superposition may be performed under a reduced pressure environment in order to prevent bubbles that may be mixed when the transfer layer 103 and the ring-shaped ultraviolet curable resin 404 come into contact with each other.
[0062]
Next, as shown in FIG. 4C, the turntable 401 is rotated at a high speed to stretch the ultraviolet curable resin over the entire surface. Here, it rotates for 30 seconds at a high speed of 5000 rpm. As a result, a stretched adhesive layer 405 is formed between the transfer layer 103 and the signal substrate 105. In order to perform the peeling stably in the subsequent peeling step, it is necessary to prevent the stretched adhesive layer 405 from directly contacting the stamper 100 as shown in FIG. After stretching, as in FIG. 3C, the adhesive layer 405 stretched from the stamper 100 side is cured by an ultraviolet lamp. Since the stamper 100 is transparent, it can be cured.
[0063]
  FIG. 5 shows the thickness distribution of the obtained adhesive layer and the thickness distribution of the separation layer composed of the transfer layer and the adhesive layer. The thickness of the adhesive layer as shown in FIG.MihaCentrifugal force due to high-speed rotation is 10 microns at the inner periphery, gradually thicker toward the outer periphery, and 12.5 microns at the outer periphery. In addition, the thickness distribution of the separation layer composed of the transfer layer and the adhesive layer is FIG. 5 (b), and FIG. 3 (b) and FIG. 5 (a) are added.Thickness isIt is in the range of 24.5 ± 0.5 microns from the inner periphery to the outer periphery, and becomes very uniform.
[0064]
Finally, FIG. 6 shows the stamper peeling process. Here, the peeling method using a wedge and compressed air is shown. As shown in FIG. 6A, the pre-peeling intermediate 620 obtained by bonding the stamper 100 and the signal substrate 105 obtained in the bonding process is fixed on the fixing table 600. The fixing method is preferably vacuum suction. The fixed base 600 has a center post 601, and a blowout port 602 is provided in a part thereof.
[0065]
Next, as shown in FIG. 6B, the wedge 610 is taken out from the center post 601 and inserted into the interface between the stamper 100 and the transfer layer 103. At this time, the transfer layer 103 may be slightly scraped by the wedge 610. After the wedge 610 is inserted, the compressed air 615 is blown out from the blowout port 602. The compressed air 615 enters the interface between the stamper 100 in which the wedge 610 is inserted and the transfer layer 103 and starts to peel off the stamper 100. After waiting for a while, the stamper 100 is cleanly peeled off at the interface of the transfer layer 103 as shown in FIG. 6C, and the uneven portion 109 transferred to the surface of the separation layer 110 (the surface of the transfer layer 103) is exposed. In FIG. 6B, when the separation does not proceed only with the compressed air 615, the separation can be more efficiently performed by lifting the stamper 100 from above.
[0066]
In order to complete the peeled signal substrate as a multilayer optical information recording medium, a signal recording layer is further formed on the transferred uneven portion 109 by sputtering after the peeling step of FIG. Further, a transparent cover layer (for example, a thickness of 75 microns) needs to be uniformly formed thereon. The method of forming the transparent cover layer includes a method of sticking a transparent film having a thickness accuracy higher than the thickness of the desired transparent cover layer with a transparent adhesive, and a method of directly forming a layer with a desired thickness with a transparent overcoat agent. is there. In the multilayer optical information recording medium manufactured by the method described in the above embodiment, since the separation layer separating the signal recording layers is uniform, the signal adjacent to the signal recording layer on which recording and reproduction are performed is performed. The influence of stray light from the recording layer is constant at any radial position, stable recording and reproduction are possible, and a high-quality and stable signal can be obtained at any radial position.
[0067]
In this embodiment, an ultraviolet curable resin is used for both the transfer layer and the adhesive layer, but a thermosetting material may be used. At this time, as the material of the stamper, for example, it is necessary to select a metal having high heat resistance such as a metal such as nickel and iron, or an ABS resin if it is plastic.
[0068]
In FIG. 4, the stamper 100 is overlaid from the top of the signal board 105. However, the signal board 105 may be overlaid from above by placing the stamper 100 downward. Further, although the UV curable resin 403 for the adhesive layer is dropped on the signal substrate 105, it may be dropped on the transfer layer 103 on the stamper 100. Either the signal board 105 or the stamper 100 may be overlapped from above. Further, the ultraviolet curable resin 403 for the adhesive layer may be dropped on both the signal substrate 105 and the stamper 100. In any case, the rotation condition may be determined so as to obtain a desired thickness distribution of the adhesive layer in consideration of the wettability between the UV curable resin for the adhesive layer and the surface to be dropped.
[0069]
(Embodiment 2)
In the second embodiment, a second adhesive layer forming step different from the adhesive layer forming method shown in FIG. 4 will be described. FIG. 7 shows a conceptual diagram thereof. As shown in FIG. 7A, the signal substrate 105 is held on the rotary table 701 by the same method as in FIG. 4A, and the ring-shaped ultraviolet curable resin 404 is disposed. However, the dropping position is on the inner side than in the case of Embodiment 1, and is a position with a radius of 15 mm. The UV curable resin for the adhesive layer may be the same as that in the first embodiment.
[0070]
Next, as shown in FIG. 7B, the rotary table 701 is rotated at a high speed. As a result, a stretched adhesive layer 405 is formed on the signal substrate 105. The rotation condition is 20 seconds at 5000 rpm. Under these conditions, the same thickness distribution as shown in FIG. 5A can be obtained. Next, as shown in FIG. 7C, the stamper 100 formed with the transfer layer 103 obtained in FIG. 3C and the signal substrate 105 formed with the adhesive layer 706 are introduced into the decompression chamber 705. Superimpose under reduced pressure. The transfer layer 103 and the adhesive layer 706 are overlapped so as to be in contact with each other. Within the decompression chamber 705 is a table 702 for fixing the signal substrate 105. The table 702 has a center pin 703 so that the stamper 100 stacked from above and the fixed signal board 105 can be aligned with the center.
[0071]
The inside of the decompression chamber 705 is decompressed by the vacuum pump 704 after the signal substrate 105 and the stamper 100 are introduced. Since the layers are overlapped under reduced pressure, no bubbles are mixed between the transfer layer 103 and the adhesive layer 706. After the overlapping, the decompression chamber 705 is opened to the atmosphere and air is introduced. Then, the signal substrate 105 and the stamper 100 are taken out, and the adhesive layer 706 is cured using the ultraviolet lamp 210 as shown in FIG. After curing, the stamper 100 is peeled off by the method shown in FIG. Since the steps after peeling are the same as those shown in Embodiment Mode 1, they are omitted here.
[0072]
In the second embodiment, the adhesive layer 706 is formed on the signal substrate 105 and overlapped with the stamper 100. However, the adhesive layer 706 is formed on the transfer layer 103, and the signal substrate without the adhesive layer is formed. 105 may be superimposed. Further, an adhesive layer may be formed on both the signal substrate 105 and the stamper 100 and overlapped. In any case, the rotation condition may be determined so as to obtain a desired thickness distribution of the adhesive layer in consideration of the wettability between the UV curable resin for the adhesive layer and the surface to be dropped.
[0073]
Further, after the process shown in FIG. 7C, the signal substrate 105 and the stamper 100 superimposed from the decompression chamber 705 are taken out and introduced into the pressurization chamber, and minute bubbles (the inside is decompressed air by an autoclave). ) May be crushed.
[0074]
  (Embodiment 3)
  In the third embodiment, the radial thickness of the transfer layerMigaThe stamper tends to become thicker as it becomes thinner at the inner periphery, and the thickness of the adhesive layer in the radial directionMigaAn example in the case where the inner peripheral portion of the signal board is thicker and tends to become thinner gradually as it becomes the outer periphery will be described. The transfer layer is formed in the same manner as in FIGS. 7A and 7B, and the adhesive layer is formed in substantially the same manner as that shown in FIGS. First, an outline of the process will be described with reference to FIG.
[0075]
First, the transfer layer is formed. As shown in FIG. 8A, an ultraviolet curable resin for a transfer layer is dropped onto the stamper 100 fixed to the rotary table 701, and the rotary table 701 is rotated to stretch the ultraviolet curable resin. The same stamper 100 as that used in the first and second embodiments can be used. The ultraviolet curable resin may be the same resin as in the first and second embodiments. The dropping position is a position having a radius of 11 mm. The rotation is 4000 rpm and the rotation time is 5 sec. After the rotation is stopped, the transfer layer 801 stretched by the ultraviolet lamp is cured. FIG. 9A shows the thickness distribution of the stretched transfer layer 801. The thickness tends to gradually increase to 8 microns at the inner periphery and 10 microns at the outer periphery.
[0076]
Next, adhesion to the signal board. As shown in FIG. 8B, the signal substrate 105 on which the signal recording film 106 is formed is fixed on the rotary table 201 in the same manner as the method described in FIGS. 2 and 3, and the center hole 108 has a diameter of 22 mm. The cover 202 is closed, and an ultraviolet curable resin 802 for the adhesive layer is applied from the nozzle 205. The rotary table 201 is rotated while dripping the ultraviolet curable resin 802. At this time, the signal board 105 may be the same as in the first and second embodiments. Unlike the first embodiment, the ultraviolet curable resin 802 is 200 mPa · s acrylic resin. The dropping time of the resin is 9 sec. The initial 6 seconds is a low speed, the subsequent rotation speed is 2000 rpm, and the rotation time is 10 seconds. After the rotation is stopped, the lid 202 is removed. The thickness distribution of the obtained adhesive layer 804 is as shown in FIG. It is 17 microns at the inner periphery and 15-16 microns at the outer periphery. This means that the rotation conditions are controlled so as to gradually become thinner toward the outer periphery.
[0077]
  Finally, the stamper on which the signal substrate 105 and the cured transfer layer 803 are formed without curing the ultraviolet curable resin 802 is introduced into a decompression chamber as shown in FIG. Overlapping. The inside of the decompression chamber 705 is decompressed by a vacuum pump 704. The center of the signal board 105 and the center of the stamper 100 are aligned by the center pin 703 of the table 702. OverlappingWasaThe signal substrate 105 and the stamper 100 are irradiated with ultraviolet rays to cure the adhesive layer 804. After curing, the stamper 100 is peeled off by the method shown in FIG. FIG. 9C shows the thickness distribution of the obtained separation layer (a layer composed of a transfer layer and an adhesive layer). Since the thickness distribution in the radial direction of the transfer layer 103 and the adhesive layer 804 is controlled, the thickness of the obtained separation layerMihaEnter the range of 25.5 ± 0.5 micronsDistribution,Very uniform.
[0078]
Note that the steps after peeling are the same as those shown in Embodiment Mode 1 and are therefore omitted here.
[0079]
In the third embodiment, the adhesive layer 804 is formed on the signal substrate 105 in order to stably produce it. However, the signal substrate without the adhesive layer is formed on the cured transfer layer 803 on the stamper 100. And may be superimposed. Further, the adhesive layer 804 is formed on the signal substrate 105, the lid 202 is removed and cured, and then the stretched transfer layer 801 in FIG. 8A is superimposed in the decompression chamber 705 without curing. May be.
[0080]
In this case, the transfer layer 801 stretched with ultraviolet rays after being stacked is cured, but it is an essential condition that the ultraviolet curable resin for the transfer layer has a sufficiently strong adhesive force with the cured adhesive layer. Otherwise, in the peeling process, peeling cannot be performed well at the interface between the stamper 100 and the transfer layer. In any case, it is important to determine the rotation conditions so that the thickness distribution of the transfer layer or adhesive layer to be applied becomes a desired one.
[0081]
Further, after FIG. 8C, the signal substrate 105 and the stamper 100 superimposed from the decompression chamber 705 are taken out, introduced into the pressurizing chamber, and tiny bubbles (internally decompressed air) are crushed by an autoclave. Also good.
[0082]
  (Embodiment 4)
  Of the invention related to the present inventionIn the fourth embodiment, a case where the transfer layer or the adhesive layer is a pressure-sensitive adhesive will be described.
[0083]
The first example is a case where the transfer layer is an ultraviolet curable resin as in the first to third embodiments, and the adhesive layer is a pressure-sensitive adhesive. The transfer layer is formed in the same manner as in FIG. The method of FIG. 8A is easier than the method shown in FIGS. 2 and 3 because no lid is used. If the same UV curable resin for the transfer layer as that in Embodiment 3 is used, the thickness distribution will be the same as in FIG. The method for forming the transfer layer is the same as described above, and is therefore omitted. When a pressure-sensitive adhesive is used as the adhesive layer, the pressure-sensitive adhesive needs to be disk-shaped in advance.
[0084]
  The thickness distribution of the pressure sensitive adhesive needs to be controlled as shown in FIG. Since the pressure-sensitive adhesive is semi-solid, it is generally easy to control the thickness distribution. FIG. 10 shows a method for producing a separation layer when a pressure-sensitive adhesive is used as an adhesive layer. FIG. 10A shows a method of attaching a pressure sensitive adhesive 1005 to the signal substrate 105. The pressure sensitive adhesive 1005 has a center hole 1006, andIts thicknessTo gradually become thinner from the inner periphery to the outer peripheryMinuteI have a cloth. Since the center hole 1006 is provided, the center pin 1001 of the fixed table 1000 can be aligned with the center of the signal board 105. The pressure-sensitive adhesive 1005 is applied by the roller 1010 from the outer peripheral edge of the signal substrate 105 to the other outer peripheral edge in order. The roller 1010 is desirably a rubber that has been subjected to a surface treatment (for example, fluorination treatment) that does not stick to the pressure-sensitive adhesive 1005. Since rubber is elastic, it is difficult for air bubbles to be mixed between the pressure-sensitive adhesive 1005 and the signal board 105 even in the atmosphere.
[0085]
  The process of FIG. 10A may be performed in a decompression chamber. If the pressure pressing the roller 1010 against the pressure sensitive adhesive 1005 is sufficiently high, the pressure sensitive adhesive 1005 can be embedded in the concavo-convex portion on the signal substrate. Further, a protective film for preventing sticking to the roller 1010 may be provided on the surface of the pressure-sensitive adhesive 1005 that is in contact with the roller 1010. FIG. 10B is a diagram illustrating a state in which the stamper 100 on which the cured transfer layer 803 is formed is overlaid in the decompression chamber 705. The procedure is the same as that shown in the second and third embodiments. Needless to say, if the pressure sensitive adhesive 1005 has a protective film, it must be peeled off before this step. After the superposition, the pressure-sensitive adhesive 1005 may be cured if it has characteristics such as ultraviolet curing and can be cured. Finally, a peeling process is performedMigaA uniform separation layer can be obtained.
[0086]
  The second example is a case where the transfer layer is an ultraviolet curable pressure sensitive adhesive and the adhesive layer is an ultraviolet curable resin. The adhesive layer is the same as in FIGS. 7 (a) and (b). Here, the description is omitted. FIG. 11 shows a method in which the pressure-sensitive adhesive 1105 for the transfer layer is overlaid on the stamper 100 by the balloon 1100. Pressure sensitive adhesive 1105, Its thicknessThinner from the inner circumference to the outer circumferenceMinuteIt is formed to have a cloth. As shown in FIG. 11A, the pressure sensitive adhesive 1105 has a center hole 1106 and is aligned with the center of the stamper 100 by the center pin 1001 of the fixed table 1000. The balloon 1100 is lowered from above the center of the fixed table 1000, and air 1101 is gradually introduced. The balloon 1100 is desirably a rubber that has been subjected to a surface treatment (eg, fluorination treatment) that does not stick to the pressure-sensitive adhesive 1105.
[0087]
When air 1101 is introduced into the balloon 1100, the elastic balloon 1100 expands as shown in FIG. 11B, and the pressure-sensitive adhesive 1105 is brought into contact with the stamper 100 from the center of the stamper 100 to the outer peripheral end. . By making the pressure-sensitive adhesive 1105 gradually come into contact with the stamper 100 from the elasticity and the center of the balloon 1100, it is possible to prevent air bubbles from entering the interface between the pressure-sensitive adhesive 1105 and the stamper 100. Further, since the pressure-sensitive adhesive 1105 is pressed by the balloon 1100, it is embedded in the uneven portion 102 on the stamper 100. After this step, the pressure sensitive adhesive 1105 is cured by ultraviolet irradiation. By curing, the uneven portion 102 formed on the pressure-sensitive adhesive 1105 is not deformed even in the peeling step. After the pressure-sensitive adhesive is cured, the signal substrate and the adhesive layer are cured in the same manner as in the method shown in FIG.
[0088]
In the fourth embodiment, a case where a roller is used as the adhesive layer forming method and a balloon is used as the transfer layer forming method has been described. However, a balloon may be used as the adhesive layer forming method, and a roller may be used as the transfer layer forming method.
[0089]
  In the fourth embodiment, only the case where the adhesive layer or the transfer layer is a pressure-sensitive adhesive has been described. However, both the adhesive layer and the transfer layer may be a pressure-sensitive adhesive. Also, the thickness of the UV curable resin described aboveMigaThe thickness of the pressure-sensitive adhesive is controlled so that it gradually decreases from the inner periphery to the outer periphery.SeeYou may control so that it may become thick gradually from an inner periphery to an outer periphery.
[0090]
The method and apparatus for producing a multilayer optical information recording medium in the above description can control the thickness distribution of the separation layer having the transfer layer and the adhesive layer, and can make the thickness of the separation layer uniform. Thereby, recording and reproduction of the signal recording layer sandwiching the separation layer can be performed stably, and a high-quality signal can be obtained. Moreover, a production margin can be obtained for the uneven thickness of the separation layer, and mass productivity can be improved.
[0091]
An example of the multilayer optical information recording medium 3002 manufactured in this way is shown in FIG. Thus, when the cross section of the multilayer optical information recording medium manufactured by the manufacturing method according to the embodiment of the present invention is viewed, the interface between the transfer layer 103 and the adhesive layer 107 constituting the separation layer 110 is inclined from the center toward the outside. It can be seen that the separation layer 110 has a constant thickness in the radial direction. In this case, the degree of obliqueness varies depending on the manufacturing conditions, and in some cases, this interface may be substantially horizontal.
[0092]
In the above description, the thickness distribution in the radial direction of each transfer layer and each adhesive layer may be controlled so as to supplement each other, or the thickness distribution of one layer may be controlled by the thickness distribution of the other layer. The thickness may be controlled in consideration of the thickness distribution, and if the total thickness of each transfer layer and each adhesive layer is uniform in the radial direction, the same effect as in the above case can be obtained. In addition, the thickness of each transfer layer and each adhesive layer in the radial directionMigaIt may be uniform.
[0093]
In the above description, the separation layer is composed of two layers, that is, each transfer layer and each adhesive layer. However, the separation layer may be composed of a plurality of three or more layers. In that case, for example, when the separation layer includes three layers, the signal board of the present invention corresponds to the signal board 105 and the (n-1) th layer formed on the signal board 105. When the separation layer is composed of m layers, the signal board of the present invention corresponds to a layer in which the signal board 105 and the first to n−1th layers are laminated. FIG. 15 shows an example of a signal board in such a case.
[0094]
In addition, when the n + 1 layer and the n layer are formed and the thickness distribution of one of the layers is controlled in consideration of the thickness distribution of the other layer, for example, the thickness distribution in the previous production lot is considered. However, the case of controlling the thickness distribution of the one layer is also included. In that case, one thickness distribution may be controlled while taking into account the thickness distribution in the prototype as the first production lot.
[0095]
In the first to fourth embodiments, the case where there is only one separation layer has been described. However, the present invention is not limited to this case, and there may be a plurality of separation layers. It can be applied to at least one of the separation layers.
[0096]
As in the case of the second and third embodiments, the signal substrate 105 and the stamper 100 superimposed from the decompression chamber 705 are taken out from the decompression chamber 705 after FIG. You may crush a micro bubble (the inside is decompression air).
[0097]
  As described above, the first to fourth embodiments have mainly described the embodiment of the method for producing a multilayer optical information recording medium of the present invention.Related to the inventionThe apparatus for producing a multilayer optical information recording medium is constituted by components such as rotating tables and nozzles used in the steps shown in FIGS. 2 to 4, FIGS. 6 to 8, FIGS. 10 and 11.
[0098]
In the above description, the signal recording layer of the present invention is the signal recording film 106. However, the signal recording layer of the present invention may be constituted by guide grooves or pits.
[0099]
In the above description, the radiation curable material of the present invention has been described as being an ultraviolet curable resin, but other materials that are cured by radiation may be used.
[0100]
【The invention's effect】
  As described above, the method for producing the multilayer optical information recording medium of the present inventionLaw isRecording to the signal recording layer sandwiching the separation layer and reproduction from the signal recording layer can be performed stably, and a high-quality signal can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram showing a method for manufacturing a multilayer optical information recording medium according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing an example of a transfer layer coating method in a transfer layer forming step according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 shows an example of a method for curing the transfer layer and the thickness obtained in the transfer layer forming step according to the embodiment of the present invention.
Figure showing distribution
FIG. 4 is a diagram showing an example of an adhesive layer forming step in an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a view showing the thickness distribution of an adhesive layer and a separation layer obtained as a result of the steps of FIGS. 2, 3 and 4;
FIG. 6 is a diagram showing an example of a stamper peeling process according to an embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a diagram showing a second example of an adhesive layer forming step in one embodiment of the present invention.
FIG. 8 shows the formation of a transfer layer when the thickness distribution is different from that in FIGS.
Showing the method of forming the adhesive layer
9 is a view showing a thickness distribution obtained by the forming method of FIG.
FIG. 10 shows the present invention.Inventions related toIn one embodiment, a pressure-sensitive adhesive is used as the adhesive layer.
Diagram showing the process of forming an adhesive layer
FIG. 11 shows the present invention.Inventions related toIn one embodiment, a pressure-sensitive adhesive is used as the transfer layer.
Diagram showing transfer layer formation process
FIG. 12 is a view showing a part of a conventional method for producing a multilayer optical information recording medium.
FIG. 13 is a cross-sectional view of a multilayer optical information recording medium manufactured by a conventional technique.
FIG. 14 is a cross-sectional view of a multilayer optical information recording medium manufactured by the manufacturing method according to the embodiment of the present invention.
FIG. 15 is a diagram showing a modification of the embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
100 stamper
101, 108, 1006, 1106 Center hole
102 Concavity and convexity
103 Transfer layer
105 signal board
106 Signal recording film
107, 706, 804 Adhesive layer
109 Concavity and convexity transferred
110 Separation layer
200, 403, 802 UV curable resin
201, 401, 701 Rotary table
202 lid
205, 400 nozzles
210 UV lamp
402, 703, 1001 Center pin
404 Ring-shaped UV curable resin
405 Stretched adhesive layer
600 fixed base
601 Center post
602 Outlet
610 wedge
615 compressed air
620 Intermediate before peeling
702 table
704 vacuum pump
705 vacuum chamber
801 Stretched transfer layer
803 Cured transfer layer
1000 fixed table
1005, 1105 pressure sensitive adhesive
1010 Roller
1100 balloon
1101 Air

Claims

多層光情報記録媒体の製造方法であって、
スタンパの上の、案内溝とピットの少なくとも一つを有する信号記録領域を有する面に隣接して、半径方向に厚みが変化するような分布をする第ｎ＋１層をスピンコート法で形成する第１の工程と、
信号記録層を有する信号基板に隣接して半径方向に厚みが変化するような分布をする第ｎ層をスピンコート法で形成する第２の工程と、
前記スタンパと、前記信号記録層を有する信号基板とを、前記第ｎ層と前記第ｎ＋１層を対向させて減圧環境下で重ね合わせる第３の工程と、を含み、
前記第ｎ層と前記第ｎ＋１層の厚みが増加する半径方向が互いに逆であり、前記第ｎ層および前記第ｎ＋１層を重ね合わせた厚みが実質上均一であることを特徴とする多層光情報記録媒体の製造方法。A method for producing a multilayer optical information recording medium, comprising:
On the stamper, and adjacent to the surface having the signal recording region having at least one guide groove and the pit, the first n + 1 layer to a distribution such as Thickness radially varying first formed by spin coating 1 process,
A second step of forming a first n-layer of the distribution as Thickness radially adjacent to the signal substrate having the signal recording layer is changed by a spin coating method,
A third step of superimposing the stamper and the signal substrate having the signal recording layer in a reduced pressure environment with the nth layer and the n + 1th layer facing each other,
Wherein said n-th layer are radially opposite each other Thickness of the n + 1 layer is increased, a multilayer optical wherein the n-th layer and the thickness of superposed said first n + 1 layer is characterized by a substantially uniform A method for manufacturing an information recording medium.

前記第１の工程で第ｎ＋１層を硬化させることを特徴とする請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。 2. The method of manufacturing a multilayer optical information recording medium according to claim 1, wherein the (n + 1) th layer is cured in the first step.

前記第ｎ層を硬化させる第４の工程を更に含むことを特徴とする請求項２に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。 The method for producing a multilayer optical information recording medium according to claim 2, further comprising a fourth step of curing the n-th layer.

前記第ｎ＋１層の半径方向の厚みが、内周部より外周部の方が薄く、前記第ｎ層の半径方向の厚みが、内周部より外周部の方が厚いことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。 Thickness of the radial direction of the first n + 1 layers, towards the outer periphery than the inner periphery is thin, Thickness of the radial direction of the n-th layer, characterized in that towards the outer periphery than the inner periphery is thick The manufacturing method of the multilayer optical information recording medium as described in any one of Claims 1-3.

前記第１の工程は、前記スタンパの実質上中心の中心穴に蓋をした状態で、前記蓋上に樹脂を滴下する工程と前記スタンパを回転させる工程との一部が同時に行われることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。 In the first step, a part of the step of dripping a resin on the lid and the step of rotating the stamper are performed at the same time in a state where the substantially central hole of the stamper is covered. The manufacturing method of the multilayer optical information recording medium as described in any one of Claims 1-4.

前記第２の工程で第ｎ層を硬化させることを特徴とする請求項１に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。 2. The method of manufacturing a multilayer optical information recording medium according to claim 1, wherein the nth layer is cured in the second step.

前記第ｎ＋１層を硬化させる第４の工程を更に含むことを特徴とする請求項６に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。 The method of manufacturing a multilayer optical information recording medium according to claim 6, further comprising a fourth step of curing the n + 1th layer.

前記第ｎ＋１層の半径方向の厚みが、内周部より外周部の方が厚く、前記第ｎ層の半径方向の厚みが、内周部より外周部の方が薄いことを特徴とする請求項１、２、３、６、７のいずれか一項に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。 Thickness of the radial direction of the first n + 1 layers, towards the outer periphery than the inner periphery is thick, Thickness of the radial direction of the n-th layer, characterized in that towards the outer periphery than the inner periphery is thin The method for producing a multilayer optical information recording medium according to any one of claims 1, 2, 3, 6, and 7.

前記第２の工程は、前記信号基板の実質上中心の中心穴に蓋をした状態で、前記蓋上に樹脂を滴下する工程と前記スタンパを回転させる工程との一部が同時に行われることを特徴とする請求項１、６、７、８のいずれか一項に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。 In the second step, a part of the step of dripping the resin on the lid and the step of rotating the stamper are performed at the same time in a state where the central hole at the substantially center of the signal board is covered. The method for producing a multilayer optical information recording medium according to any one of claims 1, 6, 7, and 8.

前記第ｎ層と前記第ｎ＋１層の少なくとも一方が放射線硬化材料であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。 10. The method for producing a multilayer optical information recording medium according to claim 1, wherein at least one of the nth layer and the n + 1th layer is a radiation curable material.

前記第ｎ層の内周部と外周部の膜厚差と、前記第ｎ＋１層の内周部と外周部の膜厚差が等しくなるように、前記第ｎ層と前記第ｎ＋１層の少なくとも一方の塗布条件を設定することを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。 At least one of the n-th layer and the n + 1-th layer so that the film thickness difference between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the n-th layer is equal to the film thickness difference between the inner peripheral portion and the outer peripheral portion of the n + 1-th layer. The method for producing a multilayer optical information recording medium according to claim 1, wherein the coating condition is set.

請求項１〜１１のいずれか一項に記載の製造方法を用いて事前に作成された多層光情報記録媒体の、前記第ｎ層と前記第ｎ＋１層を重ね合わせた層の膜厚分布に基づいて、前記第ｎ層と前記第ｎ＋１層の少なくとも一方の塗布条件を設定することを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。 Based on the film thickness distribution of the layer in which the n-th layer and the n + 1-th layer are overlapped in a multilayer optical information recording medium prepared in advance using the manufacturing method according to claim 1. The method for producing a multilayer optical information recording medium according to claim 1, wherein at least one coating condition of the n-th layer and the n + 1-th layer is set.

前記スタンパと前記第ｎ＋１層を剥離する第５の工程を更に含むことを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の多層光情報記録媒体の製造方法。 The method for producing a multilayer optical information recording medium according to any one of claims 1 to 12, further comprising a fifth step of peeling the stamper and the (n + 1) th layer.