JP4107502B2 - レーザ熱転写装置,レーザ熱転写方法,及び有機電界発光素子の製造方法 - Google Patents
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Description
50 アクセプタ基板
70 ドナー基板
150 ラミネーションユニット
155 透明窓
143 フィルム供給手段
144 フィルム巻き取り手段
130 レーザ照射装置
120 光学ステージ
Claims (53)
- アクセプタ基板を固定させるチャックと,
前記チャック上に位置し,空洞(cavity)と,該空洞に圧縮ガスを注入するためのガス注入口と,前記空洞に注入されたガスを前記基板上に排出するガス排出口とを有する胴体を備え,前記アクセプタ基板上にドナーフィルムを密着させるラミネーションユニットと,
前記ラミネーションユニット上に位置し,前記ラミネーションユニットを貫通して,前記密着させられたドナーフィルム上にレーザビームを照射するレーザ照射装置と,
を含むことを特徴とする,レーザ熱転写装置。 - 前記レーザ照射装置は,前記ラミネーションユニットの空洞及びガス排出口を介して前記ドナーフィルム上にレーザビームを照射することを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ラミネーションユニットは,前記胴体の上部の一部分に設けられ且つ前記空洞に当接する光透過窓をさらに備えることを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ガス注入口は,前記胴体の側壁を貫通することを特徴とする,請求項3に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ガス注入口は,前記ラミネーションユニット胴体の上部を貫通し,前記ガス排出口は,前記ラミネーションユニット胴体の下部を貫通することを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ラミネーションユニットは,前記胴体の外周部に,前記チャック上に排出されたガスを排気する排気口をさらに備えることを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記排気口は,排気ポンプに連結されることを特徴とする,請求項6に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ラミネーションユニット胴体の側壁は,上部側壁及び下部側壁を備え,前記上部側壁及び前記下部側壁は,弾性体により互いに連結されることを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ラミネーションユニットは,胴体のガス排出口に取り付けられ且つノズルを備えるノズル部をさらに含むことを特徴とする請求項8に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ラミネーションユニットは,前記胴体の上部の一部分に設けられ且つ前記空洞に当接する光透過窓をさらに備えることを特徴とする,請求項8に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ガス注入口は,前記胴体の上部側壁を貫通することを特徴とする,請求項10に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ラミネーションユニットは,前記ガス排出口に取り付けられるパイプ形態のピストンをさらに備えることを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記パイプ形態のピストンの下部に取り付けられ且つノズルを備えるノズル部をさらに含むことを特徴とする,請求項12に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ラミネーションユニットは,前記アクセプタ基板に対して垂直な方向に移動可能であることを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ラミネーションユニットの少なくとも一側部に,前記ドナーフィルムを前記アクセプタ基板上に接触させるためのガイドロールをさらに含むことを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記レーザ照射装置と前記ラミネーションユニットは,前記チャックを横切る前記チャックの移動方向と直交する方向に同時に移動可能であることを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記チャックを前記チャックの移動方向と直交する方向に横切る光学ステージをさらに含み,
前記レーザ照射装置は,レーザ照射装置ベースを介して前記光学ステージの上面に設置され,前記ラミネーションユニットベースは,前記レーザ照射装置ベースに連結され,前記ラミネーションユニットは,前記ラミネーションユニットベースに設置されることを特徴とする,請求項16に記載のレーザ熱転写装置。 - 前記ラミネーションユニットは,前記チャックを横切る前記チャックの移動方向と直交する方向に延長されたライン形態であることを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記レーザ照射装置は,前記ラミネーションユニットに沿って前記チャックの移動方向と直交する方向に移動しながらレーザを照射することを特徴とする,請求項18に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ラミネーションユニットの胴体は,多数の圧縮ガス注入口を備えることを特徴とする,請求項19に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ドナーフィルムは,リボン型であることを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記リボン型ドナーフィルムは,その両側エッジに突起部を備えることを特徴とする,請求項21に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ラミネーションユニットの一側部にフィルム供給手段(film supply means)と,他側部にフィルム巻き取り手段(film winding means)をさらに含むことを特徴とする,請求項21に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ラミネーションユニットの少なくとも一側部に,前記フィルムを前記基板上に接触させるためのガイドロールをさらに含むことを特徴とする,請求項23に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記レーザ照射装置,前記ラミネーションユニット,前記フィルム供給手段及び前記フィルム巻き取り手段は,前記チャックを横切る前記チャックの移動方向と直交する方向に同時に移動可能であることを特徴とする,請求項23に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記レーザ照射装置は,レーザ照射装置ベースを介して前記光学ステージの上面に設置され,前記ラミネーションユニットベースは,前記レーザ照射装置ベースに連結され,前記ラミネーションユニットは,前記ラミネーションユニットベースに設置され,前記フィルム供給手段及び前記フィルム巻き取り手段は,前記ラミネーションユニットから離隔されて前記ラミネーションユニットベースに各々設置されることを特徴とする,請求項25に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ドナーフィルムは,前記アクセプタ基板の全面上に位置することを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ドナーフィルムの少なくとも2角部は,フレームに取り付けられることを特徴とする,請求項27に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記チャックは,前記フレームを固定させることを特徴とする,請求項28に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記ドナーフィルムは,基材フィルムと,該基材フィルム上に位置する光熱変換層及び該光熱変換層上に位置する転写層を備えることを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記転写層は,正孔注入性有機膜,正孔輸送性有機膜,電界発光性有機膜,正孔抑制性有機膜,電子輸送性有機膜及び電子注入性有機膜よりなる群から選ばれる少なくとも1層の有機膜であることを特徴とする,請求項30に記載のレーザ熱転写装置。
- 前記アクセプタ基板は,有機電界発光素子基板であることを特徴とする,請求項1に記載のレーザ熱転写装置。
- チャック上にアクセプタ基板を位置させる段階と,
少なくとも光熱変換層及び転写層を備えるドナーフィルムを,前記転写層が前記アクセプタ基板に対向するように位置させる段階と,
ラミネーションユニットを使用して前記ドナーフィルムの一部分を前記アクセプタ基板上に局部的に密着させながら,前記密着させられたドナーフィルム上に前記ラミネーションユニットを貫通してレーザを照射して,前記転写層の少なくとも一部を前記アクセプタ基板上に転写させる段階と,
を含むことを特徴とする,レーザ熱転写方法。 - 前記ラミネーションユニットは,空圧を使用して密着させることを特徴とする,請求項33に記載のレーザ熱転写方法。
- 前記ラミネーションユニットは,
空洞と,該空洞に圧縮ガスを注入するためのガス注入口と,前記空洞に注入されたガスを前記基板上に排出するガス排出口とを有する胴体と,
前記胴体の上部の一部分に設けられ且つ前記空洞に当接する光透過窓と,
を備えることを特徴とする,請求項34に記載のレーザ熱転写方法。 - 前記ガス注入口は,前記胴体の側壁を貫通することを特徴とする,請求項35に記載のレーザ熱転写方法。
- 前記ラミネーションユニットは,空洞と,該空洞に圧縮ガスを注入するためのガス注入口と,前記空洞に注入されたガスを前記基板上に排出するガス排出口とを有する胴体を備え,
前記ガス注入口は,前記胴体の上部を貫通し,前記ガス排出口は,前記胴体の下部を貫通することを特徴とする,請求項34に記載のレーザ熱転写方法。 - 前記密着及び前記レーザ照射は,前記チャックを横切る前記チャックの移動方向と直交する方向に連続的に進行されることを特徴とする,請求項33に記載のレーザ熱転写方法。
- 前記密着は,前記チャックを横切る前記チャックの移動方向と直交する方向に延長されて実行され,前記レーザは,前記前記チャックの移動方向と直交する方向に密着させられたドナーフィルムに沿って照射されることを特徴とする,請求項33に記載のレーザ熱転写方法。
- 前記ドナーフィルムは,リボン型であることを特徴とする,請求項33に記載のレーザ熱転写方法。
- 前記ドナーフィルムは,前記基板の全面上に位置することを特徴とする,請求項33に記載のレーザ熱転写方法。
- 前記ドナーフィルムの少なくとも2角部は,フレームに取り付けられることを特徴とする,請求項41に記載のレーザ熱転写方法。
- 前記密着及び前記レーザ照射を行う前に,前記チャックは,前記フレームを固定させることを特徴とする,請求項42に記載のレーザ熱転写方法。
- 画素電極が形成された有機電界発光素子基板をチャック上に位置させる段階と,
少なくとも光熱変換層及び有機転写層を備えるドナーフィルムを,前記有機転写層が前記素子基板に対向するように位置させる段階と,
ラミネーションユニットを使用して前記ドナーフィルムの一部分を前記アクセプタ基板上に局部的に密着させながら,前記密着させられたドナーフィルム上に前記ラミネーションユニットを貫通してレーザを照射して,前記有機転写層の少なくとも一部を前記素子基板上に転写させ,前記画素電極上に有機機能膜を形成する段階と,
を含むことを特徴とする,有機電界発光素子の製造方法。 - 前記ラミネーションユニットは,空圧を使用して密着させることを特徴とする,請求項44に記載の有機電界発光素子の製造方法。
- 前記ラミネーションユニットは,
空洞と,該空洞に圧縮ガスを注入するためのガス注入口と,前記空洞に注入されたガスを前記基板上に排出するガス排出口とを有する胴体と,
前記胴体の上部の一部分に設けられ且つ前記空洞に当接する光透過窓と,
を備えることを特徴とする,請求項45に記載の有機電界発光素子の製造方法。 - 前記ガス注入口は,前記胴体の側壁を貫通することを特徴とする,請求項46に記載の有機電界発光素子の製造方法。
- 前記ラミネーションユニットは,空洞と,該空洞に圧縮ガスを注入するためのガス注入口と,前記空洞に注入されたガスを前記基板上に排出するガス排出口とを有する胴体を備え,
前記ガス注入口は,前記胴体の上部を貫通し,前記ガス排出口は,前記胴体の下部を貫通することを特徴とする,請求項45に記載の有機電界発光素子の製造方法。 - 前記密着及び前記レーザ照射は,前記チャックを横切る前記チャックの移動方向と直交する方向に連続的に進行されることを特徴とする,請求項44に記載の有機電界発光素子の製造方法。
- 前記密着は,前記チャックを横切る前記チャックの移動方向と直交する方向に延長されて実行され,前記レーザは,前記前記チャックの移動方向と直交する方向に密着させられたドナーフィルムに沿って照射されることを特徴とする,請求項44に記載の有機電界発光素子の製造方法。
- 前記ドナーフィルムは,リボン型であることを特徴とする,請求項44に記載の有機電界発光素子の製造方法。
- 前記ドナーフィルムは,前記基板の全面上に位置することを特徴とする,請求項44に記載の有機電界発光素子の製造方法。
- 前記有機機能膜は,正孔注入層,正孔輸送層,発光層,正孔抑制層,電子輸送層及び電子注入層よりなる群から選ばれる少なくとも1層の膜であることを特徴とする,請求項44に記載の有機電界発光素子の製造方法。
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