JP4102856B2 - ゲートバルブを組み込んだコールドトラップ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、クライオポンプアレイを備えたコールドトラップ(cold trap: 冷却トラップ) にゲートバルブを組み込んで一体化したゲートバルブ付きのコールドトラップに関するものである。
【0002】
【従来の技術と発明が解決しようとする課題】
ターボ分子ポンプなどの真空ポンプは、製造業で使用される真空処理チャンバに採用されている。ターボ分子ポンプは処理チャンバから各種のガスを排気するのには効率的であるが、水蒸気の排気には効率が悪い。結果的に、コールドトラップを、ターボ分子ポンプと処理チャンバ間に直列に組込んで、水蒸気の排気能力を上げるのが普通である。このようなコールドトラップは、流体通路中に配置されたクライオポンプアレイ上に水蒸気を凝結させて、処理チャンバから水蒸気を取り除く。
【0003】
大部分のコールドトラップは、ターボ分子ポンプと処理チャンバ間に直列に組込むための、フランジを両端に有する流体管路(fluid conduit) を備えている。クライオポンプアレイは、流体管路内に配置され、極低温冷凍機によって冷却される。コールドトラップによっては、うすい肉厚の円筒形クライオポンプアレイを採用して、そこを通過する窒素やアルゴンのような非凝結ガスに対し、最小の流動抵抗を持つように設計されているものもある。最も一般的な円筒形クライオポンプアレイは、直径約8インチで、長さ6インチである。このサイズの円筒形アレイは、長さ約9インチの流体管路を有するコールドトラップになる。非凝結ガスがほぼ自由にアレイの空いた中心を通って通過する間に、水蒸気は円筒形アレイの表面上に凝結される。通常、ゲートバルブは、コールドトラップと作業チャンバ間に組込まれており、その両者を分離している。
【0004】
しかしながら、場合によっては、スペース的な制約があって、ターボ分子ポンプと処理チャンバ間に従来のコールドトラップを直列に組込みできない状況が発生する。本発明は、このような場合に使用する小型コールドトラップを提供する。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明によるコールドトラップは、流体が通過する貫通した流体通路と、流体通路に沿ったある長さと流体通路を横断する方向のある幅とを有する流体管路を備えている。流体管路の幅はその長さよりも寸法が大きい。ゲートバルブは、流体管路に組み込まれて一体化されて、流体通路を開閉する。中央開口を囲む外縁部(リム)を有するクライオポンプアレイが、ゲートバルブの下流側で、流体通路を横断するように、流体通路内に配置されており、前記流体通路が前記中央開口を通って延びている。流体通路中の水蒸気は前記外縁部により捕集される。
【0006】
好ましい実施形態では、コールドトラップの流体管路は、処理チャンバと真空ポンプの間を連結する。好ましくは、真空ポンプは、ターボ分子ポンプであり、流体管路を通過するガスを捕集する。好ましくは、真空ポンプアレイは、板金で形成された中空状の平坦なリング状の構成品である。真空ポンプアレイは、所定の温度傾斜を維持するように選択した厚さと、横幅と外縁部幅(リム幅)を有し、その横幅と外縁部幅の両寸法は共に厚さより大きい。熱伝導性ストラットは、極低温冷凍機とアレイを熱伝導性よく結合して、アレイを冷却する。ゲートバルブはソレノイド式バルブである。バルブ機構は、流体通路を横断する方向にソレノイドで駆動され、流体通路を開閉する。
【0007】
本発明は、ターボ分子ポンプなどの真空ポンプの水分排出速度を上げると共に、流体通路の長さの増加を最小限に抑え、同時にターボ分子ポンプ内への非凝縮ガスの流れをほとんど妨害しない。さらに、本発明によれば、空隙の制約からコールドトラップを単独またはゲートバルブと組合せて使用できない状況においても、コールドトラップとゲートバルブを使用できる。
【0008】
【好ましい実施形態の詳細な説明】
図1から5において、本発明によるコールドトラップは水ポンプ20として用いられている。図1の水ポンプ20は、ゲートバルブ・ハウジング20aの両側に取付ける上流側フランジ28と下流側フランジ24を有する。ゲートバルブ・ハウジング20aの大部分は、片持ち梁形状でフランジ28と24から側方に離れて延びている。流体通路を有する流体管路38は、上流側フランジ28、ゲートバルブ・ハウジング20aおよび下流側フランジ24を通って延び、ガスを水ポンプ20を貫通して流すようになっている。上流側フランジ28は、水ポンプ20を処理チャンバ・フランジ12によって処理チャンバ10に結合させ、下流側フランジ24は、水ポンプ20をポンプ・フランジ26によってターボ分子ポンプ22に結合させる。図4のゲートバルブ機構44は、ゲートバルブ・ハウジング20a内をスライド・チャネル32に沿って滑動して、流体管路38を開閉する。ゲートバルブ機構44は、ゲートバルブ・ハウジング20aの端に取付けたソレノイド40によって駆動される。
【0009】
水ポンプ内に組み込まれて一体化されたゲートバルブを使用すれば、水ポンプ20に結合して流体管路38を開閉する別のゲートバルブ・ユニットを必要としない。中空状の平坦で平面的なクライオポンプアレイ34が流体管路38内に配置され、流体管路38の外周付近に沿って延びて、その上に水蒸気を凝結させる。アレイ34は、中央に大きな開口35を有し、非凝結ガスが、流体管路38を通過してターボ分子ポンプ22に流れ込むのに小さな流体抵抗しか持たない。アレイ34は、ゲートバルブ・ハウジング20aに組込まれている極低温冷凍機46に熱伝導性よく結合され、極低温にまで冷却される。冷凍機46とターボ分子ポンプ22(図1)の動作は、冷凍機46に組合せたコントローラ30によって制御される。
【0010】
動作中は、図1の処理チャンバ10を排気するために、冷凍機46を運転して、アレイ34を極低温にまで冷却する。またターボ分子ポンプ22も運転する。ソレノイド40は、バルブ機構44を開放動作させ、その結果、処理チャンバ10が水ポンプ20およびターボ分子ポンプ22と流体的に連結する。この時、ターボ分子ポンプ22のタービン回転羽根は、水ポンプ20によって処理チャンバ10からガスを捕集する。非凝結ガスは、アレイ34を通って流れ、一方、水蒸気はアレイ34の表面上に凝結する。窒素やアルゴンなどの非凝結ガスは、ターボ分子ポンプ22のタービン羽根によりシステムから排気される。アレイ34が凝結水蒸気で飽和したときに、周期的にバルブ機構44が閉止位置に移動して流体管路38を閉じ(図5)、アレイ34が再生されて凝結水蒸気を放出する。
【0011】
アレイ34の動作原理は、アレイ34の中央開口35を通過するガスが分子流として流れることである。分子流状態のガス分子は全方向にランダムに移動するために、水ポンプ20を通過する水蒸気分子はアレイ34表面の上流と下流の両面に、ほぼ同一確率で衝突および付着する。アレイ34は、水ポンプ20を通過する水蒸気の約90%を捕集できる。ターボ分子ポンプ22が水ポンプを使用しない場合は、水分排出速度は、約10ないし20%にしかならない。ターボ分子ポンプ22に水ポンプ20を付加すると、システムの有効水分排出速度は最小でも400%増大する。
【0012】
次に、本発明をさらに詳細に説明する。好ましくは、冷凍機46は一段ギフォード−マクマホン冷凍機である。モーター駆動機構により、コールドフィンガ48(冷却フィンガ:図4,5)内で駆動されるディスプレーサは、内部で冷媒を膨張させてコールドフィンガ48を冷却する。通常、冷媒は圧縮ヘリウムガスである。圧縮冷媒ガスは、注入口41aを通して冷凍機46に供給され、排出口41bから排出される。
【0013】
冷凍機46はフランジ46aを有し、ゲートバルブ・ハウジング20aから延びる円筒真空容器42のフランジ42aに取付けられる。真空容器42は、ゲートバルブ・ハウジング20aから、ターボ分子ポンプ22と平行に延びている。図5のコールドフィンガ48は、真空容器42を通過して冷凍機46からゲートバルブ・ハウジング20a内に延びている。
【0014】
クライオポンプアレイ34は、熱伝導ストラット36とアダプタ・スリーブ50によって、冷凍機46のコールドフィンガ48に熱伝導性よく結合される。アレイ34は、孔34aと36aを通して、ねじ53によりストラット36に取付けられている(図6および7)。ストラット36は、孔36bと50aを通してアダプタ・スリーブ50の端に取付けられ、その結果、ストラット36はアダプタ・スリーブ50と直角に延びている。好ましくは、ストラット36は銅製で、厚さ0.25インチである。ストラット36はアレイ34の開口35の形状に一致した図7に示す曲面37を有している。アダプタ・スリーブ50も銅製で、コールドフィンガ48の先端部に嵌合されていることが望ましい。
【0015】
アレイ34は、流体管路38内のバルブ機構44の下流側に配置されている。この結果、バルブ機構44により、アレイ34は再生に対しては処理チャンバ10と分離される。好ましくは、アレイ34の主面は流体通路に対して垂直になる。アレイ34の外周縁は、流体管路38の内壁から内側方向に、約0.125〜0.25インチの空隙を有し、流体管路38と熱的に接触しないことが望ましい。アレイ34は、中空状であるため、その上を流れるガスに対してわずかに抵抗になるだけで、真空ポンプ22の排気には大きく影響しない。アレイ34の開口35は、アレイ34の外径と同軸であり、一定幅W(図6)を持つアレイ34の外縁部を有し、開口35を通過するガス流を最大にする。水分を排出するためには、アレイ34は90K〜130K程度の温度(最も望ましいのは107K)に冷却される必要がある。
【0016】
アレイ34は、銅やアルミニウムなどの熱伝導性金属板から形成され、約0.083インチ〜0.25インチの厚さtを有する。最も好ましいのは、アレイ34が薄いことである。その理由は、1)薄いアレイは厚いアレイより速く冷却できること、および、2)薄いアレイは気体熱伝導性がより高いことである。アレイ34の厚さtは0.25インチ以下が望ましいが、固有の温度傾斜を備える必要のある場合は、0.25インチより厚いものが採用される。開口35は円形が好ましいが、代わりに多角形でも良い。さらに、アレイ34は、平坦形状の代わりに、角度が付けられたり、波状であっても良い。しかし、最も好ましくは、アレイ34は平坦形状で、流体管路38の長さが最小になることである。
【0017】
アレイの外径(横幅)は流体管路38の直径に依存し、直径10インチ以上からわずか数インチの範囲にまでできる。アレイ34の開口35の直径は、広い外縁部幅W(図6)または狭い外縁部幅Wのどちらにも変えることができる。広い外縁部幅Wは、高速の水分排出速度が得られるが、気体熱伝導性が低下する。反対に、狭い外縁部幅Wは、水分排出速度が低下するが、流体管路38を通過するガス熱伝導性が高くなる。どちらの場合も、外径と外縁部幅Wは厚さtよりも寸法が大きいことが望ましい。アレイ34は、内径(ID)対外径(OD)比率が0.6ないし0.8が望ましい。
【0018】
図8および図9において、本設計では、水排出速度が最大能力の60〜90%の範囲を提供し、10〜20%の空気速度の低下を示す。一般に、水蒸気を真空システムから除去するのはかなり困難であるのに対し、空気は非常に速く除去できる。一例としては、アレイ34は7.63インチの外径と5.43インチの内径を有する。これにより、ID対ODの比率は0.7となり、水蒸気の80%を捕集でき、ターボ分子ポンプ22の性能に15%の影響を与えるだけである。
【0019】
図4のゲートバルブ・ハウジンング20a、バルブ機構44、フランジ28、およびフランジ24は、ステンレス・スチール製またはアルミニウム製が望ましい。フランジ28と24のそれぞれは、環状の凹所28bと24aを有し、シールを目的とするガスケットを収納する。図1のフランジ28の孔28aにより、フランジ28を処理チャンバのフランジ12に固定できる。さらに、フランジ24は、ターボ分子ポンプ22のフランジ26に取付ける同様の孔を有する。一般に、ゲートバルブ・ハウジング20aは、長く薄い長方形の形状を有する。一連のフィン21と23は、ゲートバルブ・ハウジング20aに対し構造的剛性を与える。フランジ25は、ゲートバルブ・ハウジング20aの端から延びており、ソレノイド40のフランジ27をフランジ25に結合して、ソレノイド40をゲートバルブ・ハウジング20aに取付けることができる。また、ゲートバルブ・ハウジング20aは、図4のコールドフィンガ48の端部にアクセスするための開口19aを備えている。取外し可能なカバー・プレート19が開口19aの上に取付けられている。
【0020】
水ポンプ20の小型化設計により、直径(内径)対長さの比率が1.6の流体管路38を有する水ポンプ20が得られる。たとえば、直径8インチの流体管路38は、上流側フランジ28から下流側フランジ24まで、流体通路に沿って約5インチの長さを有する。したがって、ターボ分子ポンプ22の水分排出容量(能力)は、処理チャンバ10とターボ分子ポンプ22間の流体通路長さの最低限の増加だけで、大幅に増大できる。
【0021】
〔均等物〕
本発明を、好ましい実施形態に基づいて図示し説明してきたが、形体や細部の各種の変更が、本発明の請求範囲によって定まる本発明の精神や範囲から逸脱することなく可能なことは、当業者には容易に理解できることである。当業者には、通常の実験をするまでもなく、ここで具体的に説明する本発明による特定の実施形態に対する多くの均等物を認識または確認できる。このような均等物は、請求の範囲に包含されるものとする。
【0022】
水ポンプ20、クライオポンプアレイ34、およびストラット36は、流体管路38と水ポンプ20の用途に依存して種々の寸法とすることができる。さらに、流体管路38は、必ずしも円形形状である必要はなく、多角形などの他の形状であってもよい。このような場合は、アレイ34の外周縁は、流体管路38に一致する形状とすることができる。また、アレイ34は、ゲートバルブ機構44の上流側に配置してもよい。さらに、水ポンプ20は、ターボ分子ポンプと組合せて使用されるのが望ましいが、拡散ポンプなどの、その他の種類の真空ポンプと組合せることも可能である。
【図面の簡単な説明】
本発明による、前述した目的とその他の目的、および特徴と利点は、添付の図面に示された以下に述べる本発明の好ましい実施形態の具体的な説明で明らかにする。添付図面では、同一参照符号は異なる図面でも同一部品を示す。図面は、必ずしも縮尺通りでなく、本発明の原理を図示するために強調されている。
【図1】 本発明による一体型ゲートバルブ付きの水ポンプの斜視図であり、このバルブはターボ分子ポンプに結合されており、処理チャンバの一部分の下方に配置されている。
【図2】 本発明による水ポンプの正面図である。
【図3】 本発明による水ポンプの側面図である。
【図4】 本発明による水ポンプの簡略化した側面断面図である。
【図5】 本発明による水ポンプの拡大部分の側面断面図であり、ゲートバルブをより詳細に示している。
【図6】 本発明に採用している好ましいクライオポンプアレイの平面図である。
【図7】 極低温冷凍機のコールドフィンガーに、クライオポンプアレイを熱伝導性よく結合する好ましい熱伝導ストラットの平面図である。
【図8】 クライオポンプアレイID/OD比率の関数として、水の速度百分率を描いたグラフである。
【図9】 クライオポンプアレイID/OD比率の関数として、空気の速度百分率を描いたグラフである。
【符号の説明】
10・・・ 処理チャンバ
20・・・ コールドトラップ
22・・・ 真空ポンプ
34・・・ クライオポンプアレー
35・・・ 中央開口
36・・・ ストラット
38・・・ 流体管路
44・・・ ゲートバルブ
Claims (15)
- 貫通した流体通路と、
前記流体通路に沿った長さと前記流体通路を横断する方向の幅とを持ち、その幅が長さよりも大きい流体管路(38)と、
前記流体管路内に配置されているクライオポンプアレイ(34)と、
を備えるコールド・トラップにおいて、
前記流体管路に組み込まれて一体化され、前記流体通路を横断する方向に移動するバルブ機構(44)を開閉するゲートバルブ(20a)を備え、
前記クライオポンプアレイ(34)は、前記ゲートバルブの下流側で前記流体管路内に配置されて前記流体通路を横断する中央開口(35)を囲む外縁部を有し、前記流体通路が前記中央開口を通って延びており、前記外縁部で前記流体通路から水蒸気を捕集する、ことを特徴とするコールド・トラップ(20)。 - 請求項1において、
前記アレイ(34)が、厚さ(t)、横断幅および外縁部幅(w)を有し、その横断幅および外縁部幅が前記厚さよりも大きいコールドトラップ(20)。 - 請求項2において、
前記流体管路(38)が処理チャンバ(10)に結合されているコールドトラップ(20)。 - 請求項3において、
前記流体管路(38)が真空ポンプ(22)に結合されて、ガスを前記流体通路に沿って前記流体管路を通して吸引するコールドトラップ(20)。 - 請求項4において、
前記真空ポンプ(22)がターボ分子ポンプであるコールドトラップ(20)。 - 請求項1において、
前記ゲートバルブ(20a)がソレノイド(40)で動作するコールドトラップ(20)。 - 請求項1において、
さらに、前記アレイ(34)を冷却する極低温冷凍機(46)を有するコールドトラップ(20)。 - 請求項1において、
さらに、前記冷凍機(46)を前記アレイ(34)に熱伝導性よく結合する熱伝導ストラット(36)を有するコールドトラップ(20)。 - 請求項1において、
前記アレイ(34)が板金から形成された平坦なリング形状であるコールドトラップ(20)。 - 請求項1において、
前記アレイ(34)が中空状であるコールドトラップ(20)。 - コールドトラップ(20)を備えて水蒸気を捕集する方法であって、そのコールドトラップは、貫通した流体通路、その流体通路に沿った長さおよび流体通路を横断する方向の幅を持つ流体管路(38)を有し、その流体管路の幅が長さよりも大きいものであり、
さらに前記方法は、 前記流体管路に組み込まれて一体化され、前記流体通路を横断する方向に駆動するバルブ機構(44)を有するゲートバルブ(20a)を開いて、前記流体管路を通る前記流体通路を開放し、
前記流体管路内に、前記流体通路を横断する中央開口の周囲を囲む外縁部が設けられたクライオポンプアレイ(34)を配置して、前記流体通路が前記中央開口(35)を通って延びるようにし、 前記アレイを極低温度に冷却し、
水蒸気を前記流体通路から前記アレイの外縁部上に捕集する、
各ステップを有する水蒸気を捕集する方法。 - 請求項11において、
さらに、厚さ(t)、横断幅および外縁部幅(w)を持ち、その横断幅と外縁部幅の両方が前記厚さ寸法よりも大きい、前記アレイ(34)を設けるステップを有する水蒸気を捕集する方法。 - 請求項11において、
さらに、前記流体管路に結合した真空ポンプ(22)により、前記流体管路(38)を通してガスを吸引するステップを有する水蒸気を捕集する方法。 - 請求項11において、
前記ゲートバルブ(20a)を開くステップが、ソレノイド(40)でそのゲートバルブを作動させる水蒸気を捕集する方法。 - 請求項11において、
前記クライオポンプアレイ(34)を冷却するステップが、 極低温冷凍機(46)を熱伝導ストラット(36)によって前記アレイに熱伝導性よく結合し、
前記ストラットと前記アレイを前記冷凍機で冷却する、
各ステップを有する水蒸気を捕集する方法。
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US6263679B1 (en) | 2000-04-05 | 2001-07-24 | Helix Technology Corporation | Particulate dam for cryopump flange |
US6327863B1 (en) | 2000-05-05 | 2001-12-11 | Helix Technology Corporation | Cryopump with gate valve control |
SG105459A1 (en) * | 2000-07-24 | 2004-08-27 | Micron Technology Inc | Mems heat pumps for integrated circuit heat dissipation |
US6571821B2 (en) * | 2001-07-13 | 2003-06-03 | Varian, Inc. | Energy conserving gate valve |
US7194867B2 (en) * | 2004-03-19 | 2007-03-27 | Brooks Automation, Inc. | Integrated rough/purge/vent (RPV) valve |
CN100344872C (zh) * | 2004-06-11 | 2007-10-24 | 中国科学院理化技术研究所 | 高真空深冷水汽捕集器 |
TW201107639A (en) * | 2007-04-27 | 2011-03-01 | Edwards Japan Ltd | Plate rotating device, exhaust path opening degree changing device, exhausted device, transfer device, beam device, and gate valve |
CN102099640B (zh) * | 2008-05-21 | 2013-03-27 | 布鲁克机械公司 | 线性驱动低温冷冻机 |
US20100011784A1 (en) * | 2008-07-17 | 2010-01-21 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump louver extension |
JP5907965B2 (ja) * | 2010-07-30 | 2016-04-26 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 多冷却器高速クライオポンプ |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3485054A (en) * | 1966-10-27 | 1969-12-23 | Cryogenic Technology Inc | Rapid pump-down vacuum chambers incorporating cryopumps |
US3464223A (en) * | 1967-12-28 | 1969-09-02 | Us Army | Trap pump for vacuum system |
FR1584067A (ja) * | 1968-07-30 | 1969-12-12 | ||
US4214853A (en) * | 1978-05-15 | 1980-07-29 | Cha Industries | Evacuation apparatus with cryogenic pump and trap assembly |
US4311018A (en) * | 1979-12-17 | 1982-01-19 | Varian Associates, Inc. | Cryogenic pump |
US4449373A (en) * | 1983-02-28 | 1984-05-22 | Helix Technology Corporation | Reduced vacuum cryopump |
DE3512614A1 (de) * | 1985-04-06 | 1986-10-16 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zur inbetriebnahme und/oder regenerierung einer kryopumpe und fuer dieses verfahren geeignete kryopumpe |
US4873833A (en) * | 1988-11-23 | 1989-10-17 | American Telephone Telegraph Company, At&T Bell Laboratories | Apparatus comprising a high-vacuum chamber |
JP2538796B2 (ja) * | 1989-05-09 | 1996-10-02 | 株式会社東芝 | 真空排気装置および真空排気方法 |
US5261244A (en) * | 1992-05-21 | 1993-11-16 | Helix Technology Corporation | Cryogenic waterpump |
DE69409555T2 (de) * | 1993-01-11 | 1998-12-03 | Applied Materials Inc | Turbomolekularpumpe |
US5483803A (en) * | 1993-06-16 | 1996-01-16 | Helix Technology Corporation | High conductance water pump |
JP2719298B2 (ja) * | 1993-07-29 | 1998-02-25 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 真空装置の冷却構造 |
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1997
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