JP4096469B2 - 光受信モジュール及び光受信モジュールの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は光通信に用いられる光受信モジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、光通信における光集積回路の低コスト化、小型化を図るために、光モジュールの開発が活発となっている。特に、素子を駆動させずに素子や光ファイバーをSiキャリア上に実装するパッシブアライメント実装によるモジュール組立に注目が集まっている。
【0003】
図29は従来の光受信モジュールを説明するための断面図である。
500はSiキャリア、501はSiキャリア上に形成されたV溝、502は光ファイバー、503は側面照射型のフォトダイオードである。ここで、V溝501はアルカリ異方性エッチングにより高精度に形成されているため、このV溝501に固定される光ファイバー502は自動的に位置決めされ、高さ方向及び横方向の位置精度は極めて高い。また、受光素子503には半田リフローによるセルフアライン効果を利用したフリップチップ実装が用いられているため、素子を駆動させることなく、パッシブアライメントにより実装が可能となる。
【0004】
しかしながら、この従来構造では、依然いくつかの問題が残る。特に大きな問題として次の2点が挙げられる。まず1点目は、光ファイバーからの照射光の光路を変換する機構を備えていないために、裏面照射型の受光素子に適用できないという問題である。そして、2点目は、光ファイバーの光軸方向の位置決めが精度良くできないという問題である。詳しくは、光ファイバーの先端をV溝の端(図中の符号504)に押し当てて位置決めしようとしても、V溝の端(図中の符号504)も約54.7度の傾斜がついているために先端が浮き上がってしまい、光軸がずれてしまう。従って、光軸方向については光ファイバーを目合わせで位置決めするほかはなかった。
【0005】
これらの問題を解決する技術としては、以下の技術が報告されている。
まず、1点目の表面または裏面照射型の受光素子に適用できないという問題を解決するための技術としては、「信学技報、EMD96−30、1996、P.37」に記載されている技術がある。この技術は、図30に示すように、基板600のV溝601に光ファイバー603が固定され、V溝601の先端部での傾斜面602を利用し、光ファイバー603からの照射光の光路を変換して、受光素子604に表面照射するというものである。
【0006】
しかしながら、この技術と受光素子の実装を半田リフローによるセルフアライン効果を利用したフリップチップ実装技術を併用しようとすると、受光素子の裏面への照射に対応することが難しいという問題が残る。特に、受光素子がトランジスタと高周波整合回路を集積化し、配線にコプレーナ線路を用いたICの場合、電極やパッドが配置される表面をさけて裏面から受信光を照射する必要があるが、電極パッドが表面に形成されているために、図30に示す手法は表面が下を向いて実装される素子、つまり、表面入射タイプの素子に限定されてしまう。
【0007】
次に、2点目の光ファイバーの光軸方向の位置決めに関連する技術としては、「Passive alignment of a tapered laser with more than 50% coupling efficiency 、Electronics Letters 27th April 1995 Vol.31 No.9 P.730」に記載された技術がある。これは、図31に示すように、V溝700における素子701側の端部をダイシングでカットして基板702表面に対して垂直な面703を形成し、その端面703に光ファイバー704を押し当てることにより、縦方向、横方向に加え、光軸方向の位置決めを行うというものである。
【0008】
しかしながら、この技術は側面照射型のモジュールには適用可能であるが、前述したような裏面照射型のモジュールでは、V溝端部の傾斜した面を利用して受信光の光路を変換する必要があるため適用できない。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、この発明の目的は、パッシブアライメント実装により光受信モジュールの組付けを行う際にも、受光素子の裏面からの照射を可能とすることにある。また、V溝の先端面の傾斜を利用して光路を上下方向に変換する光モジュールにおいて、光ファイバーの光軸方向の位置決めを高精度に行うことにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明によれば、張り合わされた第1と第2のSi基板の間において光ファイバーがV溝を用いて挟持され、光ファイバーからの受信光はV溝の先端での反射膜にて上下方向にその向きが変換され、第1のSi基板の凹部においてフリップチップ実装された裏面照射型受光素子にて受光される。
【0011】
このように、受光素子のフリップチップ実装および2枚のSi基板を用いたV溝による光ファイバーの固定によって、パッシプアライメント実装により光ファイバーと受光素子の相対位置を高精度に保ったまま、受光素子への裏面照射を行うことができることとなる。
【0012】
また、請求項1に記載の発明によれば、第1のSi基板に設けたV溝により光ファイバーが挟持され、第1のSi基板の斜状面に光ファイバーが当接しているため両Si基板間の位置決めをより高精度にすることができる。
【0019】
請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載の発明の作用効果に加え、受光素子がトランジスタである場合に、受光素子への照射方向が裏面となる場合が多いが、このとき、より有用となる。
【0020】
請求項3に記載の発明によれば、請求項1または2に記載の発明の作用効果に加え、受光素子がトランジスタおよび高周波整合回路から構成されたICである場合に、受光素子への照射方向が裏面となる場合が多いが、このとき、より有用となる。
【0021】
請求項4に記載の発明によれば、請求項2または3に記載の発明の作用効果に加え、受光素子の配線としてコプレーナ線路が用いられている場合に、受光素子への照射方向が裏面となる場合が多いが、このとき、より有用となる。
【0022】
請求項5に記載の発明によれば、請求項1〜4のいずれか1項に記載の発明の作用効果に加え、受光素子は受信光の波長よりも短いバンドギャップ波長を有する半導体基板上に形成されていることにより、半導体基板を光が透過しやすく、裏面照射型受光素子として好ましいものとなる。
【0023】
請求項6に記載の発明によれば、請求項1〜5のいずれか1項に記載の発明の作用効果に加え、受光素子はInP基板上に形成されていることにより、基板を光が透過しやすく、裏面照射型受光素子として好ましいものとなる。
【0024】
請求項7に記載の発明によれば、請求項1〜6のいずれか1項に記載の発明の作用効果に加え、配線での受光素子と反対側の端部に設けた電極パッドにより、コネクタ等と容易に接続をとることができる。
【0025】
請求項8に記載の発明によれば、第1のSi基板において先端に斜状面を有する光ファイバー挟持用のV溝が形成され、このV溝の延設方向の延長線上に受光素子を配置するための凹部が形成されるとともに、凹部の内部に裏面照射型受光素子を実装するためのパッドおよび電気配線が形成され、さらに、パッド上に裏面照射型受光素子が実装されることにより第1のSiキャリアとされる。また、第2のSi基板に光ファイバー挟持用のV溝が形成されるとともに、このV溝の先端の斜状面に光路変換用の反射膜が形成されることにより第2のSiキャリアとされる。そして、前記第1のSiキャリアに形成したV溝先端の斜状面に光ファイバーの先端を当接させつつ第1のSiキャリアと第2のSiキャリアとが張り合わされて両キャリアのV溝で光ファイバーが挟み込まれ固定される。
その結果、請求項1に記載の光受信モジュールの構造を得ることができる。
【0029】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)
以下、この発明を具体化した第1の実施の形態を図面に従って説明する。
【0030】
図1には、本実施の形態における光受信モジュールの平面図を示す。また、図2には、図1でのA−A線での縦断面を示す。さらに、図3には図1でのB矢視図(左側面図)を、図4には図1でのC矢視図(右側面図)を示す。
【0031】
図2に示すように、光受信モジュールは、第1のSi基板1、第2のSi基板2、裏面照射型受光素子3、光ファイバー4、光路変換用の反射膜5、受光素子実装用パッド6、配線7から構成されている。そして、第1のSi基板1と第2のSi基板2が光ファイバー4を挟んだ状態で張り合わされている。第1のSi基板1にて第1のSiキャリアC1が、第2のSi基板2にて第2のSiキャリアC2が構成されている。
【0032】
第1のSi基板1の表面(上面)には凹部8が形成されている。この凹部8の底面8aにおいては受光素子実装用パッド6および配線7がパターニングされている。また、図3に示すように、凹部8の内部において受光素子実装用パッド6の上に裏面照射型受光素子3がフリップチップ実装されている。
【0033】
ここで、図1のように、配線7の端部は幅広な電極パッド7aとなっている。このように、受光素子3が実装された側のSi基板1上に、受光素子3と電気的に接続された配線7が形成され、配線7での受光素子3と反対側の端部に電極パッド7aが設けられている。そして、パッド6と配線7を用いて受光素子3の信号が外部に取り出される。
【0034】
また、第2のSi基板2の表面(図2中の下面)にはV溝10が延設されている。このV溝10は一端が基板側面に開口し、他端が基板の内方に直線状に延び、かつ、先端が斜状となっている。このように、第2のSi基板2は第1のSi基板1の凹部形成面と張り合わされるが、第2のSi基板2における第1のSi基板1と対向する面に先端が斜状となったV溝9が延設されている。
【0035】
第1のSi基板1において、第2のSi基板2のV溝10に対向する位置にはV溝9が形成されている。このV溝9も一端が基板側面に開口し、他端が基板の内方に直線状に延びている。そして、図4に示すように、第2のSi基板2のV溝10と第1のSi基板1のV溝9との間に光ファイバー4が挟持されている。詳しくは、V溝10の両側壁とV溝9の両側壁の計4点が接触して支持されている。
【0036】
なお、第1のSi基板1にはV溝9を設けずに、第2のSi基板2のV溝10と第1のSi基板1の表面(平坦面)との間に光ファイバー4を挟持してもよく、この場合は、V溝10の両側壁と第1のSi基板1の表面の計3点が接触して支持することになる。
【0037】
図2に示すように、第2のSi基板2において、V溝10の先端での斜状面10aには光路変換用の反射膜5が形成されている。この反射膜5によって光ファイバー4からの受信光の光路が上下方向に変換される。この反射膜5からの受信光が前述の裏面照射型受光素子3に受光される。つまり、光ファイバー4からの受信光が反射膜5に照射されると、その光が上下方向に変換され、裏面照射型受光素子3に照射され、電気信号に変換される。
【0038】
光受信モジュールをこのような構造とすることで、受光素子3への裏面照射が可能となる。
裏面照射型受光素子3の具体的構成例を、図5に示す。受光素子3はHEMT型フォトトランジスタであって、図5には断面模式図を示す。
【0039】
図5において、半絶縁性InP基板101上に、i−In0.52Al0.48Asバッファ層102、i−In0.53Ga0.47As光吸収層103、i−In0.80Ga0.20Asキャリア走行層104、i−In0.52Al0.48Asゲートコンタクト層105が順に形成されている。ただし、i−In0.52Al0.48Asゲートコンタクト層105の中にはSiによるδドープ層106が形成されている。ゲートコンタクト層105の上にはn型のIn0.53Ga0.47Asキャップ層107が形成されている。キャップ層107の上面にはソース電極109およびドレイン電極110がオーム特性を示すように形成されている。また、ゲート電極108はショットキー接合をするようにキャップ層107をエッチングにより削り、ゲートコンタクト層105と接触している。
【0040】
そして、波長1.55μmの赤外光を入射すると、基板101を透過してi−In0.53Ga0.47As光吸収層103およびi−In0.80Ga0.20Asキャリア走行層104で吸収される。この光照射によって生じた電子はi−In0.80Ga0.20Asキャリア走行層104において高速で拡散する。
【0041】
さらに、InP基板101の他の領域には高周波整合回路が形成され、IC(OEIC)となっている。具体的には、図6に示すように、光応答型トランジスタ(高電子移動度フォトトランジスタ)300に対し、ゲート電極に例えばコプレナー型高周波伝送線路301が接続されている。また、ドレイン電極には、コプレナー型高周波伝送線路302およびスタブ303から構成される出力整合回路304が接続されている。さらに、スタブ303および伝送線路301にはコンデンサ305,306が高周波信号の接地用として接続されている。
【0042】
このように、ゲート側に伝送線路301を接続すると、出力ポートから取り出される電波信号の感度を高くすることができる。また、例えば入射する光の強度変調を行った場合、ドレイン側に出力整合回路304を接続することによって所望の周波数信号を感度よく取り出すことができる。
【0043】
次に、光受信モジュールの作用を説明する。
図2において、張り合わされた第1と第2のSi基板1,2の間において光ファイバー4がV溝9,10を用いて挟持され、光ファイバー4からの受信光はV溝10の先端での反射膜5にて上下方向にその向きが変換され、第1のSi基板1の凹部8においてフリップチップ実装された裏面照射型受光素子3にて受光される。
【0044】
ここで、受光素子3は半田リフローによるセルフアライメント効果を用いたフリップチップ実装であるため、高精度に位置決めできるとともに、光ファイバー4と第1,第2のSi基板1,2はV溝9,10によりその相対位置が正確に位置決めされる。このため、光ファイバー4、光路変換用反射膜5、受光素子3の相対位置の精度が高く、光ファイバー4からの受信光が効率よく受光素子3により受光できる。
【0045】
このように、受光素子3のフリップチップ実装および2枚のSi基板1,2を用いたV溝9,10による光ファイバー4の固定によって、パッシプアライメント実装により光ファイバー4と受光素子3の相対位置を高精度に保ったまま、受光素子3への裏面照射を行うことができる。また、第1のSi基板1における凹部形成面には光ファイバーの挟持用のV溝9が形成されているので、このV溝9により光ファイバー4が挟持され、両Si基板1,2間の位置決めをより高精度にすることができる。
【0046】
さらに、受光素子3がトランジスタであり、受光素子への照射方向が裏面となるが、このとき、より有用となる。また、受光素子3がトランジスタおよび高周波整合回路から構成されたICである場合も、受光素子への照射方向が裏面となるが、このとき、より有用となる。また、受光素子3の配線としてコプレーナ線路が用いられている場合に、受光素子への照射方向が裏面となるが、このとき、より有用となる。
【0047】
また、受光素子3は受信光の波長よりも短いバンドギャップ波長を有する半導体基板(InP基板)上に形成されており、半導体基板を光が透過しやすく、裏面照射型受光素子として好ましいものとなる。つまり、受光素子3はInP基板上に形成されており、基板を光が透過しやすく、裏面照射型受光素子として好ましい。
【0048】
さらに、受光素子3が実装された側のSi基板1上に、受光素子3と電気的に接続された配線7が形成され、配線7での受光素子3と反対側の端部に電極パッド7aが設けられており、コネクタ等と容易に接続をとることができる。
【0049】
次に、光受信モジュールの製造方法を説明する。
まず、第1のSiキャリアC1側の製造方法について、図7〜図9を用いて説明する。図7〜図9において、(a)にて図1のごとく平面を、(b)にて図1のA−A線での断面を示す。
【0050】
図7(a),(b)に示すように、第1のSi基板1を用意し、Si基板1の表面に光ファイバー固定用のV溝9、および、V溝9の延設方向の延長線上に受光素子3を配置するための凹部8をエッチングにより形成する。エッチング液としては、KOHやTMAH(テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)等を用いる。このとき、V溝9の深さは光ファイバー4のコアがV溝9の上面よりも下に位置しない深さとする(図2参照)。
【0051】
続いて、図8(a),(b)に示すように、凹部8の底面8aにフリップチップ実装用のパッド6および電気配線7を形成する。具体的には、例えばTi/Auを蒸着しリフトオフすることによりパッド6と配線7を形成する。
【0052】
続いて、図9(a),(b)に示すように、AuSn半田をパッド6上に形成し、裏面照射型受光素子3を能動部を下にして、即ち、受光面を上にして配置し、さらに、280℃以上でリフローして、裏面照射型受光素子3を固定(実装)する。また、V溝9に光ファイバー4を接着剤等で固定する。これが、第1のSiキャリアとなる。
【0053】
次に、第2のSiキャリアC2側の製造方法について、図10を用いて説明する。図10において、(a)にて図1のごとく平面を、(b)にて図1のA−A線での断面を示す。
【0054】
図10(a),(b)に示すように、第2のSi基板2を用意し、その表面に、第1のSi基板1の場合と同様の工程で光ファイバー固定用のV溝10を形成する。ただし、V溝10の深さは光ファイバー4のコアがV溝10の上面よりも下に位置する深さとする(図2参照)。
【0055】
そして、Ti/Auの蒸着およびリフトオフ(または、Ti/Auの蒸着およびTi/Auのエッチング)により、V溝10の端部の傾斜面10aに光路変換用の反射膜5を形成する。これが、第2のSiキャリアとなる。
【0056】
このようにして形成された第2のSiキャリア(基板2)を、図1〜4に示すように、V溝10に光ファイバー4が嵌まり込むように第1のキャリア(基板1)に重ねて、樹脂や接着剤等で固定する。つまり、第1のSiキャリア(基板1)と第2のSiキャリア(基板2)とを張り合わせて両キャリアのV溝9,10で光ファイバー4を挟み込んで固定する。
【0057】
このようにして光受信モジュールが完成する。
図11には、応用例を示す。図11において、第1のSi基板1のV溝9での先端面が基板1表面に対し垂直となっており、この垂直な面20aに光ファイバー4の先端面が当接している。つまり、V溝9での受光素子3に近い側面20aが基板表面に対し垂直となっており、この垂直な面20aにより光ファイバー4の先端部の光軸方向の位置決めを行うようになっている。
【0058】
このように、第1のSi基板1のV溝9に、光ファイバー4の光軸方向のストッパ(溝20)を設けた構造としているため、光ファイバー4、第1および第2のSi基板1,2における光軸方向の相対位置が一義的に決定するために高精度となる。
【0059】
図12,13には、他の応用例を示す。図12,13において、第2のSi基板2のV溝30が、光ファイバー4の位置決め用のV溝31と、光路変換用のV溝32とからなる。このV溝32は位置決め用のV溝31より開口幅が小さくなっている(図13において、W1<W2)。さらに、両V溝31,32の間においてファイバーストッパ溝33が形成されている。ファイバーストッパ溝33は、両V溝31,32と連通し、かつ、その側面33a,33bが基板表面に対し垂直であるとともにファイバー位置決め用のV溝31よりも深くなっている(図12において、D1>D2)。このファイバーストッパ溝33の側面33a,33bのうち、ファイバーストッパ溝33と光路変換用V溝32との境界に形成された光ファイバーストッパ面33aに、光ファイバー4の先端面が当接している。このようにして光ファイバー4の光軸方向の位置決めが行われている。よって、第2のSi基板2のV溝30に、光ファイバー4の光軸方向のストッパを設けた構造としているため、光ファイバー4、第1および第2のSi基板1,2における光軸方向の相対位置が一義的に決定するために高精度となる。
(第2の実施の形態)
次に、第2の実施の形態を、第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
【0060】
図14には、本実施の形態における光受信モジュールの断面図を示す。
光受信モジュールは、第1のSi基板41、第2のSi基板42、裏面照射型受光素子43、光ファイバー44、光路変換用の反射膜45、裏面照射型受光素子実装用パッド46、配線47から構成されている。そして、第1のSi基板41の上に第2のSi基板42が光ファイバー44を挟んだ状態でバンプ52を用いた半田リフローによるセルフアラインにて実装されている。第1のSi基板41にて第1のSiキャリアC11が、第2のSi基板42にて第2のSiキャリアC12が構成されている。
【0061】
第2のSi基板42の表面(図中の下面)には凹部48が形成されている。この凹部48の底面48aにおいては受光素子実装用パッド46および配線47がパターニングされている。配線47の端部は、第1の実施形態と同様に幅広な電極パッド47aとなっている。また、凹部48の内部において受光素子実装用パッド46の上に裏面照射型受光素子43がフリップチップ実装されている。
【0062】
このように、受光素子43が実装された側のSi基板42上に、受光素子43と電気的に接続された配線47が形成され、配線47の受光素子43と反対側の端部に電極パッド47aが設けられている。そして、パッド46と配線47を用いて受光素子43の信号が外部に取り出される。
【0063】
また、第1のSi基板41の表面(上面)にはV溝49が形成されている。このV溝49は一端が基板側面に開口し、他端が基板の内方に直線状に延び、かつ先端が斜状となっている。このV溝49内に光ファイバー44が固定されている。
【0064】
第1のSi基板41において、V溝49の先端の斜状面49aには光路変換用の反射膜45が形成されている。そして、光ファイバー44からの受信光の光路が反射膜45にて上下方向に変換される。この光は裏面照射型受光素子43に照射され、電気信号に変換される。
【0065】
光受信モジュールをこのような構造とすることで、受光素子43への裏面照射が可能となる。
次に、光受信モジュールの作用を説明する。
【0066】
第1のSi基板41のV溝49内に光ファイバー44が固定されるとともに第1のSi基板41に対し第2のSi基板42がバンプ52を用いた半田リフローによるセルフアラインにて実装され、光ファイバー44からの受信光はV溝49の先端での反射膜45にて上下方向にその向きが変換され、第2のSi基板42の凹部48においてフリップチップ実装された裏面照射型受光素子43にて受光される。
【0067】
ここで、受光素子43は半田リフローによるセルフアライメント効果を用いたフリップチップ実装であるため、第2のSi基板42に対して高精度に位置決めでき、また、第2のSi基板42も半田リフローによるセルフアライメント効果を用いたフリップチップ実装で第1のSi基板41に接合され、かつ光ファイバー44はV溝49により第1のSi基板41に位置決めされる。よって、光ファイバー44、光路変換用反射膜45、受光素子43の相対位置の精度が高く光ファイバー44からの受信光を効率よく受光素子43により受光できる。
【0068】
このように、受光素子43のフリップチップ実装、両Si基板41,42のセルフアライメント効果、およびSi基板41に形成したV溝49による光ファイバー44の固定によって、パッシプアライメント実装により光ファイバー44と受光素子43の相対位置を高精度に保ったまま、受光素子43への裏面照射を行うことができる。
【0069】
次に、光受信モジュールの製造方法を説明する。
まず、図15(a),(b)に示すように、第1のSi基板41上における基板外周部にTi/Auからなるパッド(第1のパッド)50を形成する。そして、パッド50上にSnPb半田バンプ52を形成する。
【0070】
さらに、図16(a),(b)に示すように、第1のSi基板41に光ファイバー固定用のV溝49を、KOHやTMAHといったエッチング液を用いてエッチングにより形成する。このとき、V溝49の深さは光ファイバー44のコアがV溝49の上面よりも下に位置する深さとする(図14参照)。そして、V溝49の先端斜状部49aに、Ti/Auの蒸着およびリフトオフ(またはTi/Auの蒸着およびTi/Auのエッチング)により、光路変換用の反射膜45を形成する。
【0071】
その後、図17(a),(b)に示すように、V溝49内部に光ファイバー44を接着剤等により固定する。これが、第1のSiキャリアとなる。
一方、図18(a),(b)に示すように、第2のSi基板42を用意し、その上面における基板外周部にTi/Auからなるパッド(第2のパッド)51を形成する。そして、図19(a),(b)に示すように、第2のSi基板42に裏面照射型受光素子を配置するための凹部48を、ウェットエッチングまたはドライエッチングで形成する。
【0072】
その後、図20(a),(b)に示すように、凹部48の底面48aに裏面照射型受光素子43を実装するためのパッド(第3のパッド)46および電気配線47をTi/Au等で形成する。
【0073】
続いて、図21(a),(b)に示すように、パッド46上にAuSn半田を形成し、裏面照射型受光素子43を能動部を下にして、即ち、受光面を上にして配置する。その後、280℃以上でリフローして、裏面照射型受光素子43を固定(実装)する。これが、第2のSiキャリアとなる。
【0074】
そして、図14に示すように、このように形成された第2のSiキャリア(基板42)をそのパッド51と第1のSiキャリア(基板41)のパッド50の位置が合うように配置する。つまり、第1のSiキャリア(基板41)上に半田バンプ52を介してパッド50,51の位置が合うように第2のSiキャリア(基板42)を位置させる。その後、190℃以上でAuSn半田が溶けない温度でリフローして第1のSiキャリア(基板41)と第2のSiキャリア(基板42)を接合する。
【0075】
これにより、光受信モジュールが形成される。
(第3の実施の形態)
次に、第3の実施の形態を、第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
【0076】
図22には本実施形態の光受信モジュールの平面図を示すとともに、図23に図22のD−D線での縦断面図を示す。さらに、図24にはSi基板(Siキャリア)60を示す。
【0077】
Si基板(キャリア)60の基本構成は、図24に示すように、面方位が(100)であるSi基板60の表面に、光ファイバー位置決め用の第1のV溝61が延設されるとともに、V溝61の延長線上においてV溝61よりも開口幅が小さい光路変換用の第2のV溝62が延設されている。さらに、両V溝61,62の間においてファイバーストッパ溝63が形成されている。このファイバーストッパ溝63は、両V溝61,62と連通し、かつ、その側面が基板表面に対し垂直であるとともに位置決め用V溝61よりも深くなっている。ファイバーストッパ溝63は光ファイバーの光軸方向の位置決めを行うためのものである。また、光路変換用V溝62の先端での斜状面には、光ファイバー66からの受信光の光路を上下方向に変換する反射膜64が形成されている。
【0078】
このSi基板(Siキャリア)60を用いて、図22,23に示すように、光ファイバー66は、その先端面がファイバーストッパ溝63の側面63aに当接した状態で光ファイバー位置決め用V溝61に固定されている。つまり、ファイバーストッパ溝63と光路変換用V溝62との境界に形成された光ファイバーストッパ面63aにより光ファイバー66の先端部の光軸方向の位置決めが行われる。さらに、Si基板60の上面には表面照射型受光素子65が配置され、反射膜64からの受信光を受光する。
【0079】
次に、光受信モジュールの作用を説明する。
光ファイバー66の先端面がファイバーストッパ溝63の側面63aに当接した状態で光ファイバー66がファイバー位置決め用V溝61に固定され、光ファイバー66からの受信光はV溝62の先端での反射膜64にて上下方向にその向きが変換され、受光素子65にて受光される。
【0080】
このように、光ファイバー66の固定位置に関して横方向と縦方向に加え光軸方向にも高精度となる。従って、受光素子65と光ファイバー66の相対位置がより高精度となり、良好な結合が得られる。
【0081】
次に、その製造方法を説明する。
まず、図25(a),(b)に示すように、Si基板60上に窒化膜70を成膜した後、フォトリソグラフィーおよびドライエッチングを行い、第1および第2のV溝形成用の開口部71,72を形成する。なお、図25(a)では、窒化膜70の形成領域をハッチングを付すことにより表した。
【0082】
続いて、図26(a),(b)に示すように、この開口部71,72を介して、KOHやTMAHによるアルカリ異方性エッチングにより、第1のV溝61および第2のV溝62を同時に形成する。このようにして、Si基板60に光ファイバー固定用のV溝61と、このV溝61の延設方向の延長線上に光ファイバー固定用のV溝61よりも幅の狭い光路変換用のV溝62を両溝が接触しないように同一プロセスで形成する。又このとき、第1のV溝61のエッチング深さは光ファイバー66を固定したときにコアがV溝61の上面よりも下に位置する深さにする(図23参照)。また、第2のV溝62は、第1のV溝61の延設方向において接触しないように配置し、その深さが、固定される光ファイバー66のコアの高さよりも深く、かつ第1のV溝61よりも浅くする(図23参照)。
【0083】
このような溝とするための開口部71,72のサイズの一例を挙げると、第1の開口部71については、幅が200μm、長さが1000μmであり、第2の開口部72については幅が100μm、長さが200μmである。
【0084】
次に、図27(a),(b)に示すように、第1のV溝61と第2のV溝62の間に残る凸部(図26の符号73で示す部位)、およびその両側の側壁を含む領域を、ダイシングによりカットし、第1のV溝61よりも深く、その側壁がSi基板60の上面に対して垂直であるファイバーストッパ溝63を形成する。その後、Ti/Auの蒸着およびフォトリソグラフィーとエッチングにより第2のV溝62の側面に光路変換用反射膜64を形成する。このようにしてSiキャリアが形成される。
【0085】
続いて、図22,23に示すように、光ファイバー66を第1のV溝61に固定するとともに、表面照射型受光素子65をフリップチップ実装して光受信モジュールを形成する。
【0086】
なお、図22,23では表面照射型受光素子であったが、裏面照射型受光素子であってもよい。
また、これまで説明してきた各実施形態におけるV溝(Si基板に形成するV溝)に関して、V溝は谷の部分にシリコンが残っていてもよい。要は、光ファイバー固定用のV溝については、少なくとも側壁のテーパ面で光ファイバーと接触できればよく(図28に示すように浅いV溝でのエッジ部P1,P2で接触する場合を含む)、また、光路変換用のV溝については溝内に光路が形成できればよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1の実施の形態における光受信モジュールの平面図。
【図2】 図1でのA−A線での縦断面図。
【図3】 図1でのB矢視図。
【図4】 図1でのC矢視図。
【図5】 裏面照射型受光素子の具体的構成例を示す断面模式図。
【図6】 OEICの回路構成図。
【図7】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図8】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図9】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図10】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図11】 応用例での光受信モジュールの断面図。
【図12】 応用例での光受信モジュールの断面図。
【図13】 応用例での光受信モジュールの側面図。
【図14】 第2の実施の形態における光受信モジュールの平面図。
【図15】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図16】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図17】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図18】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図19】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図20】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図21】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図22】 第3の実施の形態における光受信モジュールの平面図。
【図23】 図22のD−D線での断面図。
【図24】 Siキャリアの斜視図。
【図25】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図26】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図27】 光受信モジュールの製造工程を説明するための図。
【図28】 V溝と光ファイバーの関係を説明するための断面図。
【図29】 従来技術を説明するための光受信モジュールの断面図。
【図30】 従来技術を説明するための光受信モジュールの断面図。
【図31】 従来技術を説明するための光受信モジュールの断面図。
【符号の説明】
1…第1のSi基板、2…第2のSi基板、3…裏面照射型受光素子、4…光ファイバー、5…反射膜、6…パッド、7…配線、8…凹部、9…V溝、10…V溝、31…V溝、32…V溝、33…ファイバーストッパ溝、41…第1のSi基板、42…第2のSi基板、43…裏面照射型受光素子、44…光ファイバー、45…反射膜、46…パッド、47…配線、48…凹部、49…V溝、50…パッド、51…パッド、52…半田バンプ、60…Si基板、61…V溝、62…V溝、63…ファイバーストッパ溝、64…反射膜、65…受光素子、66…光ファイバー。
Claims (8)
- 表面に凹部が形成された第1のSi基板と、
前記第1のSi基板の凹部形成面と張り合わされ、前記第1のSi基板と対向する面に先端が斜状となったV溝が延設された第2のSi基板と、
前記第2のSi基板のV溝と前記第1のSi基板の表面との間に挟持された光ファイバーと、
前記第2のSi基板のV溝の先端での斜状面に形成され、光ファイバーからの受信光の光路を上下方向に変換する反射膜と、
前記凹部の底面にフリップチップ実装され、前記反射膜からの受信光を受光する裏面照射型受光素子とを備え、
前記第1のSi基板における凹部形成面には光ファイバーの挟持用のV溝が形成されており、前記第1のSi基板のV溝の先端が斜状面となっており、
前記光ファイバーの先端は、前記第1のSi基板のV溝先端の斜状面に当接していることを特徴とする光受信モジュール。 - 請求項1に記載の光受信モジュールにおいて、
前記受光素子がトランジスタであることを特徴とする光受信モジュール。 - 請求項1または2に記載の光受信モジュールにおいて、
前記受光素子がトランジスタおよび高周波整合回路から構成されたICであることを特徴とする光受信モジュール。 - 請求項2または3に記載の光受信モジュールにおいて、
前記受光素子の配線としてコプレーナ線路が用いられていることを特徴とする光受信モジュール。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光受信モジュールにおいて、
前記受光素子は受信光の波長よりも短いバンドギャップ波長を有する半導体基板上に形成されていることを特徴とする光受信モジュール。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の光受信モジュールにおいて、
前記受光素子はInP基板上に形成されていることを特徴とする光受信モジュール。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載の光受信モジュールにおいて、
受光素子が実装された側のSi基板上に、受光素子と電気的に接続された配線が形成され、配線での受光素子と反対側の端部に電極パッドが設けられていることを特徴とする光受信モジュール。 - 光ファイバーからの受信光の光路を、Si基板に形成されたV溝の先端の斜状面により上下方向に変換し、受光素子で受信光を受光する光受信モジュールの製造方法であって、
第1のSi基板において先端に斜状面を有する光ファイバー挟持用のV溝を形成し、このV溝の延設方向の延長線上に受光素子を配置するための凹部を形成するとともに、凹部の内部に裏面照射型受光素子を実装するためのパッドおよび電気配線を形成し、さらに、該パッド上に裏面照射型受光素子を実装することにより第1のSiキャリアとする工程と、
第2のSi基板に光ファイバー挟持用のV溝を形成するとともに、このV溝の先端の斜状面に光路変換用の反射膜を形成することにより第2のSiキャリアとする工程と、
前記第1のSiキャリアに形成したV溝先端の斜状面に光ファイバーの先端を当接させつつ前記第1のSiキャリアと第2のSiキャリアとを張り合わせて両キャリアのV溝で光ファイバーを挟み込んで固定する工程と、
を有することを特徴とする光受信モジュールの製造方法。
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