JP4082619B2 - 光反応性薄膜加工法並びに光反応性薄膜加工装置 - Google Patents
光反応性薄膜加工法並びに光反応性薄膜加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4082619B2 JP4082619B2 JP2005089637A JP2005089637A JP4082619B2 JP 4082619 B2 JP4082619 B2 JP 4082619B2 JP 2005089637 A JP2005089637 A JP 2005089637A JP 2005089637 A JP2005089637 A JP 2005089637A JP 4082619 B2 JP4082619 B2 JP 4082619B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- prism
- photoreactive
- light
- incident
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
図1において、連続発振あるいはパルス発振レーザー光であるレーザー装置5は、プリズムへの入射レーザー光を発する。入射レーザー光は、電動機構により透過率が制御できるフィルター等により構成された光量調整部12により光強度が調整された後、波長板と直線偏光板や光音響素子により構成され電気的に制御可能な偏光制御部11により偏光が調整される。その後、鏡6により入射レーザー光は反射されて直角プリズム3(以下プリズムと称す)へ全反射条件を満たす角度以上の入射角度で入射される。このとき鏡6は入射角度調節器7に取り付けられており、鏡の角度を調整することができ、入射レーザー光のプリズムへの入射角度が調整される。
2 ガラス基板(基板)
3 プリズム(直角プリズム)
4 プローブ(プローブ短針)
7 入射角度調整手段(入射角度調節器)
8 鏡
9 位相制御調整手段(位相制御部)
11 偏光調整手段(偏光制御部)
12 光量調整手段(光量調節部)
Claims (12)
- プリズム表面における二つのレーザー光の全反射による二つのエバネッセント波の干渉で形成された合成表面電磁場を用いて、プリズム表面に直接若しくは近接させて配置した光反応性薄膜を加工する方法において、前記光反応性薄膜の表面上に走査型プローブ顕微鏡のプローブを配置して、光の半波長以下の領域において加工中の薄膜の空間的構造、または磁気特性、光学特性若しくは電気伝導特性をその場で加工の前後あるいは加工と同時に観測し、この観測した前記走査型プローブ顕微鏡の信号に基づいて前記レーザー光を制御することによって前記構造または前記特性を制御して光反応性薄膜を加工することを特徴とする光反応性薄膜加工法。
- 前記レーザー光のひとつを入射レーザーとして前記プリズム表面で全反射させ発生させたエバネッセント波と、そのプリズム表面で全反射したレーザー光をプリズム外に配置した鏡により反転させて戻した、反射レーザー光を再び全反射させて発生させたエバネッセント波との前記二つのエバネッセント波をプリズム表面で干渉させた合成表面電磁場を用い、前記入射レーザー光と反射レーザー光の入射角度を調整する入射角度調整手段と、反射レーザー光の空間的な位相を調整し合成表面電磁場の空間的位置を調節する位相制御調整手段とを備え、前記走査型プローブ顕微鏡の信号に基づいて前記入射角度調整手段または前記位相制御調整手段を制御して所望の構造または物性をもたせた薄膜を得ることを特徴とする請求項1記載の光反応性薄膜加工法。
- 前記入射レーザー光の強度または光照射時間と偏光とを調整する光量調整手段と偏光調整手段とを備え、前記走査型プローブ顕微鏡の信号に基づいて、前記光量調整手段または前記偏光調整手段を制御して所望の構造または物性をもたせた薄膜を得ることを特徴とする請求項2記載の光反応性薄膜加工法。
- 前記エバネッセント波の干渉により加工した前記薄膜表面に前記走査型プローブ顕微鏡のプローブ先端を接近させ、プローブ先端に生じさせた近接場光により薄膜に追加工を行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光反応性薄膜加工法。
- 前記プリズム表面に配置する光反応性薄膜は、前記プリズム上に直接配置する、あるいはプリズムと同程度の屈折率のガラス基板上に配置してガラス基板をプリズムに貼り合せることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光反応性薄膜加工法。
- 前記光反応性薄膜は、前記プリズム上に直接配置せず、任意の屈折率の基板上に配置し、この光反応性薄膜の表面を前記プリズム表面側に対面させ、入射レーザー光の10分の1〜1波長の距離に近接して置き、プリズム表面上に形成された前記エバネッセント波の干渉合成表面電磁場を用いて、前記基板上の光反応性薄膜を加工することを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光反応性薄膜加工法。
- プリズム表面における二つのレーザー光の全反射による二つのエバネッセント波の干渉で形成された合成表面電磁場を用いて、プリズム表面に直接若しくは近接させて配置した光反応性薄膜を加工する加工装置において、前記光反応性薄膜の表面上に配置する走査型プローブ顕微鏡のプローブと、この走査型プローブ顕微鏡で光の半波長以下の領域において加工中の薄膜の空間的構造、または磁気特性、光学特性若しくは電気伝導特性をその場で加工の前後あるいは加工と同時に観測し、この観測した前記走査型プローブ顕微鏡の信号に基づいて前記レーザー光を制御することによって前記構造または前記特性を制御して光反応性薄膜を加工する制御部とを備えたことを特徴とする光反応性薄膜加工装置。
- 前記レーザー光のひとつを入射レーザーとして前記プリズム表面で全反射させ発生させたエバネッセント波と、そのプリズム表面で全反射したレーザー光をプリズム外に配置した鏡により反転させて戻した、反射レーザー光を再び全反射させて発生させたエバネッセント波との前記二つのエバネッセント波をプリズム表面で干渉させた合成表面電磁場が生じるように構成し、前記入射レーザー光と反射レーザー光の入射角度を調整する入射角度調整手段と、反射レーザー光の空間的な位相を調整し合成表面電磁場の空間的位置を調節する位相制御調整手段とを備え、前記走査型プローブ顕微鏡の信号に基づいて前記入射角度調整手段または前記位相制御調整手段を制御して所望の構造または物性をもたせた薄膜を得るように前記制御部を構成したことを特徴とする請求項7記載の光反応性薄膜加工装置。
- 前記入射レーザー光の強度または光照射時間と偏光とを調整する光量調整手段と偏光調整手段とを備え、前記走査型プローブ顕微鏡の信号に基づいて、前記光量調整手段または前記偏光調整手段を制御して所望の構造または物性をもたせた薄膜を得るように前記制御部を構成したことを特徴とする請求項8記載の光反応性薄膜加工装置。
- 前記エバネッセント波の干渉により加工した前記薄膜表面に前記走査型プローブ顕微鏡のプローブ先端を接近配置して、プローブ先端に生じさせた近接場光により薄膜に追加工を行うように構成したことを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載の光反応性薄膜加工装置。
- 前記プリズム表面に配置する光反応性薄膜は、前記プリズム上に直接配置する、あるいはプリズムと同程度の屈折率のガラス基板上に配置してガラス基板をプリズムに貼り合せることを特徴とする請求項7〜10のいずれか1項に記載の光反応性薄膜加工装置。
- 前記光反応性薄膜は、前記プリズム上に直接配置せず、任意の屈折率の基板上に配置し、この光反応性薄膜の表面を前記プリズム表面側に対面させ、入射レーザー光の10分の1〜1波長の距離に近接して置き、プリズム表面上に形成された前記エバネッセント波の干渉合成表面電磁場を用いて、前記基板上の光反応性薄膜を加工するように構成したことを特徴とする請求項7〜10のいずれか1項に記載の光反応性薄膜加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005089637A JP4082619B2 (ja) | 2004-03-27 | 2005-03-25 | 光反応性薄膜加工法並びに光反応性薄膜加工装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004127363 | 2004-03-27 | ||
JP2005089637A JP4082619B2 (ja) | 2004-03-27 | 2005-03-25 | 光反応性薄膜加工法並びに光反応性薄膜加工装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005313315A JP2005313315A (ja) | 2005-11-10 |
JP2005313315A5 JP2005313315A5 (ja) | 2007-08-16 |
JP4082619B2 true JP4082619B2 (ja) | 2008-04-30 |
Family
ID=35441260
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005089637A Expired - Fee Related JP4082619B2 (ja) | 2004-03-27 | 2005-03-25 | 光反応性薄膜加工法並びに光反応性薄膜加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4082619B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007322497A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Olympus Corp | 光学系、ホログラフィックメモリー、ホログラフィック記録媒体 |
-
2005
- 2005-03-25 JP JP2005089637A patent/JP4082619B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005313315A (ja) | 2005-11-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Lee et al. | The use of plasmonics in light beaming and focusing | |
US7599069B2 (en) | Vector beam generator using a passively phase stable optical interferometer | |
Yu et al. | Flat optics: controlling wavefronts with optical antenna metasurfaces | |
Rekola et al. | Digital holographic microscopy for real-time observation of surface-relief grating formation on azobenzene-containing films | |
Sqalli et al. | Gold elliptical nanoantennas as probes for near field optical microscopy | |
Lagomarsino et al. | Evidence of light guiding in ion-implanted diamond | |
Bozhevolnyi et al. | Transfer functions in collection scanning near-field optical microscopy | |
Feng et al. | Direct Emission of Focused Terahertz Vortex Beams Using Indium‐Tin‐Oxide‐Based Fresnel Zone Plates | |
WO2005092490A1 (ja) | 光反応性薄膜加工法並びに光反応性薄膜加工装置 | |
JP4082619B2 (ja) | 光反応性薄膜加工法並びに光反応性薄膜加工装置 | |
Ung et al. | Scanning the plasmonic properties of a nanohole array with a single nanocrystal near-field probe | |
Anghinolfi | Self-organized arrays of gold nanoparticles: morphology and plasmonic properties | |
CN116295038B (zh) | 基于超表面光栅的纳米级二维位移测量装置及方法 | |
JP2003149120A (ja) | 近接場光を利用した装置用プローブヘッドとその利用装置 | |
Rahbany et al. | Near-field scanning optical microscope combined with digital holography for three-dimensional electromagnetic field reconstruction | |
US20240077757A1 (en) | Thermo-optical spatial light modulator | |
Bijster et al. | Non-contact distance measurement and profilometry using thermal near-field radiation towards a high resolution inspection and metrology solution | |
Datta | Producing Nanoscale Laser Spot and Its Applications | |
Sreekanth et al. | Effect of metals on UV-excited plasmonic lithography for sub-50 nm periodic feature fabrication | |
Belkner et al. | Differential confocal microscopy for stable scanning-microsphere assisted direct laser writing | |
Papamakarios et al. | Cactus-like Metamaterial Structures for Electromagnetically Induced Transparency at THz frequencies | |
Zhang et al. | A Plasmonic Photonic Diode for Unidirectional Focusing, Imaging, and Wavelength Division De‐Multiplexing | |
Li et al. | Micro-machined optical fibre cantilever as sensor elements | |
Zhang et al. | Tunable-Focusing of Surface Plasmon Polaritons With a Slightly Irregular Line of Nanofootprints | |
Descrovi | Longitudinally polarized fields in near-field imaging systems |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Effective date: 20060829 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20060829 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070528 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070528 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20070528 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20070725 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070820 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071210 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080207 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 3 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120222 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |