JP4073251B2 - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4073251B2 JP4073251B2 JP2002146593A JP2002146593A JP4073251B2 JP 4073251 B2 JP4073251 B2 JP 4073251B2 JP 2002146593 A JP2002146593 A JP 2002146593A JP 2002146593 A JP2002146593 A JP 2002146593A JP 4073251 B2 JP4073251 B2 JP 4073251B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- processing
- transfer
- unit
- processing block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に対して所定の液処理とこの液処理に伴う熱的処理を行う基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造においては、配線用の導体材料として銅が広く使用されており、例えば、銅配線が形成されたウエハの表面に塗布法(Spin On Deposition)によって層間絶縁膜を形成する場合には、ウエハをスピンチャックに保持してウエハの略中心に所定量の塗布液を供給し、スピンチャックを所定の回転数で回転させることによって塗布液をウエハの周縁に拡げ、その後に塗布膜が形成されたウエハを熱処理している。
【0003】
ここで、銅は固体中を拡散しやすい性質を有しているために、このような処理の過程でスピンチャックにはウエハを介して銅が拡散する。したがって、その後にこのスピンチャックに銅配線が形成されていないウエハを保持させると、スピンチャックからこのウエハへの銅の拡散が生じることによって、半導体デバイスの絶縁特性が低下する。
【0004】
そこで、半導体製造メーカーでは、銅配線が形成されているウエハに所定の処理を施し、または銅を含む材料を使用してウエハを処理し、或いは銅配線が形成されているウエハを検査する(以下このような処理等を「銅使用プロセス」という)ために使用される各種処理ユニットおよび検査ユニット等からなる製造装置(以下「銅使用プロセス用製造装置」という)と、銅配線を有していないウエハに銅を用いない所定の処理を施し、または銅配線が形成されていないウエハを検査する(以下このような処理等を「銅不使用プロセス」という)ために使用される各種処理ユニットおよび検査ユニット等からなる製造装置(以下「銅不使用プロセス用製造装置」という)を、別々に用意して使い分けており、これによって、銅配線を有していないウエハへの銅の拡散を防止している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このように、銅使用プロセス用製造装置と銅不使用プロセス用製造装置を別々に準備した場合には、装置コストが嵩む問題がある。また、これらの製造装置を配置するために広いスペースのクリーンルームが必要となる問題もある。
【0006】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、1台の装置で、銅の拡散を抑制して銅使用プロセスと銅不使用プロセスとを並行して行うことができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の観点によれば、基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
銅配線を有する基板に所定の処理を施す処理ユニットを有する第1処理ブロックと、
前記第1処理ブロックに対して、その境界面について鉛直方向からみて対称となるように水平方向に並べて配置され、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する第2処理ブロックと、
前記第1処理ブロックと前記第2処理ブロックとの境界面に配置され、第1搬送アームと第2搬送アームとを内部に有する基板搬送装置であって、前記第1搬送アームと前記第2搬送アームとは基板搬送装置内部の空間内を移動し、かつ前記第1搬送アームは、前記第1処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行い、前記第2の搬送アームは、前記第2処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行う基板搬送装置と、
を具備し、
上記構成により、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する前記第2処理ブロックへの銅の拡散が抑制されることを特徴とする基板処理装置、が提供される。
【0008】
本発明の第2の観点によれば、基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
銅配線を有する基板に所定の処理を施す処理ユニットを有する第1処理ブロックと、
前記第1処理ブロックに対して、その境界面について鉛直方向からみて対称となるように水平方向に並べて配置され、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する第2処理ブロックと、
前記第1処理ブロックと前記第2処理ブロックとの境界面に配置され、第1搬送アームと第2搬送アームとを内部に有する第1の基板搬送装置であって、前記第1搬送アームと前記第2搬送アームとは当該第1の基板搬送装置内部の空間内を移動し、かつ前記第1搬送アームは、前記第1処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行い、前記第2の搬送アームは、前記第2処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行う第1の基板搬送装置と、
前記第1処理ブロックにおいて処理を行う基板が収容された容器を載置する第1容器載置部と、前記第1容器載置部に載置された容器と前記第1処理ブロックとの間で基板を搬送する第2基板搬送装置とを有し、前記第1処理ブロックに隣接して設けられた第1基板搬送ステーションと、
前記第2処理ブロックにおいて処理を行う基板が収容された容器を載置する第2容器載置部と、前記第2容器載置部に載置された容器と前記第2処理ブロックとの間で基板を搬送する第3基板搬送装置とを有し、前記第2処理ブロックに隣接して設けられた第2基板搬送ステーションと、
を具備し、
前記第1基板搬送ステーションと前記第2基板搬送ステーションとは、前記第1処理ブロックおよび前記第2処理ブロックを水平方向に挟んで設けられており、
上記構成により、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する前記第2処理ブロックへの銅の拡散が抑制されることを特徴とする基板処理装置、が提供される。
【0009】
本発明の第3の観点によれば、基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
銅配線を有する基板に所定の処理を施す処理ユニットを有する第1処理ブロックと、
前記第1処理ブロックの上側に設けられ、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する第2処理ブロックと、
前記第1処理ブロックおよび前記第2処理ブロックの内部に上下方向に沿って設けられ、第1基板搬送部および第2基板搬送部を有する基板搬送装置であって、前記第2基板搬送部が前記第1基板搬送部の上側に設けられ、前記第1基板搬送部は、基板搬送装置内部の空間内を上下に移動可能で、前記第1処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行う第1搬送アームを有し、前記第2基板搬送部は、基板搬送装置内部の空間内を上下に移動可能で、前記第2処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行う第2搬送アームを有する基板搬送装置と、
を具備し、
上記構成により、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する前記第2処理ブロックへの銅の拡散が抑制されることを特徴とする基板処理装置、が提供される。
【0010】
本発明の第4の観点によれば、基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
銅配線を有する基板に所定の処理を施す処理ユニットを有する第1処理ブロックと、
前記第1処理ブロックの上側に設けられ、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する第2処理ブロックと、
前記第1処理ブロックおよび前記第2処理ブロックの内部に上下方向に沿って設けられ、第1基板搬送部および第2基板搬送部を有する第1の基板搬送装置であって、前記第2基板搬送部が前記第1基板搬送部の上側に設けられ、前記第1基板搬送部は、基板搬送装置内部の空間内を上下に移動可能で、前記第1処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行う第1搬送アームを有し、前記第2基板搬送部は、基板搬送装置内部の空間内を上下に移動可能で、前記第2処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行う第2搬送アームを有する第1の基板搬送装置と、
前記第1処理ブロックにおいて処理を行う基板が収容された容器を載置する第1容器載置部と、前記第1容器載置部に載置された容器と前記第1処理ブロックとの間で基板を搬送する第2基板搬送装置と、を有する第1基板搬送ステーションと、
前記第2処理ブロックにおいて処理を行う基板が収容された容器を載置する第2容器載置部と、前記第2容器載置部に載置された容器と前記第2処理ブロックとの間で基板を搬送する第3基板搬送装置と、を有する第2基板搬送ステーションと、
を具備し、
前記第1基板搬送ステーションと前記第2基板搬送ステーションとは、前記第1処理ブロックおよび前記第2処理ブロックを水平方向に挟んで設けられており、
上記構成により、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する前記第2処理ブロックへの銅の拡散が抑制されることを特徴とする基板処理装置、が提供される。
【0011】
このような基板処理装置においては、銅を有する基板の処理を行う第1処理ブロックと、銅を有しない基板を銅を使用せずに処理する第2処理ブロックとに分けてこれらの雰囲気を実質的に分けているので、第1処理ブロックから第2処理ブロックへの銅の拡散を抑制することができる。また、第1処理ブロックを構成する処理ユニットに対する基板の搬送を行う基板搬送装置と、第1処理ブロックを構成する処理ユニットに対する基板の搬送を行う基板搬送装置を区別して用いることによって、基板搬送装置を介した銅の拡散をもまた抑制することができる。これにより第1処理ブロックから第2処理ブロックにおいて処理される基板への銅の拡散による基板の汚染を抑制することができ、第2処理ブロックで処理される基板の絶縁特性の低下を防止することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。ここでは、本発明の基板処理装置を、低誘電率層間絶縁膜(low−k膜)を塗布法(Spin On Deposition)によって形成するSODシステムに適用した場合について説明することとする。図1はSODシステム100の概略平面図であり、図2はその概略側面図であり、図3はSODシステム100内に装着された処理ユニット群の概略断面図である。
【0013】
SODシステム100は、大別して、処理ステーション1と、第1搬送ステーション2と、第2搬送ステーション5とを具備している。処理ステーション1は、銅配線を有するウエハWに所定の処理を施す処理ユニットを有する第1処理ブロックと、銅配線を有していないウエハWに銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する第2処理ブロックと、第1処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してウエハWの搬送を行う第1搬送アーム群19aおよび第2処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してウエハWの搬送を行う第2搬送アーム群19bを有する主ウエハ搬送装置18と、を具備している。
【0014】
この第1処理ブロックは、ウエハWに対してlow−k膜(低誘電率層間絶縁膜)の塗布形成を行う2台の絶縁膜塗布処理ユニット(SCT)21が積み重ねられた第1処理ユニット群G1と、第1処理ユニット群G1においてlow−k膜が形成されたウエハWの熱的処理を行う第3処理ユニット群G3とを有している。第1処理ユニット群G1の下部は、第1処理ユニット群G1において使用される各種の塗布液等を貯留するための薬液貯留室20aとなっている。
【0015】
また、第3処理ユニット群G3では、第1処理ユニット群G1においてlow−k膜が形成されたウエハWの硬化処理を行う2台のキュア処理ユニット(DLC)24と、ウエハWの加熱処理を行う2台のベーク処理ユニット(DLB)25と、ウエハWの冷却を行うクーリングプレートユニット(CPL)26と、第1搬送ステーション2と主ウエハ搬送装置18との間でウエハWの受け渡しを行うためにウエハWを載置する第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23が積み重ねられている。なお、第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23は、ベーク処理ユニット(DLB)25において処理されたウエハWの自然冷却ユニットとして使用することもできる。
【0016】
この第2処理ブロックは、ウエハWの表面にlow−k膜を形成する2台の絶縁膜塗布処理ユニット(SCT)27が積み重ねられた第2処理ユニット群G2と、第2処理ユニット群G2において塗布膜が形成されたウエハWの熱的処理を行う第4処理ユニット群G4とを有している。第2処理ユニット群G2の下部は、第2処理ユニット群G2において使用する各種の塗布液等を貯留するための薬液貯留室20bとなっている。
【0017】
また、第4処理ユニット群G4では、第2処理ユニット群G2においてlow−k膜が形成されたウエハWの硬化処理を行う2台のキュア処理ユニット(DLC)29と、ウエハWの加熱処理を行う2台のベーク処理ユニット(DLB)30と、ウエハWの冷却を行うクーリングプレートユニット(CPL)31と、第2搬送ステーション5と主ウエハ搬送装置18との間でウエハWの受け渡しを行うためにウエハWを載置する第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28が積み重ねられている。なお、第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28は、ベーク処理ユニット(DLB)30において処理されたウエハWの自然冷却ユニットとして使用することもできる。
【0018】
このように、第1処理ブロックでは銅配線が形成されたウエハWにlow−k膜を形成する一連の処理(銅使用プロセス)が行われ、第2処理ブロックでは銅を有しないウエハWにlow−k膜を形成する一連の処理(銅不使用プロセス)が行われる。図1から図3の各図に示すように、第1処理ブロックと第2処理ブロックはその境界面(Z−X面)について略対称となるように水平方向に並べて配置されており、第1処理ブロックと第2処理ブロックの処理雰囲気は実質的に分離されている。
【0019】
第1処理ブロック側に設けられている第1搬送ステーション2は、第1処理ブロックにおいて処理を行うウエハWが所定枚数、例えば25枚収容されたキャリア(CR)を載置する第1キャリア載置台3と、第1キャリア載置台3に載置されたキャリア(CR)と第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23との間でウエハWを搬送するウエハ搬送装置11が設けられた第1搬送ユニット4と、を有している。
【0020】
この第1キャリア載置台3には、図1に示すように、図中X方向に沿って複数(図では4個)の位置決め突起10が形成されており、この位置決め突起10の位置にキャリア(CR)が、それぞれのウエハ出入口を第1搬送ユニット4側に向けて1列に載置できるようになっている。キャリア(CR)においてはウエハWは略水平姿勢で鉛直方向(Z方向)に所定の間隔で配列されている。
【0021】
ウエハ搬送装置11はキャリア配列方向(X方向)にスライド可能である。また、ウエハ搬送装置11は、Z方向に移動可能であり、かつ、図1中のY方向に進退可能であり、かつ、図1中のθ方向に回転可能であるウエハ搬送ピック11aを有している。このような可動機構によって、ウエハ搬送ピック11aは、第1キャリア載置台3に載置されたいずれかのキャリア(CR)に収容された任意のウエハWおよび第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23に対してアクセス可能であり、これらの間でウエハWを搬送することができる。
【0022】
第2処理ブロック側に設けられている第2搬送ステーション5は、第2処理ブロックにおいて処理を行うウエハWが収容されたキャリア(CR)を載置する第2キャリア載置台6と、第2キャリア載置台6に載置されたキャリア(CR)と第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28との間でウエハWを搬送するウエハ搬送装置13が設けられた第2搬送ユニット7と、を有している。
【0023】
第2キャリア載置台6には、図中X方向に沿って4箇所に位置決め突起12が形成されており、この位置決め突起12の位置にキャリア(CR)が、それぞれのウエハ出入口を第2搬送ユニット7側に向けて1列に載置できるようになっている。キャリア(CR)においてはウエハWは略水平姿勢で鉛直方向(Z方向)に所定の間隔で配列されている。第2キャリア載置台6に載置されるキャリア(CR)に収容されているウエハWとしては、例えば、アルミニウム配線が形成されているウエハW等が挙げられる。
【0024】
ウエハ搬送装置13はキャリア配列方向(X方向)にスライド可能である。また、ウエハ搬送装置13は、Z方向に移動可能であり、かつ、図1中のY方向に進退可能であり、かつ、図1中のθ方向に回転可能であるウエハ搬送ピック13aを有している。このような可動機構によって、ウエハ搬送ピック13aは、第2キャリア載置台6に載置されたいずれかのキャリア(CR)に収容された任意のウエハWおよび第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28に対してアクセス可能であり、これらの間でウエハWを搬送することができる。
【0025】
SODシステム100においては、このように、銅使用プロセスを行うウエハWを取り扱う第1搬送ステーション2と、銅不使用プロセスを行うウエハWを取り扱う第2搬送ステーション5とが、処理ステーション1を挟んで隔離して配置されている。これにより第1搬送ステーション2と第2搬送ステーション5の雰囲気が実質的に分離されている。
【0026】
例えば、銅使用プロセスを行うウエハWと銅不使用プロセスを行うウエハWを同じウエハ搬送ピックで処理ステーション1に搬送する構造とした場合には、銅使用プロセスを行うウエハWからウエハ搬送ピックに銅が拡散し、さらにウエハ搬送ピックから銅不使用プロセスを行うウエハWへ銅が拡散して銅不使用プロセスを行うウエハWが汚染される事態が生じるおそれがある。しかし、SODシステム100においては、このようなウエハ搬送ピックを介した銅不使用プロセスを行うウエハWへの銅の拡散が起こらないようになっている。
【0027】
主ウエハ搬送装置18は、Z方向に延在し、垂直壁51a・51bおよびこれらの間の側面開口部51cを有する筒状支持体51と、その内側に筒状支持体51に沿ってZ方向に昇降自在に設けられたウエハ搬送体52とを有している。筒状支持体51はモータ53の回転駆動力によって回転可能となっており、それに伴ってウエハ搬送体52も一体的に回転されるようになっている。また、ウエハ搬送体52は、モータ58によってベルト59を駆動させることにより昇降自在となっている。なお、符号40は駆動プーリー、41は従動プーリーである。
【0028】
ウエハ搬送体52は搬送基台54を備えており、第1搬送アーム群19aと第2搬送アーム群19bは搬送基台54に取り付けられている。第1搬送アーム群19aは3本の搬送アーム55a・55b・55cを有し、第2搬送アーム群19bは3本の搬送アーム56a・56b・56cを有している。搬送アーム55a〜55c・56a〜56cは筒状支持体51の側面開口部51cを通過可能な大きさを有しており、搬送基台54内に内蔵されたモータおよびベルト機構によって個々に独立して進退移動することが可能となっている。
【0029】
筒状支持体51を所定角度回転させて側面開口部51cを第1処理ユニット群G1〜第4処理ユニット群G4に向けることによって、搬送アーム55a〜55cを第1処理ユニット群G1と第3処理ユニット群G3を構成する各処理ユニットにアクセスさせることができ、搬送アーム56a〜56cを第2処理ユニット群G2と第4処理ユニット群G4を構成する各処理ユニットにアクセスさせることができる。このように、主ウエハ搬送装置18では、銅使用プロセスを行うウエハWを搬送アームと銅不使用プロセスを行うウエハWを取り扱う搬送アームとを区別しており、これによって搬送アームを介して銅不使用プロセスを行うウエハWへ銅が拡散することが防止される。
【0030】
主ウエハ搬送装置18の上方には、主ウエハ搬送装置18に清浄な空気をダウンフローとして供給するフィルターファンユニット(FFU)32が設けられている。図4はフィルターファンユニット(FFU)32からの空気の流れを示す説明図である。
【0031】
主ウエハ搬送装置18が設けられている床部には排気口(図示せず)が設けられており、フィルターファンユニット(FFU)32から吹き出されるダウンフローの一部は、主ウエハ搬送装置18にあたった後に、その床部から排気される。第2搬送アーム群19bは第1搬送アーム群19aの上側に配置されているために、銅使用プロセスを行うウエハWを取り扱う第1搬送アーム群19aから銅不使用プロセスを行うウエハWを取り扱う第2搬送アーム群19bへの銅の拡散が抑制される。また、第1搬送アーム群19aと第2搬送アーム群19bとの間には遮蔽板33が設けられており、これによっても第1搬送アーム群19aから第2搬送アーム群19bへの銅の拡散が抑制される。
【0032】
フィルターファンユニット(FFU)32から吹き出されるダウンフローの一部は、第3処理ユニット群G3の各処理ユニットを通って、図示しないフィルターによってパーティクルが除去された後に第1搬送ユニット4へ流出し、また、第4処理ユニット群G4の各処理ユニットを通って、図示しないフィルターによってパーティクルが除去された後に第2搬送ユニット7へ流出するようになっている。これにより、第3処理ユニット群G3と第4処理ユニット群G4の各処理ユニットの内部が清浄に保持され、しかも第3処理ユニット群G3から第4処理ユニット群G4への銅の拡散が抑制される。
【0033】
搬送アーム55aと搬送アーム55bとの間には遮熱板34aが設けられている。例えば、搬送アーム55aを室温および所定の温度に冷却処理されたウエハWの搬送用に用い、搬送アーム55b・55cをベーク処理ユニット(DLB)25等で加熱処理されたウエハWの搬送に用いた場合に、この遮熱板34aによって、加熱されたウエハWからの熱拡散によって搬送アーム55aが温められることが抑制される。同様の目的で、搬送アーム56aと搬送アーム56bとの間には遮熱板34bが設けられている。また、遮蔽板33によって、搬送アーム56cから搬送アーム55aへの熱拡散が抑制され、搬送アーム55aが温められることが抑制される。なお、図1と図3において、遮蔽板33と遮熱板34a・34bを保持する保持部材は図示していないが、この保持部材は搬送基台54に設けられている。
【0034】
上記のように構成されたSODシステム100においては、ゾル−ゲル法、シルク法、スピードフィルム法、フォックス法等の各種の方法によってlow−k膜を形成することができる。第1処理ブロックにおいて、銅配線が形成されたウエハWの表面にこれら各種の方法によってlow−k膜を形成する場合の基本的なウエハWの処理は、(1)ウエハ搬送装置11によるキャリア(CR)から第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23へのウエハWの搬送、(2)クーリングプレートユニット(CPL)26へのウエハWの搬送と温度調整、(3)絶縁膜塗布処理ユニット(SCT)21へのウエハWの搬送と塗布膜の形成、(4)ベーク処理ユニット(DLB)25へのウエハWの搬送と熱処理、(5)キュア処理ユニット(DLC)24へのウエハWの搬送とキュア処理、(6)クーリングプレートユニット(CPL)26へのウエハWの搬送と冷却処理、(7)第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23を介したキャリア(CR)へのウエハWの収容、の順序で行われる。なお、第2処理ブロックにおけるlow−k膜の形成処理もこれと同様に行われる。
【0035】
このようなSODシステム100を用いた場合には、従来のように銅使用プロセス用のSODシステムと銅不使用プロセス用のSODシステムを2台用いることなく、これらの両プロセスを1台のSODシステム100内で並行して行うことができる。また、銅使用プロセスを行うエリアと銅不使用プロセスを行うエリアを分離して、さらに銅使用プロセスを行うウエハを搬送する搬送アームと銅不使用プロセスを行うウエハを搬送する搬送アームを区別させた構成とすることによって、銅不使用プロセスを行うウエハWの銅による汚染が抑制され、銅不使用プロセスを行うウエハWの絶縁特性の低下を防止することができる。
【0036】
SODシステム100においては、主ウエハ搬送装置18における第1搬送アーム群19aと第2搬送アーム群19bの構成を、図5の側面図に示すように変更してもよい。図5に示す構成では、第1搬送アーム群19aにおいて室温および所定の温度に冷却されたウエハWを取り扱う搬送アーム55aと第2搬送アーム群19aにおいて室温および所定の温度に冷却されたウエハWを取り扱う搬送アーム56aが遮蔽板33の上側に配置され、かつ、搬送アーム56aが搬送アーム55aの上側に配置されている。また、第1搬送アーム群19aにおいて加熱されたウエハWを取り扱う搬送アーム55b・55cと第2搬送アーム群19aにおいて加熱されたウエハWを取り扱う搬送アーム56b・56cが遮蔽板33の下側に配置され、かつ、搬送アーム56b・56cが搬送アーム55b・55cの上側に配置されている。
【0037】
主ウエハ搬送装置18の構成を図5に示すようにした場合には、遮蔽板33が遮熱板として機能するために、図3に示す構成のように遮熱板34a・34bを設けなくともよい。但し、銅使用プロセスを行うウエハWを取り扱う搬送アームと銅不使用プロセスを行うウエハWを取り扱う搬送アームとを近接させないようにするか、または搬送アーム55a・56a間と搬送アーム55b・56c間のそれぞれに銅の拡散を抑制する遮蔽板または浮遊する銅を吸着する部材を設ける等して、銅の拡散を防止することがより好ましい。
【0038】
次に、SODシステムの別の形態について説明する。図6はSODシステム100´の概略平面図であり、図7はその概略側面図であり、図8はSODシステム100´内に装着された処理ユニット群の概略断面図である。SODシステム100´は、大別して、処理ステーション1´と、第1搬送ステーション2と、第2搬送ステーション5とを具備している。SODシステム100´の第1搬送ステーション2と第2搬送ステーション5の構成は、先に説明したSODシステム100の第1搬送ステーション2および第2搬送ステーション5の構成と同じである。このため第1搬送ステーション2と第2搬送ステーション5の構成についての説明はここでは省略する。
【0039】
処理ステーション1´は、銅配線を有するウエハWにlow−k膜を形成する絶縁膜塗布処理ユニット(SCT)21が水平方向に2台並べて配置された第1処理ユニット群G1´と、銅配線を有しないウエハWにlow−k膜を形成する絶縁膜塗布処理ユニット(SCT)27が水平方向に2台並べて配置された第2処理ユニット群G2´を有し、第2処理ユニット群G2´は第1処理ユニット群G1´の上側に配置されている。
【0040】
処理ステーション1´にはまた、第1処理ユニット群G1´と第2処理ユニット群G2´において塗布膜が形成されたウエハWに対して熱的処理を行う第1ユニットタワーT1および第2ユニットタワーT2と、銅配線を有するウエハWを搬送する第1搬送部18aおよび銅配線を有しないウエハWを搬送する第2搬送部18bを有する主ウエハ搬送装置18´が配置されている。
【0041】
第1ユニットタワーT1は、第3処理ユニット群G3´と第5処理ユニット群G5を有し、第5処理ユニット群G5が第3処理ユニット群G3´の上側に配置されている。第2ユニットタワーT2は、第4処理ユニット群G4´と第6処理ユニット群G6を有し、第6処理ユニット群G6が第4処理ユニット群G4´の上側に配置されている。
【0042】
第3処理ユニット群G3´と第4処理ユニット群G4´では銅配線を有するウエハWが取り扱われる。第3処理ユニット群G3´では、第1搬送ステーション2と主ウエハ搬送装置18´との間でウエハWの受け渡しを行うためにウエハWを載置する第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23と、第1処理ユニット群G1´においてlow−k膜が形成されたウエハWの加熱処理を行うベーク処理ユニット(DLB)25と、そのウエハWの硬化処理を行うキュア処理ユニット(DLC)24が積み重ねられている。また、第4処理ユニット群G4´では、ウエハWの冷却を行うクーリングプレートユニット(CPL)26と、ベーク処理ユニット(DLB)25と、キュア処理ユニット(DLC)24が積み重ねられている。
【0043】
第5処理ユニット群G5と第6処理ユニット群G6では銅配線を有しないウエハWが取り扱われ、第5処理ユニット群G5では、ウエハWの冷却を行うクーリングプレートユニット(CPL)31と、第2処理ユニット群G2´においてlow−k膜が形成されたウエハWの加熱処理をベーク処理ユニット(DLB)30と、そのウエハWの硬化処理を行うキュア処理ユニット(DLC)29が積み重ねられている。また、第6処理ユニット群G6では、第2搬送ステーション5と主ウエハ搬送装置18´との間でウエハWの受け渡しを行うためにウエハWを載置する第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28と、ベーク処理ユニット(DLB)30と、キュア処理ユニット(DLC)29が積み重ねられている。
【0044】
主ウエハ搬送装置18´では、第2搬送部18bが第1搬送部18aの上側に配置されており、主ウエハ搬送装置18´の上方にフィルターファンユニット(FFU)32が設けられている。第1搬送部18aと第2搬送部18bを仕切る隔壁板39には孔部(図示せず)が設けられており、フィルターファンユニット(FFU)32からのダウンフローは第2搬送部18bを通って、第1搬送部18aに送られるようになっており、第1搬送部18aから第2搬送部18bへ銅が拡散しないようになっている。また、第2搬送部18bにおいて発塵が起こりやすい部分には局所排気装置(図示せず)が設けられており、第1搬送部18aへのパーティクルの流入が抑制されるようになっている。
【0045】
第1搬送部18aと第2搬送部18bはそれぞれ、SODシステム100に設けられた主ウエハ搬送装置18と同等の構造を有しており、独立して駆動可能となっている。第1搬送部18aは、搬送アーム55a〜55cを有する第1搬送アーム群19aを有し、搬送アーム55a〜55cは、第1処理ユニット群G1´と、第3処理ユニット群G3´と、第4処理ユニット群G4´にアクセス自在である。搬送アーム55aと搬送アーム55bとの間には遮熱板34aが設けられている。
【0046】
第2搬送部18bは、搬送アーム56a〜56cを有する第2搬送アーム群19bを有し、搬送アーム56a〜56cは、第2処理ユニット群G2´と、第5処理ユニット群G5と第6処理ユニット群G6にアクセス自在となっている。搬送アーム56aと搬送アーム56bとの間には遮熱板34bが設けられている。
【0047】
フィルターファンユニット(FFU)32からのダウンフローの一部は、第6処理ユニット群G6を構成する各処理ユニットを通って、図示しないフィルターによってパーティクルが除去された後に第2搬送ユニット7へ流出するようになっているが、図示しない排気管によって第4処理ユニット群G4´を通って第2搬送ステーション5へ流れ出さないようになっている。また、フィルターファンユニット(FFU)32からのダウンフローの一部は、第3処理ユニット群G3´と第5処理ユニット群G5を構成する各処理ユニットを通って、図示しないフィルターによってパーティクルが除去された後に第1搬送ステーション2へ流出するようになっている。これは、銅不使用プロセスを行う処理ユニットから銅使用プロセスを行う処理ブロックへの空気の流れは、銅使用プロセスを行うウエハWに対して悪影響を与えないためである。
【0048】
このようにSODシステム100´の処理ステーション1´は、銅配線を有するウエハWに所定の処理を施す処理ユニットおよび銅配線を有するウエハWを搬送する搬送装置を有する処理ブロックが下側に配置され、銅配線を有していないウエハWに銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットおよび銅配線を有しないウエハWを搬送する搬送装置を有する処理ブロックが上側に配置された構造を有している。つまり、銅使用プロセスを行う処理ブロックと銅不使用プロセスを行う処理ブロックが上下に分けられて、処理雰囲気が実質的に分離されている。
【0049】
また、SODシステム100´においては、銅配線を有するウエハWを搬送する第1搬送ステーション2と銅配線を有しないウエハWを搬送する第2搬送ステーション5が処理ステーション1´を介して水平方向で分離して配置されている。このように、SODシステム100´もまた、銅配線を有しないウエハWの銅による汚染が抑制される構造となっている。
【0050】
SODシステム100´においては、主ウエハ搬送装置18´と第1ユニットタワーT1と第2ユニットタワーT2の構成を図9に示すように変更してもよい。第1ユニットタワーT1´は、第3処理ユニット群G3″と第5処理ユニット群G5を有し、第3処理ユニット群G3″の上側に第5処理ユニット群G5が配置されている。第2ユニットタワーT2´は、第4処理ユニット群G4´と第6処理ユニット群G6´を有し、第4処理ユニット群G4´の上側に第6処理ユニット群G6´が配置されている。第1ユニットタワーT1´と第2ユニットタワーT2´の間には主ウエハ搬送装置18″が配置されている。
【0051】
第3処理ユニット群G3″と第4処理ユニット群G4´では銅配線を有するウエハWが取り扱われる。第3処理ユニット群G3″では、ベーク処理ユニット(DLB)25と、2台のキュア処理ユニット(DLC)24と、第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23が積み重ねられている。第4処理ユニット群G4´の構成は先に図8に示した構成と同じである。
【0052】
第5処理ユニット群G5と第6処理ユニット群G6´では銅配線を有しないウエハWが取り扱われる。第5処理ユニット群G5の構成は先に図8に示した構成と同じである。第6処理ユニット群G6´では、第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28と、ベーク処理ユニット(DLB)30と、2台のキュア処理ユニット(DLC)29が積み重ねられている。
【0053】
主ウエハ搬送装置18″は、SODシステム100に装備された主ウエハ搬送装置18に2台の搬送基台54a・54bが設けられた構造を有している。搬送基台54a・54bは、同一のベルト59に取り付けられており、その間隔は一定であって、ベルト機構の稼働によって同時に昇降する。搬送基台54aに設けられた第1搬送アーム群19a(搬送アーム55a〜55c)は、第3処理ユニット群G3″と、第4処理ユニット群G4´と、第6処理ユニット群G6´に配置された第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28にアクセス可能である。また、搬送基台54bに設けられた第2搬送アーム群19b(搬送アーム56a〜56c)は、第5処理ユニット群G5と、第6処理ユニット群G6´と、第3処理ユニット群G3″に配置された第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23にアクセス可能である。
【0054】
主ウエハ搬送装置18″では、搬送基台54a・54bの距離が一定であるために、搬送アーム55a〜55cと搬送アーム56a〜56cが同時にアクセスできる処理ユニットが一定の組合せに限定されるが、例えば、処理レシピを最適化することによって、スループットの低下を防止することが可能である。
【0055】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこのような形態に限定されるものではない。例えば、SODシステム100に設けられた第3処理ユニット群G3や第4処理ユニット群G4、SODシステム100´に設けられた第1ユニットタワーT1や第2ユニットタワーT2には、塗布膜が形成されたウエハWの温度を一定にするエージングユニット(DAC)や、ベーク処理前にベーク処理温度よりも低い温度で前もって熱処理を行う低温用ホットプレートユニット(LHP)を設けることもできる。また、各処理ユニットには銅を含む浮遊物等を吸着する機構(例えば、活性炭層や水槽)や排気する機構を設けることも好ましい。
【0056】
また、SODシステム100・100´には、銅の膜を形成するための銅膜塗布処理ユニット(Cu−SCT)22を設けることも可能である。図10は、例として、SODシステム100に銅膜塗布処理ユニット(Cu−SCT)22を搭載した形態を示す概略側面図である。銅膜塗布処理ユニット(Cu−SCT)22の横の空きスペースには、銅不使用プロセスにおいて使用する絶縁膜塗布処理ユニット(SCT)27をさらに配置することができる。
【0057】
SODシステム100の第1処理ブロックに銅膜塗布処理ユニット(Cu−SCT)22を設けて、ウエハWの表面に銅の膜を形成する例としては、例えば、銅配線上にトレンチが形成されるようにlow−k膜が形成されているウエハWのこのトレンチ部分に銅を充填する塗布処理を行う場合が挙げられる。
【0058】
この場合の処理は、(1)ウエハ搬送装置11によるキャリア(CR)から第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23へのウエハWの搬送、(2)クーリングプレートユニット(CPL)26へのウエハWの搬送と温度調整、(3)銅膜塗布処理ユニット(Cu−SCT)22へのウエハWの搬送と塗布膜の形成、(4)ベーク処理ユニット(DLB)25へのウエハWの搬送と熱処理、(5)クーリングプレートユニット(CPL)26へのウエハWの搬送と冷却処理、(6)第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23を介したキャリア(CR)へのウエハWの収容、の順序で行うことができる。このような方法で銅膜を形成した場合には、CVD法やメッキ法によってトレンチ部分を銅で埋設する場合と比較して、短時間で処理を行うことができ、かつ、化学機械研磨(CMP;chemical mechanical polishing)による処理を省略し、または処理時間を短縮することができる利点がある。
【0059】
銅膜塗布処理ユニット(Cu−SCT)22は、SODシステム100´では、例えば、絶縁膜塗布処理ユニット(SCT)21と薬液貯留室20a・20bとの間に設けることができる。
【0060】
この場合において、さらに主ウエハ搬送装置18″(図9参照)が配置されている場合には、例えば、(1)ウエハ搬送装置13によるキャリア(CR)から第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28へのウエハWの搬送、(2)クーリングプレートユニット(CPL)31へのウエハWの搬送と温度調整、(3)絶縁膜塗布処理ユニット(SCT)27へのウエハWの搬送と塗布膜の形成、(4)ベーク処理ユニット(DLB)30へのウエハWの搬送と熱処理、(5)キュア処理ユニット(DLC)29へのウエハWの搬送とキュア処理、(6)クーリングプレートユニット(CPL)31へのウエハWの搬送と冷却処理、(7)搬送アーム56a(または56b、56c)によるウエハWの第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23(または第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28)への搬送、(8)搬送アーム55a(または55b、55c)による銅膜塗布処理ユニット(Cu−SCT)22へのウエハWの搬送と塗布膜の形成、(9)ベーク処理ユニット(DLB)25へのウエハWの搬送と熱処理、(10)クーリングプレートユニット(CPL)26へのウエハWの搬送と冷却処理、(11)第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23を介したキャリア(CR)へのウエハWの収容、の順序で処理を行うことができる。
【0061】
このような銅不使用プロセス後に銅使用プロセスを連続して行う処理は、SODシステム100´において、主ウエハ搬送装置18´が配置されている場合において、さらに、第1ユニットタワーT1の背面に、クーリングプレートユニット(CPL)31から第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23へウエハWを搬送する搬送装置を設け、および/または、第2ユニットタワーT2の背面に、第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28からクーリングプレートユニット(CPL)26へウエハWを搬送する搬送装置をさらに設けることによっても行うことができる。
【0062】
例えば、層間絶縁膜が形成されてクーリングプレートユニット(CPL)31に載置されたウエハWを、第1ユニットタワーT1の背面に設けた搬送装置によって第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)23へ搬送し、その後に銅膜を形成することができる。また、層間絶縁膜が形成されて第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28に載置されたウエハWを、第2ユニットタワーT2の背面に設けた搬送装置によってクーリングプレートユニット(CPL)26へ搬送し、その後に銅膜を形成することも可能である。
【0063】
このような銅不使用プロセス後に銅使用プロセスを連続して行う処理は、SODシステム100に設けられた主ウエハ搬送装置18をSODシステム100´に主ウエハ搬送装置18´・18″に代えて装備させた場合でも行うことができる。また、銅不使用プロセス後に銅使用プロセスの連続処理は、SODシステム100において、主ウエハ搬送装置18の備える搬送アーム55a〜55c・56a〜56cのアクセスの制限を緩和して、例えば、搬送アーム55a〜55cが第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28またはクーリングプレートユニット(CPL)31にアクセス可能とすることによっても、行うことができる。
【0064】
なお、銅不使用プロセス後に銅使用プロセスを連続して行う処理では、例えば、本来は銅不使用プロセスのウエハWのみを取り扱うべき第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28とクーリングプレートユニット(CPL)31に銅使用プロセスで使用する搬送アーム55a〜55cを進入させなければならないか、または、銅使用プロセスで使用する第1ウエハ載置ユニット(TRS−2)23とクーリングプレートユニット(CPL)26に銅不使用プロセスで使用する搬送アーム56a〜56cを進入させるために、第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)28とクーリングプレートユニット(CPL)31または搬送アーム56a〜56cが銅で汚染されやすくなる。したがって、これらの部位については、例えば、定期的なメンテナンスの間隔を縮める等して対処することが好ましい。
【0065】
上記説明では、基板として半導体ウエハを取り上げたが、基板はこれに限定されるものではなく、本発明は、LCDガラス基板やセラミックス基板(例えば、強誘電体セラミックス基板等)の他の銅配線が形成される基板の処理にも適用することができる。
【0066】
【発明の効果】
上述の通り、本発明によれば、銅を有する基板の処理または基板に銅を使用した処理を行う第1処理ブロックと、銅を有しない基板を銅を使用せずに処理する第2処理ブロックとに分けて、これらの雰囲気が実質的に分かれるようにしているために、第1処理ブロックから第2処理ブロックへの銅の拡散を抑制することができる。また、第1処理ブロックを構成する処理ユニットに対する基板の搬送を行う基板搬送装置と、第1処理ブロックを構成する処理ユニットに対する基板の搬送を行う基板搬送装置を区別して用いることによって、基板搬送装置を介した銅の拡散を抑制することができる。こうして第2処理ブロックで処理される基板の絶縁特性の低下を防止することができるため、基板の品質ひいては製品の品質を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態であるSODシステムの概略平面図。
【図2】図1に示すSODシステムの概略側面図。
【図3】図1に示すSODシステムに装着された処理ユニット群の概略断面図。
【図4】フィルターファンユニット(FFU)からの空気の流れを示す説明図。
【図5】図1に示すSODシステムに装着された主ウエハ搬送装置の別の実施形態を示す側面図。
【図6】SODシステムの別の実施形態を示す概略平面図。
【図7】図6に示すSODシステムの概略側面図。
【図8】図6に示すSODシステムに装着された処理ユニット群の概略断面図。
【図9】図6に示すSODシステムに装着された処理ユニット群の別の形態を示す概略断面図。
【図10】SODシステムのさらに別の実施形態を示す概略側面図。
【符号の説明】
1・1´;処理ステーション
2;第1搬送ステーション
5;第2搬送ステーション
18・18´・18″;主ウエハ搬送装置
19a;第1搬送アーム群
19b;第2搬送アーム群
21・27;絶縁膜塗布処理ユニット(SCT)
22;銅膜塗布処理ユニット(Cu−SCT)
23;第1ウエハ載置ユニット(TRS−1)
24・29;キュア処理ユニット(DLC)
25・30;ベーク処理ユニット(DLB)
26・31;クーリングプレートユニット(CPL)
28;第2ウエハ載置ユニット(TRS−2)
33;遮蔽板
34a・34b;遮熱板
54・54a・54b;搬送基台
55a〜55c・56a〜56c;搬送アーム
100・100´;SODシステム
G1・G1´;第1処理ユニット群
G2・G2´;第2処理ユニット群
G3・G3´・G3″;第3処理ユニット群
G4・G4´;第4処理ユニット群
G5;第5処理ユニット群
G6・G6´;第6処理ユニット群
T1;第1ユニットタワー
T2;第2ユニットタワー
Claims (15)
- 基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
銅配線を有する基板に所定の処理を施す処理ユニットを有する第1処理ブロックと、
前記第1処理ブロックに対して、その境界面について鉛直方向からみて対称となるように水平方向に並べて配置され、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する第2処理ブロックと、
前記第1処理ブロックと前記第2処理ブロックとの境界面に配置され、第1搬送アームと第2搬送アームとを内部に有する基板搬送装置であって、前記第1搬送アームと前記第2搬送アームとは基板搬送装置内部の空間内を移動し、かつ前記第1搬送アームは、前記第1処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行い、前記第2の搬送アームは、前記第2処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行う基板搬送装置と、
を具備し、
上記構成により、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する前記第2処理ブロックへの銅の拡散が抑制されることを特徴とする基板処理装置。 - 前記第1処理ブロックと前記第2処理ブロックはそれぞれ、
基板に塗布液を塗布して塗布膜を形成する液処理ユニットと、
前記液処理ユニットにおいて塗布膜が形成された基板に熱的処理を施す熱的処理ユニットと、
を具備することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
銅配線を有する基板に所定の処理を施す処理ユニットを有する第1処理ブロックと、
前記第1処理ブロックに対して、その境界面について鉛直方向からみて対称となるように水平方向に並べて配置され、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する第2処理ブロックと、
前記第1処理ブロックと前記第2処理ブロックとの境界面に配置され、第1搬送アームと第2搬送アームとを内部に有する第1の基板搬送装置であって、前記第1搬送アームと前記第2搬送アームとは当該第1の基板搬送装置内部の空間内を移動し、かつ前記第1搬送アームは、前記第1処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行い、前記第2の搬送アームは、前記第2処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行う第1の基板搬送装置と、
前記第1処理ブロックにおいて処理を行う基板が収容された容器を載置する第1容器載置部と、前記第1容器載置部に載置された容器と前記第1処理ブロックとの間で基板を搬送する第2基板搬送装置とを有し、前記第1処理ブロックに隣接して設けられた第1基板搬送ステーションと、
前記第2処理ブロックにおいて処理を行う基板が収容された容器を載置する第2容器載置部と、前記第2容器載置部に載置された容器と前記第2処理ブロックとの間で基板を搬送する第3基板搬送装置とを有し、前記第2処理ブロックに隣接して設けられた第2基板搬送ステーションと、
を具備し、
前記第1基板搬送ステーションと前記第2基板搬送ステーションとは、前記第1処理ブロックおよび前記第2処理ブロックを水平方向に挟んで設けられており、
上記構成により、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する前記第2処理ブロックへの銅の拡散が抑制されることを特徴とする基板処理装置。 - 前記第1処理ブロックは、
基板に塗布液を塗布して塗布膜を形成する液処理ユニットが多段に積み重ねられた第1液処理ユニット群と、
前記第1基板搬送装置と前記第2基板搬送装置との間で基板の受け渡しを行うために基板を載置する第1基板載置ユニット、および前記第1液処理ユニット群において塗布膜が形成された基板に所定の熱的処理を施す複数の熱的処理ユニットが多段に積み重ねられた第1熱的処理ユニット群と、
を有し、
前記第2処理ブロックは、
基板に塗布液を塗布して塗布膜を形成する液処理ユニットが多段に積み重ねられた第2液処理ユニット群と、
前記第1基板搬送装置と前記第3基板搬送装置との間で基板の受け渡しを行うために基板を載置する第2基板載置ユニット、および前記第2液処理ユニット群において塗布膜が形成された基板に所定の熱的処理を施す複数の熱的処理ユニットが多段に積み重ねられた第2熱的処理ユニット群と、
を有することを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記搬送空間内の第1基板搬送装置に対して上側から下側に向けて清浄な空気を供給する送風装置をさらに具備し、
前記第2搬送アームは前記第1搬送アームの上側に配置され、前記第1搬送アームから前記第2搬送アームへの銅の拡散が抑制されていることを特徴とする請求項3または請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記第1基板搬送装置において、記第1搬送アームと前記第2搬送アームとの間に遮蔽板が設けられていることを特徴とする請求項3から請求項5のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記第1基板搬送装置は前記第1搬送アームと前記第2搬送アームをそれぞれ複数装備し、
前記複数の第1搬送アームと前記複数の第2搬送アームはそれぞれ、加熱された基板を搬送する高温基板搬送用アームと、室温のまたは冷却された基板を搬送する常温基板搬送用アームとに区別して用いられ、
前記高温基板搬送用アームと前記常温基板搬送用アームとの間に遮熱板が設けられていることを特徴とする請求項3から請求項6のいずれか1項に記載の基板処理装置。 - 前記複数の第1搬送アームと前記複数の第2搬送アームの中の前記高温基板搬送用アームは、前記複数の第1搬送アームと前記複数の第2搬送アームの中の前記常温基板搬送用アームの下側に、前記遮熱板を介して配置され、かつ、
前記複数の第1搬送アームの中の高温基板搬送用アームは前記複数の第2搬送アームの中の高温基板搬送用アームの下側に配置され、かつ、
前記複数の第1搬送アームの中の常温基板搬送用アームは前記複数の第2搬送アームの中の常温基板搬送用アームの下側に配置されていることを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。 - 基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
銅配線を有する基板に所定の処理を施す処理ユニットを有する第1処理ブロックと、
前記第1処理ブロックの上側に設けられ、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する第2処理ブロックと、
前記第1処理ブロックおよび前記第2処理ブロックの内部に上下方向に沿って設けられ、第1基板搬送部および第2基板搬送部を有する基板搬送装置であって、前記第2基板搬送部が前記第1基板搬送部の上側に設けられ、前記第1基板搬送部は、基板搬送装置内部の空間内を上下に移動可能で、前記第1処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行う第1搬送アームを有し、前記第2基板搬送部は、基板搬送装置内部の空間内を上下に移動可能で、前記第2処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行う第2搬送アームを有する基板搬送装置と、
を具備し、
上記構成により、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する前記第2処理ブロックへの銅の拡散が抑制されることを特徴とする基板処理装置。 - 前記第1処理ブロックと前記第2処理ブロックはそれぞれが、
基板に塗布液を塗布して塗布膜を形成する液処理ユニットと、
前記液処理ユニットにおいて塗布膜が形成された基板に熱的処理を施す熱的処理ユニットと、
を具備することを特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。 - 基板に所定の処理を施す基板処理装置であって、
銅配線を有する基板に所定の処理を施す処理ユニットを有する第1処理ブロックと、
前記第1処理ブロックの上側に設けられ、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する第2処理ブロックと、
前記第1処理ブロックおよび前記第2処理ブロックの内部に上下方向に沿って設けられ、第1基板搬送部および第2基板搬送部を有する第1の基板搬送装置であって、前記第2基板搬送部が前記第1基板搬送部の上側に設けられ、前記第1基板搬送部は、基板搬送装置内部の空間内を上下に移動可能で、前記第1処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行う第1搬送アームを有し、前記第2基板搬送部は、基板搬送装置内部の空間内を上下に移動可能で、前記第2処理ブロックに備えられた処理ユニットに対してのみ基板の搬入出を行う第2搬送アームを有する第1の基板搬送装置と、
前記第1処理ブロックにおいて処理を行う基板が収容された容器を載置する第1容器載置部と、前記第1容器載置部に載置された容器と前記第1処理ブロックとの間で基板を搬送する第2基板搬送装置と、を有する第1基板搬送ステーションと、
前記第2処理ブロックにおいて処理を行う基板が収容された容器を載置する第2容器載置部と、前記第2容器載置部に載置された容器と前記第2処理ブロックとの間で基板を搬送する第3基板搬送装置と、を有する第2基板搬送ステーションと、
を具備し、
前記第1基板搬送ステーションと前記第2基板搬送ステーションとは、前記第1処理ブロックおよび前記第2処理ブロックを水平方向に挟んで設けられており、
上記構成により、銅配線を有していない基板に銅を用いない所定の処理を施す処理ユニットを有する前記第2処理ブロックへの銅の拡散が抑制されることを特徴とする基板処理装置。 - 前記第1処理ブロックは、
基板に対して塗布膜を形成する第1液処理ユニットが水平方向に並べて配置された第1液処理ユニット群と、
前記第1基板搬送装置と前記第2基板搬送装置との間で基板の受け渡しを行うために基板を載置する第1基板載置ユニット、および前記第1液処理ユニット群において塗布膜が形成された基板に所定の熱的処理を施す複数の熱的処理ユニットが多段に積み重ねられた第1熱的処理ユニット群と、
前記第1熱的処理ユニット群と離隔して設けられ、前記第1液処理ユニット群において塗布膜が形成された基板に所定の熱的処理を施す複数の熱的処理ユニットが多段に積み重ねられた第2熱的処理ユニット群と、
を有し、
前記第2処理ブロックは、
基板に対して塗布膜を形成する第2液処理ユニットが水平方向に並べて前記第1液処理ユニット群の上側に配置された第2液処理ユニット群と、
前記第1基板搬送装置と前記第3基板搬送装置との間で基板の受け渡しを行うために基板を載置する第2基板載置ユニット、および前記第2液処理ユニット群において塗布膜が形成された基板に所定の熱的処理を施す複数の熱的処理ユニットが、前記第2熱的処理ユニット群の上側に多段に積み重ねられた第3熱的処理ユニット群と、
前記第2液処理ユニット群において塗布膜が形成された基板に所定の熱的処理を施す複数の熱的処理ユニットが前記第1熱的処理ユニット群の上側に多段に積み重ねられた第4熱的処理ユニット群と、
を有することを特徴とする請求項11に記載の基板処理装置。 - 前記第1基板搬送装置に対して清浄な空気を上側から下側に向けて供給する送風装置をさらに具備し、
前記第1基板搬送装置において、前記第2基板搬送部は前記第1基板搬送部の上側に配置されて、前記第1基板搬送部から前記第2基板搬送部への銅の拡散が抑制されていることを特徴とする請求項11または請求項12に記載の基板処理装置。 - 前記第1基板搬送装置における前記第1基板搬送部の前記第1搬送アームおよび前記第2搬送部の前記第2搬送アームは、それぞれ加熱された基板を搬送する高温基板搬送用アームと、室温のまたは冷却された基板を搬送する常温基板搬送用アームとを有し、
前記高温基板搬送用アームと前記常温基板搬送用アームとの間に遮熱板が設けられていることを特徴とする請求項11から請求項13のいずれか1項に記載の基板処理装置。 - 前記第1処理ブロックは、基板に施す処理に銅を含む材料を使用する処理ユニットをさらに具備することを特徴とする請求項1から請求項14のいずれか1項に記載の基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002146593A JP4073251B2 (ja) | 2002-05-21 | 2002-05-21 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002146593A JP4073251B2 (ja) | 2002-05-21 | 2002-05-21 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003338496A JP2003338496A (ja) | 2003-11-28 |
JP4073251B2 true JP4073251B2 (ja) | 2008-04-09 |
Family
ID=29705539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002146593A Expired - Fee Related JP4073251B2 (ja) | 2002-05-21 | 2002-05-21 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4073251B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5006122B2 (ja) | 2007-06-29 | 2012-08-22 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5128918B2 (ja) | 2007-11-30 | 2013-01-23 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5001828B2 (ja) | 2007-12-28 | 2012-08-15 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5179170B2 (ja) | 2007-12-28 | 2013-04-10 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP5673480B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2015-02-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP5608148B2 (ja) * | 2011-11-25 | 2014-10-15 | 株式会社Screenセミコンダクターソリューションズ | 基板処理装置 |
JP6656305B2 (ja) * | 2018-06-05 | 2020-03-04 | 株式会社Screenセミコンダクターソリューションズ | 基板処理装置 |
-
2002
- 2002-05-21 JP JP2002146593A patent/JP4073251B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003338496A (ja) | 2003-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9032977B2 (en) | Substrate processing method | |
KR100613171B1 (ko) | 반도체 기판 냉각 방법 및 장치 | |
KR100618108B1 (ko) | 기판처리장치 | |
TWI538054B (zh) | 用於半導體晶圓的退火模組 | |
US9494877B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
JP3571471B2 (ja) | 処理方法,塗布現像処理システム及び処理システム | |
JPH1084029A (ja) | 処理システム | |
JP7105751B2 (ja) | 処理装置 | |
KR101932777B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP2013143558A (ja) | ウェーハ搬送装置 | |
JP4073251B2 (ja) | 基板処理装置 | |
KR102444876B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
US9606454B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing system | |
TW202226338A (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
JP3517121B2 (ja) | 処理装置 | |
JP3441681B2 (ja) | 処理装置 | |
JP4083371B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP3624127B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP5378686B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2000340633A (ja) | 処理システム | |
JP2003068725A (ja) | 加熱処理装置 | |
JP2004266283A (ja) | 基板処理装置 | |
JP3340956B2 (ja) | 塗布現像処理装置 | |
JP2003142552A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2004128383A (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040507 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050301 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050329 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050525 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070227 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070501 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20070710 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070918 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071116 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080122 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110201 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110201 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140201 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |