JP4066875B2

JP4066875B2 - Inclined CT system

Info

Publication number: JP4066875B2
Application number: JP2003120174A
Authority: JP
Inventors: 修平大西
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2003-04-24
Filing date: 2003-04-24
Publication date: 2008-03-26
Anticipated expiration: 2023-04-24
Also published as: JP2004325247A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ターンテーブル上に測定対象物を搭載し３６０°回転させながらＸ線を照射して所定の回転角度ごとに検出した透過Ｘ線データを基に測定対象物の断層像を再構成するＣＴ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図４は一般的なＣＴ装置を示す概略構成図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は上面図である。
図４において、一般的に産業用コーンビームＣＴ装置は、水平方向にＸ線を発するＸ線源１２ａと透過Ｘ線を検出するＸ線検出器１４ａとの間に測定対象物Ｗ１を配置し、ターンテーブル６ａ上で測定対象物Ｗ１を３６０°回転させながら収集したＸ線投影データをもとに、一度に数百枚の断層像５を再構成する（特許文献１参照。）。測定対象物Ｗ１を搭載したターンテーブル６ａを回転させる回転機構の回転軸とＸ線の照射経路は直交するような構造となっている。
【０００３】
コーンビームＣＴ装置では、ターンテーブル６ａをＸ線源に近づけることによって投影倍率を拡大し、微細なＣＴ像を得ることができる。しかし、図４に示す構造では、測定対象物を回転させるという構造上、測定対象物Ｗ１の干渉によってＸ線源１２ａと測定対象物Ｗ１との距離を一定以上縮めることができないため、投影データの拡大率を上げるのに限界があった。
そこで、図５に示すようなＸ線の照射経路と回転機構の回転軸との角度を９０°より傾けることによって測定対象物Ｗ２による干渉をなくす方法が提案された。
【０００４】
図５において、例えばＩＣ基板等の測定対象物Ｗ２の下方又は上方にＸ線源１２ｂを配置し、回転軸Ｚを中心に回転する測定対象物Ｗ２に斜め方向からＸ線を照射して得た投影データをＸ線検出器１４ｂによって検出する構造である。この構造では、Ｘ線源１２ｂは測定対象物Ｗ２の形状に干渉されることなくＸ線源１２ｂを測定対象物Ｗ２に近づけることができる。このとき、検出器は、従来のコーンビームＣＴ装置において無限に大きな検出器を仮定した時の検出器の一部と考えることができる。したがって、従来のコーンビームＣＴ技術と同様のアルゴリズムを用いることでその断層像を再構成することができる。自明ではあるが、検出器の向きは座標変換等で変換可能であるので、どの方向でもかまわない。この技術により，基板などの縦横比が非常に大きなサンプルでもその断層像を拡大し再構成することができるようになる。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００２−３６５２３９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
傾斜型コーンビームＣＴ装置の構成において、ターンテーブルが問題になっている。
傾斜型ＣＴ装置は、図６（Ａ）のようにＸ線源１２ｂ、検出器１４ｂの間にＸ線源１２ｂと検出器１４ｂの中心とを結ぶ直線に対して角度を持った回転軸Ｚで測定対象物Ｗ２を載置したターンテーブル６ａを回転させる必要がある。そのために、回転機構を設ける必要があるが、この回転機構は、測定対象物を透過し、検出器で検出されるＸ線領域（以下視野という）を遮らないように、精度よく測定対象物を回転させる必要がある。
【０００７】
また、ターンテーブル６ａの干渉により、測定対象物とＸ線源とを接近させることができないため、従来では、図６（Ｂ）のような中空のターンテーブル６ｂを用いこのターンテーブル６ｂ上に測定対象物Ｗ２を置き、回転させていた。しかし、回転軸が大きくなるために、芯ぶれ等により回転精度をあげることが困難であり、製造コストも大きくなる。
【０００８】
そこで、本発明は傾斜型ＣＴ装置において、従来のＣＴ装置に比べてＸ線源と測定対象物との距離を縮めることができるようにすることによって投影データの拡大率を上げ、さらに、回転の不安定性を解決することのできる傾斜型ＣＴ装置を提供することを目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、Ｘ線を発生するＸ線源とそれに対向配置されてＸ線を検出するＸ線検出器との間に測定対象物を配置し、前記測定対象物をターンテーブルとその回転機構により回転させながら測定対象物にＸ線を照射し、所定の角度ごとの透過Ｘ線データを前記Ｘ線検出器によって検出し、その透過Ｘ線データを基に測定対象物の断層像を再構成するＣＴ装置であって、前記ターンテーブルをＸ線透過性材質の板状とし、前記回転機構を前記ターンテーブルの上方で、前記ターンテーブルの軸線上の透視視野外に配置して、Ｘ線透過性材質でできた部材によって前記ターンテーブルと回転機構とを結合し、前記Ｘ線源は前記ターンテーブルの下方で測定対象物に接近して測定対象物を斜め方向から照射する位置に配置したことを特徴とするものである。
この構造により、Ｘ線源が測定対象物や回転機構やターンテーブルに干渉されずに測定対象物に接近させることができ、さらに、ターンテーブルの回転を安定させることができる。
【００１０】
先にも述べたように、傾斜型ＣＴ装置においてターンテーブルに求められる条件は、
▲１▼Ｘ線源、検出器の間にＸ線源と検出器中心を結ぶ直線に対して角度を持った回転軸で測定対象物を回転させることができること、及び、
▲２▼回転機構は、視野を遮らないこと、である。
また、従来の機構で課題となっていることは、
▲１▼中空のターンテーブルでは、構造上、回転軸が大きくなり精度の高い回転動作が困難であること、及び、
▲２▼Ｘ線源が下にある場合には、構造上Ｘ線源に近づけることが困難であること、である。
【００１１】
本発明は、これらの機能を満たし、課題を解決することができる。この回転テーブル機構では、回転機構が視野の外側に配置されている。また、このターンテーブル機構では、回転機構と、測定対象物を固定し回転する回転部からなっており、各々は、樹脂等のＸ線透過性材質で接続されている。回転機構は、回転軸の軸線上で、視野の外側に配置する。回転部は、樹脂などのＸ線透過性材質で回転機構とむすばれており、本来回転しなければならない位置で回転をする。回転機構を視野の外に配置することにより次のような利点がある。
１．回転軸を小さくでき、回転精度を上げやすい。
２．製造コストを抑えることができる。
３．測定対象物をＸ線源に近づけることができる。
【００１２】
Ｘ線が回転軸を透過する必要はないので、中空の回転軸を用いる必要はなく、回転軸は小さくてよい。このことは精度、コスト的に非常に有利である。また、回転部については、受動的に動作する部分であるために、駆動部は不要であり、その結果薄く作成することが可能である。このことは、Ｘ線源に対して測定対象物を近づけるという点で有利になる。また、樹脂などのＸ線透過率のよい材質で回転機構と回転部をむすぶことによって、視野を完全に遮蔽することはない。
【００１３】
【発明の実施の形態】
本発明の傾斜型ＣＴ装置を概略的に示すと、図１に示すように回転機構４とターンテーブル６とが複数の結合部材８によって接続されていて、回転軸Ｚを中心として回転機構４及びターンテーブル６が回転する。
【００１４】
【実施例】
以下にさらに詳細に説明する。
図２は実施例を示すターンテーブル、回転機構、Ｘ線源、検出器の概略構成図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は斜視図である。
図２において、傾斜型ＣＴ装置１はフレーム２と回転機構４とターンテーブル６とを備え、さらに、回転機構４の下方にはカーボンファイバー製の結合部材８を取り付けるための接続板１０が取り付けられており、接続板１０に取り付けられた結合部材８の他方の端にターンテーブル６が固定されている。
【００１５】
回転機構４はフレーム２の下面に設置されていて、その下部には接続板１０が取り付けられている。接続板１０からは、結合部材８が４本、鉛直下向きに延びるように取り付けられていて、この結合部材８の他端にはターンテーブル６が固定されている。ターンテーブル６は結合部材８と同じカーボンファイバーを素材とした厚さが１ｍｍの薄い板である。
【００１６】
本実施例では、結合部材８としてカーボンファイバー製の棒を用いているが、カーボンファイバーはＸ線透過率、強度ともにすぐれているためである。カーボンファイバーに代えてＸ線透過率がよくターンテーブル６を安定して固定できる程度の強度のものであれば特に限定されない。また、結合部材８はターンテーブル６を安定して固定できるのであれば４本でなくてもよい。
ターンテーブル６は特に中空構造である必要がないため、Ｘ線透過率がよく測定対象物Ｗを搭載できる強度を持った薄い板状のものであればよい。
【００１７】
Ｘ線源１２はターンテーブル６の斜め下方に配置され、Ｘ線検出器１４はＸ線源１２と対向するように結合部材８の外部に配置され、Ｘ線源１２及びＸ線検出器１４は、Ｘ線源１２とＸ線検出器１４の中心を結ぶ線上に測定対象物Ｗが存在するように位置決めされている。
【００１８】
従来のＣＴ装置ではターンテーブル６の下方に存在していた回転機構は、本発明においてはターンテーブル６の上方にあるため、ターンテーブル６の下方ではＸ線源１２の設置位置は特に制限は受けないが、Ｘ線を斜め上方に照射し、Ｘ線の照射範囲に測定対象物が入り、測定対象物を３６０°回転させたときに、測定対象物の全範囲をＸ線が透過できるように設置しなければならない。
【００１９】
回転機構４は接続板１０を回転させ、接続板１０が回転することでカーボンファイバー製の結合部材８によって接続されているターンテーブル６が回転し、ターンテーブル６に搭載されている測定対象物Ｗが回転する。測定対象物ＷにはＸ線源１２から斜め方向にＸ線が照射されており、Ｘ線検出器１４によって所定の角度ごとの透過Ｘ線データが検出され、そのデータが画像処理部（図示されていない）で処理され断層像が再構成される。
【００２０】
Ｘ線を照射すると、Ｘ線は測定対象物Ｗだけでなく、ターンテーブル６や接続板１０とターンテーブル６とを固定しているカーボン製の棒８も透過しＸ線検出器１４に到達するが、ターンテーブル６、カーボン製の棒８はＸ線透過率がよいため、測定精度において大きな影響はない。
【００２１】
図３は本実施例の詳細図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図である。
図３においては、結合部材８としてはカーボンファイバー製の板を用いており、接続板１０とターンテーブル６とを安定して固定してかご状の回転部を構成している。回転機構４及び回転部６,８,１０を支えるフレーム２は、回転機構４を稼動させても振動しないように安定して固定できるようになっていて、特に回転機構４と接続板１０、又は、接続板１０とターンテーブル６との接続に問題がなければ回転が不安定になることはない。
【００２２】
【発明の効果】
本発明の傾斜型ＣＴ装置では、ターンテーブルの下方にＸ線源を配置する際に、ターンテーブルの厚みがなく、回転機構はＸ線照射領域の外側に位置しているため、Ｘ線を遮ることなくターンテーブルとＸ線源とを接近させることができ、投影データの拡大率を上げることができ、詳細なＣＴ像を得ることができる。
【００２３】
本発明の構造によって、ターンテーブルは薄い板のようなものでよいため、従来の中空構造のターンテーブルを回転させる場合の複雑な回転機構を不要とすることができるので、回転が不安定になることがない。例えば、回転機構部の芯ブレ精度は１０μｍとすることができる。これは、直径２５０ｍｍ程度の中空の軸を用いた回転機構で実現することは非常に困難である。したがって、傾斜型ＣＴ装置において測定精度の安定化を図ることができる。さらに、中空のターンテーブルを回転させるための特別な回転機構を必要としないため、コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施の形態を示す概略図である。
【図２】実施例を示す概略構成図であり、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は側面図、（Ｃ）は斜視図である。
【図３】上記実施例の詳細図である。
【図４】従来技術を説明するための概略図であり、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は上面図である。
【図５】従来の傾斜型ＣＴ装置の概略図である。
【図６】従来の傾斜型ＣＴ装置の概略図であり、（Ａ）は構成図、（Ｂ）は中空のターンテーブルを示す概略図である。
【符号の説明】
１ＣＴ装置
２フレーム
４回転機構
５断層像
６ターンテーブル
８結合部材
１０接続板
１２，１２ａ，１２ｂＸ線源
１４，１４ａ，１４ｂＸ線検出器
Ｗ測定対象物
Ｚ回転軸[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention reconstructs a tomographic image of a measurement object on the basis of transmission X-ray data detected for each predetermined rotation angle by irradiating the X-ray while rotating the measurement object on a turntable and rotating 360 °. The present invention relates to a CT apparatus.
[0002]
[Prior art]
4A and 4B are schematic configuration diagrams showing a general CT apparatus, in which FIG. 4A is a front view and FIG. 4B is a top view.
In FIG. 4, an industrial cone beam CT apparatus generally arranges a measurement object W1 between an X-ray source 12a that emits X-rays in the horizontal direction and an X-ray detector 14a that detects transmitted X-rays. Several hundred tomographic images 5 are reconstructed at a time based on the X-ray projection data collected while rotating the measuring object W1 on the turntable 6a by 360 ° (see Patent Document 1). The rotation axis of the rotation mechanism that rotates the turntable 6a on which the measurement object W1 is mounted and the X-ray irradiation path are orthogonal to each other.
[0003]
In the cone beam CT apparatus, it is possible to obtain a fine CT image by enlarging the projection magnification by bringing the turntable 6a closer to the X-ray source. However, in the structure shown in FIG. 4, the distance between the X-ray source 12a and the measurement target W1 cannot be reduced by a certain amount due to the interference of the measurement target W1 due to the structure of rotating the measurement target. There was a limit to raising the magnification.
Therefore, a method has been proposed in which the interference between the measurement object W2 is eliminated by inclining the angle between the X-ray irradiation path and the rotation axis of the rotation mechanism as shown in FIG.
[0004]
In FIG. 5, the X-ray source 12b is disposed below or above the measurement object W2, such as an IC substrate, and the measurement object W2 rotating around the rotation axis Z is irradiated with X-rays from an oblique direction. The projection data is detected by the X-ray detector 14b. In this structure, the X-ray source 12b can bring the X-ray source 12b closer to the measurement object W2 without being interfered with the shape of the measurement object W2. At this time, the detector can be considered as a part of the detector when an infinitely large detector is assumed in the conventional cone beam CT apparatus. Therefore, the tomographic image can be reconstructed by using an algorithm similar to the conventional cone beam CT technique. Although it is self-evident, the direction of the detector can be converted by coordinate conversion or the like, so any direction is acceptable. This technology makes it possible to enlarge and reconstruct a tomographic image of a sample having a very large aspect ratio such as a substrate.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-2002-365239 [0006]
[Problems to be solved by the invention]
In the configuration of the inclined cone beam CT apparatus, the turntable is a problem.
As shown in FIG. 6A, the inclined CT apparatus has a rotation axis Z having an angle with respect to a straight line connecting the X-ray source 12b and the center of the detector 14b between the X-ray source 12b and the detector 14b. It is necessary to rotate the turntable 6a on which the measurement object W2 is placed. For this purpose, it is necessary to provide a rotation mechanism. This rotation mechanism allows the measurement object to pass through the measurement object with high accuracy so as not to block the X-ray region (hereinafter referred to as the visual field) detected by the detector. Need to rotate.
[0007]
In addition, since the object to be measured and the X-ray source cannot be brought close to each other due to interference of the turntable 6a, conventionally, a measurement is performed on the turntable 6b using a hollow turntable 6b as shown in FIG. The object W2 was placed and rotated. However, since the rotary shaft is large, it is difficult to increase the higher rotational accuracy runout or the like, the manufacturing cost is also increased.
[0008]
Therefore, the present invention increases the magnification of the projection data by enabling the distance between the X-ray source and the measurement object to be shortened in the tilted CT apparatus as compared with the conventional CT apparatus, An object of the present invention is to provide an inclined CT apparatus that can solve the instability.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
In the present invention, an object to be measured is disposed between an X-ray source that generates X-rays and an X-ray detector that is disposed opposite to the X-ray detector and detects the X-rays. The measurement object is irradiated with X-rays while being rotated, transmitted X-ray data for each predetermined angle is detected by the X-ray detector, and a tomographic image of the measurement object is reconstructed based on the transmitted X-ray data. A CT apparatus, wherein the turntable has a plate shape made of an X-ray transparent material, and the rotation mechanism is disposed above the turntable and out of a perspective field on the axis of the turntable, The turntable and the rotation mechanism are coupled by a member made of a material, and the X-ray source is disposed below the turntable so as to approach the measurement object and irradiate the measurement object from an oblique direction. With features That.
With this structure, the X-ray source can be brought close to the measurement object without interfering with the measurement object, the rotation mechanism, and the turntable, and the rotation of the turntable can be stabilized.
[0010]
As described above, the conditions required for the turntable in the inclined CT apparatus are as follows:
(1) The measurement object can be rotated by a rotation axis having an angle with respect to a straight line connecting the X-ray source and the detector center between the X-ray source and the detector, and
{Circle around (2)} The rotation mechanism does not block the visual field.
Also, the problem with the conventional mechanism is that
(1) With a hollow turntable, the rotational axis is large due to the structure, and it is difficult to perform a highly accurate rotation operation.
(2) When the X-ray source is below, it is difficult to approach the X-ray source because of its structure.
[0011]
The present invention satisfies these functions and can solve the problems. In this rotary table mechanism, the rotary mechanism is disposed outside the field of view. Further, this turntable mechanism includes a rotating mechanism and a rotating portion that fixes and rotates an object to be measured, and each is connected with an X-ray transparent material such as resin. The rotation mechanism is disposed outside the field of view on the axis of the rotation axis. The rotating portion is made of an X-ray transparent material such as resin and is separated from the rotating mechanism, and rotates at a position where it should originally rotate. By arranging the rotation mechanism outside the field of view, there are the following advantages.
1. The rotation axis can be reduced, and the rotation accuracy is easy to increase.
2. Manufacturing cost can be reduced.
3. The measurement object can be brought close to the X-ray source.
[0012]
Since X-rays do not need to pass through the rotating shaft, it is not necessary to use a hollow rotating shaft, and the rotating shaft may be small. This is very advantageous in terms of accuracy and cost. Further, since the rotating part is a part that operates passively, the driving part is unnecessary, and as a result, it can be made thin. This is advantageous in that the measurement object is brought closer to the X-ray source. Further, the field of view is not completely shielded by covering the rotating mechanism and the rotating part with a material having good X-ray transmittance such as resin.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
When the tilt type CT apparatus of the present invention is schematically shown, the rotation mechanism 4 and the turntable 6 are connected by a plurality of coupling members 8 as shown in FIG. The turntable 6 rotates.
[0014]
【Example】
This will be described in more detail below.
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a turntable, a rotation mechanism, an X-ray source, and a detector showing an embodiment, (A) is a front view, (B) is a side view, and (C) is a perspective view.
In FIG. 2, the tilted CT apparatus 1 includes a frame 2, a rotation mechanism 4, and a turntable 6, and a connection plate 10 for attaching a carbon fiber coupling member 8 is attached below the rotation mechanism 4. The turntable 6 is fixed to the other end of the coupling member 8 attached to the connection plate 10.
[0015]
The rotation mechanism 4 is installed on the lower surface of the frame 2, and a connection plate 10 is attached to the lower part thereof. Four connecting members 8 are attached to the connecting plate 10 so as to extend vertically downward, and the turntable 6 is fixed to the other end of the connecting member 8. The turntable 6 is a thin plate having a thickness of 1 mm made of the same carbon fiber as that of the coupling member 8.
[0016]
In this embodiment, a rod made of carbon fiber is used as the coupling member 8 because the carbon fiber is excellent in both X-ray transmittance and strength. There is no particular limitation as long as the X-ray transmittance is good instead of carbon fiber and the strength is such that the turntable 6 can be stably fixed. Further, the number of connecting members 8 may not be four as long as the turntable 6 can be stably fixed.
Since the turntable 6 does not need to have a hollow structure in particular, the turntable 6 may be a thin plate having good X-ray transmittance and strong enough to mount the measurement object W.
[0017]
The X-ray source 12 is disposed obliquely below the turntable 6, the X-ray detector 14 is disposed outside the coupling member 8 so as to face the X-ray source 12, and the X-ray source 12 and the X-ray detector 14 are The object to be measured W is positioned on a line connecting the center of the X-ray source 12 and the X-ray detector 14.
[0018]
In the conventional CT apparatus, the rotation mechanism that exists below the turntable 6 is above the turntable 6 in the present invention. Therefore, the installation position of the X-ray source 12 is particularly limited below the turntable 6. Although X-ray is irradiated obliquely upward, the measurement object enters the X-ray irradiation range, and when the measurement object is rotated 360 °, the X-ray can be transmitted through the entire range of the measurement object. Must be installed .
[0019]
The rotation mechanism 4 rotates the connection plate 10, and the turntable 6 connected by the carbon fiber coupling member 8 rotates as the connection plate 10 rotates, and the measurement object W mounted on the turntable 6. Rotates. The measurement object W is irradiated with X-rays obliquely from the X-ray source 12, and transmitted X-ray data for each predetermined angle is detected by the X-ray detector 14, and the data is stored in an image processing unit (not shown). The tomogram is reconstructed.
[0020]
When X-rays are irradiated, the X-rays pass through not only the measurement object W but also the turntable 6 and the carbon rod 8 that fixes the connection plate 10 and the turntable 6 to reach the X-ray detector 14. However, since the turntable 6 and the carbon rod 8 have good X-ray transmittance, there is no significant influence on the measurement accuracy.
[0021]
FIG. 3 is a detailed view of the present embodiment, (A) is a front view, and (B) is a side view.
In FIG. 3, a carbon fiber plate is used as the coupling member 8, and the connecting plate 10 and the turntable 6 are stably fixed to form a cage-like rotating part. The frame 2 that supports the rotation mechanism 4 and the rotation parts 6, 8, 10 can be stably fixed so as not to vibrate even when the rotation mechanism 4 is operated, and in particular, the rotation mechanism 4 and the connection plate 10, or If there is no problem in the connection between the connection plate 10 and the turntable 6, the rotation does not become unstable.
[0022]
【The invention's effect】
In the tilted CT apparatus of the present invention, when the X-ray source is arranged below the turntable, the turntable is not thick and the rotation mechanism is located outside the X-ray irradiation region, so that X-rays are blocked. Therefore, the turntable and the X-ray source can be brought close to each other, the magnification of the projection data can be increased, and a detailed CT image can be obtained.
[0023]
According to the structure of the present invention, since the turntable may be a thin plate, a complicated rotating mechanism for rotating a conventional turntable having a hollow structure can be eliminated, and thus the rotation becomes unstable. There is nothing. For example, the core blur accuracy of the rotation mechanism unit can be 10 μm. This is very difficult to achieve with a rotating mechanism using a hollow shaft having a diameter of about 250 mm. Therefore, the measurement accuracy can be stabilized in the inclined CT apparatus. Furthermore, since a special rotation mechanism for rotating the hollow turntable is not required, the cost can be reduced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment.
2A and 2B are schematic configuration diagrams showing an embodiment, in which FIG. 2A is a front view, FIG. 2B is a side view, and FIG. 2C is a perspective view.
FIG. 3 is a detailed view of the embodiment.
FIGS. 4A and 4B are schematic views for explaining a conventional technique, in which FIG. 4A is a side view and FIG. 4B is a top view.
FIG. 5 is a schematic view of a conventional tilted CT apparatus.
6A and 6B are schematic views of a conventional tilted CT apparatus, in which FIG. 6A is a configuration diagram and FIG. 6B is a schematic view showing a hollow turntable.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 CT apparatus 2 Frame 4 Rotating mechanism 5 Tomographic image 6 Turntable 8 Coupling member 10 Connection board 12, 12a, 12b X-ray source 14, 14a, 14b X-ray detector W Measuring object Z Rotation axis

Claims

Ｘ線を発生するＸ線源とそれに対向配置されてＸ線を検出するＸ線検出器との間に測定対象物を配置し、前記測定対象物をターンテーブルとその回転機構により回転させながら測定対象物にＸ線を照射し、所定の角度ごとの透過Ｘ線データを前記Ｘ線検出器によって検出し、その透過Ｘ線データを基に測定対象物の断層像を再構成するＣＴ装置において、
前記ターンテーブルをＸ線透過性材質の板状とし、
前記回転機構を前記ターンテーブルの上方で、前記ターンテーブルの軸線上の透視視野外に配置して、Ｘ線透過性材質でできた部材によって前記ターンテーブルと回転機構とを結合し、
前記Ｘ線源は前記ターンテーブルの下方で測定対象物に接近して測定対象物を斜め方向から照射する位置に配置したことを特徴とする傾斜型ＣＴ装置。An object to be measured is disposed between an X-ray source that generates X-rays and an X-ray detector that is disposed opposite to the X-ray detector and detects the X-rays, and the measurement object is measured while being rotated by a turntable and its rotation mechanism. In a CT apparatus that irradiates an object with X-rays, detects transmission X-ray data for each predetermined angle by the X-ray detector, and reconstructs a tomographic image of the measurement object based on the transmission X-ray data.
The turntable has a plate shape made of an X-ray transparent material,
The rotation mechanism is disposed above the turntable and outside the transparent visual field on the axis of the turntable, and the turntable and the rotation mechanism are coupled by a member made of an X-ray transparent material,
The tilted CT apparatus, wherein the X-ray source is disposed below the turntable so as to approach the measurement object and irradiate the measurement object from an oblique direction.