JP4064656B2 - 静電アクチュエータ及びその駆動方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、可動子を静電気力で駆動する静電アクチュエータ及びその駆動方法に係り、特に、個別に駆動可能な可動子を有する静電アクチュエータ及びその駆動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
静電アクチュエータは、小型、軽量であることから内視鏡、携帯電話などの移動電話、或いは各種ＰＤＡなどの機器に搭載されるレンズ系の焦点合わせに使用することが可能であり、最近注目されている。
【０００３】
図１は、従来の静電アクチュエータを示す斜視図であり、静電アクチュエータ１００は、可動子１０１と固定子１０２とからなる。可動子１０１は、中空部を有する略直方体に形成され、固定子１０２は、その貫通孔が長手方向に延出された略直方体に形成されている。固定子１０２の貫通孔には、可動子１０１がスライド可能に挿入され、固定子１０２内をその長手方向に可動子１０１が移動可能に配置されている。尚、固定子１０２と可動子１０１との間には、数ミクロン程度の間隙が設けられている。
【０００４】
また、可動子１０１は、凸状ストライプ電極１０３Ａ−１０３Ｂがエッチングなどにより形成され、固定子１０２の内面に対向されている一対の電極面を有している。可動子１０１の中空部には、貫通孔方向に沿って光軸を有する複数のレンズ１０４が配置固定され、この可動子１０１が移動されることによってそのレンズの焦点が被写体に合わせられる。
【０００５】
尚、可動子１０１には、駆動信号を印加するための配線１０５が接続されている。
【０００６】
また、固定子１０２は、電極１０３Ａ−１０３Ｂと対向する面にガラス板１０６Ａ，１０６Ｂが装着され、このガラス板１０６Ａ，１０６Ｂの表面には、導電材をパターニングして第１グループＧＡ及び第２グループＧＢの電極１０７Ａ並びに第３グループＧＣ及び第４グループＧＤの電極１０７Ｂが形成される。第１グループＧＡ及び第２グループＧＢの電極１０７Ａは、同一ピッチで交互に配置され、同様に第３グループＧＣ及び第４グループＧＤ１０７Ｂも同一ピッチで交互に配置されている。また、電極１０７Ａと電極１０７Ｂとは、互いに半ピッチずれる関係に配置されている。
【０００７】
このような構造を有する静電アクチュエータの動作を図２を参照して説明する。
【０００８】
（１）まず、電極１０７Ａの第１のグループＧＡに＋Ｖ［Ｖ］の電圧が印加される。従って、第１のグループＧＡの電極１０７Ａと電極１０３Ａとの間に静電気力、即ち、吸引力が発生される。この静電気力によって可動子１０１は、固定子１０２のガラス板１０６Ａ側への移動が開始され、一定時間経過後には、電極１０３Ａが第１のグループＧＡの電極１０７Ａに吸着される。
【０００９】
（２）次に、電極１０７Ｂのうち第３のグループＧＣの電極１０７Ｂに＋Ｖ［Ｖ］の電圧が印加される。従って、第３のグループＧＣの電極１０７Ｂと電極１０３Ｂとの間に静電気力が発生される。この静電気力によって可動子１０１は、固定子１０２のガラス板１０６Ｂ側への移動が開始され、一定時間経過後には電極１０３Ｂは第３のグループＧＣの電極１０７Ｂに吸着される。この可動子１０１は、（１）で説明された位置に比べ図２の右方向に電極１０７Ａもしくは１０７Ｂの配列ピッチの半分だけ移動される。
【００１０】
（３）更に、電極１０７Ａの第２のグループＧＢに＋Ｖ［Ｖ］の電圧が印加される。従って、第２のグループＧＢの電極１０７Ａと電極１０３Ａとの間に静電気力が発生される。この静電気力により可動子１０１は、再度ガラス板１０６Ａ側への移動が開始され、一定時間後には電極１０３Ａが第２のグループＧＢの電極１０７Ａに吸着される。この可動子１０１は、で説明された位置に比べ図２の右方向に電極１０６Ａもしくは１０６Ｂの配列ピッチだけ移動される。
【００１１】
（４）更にまた、電極１０７Ｂの第４のグループＧＤの電極１０７Ａに＋Ｖ［Ｖ］の電圧が印加される。第４のグループＧＤの電極１０７Ａと電極１０３Ｂとの間に静電気力が発生される。従って、この静電気力により可動子１０１は、再度ガラス板１０６Ｂ側への移動が開始され、一定時間後には電極１０３Ｂは第４のグループＧＤの電極１０７Ｂに吸着される。この可動子１０１は、（１）で説明された位置に比べ図２の右方向に電極１０７Ａもしくは１０７Ｂの配列ピッチの１．５倍だけ移動される。
【００１２】
上記（１）〜（４）の工程を繰り返すことによって可動子１０１は、図２の右方向に１／２配列ピッチ単位で移動させることができる。
【００１３】
また、（４）、（３）、（２）、（１）の工程の順番で各電極に電圧が印加されると、可動子１０１を図２の左方向に１／２配列ピッチ単位で移動させることができる。
【００１４】
このような（１）〜（４）の工程によって可動子１０１を移動させ、この可動子１０１に装着されたレンズ１０４を移動して被写体に焦点を合わせることができる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来の静電アクチュエータでは、可動子を所望位置に移動させて被写体に焦点を合わせて画像を撮影することはできるが、撮像される画像を拡大もしくは縮小させるズーミング機能を実現することができない問題がある。これは、単一の可動子によってレンズ系が移動されることに基づいている。
【００１６】
また、仮に従来の静電アクチュエータに、画像を拡大もしくは縮小させる為に複数の可動子が設けられても、拡大もしくは縮小の為には、複数の可動子が夫々独立して移動もしくは固定されなければならない。しかしながら、従来のような構造の静電アクチュエータにおいては、固定子内で複数の可動子を独立して移動もしくは固定させて動作させることはできない問題がある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
この発明の目的は、撮像される画像の拡大もしくは縮小を行うための複数の可動子を、互いに独立して動作させることが可能な静電アクチュエータを提供するにある。
【００１８】
この発明によれば、
移動方向に沿って配列され、その夫々がこの移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の固定子電極と、
この第１の固定子電極に対向して配置され、前記移動方向に沿って延出される第２の固定子電極と、
前記第１の固定子電極に対向して配置され、前記第２の固定子電極とは電気的に分離されるように前記移動方向に沿って延出されている第３の固定子電極と、
前記第１の固定子電極と前記第２及び第３の固定子電極との間に規定される空間内を前記移動方向に沿って移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の可動子電極及び前記第２の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第２の可動子電極を具備する第１の可動子と、
前記移動空間内を前記移動方向に沿って前記第１の可動子とは独立に移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第３の可動子電極及び前記第３の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第４の可動子電極を具備する第２の可動子と、
から構成されることを特徴とする静電アクチュエータが提供される。
【００１９】
また、この発明によれば、
ある移動方向に沿って延びる空間をその内に規定する中空の固定子枠、この固定子枠の第１の内面に配置され、前記移動方向に沿って並列され、夫々がこの移動方向に交差する方向に沿って延出される第１の固定子電極を含む第１の電極領域及び前記固定子枠の第１の内面に対向する第２の内面に配置され、前記移動方向に沿って延出され、互いに電気的に分離された第２及び第３の固定子電極を含む第２の電極領域を有する固定子と、
前記固定子内の空間に前記移動方向に沿って移動可能に配置され、前記第１の電極領域に対向するように前記第１の固定子電極に対応して前記移動方向に沿って並列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の可動子電極及び前記第２の電極領域に対向するように前記第２の固定子電極に対応して前記移動方向に沿って延出される第２の可動子電極を具備する第１の可動子と、
前記空間内を前記移動方向に沿って前記第１の可動子とは独立に移動可能に配置され、前記第１の電極領域に対向するように前記第１の固定子電極に対応して前記移動方向に沿って並列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第３の可動子電極及び前記第２の電極領域に対向するように前記第３の固定子電極に対応して前記移動方向に沿って延出される第４の可動子電極を具備する第２の可動子と、
前記第１の固定子電極に第１の駆動信号を供給し、前記第２の固定子電極に第２の駆動信号又は保持電圧信号の一方を供給し、前記第３の固定子電極に第３の駆動信号又は保持電圧信号の一方を供給して第１及び第２の可動子の両方或いは一方を前記移動方向に沿って移動させる駆動回路と、を具備することを特徴とする静電アクチュエータが提供される。
【００２０】
更に、この発明によれば、
ある移動方向に沿って配列され、そのそれぞれがこの移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の固定子電極と、
この第１の固定子電極に対向して配置され、前記移動方向に沿って延出される第２の固定子電極と、
前記第１の固定子電極に対向して配置され、前記第２の固定子電極とは電気的に分離されるように前記移動方向に沿って延出されている第３の固定子電極と、
前記第１の固定子電極と前記第２及び第３の固定子電極との間に規定される移動空間内を前記移動方向に沿って移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の可動子電極及び前記第２の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第２の可動子電極を備えた中空の第１の可動子と、
前記移動空間内を前記移動方向に沿って前記第１の可動子とは独立に移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第３の可動子電極及び前記第３の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第４の可動子電極を具備する中空の第２の可動子と、
前記第１の可動子中に前記移動方向に沿って配置された光軸を有する第１の光学レンズ系と、
前記第２の可動子中に前記移動方向に沿って配置された光軸を有する第２の光学レンズ系であって、第１及び第２のレンズ系の相対位置に従ってその光学倍率が定まり、第１及び第２のレンズ系の位置に従って結像面に被写体像が結像される第２の光学系と、
前記第１の固定子電極に第１の駆動信号を供給し、前記第２の固定子電極に第２の駆動信号又は保持電圧信号の一方を供給し、前記第３の固定子電極に第３の駆動信号又は保持電圧信号の一方を供給して第１及び第２の可動子の両方或いは一方を前記移動方向に沿って移動させる駆動回路と、から構成されることを特徴とする被写体像をその結像面に結像させる画像装置が提供される。
【００２１】
更にまた、この発明によれば、
移動方向に沿って配列され、その夫々がこの移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の固定子電極と、
この第１の固定子電極に対向して配置され、前記移動方向に沿って延出される第２の固定子電極と、
前記第１の固定子電極に対向して配置され、前記第２の固定子電極とは電気的に分離されるように前記移動方向に沿って延出されている第３の固定子電極と、
前記第１の固定子電極と前記第２及び第３の固定子電極との間に規定される空間内を前記移動方向に沿って移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の可動子電極及び前記第２の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第２の可動子電極を具備する第１の可動子と、
前記移動空間内を前記移動方向に沿って前記第１の可動子とは独立に移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第３の可動子電極及び前記第３の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第４の可動子電極を具備する第２の可動子と、
から構成される静電アクチュエータを駆動する方法において、
第１の駆動信号を前記第１の固定子電極に供給し、
第２の駆動信号を前記第２の固定子電極に供給し、
第１の保持信号を前記第２の固定子電極に供給し、
第３の駆動信号及び第２の保持信号の一方を前記第３の固定子電極に供給して前記第１及び第２の可動子の一方或いは両方を前記移動方向に沿って移動させることを特徴とする静電アクチュエータの駆動方法が提供される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の静電アクチュエータの実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２３】
静電アクチュエータは、小型、軽量であることから内視鏡や携帯電話などの移動電話、各種ＰＤＡなどに搭載されるレンズの焦点合わせに使用することが可能であり最近注目されている。
【００２４】
図３（ａ）乃至図３（ｃ）は、第１の実施の形態に係る静電アクチュエータを示している。
【００２５】
図３（ａ）は、第１の実施の形態に係る静電アクチュエータを概略的に示す斜視図である。この図３（ａ）に示される静電アクチュエータ１は、その上面及び下面に１対の可動子電極４，８，５，１１を有する第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂと、この可動子電極４，８，５，１１に対向して配置される１対の固定子電極部１２、１４（以下の説明において、符号１４は、保持用電極部と称する。）を有する固定子３とから構成される。
【００２６】
なお、可動子電極４，８，５，１１は、可動子を駆動するための駆動用電極４，８及び可動子２Ａ，２Ｂを固定する為の固定用電極５，１１とからなり、固定子電極部１２、１４は、同様に可動子を駆動する為の駆動用電極部１２と可動子２Ａ，２Ｂをその位置に保持する為の保持用電極部１４とからなる。
【００２７】
始めに、固定子３の構造について説明する。
【００２８】
固定子３は、貫通部を有する中空の立方体形状の枠体なる固定子枠３Ａから構成されている。この固定子枠３Ａは、上方内面３Ａ−１，下方内面を面３Ａ−２及び側内面３Ａ−３，３Ａ−４を有している
固定子枠３Ａの一内面、例えば、上面３Ａ−１には、可動子２Ａ、２Ｂを駆動する為の駆動用電極部１２が形成されている。更に、上面に対向する他の内面、例えば、下面３Ａ−２には、可動子２Ａ、２Ｂをその位置に保持する為の保持用電極部１４が形成されている。
【００２９】
この駆動用電極部１２は、図３（ｂ）に示すようにガラス板１３表面に所望の形状にパターニングして形成され、所定方向、例えば、固定子３の長手方向に対して交差する方向、即ち、横手方向に延伸する複数の電極が並列されている。なお、駆動用電極部１２を有したガラス板１３は、固定子３の内面３Ａ−１に嵌着される。また、駆動用電極部１２の一つ電極１２Ａ〜１２Ｄの幅は、２０ミクロン程度である。また、駆動用電極部１２の電極１２Ａ〜１２Ｄ間の間隔は、２０ミクロン程度であり、電極１２Ａ〜１２Ｄは、ほぼ４０ミクロンのピッチで配列されている。
【００３０】
駆動用電極部１２に対向する固定子枠３Ａの内面３Ａ−２には、保持用電極部１４が形成される。保持用電極部１４は、ガラス板１５の表面に所望の形状にパターニングによって所定方向に形成される。なお、保持用電極部１４が形成されたガラス板１５は、固定子３内壁の面３Ａ−２に嵌着される。保持用電極部１４は、後述する第１の可動子２Ａの３本の可動子側固定電極５及び第２の可動子２Ｂの２本の可動子側固定電極１１に対応して５本の電極が並行に形成されている。図３（ｃ）に示されるように５本の保持用電極部１４は、ガラス板１５上の中央領域を含む殆どの領域では離間して並設され、ガラス板１５上の長手方向の一方の側部領域では、可動子側固定電極５に対応する３本の保持用電極部１４Ａがガラス板１５の端部で電気的に接続され、また、可動子側固定電極１１に対応する２本の保持用電極部１４Ｂは、ガラス板１５上の長手方向の他方の側部領域では、電気的にそれぞれ接続されている。このように保持用電極部１４Ａ，１４Ｂは、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを独立して制御するように電気的に独立して配置される。
【００３１】
また、固定子枠３Ａの側方内面３Ａ−３，３Ａ−４には、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの側面が内面３Ａ−３，３Ａ−４に直接接触することを防止するためのストッパ１６がその内部に突出するように長手方向に延出されている。また、同様に可動子２Ａ，２Ｂと駆動用電極部１２，１４とが直接接触しないように、内面３Ａ−１，３Ａ−２には、ストッパ１６が設けられている。
【００３２】
次に、２個の可動子２Ａ，２Ｂの構造について詳細に説明する。
【００３３】
第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、中空部を有する導電材料で形成された略直方体の支持体と、その表面に形成される各電極４，５，８，１１と、その中空部に配置されたレンズ６，９と、支持体から電荷を取り除くための配線７，１０とから構成される。尚、支持体と各電極４，５は、一体的に形成されても良い。
【００３４】
第１の可動子２Ａ，第２の可動子２Ｂは、互いに離間して所定方向に移動可能に貫通孔に挿入されている。
【００３５】
固定子側駆動用電極部１２に対向する第１の可動子２Ａの表面、例えば、上面には、可動子側駆動用電極４が設けられ、保持用電極部１４に対向する第１の可動子２Ａの表面、例えば、下面には、可動子側固定電極５が設けられている。可動子側駆動用電極４は、長手方向、即ち、移動方向に交差するようにエッチングにより突起状の複数のストライプが延出され、長手方向に並列されている。また、可動子側固定電極５は、この移動方向に延出され、横手方向に並列されるようにエッチングにより突起状の複数のストライプが形成されている。可動子側駆動用電極４は、凹凸に形成され、その間隔は、２０ミクロン程度であり、凸部の高さは凹部内の面から高さ１０ミクロン程度を有している。即ち、可動子側駆動用電極４の凸の端面は、駆動用電極部１２の一つ電極１２Ａ〜１２Ｄの幅に等しく、また、可動子側駆動用電極４の凹の底面は、この電極１２Ａ〜１２Ｄ間の間隔に等しい幅を有し、可動子側駆動用電極４の凹或いは凸は、ほぼ４０ミクロンのピッチで配列されている。
【００３６】
図３（ａ）に示されるアクチュエータでは、第１の可動子２Ａには、長手方向に延出され、横手方向に並設されている３本の固定電極５が設けられている。また、第１の可動子２Ａの中空部には、光軸を一致させた複数のレンズ６が固定されている。
【００３７】
第２の可動子２Ｂには、第１の可動子２Ａの可動子側駆動用電極４と同様な形状及びディメンションを有する可動子側駆動用電極８が設けられている。また、可動子２Ｂ内には、レンズ６と同様にレンズ９が固定されている。レンズ６及び９の配置が変えられることによって両者で構成されるレンズ系は、ワイド及びテレ間でズームされ、このズームされた焦点距離に応じて被写体に対して焦点が合わせられる。第２の可動子２Ｂには、同様に長手方向に延出され、横手方向に並設されている２本の固定電極１１が設けられている。固定電極１１は、エッチングにより形成される。
【００３８】
上述から明らかなように、可動子側駆動用電極４，８は、その凹凸が略並行であり、可動子側固定電極５，１１もまたその凹凸形状が略並行に設けられている。可動子側駆動用電極４，８と可動子側固定電極５，１１とは、その延出方向が互いに交差する関係にあり、また、可動子側固定電極５，１１は、その長手方向に延出され、その横手方向では、互いに重ならないように並列される関係にある。
【００３９】
このような第１，第２の可動子２Ａ，２Ｂは、移動方向、即ち、長手方向に並べられ相互に独立して移動可能である。
【００４０】
このような構造を有するアクチュエータの動作を図４（ａ）を参照して説明する。
【００４１】
図４（ａ）は、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが固定子枠３Ａ内に挿入されている状態を示す断面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）をＸ−Ｘ線で切断し矢印方向から見た横断面図であり、図４（ｃ）は、図４（ａ）をＹ−Ｙ線で切断し矢印方向から見た横断面図である。
【００４２】
図４（ａ）に示すように駆動用電極部１２は、移動方向に沿って配置された各グループが４相の電極１２Ａ〜１２Ｄからなる複数の電極グループから構成されている。駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄは、制御部１９に接続され制御部１９からの制御電圧信号が入力されて駆動される。即ち、複数の駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄのグループが長手方向に配置され、ある駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄは、夫々他のグループの対応する駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄに共通接続されて制御部１９に接続され、電圧信号は、各グループの駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄに独立して印加される。例えば、駆動用電極１２Ａに電圧が印加される場合には、電極部１２の全てのグループの駆動用電極１２Ａに対応する凸部に電圧信号が印加される。
【００４３】
図４（ｄ）に示されるように可動子２Ａまたは２Ｂの固定電極５または１１の幅Ｗｍ及び固定子３の固定子電極１４の幅Ｗｓは、可動子２Ａまたは２Ｂが固定子３の枠中で横手方向に移動したとしてもその移動長（ΔＬ）よりも大きく定められることが必要とされる。この移動長ΔＬは、可動子２Ａまたは２Ｂが固定子５または１１の一方の側面に設けられたストッパ１６に当接された際の可動子２Ａまたは２Ｂの幅（Ｌｍ）と固定子５または１１の一方の側面に設けられたストッパ間の距離（Ｌｓ）の差に相当している。幅Ｗｍ及びＷｓが移動長（ΔＬ）よりも大きく定められる理由は、可動子がΔＬだけ側面方向に移動することで、対向する電極５，１４が外れることがあり、極端に重なり合う面積が小さくなると、可動子２Ａを固定する力が発生できなくなってしまうためである。
【００４４】
また、電極５、１１または１４間の空間もΔＬよりも広くなければならず、固定電極本数が増えることは、電極の無い部分も増加することになり、吸引力を発生させるためには、不利な条件となる。
【００４５】
また、可動子２Ａ、２Ｂの夫々が１つ電極である場合に、これらが中央領域の左又は右に設けられるのでは、各可動子２Ａ、２Ｂの夫々を進行方向に対して対称に設けることができない。その結果として駆動時における可動子２Ａ、２Ｂが不安定に移動される虞があり、可動子２Ａ、２Ｂの夫々には、少なくとも２つの電極が設けられる必要がある。
【００４６】
そこで、小型のアクチュエータでは、固定子電極として例えば、２系統の固定子電極を有する構造では、一方の可動子２Ａ、２Ｂに２本の電極が設けられ、他方の可動子２Ａ、２Ｂに３本の電極が設けられる組み合わせ、或いは、一方の可動子２Ａ、２Ｂに３本の電極が設けられ、他方の可動子２Ａ、２Ｂに４本の電極が設けられる組み合わせが好ましい。
【００４７】
ここで、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの動作には、以下の４つの動作モードがあり、各動作モードについて説明する。
【００４８】
▲１▼ 第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを共に図４（ａ）の右方向に移動させる場合。（以下、単に動作モード▲１▼と称する。）この動作は、レンズ系の焦点を被写体に合わせるフォーカシングモードに相当する。
【００４９】
▲２▼ 第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを共に図４（ａ）の左方向に移動させる場合。（以下、単に動作モード▲２▼と称する。）この動作は、同様にレンズ系の焦点を被写体に合わせるフォーカシングモードに相当する。
【００５０】
▲３▼ 第１の可動子２Ａが固定されて第２の可動子２Ｂのみを図４（ａ）の左もしくは右方向に移動される場合。（以下、単に動作モード▲３▼と称する。）この動作は、テレ或いはワイド側にレンズ系を切り換えるズーミングモードに相当する。
【００５１】
▲４▼ 第２の可動子２Ｂが固定されて第１の可動子２Ａのみが図４（ａ）の左もしくは右方向に移動される場合。（以下、単に動作モード▲４▼と称する。）この動作は、テレ或いはワイド側にレンズ系を切り換えるズーミングモードに相当する。
【００５２】
上述した４つの動作モードについて以下に説明する。
【００５３】
▲１▼ 第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを共に図４（ａ）の右方向に移動させる動作モード▲１▼は、次の順序で実現される。
【００５４】
（１）まず、可動子２Ａ、２Ｂの駆動用電極４，８が接地されたままに維持される。この状態で、図５（ａ）に示されるように駆動用電極１２Ａに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ａの近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。従って、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。
【００５５】
（２）次に、時点ｔ１に駆動用電極１２Ａの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ｅ）及び図５（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧Ｈが印加される。従って、保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５が保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂはガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極１１は保持用電極部１４Ｂとに吸着される。
【００５６】
（３）次に、時点ｔ２に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ｂ）に示されるように駆動用電極１２Ｂに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂの近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。従って、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の一つのストライプ分、即ち、１ピッチだけ移動されることとなる。
【００５７】
（４）次に、時点ｔ３に駆動用電極１２Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図５Ｅ及び５Ｆに示すように再び保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａはガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００５８】
（５）更に、時点ｔ４に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ｃ）に示されるように駆動用電極１２Ｃに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｃ近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｃに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の二つのストライプ分、即ち、２ピッチだけ移動されることになる。
【００５９】
（６）次に、時点ｔ５に駆動用電極１２Ｃの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ｅ）及び図５（ｆ）に示すように再び保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００６０】
（７）次に、時点ｔ６に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ｄ）に示されるように駆動用電極１２Ｄに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｄの近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ｄに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｄに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の三つのストライプ分、即ち、３ピッチだけ移動されることになる。
【００６１】
（８）次に、時点ｔ７に駆動用電極１２Ｄの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ｅ）及び図５（ｆ）に示すように再び保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００６２】
（９）次に、時点ｔ８に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ａ）に示されるように再び駆動用電極１２Ａに電圧が印加される。駆動用電極１２Ａ近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の四つのストライプ分、４ピッチだけ移動されることになる。
【００６３】
以上のような（１）〜（９）の工程を、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを移動させたい距離だけ繰り返される。
【００６４】
▲２▼ 第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを共に図４（ａ）の左方向に移動させる場合。
【００６５】
上記▲１▼ の工程を逆に行えば、左方向へ第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを移動させることができる。つまり、上述した▲１▼のモードにおいて、（９）、（８）、（７）、（６）、（５）、（４）、（３）、（２）、（１）の順に移動させたい距離だけ繰り返し各工程を実施して、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを移動させれば良い。
【００６６】
ここで、▲１▼及び▲２▼のモードは、何れも被写体に焦点を合わせるフォーカシングモードの動作であり、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの初期位置によってどちらの方向に移動させれば短時間で焦点を合わせることができるかによって適宜選択される。
【００６７】
▲３▼第１の可動子２Ａを固定して第２の可動子２Ｂのみを図４（ａ）の左もしくは右方向に移動させる場合。
【００６８】
以下に第２の可動子２Ｂを右方向に移動させる場合について説明する。
【００６９】
（１）まず、可動子２Ａ、２Ｂの駆動用電極４，８が▲１▼のモードと同様に接地されたままに維持される。図６（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極５との間に静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され、可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。図６（ｅ）に示すように保持用電極部１４Ａに電圧が印加される場合には、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５に吸着され、一時的に固定される。
【００７０】
（２）次に、図６（ｅ）に示すように保持用電極部１４Ａに電圧Ｈを印加したまま図６（ａ）に示されるように時点ｔ１に駆動用電極１２Ａに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ａ近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａに可動子側駆動用電極８が吸着される。従って、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。これに対して、保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加されていることから、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。
【００７１】
（３）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま、図６（ｆ）に示すように時点ｔ２において、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加される。従って、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００７２】
（４）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ｂ）に示すように時点ｔ３で駆動用電極１２Ｂに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂの近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂに可動子側駆動用電極８が吸着される。従って、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、同様にガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の一つのストライプ分だけ、即ち、１ピッチだけ第２の可動子２Ｂは移動される。
【００７３】
（５）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ｆ）に示すように時点ｔ４で保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００７４】
（６）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ｃ）に示すように時点ｔ５で駆動用電極１２Ｃに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｃ近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｃに可動子側駆動用電極８が吸着される。従って、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、依然ガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の二つのストライプ分、即ち、２ピッチだけ第２の可動子２Ｂは移動される。
【００７５】
（７）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ｆ）に示すように時点ｔ６で保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され、可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００７６】
（８）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ｄ）に示すように時点ｔ７に駆動用電極１２Ｄに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｄ近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ｄに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｄに可動子側駆動用電極８が近接する。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に固定されたままにある。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の三つのストライプ分、即ち、３ピッチだけ第２の可動子２Ｂが移動される。
【００７７】
（９）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ｆ）に示すように時点ｔ８で保持用電極部１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００７８】
（１０）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ａ）に示すように時点ｔ９で駆動用電極１２Ａに電圧が印加される。駆動用電極１２Ａ近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａに可動子側駆動用電極８が吸着される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、同様にガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の四つのストライプ分、４ピッチだけ第２の可動子２Ｂが移動される。
【００７９】
以上のような（１）〜（１０）の工程を、第２の可動子２Ｂを移動させたい距離だけ繰り返し行い可動子２Ｂを移動させる。
【００８０】
また、可動子２Ｂを右方向に移動させたい場合には、上述した▲３▼において（１）、（１０）、（９）、（８）、（７）、（６）、（５）、（４）、（３）、（２）の順に移動させたい距離だけ繰り返し行うことで、第２の可動子２Ｂを移動させることができる。
【００８１】
▲４▼ 第２の可動子２Ｂを固定して第１の可動子２Ａのみを図４（ａ）の左もしくは右方向に移動させる場合。
【００８２】
以下に第１の可動子２Ａを右方向に移動させる場合について説明する。
【００８３】
（１）まず、可動子２Ａ、２Ｂの駆動用電極４，８が▲１▼の動作モードと同様に接地されたままに維持される。図７（ｅ）に示すように保持用電極部１４Ａに電圧が印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極１１との間に静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。ここで、図７（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧が印加される場合には、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５に吸着され、固定されたままに維持される。
【００８４】
（２）次に、図７（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加されたまま図７（ａ）に示されるように時点ｔ１に駆動用電極１２Ａに電圧Ｈが印加される。従って、駆動用電極１２Ａの近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａに可動子側駆動用電極４が吸着される。その結果、第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。これに対して、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加されていることから、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。
【００８５】
（３）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｅ）に示されるように時点ｔ２に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。
【００８６】
（４）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｂ）に示すように時点ｔ３において、駆動用電極１２Ｂに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂに可動子側駆動用電極４が吸着される。第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の一つのストライプ分、即ち、１ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【００８７】
（５）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｅ）に示されるように時点ｔ４に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈを印加する。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。
【００８８】
（６）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｃ）に示されるように時点ｔ５に駆動用電極１２Ｃに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｃ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｃに可動子側駆動用電極４が吸着される。従って、第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の二つのストライプ分、即ち、２ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【００８９】
（７）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｅ）に示されるように時点ｔ６に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され、可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。
【００９０】
（８）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｄ）に示されるように時点ｔ７に駆動用電極１２Ｄに電圧Ｈを印加する。駆動用電極１２Ｄ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ｄに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｄに可動子側駆動用電極４が吸着される。第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。やはり第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に一時的に固定されたままにある。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の三つのストライプ分、即ち、３ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【００９１】
（９）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｅ）に示されるように時点ｔ８に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。
【００９２】
（１０）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧を印加したまま図７（ａ）に示されるように時点ｔ９に駆動用電極１２Ａに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ａ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａに可動子側駆動用電極４が近接する。第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に一時的に固定されたままである。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の４つのストライプ分、４ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【００９３】
以上のような（１）〜（１０）の工程を第１の可動子２Ａを移動させたい距離だけ繰り返されて第１の可動子２Ａが移動される。
【００９４】
また、第１の可動子２Ａを左方向に移動させたい場合には、▲３▼の動作モードにおいて（１）、（１０）、（９）、（８）、（７）、（６）、（５）、（４）、（３）、（２）の順に移動させたい距離だけ繰り返されて第１の可動子２Ａが移動される。
【００９５】
ここで、▲３▼及び▲４▼の動作モードは、どちらも撮像される画像を拡大もしくは縮小するために行われる動作であり、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの初期位置によってどちらの方向にどちらの可動子を移動させれば短時間で拡大もしくは縮小ができるかは適宜選択されるものとする。
【００９６】
なお、図４（ｂ）は第１の可動子２Ａがガラス板１３側に移動したときを、図４（ｃ）は第２の可動子２Ｂがガラス板１５側に移動したときを、それぞれ示している。
【００９７】
図４（ａ）に示されたアクチュエータにおいては、駆動用電極部１２の駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄは、可動子側駆動用電極４及び８の幅にほぼ等しく、しかも、配列ピッチに等しく定められている。このようなアクチュエータの変形例として、図８（ａ）〜図８（ｃ）に示すように駆動用電極部１２の駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄは、可動子側駆動用電極４及び８の幅の１／２以下に定められ、しかも、配列ピッチが１／４に定められても良い。このような構造を有するアクチュエータでは、可動子２Ａ、２Ｂが夫々駆動用電極部１２の駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄに引き付けられると、可動子側駆動用電極４及び８の夫々は、図８（ａ）〜図８（ｃ）に示すように常に２つの駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄに対向される。
【００９８】
図８（ａ）〜図８Ｃに示すアクチュエータの動作について、図９（ａ）〜図９（ｆ）、図１０（ａ）〜図１０（ｆ）及び図１１（ａ）〜図１１（ｆ）を参照して以下に説明する。
【００９９】
▲１▼ 第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが図８（ａ）に示すように同時に右方向に移動される動作モード▲１▼は、次の順序で実現される。
【０１００】
（１）まず、可動子２Ａ、２Ｂの駆動用電極４，８が接地されたままに維持される。この状態で、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示されるように駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ａ、１２Ｂの近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ａ、１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａ、１２Ｂに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。従って、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。
【０１０１】
（２）次に、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように時点ｔ１に駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図９（ｅ）及び図９（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧Ｈが印加される。従って、保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５が保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂとに吸着される。
【０１０２】
（３）次に、図９（ｅ）及び図９（ｆ）に示すように時点ｔ２に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図９Ｂ及び図９Ｃに示されるように駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃの近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。従って、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図８（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の１つのストライプ分、即ち、１ピッチだけ移動されることとなる。
【０１０３】
（４）次に、時点ｔ３に駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃの電圧が低レベルＬに変化され、図９（ｅ）及び図９（ｆ）に示すように再び保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１０４】
（５）更に、時点ｔ４に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図９Ｃ及び９Ｄに示されるように駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄ近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図８（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の二つのストライプ分、即ち、２ピッチだけ移動されることになる。
【０１０５】
（６）次に、時点ｔ５に駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄの電圧が低レベルＬに変化され、図９（ｅ）及び図９（ｆ）に示すように再び保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１０６】
（７）次に、時点ｔ６に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図９Ｄ及び図９Ａに示されるように駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａの近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図８（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の三つのストライプ分、即ち、３ピッチだけ移動されることになる。
【０１０７】
（８）次に、時点ｔ７に駆動用電極１２Ａの電圧が低レベルＬに変化され、図９（ｅ）及び図９（ｆ）に示すように再び保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１０８】
（９）次に、時点ｔ８に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示されるように再び駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに電圧が印加される。駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂ近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図８（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の四つのストライプ分、４ピッチだけ移動されることになる。
【０１０９】
以上のような（１）〜（９）の工程を、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを移動させたい距離だけ繰り返される。
【０１１０】
▲２▼ 第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを共に図４（ａ）の左方向に移動させる場合には、上記▲１▼の動作モードの工程を逆に行えば、左方向へ第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを移動させることができる。つまり、上述した▲１▼のモードにおいて、（９）、（８）、（７）、（６）、（５）、（４）、（３）、（２）、（１）の順に移動させたい距離だけ繰り返し各工程を実施して、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを移動させれば良い。
【０１１１】
▲３▼第１の可動子２Ａを固定して第２の可動子２Ｂのみを左もしくは右方向に移動させる場合。
【０１１２】
以下に図８（ｂ）に示すように第２の可動子２Ｂを右方向に移動させる場合について説明する。
【０１１３】
（１）まず、可動子２Ａ、２Ｂの駆動用電極４，８が▲１▼の動作モードと同様に接地されたままに維持される。図１０（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極５との間に静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ｂに吸着される。図１０（ｅ）に示すように保持用電極部１４Ａに電圧が印加される場合には、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５に吸着される。
【０１１４】
（２）次に、図１０（ｅ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１０（ａ）及び１０Ｂに示されるように時点ｔ１に駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂの近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに可動子側駆動用電極８が吸着される。従って、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。これに対して、保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加されていることから、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。
【０１１５】
（３）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま、図１０（ｆ）に示すように時点ｔ２において、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加される。従って、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１１６】
（４）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０Ｂ及び図１０Ｃに示すように時点ｔ３で駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃの近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに可動子側駆動用電極８が吸着される。従って、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、同様にガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図８（ｂ）の右方向に駆動用電極部１２の一つのストライプ分だけ、即ち、１ピッチだけ第２の可動子２Ｂは移動される。
【０１１７】
（５）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０（ｆ）に示すように時点ｔ４で保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１１８】
（６）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０（ｃ）及び図１０Ｄに示すように時点ｔ５で駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄの近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに可動子側駆動用電極８が吸着される。従って、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、依然ガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図８（ｂ）の右方向に駆動用電極部１２の二つのストライプ分、即ち、２ピッチだけ第２の可動子２Ｂは移動される。
【０１１９】
（７）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０（ｆ）に示すように時点ｔ６で保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され、可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１２０】
（８）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０（ｄ）、図１０（ｄ）及び１０Ａに示すように時点ｔ７に駆動用電極１２Ｄ及び１２Ａに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｄ及び１２Ａの近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ｄ及び１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｄ及び１２Ａに可動子側駆動用電極８が近接する。第２の可動子２Ｂはガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に固定されたままにある。このとき（１）の時に比べて図８（ｂ）の右方向に駆動用電極部１２の三つのストライプ分、即ち、３ピッチだけ第２の可動子２Ｂが移動される。
【０１２１】
（９）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０（ｆ）に示すように時点ｔ８で保持用電極部１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１２２】
（１０）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すように時点ｔ９で駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに電圧が印加される。駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂ近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに可動子側駆動用電極８が近接する。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、同様にガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図１０Ｂの右方向に駆動用電極部１２の四つのストライプ分、４ピッチだけ第２の可動子２Ｂが移動される。
【０１２３】
以上のような（１）〜（１０）の工程を、第２の可動子２Ｂを移動させたい距離だけ繰り返し行い可動子２Ｂを移動させる。
【０１２４】
また、可動子２Ｂを右方向に移動させたい場合には、上述した▲３▼において（１）、（１０）、（９）、（８）、（７）、（６）、（５）、（４）、（３）、（２）の順に移動させたい距離だけ繰り返し行うことで、第２の可動子２Ｂを移動させることができる。
【０１２５】
▲４▼ 第２の可動子２Ｂを固定して第１の可動子２Ａのみを左もしくは右方向に移動させる場合。
【０１２６】
以下に、図８（ｃ）に示すように第１の可動子２Ａを右方向に移動させる場合について説明する。
【０１２７】
（１）まず、可動子２Ａ、２Ｂの駆動用電極４，８が▲１▼の動作モードと同様に接地されたままに維持される。図１１（ｅ）に示すように保持用電極部１４Ａに電圧が印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極１１との間に静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。ここで、図１１（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧が印加される場合には、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５に吸着される。
【０１２８】
（２）次に、図１１（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加されたまま図１１（ａ）に示されるように時点ｔ１に駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに電圧Ｈが印加される。従って、駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂの近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに可動子側駆動用電極４が吸着される。その結果、第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。これに対して、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加されていることから、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。
【０１２９】
（３）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１１（ｅ）に示されるように時点ｔ２に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。
【０１３０】
（４）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１１（ｂ）に示すように時点ｔ３において、駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに可動子側駆動用電極４が吸着される。第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図８（ｃ）の右方向に駆動用電極部１２の一つのストライプ分、即ち、１ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【０１３１】
（５）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１１（ｅ）に示されるように時点ｔ４に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈを印加する。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。
【０１３２】
（６）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１２Ｃ及び１２Ｄに示されるように時点ｔ５に駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに可動子側駆動用電極４が吸着される。従って、第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の二つのストライプ分、即ち、２ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【０１３３】
（７）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１１（ｅ）に示されるように時点ｔ６に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され、可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。
【０１３４】
（８）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１１（ｄ）及び１１Ａに示されるように時点ｔ７に駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａに電圧Ｈを印加する。駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａに可動子側駆動用電極４が吸着される。第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。やはり第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に一時的に固定されたままにある。このとき（１）の時に比べて図８（ｃ）の右方向に駆動用電極部１２の三つのストライプ分、即ち、３ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【０１３５】
（９）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１１（ｅ）に示されるように時点ｔ８に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。
【０１３６】
（１０）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧を印加したまま図１１（ａ）及び１１Ｂに示されるように時点ｔ９に駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに可動子側駆動用電極４が近接する。第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に一時的に固定されたままである。このとき（１）の時に比べて図８（ｃ）の右方向に駆動用電極部１２の４つのストライプ分、４ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【０１３７】
以上のような（１）〜（１０）の工程を第１の可動子２Ａを移動させたい距離だけ繰り返されて第１の可動子２Ａが移動される。
【０１３８】
また、第１の可動子２Ａを右方向に移動させたい場合には、▲３▼の工程において（１）、（１０）、（９）、（８）、（７）、（６）、（５）、（４）、（３）、（２）の順に移動させたい距離だけ繰り返されて第１の可動子２Ａが移動される。
【０１３９】
次に、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの位置とレンズ系のズームング倍率（拡大もしくは縮小の倍率）との関係について図１２（ａ）及び図１２（ｂ）を参照して説明する。
【０１４０】
通常、ズーミングのための制御信号は、使用者が静電アクチュエータが具備されたＰＤＡ等の装置に設けられた入力部例えば、ボタンやつまみに入力した信号が装置内の制御部１９に送られ、この入力信号に基づいて制御部１９で生成される。この制御信号にしたがって第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが駆動される。
【０１４１】
まず、図１２（ａ）は静電アクチュエータの縦断面図を示し、図１２（ｂ）は第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの軸方向の位置と光学倍率との関係を示すグラフである。図１２（ｂ）において、曲線Ｐは、第１の可動子２Ａの移動範囲を示し、曲線Ｑは、第２の可動子２Ｂの移動範囲を示している。この図１２（ｂ）から明らかなように、固定子３の略中央付近では、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの移動範囲が重なり合う領域がある。なお、図１２（ｂ）のグラフにおいて、横軸の原点は、静電アクチュエータの固定子３の第１の可動子２Ａが設けられた側の一方の開口部に定められている。
【０１４２】
図１２（ａ）に示すように、固定子３の第２の可動子２Ｂが設けられた側の他方の開口部には、レンズ６，９の結像面にＣＣＤセンサ１７が固定板１８上に配置され、固定板１８が固定子３の他方の開口部に固定されている。
【０１４３】
また、図１２（ｂ）に示すように、光学系がある光学倍率Ｘに設定される場合には、第１の可動子２Ａが点Ｅに、第２の可動子２Ｂが点Ｆに配置される。同様に光学系が光学倍率Ｘよりも大きい光学倍率をＹに設定される場合には、第１の可動子２Ａが点Ｇに、第２の可動子２Ｂが点Ｈに配置される。また、光学系が光学倍率Ｙよりも大きい光学倍率をＺに設定される場合には、第１の可動子２Ａが点Ｉに、第２の可動子２Ｂが点Ｊに配置される。
【０１４４】
第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが所望の光学倍率に対応する所望の位置に移動される場合には、まず第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが粗動作され、次に、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂのどちらか一方が固定されて、移動可能な他方の可動子が微動されてその位置が所望の位置に設定される。次に、位置が設定された他方の可動子が固定されて一方の可動子が微動されて所望の位置に設定される（微動作）。
【０１４５】
このような動作を上述した▲１▼〜▲４▼の動作モードの工程により第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが独立して移動されることで光学系は、所望の倍率に設定される。
【０１４６】
なお、上述した実施例では、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが粗動作された後、一方の可動子が固定され、他方の可動子が微動されて所望の位置に設定されて光学系は、光学倍率設定されている。しかしながら、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが独立して制御されることによって位置設定を途中でどちらか一方の第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを固定することなく、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂをそれぞれの所望の位置に直接移動させて、所望の光学倍率が得られてもよい。また、このような動作では、第１の可動子２Ａが、駆動用電極部１２側に移動もしくは駆動用電極部１２側に一時的に固定されている場合には、必ず第２の可動子２Ｂは、保持用電極部１４Ｂ側に移動もしくは保持用電極部１４Ｂに一時的に固定されている。ただし、後者の動作の場合には前者に比べて若干拡大もしくは縮小に必要な時間が大きくなる。
【０１４７】
以上述べたような第１の実施の形態では、撮像される画像の拡大もしくは縮小するための複数の可動子を、独立して動作させることで所望の光学倍率を得ることができる。
【０１４８】
次に、この発明の第２の実施の形態に係るアクチュエータについて図１３（ａ）〜１３Ｃを参照して説明する。
【０１４９】
なお、以下の各実施の形態において同一構成要素は同一符号を付し重複する説明は省略する。
【０１５０】
第２の実施の形態に係るアクチュエータでは、可動子側固定電極５，１１が、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂのほぼ下面全域に形成されている。
【０１５１】
図１３（ａ）は、この発明の第２の実施の形態に係るアクチュエータの可動子を概略的に示す側面図であり、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）に示された可動子の下面を概略的に示す平面図であり、図１３（ｃ）は、この発明の第２の実施の形態に係るアクチュエータのガラス板であって、図１３（ａ）に示された可動子がスライドされるガラス板の上面を概略的に示す平面図である。
【０１５２】
図１３（ａ）に示される第１の可動子２Ａの下面には、図１３（ｂ）に示すように形状の可動子側固定電極５が設けられている。この可動子側固定電極５は、第１の可動子２Ａの下面内に平面的に広がり、第２の可動子２Ｂ側に３つの突出領域及びその間に２つの凹み領域を有する略櫛形状に形成されている。
【０１５３】
また、第２の可動子２Ｂの下面には、図１３（ｂ）に示すように可動子側固定電極１１が図設けられている。この可動子側固定電極１１は、第２の可動子２Ｂの下面内に平面的に広がり、第１の可動子２Ａ側に３つの凹み領域及びその間に２つの突出領域を有する略櫛形状に形成されている。図１３（ｂ）から明らかなように可動子側固定電極５、１１は、互いに一方の凹部領域が他方の突部領域にはめ合わせられような相補形状に形成されている。
【０１５４】
また、保持用電極部１４Ａ，１４Ｂは、図１３（ｃ）に示されるようにガラス板１５の中央部で電気的に分離されように平坦に広がり、その中央部では、夫々可動子側固定電極５、１１の形状に対応する形状に形成されている。つまり、ガラス板１５中央部分では、保持用電極部１４Ａ，１４Ｂは、互いに一方の凹部領域が他方の突部領域にはめ合わせられような相補形状に形成されている。 このような構造を有するアクチュエータでは、図４（ａ）に示されたアクチュエータと同様に動作される。ただし、第１の可動子２Ａをガラス板１５側に一時的に固定する保持用電極部１４Ａは、ガラス板１５の略中央部分にまでしか形成されておらず、また、第２の可動子２Ｂをガラス板１５側に一時的に固定する保持用電極部１４Ｂは、保持用電極部１４Ａが形成されていないガラス板１５の略中央部分までしか形成されていないため、第１の可動子２Ａは開口部からガラス板１５の略半分付近までしか移動させることができず、また第２の可動子２Ｂは、ＣＣＤセンサ１７からガラス板１５の略半分付近までしか移動されることができない。
【０１５５】
また、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの移動が終了した後、新たに移動開始されるまでは、第１の可動子２Ａは、駆動用電極部１２，１４Ａのいずれかに、第２の可動子２Ｂは駆動用電極部１２，１４Ｂのいずれかに、それぞれ一時的に固定され続けられる。この固定された状態では、静電アクチュエータが搭載された装置の主電源を切った場合においても内部電源により通電がなされ保持され続けられる。
【０１５６】
以上述べたような第２の実施の形態に係るアクチュエータでは、撮像される画像の拡大もしくは縮小するための複数の可動子を独立して動作させることで、所望の光学倍率を得ることができる。
【０１５７】
また、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの移動範囲は、前述した第１の実施の形態よりも小さくなるが、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが接触することによって破損する可能性がなくなり、静電アクチュエータの信頼性が向上される。
【０１５８】
次に、この発明の第３の実施の形態に係るアクチュエータについて図１４（ａ）〜図１４（ｃ）を参照して説明する。
【０１５９】
図１４（ｂ）に示されるようにこのアクチュエータでは、可動子側固定電極５，１１が平板状に形成されている。
【０１６０】
図１４（ａ）はこの発明の第３の実施の形態に係る可動子を概略的に示す側面図あり、図１４（ｂ）は図１４（ａ）に示された可動子の下面を概略的に示す平面図であり、図１４（ｃ）は、この発明の第３の実施の形態に係るアクチュエータのガラス板の上面を概略的に示す平面図である。
【０１６１】
可動子側の固定電極５は、図１４（ｂ）左側に示すように平板状に形成される。ただし、可動子側の固定電極５は、第１の可動子２Ａ下面の面積に対し少なくとも半分以上の面積を有し、かつ全域にわたって形成されていないものとする。例えば、可動子側固定電極５は、所定方向に偏位して可動子２Ｂから離れるように設けられる。
【０１６２】
可動子側固定電極１１は、図１４（ｃ）右側に示すように平板状に形成される。ただし、可動子側固定電極１１は、第２の可動子２Ｂ下面の面積に対し少なくとも半分以上の面積を有し、かつ全域にわたって形成されていないものとする。例えば、可動子側固定電極１１は、所定方向とは逆側に偏位して可動子２Ａから離れるように設けられる。
【０１６３】
さらに、保持用電極部１４Ａ，１４Ｂは、夫々図１４（ｃ）のように平坦に延出される形状に形成される。つまりガラス板１５上には、平板状の２つの保持用電極部１４Ａ，１４Ｂが離間して形成される。四角形な保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの面積は、各可動子の移動範囲（光学倍率）によって設定され、略同一であっても異なっていてもどちらでも良い。また、例えば、保持用電極部１４Ａは、ガラス板１５上で所定方向に偏位して配置され、保持用電極部１４Ｂは、ガラス板１５上で所定方向とは逆側に偏位して配置される。
【０１６４】
このような構造を有するアクチュエータでは、上述した第１の実施の形態とほぼ同様に動作されるる。また、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、第２の実施の形態と同様に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂが形成された範囲内でしか移動することができない。また、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの移動が終了した後、新たなに移動を開始するまでは、第１の可動子２Ａは、駆動用電極部１２，１４Ａのいずれかに、第２の可動子２Ｂは、駆動用電極部１２，１４Ｂのいずれかにそれぞれ一時的に固定され続けられる。この固定された状態は、静電アクチュエータが搭載された装置の主電源を切った場合においても内部電源により通電がなされ保持されているものとする。
【０１６５】
以上述べたような構造のアクチュエータでは、撮像される画像の拡大もしくは縮小を行うための複数の可動子を独立して動作させることで、所望の光学倍率を得ることができる。
【０１６６】
また、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの移動範囲は、第１の実施の形態よりも小さくなるが、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが接触することによって破損する可能性がなくなり、静電アクチュエータの動作の信頼性が向上する。
【０１６７】
また、保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの形状を平板状の四角形にしたことで容易に製作することができ製作費用の低減にも寄与する。
【０１６８】
次に、上述した第１〜第３の実施の形態における第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂ及び固定子３の製造方法について図１５（ａ）乃至図１９を参照して説明する。
【０１６９】
まず、固定子３の製造方法について図１５（ａ）から図１５（ｃ）を参照して説明する。
【０１７０】
図１５（ａ）は、可動子の部品を展開して示す平面図であり、図１５（ｂ）は、図１５（ａ）に示された可動子の部品を組立て示す斜視図であり、図１５（ｃ）は、固定子枠の製造過程において金型に可動子部品を装着した状態を概略的に示す平面図であり、図１５（ｄ）は、図１５（ｃ）の工程を経て製造された可動子を概略的に示す斜視図である。
【０１７１】
図１５（ａ）に示すように、第１の可動子２Ａの部品は、電極４が設けられた第１の平板２０、電極５が設けられた第２の平板２１、第１及び第２の平板２０，２１を接続する円弧状の第１の接続部材２２、円弧状の第２の接続部材２３、第１の平板２０に貼付される当接部材２４、から構成される。第１の平板２０および第２の平板２１表面には、凹凸形状の可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５がエッチングにより形成されている。第１の平板２０、第２の平板２１、第１の接続部材２２，２２、第２の接続部材２３，２３、合わせ部材２４は、金属板から一体的にプレス成形によって成形される。
【０１７２】
このような第１の可動子２Ａの部品は、図１５（ｂ）に示すように折り曲げられて組み立てられる。可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５が外側に配置されるように第１の平板２０と第１の接続部材２２，２２との接続部、第２の平板２１と第１の接続部材２２，２２との接続部、第２の平板２１と第２の接続部材２３，２３との接続部、第２の接続部材２３，２３と合わせ部材２４との接続部とがそれぞれ折り曲げられて、折り曲げた後に当接部材２４と第１の平板２０とがスポット溶接などにより接合される。第１及び第２の接続部材２２，２２、２３，２３は、外部からの圧力を弾性的に受けることができる部材であり、可動子構造は、柔軟性を有することとなる。
【０１７３】
次に、図１５（ｃ）に示すように、第１の可動子２Ａの部品は、樹脂で固定される。
【０１７４】
第１の可動子２Ａを固定するには、４つに分離可能な金型２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃ，２５Ｄが用いられる。金型２５Ａ，２５Ｂの内面には、可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５の凸部が当接されるため、凹形状にくぼんだ空間が設けられる。金型２５Ａ，２５Ｂの挟まれて固定される金型２５Ｃは、金型２５Ａ，２５Ｂの内壁と向かいあう面側に、段差形状のレンズ６がはめ込まれるための凸部が形成されている。金型２５Ｃに対向して金型２５Ａ，２５Ｂに挟まれて固定される金型２５Ｄは、金型２５Ｃに当接するように、かつ第１及び第２の平板２０，２１の可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５を有しない面に対して隙間を設けて配置される。
【０１７５】
まず、第１の可動子２Ａの可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５の凸部と、金型２５Ａ，２５Ｂとが、接触するように配置される。
【０１７６】
次に、第１の可動子２Ａの上下方向を塞ぐように金型２５Ｃ，２５Ｄが金型２５Ａ，２５Ｂの隙間に挿入される。第１の可動子２Ａは、金型２５Ａ〜２５Ｄによって周囲を覆われる。このとき接続部材２２，２２、２３，２３によって第１の平板２０と第２の平板２１とは、金型２５Ａ，２５Ｂに対して付勢されている。金型２５Ａ〜２５Ｄは、動かないように固定される。
【０１７７】
次に、金型２５Ｂの一部に貫通する樹脂導入孔２６から樹脂が隙間に導入される。このとき金型２５Ａ〜２５Ｄは、ヒータなどの加熱手段により約１５０℃に保持され、また、樹脂は約３００℃に保持された状態で、樹脂が流し込まれる。樹脂が流し込まれた後、時間経過と共に徐々に室温程度にまで温度を低下させていき樹脂を固化させる。樹脂を固化させることによって第１の可動子２Ａが、接続部材２２，２２，２３，２３によって移動されることなく固定されることになる。
【０１７８】
このとき常に一定の弾性力で第１及び第２の平板２０，２１が、金型２５Ａ，２５Ｂに付勢されているため、第１と第２の平板２０，２１とは略一定の距離を有する。このため樹脂を固化して製作された第１の可動子２Ａの可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５間の距離が略一定となり、かつ複数の第１の可動子２Ａ間で製作精度にばらつきのないほぼ一定の形状を得ることができる。
【０１７９】
図１５（ｄ）に示すように、第１の可動子２Ａの軸方向の一面にレンズ６が設けられる。
【０１８０】
なお、可動子２Ｂも上述した通り、第１の可動子２Ａと同様の製造方法によって製作される。
【０１８１】
また、流させる樹脂は、カーボン等が混入された導電性を有する材料を用いることで、可動子２Ａ、２Ｂへの配線の信頼性を向上させることができる。
【０１８２】
次に、固定子枠３の製造について図１６（ａ）〜図１６（ｃ）の製造の説明図を参照して説明する。
【０１８３】
図１６（ａ）に示す通り、２つに分離可能な金型３０Ａ，３０Ｂには、金型３０Ａ，３０Ｂが組み合わされた状態で固定子枠３の外形状が形成されるような穿設孔が設けられる。
【０１８４】
始め金型３０Ａ，３０Ｂは分離された状態にある。
【０１８５】
金型３０Ａ，３０Ｂの一対の対向する面３１Ａ，３１Ｂの凸部に、横断面がほぼＵ字状のガラス板１３，１５の背面が接触するように配置される。このガラス板１３，１５の背面に対向する面には、パターニングされた駆動用電極部１２，保持用電極部１４が形成され、駆動用電極部１２，保持用電極部１４が対向するように面３１Ａ，３１Ｂに配置される図。なお図１６（ｂ）には、これら電極の形状が簡略化したガラス板１３，１５で示されていることに注意されたい。
【０１８６】
図１６（ｄ）に示される直方体形状の中子３２の側面が、面３１ｃの凸部と接触するように、また面３１Ｄと非接触となるように、駆動用電極部１２，保持用電極部１４の縁３３と接触するように、金型３０Ａ，３０Ｂが組み合わされる。金型３０Ａ，３０Ｂが組み合わされた時には、図１６（ｃ）に示されるように駆動用電極部１２，保持用電極部１４の凹部と、中子３２、面３１Ｄおよび面３１ｃの凹部と、は非接触である図。なお図１６（ｃ）において金型３０Ａ，３０Ｂの形状の細部は一部省略して図示している。
【０１８７】
また、中子３２と面３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｄとは非接触であり、中子３２は面３４Ｃの凸部と接触されている。
【０１８８】
中子３２と面３４Ａ〜３４Ｄとの隙間に、樹脂が流し込まれる。このとき金型３０Ａ，３０Ｂはヒータなどの加熱手段により約１５０℃に保持されており、また樹脂は約３００℃に保持された状態で隙間に流し込まれる。樹脂が流し込まれた後、時間経過と共に徐々に室温程度にまで温度を低下させていき樹脂を固化させる。
【０１８９】
一定時間経過後（樹脂の固化完了後）に中子３２を取り出し、金型３０Ａ，３０Ｂを分離させ、所望の形状の固定子３を得る。
【０１９０】
このようにして製作された第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂ、固定子３、ガラス板１３，１５を組み合わせて静電アクチュエータを作り上げる。
【０１９１】
次に、可動子の別の製造方法について図１７（ａ）から１７Ｃを参照して説明する。
【０１９２】
図１７（ａ）に示すように、可動子側駆動用電極４は、シリコン製基板を加工してなるものであり、可動子側駆動用電極４の凹凸形状は、シリコン製基板の一面が所望の大きさ（数ミクロンオーダ）を有する凹凸形状となるようにエッチングによって形成される。エッチングは、ＬＳＩの高集積化のために行われる方法と略同一であり、ウェットエッチングまたはドライエッチングどちらであっても構わない。
【０１９３】
また、図１７（ｂ）に示す通り、可動子本体３５は、導電性の樹脂で形成された平板を直方体状に組み立ててなるものである。可動子本体３５の軸方向にはレンズ６が搭載されており、可動子本体３５の側面の一部にはグランドに接続される接地配線７が接続されるためのパッド部３６が形成されている。
【０１９４】
このように製作された可動子側駆動用電極４と可動子本体３５とは、図１７（ｃ）に示すように、可動子本体３５の上面に可動子側固定電極５を例えば紫外線で硬化するアクリル系接着剤にて貼設して第１の可動子２Ａが製作される。
【０１９５】
このようにして製作された第１の可動子２Ａと固定子３とを組み合わせることにより静電アクチュエータが製作される。
【０１９６】
次に、可動子の製造方法について図１８を参照して説明する。
【０１９７】
図１８は、可動子の製造方法の説明図であり、金型３７Ａ〜３７Ｄを組み合わせて金型３７Ａ〜３７Ｄの隙間に樹脂を注入して第１の可動子２Ａを形成する。なお金型３７Ｃに到達する長さを有する金型３７Ｄを用いている。
【０１９８】
ここで、金型３７Ａ〜３７Ｄの空間に流し込まれる樹脂は、導電性を有するカーボン粒子３８とカーボンファイバ３９とが混合されたものである。なおカーボン粒子３８は、直径数ミクロンの略球形状をなしたものであり、またカーボンファイバ３９は直径約１０ミクロン長さ数十ミクロンの棒形状をしたものである。この樹脂を固化させることでレンズを有していない第１の可動子２Ａを製作する。
【０１９９】
このような製造方法であれば、第１の可動子２Ａの可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５の凸形状は例えば約２０ミクロン間隔で形成されるため、凸部４０とその隣に設けられる凸部４０との間（つまり凹部４１）にはカーボンファイバ３９が入りこまない可能性があるが、カーボン粒子３８が混入されていることにより仮にカーボンファイバ３９が凹部に入り込まなくとも、カーボン粒子３８が入り込むため良好な導電性を有する第１の可動子２Ａを得ることができる。
【０２００】
また、導電性の樹脂でない場合でも、処理後、メッキ処理を施すことで導電性を持たせることが可能であり、製造工程が増加する欠点はあるが、良好な導電性を確保することができる。
【０２０１】
次に、可動子と固定子の別の製造方法について図１９を参照して説明する。
【０２０２】
図１９は可動子と固定子との製造方法の説明図であり、金型４２Ａに第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂとこの第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが挿入される固定子３と、が同一金型に形成される。なお図１９は、２つの固定子、可動子が形成された金型の例を示している。
【０２０３】
第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの金型の形状は、図１８に示すものと略同様であり、また固定子３の形状が形成された金型の形状は、図１６（ａ）に示すものと略同様である。第１の可動子２Ａの金型の対向する一対の内面４３Ａ−４３Ｂには、可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５の形状が形成されている。また、固定子３の金型の対向する一対の内面４４Ａ，４４Ｂには、駆動用電極部１２，保持用電極部１４の形状が形成される。
【０２０４】
このような構造を有する金型４２Ａ，４２Ｂを用いることにより、寸法精度のばらつきの少ない第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂ及び固定子枠３を短期間で大量に生産することができる。
【０２０５】
なお、本発明は上記各実施の形態には限定されずその主旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施できることは言うまでもない。例えば、２つの可動子の位置を光センサなどにより検出し可動子が衝突するような状態であれば、どちらか一方を一時的に固定して衝突を防止することもできる。
【０２０６】
また、固定子に挿入される可動子は、２つでなくとも所望の倍率を得るために３つ以上設けてもよい。
【０２０７】
また、第１の接合部材及び第２の接合部材の形状は、弾性特性を有する形状であればどのような形状であっても構わない。
【０２０８】
【発明の効果】
以上のようにこの発明の静電アクチュエータによれば、複数の可動子を、互いに独立して動作させることができ、従って、この発明の静電アクチュエータをカメラ等の光学機器に適用する場合には、撮像される画像の拡大もしくは縮小させるズーミング機能を実現することができ、しかも、被写体に焦点を合わせるフォーカス機能をも実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の静電アクチュエータにおいて可動子を固定子 から抜き出して概略的に示す斜視図である。
【図２】従来の静電アクチュエータ内の構造を概略的に示す縦断面図である。
【図３】（ａ）は、この発明の第１の実施の形態に係る静電アクチュエータの構造を破断して概略的に示す斜視図であって、一対の可動子が固定子枠から抜き出して示している斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）に示された駆動側固定子の固定子電極の配列を概略的に示す斜視図であり、及び、（ｃ）は、（ａ）に示された可動子を保持する側の固定子の固定子電極配列を概略的に示す斜視図である。
【図４】（ａ）は、図３（ａ）に示された静電アクチュエータの内部構造を概略的に示す縦断面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示される静電アクチュエータをＸ−Ｘ線で切断して概略的に示す断面図であり、（ｃ）は、（ａ）に示される静電アクチュエータをＹ−Ｙ線で切断して概略的に示す断面図であり、及び（ｄ）は、（ａ）に示される静電アクチュエータにおいて可動子の固定電極の本数と側面ギャップの関係を概略的に示す断面図である。
【図５】（ａ）から（ｆ）は、図４（ａ）に示される静電アクチュエータにおいて２つの可動子を同時に同方向に移動させる場合における固定子の電極に与えられる電圧を示すタイミングチャートである。
【図６】（ａ）から（ｆ）は、図４（ａ）に示される静電アクチュエータにおいて２つの可動子の一方をある方向に移動させる場合における固定子の電極に与えられる電圧を示すタイミングチャートである。
【図７】（ａ）から（ｆ）は、図４（ａ）に示される静電アクチュエータにおいて２つの可動子の他方をある方向に移動させる場合における固定子の電極に与えられる電圧を示すタイミングチャートである。
【図８】（ａ）から（ｃ）は、図４（ａ）に示される静電アクチュエータの変形例であって、夫々２つの可動子の動作状態を概略的に示す断面図である。
【図９】（ａ）から（ｆ）は、図８（ａ）に示されるように２つの可動子を同時に同方向に移動させる場合における固定子の電極に与えられる電圧を示すタイミングチャートである。
【図１０】（ａ）から（ｆ）は、図８（ｂ）に示されるように２つの可動子の一方をある方向に移動させる場合における固定子の電極に与えられる電圧を示すタイミングチャートである。
【図１１】（ａ）から（ｆ）は、図８（ｃ）に示されるように２つの可動子の他方をある方向に移動させる場合における固定子の電極に与えられる電圧を示すタイミングチャートである。
【図１２】（ａ）は、この発明の第１の実施の変形例に係る静電アクチュエータの内部構造を概略的に示す縦断面図であり、及び（ｂ）は、（ａ）に示された静電アクチュエータにおける第１及び第２の可動子の位置と光学倍率との関係を表すグラフである。
【図１３】（ａ）は、この発明の第２の実施の変形例に係る静電アクチュエータの可動子を概略的に示す縦断面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示される可動子の下面の電極パターンを概略的に示す平面図であり、及び（ｃ）は、（ａ）及び（ｂ）に示される可動子が組み込まれた静電アクチュエータの固定子のガラス板上の電極パターンを概略的に示す平面図である。
【図１４】（ａ）は、この発明の第２の実施の変形例に係る静電アクチュエータの可動子を概略的に示す縦断面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示される可動子の下面の電極パターンを概略的に示す平面図であり、及び（ｃ）は、（ａ）及び図１４に示される可動子が組み込まれた静電アクチュエータの固定子のガラス板上の電極パターンを概略的に示す平面図である。
【図１５】（ａ）は、図４（ａ）に示された静電アクチュエータの可動子の部品を分解して概略的に示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示され可動子部品を組み立てた状態を概略的に示す斜視図であり、（ｃ）は、（ｂ）に示された可動子の部品及びその可動子部品が組み込まれた金型を概略的に示す断面図であり、及び（ｄ）は、（ｃ）に示された金型で作られた可動子を概略的に示す斜視図である。
【図１６】（ａ）は、図４（ａ）に示された静電アクチュエータの固定子を製造する為の金型を一部透過して概略的に示す斜視図であり、（ｂ）は、図４（ａ）に示された静電アクチュエータの固定子を製造する為のガラス板を概略的に示す斜視図であり、（ｃ）は、（ａ）に示された固定子の金型にガラス板を装着した組み立て構造体を一部透過して概略的に示す斜視図であり、及び（ｄ）は、（ｃ）に示される固定子の金型に装着される中子を概略的に示す斜視図である。
【図１７】（ａ）は、この発明の静電アクチュエータの製造方法で用いられる可動子の電極を概略的に示す斜視図であり、（ｂ）は、この発明の静電アクチュエータの製造方法で用いられる可動子本体を概略的に示す斜視図であり、及び（ｃ）は、（ａ）に示された可動子の電極を（ｂ）に示された可動子本体に固定されて作られる可動子を概略的に示す斜視図である。
【図１８】この発明の静電アクチュエータの製造方法に用いられる可動子と可動子の金型を概略的に示す縦断面図である。
【図１９】この発明の静電アクチュエータの製造方法に用いられる可動子及び固定子の金型を概略的に示す平面図である。
【符号の説明】
１．．．静電アクチュエータ
２Ａ，２Ｂ．．．第１及び第２の可動子
３．．．固定子
３Ａ．．．固定子枠
４，８，５，１１．．．可動子電極
４，８．．．駆動用電極
６，９．．．レンズ
５，１１．．．固定用電極
１２．．．固定子電極部
１４、１４Ａ，１４Ｂ．．．保持用電極部
１２Ａ〜１２Ｄ．．．電極
１３、１５．．．ガラス板
２２，２２、２３，２３．．．接続部材
２５Ａ〜２５Ｄ．．．金型
【発明の属する技術分野】
この発明は、可動子を静電気力で駆動する静電アクチュエータ及びその駆動方法に係り、特に、個別に駆動可能な可動子を有する静電アクチュエータ及びその駆動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
静電アクチュエータは、小型、軽量であることから内視鏡、携帯電話などの移動電話、或いは各種ＰＤＡなどの機器に搭載されるレンズ系の焦点合わせに使用することが可能であり、最近注目されている。
【０００３】
図１は、従来の静電アクチュエータを示す斜視図であり、静電アクチュエータ１００は、可動子１０１と固定子１０２とからなる。可動子１０１は、中空部を有する略直方体に形成され、固定子１０２は、その貫通孔が長手方向に延出された略直方体に形成されている。固定子１０２の貫通孔には、可動子１０１がスライド可能に挿入され、固定子１０２内をその長手方向に可動子１０１が移動可能に配置されている。尚、固定子１０２と可動子１０１との間には、数ミクロン程度の間隙が設けられている。
【０００４】
また、可動子１０１は、凸状ストライプ電極１０３Ａ−１０３Ｂがエッチングなどにより形成され、固定子１０２の内面に対向されている一対の電極面を有している。可動子１０１の中空部には、貫通孔方向に沿って光軸を有する複数のレンズ１０４が配置固定され、この可動子１０１が移動されることによってそのレンズの焦点が被写体に合わせられる。
【０００５】
尚、可動子１０１には、駆動信号を印加するための配線１０５が接続されている。
【０００６】
また、固定子１０２は、電極１０３Ａ−１０３Ｂと対向する面にガラス板１０６Ａ，１０６Ｂが装着され、このガラス板１０６Ａ，１０６Ｂの表面には、導電材をパターニングして第１グループＧＡ及び第２グループＧＢの電極１０７Ａ並びに第３グループＧＣ及び第４グループＧＤの電極１０７Ｂが形成される。第１グループＧＡ及び第２グループＧＢの電極１０７Ａは、同一ピッチで交互に配置され、同様に第３グループＧＣ及び第４グループＧＤ１０７Ｂも同一ピッチで交互に配置されている。また、電極１０７Ａと電極１０７Ｂとは、互いに半ピッチずれる関係に配置されている。
【０００７】
このような構造を有する静電アクチュエータの動作を図２を参照して説明する。
【０００８】
（１）まず、電極１０７Ａの第１のグループＧＡに＋Ｖ［Ｖ］の電圧が印加される。従って、第１のグループＧＡの電極１０７Ａと電極１０３Ａとの間に静電気力、即ち、吸引力が発生される。この静電気力によって可動子１０１は、固定子１０２のガラス板１０６Ａ側への移動が開始され、一定時間経過後には、電極１０３Ａが第１のグループＧＡの電極１０７Ａに吸着される。
【０００９】
（２）次に、電極１０７Ｂのうち第３のグループＧＣの電極１０７Ｂに＋Ｖ［Ｖ］の電圧が印加される。従って、第３のグループＧＣの電極１０７Ｂと電極１０３Ｂとの間に静電気力が発生される。この静電気力によって可動子１０１は、固定子１０２のガラス板１０６Ｂ側への移動が開始され、一定時間経過後には電極１０３Ｂは第３のグループＧＣの電極１０７Ｂに吸着される。この可動子１０１は、（１）で説明された位置に比べ図２の右方向に電極１０７Ａもしくは１０７Ｂの配列ピッチの半分だけ移動される。
【００１０】
（３）更に、電極１０７Ａの第２のグループＧＢに＋Ｖ［Ｖ］の電圧が印加される。従って、第２のグループＧＢの電極１０７Ａと電極１０３Ａとの間に静電気力が発生される。この静電気力により可動子１０１は、再度ガラス板１０６Ａ側への移動が開始され、一定時間後には電極１０３Ａが第２のグループＧＢの電極１０７Ａに吸着される。この可動子１０１は、で説明された位置に比べ図２の右方向に電極１０６Ａもしくは１０６Ｂの配列ピッチだけ移動される。
【００１１】
（４）更にまた、電極１０７Ｂの第４のグループＧＤの電極１０７Ａに＋Ｖ［Ｖ］の電圧が印加される。第４のグループＧＤの電極１０７Ａと電極１０３Ｂとの間に静電気力が発生される。従って、この静電気力により可動子１０１は、再度ガラス板１０６Ｂ側への移動が開始され、一定時間後には電極１０３Ｂは第４のグループＧＤの電極１０７Ｂに吸着される。この可動子１０１は、（１）で説明された位置に比べ図２の右方向に電極１０７Ａもしくは１０７Ｂの配列ピッチの１．５倍だけ移動される。
【００１２】
上記（１）〜（４）の工程を繰り返すことによって可動子１０１は、図２の右方向に１／２配列ピッチ単位で移動させることができる。
【００１３】
また、（４）、（３）、（２）、（１）の工程の順番で各電極に電圧が印加されると、可動子１０１を図２の左方向に１／２配列ピッチ単位で移動させることができる。
【００１４】
このような（１）〜（４）の工程によって可動子１０１を移動させ、この可動子１０１に装着されたレンズ１０４を移動して被写体に焦点を合わせることができる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来の静電アクチュエータでは、可動子を所望位置に移動させて被写体に焦点を合わせて画像を撮影することはできるが、撮像される画像を拡大もしくは縮小させるズーミング機能を実現することができない問題がある。これは、単一の可動子によってレンズ系が移動されることに基づいている。
【００１６】
また、仮に従来の静電アクチュエータに、画像を拡大もしくは縮小させる為に複数の可動子が設けられても、拡大もしくは縮小の為には、複数の可動子が夫々独立して移動もしくは固定されなければならない。しかしながら、従来のような構造の静電アクチュエータにおいては、固定子内で複数の可動子を独立して移動もしくは固定させて動作させることはできない問題がある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
この発明の目的は、撮像される画像の拡大もしくは縮小を行うための複数の可動子を、互いに独立して動作させることが可能な静電アクチュエータを提供するにある。
【００１８】
この発明によれば、
移動方向に沿って配列され、その夫々がこの移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の固定子電極と、
この第１の固定子電極に対向して配置され、前記移動方向に沿って延出される第２の固定子電極と、
前記第１の固定子電極に対向して配置され、前記第２の固定子電極とは電気的に分離されるように前記移動方向に沿って延出されている第３の固定子電極と、
前記第１の固定子電極と前記第２及び第３の固定子電極との間に規定される空間内を前記移動方向に沿って移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の可動子電極及び前記第２の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第２の可動子電極を具備する第１の可動子と、
前記移動空間内を前記移動方向に沿って前記第１の可動子とは独立に移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第３の可動子電極及び前記第３の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第４の可動子電極を具備する第２の可動子と、
から構成されることを特徴とする静電アクチュエータが提供される。
【００１９】
また、この発明によれば、
ある移動方向に沿って延びる空間をその内に規定する中空の固定子枠、この固定子枠の第１の内面に配置され、前記移動方向に沿って並列され、夫々がこの移動方向に交差する方向に沿って延出される第１の固定子電極を含む第１の電極領域及び前記固定子枠の第１の内面に対向する第２の内面に配置され、前記移動方向に沿って延出され、互いに電気的に分離された第２及び第３の固定子電極を含む第２の電極領域を有する固定子と、
前記固定子内の空間に前記移動方向に沿って移動可能に配置され、前記第１の電極領域に対向するように前記第１の固定子電極に対応して前記移動方向に沿って並列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の可動子電極及び前記第２の電極領域に対向するように前記第２の固定子電極に対応して前記移動方向に沿って延出される第２の可動子電極を具備する第１の可動子と、
前記空間内を前記移動方向に沿って前記第１の可動子とは独立に移動可能に配置され、前記第１の電極領域に対向するように前記第１の固定子電極に対応して前記移動方向に沿って並列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第３の可動子電極及び前記第２の電極領域に対向するように前記第３の固定子電極に対応して前記移動方向に沿って延出される第４の可動子電極を具備する第２の可動子と、
前記第１の固定子電極に第１の駆動信号を供給し、前記第２の固定子電極に第２の駆動信号又は保持電圧信号の一方を供給し、前記第３の固定子電極に第３の駆動信号又は保持電圧信号の一方を供給して第１及び第２の可動子の両方或いは一方を前記移動方向に沿って移動させる駆動回路と、を具備することを特徴とする静電アクチュエータが提供される。
【００２０】
更に、この発明によれば、
ある移動方向に沿って配列され、そのそれぞれがこの移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の固定子電極と、
この第１の固定子電極に対向して配置され、前記移動方向に沿って延出される第２の固定子電極と、
前記第１の固定子電極に対向して配置され、前記第２の固定子電極とは電気的に分離されるように前記移動方向に沿って延出されている第３の固定子電極と、
前記第１の固定子電極と前記第２及び第３の固定子電極との間に規定される移動空間内を前記移動方向に沿って移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の可動子電極及び前記第２の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第２の可動子電極を備えた中空の第１の可動子と、
前記移動空間内を前記移動方向に沿って前記第１の可動子とは独立に移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第３の可動子電極及び前記第３の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第４の可動子電極を具備する中空の第２の可動子と、
前記第１の可動子中に前記移動方向に沿って配置された光軸を有する第１の光学レンズ系と、
前記第２の可動子中に前記移動方向に沿って配置された光軸を有する第２の光学レンズ系であって、第１及び第２のレンズ系の相対位置に従ってその光学倍率が定まり、第１及び第２のレンズ系の位置に従って結像面に被写体像が結像される第２の光学系と、
前記第１の固定子電極に第１の駆動信号を供給し、前記第２の固定子電極に第２の駆動信号又は保持電圧信号の一方を供給し、前記第３の固定子電極に第３の駆動信号又は保持電圧信号の一方を供給して第１及び第２の可動子の両方或いは一方を前記移動方向に沿って移動させる駆動回路と、から構成されることを特徴とする被写体像をその結像面に結像させる画像装置が提供される。
【００２１】
更にまた、この発明によれば、
移動方向に沿って配列され、その夫々がこの移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の固定子電極と、
この第１の固定子電極に対向して配置され、前記移動方向に沿って延出される第２の固定子電極と、
前記第１の固定子電極に対向して配置され、前記第２の固定子電極とは電気的に分離されるように前記移動方向に沿って延出されている第３の固定子電極と、
前記第１の固定子電極と前記第２及び第３の固定子電極との間に規定される空間内を前記移動方向に沿って移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の可動子電極及び前記第２の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第２の可動子電極を具備する第１の可動子と、
前記移動空間内を前記移動方向に沿って前記第１の可動子とは独立に移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第３の可動子電極及び前記第３の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第４の可動子電極を具備する第２の可動子と、
から構成される静電アクチュエータを駆動する方法において、
第１の駆動信号を前記第１の固定子電極に供給し、
第２の駆動信号を前記第２の固定子電極に供給し、
第１の保持信号を前記第２の固定子電極に供給し、
第３の駆動信号及び第２の保持信号の一方を前記第３の固定子電極に供給して前記第１及び第２の可動子の一方或いは両方を前記移動方向に沿って移動させることを特徴とする静電アクチュエータの駆動方法が提供される。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の静電アクチュエータの実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２３】
静電アクチュエータは、小型、軽量であることから内視鏡や携帯電話などの移動電話、各種ＰＤＡなどに搭載されるレンズの焦点合わせに使用することが可能であり最近注目されている。
【００２４】
図３（ａ）乃至図３（ｃ）は、第１の実施の形態に係る静電アクチュエータを示している。
【００２５】
図３（ａ）は、第１の実施の形態に係る静電アクチュエータを概略的に示す斜視図である。この図３（ａ）に示される静電アクチュエータ１は、その上面及び下面に１対の可動子電極４，８，５，１１を有する第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂと、この可動子電極４，８，５，１１に対向して配置される１対の固定子電極部１２、１４（以下の説明において、符号１４は、保持用電極部と称する。）を有する固定子３とから構成される。
【００２６】
なお、可動子電極４，８，５，１１は、可動子を駆動するための駆動用電極４，８及び可動子２Ａ，２Ｂを固定する為の固定用電極５，１１とからなり、固定子電極部１２、１４は、同様に可動子を駆動する為の駆動用電極部１２と可動子２Ａ，２Ｂをその位置に保持する為の保持用電極部１４とからなる。
【００２７】
始めに、固定子３の構造について説明する。
【００２８】
固定子３は、貫通部を有する中空の立方体形状の枠体なる固定子枠３Ａから構成されている。この固定子枠３Ａは、上方内面３Ａ−１，下方内面を面３Ａ−２及び側内面３Ａ−３，３Ａ−４を有している
固定子枠３Ａの一内面、例えば、上面３Ａ−１には、可動子２Ａ、２Ｂを駆動する為の駆動用電極部１２が形成されている。更に、上面に対向する他の内面、例えば、下面３Ａ−２には、可動子２Ａ、２Ｂをその位置に保持する為の保持用電極部１４が形成されている。
【００２９】
この駆動用電極部１２は、図３（ｂ）に示すようにガラス板１３表面に所望の形状にパターニングして形成され、所定方向、例えば、固定子３の長手方向に対して交差する方向、即ち、横手方向に延伸する複数の電極が並列されている。なお、駆動用電極部１２を有したガラス板１３は、固定子３の内面３Ａ−１に嵌着される。また、駆動用電極部１２の一つ電極１２Ａ〜１２Ｄの幅は、２０ミクロン程度である。また、駆動用電極部１２の電極１２Ａ〜１２Ｄ間の間隔は、２０ミクロン程度であり、電極１２Ａ〜１２Ｄは、ほぼ４０ミクロンのピッチで配列されている。
【００３０】
駆動用電極部１２に対向する固定子枠３Ａの内面３Ａ−２には、保持用電極部１４が形成される。保持用電極部１４は、ガラス板１５の表面に所望の形状にパターニングによって所定方向に形成される。なお、保持用電極部１４が形成されたガラス板１５は、固定子３内壁の面３Ａ−２に嵌着される。保持用電極部１４は、後述する第１の可動子２Ａの３本の可動子側固定電極５及び第２の可動子２Ｂの２本の可動子側固定電極１１に対応して５本の電極が並行に形成されている。図３（ｃ）に示されるように５本の保持用電極部１４は、ガラス板１５上の中央領域を含む殆どの領域では離間して並設され、ガラス板１５上の長手方向の一方の側部領域では、可動子側固定電極５に対応する３本の保持用電極部１４Ａがガラス板１５の端部で電気的に接続され、また、可動子側固定電極１１に対応する２本の保持用電極部１４Ｂは、ガラス板１５上の長手方向の他方の側部領域では、電気的にそれぞれ接続されている。このように保持用電極部１４Ａ，１４Ｂは、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを独立して制御するように電気的に独立して配置される。
【００３１】
また、固定子枠３Ａの側方内面３Ａ−３，３Ａ−４には、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの側面が内面３Ａ−３，３Ａ−４に直接接触することを防止するためのストッパ１６がその内部に突出するように長手方向に延出されている。また、同様に可動子２Ａ，２Ｂと駆動用電極部１２，１４とが直接接触しないように、内面３Ａ−１，３Ａ−２には、ストッパ１６が設けられている。
【００３２】
次に、２個の可動子２Ａ，２Ｂの構造について詳細に説明する。
【００３３】
第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、中空部を有する導電材料で形成された略直方体の支持体と、その表面に形成される各電極４，５，８，１１と、その中空部に配置されたレンズ６，９と、支持体から電荷を取り除くための配線７，１０とから構成される。尚、支持体と各電極４，５は、一体的に形成されても良い。
【００３４】
第１の可動子２Ａ，第２の可動子２Ｂは、互いに離間して所定方向に移動可能に貫通孔に挿入されている。
【００３５】
固定子側駆動用電極部１２に対向する第１の可動子２Ａの表面、例えば、上面には、可動子側駆動用電極４が設けられ、保持用電極部１４に対向する第１の可動子２Ａの表面、例えば、下面には、可動子側固定電極５が設けられている。可動子側駆動用電極４は、長手方向、即ち、移動方向に交差するようにエッチングにより突起状の複数のストライプが延出され、長手方向に並列されている。また、可動子側固定電極５は、この移動方向に延出され、横手方向に並列されるようにエッチングにより突起状の複数のストライプが形成されている。可動子側駆動用電極４は、凹凸に形成され、その間隔は、２０ミクロン程度であり、凸部の高さは凹部内の面から高さ１０ミクロン程度を有している。即ち、可動子側駆動用電極４の凸の端面は、駆動用電極部１２の一つ電極１２Ａ〜１２Ｄの幅に等しく、また、可動子側駆動用電極４の凹の底面は、この電極１２Ａ〜１２Ｄ間の間隔に等しい幅を有し、可動子側駆動用電極４の凹或いは凸は、ほぼ４０ミクロンのピッチで配列されている。
【００３６】
図３（ａ）に示されるアクチュエータでは、第１の可動子２Ａには、長手方向に延出され、横手方向に並設されている３本の固定電極５が設けられている。また、第１の可動子２Ａの中空部には、光軸を一致させた複数のレンズ６が固定されている。
【００３７】
第２の可動子２Ｂには、第１の可動子２Ａの可動子側駆動用電極４と同様な形状及びディメンションを有する可動子側駆動用電極８が設けられている。また、可動子２Ｂ内には、レンズ６と同様にレンズ９が固定されている。レンズ６及び９の配置が変えられることによって両者で構成されるレンズ系は、ワイド及びテレ間でズームされ、このズームされた焦点距離に応じて被写体に対して焦点が合わせられる。第２の可動子２Ｂには、同様に長手方向に延出され、横手方向に並設されている２本の固定電極１１が設けられている。固定電極１１は、エッチングにより形成される。
【００３８】
上述から明らかなように、可動子側駆動用電極４，８は、その凹凸が略並行であり、可動子側固定電極５，１１もまたその凹凸形状が略並行に設けられている。可動子側駆動用電極４，８と可動子側固定電極５，１１とは、その延出方向が互いに交差する関係にあり、また、可動子側固定電極５，１１は、その長手方向に延出され、その横手方向では、互いに重ならないように並列される関係にある。
【００３９】
このような第１，第２の可動子２Ａ，２Ｂは、移動方向、即ち、長手方向に並べられ相互に独立して移動可能である。
【００４０】
このような構造を有するアクチュエータの動作を図４（ａ）を参照して説明する。
【００４１】
図４（ａ）は、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが固定子枠３Ａ内に挿入されている状態を示す断面図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）をＸ−Ｘ線で切断し矢印方向から見た横断面図であり、図４（ｃ）は、図４（ａ）をＹ−Ｙ線で切断し矢印方向から見た横断面図である。
【００４２】
図４（ａ）に示すように駆動用電極部１２は、移動方向に沿って配置された各グループが４相の電極１２Ａ〜１２Ｄからなる複数の電極グループから構成されている。駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄは、制御部１９に接続され制御部１９からの制御電圧信号が入力されて駆動される。即ち、複数の駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄのグループが長手方向に配置され、ある駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄは、夫々他のグループの対応する駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄに共通接続されて制御部１９に接続され、電圧信号は、各グループの駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄに独立して印加される。例えば、駆動用電極１２Ａに電圧が印加される場合には、電極部１２の全てのグループの駆動用電極１２Ａに対応する凸部に電圧信号が印加される。
【００４３】
図４（ｄ）に示されるように可動子２Ａまたは２Ｂの固定電極５または１１の幅Ｗｍ及び固定子３の固定子電極１４の幅Ｗｓは、可動子２Ａまたは２Ｂが固定子３の枠中で横手方向に移動したとしてもその移動長（ΔＬ）よりも大きく定められることが必要とされる。この移動長ΔＬは、可動子２Ａまたは２Ｂが固定子５または１１の一方の側面に設けられたストッパ１６に当接された際の可動子２Ａまたは２Ｂの幅（Ｌｍ）と固定子５または１１の一方の側面に設けられたストッパ間の距離（Ｌｓ）の差に相当している。幅Ｗｍ及びＷｓが移動長（ΔＬ）よりも大きく定められる理由は、可動子がΔＬだけ側面方向に移動することで、対向する電極５，１４が外れることがあり、極端に重なり合う面積が小さくなると、可動子２Ａを固定する力が発生できなくなってしまうためである。
【００４４】
また、電極５、１１または１４間の空間もΔＬよりも広くなければならず、固定電極本数が増えることは、電極の無い部分も増加することになり、吸引力を発生させるためには、不利な条件となる。
【００４５】
また、可動子２Ａ、２Ｂの夫々が１つ電極である場合に、これらが中央領域の左又は右に設けられるのでは、各可動子２Ａ、２Ｂの夫々を進行方向に対して対称に設けることができない。その結果として駆動時における可動子２Ａ、２Ｂが不安定に移動される虞があり、可動子２Ａ、２Ｂの夫々には、少なくとも２つの電極が設けられる必要がある。
【００４６】
そこで、小型のアクチュエータでは、固定子電極として例えば、２系統の固定子電極を有する構造では、一方の可動子２Ａ、２Ｂに２本の電極が設けられ、他方の可動子２Ａ、２Ｂに３本の電極が設けられる組み合わせ、或いは、一方の可動子２Ａ、２Ｂに３本の電極が設けられ、他方の可動子２Ａ、２Ｂに４本の電極が設けられる組み合わせが好ましい。
【００４７】
ここで、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの動作には、以下の４つの動作モードがあり、各動作モードについて説明する。
【００４８】
▲１▼ 第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを共に図４（ａ）の右方向に移動させる場合。（以下、単に動作モード▲１▼と称する。）この動作は、レンズ系の焦点を被写体に合わせるフォーカシングモードに相当する。
【００４９】
▲２▼ 第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを共に図４（ａ）の左方向に移動させる場合。（以下、単に動作モード▲２▼と称する。）この動作は、同様にレンズ系の焦点を被写体に合わせるフォーカシングモードに相当する。
【００５０】
▲３▼ 第１の可動子２Ａが固定されて第２の可動子２Ｂのみを図４（ａ）の左もしくは右方向に移動される場合。（以下、単に動作モード▲３▼と称する。）この動作は、テレ或いはワイド側にレンズ系を切り換えるズーミングモードに相当する。
【００５１】
▲４▼ 第２の可動子２Ｂが固定されて第１の可動子２Ａのみが図４（ａ）の左もしくは右方向に移動される場合。（以下、単に動作モード▲４▼と称する。）この動作は、テレ或いはワイド側にレンズ系を切り換えるズーミングモードに相当する。
【００５２】
上述した４つの動作モードについて以下に説明する。
【００５３】
▲１▼ 第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを共に図４（ａ）の右方向に移動させる動作モード▲１▼は、次の順序で実現される。
【００５４】
（１）まず、可動子２Ａ、２Ｂの駆動用電極４，８が接地されたままに維持される。この状態で、図５（ａ）に示されるように駆動用電極１２Ａに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ａの近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。従って、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。
【００５５】
（２）次に、時点ｔ１に駆動用電極１２Ａの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ｅ）及び図５（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧Ｈが印加される。従って、保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５が保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂはガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極１１は保持用電極部１４Ｂとに吸着される。
【００５６】
（３）次に、時点ｔ２に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ｂ）に示されるように駆動用電極１２Ｂに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂの近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。従って、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の一つのストライプ分、即ち、１ピッチだけ移動されることとなる。
【００５７】
（４）次に、時点ｔ３に駆動用電極１２Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図５Ｅ及び５Ｆに示すように再び保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａはガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００５８】
（５）更に、時点ｔ４に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ｃ）に示されるように駆動用電極１２Ｃに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｃ近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｃに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の二つのストライプ分、即ち、２ピッチだけ移動されることになる。
【００５９】
（６）次に、時点ｔ５に駆動用電極１２Ｃの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ｅ）及び図５（ｆ）に示すように再び保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００６０】
（７）次に、時点ｔ６に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ｄ）に示されるように駆動用電極１２Ｄに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｄの近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ｄに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｄに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の三つのストライプ分、即ち、３ピッチだけ移動されることになる。
【００６１】
（８）次に、時点ｔ７に駆動用電極１２Ｄの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ｅ）及び図５（ｆ）に示すように再び保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００６２】
（９）次に、時点ｔ８に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図５（ａ）に示されるように再び駆動用電極１２Ａに電圧が印加される。駆動用電極１２Ａ近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の四つのストライプ分、４ピッチだけ移動されることになる。
【００６３】
以上のような（１）〜（９）の工程を、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを移動させたい距離だけ繰り返される。
【００６４】
▲２▼ 第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを共に図４（ａ）の左方向に移動させる場合。
【００６５】
上記▲１▼ の工程を逆に行えば、左方向へ第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを移動させることができる。つまり、上述した▲１▼のモードにおいて、（９）、（８）、（７）、（６）、（５）、（４）、（３）、（２）、（１）の順に移動させたい距離だけ繰り返し各工程を実施して、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを移動させれば良い。
【００６６】
ここで、▲１▼及び▲２▼のモードは、何れも被写体に焦点を合わせるフォーカシングモードの動作であり、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの初期位置によってどちらの方向に移動させれば短時間で焦点を合わせることができるかによって適宜選択される。
【００６７】
▲３▼第１の可動子２Ａを固定して第２の可動子２Ｂのみを図４（ａ）の左もしくは右方向に移動させる場合。
【００６８】
以下に第２の可動子２Ｂを右方向に移動させる場合について説明する。
【００６９】
（１）まず、可動子２Ａ、２Ｂの駆動用電極４，８が▲１▼のモードと同様に接地されたままに維持される。図６（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極５との間に静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され、可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。図６（ｅ）に示すように保持用電極部１４Ａに電圧が印加される場合には、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５に吸着され、一時的に固定される。
【００７０】
（２）次に、図６（ｅ）に示すように保持用電極部１４Ａに電圧Ｈを印加したまま図６（ａ）に示されるように時点ｔ１に駆動用電極１２Ａに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ａ近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａに可動子側駆動用電極８が吸着される。従って、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。これに対して、保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加されていることから、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。
【００７１】
（３）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま、図６（ｆ）に示すように時点ｔ２において、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加される。従って、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００７２】
（４）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ｂ）に示すように時点ｔ３で駆動用電極１２Ｂに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂの近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂに可動子側駆動用電極８が吸着される。従って、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、同様にガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の一つのストライプ分だけ、即ち、１ピッチだけ第２の可動子２Ｂは移動される。
【００７３】
（５）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ｆ）に示すように時点ｔ４で保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００７４】
（６）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ｃ）に示すように時点ｔ５で駆動用電極１２Ｃに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｃ近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｃに可動子側駆動用電極８が吸着される。従って、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、依然ガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の二つのストライプ分、即ち、２ピッチだけ第２の可動子２Ｂは移動される。
【００７５】
（７）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ｆ）に示すように時点ｔ６で保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され、可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００７６】
（８）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ｄ）に示すように時点ｔ７に駆動用電極１２Ｄに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｄ近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ｄに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｄに可動子側駆動用電極８が近接する。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に固定されたままにある。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の三つのストライプ分、即ち、３ピッチだけ第２の可動子２Ｂが移動される。
【００７７】
（９）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ｆ）に示すように時点ｔ８で保持用電極部１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【００７８】
（１０）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図６（ａ）に示すように時点ｔ９で駆動用電極１２Ａに電圧が印加される。駆動用電極１２Ａ近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａに可動子側駆動用電極８が吸着される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、同様にガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の四つのストライプ分、４ピッチだけ第２の可動子２Ｂが移動される。
【００７９】
以上のような（１）〜（１０）の工程を、第２の可動子２Ｂを移動させたい距離だけ繰り返し行い可動子２Ｂを移動させる。
【００８０】
また、可動子２Ｂを右方向に移動させたい場合には、上述した▲３▼において（１）、（１０）、（９）、（８）、（７）、（６）、（５）、（４）、（３）、（２）の順に移動させたい距離だけ繰り返し行うことで、第２の可動子２Ｂを移動させることができる。
【００８１】
▲４▼ 第２の可動子２Ｂを固定して第１の可動子２Ａのみを図４（ａ）の左もしくは右方向に移動させる場合。
【００８２】
以下に第１の可動子２Ａを右方向に移動させる場合について説明する。
【００８３】
（１）まず、可動子２Ａ、２Ｂの駆動用電極４，８が▲１▼の動作モードと同様に接地されたままに維持される。図７（ｅ）に示すように保持用電極部１４Ａに電圧が印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極１１との間に静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。ここで、図７（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧が印加される場合には、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５に吸着され、固定されたままに維持される。
【００８４】
（２）次に、図７（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加されたまま図７（ａ）に示されるように時点ｔ１に駆動用電極１２Ａに電圧Ｈが印加される。従って、駆動用電極１２Ａの近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａに可動子側駆動用電極４が吸着される。その結果、第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。これに対して、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加されていることから、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。
【００８５】
（３）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｅ）に示されるように時点ｔ２に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。
【００８６】
（４）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｂ）に示すように時点ｔ３において、駆動用電極１２Ｂに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂに可動子側駆動用電極４が吸着される。第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の一つのストライプ分、即ち、１ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【００８７】
（５）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｅ）に示されるように時点ｔ４に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈを印加する。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。
【００８８】
（６）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｃ）に示されるように時点ｔ５に駆動用電極１２Ｃに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｃ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｃに可動子側駆動用電極４が吸着される。従って、第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の二つのストライプ分、即ち、２ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【００８９】
（７）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｅ）に示されるように時点ｔ６に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され、可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。
【００９０】
（８）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｄ）に示されるように時点ｔ７に駆動用電極１２Ｄに電圧Ｈを印加する。駆動用電極１２Ｄ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ｄに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｄに可動子側駆動用電極４が吸着される。第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。やはり第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に一時的に固定されたままにある。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の三つのストライプ分、即ち、３ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【００９１】
（９）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図７（ｅ）に示されるように時点ｔ８に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。
【００９２】
（１０）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧を印加したまま図７（ａ）に示されるように時点ｔ９に駆動用電極１２Ａに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ａ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａに可動子側駆動用電極４が近接する。第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に一時的に固定されたままである。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の４つのストライプ分、４ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【００９３】
以上のような（１）〜（１０）の工程を第１の可動子２Ａを移動させたい距離だけ繰り返されて第１の可動子２Ａが移動される。
【００９４】
また、第１の可動子２Ａを左方向に移動させたい場合には、▲３▼の動作モードにおいて（１）、（１０）、（９）、（８）、（７）、（６）、（５）、（４）、（３）、（２）の順に移動させたい距離だけ繰り返されて第１の可動子２Ａが移動される。
【００９５】
ここで、▲３▼及び▲４▼の動作モードは、どちらも撮像される画像を拡大もしくは縮小するために行われる動作であり、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの初期位置によってどちらの方向にどちらの可動子を移動させれば短時間で拡大もしくは縮小ができるかは適宜選択されるものとする。
【００９６】
なお、図４（ｂ）は第１の可動子２Ａがガラス板１３側に移動したときを、図４（ｃ）は第２の可動子２Ｂがガラス板１５側に移動したときを、それぞれ示している。
【００９７】
図４（ａ）に示されたアクチュエータにおいては、駆動用電極部１２の駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄは、可動子側駆動用電極４及び８の幅にほぼ等しく、しかも、配列ピッチに等しく定められている。このようなアクチュエータの変形例として、図８（ａ）〜図８（ｃ）に示すように駆動用電極部１２の駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄは、可動子側駆動用電極４及び８の幅の１／２以下に定められ、しかも、配列ピッチが１／４に定められても良い。このような構造を有するアクチュエータでは、可動子２Ａ、２Ｂが夫々駆動用電極部１２の駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄに引き付けられると、可動子側駆動用電極４及び８の夫々は、図８（ａ）〜図８（ｃ）に示すように常に２つの駆動用電極１２Ａ〜１２Ｄに対向される。
【００９８】
図８（ａ）〜図８Ｃに示すアクチュエータの動作について、図９（ａ）〜図９（ｆ）、図１０（ａ）〜図１０（ｆ）及び図１１（ａ）〜図１１（ｆ）を参照して以下に説明する。
【００９９】
▲１▼ 第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが図８（ａ）に示すように同時に右方向に移動される動作モード▲１▼は、次の順序で実現される。
【０１００】
（１）まず、可動子２Ａ、２Ｂの駆動用電極４，８が接地されたままに維持される。この状態で、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示されるように駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ａ、１２Ｂの近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ａ、１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａ、１２Ｂに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。従って、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。
【０１０１】
（２）次に、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように時点ｔ１に駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図９（ｅ）及び図９（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧Ｈが印加される。従って、保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５が保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂとに吸着される。
【０１０２】
（３）次に、図９（ｅ）及び図９（ｆ）に示すように時点ｔ２に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図９Ｂ及び図９Ｃに示されるように駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃの近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。従って、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図８（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の１つのストライプ分、即ち、１ピッチだけ移動されることとなる。
【０１０３】
（４）次に、時点ｔ３に駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃの電圧が低レベルＬに変化され、図９（ｅ）及び図９（ｆ）に示すように再び保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１０４】
（５）更に、時点ｔ４に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図９Ｃ及び９Ｄに示されるように駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄ近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図８（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の二つのストライプ分、即ち、２ピッチだけ移動されることになる。
【０１０５】
（６）次に、時点ｔ５に駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄの電圧が低レベルＬに変化され、図９（ｅ）及び図９（ｆ）に示すように再び保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１０６】
（７）次に、時点ｔ６に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図９Ｄ及び図９Ａに示されるように駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａの近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図８（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の三つのストライプ分、即ち、３ピッチだけ移動されることになる。
【０１０７】
（８）次に、時点ｔ７に駆動用電極１２Ａの電圧が低レベルＬに変化され、図９（ｅ）及び図９（ｆ）に示すように再び保持用電極部１４Ａ，１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。また、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１０８】
（９）次に、時点ｔ８に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの電圧が低レベルＬに変化され、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示されるように再び駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに電圧が印加される。駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂ近傍の可動子側駆動用電極４，８が駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに可動子側駆動用電極４，８が吸着される。第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。このとき（１）の時に比べて図８（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の四つのストライプ分、４ピッチだけ移動されることになる。
【０１０９】
以上のような（１）〜（９）の工程を、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを移動させたい距離だけ繰り返される。
【０１１０】
▲２▼ 第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを共に図４（ａ）の左方向に移動させる場合には、上記▲１▼の動作モードの工程を逆に行えば、左方向へ第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを移動させることができる。つまり、上述した▲１▼のモードにおいて、（９）、（８）、（７）、（６）、（５）、（４）、（３）、（２）、（１）の順に移動させたい距離だけ繰り返し各工程を実施して、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを移動させれば良い。
【０１１１】
▲３▼第１の可動子２Ａを固定して第２の可動子２Ｂのみを左もしくは右方向に移動させる場合。
【０１１２】
以下に図８（ｂ）に示すように第２の可動子２Ｂを右方向に移動させる場合について説明する。
【０１１３】
（１）まず、可動子２Ａ、２Ｂの駆動用電極４，８が▲１▼の動作モードと同様に接地されたままに維持される。図１０（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極５との間に静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ｂに吸着される。図１０（ｅ）に示すように保持用電極部１４Ａに電圧が印加される場合には、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５に吸着される。
【０１１４】
（２）次に、図１０（ｅ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１０（ａ）及び１０Ｂに示されるように時点ｔ１に駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂの近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに可動子側駆動用電極８が吸着される。従って、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。これに対して、保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加されていることから、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。
【０１１５】
（３）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま、図１０（ｆ）に示すように時点ｔ２において、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加される。従って、保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１１６】
（４）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０Ｂ及び図１０Ｃに示すように時点ｔ３で駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃの近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに可動子側駆動用電極８が吸着される。従って、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、同様にガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図８（ｂ）の右方向に駆動用電極部１２の一つのストライプ分だけ、即ち、１ピッチだけ第２の可動子２Ｂは移動される。
【０１１７】
（５）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０（ｆ）に示すように時点ｔ４で保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極１１は保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１１８】
（６）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０（ｃ）及び図１０Ｄに示すように時点ｔ５で駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄの近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに可動子側駆動用電極８が吸着される。従って、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、依然ガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図８（ｂ）の右方向に駆動用電極部１２の二つのストライプ分、即ち、２ピッチだけ第２の可動子２Ｂは移動される。
【０１１９】
（７）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０（ｆ）に示すように時点ｔ６で保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動され、可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１２０】
（８）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０（ｄ）、図１０（ｄ）及び１０Ａに示すように時点ｔ７に駆動用電極１２Ｄ及び１２Ａに電圧が印加される。駆動用電極１２Ｄ及び１２Ａの近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ｄ及び１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｄ及び１２Ａに可動子側駆動用電極８が近接する。第２の可動子２Ｂはガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に固定されたままにある。このとき（１）の時に比べて図８（ｂ）の右方向に駆動用電極部１２の三つのストライプ分、即ち、３ピッチだけ第２の可動子２Ｂが移動される。
【０１２１】
（９）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０（ｆ）に示すように時点ｔ８で保持用電極部１４Ｂに電圧が印加される。保持用電極部１４Ｂと可動子側固定電極１１との間に強い静電気力が生成されて、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に移動されて可動子側固定電極１１は、保持用電極部１４Ｂに吸着される。
【０１２２】
（１０）次に、保持用電極部１４Ａに電圧を印加したまま図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示すように時点ｔ９で駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに電圧が印加される。駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂ近傍の可動子側駆動用電極８が駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに可動子側駆動用電極８が近接する。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１３側に移動される。第１の可動子２Ａは、同様にガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図１０Ｂの右方向に駆動用電極部１２の四つのストライプ分、４ピッチだけ第２の可動子２Ｂが移動される。
【０１２３】
以上のような（１）〜（１０）の工程を、第２の可動子２Ｂを移動させたい距離だけ繰り返し行い可動子２Ｂを移動させる。
【０１２４】
また、可動子２Ｂを右方向に移動させたい場合には、上述した▲３▼において（１）、（１０）、（９）、（８）、（７）、（６）、（５）、（４）、（３）、（２）の順に移動させたい距離だけ繰り返し行うことで、第２の可動子２Ｂを移動させることができる。
【０１２５】
▲４▼ 第２の可動子２Ｂを固定して第１の可動子２Ａのみを左もしくは右方向に移動させる場合。
【０１２６】
以下に、図８（ｃ）に示すように第１の可動子２Ａを右方向に移動させる場合について説明する。
【０１２７】
（１）まず、可動子２Ａ、２Ｂの駆動用電極４，８が▲１▼の動作モードと同様に接地されたままに維持される。図１１（ｅ）に示すように保持用電極部１４Ａに電圧が印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極１１との間に静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。ここで、図１１（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧が印加される場合には、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５に吸着される。
【０１２８】
（２）次に、図１１（ｆ）に示すように保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加されたまま図１１（ａ）に示されるように時点ｔ１に駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに電圧Ｈが印加される。従って、駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂの近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに可動子側駆動用電極４が吸着される。その結果、第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。これに対して、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈが印加されていることから、第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。
【０１２９】
（３）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１１（ｅ）に示されるように時点ｔ２に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。
【０１３０】
（４）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１１（ｂ）に示すように時点ｔ３において、駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂ及び１２Ｃに可動子側駆動用電極４が吸着される。第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図８（ｃ）の右方向に駆動用電極部１２の一つのストライプ分、即ち、１ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【０１３１】
（５）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１１（ｅ）に示されるように時点ｔ４に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈを印加する。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。
【０１３２】
（６）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１２Ｃ及び１２Ｄに示されるように時点ｔ５に駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｃ及び１２Ｄに可動子側駆動用電極４が吸着される。従って、第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に固定されたままに維持される。このとき（１）の時に比べて図４（ａ）の右方向に駆動用電極部１２の二つのストライプ分、即ち、２ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【０１３３】
（７）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１１（ｅ）に示されるように時点ｔ６に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され、可動子側固定電極５は保持用電極部１４Ａに吸着される。
【０１３４】
（８）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１１（ｄ）及び１１Ａに示されるように時点ｔ７に駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａに電圧Ｈを印加する。駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ｂ及び１２Ａに可動子側駆動用電極４が吸着される。第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。やはり第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に一時的に固定されたままにある。このとき（１）の時に比べて図８（ｃ）の右方向に駆動用電極部１２の三つのストライプ分、即ち、３ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【０１３５】
（９）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧Ｈを印加したまま図１１（ｅ）に示されるように時点ｔ８に保持用電極部１４Ａに電圧Ｈが印加される。保持用電極部１４Ａと可動子側固定電極５との間に強い静電気力が生成されて、第１の可動子２Ａは、ガラス板１５側に移動され可動子側固定電極５は、保持用電極部１４Ａに吸着される。
【０１３６】
（１０）次に、保持用電極部１４Ｂに電圧を印加したまま図１１（ａ）及び１１Ｂに示されるように時点ｔ９に駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに電圧Ｈが印加される。駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂ近傍の可動子側駆動用電極４が駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに静電気力によって吸引されて、駆動用電極１２Ａ及び１２Ｂに可動子側駆動用電極４が近接する。第１の可動子２Ａは、ガラス板１３側に移動される。第２の可動子２Ｂは、ガラス板１５側に一時的に固定されたままである。このとき（１）の時に比べて図８（ｃ）の右方向に駆動用電極部１２の４つのストライプ分、４ピッチだけ第１の可動子２Ａが移動される。
【０１３７】
以上のような（１）〜（１０）の工程を第１の可動子２Ａを移動させたい距離だけ繰り返されて第１の可動子２Ａが移動される。
【０１３８】
また、第１の可動子２Ａを右方向に移動させたい場合には、▲３▼の工程において（１）、（１０）、（９）、（８）、（７）、（６）、（５）、（４）、（３）、（２）の順に移動させたい距離だけ繰り返されて第１の可動子２Ａが移動される。
【０１３９】
次に、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの位置とレンズ系のズームング倍率（拡大もしくは縮小の倍率）との関係について図１２（ａ）及び図１２（ｂ）を参照して説明する。
【０１４０】
通常、ズーミングのための制御信号は、使用者が静電アクチュエータが具備されたＰＤＡ等の装置に設けられた入力部例えば、ボタンやつまみに入力した信号が装置内の制御部１９に送られ、この入力信号に基づいて制御部１９で生成される。この制御信号にしたがって第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが駆動される。
【０１４１】
まず、図１２（ａ）は静電アクチュエータの縦断面図を示し、図１２（ｂ）は第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの軸方向の位置と光学倍率との関係を示すグラフである。図１２（ｂ）において、曲線Ｐは、第１の可動子２Ａの移動範囲を示し、曲線Ｑは、第２の可動子２Ｂの移動範囲を示している。この図１２（ｂ）から明らかなように、固定子３の略中央付近では、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの移動範囲が重なり合う領域がある。なお、図１２（ｂ）のグラフにおいて、横軸の原点は、静電アクチュエータの固定子３の第１の可動子２Ａが設けられた側の一方の開口部に定められている。
【０１４２】
図１２（ａ）に示すように、固定子３の第２の可動子２Ｂが設けられた側の他方の開口部には、レンズ６，９の結像面にＣＣＤセンサ１７が固定板１８上に配置され、固定板１８が固定子３の他方の開口部に固定されている。
【０１４３】
また、図１２（ｂ）に示すように、光学系がある光学倍率Ｘに設定される場合には、第１の可動子２Ａが点Ｅに、第２の可動子２Ｂが点Ｆに配置される。同様に光学系が光学倍率Ｘよりも大きい光学倍率をＹに設定される場合には、第１の可動子２Ａが点Ｇに、第２の可動子２Ｂが点Ｈに配置される。また、光学系が光学倍率Ｙよりも大きい光学倍率をＺに設定される場合には、第１の可動子２Ａが点Ｉに、第２の可動子２Ｂが点Ｊに配置される。
【０１４４】
第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが所望の光学倍率に対応する所望の位置に移動される場合には、まず第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが粗動作され、次に、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂのどちらか一方が固定されて、移動可能な他方の可動子が微動されてその位置が所望の位置に設定される。次に、位置が設定された他方の可動子が固定されて一方の可動子が微動されて所望の位置に設定される（微動作）。
【０１４５】
このような動作を上述した▲１▼〜▲４▼の動作モードの工程により第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが独立して移動されることで光学系は、所望の倍率に設定される。
【０１４６】
なお、上述した実施例では、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが粗動作された後、一方の可動子が固定され、他方の可動子が微動されて所望の位置に設定されて光学系は、光学倍率設定されている。しかしながら、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが独立して制御されることによって位置設定を途中でどちらか一方の第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂを固定することなく、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂをそれぞれの所望の位置に直接移動させて、所望の光学倍率が得られてもよい。また、このような動作では、第１の可動子２Ａが、駆動用電極部１２側に移動もしくは駆動用電極部１２側に一時的に固定されている場合には、必ず第２の可動子２Ｂは、保持用電極部１４Ｂ側に移動もしくは保持用電極部１４Ｂに一時的に固定されている。ただし、後者の動作の場合には前者に比べて若干拡大もしくは縮小に必要な時間が大きくなる。
【０１４７】
以上述べたような第１の実施の形態では、撮像される画像の拡大もしくは縮小するための複数の可動子を、独立して動作させることで所望の光学倍率を得ることができる。
【０１４８】
次に、この発明の第２の実施の形態に係るアクチュエータについて図１３（ａ）〜１３Ｃを参照して説明する。
【０１４９】
なお、以下の各実施の形態において同一構成要素は同一符号を付し重複する説明は省略する。
【０１５０】
第２の実施の形態に係るアクチュエータでは、可動子側固定電極５，１１が、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂのほぼ下面全域に形成されている。
【０１５１】
図１３（ａ）は、この発明の第２の実施の形態に係るアクチュエータの可動子を概略的に示す側面図であり、図１３（ｂ）は、図１３（ａ）に示された可動子の下面を概略的に示す平面図であり、図１３（ｃ）は、この発明の第２の実施の形態に係るアクチュエータのガラス板であって、図１３（ａ）に示された可動子がスライドされるガラス板の上面を概略的に示す平面図である。
【０１５２】
図１３（ａ）に示される第１の可動子２Ａの下面には、図１３（ｂ）に示すように形状の可動子側固定電極５が設けられている。この可動子側固定電極５は、第１の可動子２Ａの下面内に平面的に広がり、第２の可動子２Ｂ側に３つの突出領域及びその間に２つの凹み領域を有する略櫛形状に形成されている。
【０１５３】
また、第２の可動子２Ｂの下面には、図１３（ｂ）に示すように可動子側固定電極１１が図設けられている。この可動子側固定電極１１は、第２の可動子２Ｂの下面内に平面的に広がり、第１の可動子２Ａ側に３つの凹み領域及びその間に２つの突出領域を有する略櫛形状に形成されている。図１３（ｂ）から明らかなように可動子側固定電極５、１１は、互いに一方の凹部領域が他方の突部領域にはめ合わせられような相補形状に形成されている。
【０１５４】
また、保持用電極部１４Ａ，１４Ｂは、図１３（ｃ）に示されるようにガラス板１５の中央部で電気的に分離されように平坦に広がり、その中央部では、夫々可動子側固定電極５、１１の形状に対応する形状に形成されている。つまり、ガラス板１５中央部分では、保持用電極部１４Ａ，１４Ｂは、互いに一方の凹部領域が他方の突部領域にはめ合わせられような相補形状に形成されている。 このような構造を有するアクチュエータでは、図４（ａ）に示されたアクチュエータと同様に動作される。ただし、第１の可動子２Ａをガラス板１５側に一時的に固定する保持用電極部１４Ａは、ガラス板１５の略中央部分にまでしか形成されておらず、また、第２の可動子２Ｂをガラス板１５側に一時的に固定する保持用電極部１４Ｂは、保持用電極部１４Ａが形成されていないガラス板１５の略中央部分までしか形成されていないため、第１の可動子２Ａは開口部からガラス板１５の略半分付近までしか移動させることができず、また第２の可動子２Ｂは、ＣＣＤセンサ１７からガラス板１５の略半分付近までしか移動されることができない。
【０１５５】
また、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの移動が終了した後、新たに移動開始されるまでは、第１の可動子２Ａは、駆動用電極部１２，１４Ａのいずれかに、第２の可動子２Ｂは駆動用電極部１２，１４Ｂのいずれかに、それぞれ一時的に固定され続けられる。この固定された状態では、静電アクチュエータが搭載された装置の主電源を切った場合においても内部電源により通電がなされ保持され続けられる。
【０１５６】
以上述べたような第２の実施の形態に係るアクチュエータでは、撮像される画像の拡大もしくは縮小するための複数の可動子を独立して動作させることで、所望の光学倍率を得ることができる。
【０１５７】
また、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの移動範囲は、前述した第１の実施の形態よりも小さくなるが、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが接触することによって破損する可能性がなくなり、静電アクチュエータの信頼性が向上される。
【０１５８】
次に、この発明の第３の実施の形態に係るアクチュエータについて図１４（ａ）〜図１４（ｃ）を参照して説明する。
【０１５９】
図１４（ｂ）に示されるようにこのアクチュエータでは、可動子側固定電極５，１１が平板状に形成されている。
【０１６０】
図１４（ａ）はこの発明の第３の実施の形態に係る可動子を概略的に示す側面図あり、図１４（ｂ）は図１４（ａ）に示された可動子の下面を概略的に示す平面図であり、図１４（ｃ）は、この発明の第３の実施の形態に係るアクチュエータのガラス板の上面を概略的に示す平面図である。
【０１６１】
可動子側の固定電極５は、図１４（ｂ）左側に示すように平板状に形成される。ただし、可動子側の固定電極５は、第１の可動子２Ａ下面の面積に対し少なくとも半分以上の面積を有し、かつ全域にわたって形成されていないものとする。例えば、可動子側固定電極５は、所定方向に偏位して可動子２Ｂから離れるように設けられる。
【０１６２】
可動子側固定電極１１は、図１４（ｃ）右側に示すように平板状に形成される。ただし、可動子側固定電極１１は、第２の可動子２Ｂ下面の面積に対し少なくとも半分以上の面積を有し、かつ全域にわたって形成されていないものとする。例えば、可動子側固定電極１１は、所定方向とは逆側に偏位して可動子２Ａから離れるように設けられる。
【０１６３】
さらに、保持用電極部１４Ａ，１４Ｂは、夫々図１４（ｃ）のように平坦に延出される形状に形成される。つまりガラス板１５上には、平板状の２つの保持用電極部１４Ａ，１４Ｂが離間して形成される。四角形な保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの面積は、各可動子の移動範囲（光学倍率）によって設定され、略同一であっても異なっていてもどちらでも良い。また、例えば、保持用電極部１４Ａは、ガラス板１５上で所定方向に偏位して配置され、保持用電極部１４Ｂは、ガラス板１５上で所定方向とは逆側に偏位して配置される。
【０１６４】
このような構造を有するアクチュエータでは、上述した第１の実施の形態とほぼ同様に動作されるる。また、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂは、第２の実施の形態と同様に保持用電極部１４Ａ，１４Ｂが形成された範囲内でしか移動することができない。また、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの移動が終了した後、新たなに移動を開始するまでは、第１の可動子２Ａは、駆動用電極部１２，１４Ａのいずれかに、第２の可動子２Ｂは、駆動用電極部１２，１４Ｂのいずれかにそれぞれ一時的に固定され続けられる。この固定された状態は、静電アクチュエータが搭載された装置の主電源を切った場合においても内部電源により通電がなされ保持されているものとする。
【０１６５】
以上述べたような構造のアクチュエータでは、撮像される画像の拡大もしくは縮小を行うための複数の可動子を独立して動作させることで、所望の光学倍率を得ることができる。
【０１６６】
また、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの移動範囲は、第１の実施の形態よりも小さくなるが、第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが接触することによって破損する可能性がなくなり、静電アクチュエータの動作の信頼性が向上する。
【０１６７】
また、保持用電極部１４Ａ，１４Ｂの形状を平板状の四角形にしたことで容易に製作することができ製作費用の低減にも寄与する。
【０１６８】
次に、上述した第１〜第３の実施の形態における第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂ及び固定子３の製造方法について図１５（ａ）乃至図１９を参照して説明する。
【０１６９】
まず、固定子３の製造方法について図１５（ａ）から図１５（ｃ）を参照して説明する。
【０１７０】
図１５（ａ）は、可動子の部品を展開して示す平面図であり、図１５（ｂ）は、図１５（ａ）に示された可動子の部品を組立て示す斜視図であり、図１５（ｃ）は、固定子枠の製造過程において金型に可動子部品を装着した状態を概略的に示す平面図であり、図１５（ｄ）は、図１５（ｃ）の工程を経て製造された可動子を概略的に示す斜視図である。
【０１７１】
図１５（ａ）に示すように、第１の可動子２Ａの部品は、電極４が設けられた第１の平板２０、電極５が設けられた第２の平板２１、第１及び第２の平板２０，２１を接続する円弧状の第１の接続部材２２、円弧状の第２の接続部材２３、第１の平板２０に貼付される当接部材２４、から構成される。第１の平板２０および第２の平板２１表面には、凹凸形状の可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５がエッチングにより形成されている。第１の平板２０、第２の平板２１、第１の接続部材２２，２２、第２の接続部材２３，２３、合わせ部材２４は、金属板から一体的にプレス成形によって成形される。
【０１７２】
このような第１の可動子２Ａの部品は、図１５（ｂ）に示すように折り曲げられて組み立てられる。可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５が外側に配置されるように第１の平板２０と第１の接続部材２２，２２との接続部、第２の平板２１と第１の接続部材２２，２２との接続部、第２の平板２１と第２の接続部材２３，２３との接続部、第２の接続部材２３，２３と合わせ部材２４との接続部とがそれぞれ折り曲げられて、折り曲げた後に当接部材２４と第１の平板２０とがスポット溶接などにより接合される。第１及び第２の接続部材２２，２２、２３，２３は、外部からの圧力を弾性的に受けることができる部材であり、可動子構造は、柔軟性を有することとなる。
【０１７３】
次に、図１５（ｃ）に示すように、第１の可動子２Ａの部品は、樹脂で固定される。
【０１７４】
第１の可動子２Ａを固定するには、４つに分離可能な金型２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃ，２５Ｄが用いられる。金型２５Ａ，２５Ｂの内面には、可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５の凸部が当接されるため、凹形状にくぼんだ空間が設けられる。金型２５Ａ，２５Ｂの挟まれて固定される金型２５Ｃは、金型２５Ａ，２５Ｂの内壁と向かいあう面側に、段差形状のレンズ６がはめ込まれるための凸部が形成されている。金型２５Ｃに対向して金型２５Ａ，２５Ｂに挟まれて固定される金型２５Ｄは、金型２５Ｃに当接するように、かつ第１及び第２の平板２０，２１の可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５を有しない面に対して隙間を設けて配置される。
【０１７５】
まず、第１の可動子２Ａの可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５の凸部と、金型２５Ａ，２５Ｂとが、接触するように配置される。
【０１７６】
次に、第１の可動子２Ａの上下方向を塞ぐように金型２５Ｃ，２５Ｄが金型２５Ａ，２５Ｂの隙間に挿入される。第１の可動子２Ａは、金型２５Ａ〜２５Ｄによって周囲を覆われる。このとき接続部材２２，２２、２３，２３によって第１の平板２０と第２の平板２１とは、金型２５Ａ，２５Ｂに対して付勢されている。金型２５Ａ〜２５Ｄは、動かないように固定される。
【０１７７】
次に、金型２５Ｂの一部に貫通する樹脂導入孔２６から樹脂が隙間に導入される。このとき金型２５Ａ〜２５Ｄは、ヒータなどの加熱手段により約１５０℃に保持され、また、樹脂は約３００℃に保持された状態で、樹脂が流し込まれる。樹脂が流し込まれた後、時間経過と共に徐々に室温程度にまで温度を低下させていき樹脂を固化させる。樹脂を固化させることによって第１の可動子２Ａが、接続部材２２，２２，２３，２３によって移動されることなく固定されることになる。
【０１７８】
このとき常に一定の弾性力で第１及び第２の平板２０，２１が、金型２５Ａ，２５Ｂに付勢されているため、第１と第２の平板２０，２１とは略一定の距離を有する。このため樹脂を固化して製作された第１の可動子２Ａの可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５間の距離が略一定となり、かつ複数の第１の可動子２Ａ間で製作精度にばらつきのないほぼ一定の形状を得ることができる。
【０１７９】
図１５（ｄ）に示すように、第１の可動子２Ａの軸方向の一面にレンズ６が設けられる。
【０１８０】
なお、可動子２Ｂも上述した通り、第１の可動子２Ａと同様の製造方法によって製作される。
【０１８１】
また、流させる樹脂は、カーボン等が混入された導電性を有する材料を用いることで、可動子２Ａ、２Ｂへの配線の信頼性を向上させることができる。
【０１８２】
次に、固定子枠３の製造について図１６（ａ）〜図１６（ｃ）の製造の説明図を参照して説明する。
【０１８３】
図１６（ａ）に示す通り、２つに分離可能な金型３０Ａ，３０Ｂには、金型３０Ａ，３０Ｂが組み合わされた状態で固定子枠３の外形状が形成されるような穿設孔が設けられる。
【０１８４】
始め金型３０Ａ，３０Ｂは分離された状態にある。
【０１８５】
金型３０Ａ，３０Ｂの一対の対向する面３１Ａ，３１Ｂの凸部に、横断面がほぼＵ字状のガラス板１３，１５の背面が接触するように配置される。このガラス板１３，１５の背面に対向する面には、パターニングされた駆動用電極部１２，保持用電極部１４が形成され、駆動用電極部１２，保持用電極部１４が対向するように面３１Ａ，３１Ｂに配置される図。なお図１６（ｂ）には、これら電極の形状が簡略化したガラス板１３，１５で示されていることに注意されたい。
【０１８６】
図１６（ｄ）に示される直方体形状の中子３２の側面が、面３１ｃの凸部と接触するように、また面３１Ｄと非接触となるように、駆動用電極部１２，保持用電極部１４の縁３３と接触するように、金型３０Ａ，３０Ｂが組み合わされる。金型３０Ａ，３０Ｂが組み合わされた時には、図１６（ｃ）に示されるように駆動用電極部１２，保持用電極部１４の凹部と、中子３２、面３１Ｄおよび面３１ｃの凹部と、は非接触である図。なお図１６（ｃ）において金型３０Ａ，３０Ｂの形状の細部は一部省略して図示している。
【０１８７】
また、中子３２と面３４Ａ，３４Ｂ，３４Ｄとは非接触であり、中子３２は面３４Ｃの凸部と接触されている。
【０１８８】
中子３２と面３４Ａ〜３４Ｄとの隙間に、樹脂が流し込まれる。このとき金型３０Ａ，３０Ｂはヒータなどの加熱手段により約１５０℃に保持されており、また樹脂は約３００℃に保持された状態で隙間に流し込まれる。樹脂が流し込まれた後、時間経過と共に徐々に室温程度にまで温度を低下させていき樹脂を固化させる。
【０１８９】
一定時間経過後（樹脂の固化完了後）に中子３２を取り出し、金型３０Ａ，３０Ｂを分離させ、所望の形状の固定子３を得る。
【０１９０】
このようにして製作された第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂ、固定子３、ガラス板１３，１５を組み合わせて静電アクチュエータを作り上げる。
【０１９１】
次に、可動子の別の製造方法について図１７（ａ）から１７Ｃを参照して説明する。
【０１９２】
図１７（ａ）に示すように、可動子側駆動用電極４は、シリコン製基板を加工してなるものであり、可動子側駆動用電極４の凹凸形状は、シリコン製基板の一面が所望の大きさ（数ミクロンオーダ）を有する凹凸形状となるようにエッチングによって形成される。エッチングは、ＬＳＩの高集積化のために行われる方法と略同一であり、ウェットエッチングまたはドライエッチングどちらであっても構わない。
【０１９３】
また、図１７（ｂ）に示す通り、可動子本体３５は、導電性の樹脂で形成された平板を直方体状に組み立ててなるものである。可動子本体３５の軸方向にはレンズ６が搭載されており、可動子本体３５の側面の一部にはグランドに接続される接地配線７が接続されるためのパッド部３６が形成されている。
【０１９４】
このように製作された可動子側駆動用電極４と可動子本体３５とは、図１７（ｃ）に示すように、可動子本体３５の上面に可動子側固定電極５を例えば紫外線で硬化するアクリル系接着剤にて貼設して第１の可動子２Ａが製作される。
【０１９５】
このようにして製作された第１の可動子２Ａと固定子３とを組み合わせることにより静電アクチュエータが製作される。
【０１９６】
次に、可動子の製造方法について図１８を参照して説明する。
【０１９７】
図１８は、可動子の製造方法の説明図であり、金型３７Ａ〜３７Ｄを組み合わせて金型３７Ａ〜３７Ｄの隙間に樹脂を注入して第１の可動子２Ａを形成する。なお金型３７Ｃに到達する長さを有する金型３７Ｄを用いている。
【０１９８】
ここで、金型３７Ａ〜３７Ｄの空間に流し込まれる樹脂は、導電性を有するカーボン粒子３８とカーボンファイバ３９とが混合されたものである。なおカーボン粒子３８は、直径数ミクロンの略球形状をなしたものであり、またカーボンファイバ３９は直径約１０ミクロン長さ数十ミクロンの棒形状をしたものである。この樹脂を固化させることでレンズを有していない第１の可動子２Ａを製作する。
【０１９９】
このような製造方法であれば、第１の可動子２Ａの可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５の凸形状は例えば約２０ミクロン間隔で形成されるため、凸部４０とその隣に設けられる凸部４０との間（つまり凹部４１）にはカーボンファイバ３９が入りこまない可能性があるが、カーボン粒子３８が混入されていることにより仮にカーボンファイバ３９が凹部に入り込まなくとも、カーボン粒子３８が入り込むため良好な導電性を有する第１の可動子２Ａを得ることができる。
【０２００】
また、導電性の樹脂でない場合でも、処理後、メッキ処理を施すことで導電性を持たせることが可能であり、製造工程が増加する欠点はあるが、良好な導電性を確保することができる。
【０２０１】
次に、可動子と固定子の別の製造方法について図１９を参照して説明する。
【０２０２】
図１９は可動子と固定子との製造方法の説明図であり、金型４２Ａに第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂとこの第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂが挿入される固定子３と、が同一金型に形成される。なお図１９は、２つの固定子、可動子が形成された金型の例を示している。
【０２０３】
第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂの金型の形状は、図１８に示すものと略同様であり、また固定子３の形状が形成された金型の形状は、図１６（ａ）に示すものと略同様である。第１の可動子２Ａの金型の対向する一対の内面４３Ａ−４３Ｂには、可動子側駆動用電極４，可動子側固定電極５の形状が形成されている。また、固定子３の金型の対向する一対の内面４４Ａ，４４Ｂには、駆動用電極部１２，保持用電極部１４の形状が形成される。
【０２０４】
このような構造を有する金型４２Ａ，４２Ｂを用いることにより、寸法精度のばらつきの少ない第１及び第２の可動子２Ａ，２Ｂ及び固定子枠３を短期間で大量に生産することができる。
【０２０５】
なお、本発明は上記各実施の形態には限定されずその主旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施できることは言うまでもない。例えば、２つの可動子の位置を光センサなどにより検出し可動子が衝突するような状態であれば、どちらか一方を一時的に固定して衝突を防止することもできる。
【０２０６】
また、固定子に挿入される可動子は、２つでなくとも所望の倍率を得るために３つ以上設けてもよい。
【０２０７】
また、第１の接合部材及び第２の接合部材の形状は、弾性特性を有する形状であればどのような形状であっても構わない。
【０２０８】
【発明の効果】
以上のようにこの発明の静電アクチュエータによれば、複数の可動子を、互いに独立して動作させることができ、従って、この発明の静電アクチュエータをカメラ等の光学機器に適用する場合には、撮像される画像の拡大もしくは縮小させるズーミング機能を実現することができ、しかも、被写体に焦点を合わせるフォーカス機能をも実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の静電アクチュエータにおいて可動子を固定子 から抜き出して概略的に示す斜視図である。
【図２】従来の静電アクチュエータ内の構造を概略的に示す縦断面図である。
【図３】（ａ）は、この発明の第１の実施の形態に係る静電アクチュエータの構造を破断して概略的に示す斜視図であって、一対の可動子が固定子枠から抜き出して示している斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）に示された駆動側固定子の固定子電極の配列を概略的に示す斜視図であり、及び、（ｃ）は、（ａ）に示された可動子を保持する側の固定子の固定子電極配列を概略的に示す斜視図である。
【図４】（ａ）は、図３（ａ）に示された静電アクチュエータの内部構造を概略的に示す縦断面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示される静電アクチュエータをＸ−Ｘ線で切断して概略的に示す断面図であり、（ｃ）は、（ａ）に示される静電アクチュエータをＹ−Ｙ線で切断して概略的に示す断面図であり、及び（ｄ）は、（ａ）に示される静電アクチュエータにおいて可動子の固定電極の本数と側面ギャップの関係を概略的に示す断面図である。
【図５】（ａ）から（ｆ）は、図４（ａ）に示される静電アクチュエータにおいて２つの可動子を同時に同方向に移動させる場合における固定子の電極に与えられる電圧を示すタイミングチャートである。
【図６】（ａ）から（ｆ）は、図４（ａ）に示される静電アクチュエータにおいて２つの可動子の一方をある方向に移動させる場合における固定子の電極に与えられる電圧を示すタイミングチャートである。
【図７】（ａ）から（ｆ）は、図４（ａ）に示される静電アクチュエータにおいて２つの可動子の他方をある方向に移動させる場合における固定子の電極に与えられる電圧を示すタイミングチャートである。
【図８】（ａ）から（ｃ）は、図４（ａ）に示される静電アクチュエータの変形例であって、夫々２つの可動子の動作状態を概略的に示す断面図である。
【図９】（ａ）から（ｆ）は、図８（ａ）に示されるように２つの可動子を同時に同方向に移動させる場合における固定子の電極に与えられる電圧を示すタイミングチャートである。
【図１０】（ａ）から（ｆ）は、図８（ｂ）に示されるように２つの可動子の一方をある方向に移動させる場合における固定子の電極に与えられる電圧を示すタイミングチャートである。
【図１１】（ａ）から（ｆ）は、図８（ｃ）に示されるように２つの可動子の他方をある方向に移動させる場合における固定子の電極に与えられる電圧を示すタイミングチャートである。
【図１２】（ａ）は、この発明の第１の実施の変形例に係る静電アクチュエータの内部構造を概略的に示す縦断面図であり、及び（ｂ）は、（ａ）に示された静電アクチュエータにおける第１及び第２の可動子の位置と光学倍率との関係を表すグラフである。
【図１３】（ａ）は、この発明の第２の実施の変形例に係る静電アクチュエータの可動子を概略的に示す縦断面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示される可動子の下面の電極パターンを概略的に示す平面図であり、及び（ｃ）は、（ａ）及び（ｂ）に示される可動子が組み込まれた静電アクチュエータの固定子のガラス板上の電極パターンを概略的に示す平面図である。
【図１４】（ａ）は、この発明の第２の実施の変形例に係る静電アクチュエータの可動子を概略的に示す縦断面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示される可動子の下面の電極パターンを概略的に示す平面図であり、及び（ｃ）は、（ａ）及び図１４に示される可動子が組み込まれた静電アクチュエータの固定子のガラス板上の電極パターンを概略的に示す平面図である。
【図１５】（ａ）は、図４（ａ）に示された静電アクチュエータの可動子の部品を分解して概略的に示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）に示され可動子部品を組み立てた状態を概略的に示す斜視図であり、（ｃ）は、（ｂ）に示された可動子の部品及びその可動子部品が組み込まれた金型を概略的に示す断面図であり、及び（ｄ）は、（ｃ）に示された金型で作られた可動子を概略的に示す斜視図である。
【図１６】（ａ）は、図４（ａ）に示された静電アクチュエータの固定子を製造する為の金型を一部透過して概略的に示す斜視図であり、（ｂ）は、図４（ａ）に示された静電アクチュエータの固定子を製造する為のガラス板を概略的に示す斜視図であり、（ｃ）は、（ａ）に示された固定子の金型にガラス板を装着した組み立て構造体を一部透過して概略的に示す斜視図であり、及び（ｄ）は、（ｃ）に示される固定子の金型に装着される中子を概略的に示す斜視図である。
【図１７】（ａ）は、この発明の静電アクチュエータの製造方法で用いられる可動子の電極を概略的に示す斜視図であり、（ｂ）は、この発明の静電アクチュエータの製造方法で用いられる可動子本体を概略的に示す斜視図であり、及び（ｃ）は、（ａ）に示された可動子の電極を（ｂ）に示された可動子本体に固定されて作られる可動子を概略的に示す斜視図である。
【図１８】この発明の静電アクチュエータの製造方法に用いられる可動子と可動子の金型を概略的に示す縦断面図である。
【図１９】この発明の静電アクチュエータの製造方法に用いられる可動子及び固定子の金型を概略的に示す平面図である。
【符号の説明】
１．．．静電アクチュエータ
２Ａ，２Ｂ．．．第１及び第２の可動子
３．．．固定子
３Ａ．．．固定子枠
４，８，５，１１．．．可動子電極
４，８．．．駆動用電極
６，９．．．レンズ
５，１１．．．固定用電極
１２．．．固定子電極部
１４、１４Ａ，１４Ｂ．．．保持用電極部
１２Ａ〜１２Ｄ．．．電極
１３、１５．．．ガラス板
２２，２２、２３，２３．．．接続部材
２５Ａ〜２５Ｄ．．．金型
Claims (16)
- 移動方向に沿って配列され、その夫々がこの移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の固定子電極と、
この第１の固定子電極に対向して配置され、前記移動方向に沿って延出される第２の固定子電極と、
前記第１の固定子電極に対向して配置され、前記第２の固定子電極とは電気的に分離されるように前記移動方向に沿って延出されている第３の固定子電極と、
前記第１の固定子電極と前記第２及び第３の固定子電極との間に規定される空間内を前記移動方向に沿って移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の可動子電極及び前記第２の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第２の可動子電極を具備する第１の可動子と、
前記移動空間内を前記移動方向に沿って前記第１の可動子とは独立に移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第３の可動子電極及び前記第３の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第４の可動子電極を具備する第２の可動子と、
から構成されることを特徴とする静電アクチュエータ。 - 前記第１及び第２の可動子内には、レンズが内蔵されていることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
- 前記第１の固定子電極、第１の可動子電極及び第３の可動子電極は、互いにほぼ並行に且つ等ピッチで配置され、互いに等しい幅を有することを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
- 第１の可動子電極及び第３の可動子電極は、互いにほぼ並行に且つ等ピッチで配置され、互いに等しい幅を有することを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
- 前記第１の固定子電極は、第１の可動子電極及び第３の可動子電極のピッチの１／４ピッチで配置されていることを特徴とする請求項４に記載の静電アクチュエータ。
- 前記第２の可動子の前記第４可動子電極が前記固定子の前記第３固定子電極に吸引されて前記第２の可動子が固定された状態で前記移動空間内を前記第１の可動子が移動することが可能であることを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
- 第１及び第２の駆動信号を前記第１及び第２の固定子電極に供給して前記第１の可動子を移動方向に移動し、保持信号を前記第３の固定子電極に供給して第２の可動子を保持する駆動回路を更に具備することを特徴とする請求項１に記載の静電アクチュエータ。
- ある移動方向に沿って延びる空間をその内に規定する中空の固定子枠、この固定子枠の第１の内面に配置され、前記移動方向に沿って並列され、夫々がこの移動方向に交差する方向に沿って延出される第１の固定子電極を含む第１の電極領域及び前記固定子枠の第１の内面に対向する第２の内面に配置され、前記移動方向に沿って延出され、互いに電気的に分離された第２及び第３の固定子電極を含む第２の電極領域を有する固定子と、
前記固定子内の空間に前記移動方向に沿って移動可能に配置され、前記第１の電極領域に対向するように前記第１の固定子電極に対応して前記移動方向に沿って並列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の可動子電極及び前記第２の電極領域に対向するように前記第２の固定子電極に対応して前記移動方向に沿って延出される第２の可動子電極を具備する第１の可動子と、
前記空間内を前記移動方向に沿って前記第１の可動子とは独立に移動可能に配置され、前記第１の電極領域に対向するように前記第１の固定子電極に対応して前記移動方向に沿って並列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第３の可動子電極及び前記第２の電極領域に対向するように前記第３の固定子電極に対応して前記移動方向に沿って延出される第４の可動子電極を具備する第２の可動子と、
前記第１の固定子電極に第１の駆動信号を供給し、前記第２の固定子電極に第２の駆動信号又は保持電圧信号の一方を供給し、前記第３の固定子電極に第３の駆動信号又は保持電圧信号の一方を供給して第１及び第２の可動子の両方或いは一方を前記移動方向に沿って移動させる駆動回路と、を具備することを特徴とする静電アクチュエータ。 - 前記第１及び第２の可動子内には、レンズが内蔵されている請求項８に記載の静電アクチュエータ。
- 前記第２の可動子の前記第４可動子電極が前記固定子の前記第３固定子電極に吸引されて前記第２の可動子が固定された状態で前記固定子内を前記第１の可動子が移動することが可能であることを特徴とする請求項８に記載の静電アクチュエータ。
- 前記第２及び第３の固定子電極は、互いにほぼ並行に前記移動方向に沿って延出され、第２及び第４の可動子電極もまた互いにほぼ並行に前記移動方向に沿って延出されていることを特徴とする請求項８に記載の静電アクチュエータ。
- 前記第２及び第３の固定子電極は、前記移動方向に沿って広がる面電極であって前記移動方向で互いに分離されて配置され、前記第１及び第２の可動子は、第２及び第３の固定子電極が前記移動方向に沿って広がる範囲内で可動されることを特徴とする請求項８に記載の静電アクチュエータ。
- ある移動方向に沿って配列され、そのそれぞれがこの移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の固定子電極と、
この第１の固定子電極に対向して配置され、前記移動方向に沿って延出される第２の固定子電極と、
前記第１の固定子電極に対向して配置され、前記第２の固定子電極とは電気的に分離されるように前記移動方向に沿って延出されている第３の固定子電極と、
前記第１の固定子電極と前記第２及び第３の固定子電極との間に規定される移動空間内を前記移動方向に沿って移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の可動子電極及び前記第２の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第２の可動子電極を備えた中空の第１の可動子と、
前記移動空間内を前記移動方向に沿って前記第１の可動子とは独立に移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第３の可動子電極及び前記第３の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第４の可動子電極を具備する中空の第２の可動子と、
前記第１の可動子中に前記移動方向に沿って配置された光軸を有する第１の光学レンズ系と、
前記第２の可動子中に前記移動方向に沿って配置された光軸を有する第２の光学レンズ系であって、第１及び第２のレンズ系の相対位置に従ってその光学倍率が定まり、第１及び第２のレンズ系の位置に従って結像面に被写体像が結像される第２の光学系と、
前記第１の固定子電極に第１の駆動信号を供給し、前記第２の固定子電極に第２の駆動信号又は保持電圧信号の一方を供給し、前記第３の固定子電極に第３の駆動信号又は保持電圧信号の一方を供給して第１及び第２の可動子の両方或いは一方を前記移動方向に沿って移動させる駆動回路と、から構成されることを特徴とする被写体像をその結像面に結像させる画像装置。 - 前記第２及び第３の固定子電極は、互いにほぼ並行に前記移動方向に沿って延出され、第２及び第４の可動子電極もまた互いにほぼ並行に前記移動方向に沿って延出されていることを特徴とする請求項１３の画像装置。
- 前記第２及び第３の固定子電極は、前記移動方向に沿って広がる面電極であって前記移動方向で互いに分離されて配置され、前記第１及び第２の可動子は、第２及び第３の固定子電極が前記移動方向に沿って広がる範囲内で可動されることを特徴とする請求項１３の画像装置。
- 移動方向に沿って配列され、その夫々がこの移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の固定子電極と、
この第１の固定子電極に対向して配置され、前記移動方向に沿って延出される第２の固定子電極と、
前記第１の固定子電極に対向して配置され、前記第２の固定子電極とは電気的に分離されるように前記移動方向に沿って延出されている第３の固定子電極と、
前記第１の固定子電極と前記第２及び第３の固定子電極との間に規定される空間内を前記移動方向に沿って移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第１の可動子電極及び前記第２の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第２の可動子電極を具備する第１の可動子と、
前記移動空間内を前記移動方向に沿って前記第１の可動子とは独立に移動可能に配置され、前記第１の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って配列され、前記移動方向に交差する方向に沿って延出されている第３の可動子電極及び前記第３の固定子電極に対向し、前記移動方向に沿って延出されている第４の可動子電極を具備する第２の可動子と、
から構成される静電アクチュエータを駆動する方法において、
第１の駆動信号を前記第１の固定子電極に供給し、
第２の駆動信号を前記第２の固定子電極に供給し、
第１の保持信号を前記第２の固定子電極に供給し、
第３の駆動信号及び第２の保持信号の一方を前記第３の固定子電極に供給して前記第１及び第２の可動子の一方或いは両方を前記移動方向に沿って移動させることを特徴とする静電アクチュエータの駆動方法。
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