JP4058945B2

JP4058945B2 - Piezoelectric actuator inspection method, piezoelectric actuator adjustment method, and piezoelectric actuator inspection apparatus

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Publication number: JP4058945B2
Application number: JP2002002858A
Authority: JP
Inventors: 誠古畑; 毅瀬戸; 邦彦高城
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2002-01-09
Filing date: 2002-01-09
Publication date: 2008-03-12
Anticipated expiration: 2022-01-09
Also published as: JP2003204683A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電アクチュエータの振動状態を検査する検査方法、この検査結果に応じて圧電アクチュエータの振動状態を調整する調整方法、および検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧電素子は、電気エネルギーから機械エネルギーへの変換効率や、応答性に優れていることから、圧電素子の圧電効果を利用した各種の圧電アクチュエータが開発されている。この圧電アクチュエータとしては、長手方向のみに縦振動するものが一般に知られているが、近年では、この縦振動と、長手方向と直交する幅方向の屈曲振動とが組合わさって振動する圧電アクチュエータが開発されている。この圧電アクチュエータは、縦振動の固有振動数と屈曲振動の固有振動数との中間にあたる周波数の交流電圧が印加されたときに、縦振動と屈曲振動とを行うようになっている。このように、圧電アクチュエータが縦振動と屈曲振動の各振動を同時に行うためには、夫々の固有振動数が規格内に収まっている必要がある。
そこで、従来から、圧電アクチュエータの製造工程において、縦振動の固有振動数と屈曲振動の固有振動数の夫々を測定し、夫々の測定値が規格内に収まっているかを判断して、製造された圧電アクチュエータが正常な振動を行うかを判断するといった検査が行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、縦振動の固有振動数と屈曲振動の固有振動数との夫々を測定することは、技術的に困難であるといった問題があった。また、従来の検査において、圧電アクチュエータの各固有振動数が規格内に収まっていても、圧電アクチュエータが装置に取り付けられたときに、正常な振動をするかまでは保証されない、といった問題があった。
【０００４】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、圧電アクチュエータの振動を簡易かつ正確に検査することができる圧電アクチュエータの検査方法、この検査結果に応じて圧電アクチュエータの振動を調整する圧電アクチュエータの調整方法、および圧電アクチュエータの検査装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、良品動作する圧電アクチュエータが振動により対象物を駆動するときの振動軌跡を正常振動軌跡として取得する第１の過程と、検査対象である圧電アクチュエータが振動により前記対象物を駆動するときの振動軌跡を取得する第２の過程と、前記第１の過程において取得した正常振動軌跡と、前記第２の過程において取得した振動軌跡とを比較し、両者の振動軌跡のずれが一定範囲外である場合に、前記検査対象の圧電アクチュエータの動作を動作不良とする第３の過程とを備える圧電アクチュエータの検査方法を提供する。
【０００６】
また、上記目的を達成するために、本発明は、良品動作する圧電アクチュエータが振動により対象物を駆動するときの振動軌跡を正常振動軌跡として取得する第１の取得手段と、検査対象である圧電アクチュエータが振動により前記対象物を駆動するときの振動軌跡を取得する第２の取得手段と、前記第１の過程において取得した正常振動軌跡と、前記第２の過程において取得した振動軌跡とを比較し、両者の振動軌跡のずれが一定範囲外である場合に、前記検査対象の圧電アクチュエータの動作が動作不良であることを示す情報を出力する出力手段とを備える圧電アクチュエータの検査装置を提供する。
【０００７】
本発明に係る圧電アクチュエータの検査方法および圧電アクチュエータの検査装置によれば、良品動作する圧電アクチュエータが振動により対象物を駆動するときの振動軌跡が正常振動軌跡として取得される。また、検査対象である圧電アクチュエータが振動により前記対象物を駆動するときの振動軌跡が取得される。そして、正常振動軌跡と、検査対象である圧電アクチュエータの振動軌跡とが比較され、両者の振動軌跡のずれが一定範囲外である場合に、前記検査対象の圧電アクチュエータの動作が動作不良であるとされる。
【０００８】
従って、本発明に係る圧電アクチュエータの検査方法および圧電アクチュエータの検査装置によれば、縦振動と屈曲振動の夫々の固有振動数を測定する必要がなく、検査対象の圧電アクチュエータの一端の振動軌跡を取得し、これを正常な振動軌跡と比較するだけで簡単に動作を検査することができる。また、本発明に係る圧電アクチュエータの検査方法および圧電アクチュエータの検査装置において、振動軌跡の取得には、レーザドップラー振動計などの非接触手法を用いることができ、検査対象となる圧電アクチュエータに検査用の電極などを設ける必要がなく、既に装置に取り付けられた圧電アクチュエータに対しても簡単に検査することができる。
【０００９】
ところで、圧電アクチュエータの縦振動および屈曲振動の夫々の固有振動数は、圧電アクチュエータに加わる負荷に応じて変動する。すなわち、圧電アクチュエータの製造時に、各固有振動数が規格内に収まっていても、この圧電アクチュエータが駆動対象を駆動する時には、圧電アクチュエータに対して駆動対象からの反発力（負荷）が加わるため、各固有振動数が変動してしまう。このため、従来の圧電アクチュエータの検査方法では、装置に取り付けられた圧電アクチュエータが駆動対象を駆動するときの動作は、保証されていなかった。
【００１０】
これに対して、本発明に係る圧電アクチュエータの検査方法および圧電アクチュエータの検査装置によれば、取り付けられる装置の駆動対象を圧電アクチュエータが駆動したときの振動軌跡、すなわち、実際の使用の態様に即した振動軌跡が取得され、この振動軌跡から検査対象である圧電アクチュエータが良品か否か、つまり正常な動作をしているか否かが判断されるため、正常な動作であると判断されれば、この圧電アクチュエータが装置に取り付けられて駆動対象を駆動するときの動作が保証される。
【００１１】
ここで、本発明に係る圧電アクチュエータの検査方法および圧電アクチュエータの検査装置において、前記正常振動軌跡は、良品動作する複数の圧電アクチュエータの振動軌跡の夫々を含むべく幅を有し、前記検査対象である振動軌跡が前記正常振動軌跡に含まれない場合に、前記検査対象の圧電アクチュエータの動作を動作不良とすることが望ましい。
【００１２】
また、上記目的を達成するために、本発明は、長手方向を有し、当該長手方向に振動する縦振動と、当該長手方向に直交する幅方向に屈曲する屈曲振動とが組合わさった振動を発生する圧電アクチュエータの当該屈曲振動の固有振動数を調整する圧電アクチュエータの調整方法において、良品動作する圧電アクチュエータが振動により対象物を駆動するときの振動軌跡を正常振動軌跡として取得する第１の過程と、調整対象である圧電アクチュエータが振動により前記対象物を駆動するときの振動軌跡を取得する第２の過程と、前記第１の過程において取得した正常振動軌跡と、前記第２の過程において取得した振動軌跡とを比較し、両者の振動軌跡のずれが一定範囲外である場合に、前記調整対象である圧電アクチュエータの長手方向における重量バランスを調整する第４の過程とを備える圧電アクチュエータの調整方法を提供する。
【００１３】
前記第４の過程において、前記屈曲振動の固有振動数を上げる場合には、前記重量バランスの偏りを小さくする一方、前記屈曲振動の固有振動数を下げる場合には、前記重量バランスの偏りを大きくする。この前記重量バランスの偏りの調整は、レーザトリミングにより行われることが好ましく、また、前記重量バランスの調整は、機械的トリミングにより行われることも好ましい。さらに、前記検査対象の圧電アクチュエータは、前記３の過程における比較の結果に応じた分量だけトリミングされるべき部材を備えることが好ましい。
この圧電アクチュエータの調整方法によれば、前記第３の過程において、動作不良とされた圧電アクチュエータが正常な振動軌跡を描くように調整される。
【００１４】
また、上記目的を達成するために、本発明は、長手方向を有し、当該長手方向に振動する縦振動と、当該長手方向に対して屈曲する屈曲振動とが組合わさった振動を発生し、長手方向を有する支持部材により携帯型時計のカレンダー機構に取り付けられた圧電アクチュエータの前記屈曲振動の固有振動数を調整する圧電アクチュエータの調整方法において、良品動作する圧電アクチュエータが振動により対象物を駆動するときの振動軌跡を正常振動軌跡として取得する第１の過程と、検査対象である圧電アクチュエータが振動により前記対象物を駆動するときの振動軌跡を取得する第２の過程と、前記第１の過程において取得した正常振動軌跡と、前記第２の過程において取得した振動軌跡とを比較し、両者の振動軌跡のずれが一定範囲外である場合に、前記支持部材の長手方向に直交する幅方向をトリミングする第４の過程とを備える圧電アクチュエータの調整方法を提供する。このように、支持部材の幅方向が削られると、この支持部材による前記圧電アクチュエータの拘束力が弱くなり、前記屈曲振動の固有振動数が下がる。これにより、屈曲振動の固有振動数を縦振動の固有振動数に近づけることができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。以下の実施形態においては、検査対象である圧電アクチュエータが腕時計のカレンダー表示機構に取り付けられている場合について例示する。
【００１６】
図１は、腕時計の構成の内、圧電アクチュエータが組み込まれたカレンダー表示機構の主要部構成を示す平面図である。圧電アクチュエータＡ１は、面内方向（図の紙面と平行な方向）に伸縮振動する振動板１０を備えている。この振動板１０の一端は、駆動対象となるロータ１００に当接している。ロータ１００は、地板１０３に回転自在に支持されるとともに、振動板１０と当接する位置に配置されており、振動板１０に生じる振動によってその外周面が叩かれると、図中矢印で示す方向に回転駆動されるようになっている。なお、圧電アクチュエータＡ１の詳細な構成については、後述する。
【００１７】
カレンダー表示機構は、圧電アクチュエータＡ１と連結しており、その駆動力によって駆動される。カレンダー表示機構の主要部は、ロータ１００の回転を減速する減速輪列とリング状の日車５０から大略構成されている。また、減速輪列は、日回し中間車４０と日回し車６０とを備えている。
このような構成の下、振動板１０が面内方向に振動すると、振動板１０と当接しているロータ１００が時計回りに回転させられる。ロータ１００の回転は、日回し中間車４０を介して日回し車６０に伝達され、この日回し車６０が日車５０を時計回り方向に回転させる。
【００１８】
図２は、圧電アクチュエータの構成を示す図である。同図に示すように、圧電アクチュエータＡ１は、図中の左右方向に長く形成された長板状の振動板１０と、この振動板１０を地板１０３（図１参照）に支持する支持部材１１とを備えている。この支持部材１１は、ステンレス鋼などの金属から形成されるものである。
振動板１０の長手方向の端部３５には、ステンレス鋼などの金属から形成される突起部３６がロータ１００側に向けて突設されており、この突起部３６がロータ１００の外周面に接触している。このような突起部３６を設けることにより、ロータ１００との接触面の状態などを維持するために突起部３６に対してのみ研磨などを行えば良いので、ロータ１００との接触部の管理が容易となる。また、このような突起部３６を設けることにより、振動板１０の重量バランスにアンバランスさを持たせ、後に詳述するように当該突起部３６が楕円軌道に沿って移動するようになっている。
【００１９】
振動板１０の長手方向の中央よりもややロータ１００側には、支持部材１１の一端部３７が取り付けられている。支持部材１１の他端部３８は、ネジ３９により地板１０３（図１参照）に支持されている。この構成の下、支持部材１１は、その弾性力によって振動板１０をロータ１００側に付勢した状態で支持しており、これにより振動板１０の突起部３６はロータ１００の側面に当接させられている。このようにロータ１００に当接させられた突起部３６が変位すると、ロータ１００と突起部３６との間の摩擦によりロータ１００も突起部３６に伴って移動させられ、図２中矢印で示す方向に回転駆動されるようになっている。
【００２０】
図３に示すように、振動板１０は、２つの長方形状の圧電素子３０，３１の間に、これらの圧電素子３０，３１とほぼ同形状であり、かつ圧電素子３０，３１よりも肉厚の小さいステンレス鋼などの補強板（補強部）３２を配置した積層構造となっている。このように圧電素子３０，３１の間に補強板３２を配置することにより、振動板１０の過振幅や外力に起因する振動板１０の損傷を低減することができる。また、補強板３２としては、圧電素子３０，３１よりも肉厚の小さいものを用いることにより、圧電素子３０，３１の振動を極力妨げないようにしている。
【００２１】
上下に配置された圧電素子３０，３１の面上には、それぞれ電極３３が配置されている。この電極３３を介して圧電素子３０，３１に電圧が供給されるようになっている。ここで、圧電素子３０，３１としては、チタン酸ジルコニウム酸鉛（ＰＺＴ（商標））、水晶、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウムチタン酸鉛、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン、亜鉛ニオブ酸鉛（（Pb(Zn1/3-Nb2/3)03 1-x-Pb Ti03 x)xは組成により異なる。x=0.09程度）、スカンジウムニオブ酸鉛（（Pb((Sc1/2Nb1/2)1-x Tix)) 03)xは組成により異なる。x=0.09程度）等の各種のものが用いられる。
【００２２】
このような構成の振動板１０は、駆動回路から電極３３を介して圧電素子３０，３１に交流電圧が印加されると、圧電素子３０，３１が伸縮することによって振動するようになっている。その際、図４に示すように、振動板１０が長手方向に伸縮する縦振動で振動するようになっており、これにより振動板１０は図２中矢印で示す方向に振動することになる。このように圧電素子３０，３１に交流電圧を印加して縦振動を励振すると、図５に示すように、振動板１０の重量バランスのアンバランスさによって振動板１０に幅方向の屈曲振動が誘発されることになる。具体的には、振動板１０が縦振動をした場合、その支点（無負荷時には重心）を中心とした回転モーメントが作用し、振動板１０に図示のような屈曲振動が誘発されるようになっている。このような縦振動と屈曲振動とが生じ、両者が結合されると、振動板１０の突起部３６は、図６に示すように楕円軌道に沿って移動する。
【００２３】
また、振動板１０に屈曲振動が誘発されるためには、圧電素子３０、３１には、縦振動の固有振動数ｆａと、屈曲振動の固有振動数ｆｂの中間の周波数を有する交流電圧が印加される必要がある。図７は、振動板１０の振動周波数とインピーダンスとの関係の一例を示す図である。同図に示すように、縦振動モードのインピーダンスの極小値である固有振動数ｆａと、屈曲振動モードのインピーダンスの極小値である固有振動数ｆｂとは、互いに異なる値を有する。そこで、固有振動数ｆａと固有振動数ｆｂとの間でインピーダンスが極大値となる周波数ｆ１と、屈曲振動モードの固有振動数ｆｂとの間の周波数ｆｂ’にて圧電素子３０、３１が駆動されれば、圧電素子３０、３１が縦振動するとともに、屈曲振動が誘発される。さらに、圧電素子３０、３１が屈曲振動の固有振動数ｆｂに近い周波数ｆｂ’にて駆動されるため、大きな屈曲振動が誘発され、振動板１０の突起部３６がより大きな楕円を描くようになる。このように、突起部３６が描く楕円が大きくなるため、突起部３６によりロータ１００に加えられる回転力も大きくなり、駆動効率（圧電素子３０、３１に投入される電力量対ロータ１００の回転数）が高くなる。
【００２４】
さて、本実施形態に係る検査装置は、検査対象となる圧電アクチュエータＡ１の突起部３６が描く楕円軌道を検出し、この楕円軌道が正常なものであるかを判断するものである。
図８は、本実施形態に係る検査装置の機能的構成を示すブロック図である。同図に示すように、検査装置２００は、制御部２０２を備えている。制御部２０２は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの制御手段と、ＲＡＭ(Random Access Memory)やＲＯＭ(Read Only Memory)などの記憶手段を備え、検査装置２００の各部の動作を制御する。
表示部２０８は、例えばＣＲＴ（Cathode Ray Tube）ディスプレイや液晶ディスプレイを備え、制御部２０２の制御の下、各種情報を表示する。
【００２５】
振動測定部２０４は、圧電アクチュエータＡ１の突起部３６の振動による運動速度を非接触で測定し、この測定結果を制御部２０２に出力する。具体的には、同図に示すように、振動測定部２０４は、２つのレーザドップラー振動計３００−Ｘ、３００−Ｙを備えている。レーザドップラー振動計３００−Ｘ、３００−Ｙの夫々は、ＬＤ（Laser Diode）などのレーザ光源を備えている。
図９に示すように、レーザドップラー振動計３００−Ｘは、制御部２０２から測定開始命令を受け取ると、振動駆動されている圧電アクチュエータＡ１の突起部３６に向けてＸ軸方向からレーザ光Ｒｘを照射する。そして、レーザドップラー振動計３００は、その戻り光のドップラーシフト量から突起部３６のＸ軸方向の運動速度を一定時間毎に検出し、各時間毎にＸ軸速度信号として制御部２０２に順次出力する。
【００２６】
一方、レーザドップラー振動計３００−Ｙは、制御部２０２から測定開始命令を受け取ると、振動駆動されている圧電アクチュエータＡ１の突起部３６に向けてＸ軸方向から２つのレーザ光Ｒｙ１、Ｒｙ２を照射する。このレーザ光Ｒｙ２は、レーザ光Ｒｙ１をビームスプリッタなどで分割することで得られたものであり、位相がレーザ光Ｒｙ１と同位相となっている。レーザドップラー振動計３００−Ｙは、夫々の戻り光を干渉させて得られる干渉縞（フリンジ）の時間変動から、突起部３６のＹ軸方向の運動速度を一定時間毎に検出し、各時間毎にＹ軸速度信号として制御部２０２に出力する。ここで、レーザドップラー振動計３００−Ｘ、３００−Ｙの夫々の測定時間間隔は、共に等しく設定されており、レーザドップラー振動計３００−Ｘ、３００−Ｙの夫々は、略同一時間における突起部３６の運動速度を検出するようになっている。なお、図９において、レーザドップラー振動計３００−Ｘ、３００−Ｙの夫々からのレーザ光は、突起部３６に向けて地板１０３に対して略平行に入射するように図示されている。しかしながら、実際には、レーザドップラー振動計３００−Ｘ、３００−Ｙの夫々からのレーザ光が日車５０などのカレンダー表示機構の各部により遮断されるのを防ぐために、これらのレーザ光は、地板１０３に対して斜入射するようになっている。
【００２７】
図８において、制御部２０２は、一定時間毎のＸ軸速度信号とＹ軸速度信号との夫々を時間積分し、各時間毎のＸ軸変位量とＹ軸変位量を求め、一定時間毎のＸ軸変位量およびＹ軸変位量から突起部３６の振動軌跡を特定する。
記憶部２０６は、例えば磁気ディスクや光磁気ディスクなどの記憶装置であり、各種データを記憶している。記憶部２０６が記憶しているデータとしては、例えば、カレンダー表示機構に組み込まれた圧電アクチュエータＡ１の正常振動軌跡から得られる正常振動軌跡データテーブルＴＢＬ１がある。
【００２８】
図１０は、正常動作する圧電アクチュエータＡ１がカレンダー表示機構に組み込まれている場合の突起部３６の振動軌跡、すなわち、正常振動軌跡の一例を示す図である。図１１は、正常振動軌跡テーブルの構成を示す概略図である。
図１０に示すように、正常動作する圧電アクチュエータＡ１の振動軌跡は、楕円軌跡となる。本実施形態では、正常楕円軌跡には、所定の幅（図中斜線で示す）が設けられている。この幅は、ロータ１００を正常に駆動すると見なせ得る振動軌跡が含まれるように設定されている。すなわち、圧電アクチュエータの振動軌跡が図正常楕円軌跡に含まれれば、この圧電アクチュエータは、正常動作するものとされる。
【００２９】
また、図１１に示すように、正常振動軌跡データテーブルＴＢＬ１には、正常振動軌跡のＸ座標とＹ座標の対応関係が記録されている。ここで、正常振動軌跡は、楕円を描くから、１つのＸ座標（図中Ｘａで示す）に対応して２つのＹ座標範囲が存在する場合がある。例えば、図９に示すように、Ｘ座標としてＸ座標ＸａとＸ座標Ｘｂの２つの座標を定めると、Ｘ座標Ｘａには、Ｙ１ａ〜Ｙ１ａ’とＹ２ａ〜Ｙ２ａ’の２つのＹ座標範囲が対応する。一方、Ｘ座標Ｘｂに対応するＹ座標は、Ｙ１ｂ〜Ｙ１ｂ’の１つのＹ座標範囲である。以下の説明においては、このＹ座標範囲を「正常Ｙ座標範囲」と称する。
なお、図１０に示す正常振動軌跡は、圧電アクチュエータＡ１がカレンダー機構に組み込まれた場合の例示に過ぎない。すなわち、圧電アクチュエータＡ１が組み込まれる装置毎に、正常振動軌跡が異なるように設定されても良い。
【００３０】
さて、このような構成の下、検査装置２００は、検査対象の圧電アクチュエータＡ１の振動軌跡を検出して圧電アクチュエータＡ１の振動状態を検査する。
図１２は、検査装置２００のＣＰＵ２０２の処理動作手順を示すフローチャートである。同図に示すように、先ず、制御部２０２は、振動測定部２０４に対して測定開始命令を出力する（ステップＳ１）。振動測定部２０４のレーザドップラー振動計３００−Ｘ、３００−Ｙの夫々は、測定開始命令を受け取ると、検査対象となる圧電アクチュエータＡ１の突起部３６の振動による運動速度を測定する。すなわち、レーザドップラー振動計３００−Ｘは、突起部３６のＸ軸方向の変位速度を一定時間毎に測定し、各時間毎にＸ軸速度信号を制御部２０２に出力する。また、レーザドップラー振動計３００−Ｙは、突起部３６のＹ軸方向の変位速度を一定時間毎に測定し、各時間毎にＹ軸速度信号を制御部２０２に出力する。
【００３１】
制御部２０２は、レーザドップラー振動計３００−Ｘから受け取った各Ｘ軸速度信号を時間積分して、一定時間毎のＸ軸変位量を求める一方、レーザドップラー振動計３００−Ｙから受け取った各Ｙ軸速度信号を時間積分して、一定時間毎のＹ軸変位量を求め、Ｘ軸変位量とＹ軸変位量の夫々から検査対象の圧電アクチュエータＡ１の振動軌跡を特定する（ステップＳ２）、そして、制御部２０２は、この振動軌跡から測定データテーブルＴＢＬ２をＲＡＭ内に作成する（ステップＳ３）。図１３は、測定データテーブルＴＢＬ２の構成を示す概略図である。同図に示すように、測定データテーブルＴＢＬ２には、ステップＳ２において特定された振動軌跡が座標情報として記録されている。すなわち、測定データテーブルＴＢＬ２には、振動軌跡のＸ座標値（以下、「測定Ｘ座標値Ｘｓ」という）と、Ｙ座標値（以下、「測定Ｙ座標値Ｙｓという」）とが対応付けられている。
【００３２】
さて、制御部２０２は、正常振動軌跡データテーブルＴＢＬ１１と測定データテーブルＴＢＬ２とから、検査対象の圧電アクチュエータＡ１が正常な振動を行っているかを判断すべく次の処理を行う。
すなわち、制御部２０２は、測定データテーブルＴＢＬ２から先頭レコードを取り出す（ステップＳ４）。次いで、制御部２０２は、このレコードに記録されている測定Ｙ座標値Ｙｓが、正常Ｙ座標範囲に含まれるか否かを判断する。具体的には、制御部２０２は、このレコードの測定Ｘ座標値Ｘｓを、Ｘ座標の検索キーとして正常振動軌跡データテーブルＴＢＬ１の各レコードを検索し、該当するレコードを抽出する（ステップＳ５）。そして、制御部２０２は、抽出したレコードに記録されている正常Ｙ座標範囲に、測定Ｙ座標値Ｙｓが含まれるかを判断する（ステップＳ６）。この判断の結果が「ＹＥＳ」であれば、制御部２０２は、ステップＳ５、Ｓ６において処理したレコードが測定データテーブルＴＢＬ２の最後のレコードであるかを判断する（ステップＳ７）。この判断結果が「ＮＯ」であれば、制御部２０２は、次のレコードを処理すべく、測定データテーブルＴＢＬ２から次のレコードを取り出し（ステップＳ８）、処理手順をステップＳ５に戻す。
【００３３】
ステップＳ６における判断結果が「ＮＯ」であれば、検査対象の圧電アクチュエータＡ１の振動動作は、正常でないため、制御部２０２は、この圧電アクチュエータＡ１が動作不良である旨を表示部２０８に表示させる（ステップＳ９）。また、ステップＳ７における判断結果が「ＹＥＳ」であれば、検査対象の圧電アクチュエータＡ１の振動動作が正常であるため、制御部２０２は、この圧電アクチュエータＡ１の動作が正常である旨を表示部２０８に表示させる（ステップＳ１０）。
【００３４】
このように、本実施形態の検査装置２００は、圧電アクチュエータＡ１が駆動対象（本実施形態では、腕時計のカレンダー表示機構のロータ１００）を実際に駆動させたときの振動軌跡から、この圧電アクチュエータが良品かを判断するから、圧電アクチュエータが良品と判断されれば、圧電アクチュエータが装置に組み込まれて、駆動対象を駆動するときの動作が保証される。
また、この検査装置２００によれば、縦振動と屈曲振動の夫々の固有振動数の測定が必要なく、検査装置２００が検査対象の圧電アクチュエータの一端の振動軌跡を取得し、これを正常な振動軌跡と比較するだけで簡単に圧電アクチュエータの動作が検査される。
さらに、検査装置２００は、非接触手法であるレーザドップラー振動計３００−Ｘ、３００−Ｙを用いて圧電アクチュエータＡ１の振動軌跡を取得するため、圧電アクチュエータが装置に組み込まれた状態であっても、簡単に検査することができる。なお、検査される圧電アクチュエータは、実際に駆動するであろう駆動対象と同等の対象物を駆動していれば、実際に装置に組み込まれていなくても良い。ここで、駆動対象と同等の対象物とは、圧電アクチュエータが駆動対象から受ける反発力などが略等しくなるように設計された対象物を意味する。
【００３５】
ところで、圧電アクチュエータＡ１の縦振動の固有振動数ｆａと屈曲振動の固有振動数ｆｂが近ければ、この圧電アクチュエータＡ１の振動軌跡は、楕円に近いものとなる。しかしながら、夫々の固有振動数が離れていると、圧電アクチュエータＡ１の振動軌跡が楕円軌道から反れ、この圧電アクチュエータＡ１は、正常な振動を行わない。そこで、上述のステップＳ２において特定された圧電アクチュエータＡ１の振動軌跡が楕円軌道から離れている場合に、屈曲振動の固有振動数ｆｂを縦振動の固有振動数ｆａに近づければ、この圧電アクチュエータＡ１が正常な振動をするように調整することができる。
【００３６】
具体的には、特定された振動軌跡に応じて支持部材１１の幅を調整する。図１４は、支持部材幅Ｗと屈曲振動の固有振動数ｆｂとの関係の一例を示す図である。同図に示されるように、支持部材幅Ｗが狭くなるに従い、支持部材１１による圧電アクチュエータＡ１の拘束力が小さくなるため、屈曲振動の固有振動数ｆｂも小さくなる。このように、支持部材幅Ｗを調整すれば、屈曲振動の固有振動数ｆｂも調整される。
そこで、検査対象の圧電アクチュエータＡ１の振動軌跡から、屈曲振動の固有振動数ｆｂが縦振動の固有振動数よりも大きいと特定された場合に、支持部材１１の幅方向をＹＡＧレーザなどの加工用レーザによりトリミングすれば、屈曲振動の固有振動数ｆｂを縦振動の固有振動数に近づけることができ、圧電アクチュエータＡ１が正常な振動を行うようにすることができる。
【００３７】
ところで、支持部材幅Ｗをトリミングするといった固有振動数ｆｂの調整方法では、屈曲振動の固有振動数ｆｂを上げることはできない。そこで、予め支持部材１１の幅を設計値よりも大きくしておけば、屈曲振動の固有振動数ｆｂは、縦振動の固有振動数ｆａよりも必ず大きくなる。このようにすることで、圧電アクチュエータＡ１の振動軌跡に応じて支持部材１１の幅方向をトリミングして、屈曲振動の固有振動数ｆｂを下げる調整を行えば、屈曲振動の固有振動数ｆｂが縦振動の固有振動数ｆａに近づくので、圧電アクチュエータＡ１が正常動作するように調整することができる。
【００３８】
＜変形例＞
上述した実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、本発明の範囲内で任意に変更可能である。そこで以下に、各種の変形例を説明する。
【００３９】
（変形例１）
上述した実施形態において、検査装置２００が腕時計のカレンダー表示機構に組み込まれた圧電アクチュエータＡ１の振動状態を検査する場合について例示したが、圧電アクチュエータＡ１が組み込まれる装置は、これに限定されず、プリンタのインクジェットノズルや携帯電話などの任意の電子機器であっても良い。また、検査装置２００は、圧電アクチュエータＡ１の突起部３６の振動軌跡を測定したが、これに限らず、圧電アクチュエータＡ１における振動板１０の端部３５の振動軌跡を測定しても良い。
【００４０】
（変形例２）
上述した実施形態に係る検査装置２００においては、支持部材１１をトリミングするためにレーザ光が用いられたが、これに限らず、例えばワイヤーソーやダイシングなどの機械加工装置が用いられても良い。
また、トリミングされる部材は、支持部材１１に限定されない。さらに説明すると、圧電アクチュエータＡ１の屈曲振動は、振動板１０の長手方向における重量バランスのアンバランスさに起因する回転モーメントによって誘発されるから、その固有振動数ｆｂは、振動板１０の回転モーメントに依存する。すなわち、振動板１０の重量バランスの調整により回転モーメントが変更されれば、屈曲振動の固有振動数ｆｂも変更される。従って、検査装置２００は、支持部材１１をトリミングするに代えて、重量バランスを増化または減少させるように振動板１０をトリミングしても良い。
【００４１】
さらに詳述すると、一般に慣性モーメントによる物体振動の固有振動数は、慣性モーメントが小さくなるに従って大きくなる。そこで、検査装置２００は、屈曲振動の固有振動数ｆｂを高める調整をする場合に、振動板１０の重量バランスが小さくすべく突起部３６が設けられる端部３５付近をトリミングする。また、検査装置２００は、屈曲振動の固有振動数ｆｂを低くする調整をする場合に、振動板１０の重量バランスが大きくすべく突起部３６が設けられた端部３５とは逆の端部付近をトリミングする。なお、検査装置２００が重量バランスを調整すべく、振動板１０のどこをトリミングするかは任意である。しかしながら、振動板１０の電極以外の部分がトリミングされることが望ましい。また、圧電アクチュエータＡ１の製造過程において、例えば銅や金などの金属を端部３５に蒸着させておき、特定された振動軌跡に応じて、この蒸着部分をレーザ照射などで除去することにより、重量バランスの調整を行っても良い。
【００４２】
（変形例３）
上述した実施形態において、検査装置２００は、検査対象の圧電アクチュエータＡ１の振動軌跡と、正常振動軌跡とを比較する際に、振動軌跡の座標が正常振動軌跡に含まれているか否かを判断した。これに限らず、検査装置２００は、夫々の振動軌跡を画像データで表し、各画像データ同士を比較するようにしても良い。
また、圧電アクチュエータＡ１は、先端部３６がロータ１００に対して接触と離脱を繰り返することで、このロータ１００を駆動する。従って、先端部３６がロータ１００に接触する期間で描く軌跡が正常であれば、ロータ１００は、正常に駆動される。そこで、検査装置２００は、特定した振動軌跡のうち、ロータ１００との接触期間に対応する部分だけを、正常振動軌跡と比較するようにしても良い。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、圧電アクチュエータの振動を簡易かつ正確に検査することができる検査方法、この検査結果に応じて圧電アクチュエータの振動を調整する調整方法、および検査装置が提供される。
【００４４】
【図面の簡単な説明】
【図１】腕時計における圧電アクチュエータを備えたカレンダー表示機構の主要構成を示す平面図である。
【図２】前記圧電アクチュエータの全体構成を示す平面図である。
【図３】前記圧電アクチュエータの構成要素である振動板を示す側断面図である。
【図４】前記振動板が縦振動する様子を示す図である。
【図５】前記振動板が縦振動することにより誘発される屈曲振動を説明するための図である。
【図６】前記圧電アクチュエータの先端部の動作の様子を示す図である。
【図７】前記振動板の振動周波数とインピーダンスとの関係の一例を示す図である。
【図８】本発明の実施形態に係る検査装置の機能的構成を示すブロック図である。
【図９】同振動軌跡の測定を説明するための図である。
【図１０】同正常振動軌跡を示す図である。
【図１１】同正常振動軌跡データテーブルの構成を示す概略図である。
【図１２】同検査装置により実行される処理手順を示すフローチャートである。
【図１３】同測定データテーブルの構成を示す概略図である。
【図１４】支持部材幅と屈曲振動の固有振動数の関係の一例を示す図である。
【符号の説明】
Ａ１…圧電アクチュエータ、ＴＢＬ１…正常振動軌跡データテーブル、ＴＢＬ２…測定データテーブル、１０…振動板、１１…支持部材、３５…突起部３６…突起部、３０…圧電素子、３２…補強板、１００…ロータ、２００…検査装置、２０２…ＣＰＵ、２０４…振動軌跡測定部、２０６…記憶部、２０８…表示部、３００−Ｘ、３００−Ｙ…レーザドップラー振動計[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an inspection method for inspecting a vibration state of a piezoelectric actuator, an adjustment method for adjusting the vibration state of a piezoelectric actuator in accordance with the inspection result, and an inspection apparatus.
[0002]
[Prior art]
Since the piezoelectric element is excellent in conversion efficiency from electric energy to mechanical energy and responsiveness, various piezoelectric actuators utilizing the piezoelectric effect of the piezoelectric element have been developed. As this piezoelectric actuator, one that longitudinally vibrates only in the longitudinal direction is generally known. However, in recent years, a piezoelectric actuator that vibrates by combining this longitudinal vibration and a bending vibration in the width direction orthogonal to the longitudinal direction is known. Has been developed. This piezoelectric actuator performs longitudinal vibration and bending vibration when an AC voltage having a frequency that is intermediate between the natural frequency of longitudinal vibration and the natural frequency of bending vibration is applied. As described above, in order for the piezoelectric actuator to simultaneously perform the longitudinal vibration and the bending vibration, the respective natural frequencies need to be within the standard.
Therefore, in the manufacturing process of the piezoelectric actuator, it has been manufactured by measuring each of the natural frequency of the longitudinal vibration and the natural frequency of the bending vibration and judging whether each measured value is within the standard. Inspections are performed to determine whether the piezoelectric actuator vibrates normally.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, there is a problem that it is technically difficult to measure the natural frequency of the longitudinal vibration and the natural frequency of the bending vibration. Further, in the conventional inspection, there is a problem that even if each natural frequency of the piezoelectric actuator is within the standard, it cannot be guaranteed until the piezoelectric actuator vibrates normally when it is attached to the apparatus. .
[0004]
The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and a piezoelectric actuator inspection method capable of simply and accurately inspecting the vibration of the piezoelectric actuator, and a piezoelectric device that adjusts the vibration of the piezoelectric actuator according to the inspection result. An object of the present invention is to provide an actuator adjustment method and a piezoelectric actuator inspection apparatus.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention provides a first process of acquiring a vibration locus as a normal vibration locus when a piezoelectric actuator that operates as a non-defective product drives an object by vibration, and a piezoelectric actuator that is an inspection object vibrates. The second process of acquiring the vibration trajectory when driving the object by comparing the normal vibration trajectory acquired in the first process with the vibration trajectory acquired in the second process, There is provided a method for inspecting a piezoelectric actuator comprising a third step of causing the operation of the piezoelectric actuator to be inspected to malfunction when the deviation of the vibration trajectory is outside a certain range.
[0006]
In order to achieve the above object, the present invention provides a first acquisition means for acquiring, as a normal vibration locus, a vibration locus when a non-defective piezoelectric actuator drives an object by vibration, and a piezoelectric object to be inspected. A second acquisition means for acquiring a vibration locus when the actuator drives the object by vibration, a normal vibration locus acquired in the first process, and a vibration locus acquired in the second process are compared. And a piezoelectric actuator inspection device comprising: output means for outputting information indicating that the operation of the piezoelectric actuator to be inspected is defective when the deviation between the vibration trajectories of the both is out of a certain range. .
[0007]
According to the piezoelectric actuator inspection method and the piezoelectric actuator inspection apparatus according to the present invention, a vibration locus when a non-defective piezoelectric actuator drives an object by vibration is acquired as a normal vibration locus. In addition, a vibration trajectory when the piezoelectric actuator to be inspected drives the object by vibration is acquired. Then, the normal vibration trajectory is compared with the vibration trajectory of the piezoelectric actuator that is the inspection target, and when the deviation between the vibration trajectories is outside a certain range, the operation of the piezoelectric actuator that is the inspection target is defective. Is done.
[0008]
Therefore, according to the piezoelectric actuator inspection method and the piezoelectric actuator inspection apparatus according to the present invention, it is not necessary to measure the natural frequency of each of the longitudinal vibration and the bending vibration, and the vibration locus of one end of the piezoelectric actuator to be inspected is determined. The operation can be easily inspected simply by acquiring and comparing this with a normal vibration trajectory. Further, in the piezoelectric actuator inspection method and the piezoelectric actuator inspection apparatus according to the present invention, a non-contact method such as a laser Doppler vibrometer can be used to acquire the vibration trajectory, and the piezoelectric actuator to be inspected is used for inspection. There is no need to provide the electrodes, and the piezoelectric actuator already attached to the apparatus can be easily inspected.
[0009]
By the way, the natural frequency of each of the longitudinal vibration and the bending vibration of the piezoelectric actuator varies depending on the load applied to the piezoelectric actuator. That is, even when each natural frequency is within the standard when the piezoelectric actuator is manufactured, when this piezoelectric actuator drives the driving target, a repulsive force (load) from the driving target is applied to the piezoelectric actuator. Each natural frequency will fluctuate. For this reason, in the conventional method for inspecting a piezoelectric actuator, the operation when the piezoelectric actuator attached to the apparatus drives the object to be driven has not been guaranteed.
[0010]
On the other hand, according to the piezoelectric actuator inspection method and the piezoelectric actuator inspection apparatus according to the present invention, the vibration trajectory when the piezoelectric actuator is driven as the drive target of the apparatus to be attached, that is, in accordance with the actual usage mode. The vibration trajectory obtained is acquired, and from this vibration trajectory, it is determined whether the piezoelectric actuator to be inspected is a non-defective product, that is, whether it is operating normally. The operation when the piezoelectric actuator is attached to the apparatus to drive the driven object is guaranteed.
[0011]
Here, in the piezoelectric actuator inspection method and the piezoelectric actuator inspection apparatus according to the present invention, the normal vibration trajectory has a width so as to include each of the vibration trajectories of the plurality of piezoelectric actuators operating as good products. When a certain vibration trajectory is not included in the normal vibration trajectory, it is desirable that the operation of the piezoelectric actuator to be inspected be defective.
[0012]
In order to achieve the above object, the present invention has a longitudinal vibration that is a combination of a longitudinal vibration that vibrates in the longitudinal direction and a bending vibration that bends in the width direction perpendicular to the longitudinal direction. In a piezoelectric actuator adjustment method for adjusting the natural frequency of the bending vibration of a generated piezoelectric actuator, a first process of acquiring a vibration locus when a non-defective piezoelectric actuator drives an object by vibration as a normal vibration locus And a second process of acquiring a vibration locus when the piezoelectric actuator to be adjusted drives the object by vibration, a normal vibration locus acquired in the first process, and acquired in the second process. If the deviation between the two vibration trajectories is outside a certain range, the longitudinal direction of the piezoelectric actuator to be adjusted is compared. It provides a preparation method of a piezoelectric actuator and a fourth step of adjusting the weight balance that.
[0013]
In the fourth process, when the natural frequency of the bending vibration is increased, the weight balance bias is reduced, while when the natural frequency of the bending vibration is decreased, the weight balance bias is increased. To do. The adjustment of the weight balance deviation is preferably performed by laser trimming, and the weight balance adjustment is also preferably performed by mechanical trimming. Furthermore, it is preferable that the piezoelectric actuator to be inspected includes a member to be trimmed by an amount corresponding to the result of comparison in the process of 3.
According to this method for adjusting a piezoelectric actuator, in the third process, the piezoelectric actuator that is malfunctioning is adjusted so as to draw a normal vibration locus.
[0014]
In order to achieve the above object, the present invention generates a vibration having a longitudinal direction and a combination of a longitudinal vibration that vibrates in the longitudinal direction and a bending vibration that is bent with respect to the longitudinal direction. In a piezoelectric actuator adjustment method for adjusting the natural frequency of the bending vibration of a piezoelectric actuator attached to a calendar mechanism of a portable timepiece by a support member having a longitudinal direction, the piezoelectric actuator operating as a non-defective product drives an object by vibration. A first process of acquiring a vibration trajectory as a normal vibration trajectory, a second process of acquiring a vibration trajectory when a piezoelectric actuator as an inspection target drives the object by vibration, and the first process The normal vibration trajectory acquired in step 2 is compared with the vibration trajectory acquired in the second process. When that provides a preparation method of a piezoelectric actuator and a fourth step for trimming the width direction orthogonal to the longitudinal direction of the support member. As described above, when the width direction of the support member is cut, the restraining force of the piezoelectric actuator by the support member becomes weak, and the natural frequency of the bending vibration decreases. Thereby, the natural frequency of the bending vibration can be brought close to the natural frequency of the longitudinal vibration.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, a case where a piezoelectric actuator to be inspected is attached to a calendar display mechanism of a wristwatch will be exemplified.
[0016]
FIG. 1 is a plan view showing a main part configuration of a calendar display mechanism in which a piezoelectric actuator is incorporated in a wristwatch configuration. The piezoelectric actuator A1 includes a diaphragm 10 that expands and contracts in an in-plane direction (a direction parallel to the drawing sheet). One end of the diaphragm 10 is in contact with the rotor 100 to be driven. The rotor 100 is rotatably supported by the base plate 103 and is disposed at a position in contact with the diaphragm 10. When the outer peripheral surface of the rotor 100 is hit by vibration generated in the diaphragm 10, the rotor 100 is moved in the direction indicated by the arrow in the figure. It is designed to rotate. The detailed configuration of the piezoelectric actuator A1 will be described later.
[0017]
The calendar display mechanism is connected to the piezoelectric actuator A1 and is driven by the driving force. The main part of the calendar display mechanism is mainly composed of a speed reduction wheel train for reducing the rotation of the rotor 100 and a ring-shaped date wheel 50. The speed reduction wheel train includes a date turning intermediate wheel 40 and a date turning wheel 60.
Under such a configuration, when the vibration plate 10 vibrates in the in-plane direction, the rotor 100 in contact with the vibration plate 10 is rotated clockwise. The rotation of the rotor 100 is transmitted to the date indicator driving wheel 60 through the date indicator driving intermediate wheel 40, and the date indicator driving wheel 60 rotates the date indicator 50 in the clockwise direction.
[0018]
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of the piezoelectric actuator. As shown in the figure, the piezoelectric actuator A1 has a long plate-like diaphragm 10 formed long in the left-right direction in the figure, and a support member 11 that supports the diaphragm 10 on a ground plate 103 (see FIG. 1). It has. The support member 11 is formed from a metal such as stainless steel.
A protruding portion 36 formed of a metal such as stainless steel protrudes from the longitudinal end portion 35 of the diaphragm 10 toward the rotor 100, and this protruding portion 36 contacts the outer peripheral surface of the rotor 100. is doing. By providing such a protrusion 36, it is only necessary to polish the protrusion 36 in order to maintain the state of the contact surface with the rotor 100, etc., so that the contact portion with the rotor 100 can be easily managed. It becomes. Further, by providing such a protrusion 36, the weight balance of the diaphragm 10 is unbalanced, and the protrusion 36 moves along an elliptical orbit as will be described in detail later. .
[0019]
One end 37 of the support member 11 is attached to the rotor 100 side slightly from the longitudinal center of the diaphragm 10. The other end portion 38 of the support member 11 is supported by the base plate 103 (see FIG. 1) with screws 39. Under this configuration, the support member 11 supports the diaphragm 10 in a state in which the diaphragm 10 is urged toward the rotor 100 by its elastic force, thereby causing the protrusion 36 of the diaphragm 10 to abut against the side surface of the rotor 100. It has been. When the projection 36 abutted against the rotor 100 is displaced in this way, the rotor 100 is also moved along with the projection 36 due to friction between the rotor 100 and the projection 36, and the direction indicated by the arrow in FIG. Are driven to rotate.
[0020]
As shown in FIG. 3, the diaphragm 10 is between the two rectangular piezoelectric elements 30, 31 and has substantially the same shape as the piezoelectric elements 30, 31 and is thicker than the piezoelectric elements 30, 31. It has a laminated structure in which a reinforcing plate (reinforcing part) 32 such as a small stainless steel is arranged. By disposing the reinforcing plate 32 between the piezoelectric elements 30 and 31 in this way, damage to the diaphragm 10 due to overamplitude or external force of the diaphragm 10 can be reduced. Further, as the reinforcing plate 32, a member having a thickness smaller than that of the piezoelectric elements 30 and 31 is used so as not to disturb the vibration of the piezoelectric elements 30 and 31 as much as possible.
[0021]
Electrodes 33 are respectively disposed on the surfaces of the piezoelectric elements 30 and 31 disposed above and below. A voltage is supplied to the piezoelectric elements 30 and 31 via the electrode 33. Here, as the piezoelectric elements 30 and 31, lead zirconate titanate (PZT (trademark)), crystal, lithium niobate, lead barium titanate titanate, lead metaniobate, polyvinylidene fluoride, lead zinc niobate (( Pb (Zn1 / 3-Nb2 / 3) 03 1-x-Pb Ti03 x) x varies depending on the composition, x = 0.09), lead scandium niobate ((Pb ((Sc1 / 2Nb1 / 2) 1-x Tix )) 03) x varies depending on the composition. Various types such as x = 0.09) are used.
[0022]
When the AC voltage is applied to the piezoelectric elements 30 and 31 from the drive circuit via the electrode 33, the diaphragm 10 having such a configuration is vibrated by expansion and contraction of the piezoelectric elements 30 and 31. At that time, as shown in FIG. 4, the vibration plate 10 vibrates by longitudinal vibration that expands and contracts in the longitudinal direction, and thus the vibration plate 10 vibrates in the direction indicated by the arrow in FIG. 2. Thus, when an AC voltage is applied to the piezoelectric elements 30 and 31 to excite longitudinal vibration, bending vibration in the width direction is induced in the diaphragm 10 due to imbalance in the weight balance of the diaphragm 10 as shown in FIG. Will be. Specifically, when the vibration plate 10 vibrates longitudinally, a rotational moment about its fulcrum (the center of gravity when no load is applied) acts, and bending vibration as illustrated is induced in the vibration plate 10. ing. When such longitudinal vibration and bending vibration occur and are combined, the protrusion 36 of the diaphragm 10 moves along an elliptical orbit as shown in FIG.
[0023]
In order to induce bending vibration in the diaphragm 10, an alternating voltage having a frequency intermediate between the natural frequency fa of longitudinal vibration and the natural frequency fb of bending vibration is applied to the piezoelectric elements 30 and 31. Need to be done. FIG. 7 is a diagram illustrating an example of the relationship between the vibration frequency and the impedance of the diaphragm 10. As shown in the figure, the natural frequency fa which is the minimum value of the impedance in the longitudinal vibration mode and the natural frequency fb which is the minimum value of the impedance in the bending vibration mode have different values. Therefore, the piezoelectric elements 30 and 31 are driven at the frequency f1 between the natural frequency fb and the natural frequency fb between the natural frequency fa and the natural frequency fb, and the frequency fb ′ between the natural frequency fb in the bending vibration mode. Then, the piezoelectric elements 30 and 31 vibrate longitudinally and bending vibration is induced. Furthermore, since the piezoelectric elements 30 and 31 are driven at a frequency fb ′ close to the natural frequency fb of the bending vibration, a large bending vibration is induced, and the protrusion 36 of the diaphragm 10 draws a larger ellipse. . Thus, since the ellipse drawn by the protrusion 36 becomes larger, the rotational force applied to the rotor 100 by the protrusion 36 also increases, and the driving efficiency (the amount of power input to the piezoelectric elements 30 and 31 versus the rotation speed of the rotor 100). Becomes higher.
[0024]
The inspection apparatus according to the present embodiment detects an elliptical orbit drawn by the protrusion 36 of the piezoelectric actuator A1 to be inspected and determines whether the elliptical orbit is normal.
FIG. 8 is a block diagram showing a functional configuration of the inspection apparatus according to the present embodiment. As shown in the figure, the inspection apparatus 200 includes a control unit 202. The control unit 202 includes control means such as a CPU (Central Processing Unit) and storage means such as RAM (Random Access Memory) and ROM (Read Only Memory), and controls the operation of each part of the inspection apparatus 200.
The display unit 208 includes, for example, a CRT (Cathode Ray Tube) display or a liquid crystal display, and displays various types of information under the control of the control unit 202.
[0025]
The vibration measurement unit 204 measures the movement speed due to the vibration of the protrusion 36 of the piezoelectric actuator A1 in a non-contact manner, and outputs the measurement result to the control unit 202. Specifically, as shown in the figure, the vibration measuring unit 204 includes two laser Doppler vibrometers 300-X and 300-Y. Each of the laser Doppler vibrometers 300-X and 300-Y includes a laser light source such as an LD (Laser Diode).
As shown in FIG. 9, upon receiving a measurement start command from the control unit 202, the laser Doppler vibrometer 300-X emits the laser beam Rx from the X-axis direction toward the protrusion 36 of the piezoelectric actuator A1 that is driven to vibrate. Irradiate. The laser Doppler vibrometer 300 detects the movement speed in the X-axis direction of the protrusion 36 at regular intervals from the amount of Doppler shift of the return light, and sequentially outputs it to the control unit 202 as an X-axis speed signal at each time. To do.
[0026]
On the other hand, upon receiving a measurement start command from the control unit 202, the laser Doppler vibrometer 300-Y emits two laser beams Ry1 and Ry2 from the X-axis direction toward the projecting portion 36 of the piezoelectric actuator A1 that is driven by vibration. To do. This laser beam Ry2 is obtained by dividing the laser beam Ry1 with a beam splitter or the like, and has the same phase as the laser beam Ry1. The laser Doppler vibrometer 300-Y detects the movement speed in the Y-axis direction of the protrusion 36 at regular intervals from the time variation of interference fringes (fringes) obtained by interfering the respective return lights. To the control unit 202 as a Y-axis speed signal. Here, the measurement time intervals of the laser Doppler vibrometers 300-X and 300-Y are both set to be equal, and the laser Doppler vibrometers 300-X and 300-Y each have a protrusion at substantially the same time. 36 motion speeds are detected. In FIG. 9, the laser beams from the laser Doppler vibrometers 300 -X and 300 -Y are illustrated so as to enter the base plate 103 substantially in parallel toward the protrusion 36. However, in practice, in order to prevent the laser light from each of the laser Doppler vibrometers 300-X and 300-Y from being blocked by each part of the calendar display mechanism such as the date wheel 50, these laser lights are Incidently incident on 103.
[0027]
In FIG. 8, the control unit 202 time-integrates each of the X-axis velocity signal and the Y-axis velocity signal at regular time intervals to obtain an X-axis displacement amount and a Y-axis displacement amount at each time interval. The vibration locus of the protrusion 36 is specified from the X-axis displacement amount and the Y-axis displacement amount.
The storage unit 206 is a storage device such as a magnetic disk or a magneto-optical disk, and stores various data. The data stored in the storage unit 206 includes, for example, a normal vibration locus data table TBL1 obtained from the normal vibration locus of the piezoelectric actuator A1 incorporated in the calendar display mechanism.
[0028]
FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a vibration locus of the protrusion 36, that is, a normal vibration locus when the piezoelectric actuator A1 that operates normally is incorporated in the calendar display mechanism. FIG. 11 is a schematic diagram illustrating a configuration of a normal vibration trajectory table.
As shown in FIG. 10, the vibration locus of the normally operating piezoelectric actuator A1 is an elliptical locus. In the present embodiment, the normal elliptical locus is provided with a predetermined width (indicated by hatching in the figure). This width is set so as to include a vibration locus that can be considered to drive the rotor 100 normally. That is, if the vibration locus of the piezoelectric actuator is included in the normal elliptical locus in the figure, the piezoelectric actuator is assumed to operate normally.
[0029]
As shown in FIG. 11, the normal vibration locus data table TBL1 records the correspondence between the X coordinate and the Y coordinate of the normal vibration locus. Here, since the normal vibration locus draws an ellipse, there may be two Y coordinate ranges corresponding to one X coordinate (indicated by Xa in the figure). For example, as shown in FIG. 9, when two coordinates of the X coordinate Xa and the X coordinate Xb are defined as the X coordinate, two Y coordinate ranges of Y1a to Y1a ′ and Y2a to Y2a ′ correspond to the X coordinate Xa. To do. On the other hand, the Y coordinate corresponding to the X coordinate Xb is one Y coordinate range of Y1b to Y1b ′. In the following description, this Y coordinate range is referred to as a “normal Y coordinate range”.
The normal vibration trajectory shown in FIG. 10 is merely an example when the piezoelectric actuator A1 is incorporated in a calendar mechanism. That is, the normal vibration trajectory may be set to be different for each device in which the piezoelectric actuator A1 is incorporated.
[0030]
Now, with such a configuration, the inspection apparatus 200 detects the vibration locus of the piezoelectric actuator A1 to be inspected and inspects the vibration state of the piezoelectric actuator A1.
FIG. 12 is a flowchart showing a processing operation procedure of the CPU 202 of the inspection apparatus 200. As shown in the figure, first, the control unit 202 outputs a measurement start command to the vibration measurement unit 204 (step S1). When each of the laser Doppler vibrometers 300-X and 300-Y of the vibration measuring unit 204 receives the measurement start command, the laser Doppler vibrometers 300-X and 300-Y measure the motion speed due to the vibration of the protrusion 36 of the piezoelectric actuator A1 to be inspected. That is, the laser Doppler vibrometer 300-X measures the displacement speed in the X-axis direction of the protrusion 36 at regular intervals, and outputs an X-axis velocity signal to the controller 202 at each time. The laser Doppler vibrometer 300-Y measures the displacement speed of the protrusion 36 in the Y-axis direction at regular intervals, and outputs a Y-axis speed signal to the controller 202 at each time.
[0031]
The control unit 202 time-integrates each X-axis velocity signal received from the laser Doppler vibrometer 300-X to obtain an X-axis displacement amount at regular time intervals, while each Y received from the laser Doppler vibrometer 300-Y. The axis velocity signal is integrated over time to obtain a Y-axis displacement amount at fixed time intervals, and a vibration locus of the piezoelectric actuator A1 to be inspected is specified from each of the X-axis displacement amount and the Y-axis displacement amount (step S2). The control unit 202 creates a measurement data table TBL2 in the RAM from this vibration trajectory (step S3). FIG. 13 is a schematic diagram showing the configuration of the measurement data table TBL2. As shown in the figure, the vibration locus specified in step S2 is recorded as coordinate information in the measurement data table TBL2. That is, in the measurement data table TBL2, the X coordinate value (hereinafter referred to as “measurement X coordinate value Xs”) of the vibration locus and the Y coordinate value (hereinafter referred to as “measurement Y coordinate value Ys”) are associated with each other. Yes.
[0032]
The control unit 202 performs the following process to determine whether the piezoelectric actuator A1 to be inspected is performing normal vibration from the normal vibration locus data table TBL11 and the measurement data table TBL2.
That is, the control unit 202 takes out the first record from the measurement data table TBL2 (step S4). Next, the control unit 202 determines whether or not the measurement Y coordinate value Ys recorded in this record is included in the normal Y coordinate range. Specifically, the control unit 202 searches each record of the normal vibration trajectory data table TBL1 using the measured X coordinate value Xs of this record as an X coordinate search key, and extracts a corresponding record (step S5). Then, the control unit 202 determines whether or not the measured Y coordinate value Ys is included in the normal Y coordinate range recorded in the extracted record (step S6). If the result of this determination is “YES”, the control unit 202 determines whether or not the record processed in steps S5 and S6 is the last record in the measurement data table TBL2 (step S7). If the determination result is “NO”, the control unit 202 retrieves the next record from the measurement data table TBL2 to process the next record (step S8), and returns the processing procedure to step S5.
[0033]
If the determination result in step S6 is “NO”, the vibration operation of the piezoelectric actuator A1 to be inspected is not normal, and the control unit 202 causes the display unit 208 to display that the piezoelectric actuator A1 is malfunctioning. (Step S9). If the determination result in step S7 is “YES”, since the vibration operation of the piezoelectric actuator A1 to be inspected is normal, the control unit 202 displays that the operation of the piezoelectric actuator A1 is normal. (Step S10).
[0034]
As described above, the inspection apparatus 200 according to the present embodiment is configured so that the piezoelectric actuator A1 is driven from the vibration trajectory when the driving target (in this embodiment, the rotor 100 of the calendar display mechanism of the wristwatch) is actually driven. Since it is determined whether it is a non-defective product, if it is determined that the piezoelectric actuator is a non-defective product, the piezoelectric actuator is incorporated in the apparatus, and the operation when driving the drive target is guaranteed.
Further, according to the inspection apparatus 200, it is not necessary to measure the natural frequencies of the longitudinal vibration and the bending vibration, and the inspection apparatus 200 acquires a vibration locus of one end of the piezoelectric actuator to be inspected, and this is used as a normal vibration. The operation of the piezoelectric actuator is simply inspected simply by comparing with the trajectory.
Furthermore, since the inspection apparatus 200 acquires the vibration trajectory of the piezoelectric actuator A1 using the laser Doppler vibrometers 300-X and 300-Y which are non-contact methods, even if the piezoelectric actuator is incorporated in the apparatus. Can be easily inspected. Note that the piezoelectric actuator to be inspected does not need to be actually incorporated in the apparatus as long as it drives an object equivalent to the driving object that will actually be driven. Here, the object equivalent to the driving object means an object designed so that the repulsive force received by the piezoelectric actuator from the driving object is substantially equal.
[0035]
If the natural frequency fa of the longitudinal vibration of the piezoelectric actuator A1 and the natural frequency fb of the bending vibration are close, the vibration locus of the piezoelectric actuator A1 is close to an ellipse. However, if the natural frequencies are different from each other, the vibration trajectory of the piezoelectric actuator A1 deviates from the elliptical trajectory, and the piezoelectric actuator A1 does not perform normal vibration. Therefore, when the vibration trajectory of the piezoelectric actuator A1 specified in step S2 described above is away from the elliptical trajectory, the piezoelectric actuator A1 can be obtained by bringing the natural frequency fb of the bending vibration close to the natural frequency fa of the longitudinal vibration. Can be adjusted for normal vibration.
[0036]
Specifically, the width of the support member 11 is adjusted according to the specified vibration locus. FIG. 14 is a diagram illustrating an example of the relationship between the support member width W and the natural frequency fb of bending vibration. As shown in the figure, as the support member width W becomes narrower, the restraining force of the piezoelectric actuator A1 by the support member 11 becomes smaller, so the natural frequency fb of flexural vibration also becomes smaller. Thus, if the support member width W is adjusted, the natural frequency fb of the bending vibration is also adjusted.
Therefore, when it is determined from the vibration locus of the piezoelectric actuator A1 to be inspected that the natural frequency fb of the bending vibration is larger than the natural frequency of the longitudinal vibration, the width direction of the support member 11 is used for processing such as a YAG laser. By trimming with a laser, the natural frequency fb of the bending vibration can be brought close to the natural frequency of the longitudinal vibration, and the piezoelectric actuator A1 can perform normal vibration.
[0037]
By the way, in the method of adjusting the natural frequency fb such as trimming the support member width W, the natural frequency fb of the bending vibration cannot be increased. Therefore, if the width of the support member 11 is set larger than the design value in advance, the natural frequency fb of the bending vibration is necessarily greater than the natural frequency fa of the longitudinal vibration. In this way, if the width direction of the support member 11 is trimmed in accordance with the vibration trajectory of the piezoelectric actuator A1 and adjustment is performed to reduce the natural frequency fb of the flexural vibration, the natural frequency fb of the flexural vibration is longitudinally increased. Since it approaches the natural frequency fa of vibration, it can be adjusted so that the piezoelectric actuator A1 operates normally.
[0038]
<Modification>
The above-described embodiment shows one aspect of the present invention, and can be arbitrarily changed within the scope of the present invention. Accordingly, various modifications will be described below.
[0039]
(Modification 1)
In the above-described embodiment, the case where the inspection apparatus 200 inspects the vibration state of the piezoelectric actuator A1 incorporated in the calendar display mechanism of the wristwatch has been exemplified. However, the apparatus in which the piezoelectric actuator A1 is incorporated is not limited to this, and the printer Any electronic device such as an inkjet nozzle or a mobile phone may be used. In addition, the inspection apparatus 200 measures the vibration locus of the protrusion 36 of the piezoelectric actuator A1, but not limited thereto, the vibration locus of the end portion 35 of the diaphragm 10 in the piezoelectric actuator A1 may be measured.
[0040]
(Modification 2)
In the inspection apparatus 200 according to the above-described embodiment, the laser beam is used to trim the support member 11. However, the present invention is not limited to this, and a machining apparatus such as a wire saw or dicing may be used.
Further, the member to be trimmed is not limited to the support member 11. More specifically, since the flexural vibration of the piezoelectric actuator A1 is induced by a rotational moment caused by an unbalance of weight balance in the longitudinal direction of the diaphragm 10, the natural frequency fb is determined by the rotational moment of the diaphragm 10. Dependent. That is, if the rotational moment is changed by adjusting the weight balance of the diaphragm 10, the natural frequency fb of the bending vibration is also changed. Therefore, the inspection apparatus 200 may trim the diaphragm 10 so as to increase or decrease the weight balance instead of trimming the support member 11.
[0041]
More specifically, the natural frequency of object vibration due to the moment of inertia generally increases as the moment of inertia decreases. Therefore, when the adjustment is performed to increase the natural frequency fb of the bending vibration, the inspection apparatus 200 trims the vicinity of the end 35 where the protrusion 36 is provided so that the weight balance of the diaphragm 10 is reduced. Further, when the inspection apparatus 200 is adjusted to reduce the natural frequency fb of the bending vibration, the vicinity of the end opposite to the end 35 provided with the protrusion 36 is provided to increase the weight balance of the diaphragm 10. To trim. Note that where the inspection apparatus 200 trims the diaphragm 10 to adjust the weight balance is arbitrary. However, it is desirable that portions other than the electrodes of the diaphragm 10 are trimmed. Further, in the manufacturing process of the piezoelectric actuator A1, for example, a metal such as copper or gold is vapor-deposited on the end portion 35, and the vapor-deposited portion is removed by laser irradiation or the like according to the specified vibration trajectory. You may adjust balance.
[0042]
(Modification 3)
In the embodiment described above, the inspection device 200 determines whether or not the coordinates of the vibration locus are included in the normal vibration locus when the vibration locus of the piezoelectric actuator A1 to be inspected is compared with the normal vibration locus. . Not limited to this, the inspection apparatus 200 may represent each vibration trajectory as image data and compare the image data with each other.
The piezoelectric actuator A <b> 1 drives the rotor 100 by the tip portion 36 repeatedly contacting and leaving the rotor 100. Therefore, if the locus drawn during the period in which the tip portion 36 contacts the rotor 100 is normal, the rotor 100 is driven normally. Therefore, the inspection apparatus 200 may compare only the portion corresponding to the contact period with the rotor 100 in the identified vibration trajectory with the normal vibration trajectory.
[0043]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, an inspection method capable of simply and accurately inspecting vibration of a piezoelectric actuator, an adjustment method for adjusting vibration of a piezoelectric actuator according to the inspection result, and an inspection apparatus are provided. Is done.
[0044]
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view showing a main configuration of a calendar display mechanism having a piezoelectric actuator in a wristwatch.
FIG. 2 is a plan view showing an overall configuration of the piezoelectric actuator.
FIG. 3 is a side sectional view showing a diaphragm that is a component of the piezoelectric actuator.
FIG. 4 is a diagram illustrating a state in which the diaphragm vibrates longitudinally.
FIG. 5 is a diagram for explaining bending vibration induced by longitudinal vibration of the diaphragm.
FIG. 6 is a view showing a state of operation of a tip portion of the piezoelectric actuator.
FIG. 7 is a diagram illustrating an example of a relationship between vibration frequency and impedance of the diaphragm.
FIG. 8 is a block diagram showing a functional configuration of the inspection apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a diagram for explaining measurement of the vibration locus.
FIG. 10 is a view showing the normal vibration locus.
FIG. 11 is a schematic diagram showing the configuration of the normal vibration trajectory data table.
FIG. 12 is a flowchart showing a processing procedure executed by the inspection apparatus.
FIG. 13 is a schematic diagram showing the configuration of the measurement data table.
FIG. 14 is a diagram illustrating an example of a relationship between a support member width and a natural frequency of bending vibration.
[Explanation of symbols]
A1 ... piezoelectric actuator, TBL1 ... normal vibration trajectory data table, TBL2 ... measurement data table, 10 ... vibrating plate, 11 ... support member, 35 ... projection portion 36 ... projection portion, 30 ... piezoelectric element, 32 ... reinforcement plate, 100 ... Rotor, 200 ... inspection device, 202 ... CPU, 204 ... vibration trajectory measuring unit, 206 ... storage unit, 208 ... display unit, 300-X, 300-Y ... laser Doppler vibrometer

Claims

良品動作する圧電アクチュエータが振動により対象物を駆動するときの振動軌跡を正常振動軌跡として取得する第１の過程と、
検査対象である圧電アクチュエータが振動により前記対象物を駆動するときの振動軌跡を取得する第２の過程と、
前記第１の過程において取得した正常振動軌跡と、前記第２の過程において取得した振動軌跡とを比較し、両者の振動軌跡のずれが一定範囲外である場合に、前記検査対象の圧電アクチュエータの動作を動作不良とする第３の過程と
を具備することを特徴とする圧電アクチュエータの検査方法。A first process of acquiring a vibration locus as a normal vibration locus when a non-defective piezoelectric actuator drives an object by vibration;
A second process of acquiring a vibration locus when a piezoelectric actuator to be inspected drives the object by vibration;
The normal vibration trajectory acquired in the first process is compared with the vibration trajectory acquired in the second process, and when the deviation between the vibration trajectories is outside a certain range, the piezoelectric actuator to be inspected 3. A method for inspecting a piezoelectric actuator, comprising: a third step of causing the operation to be defective.

前記正常振動軌跡は、良品動作する複数の圧電アクチュエータが描く振動軌跡の夫々を含むべく幅を有し、
前記第３の過程において、前記第２の過程において取得した振動軌跡が前記正常振動軌跡に含まれない場合に、前記検査対象の圧電アクチュエータの動作を動作不良とする
ことを特徴とする請求項１に記載の圧電アクチュエータの検査方法。The normal vibration trajectory has a width to include each of the vibration trajectories drawn by a plurality of non-defective piezoelectric actuators,
2. The operation of the piezoelectric actuator to be inspected is set to be defective when the vibration locus acquired in the second step is not included in the normal vibration locus in the third process. 2. A method for inspecting a piezoelectric actuator according to 1.

前記第３の過程において、前記第２の過程において取得した振動軌跡のうち、前記検査対象である圧電アクチュエータが前記対象物と接触しているときに描く箇所のみを、前記正常振動軌跡と比較する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の圧電アクチュエータの検査方法。In the third process, of the vibration trajectory acquired in the second process, only the portion to be drawn when the piezoelectric actuator as the inspection target is in contact with the object is compared with the normal vibration trajectory. The method for inspecting a piezoelectric actuator according to claim 1 or 2.

長手方向を有し、当該長手方向に振動する縦振動と、当該長手方向に直交する幅方向に屈曲する屈曲振動とが組合わさった振動を発生する圧電アクチュエータの当該屈曲振動の固有振動数を調整する圧電アクチュエータの調整方法において、
良品動作する圧電アクチュエータが振動により対象物を駆動するときの振動軌跡を正常振動軌跡として取得する第１の過程と、
調整対象である圧電アクチュエータが振動により前記対象物を駆動するときの振動軌跡を取得する第２の過程と、
前記第１の過程において取得した正常振動軌跡と、前記第２の過程において取得した振動軌跡とを比較し、両者の振動軌跡のずれが一定範囲外である場合に、前記調整対象である圧電アクチュエータの長手方向における重量バランスを調整する第４の過程と
を具備することを特徴とする圧電アクチュエータの調整方法。Adjusts the natural frequency of the bending vibration of a piezoelectric actuator that has a longitudinal direction and generates a combination of longitudinal vibration that vibrates in the longitudinal direction and bending vibration that bends in the width direction perpendicular to the longitudinal direction. In the method for adjusting the piezoelectric actuator,
A first process of acquiring a vibration locus as a normal vibration locus when a non-defective piezoelectric actuator drives an object by vibration;
A second process of acquiring a vibration locus when the piezoelectric actuator to be adjusted drives the object by vibration;
The normal vibration trajectory acquired in the first process and the vibration trajectory acquired in the second process are compared, and when the deviation between the vibration trajectories is outside a certain range, the piezoelectric actuator that is the adjustment target And a fourth step of adjusting a weight balance in the longitudinal direction of the piezoelectric actuator.

前記第４の過程において、前記屈曲振動の固有振動数を上げる場合には、前記調整対象である圧電アクチュエータの長手方向における重量バランスの偏りを小さくする一方、前記屈曲振動の固有振動数を下げる場合には、前記調整対象である圧電アクチュエータにおける長手方向の重量バランスの偏りを大きくする
ことを特徴とする請求項４に記載の圧電アクチュエータの調整方法。In the fourth process, when the natural frequency of the bending vibration is increased, the bias of the weight balance in the longitudinal direction of the piezoelectric actuator to be adjusted is reduced, while the natural frequency of the bending vibration is decreased. The method of adjusting a piezoelectric actuator according to claim 4, wherein the bias of the weight balance in the longitudinal direction of the piezoelectric actuator to be adjusted is increased.

前記第４の過程において、前記長手方向における重量バランスの偏りの調整は、レーザトリミングにより行われる
ことを特徴とする請求項５に記載の圧電アクチュエータの調整方法。6. The method of adjusting a piezoelectric actuator according to claim 5, wherein in the fourth process, the adjustment of the weight balance deviation in the longitudinal direction is performed by laser trimming.

前記第４の過程において、前記長手方向における重量バランスの偏りの調整は、機械的トリミングにより行われる
ことを特徴とする請求項５に記載の圧電アクチュエータの調整方法。6. The method of adjusting a piezoelectric actuator according to claim 5, wherein in the fourth process, the adjustment of the weight balance deviation in the longitudinal direction is performed by mechanical trimming.

長手方向を有し、当該長手方向に振動する縦振動と、当該長手方向に対して屈曲する屈曲振動とが組合わさった振動を発生し、長手方向を有する支持部材により携帯型時計のカレンダー機構に取り付けられた圧電アクチュエータの前記屈曲振動の固有振動数を調整する圧電アクチュエータの調整方法において、
良品動作する圧電アクチュエータが振動により対象物を駆動するときの振動軌跡を正常振動軌跡として取得する第１の過程と、
検査対象である圧電アクチュエータが振動により前記対象物を駆動するときの振動軌跡を取得する第２の過程と、
前記第１の過程において取得した正常振動軌跡と、前記第２の過程において取得した振動軌跡とを比較し、両者の振動軌跡のずれが一定範囲外である場合に、前記支持部材の長手方向に直交する幅方向をトリミングする第４の過程と
を具備することを特徴とする圧電アクチュエータの調整方法。A longitudinal watch that vibrates in the longitudinal direction and a flexural vibration that is bent with respect to the longitudinal direction generate a vibration. In the adjustment method of the piezoelectric actuator for adjusting the natural frequency of the bending vibration of the attached piezoelectric actuator,
A first process of acquiring a vibration locus as a normal vibration locus when a non-defective piezoelectric actuator drives an object by vibration;
A second process of acquiring a vibration locus when a piezoelectric actuator to be inspected drives the object by vibration;
When the normal vibration trajectory acquired in the first process and the vibration trajectory acquired in the second process are compared, and the deviation of both vibration trajectories is outside a certain range, the longitudinal direction of the support member A method for adjusting a piezoelectric actuator, comprising: a fourth step of trimming orthogonal width directions.

前記トリミングは、レーザトリミングにより行われる
ことを特徴とする請求項８に記載の圧電アクチュエータの調整方法。The method of adjusting a piezoelectric actuator according to claim 8, wherein the trimming is performed by laser trimming.

良品動作する圧電アクチュエータが振動により対象物を駆動するときの振動軌跡を正常振動軌跡として取得する第１の取得手段と、
検査対象である圧電アクチュエータが振動により前記対象物を駆動するときの振動軌跡を取得する第２の取得手段と、
前記第１の過程において取得した正常振動軌跡と、前記第２の過程において取得した振動軌跡とを比較し、両者の振動軌跡のずれが一定範囲外である場合に、前記検査対象の圧電アクチュエータの動作が動作不良であることを示す情報を出力する出力手段と
を具備することを特徴とする圧電アクチュエータの検査装置。First acquisition means for acquiring, as a normal vibration locus, a vibration locus when a non-defective piezoelectric actuator drives an object by vibration;
Second acquisition means for acquiring a vibration locus when the piezoelectric actuator to be inspected drives the object by vibration;
The normal vibration trajectory acquired in the first process is compared with the vibration trajectory acquired in the second process, and when the deviation between the vibration trajectories is outside a certain range, the piezoelectric actuator to be inspected An inspection device for a piezoelectric actuator, comprising: output means for outputting information indicating that the operation is defective.

前記正常振動軌跡は、良品動作する複数の圧電アクチュエータの振動軌跡を含む幅を有し、
前記出力手段は、前記第２の取得手段が取得した振動軌跡が前記正常振動軌跡に含まれない場合に、前記検査対象の圧電アクチュエータの動作を動作不良とする
ことを特徴とする請求項１０に記載の圧電アクチュエータの検査装置。The normal vibration trajectory has a width including vibration trajectories of a plurality of piezoelectric actuators operating as good products,
11. The output unit according to claim 10, wherein when the vibration trajectory acquired by the second acquisition unit is not included in the normal vibration trajectory, the operation of the piezoelectric actuator to be inspected is defective. The inspection apparatus of the piezoelectric actuator as described.