JP4042679B2 - Combined linear / rotary actuator - Google Patents

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Description

本発明は、直進駆動と回転駆動とを行うことができる複合アクチュエータに関するものであり、更に詳しくは、出力軸を連続的に高速回転させることが可能な複合アクチュエータに関するものである。   The present invention relates to a composite actuator that can perform linear drive and rotational drive, and more particularly to a composite actuator that can continuously rotate an output shaft at high speed.

直進駆動と回転駆動とを行うことができるこの種の複合アクチュエータは、従来より各種構成のものが提案されている。例えば、特許文献１に記載されたアクチュエータは、ハウジングチューブの内部に軸線方向に直進移動自在かつ回転自在なるように収容されたピストンと、このピストンに連結されて一緒に直進移動と回転とを行う出力軸と、上記ピストン及び出力軸に対してスプライン結合された回転駆動軸と、この回転駆動軸を回転させる回転駆動装置とを有している。そして、上記ピストンに流体圧を作用させると、該ピストンと出力軸とが直進移動し、回転駆動装置で上記回転駆動軸を回転させると、上記ピストン及び出力軸がこの回転駆動軸と一体となって回転するようになっている。   Conventionally, various types of composite actuators capable of performing linear drive and rotational drive have been proposed. For example, the actuator described in Patent Document 1 includes a piston housed in a housing tube so as to be movable in a straight line and rotatable in an axial direction, and coupled to the piston to perform a straight movement and rotation together. An output shaft, a rotary drive shaft that is spline-coupled to the piston and the output shaft, and a rotary drive device that rotates the rotary drive shaft. When fluid pressure is applied to the piston, the piston and the output shaft move linearly, and when the rotary drive shaft is rotated by a rotary drive device, the piston and the output shaft are integrated with the rotary drive shaft. To rotate.

ところが、従来のこの種の複合アクチュエータは、出力軸を一定の回転角の範囲内で揺動回転させるといったような使い方には適しているが、該出力軸を高速で連続回転させるような使い方には適していない。その理由は、ピストンが直進移動と回転の両方を行うため、このピストンの外周面とハウジングチューブの内周面との間をシールするシール部材に、直進方向と回転方向の両方向の負荷がかかり、摩耗が促進されて耐久性が極端に低下するためのである。この問題は、上記出力軸の外周面とこの出力軸が貫通するチューブ端のカバーの内周面との間をシールするシール部材においても同じである。
特開平１１−２０１１１１号公報 However, this type of conventional composite actuator is suitable for use in such a manner that the output shaft is oscillated and rotated within a range of a certain rotation angle, but it is used in such a manner that the output shaft is continuously rotated at a high speed. Is not suitable. The reason for this is that since the piston performs both linear movement and rotation, the seal member that seals between the outer peripheral surface of the piston and the inner peripheral surface of the housing tube is loaded in both the linear direction and the rotational direction. This is because the wear is promoted and the durability is extremely lowered. This problem also applies to the seal member that seals between the outer peripheral surface of the output shaft and the inner peripheral surface of the tube end cover through which the output shaft passes.
JP-A-11-201111

本発明の課題は、ピストン及び出力軸をシールするシール部材に直進方向と回転方向の両方向の負荷が作用するという問題をなくし、直進方向の負荷を負担するシール部材と回転方向の負荷を負担するシール部材とを分けて設けることにより、上記出力軸を連続的に高速回転させることを可能にした複合アクチュエータを提供することにある。   An object of the present invention is to eliminate the problem that a load in both the linear direction and the rotational direction acts on the seal member that seals the piston and the output shaft, and bears the load in the rotational direction and the seal member that bears the load in the linear direction. It is an object of the present invention to provide a composite actuator that can rotate the output shaft continuously at a high speed by separately providing a seal member.

上記課題を解決するため、本発明によれば、内部にシリンダ孔を備えたシリンダハウジングと、該シリンダハウジングの軸方向の一端側に取り付けられたヘッドカバー及び他端側に取り付けられたロッドカバーと、上記シリンダ孔の内部を流体圧の作用により移動するピストンと、該ピストンから延出して上記ロッドカバーを貫通し、軸線方向の直進移動と軸線回りの回転とを行う出力軸と、上記ヘッドカバーを貫通して先端部が上記シリンダ孔内に進入し、上記出力軸に回転力を与える回転駆動軸とを有する複合アクチュエータが提供される。上記ピストンは、上記シリンダ孔内を軸線方向に直進移動する外側ピストン部分と、該外側ピストン部分の内部に軸線方向の相対的な移動は規制された状態で相互に回転自在なるように嵌合する内側ピストン部分とに分かれていて、この内側ピストン部分に上記出力軸が結合され、上記外側ピストン部分の外周面とシリンダハウジングの内周面との間に第１シール部材が設けられ、上記外側ピストン部分の内周面と内側ピストン部分の外周面との間に第２シール部材が設けられている。また、上記ロッドカバーは、上記シリンダハウジングに固定された外側カバー部分と、該外側カバー部分の内部に軸線方向の移動は規制された状態で相互に回転自在なるように嵌合する内側カバー部分とに分かれていて、この内側カバー部分の内部を上記出力軸が軸線方向に移動自在なるように貫通し、上記外側カバー部分の内周面と内側カバー部分の外周面との間に第３シール部材が設けられ、上記内側カバー部分の内周面と出力軸の外周面との間に第４シール部材が設けられている。更に、上記回転駆動軸は、上記ヘッドカバーを軸線方向の移動は規制された状態で回転自在なるように貫通していて、上記出力軸に、軸線方向には相対的に変位自在であるが回転方向には相互に固定された状態に結合されており、上記内側ピストン部分の軸方向両端部にそれぞれ当接部が形成されると共に、上記内側カバー部分と回転駆動軸とにそれぞれ受け部が形成され、上記ピストンが往復両ストローク端に達したとき上記内側ピストン部分の当接部がこれらの受け部に当接するように構成されている。 In order to solve the above problems, according to the present invention, a cylinder housing having a cylinder hole therein, a head cover attached to one end side in the axial direction of the cylinder housing, and a rod cover attached to the other end side, A piston that moves inside the cylinder hole by the action of fluid pressure, an output shaft that extends from the piston and passes through the rod cover, performs linear movement in the axial direction and rotates about the axis, and passes through the head cover Thus, a composite actuator is provided that has a rotational drive shaft that provides a rotational force to the output shaft, with the tip portion entering the cylinder hole. The piston is fitted into an outer piston portion that moves linearly in the axial direction in the cylinder hole, and the outer piston portion is fitted inside the outer piston portion so as to be rotatable in a state where relative movement in the axial direction is restricted. The output shaft is coupled to the inner piston portion, and a first seal member is provided between the outer peripheral surface of the outer piston portion and the inner peripheral surface of the cylinder housing. A second seal member is provided between the inner peripheral surface of the portion and the outer peripheral surface of the inner piston portion. The rod cover includes an outer cover portion fixed to the cylinder housing, and an inner cover portion that fits inside the outer cover portion so as to be rotatable with respect to each other in a state where movement in the axial direction is restricted. A third seal member that passes through the inside of the inner cover portion so that the output shaft can move in the axial direction, and between the inner peripheral surface of the outer cover portion and the outer peripheral surface of the inner cover portion. And a fourth seal member is provided between the inner peripheral surface of the inner cover portion and the outer peripheral surface of the output shaft. Further, the rotational drive shaft passes through the head cover so as to be rotatable in a state in which movement in the axial direction is restricted, and is relatively displaceable in the axial direction relative to the output shaft, but in the rotational direction. Are connected to each other in a fixed state, and contact portions are formed at both axial ends of the inner piston portion, and receiving portions are formed at the inner cover portion and the rotation drive shaft, respectively. The contact portion of the inner piston portion contacts the receiving portions when the piston reaches the reciprocating stroke end.

本発明において好ましくは、上記第１〜第４シール部材のうち少なくとも第２シール部材と第３シール部材とが、断面円形のＯリングで形成されていることである。
より好ましくは、上記第２シール部材と第３シール部材とがＯリングで形成され、上記第１シール部材と第４シール部材とが断面非円形のリング状シール部材で形成されていることである。 In the present invention, preferably, at least the second seal member and the third seal member among the first to fourth seal members are formed of an O-ring having a circular cross section.
More preferably, the second seal member and the third seal member are formed of an O-ring, and the first seal member and the fourth seal member are formed of a ring-shaped seal member having a non-circular cross section. .

また、本発明によれば、上記出力軸の中空部内に回転駆動軸が嵌合していて、これらの出力軸と回転駆動軸とが相互にスプライン結合されている。   According to the present invention, the rotary drive shaft is fitted in the hollow portion of the output shaft, and the output shaft and the rotary drive shaft are spline-coupled to each other.

本発明の他の具体的な構成態様によれば、上記ピストンにおける外側ピストン部分と内側ピストン部分との間、上記ロッドカバーにおける外側カバー部分と内側カバー部分との間、及び上記ヘッドカバーと回転駆動軸との間にそれぞれ、転がり接触式のベアリングが介在している。   According to another specific configuration aspect of the present invention, between the outer piston portion and the inner piston portion of the piston, between the outer cover portion and the inner cover portion of the rod cover, and the head cover and the rotary drive shaft. Rolling contact type bearings are interposed between the two.

本発明において好ましくは、上記ロッドカバーの外側カバー部分が、シリンダハウジングに固定するための第１外カバー部片と、この第１外カバー部片に結合された第２外カバー部片とに分かれていて、該第１外カバー部片と上記内側カバー部分との間に上記第３シール部材が介設され、第２外カバー部片と上記内側カバー部分との間に上記ベアリングが介設されていることである。   Preferably, in the present invention, the outer cover portion of the rod cover is divided into a first outer cover piece for fixing to the cylinder housing and a second outer cover piece joined to the first outer cover piece. The third seal member is interposed between the first outer cover piece and the inner cover portion, and the bearing is interposed between the second outer cover piece and the inner cover portion. It is that.

また、上記ヘッドカバーが、シリンダハウジングに固定するための第１ヘッドカバー部片と、この第１ヘッドカバー部片に結合された第２ヘッドカバー部片とに分かれていて、上記第１ヘッドカバー部片の内周面と上記回転駆動軸の外周面との間に第５シール部材が介設され、第２ヘッドカバー部片と上記回転駆動軸との間に上記ベアリングが介設されていることが望ましい。   The head cover is divided into a first head cover piece for fixing to the cylinder housing and a second head cover piece joined to the first head cover piece, and the inner periphery of the first head cover piece. Preferably, a fifth seal member is interposed between the surface and the outer peripheral surface of the rotational drive shaft, and the bearing is interposed between the second head cover piece and the rotational drive shaft.

更に、上記ピストンが、上記外側ピストン部分の軸方向両端部の位置に上記ベアリングを２つ有していて、これら２つのベアリングの間の位置に上記第２シール部材が配設されていることが望ましい。   Furthermore, the piston has two bearings at positions of both end portions in the axial direction of the outer piston portion, and the second seal member is disposed at a position between the two bearings. desirable.

本発明によれば、直進移動と回転とを行うピストンと、直進移動及び回転を行う出力軸を支持するロッドカバーとを、それぞれ内外二重構造とし、第１シール部材と第４シール部材には主として直進方向の負荷を負担させ、第２シール部材と第３シール部材には主として回転方向の負荷を負担させるといったように、各シール部材に直進方向の負荷と回転方向の負荷とを分担して負担させるように構成したことにより、各シール部材に直進方向と回転方向の両方向の負荷が作用するといった従来の問題点が解消され、この結果、上記各シール部材の耐久性が高められるため、出力軸を連続的に高速回転させることが可能になる。   According to the present invention, the piston that performs rectilinear movement and rotation and the rod cover that supports the output shaft that performs rectilinear movement and rotation have inner and outer double structures, respectively, and the first seal member and the fourth seal member include A load in the straight direction and a load in the rotational direction are shared by each seal member, such as mainly bearing a load in the straight direction and mainly burdening the load in the rotational direction on the second seal member and the third seal member. By configuring so that the load is applied, it is possible to eliminate the conventional problem that the load in both the straight direction and the rotational direction acts on each seal member. As a result, the durability of each seal member is improved, so that the output is increased. The shaft can be continuously rotated at a high speed.

図１及び図２は本発明に係る複合アクチュエータの好ましい代表的な一実施形態を示すもので、その概略的な構成は次の通りである。即ち、この複合アクチュエータは、内部にシリンダ孔１ａを有する円筒形のシリンダハウジング１と、該シリンダハウジング１の軸線方向の一端側に取り付けられたヘッドカバー２と、他端側に取り付けられたロッドカバー３とを有している。上記シリンダ孔１ａの内部に収容されたピストン４は、内外２重構造をしていて、大径の外側ピストン部分４Ａが上記シリンダ孔１ａの内部を流体圧の作用で軸線方向に直進的に往復移動し、小径の内側ピストン部分４Ｂが軸線の回りに回転自在となっている。   FIG. 1 and FIG. 2 show a preferred representative embodiment of a composite actuator according to the present invention, and its schematic configuration is as follows. That is, the composite actuator includes a cylindrical cylinder housing 1 having a cylinder hole 1a therein, a head cover 2 attached to one end side in the axial direction of the cylinder housing 1, and a rod cover 3 attached to the other end side. And have. The piston 4 accommodated in the cylinder hole 1a has an inner / outer double structure, and a large-diameter outer piston portion 4A reciprocates linearly in the axial direction inside the cylinder hole 1a by the action of fluid pressure. The small inner diameter piston portion 4B moves so as to be rotatable around the axis.

また、上記ピストン４の内側ピストン部分４Ｂには、出力軸５の基端部が連結されており、この出力軸５は、先端部が上記ロッドカバー３を貫通してシリンダ孔１ａの外部に延出し、上記外側ピストン部分４Ａの直進運動と内側ピストン部分４Ｂの回転運動とに追随して直進運動と回転運動とを行う。更に、この複合アクチュエータは、上記ヘッドカバー２を貫通して先端部が上記シリンダ孔１ａの内部に進入する回転駆動軸６を有し、この回転駆動軸６は、上記内側ピストン部分４Ｂに結合されてこの内側ピストン部分４Ｂ及び出力軸５を回転させる。   Further, the base end portion of the output shaft 5 is connected to the inner piston portion 4B of the piston 4, and the tip end portion of the output shaft 5 extends through the rod cover 3 to the outside of the cylinder hole 1a. Then, following the linear motion of the outer piston portion 4A and the rotational motion of the inner piston portion 4B, the linear motion and the rotational motion are performed. Further, the composite actuator has a rotary drive shaft 6 that penetrates the head cover 2 and has a tip portion entering the cylinder hole 1a. The rotary drive shaft 6 is coupled to the inner piston portion 4B. The inner piston portion 4B and the output shaft 5 are rotated.

上記ピストン４の外側ピストン部分４Ａと内側ピストン部分４Ｂとは、何れも円筒形をしていて、大径の外側ピストン部分４Ａの内部に小径の内側ピストン部分４Ｂが相対的に回転自在なるように嵌合している。上記内側ピストン部分４Ｂは、外側ピストン部分４Ａよりも長い軸方向長さを有していて、その一端側には、外側ピストン部分４Ａの外側において円周方向に広がるフランジ部１０が形成され、他端側には雄ねじが切られ、この雄ねじに、上記フランジ部１０と同じ外径を有する環状の止め部材１１が、外側ピストン部分４Ａの外側に位置するように取り付けられている。そして、上記外側ピストン部分４Ａと内側ピストン部分４Ｂとの間には、この外側ピストン部分４Ａの軸方向両端部の位置に、２つのベアリング１３が介設されている。   The outer piston portion 4A and the inner piston portion 4B of the piston 4 are both cylindrical, and the small-diameter inner piston portion 4B is relatively rotatable within the large-diameter outer piston portion 4A. It is mated. The inner piston portion 4B has an axial length longer than that of the outer piston portion 4A. A flange portion 10 is formed on one end side of the inner piston portion 4B so as to extend in the circumferential direction outside the outer piston portion 4A. A male screw is cut on the end side, and an annular stop member 11 having the same outer diameter as that of the flange portion 10 is attached to the male screw so as to be located outside the outer piston portion 4A. Between the outer piston portion 4A and the inner piston portion 4B, two bearings 13 are interposed at positions on both ends in the axial direction of the outer piston portion 4A.

上記ベアリング１３は、外輪１３ａの軸方向内端面が外側ピストン部分４Ａの凹段部１４の側面に当接し、内輪１３ｂの軸方向外端面が内側ピストン部分４Ｂの上記フランジ部１０及び止め部材１１に当接することにより、これらの外側ピストン部分４Ａと内側ピストン部分４Ｂとの間に挟持され、それによってこれらの両ピストン部分４Ａ，４Ｂが、軸線方向の相対的な移動は規制された状態で相互に回転自在なるように結合されている。
上記ベアリング１３は、ボールベアリングやローラーベアリングといった転がり接触式のベアリングであることが望ましい。 In the bearing 13, the inner end surface in the axial direction of the outer ring 13a abuts on the side surface of the concave step portion 14 of the outer piston portion 4A, and the outer end surface in the axial direction of the inner ring 13b contacts the flange portion 10 and the stopper member 11 of the inner piston portion 4B. By abutting, the outer piston part 4A and the inner piston part 4B are sandwiched between the piston part 4A and the inner piston part 4B so that the relative movement in the axial direction is restricted between the piston parts 4A and 4B. It is connected so that it can rotate freely.
The bearing 13 is preferably a rolling contact type bearing such as a ball bearing or a roller bearing.

また、上記外側ピストン部分４Ａには、上記２つのベアリング１３の間の位置に、該外側ピストン部分４Ａの外周面と上記シリンダハウジング１の内周面との間をシールする第１シール部材１６と、該外側ピストン部分４Ａの内周面と上記内側ピストン部分４Ｂの外周面との間をシールする第２シール部材１７とが設けられている。このうち第１シール部材１６は、上記外側ピストン部分４Ａの直進移動によってシリンダハウジング１の内周面に軸線方向に摺接し、主として直進方向の負荷を受けるものであり、これに対して上記第２シール部材１７は、回転する内側ピストン部分４Ｂの外周面に円周方向に摺接することにより、主として回転方向の負荷を受けるものである。   The outer piston portion 4A includes a first seal member 16 that seals between the outer peripheral surface of the outer piston portion 4A and the inner peripheral surface of the cylinder housing 1 at a position between the two bearings 13. A second seal member 17 is provided for sealing between the inner peripheral surface of the outer piston portion 4A and the outer peripheral surface of the inner piston portion 4B. Among these, the first seal member 16 is slidably contacted with the inner peripheral surface of the cylinder housing 1 in the axial direction by the rectilinear movement of the outer piston portion 4A, and receives mainly the load in the rectilinear direction. The seal member 17 mainly receives a load in the rotational direction by slidingly contacting the outer peripheral surface of the rotating inner piston portion 4B in the circumferential direction.

かくして、第１シール部材１６に直進方向の負荷を負担させ、第２シール部材１７に回転方向の負荷を負担させるといったように、各シール部材１６，１７に何れか一方向の負荷のみを負担させることにより、シール部材に直進方向と回転方向の両方向の負荷が作用する場合に比べ、シール部材の耐久性が著しく高められることになる。   Thus, the first seal member 16 is loaded with a load in one direction, and the second seal member 17 is loaded with a load in the rotational direction. As a result, the durability of the seal member is remarkably enhanced as compared with a case where loads in both the straight direction and the rotational direction are applied to the seal member.

なお、図中１８は、上記内側ピストン部分４Ｂと出力軸５との間をシールするシール部材であって、このシール部材１８を介して出力軸５が、上記内側ピストン部分４Ｂに、ねじ結合により固定されている。図中１９は外側ピストン部分４Ａの摺動をガイドするウエアリングであり、また、２０は外側ピストン部分４Ａに取り付けられた位置検出用のマグネットであって、図示しない磁気センサーを使用してこのマグネット２０の磁気を検出することにより、ピストン４の動作位置を検出することができるようになっている。   In the figure, reference numeral 18 denotes a seal member that seals between the inner piston portion 4B and the output shaft 5, and the output shaft 5 is screwed to the inner piston portion 4B via the seal member 18. It is fixed. In the figure, 19 is a wear ring for guiding the sliding of the outer piston portion 4A, and 20 is a position detecting magnet attached to the outer piston portion 4A. By detecting the magnetism of 20, the operating position of the piston 4 can be detected.

上記第１シール部材１６と第２シール部材１７とは、何れも断面が円形状をしたＯリングで形成することができるが、好ましくは、回転方向の負荷を受ける第２シール部材１７をＯリングで形成し、直進方向の負荷を受ける第１シール部材１６は、断面非円形のスクイズタイプあるいはリップタイプのリング状シール部材で形成することである。これは、Ｏリングの接触面積や摺動抵抗等がスクイズタイプやリップタイプのシール部材に比べて小さいため、上記内側ピストン部分４Ｂが例えば２０００〜３０００回転／分といったような高速回転をすることを想定した場合、第２シール部材１７にＯリングを使用する方がシール性や耐摩耗性の観点から有利だからである。一方、第１シール部材１６の場合は、上記外側ピストン部分４Ａの直進移動がそれほど高速ではないため、断面非円形のスクイズタイプあるいはリップタイプのリング状シール部材を使用する方が、使用条件に最適な断面形状を有するものを選択して使用できるという利点がある。   Both the first seal member 16 and the second seal member 17 can be formed by an O-ring having a circular cross section. Preferably, the second seal member 17 that receives a load in the rotational direction is an O-ring. The first seal member 16 that is formed in the above and receives the load in the straight direction is formed of a squeeze type or lip type ring-shaped seal member having a non-circular cross section. This is because the O-ring contact area, sliding resistance, etc. are smaller than squeeze-type or lip-type seal members, so that the inner piston portion 4B rotates at a high speed such as 2000 to 3000 rpm. This is because it is advantageous to use an O-ring for the second seal member 17 from the viewpoint of sealing performance and wear resistance. On the other hand, in the case of the first seal member 16, since the straight movement of the outer piston portion 4A is not so fast, the use of a squeeze-type or lip-type ring-shaped seal member having a non-circular cross-section is more suitable for use conditions. There is an advantage that it is possible to select and use one having a simple cross-sectional shape.

上記ピストン４の両側には、ヘッドカバー２との間に第１圧力室２１が形成されると共に、ロッドカバー３との間に第２圧力室２２が形成され、上記第１圧力室２１は、上記ヘッドカバー２に形成された第１ポート２３に連通し、上記第２圧力室２２は、上記ロッドカバー３に形成された第２ポート２４に連通している。そして、上記第２ポート２４を通じて第２圧力室２２を外部に開放すると共に、上記第１ポート２３から第１圧力室２１に圧縮空気等の圧力流体を供給すると、上記ピストン４は、図示の位置から左方向に向けて移動し、これと一緒に上記出力軸５も同方向に前進する。逆に、上記第１ポート２３を通じて第１圧力室２１を外部に開放すると共に、上記第２ポート２４から第２圧力室２２に圧縮空気等の圧力流体を供給すると、上記ピストン４は、図示の位置に向けて後退すると共に、上記出力軸５も同方向に後退する。   A first pressure chamber 21 is formed on both sides of the piston 4 between the head cover 2 and a second pressure chamber 22 is formed between the piston cover 4 and the rod cover 3. The second pressure chamber 22 communicates with a second port 24 formed in the rod cover 3, and communicates with a first port 23 formed in the head cover 2. When the second pressure chamber 22 is opened to the outside through the second port 24 and a pressure fluid such as compressed air is supplied from the first port 23 to the first pressure chamber 21, the piston 4 is moved to the position shown in the figure. The output shaft 5 moves forward in the same direction. Conversely, when the first pressure chamber 21 is opened to the outside through the first port 23 and a pressurized fluid such as compressed air is supplied from the second port 24 to the second pressure chamber 22, the piston 4 While retracting toward the position, the output shaft 5 also retracts in the same direction.

上記ロッドカバー３は、上記シリンダハウジング１に固定するための外側カバー部分３Ａと、この外側カバー部分３Ａの内部に軸線方向の移動は規制された状態で相互に回転自在なるように嵌合する円筒形の内側カバー部分３Ｂとで構成され、この内側カバー部分３Ｂの内部を上記出力軸５が軸線方向に移動自在なるように貫通している。   The rod cover 3 includes an outer cover portion 3A for fixing to the cylinder housing 1, and a cylinder fitted into the outer cover portion 3A so as to be rotatable with respect to each other in a state where movement in the axial direction is restricted. The inner cover portion 3B has a shape, and the output shaft 5 passes through the inner cover portion 3B so as to be movable in the axial direction.

上記外側カバー部分３Ａは、上記シリンダハウジング１に固定するための第１外カバー部片３Ａａと、この第１外カバー部片３Ａａの外端面に同軸状に結合された第２外カバー部片３Ａｂとからなっている。これらのカバー部片３Ａａ及び３Ａｂは、円形又は矩形といったような互いに同じ断面形状を有するもので、図示しないねじによって相互に固定され、これらのカバー部片３Ａａ，３Ａｂに形成された円形の内孔内に、上記内側カバー部分３Ｂが、両カバー部片３Ａａ，３Ａｂに跨るように嵌合している。そして、上記第２外カバー部片３Ａｂの内周面と上記内側カバー部分３Ｂの外周面との間にベアリング２６が介設されると共に、第１外カバー部片３Ａａの内孔内周面と上記内側カバー部分３Ｂの外周面との間に第３シール部材２７が介設され、更に、上記内側カバー部分３Ｂの内周面と上記出力軸５の外周面との間に、第４シール部材２８とブッシュ２９が介設されている。また、上記第１外カバー部片３Ａａに上記第２ポート２４が設けられている。   The outer cover portion 3A includes a first outer cover piece 3Aa for fixing to the cylinder housing 1 and a second outer cover piece 3Ab coaxially coupled to the outer end surface of the first outer cover piece 3Aa. It is made up of. These cover part pieces 3Aa and 3Ab have the same cross-sectional shape such as a circle or a rectangle, and are fixed to each other by screws (not shown), and circular inner holes formed in these cover part pieces 3Aa and 3Ab. Inside, the inner cover part 3B is fitted so as to straddle both cover part pieces 3Aa and 3Ab. A bearing 26 is interposed between the inner peripheral surface of the second outer cover piece 3Ab and the outer peripheral surface of the inner cover portion 3B, and the inner peripheral surface of the inner hole of the first outer cover piece 3Aa. A third seal member 27 is interposed between the outer peripheral surface of the inner cover portion 3B, and a fourth seal member is provided between the inner peripheral surface of the inner cover portion 3B and the outer peripheral surface of the output shaft 5. 28 and a bush 29 are interposed. The second port 24 is provided in the first outer cover piece 3Aa.

上記ベアリング２６は、上記第２外カバー部片３Ａｂの内孔内に嵌合していて、外輪２６ａが該第２外カバー部片３Ａｂと上記第１外カバー部片３Ａａとの間に挟持されることにより上記内孔から脱落しないように保持され、内輪２６ｂに上記内側カバー部分３Ｂ材が固定的に嵌着されている。このベアリング２６は、ボールベアリングやローラーベアリングといった転がり接触式のベアリングであることが望ましい。   The bearing 26 is fitted in the inner hole of the second outer cover piece 3Ab, and the outer ring 26a is sandwiched between the second outer cover piece 3Ab and the first outer cover piece 3Aa. Thus, the inner cover portion 3B material is fixedly fitted to the inner ring 26b. The bearing 26 is preferably a rolling contact type bearing such as a ball bearing or a roller bearing.

また、上記第３及び第４の２つのシール部材２７及び２８のうち、一方の第３シール部材２７は、回転する内側カバー部分３Ｂに接触してその回転方向の負荷を受けるものであり、他方の第４シール部材２８は、直進する上記出力軸５に接触して直進方向の負荷を主として受けるものである。従って、これらの第３シール部材２７及び第４シール部材２８は、上記第１シール部材１６及び第２シール部材１７の場合と同様に、何れも断面が円形状をしたＯリングで形成することができるが、好ましくは、回転方向の負荷を受ける第３シール部材２７をＯリングで形成し、直進方向の負荷を受ける第４シール部材２８は、断面非円形のスクイズタイプあるいはリップタイプのリング状シール部材で形成することである。   Of the third and fourth seal members 27 and 28, one third seal member 27 is in contact with the rotating inner cover portion 3B and receives a load in the rotation direction. The fourth seal member 28 comes into contact with the output shaft 5 that goes straight and receives a load in the straight direction. Accordingly, the third seal member 27 and the fourth seal member 28 may be formed of O-rings having a circular cross section, as in the case of the first seal member 16 and the second seal member 17. Preferably, the third seal member 27 that receives a load in the rotational direction is formed of an O-ring, and the fourth seal member 28 that receives a load in the straight traveling direction is a squeeze-type or lip-type ring-shaped seal having a non-circular cross section. It is to form with a member.

更に、上記ヘッドカバー２は、上記シリンダ孔１ａの一端を塞ぐ役目と、上記回転駆動軸６を回転自在に支持する役目とを有するもので、以下のように構成されている。即ち、このヘッドカバー２は、上記シリンダハウジング１に固定するための第１ヘッドカバー部片２ａと、この第１ヘッドカバー部片２ａの外端面に同軸状に結合された第２ヘッドカバー部片２ｂとからなっている。これらのヘッドカバー部片２ａ，２ｂは、円形又は矩形といったような互いに同じ断面形状を有するもので、図示しないねじによって相互に固定されている。そして、上記第１ヘッドカバー部片２ａには、該ヘッドカバー部片２ａの内孔の内周面と上記回転駆動軸６の外周面との間をシールする第５シール部材３０が設けられると共に、上記第１ポート２３が設けられ、また、上記第２ヘッドカバー部片２ｂの内孔と上記回転駆動軸６との間には、２組のベアリング３１が介設されている。   Further, the head cover 2 has a role of closing one end of the cylinder hole 1a and a role of rotatably supporting the rotary drive shaft 6, and is configured as follows. That is, the head cover 2 includes a first head cover piece 2a for fixing to the cylinder housing 1, and a second head cover piece 2b coaxially coupled to the outer end surface of the first head cover piece 2a. ing. These head cover pieces 2a and 2b have the same cross-sectional shape such as a circle or a rectangle, and are fixed to each other by screws (not shown). The first head cover piece 2a is provided with a fifth seal member 30 for sealing between the inner peripheral surface of the inner hole of the head cover piece 2a and the outer peripheral surface of the rotary drive shaft 6. A first port 23 is provided, and two sets of bearings 31 are interposed between the inner hole of the second head cover piece 2 b and the rotary drive shaft 6.

上記ベアリング３１は、ボールベアリングやローラーベアリングといった転がり接触式のベアリングであることが望ましく、中でも、図示したように、外輪３１ａにおける溝３１ｃの一側の肩の高さを部分的に除去することによって一定の呼び接触角を持つように形成されたアンギュラタイプのボールベアリングであることが望ましい。これらのベアリング３１は、上記第２ヘッドカバー部片２ｂの内孔内に嵌合していて、外輪３１ａが該第２ヘッドカバー部片２ｂと上記第１ヘッドカバー部片２ａとの間に挟持されることにより、上記内孔から脱落しないように保持されている。   The bearing 31 is preferably a rolling contact type bearing such as a ball bearing or a roller bearing. Among them, as shown in the drawing, by partially removing the height of the shoulder on one side of the groove 31c in the outer ring 31a. An angular type ball bearing formed to have a constant nominal contact angle is desirable. These bearings 31 are fitted in the inner holes of the second head cover piece 2b, and the outer ring 31a is sandwiched between the second head cover piece 2b and the first head cover piece 2a. Thus, the inner hole is held so as not to fall off.

上記ベアリング３１の内輪３１ｂ内には、上記回転駆動軸６の基端部６ａが嵌合し、該基端部６ａの雄ねじに螺着した固定用ナット３３を締め込んで固定リング３４と回転駆動軸６上の段部６ｂとの間に上記内輪３１ｂを挟持することにより、上記回転駆動軸６が、上記ヘッドカバー２に、軸線方向の移動は規制された状態で軸線の回りに回転自在なるように支持されている。   The base end portion 6a of the rotary drive shaft 6 is fitted in the inner ring 31b of the bearing 31, and a fixing nut 33 screwed to the male screw of the base end portion 6a is tightened to rotate the fixing ring 34 and the inner ring 31b. By sandwiching the inner ring 31b between the step portion 6b on the shaft 6, the rotational drive shaft 6 can rotate around the axis line while the movement in the axial direction is restricted by the head cover 2. It is supported by.

なお、上記第５シール部材３０は、回転のみを行う上記回転駆動軸６の外面に接触することによって回転方向の負荷のみを受けるものであり、従って、断面が円形状のＯリングによって形成されている。   The fifth seal member 30 receives only a load in the rotation direction by contacting the outer surface of the rotary drive shaft 6 that performs only rotation, and therefore, the cross section is formed by an O-ring having a circular shape. Yes.

上記回転駆動軸６の先端部分は伝達軸部６ｃとなっていて、図示した例では、外周面に軸線方向に延びる複数の溝付きキーを等間隔で備えたスプライン軸の構造をしており、この伝達軸部６ｃが、上記内側ピストン部分４Ｂの中空部を通じて出力軸５の中空部５ａ内に延びている。一方、上記内側ピストン部分４Ｂの中空部内には、上記伝達軸部６ｃと噛み合う形状の中心孔を備えたボス３５が固定され、このボス３５の中心孔内に上記伝達軸部６ｃが嵌合し、これらの伝達軸部６ｃとボス３５とによって、上記回転駆動軸６と出力軸５とが、軸線方向には相対的に変位自在であるが回転方向には相互に固定された状態に結合されている。   The distal end portion of the rotational drive shaft 6 is a transmission shaft portion 6c, and in the illustrated example, it has a structure of a spline shaft provided with a plurality of grooved keys extending in the axial direction on the outer peripheral surface at equal intervals. The transmission shaft portion 6c extends into the hollow portion 5a of the output shaft 5 through the hollow portion of the inner piston portion 4B. On the other hand, a boss 35 having a center hole shaped to mesh with the transmission shaft portion 6c is fixed in the hollow portion of the inner piston portion 4B, and the transmission shaft portion 6c is fitted into the center hole of the boss 35. The transmission shaft portion 6c and the boss 35 couple the rotational drive shaft 6 and the output shaft 5 in a state that they are relatively displaceable in the axial direction but fixed to each other in the rotational direction. ing.

従って、上述したようにピストン４が圧力流体の作用によって軸線方向に往復移動するときは、上記ボス３５が伝達軸部６ｃに沿って自由に移動できるため、上記ピストン４及び出力軸５も自由に往復移動することができる。また、上記回転駆動軸６が、その基端部６ａに連結されたサーボモーターやその他のモーターによって所定の回転速度で所定の回転方向に所定の回転数だけ駆動されると、この回転駆動軸６の回転力が上記伝達軸部６ｃとボス３５とを介して内側ピストン部分４Ｂ及び出力軸５に伝達され、これらの内側ピストン部分４Ｂ及び出力軸５が一体となって回転する。   Accordingly, as described above, when the piston 4 reciprocates in the axial direction by the action of the pressure fluid, the boss 35 can freely move along the transmission shaft portion 6c, so that the piston 4 and the output shaft 5 are also free. Can reciprocate. When the rotational drive shaft 6 is driven by a servo motor or other motor connected to the base end portion 6a at a predetermined rotational speed and in a predetermined rotational direction for a predetermined rotational speed, the rotational drive shaft 6 Is transmitted to the inner piston portion 4B and the output shaft 5 through the transmission shaft portion 6c and the boss 35, and the inner piston portion 4B and the output shaft 5 rotate together.

この場合、上記ピストン４において、外側ピストン部分４Ａに対する内側ピストン部分４Ｂの回転抵抗は、上記ベアリング１３の介在によって非常に小さく設定されており、これに対し、上記外側ピストン部分４Ａのシリンダハウジング１に対する回転抵抗は、第１シール部材１６やウエアリング１９等の介在によってかなり大きいため、基本的には上記外側ピストン部分４Ａが内側ピストン部分４Ｂに引っ張られて回転することはない。しかし、内側ピストン部分４Ｂの回転速度や、各シール部材１６，１７及びウエアリング１９の摺動抵抗等によっては、外側ピストン部分４Ａが内側ピストン部分４Ｂに追随して回転することも考えられるが、その回転速度は非常に小さいものであって、ほぼ無視できる程度である。従って、外側ピストン部分４Ａに特に回り止めを施す必要はない。   In this case, in the piston 4, the rotational resistance of the inner piston portion 4B with respect to the outer piston portion 4A is set to be very small due to the intervention of the bearing 13, whereas on the other hand, the outer piston portion 4A with respect to the cylinder housing 1 is set. Since the rotation resistance is considerably large due to the intervention of the first seal member 16, the wear ring 19, etc., the outer piston portion 4A is basically not pulled by the inner piston portion 4B and rotated. However, depending on the rotational speed of the inner piston portion 4B, the sliding resistance of each of the seal members 16, 17 and the wear ring 19, the outer piston portion 4A may be rotated following the inner piston portion 4B. The rotation speed is very small and almost negligible. Accordingly, there is no need to provide a special detent for the outer piston portion 4A.

また、上記ロッドカバー３においても、上記外側カバー部分３Ａに対する内側カバー部分３Ｂの回転抵抗は、ベアリング２６の介在によって非常に小さく設定されており、これに対し、上記内側カバー部分３Ｂと出力軸５との間の摺動抵抗は、接触面積の大きい第４シール部材２８やウエアリング２９等の介在によって大きくなっているため、この内側カバー部分３Ｂは出力軸５と一緒に回転することになる。しかし、該出力軸５の回転速度や第４シール部材２８の摺動抵抗等によっては、これらの出力軸５と内側カバー部分３Ｂとが相対的に回転することも考えられるが、それらの回転速度は非常に小さく、ほぼ無視できる程度である。   In the rod cover 3 as well, the rotational resistance of the inner cover portion 3B with respect to the outer cover portion 3A is set to be very small due to the intervention of the bearing 26. On the other hand, the inner cover portion 3B and the output shaft 5 , The inner cover portion 3B rotates together with the output shaft 5 because the fourth seal member 28 and the wear ring 29 having a large contact area are increased. However, depending on the rotational speed of the output shaft 5, the sliding resistance of the fourth seal member 28, etc., it is conceivable that the output shaft 5 and the inner cover portion 3B rotate relatively. Is very small and almost negligible.

上記ピストン４による出力軸５の直進駆動と、上記回転駆動軸６による出力軸５の回転駆動とは、異なるタイミングで別々に行うことも、同時に行うこともできる。あるいは、直進駆動又は回転駆動のストローク途中やストローク終端に、回転駆動又は直進駆動を組み込むこともできる。   The linear drive of the output shaft 5 by the piston 4 and the rotational drive of the output shaft 5 by the rotary drive shaft 6 can be performed separately at different timings or simultaneously. Alternatively, the rotational drive or the straight drive can be incorporated in the middle of the stroke of the straight drive or the rotary drive or at the end of the stroke.

上記ピストン４を圧力流体で軸線方向に直進駆動する際に、該ピストン４の両ストローク端の位置を規定すると同時に、該ストローク端の位置でピストン４を緩衝的に停止させるため、該ピストン４には、上記内側ピストン部分４Ｂの軸方向両端部にそれぞれ当接部３７が形成されている。これらの当接部３７は、上記フランジ部１０と止め部材１１とに形成されていて、これらの当接部３７に、合成ゴム等の弾性部材からなる環状のダンパ３７ａがそれぞれ設けられている。   When the piston 4 is linearly driven by the pressure fluid in the axial direction, the positions of both stroke ends of the piston 4 are specified, and at the same time, the piston 4 is stopped at the position of the stroke in a buffering manner. Are formed with contact portions 37 at both axial ends of the inner piston portion 4B. These contact portions 37 are formed on the flange portion 10 and the stop member 11, and annular contact members 37 a made of an elastic member such as synthetic rubber are provided on the contact portions 37.

これに対し、上記ロッドカバー３と回転駆動軸６には、上記当接部３７が当接する受け部３８ａ，３８ｂが形成されている。このうちロッドカバー３側の受け部３８ａは、回転自在の内側カバー部分３Ｂの端面に形成され、回転駆動軸６側の受け部３８ｂは、上記伝達軸部６ｃの基端寄りの位置に形成されたフランジ部３９に設けられている。このフランジ部３９は、上記シリンダ孔１ａ内において、上記ヘッドカバー２の第１ヘッドカバー部片２ａに形成された凹部２ｃ内に嵌合した状態に形成されている。   On the other hand, the rod cover 3 and the rotary drive shaft 6 are formed with receiving portions 38a and 38b with which the contact portion 37 contacts. Of these, the receiving portion 38a on the rod cover 3 side is formed on the end face of the rotatable inner cover portion 3B, and the receiving portion 38b on the rotational drive shaft 6 side is formed at a position near the base end of the transmission shaft portion 6c. The flange portion 39 is provided. The flange portion 39 is formed in the cylinder hole 1a so as to be fitted in a recess 2c formed in the first head cover piece 2a of the head cover 2.

かくして、上記当接部３７と受け部３８ａ，３８ｂとを、一緒に回転する部材にそれぞれ形成したことにより、出力軸５の回転駆動時にピストン４がストローク端に到達して上記当接部３７と受け部３８ａ，３８ｂとが相互に当接しても、それらの間に摩擦が発生しないから、摩耗や発塵等を生じるといった不都合がない。   Thus, by forming the abutting portion 37 and the receiving portions 38a and 38b as members that rotate together, the piston 4 reaches the stroke end when the output shaft 5 is driven to rotate. Even if the receiving portions 38a and 38b come into contact with each other, there is no inconvenience such as wear and dust generation because friction does not occur between them.

なお、上記実施例では、上記回転駆動軸６と内側ピストン部分４Ｂとが、スプライン軸状に形成された伝達軸部６ｃとボス３５とによってスプライン結合されているが、このような結合構造に限らず、上記伝達軸部６ｃの断面形状を方形又はその他の多角形とし、上記ボス３５の中心孔をこの伝達軸部６ｃに適合する形状に形成しても良い。   In the above embodiment, the rotary drive shaft 6 and the inner piston portion 4B are splined by the transmission shaft 6c formed in the shape of a spline shaft and the boss 35. However, the present invention is not limited to such a coupling structure. Alternatively, the cross-sectional shape of the transmission shaft portion 6c may be a square or other polygonal shape, and the center hole of the boss 35 may be formed in a shape that fits the transmission shaft portion 6c.

本発明に係る複合アクチュエータの断面図である。It is sectional drawing of the composite actuator which concerns on this invention. 図１の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ シリンダハウジング
１ａ シリンダ孔
２ ヘッドカバー
２ａ 第１ヘッドカバー部片
２ｂ 第２ヘッドカバー部片
３ ロッドカバー
３Ａ 外側カバー部分
３Ｂ 内側カバー部分
３Ａａ 第１外カバー部片
３Ｂｂ 第２外カバー部片
４ ピストン
４Ａ 外側ピストン部分
４Ｂ 内側ピストン部分
５ 出力軸
６ 回転駆動軸
１３，２６，３１ ベアリング
１６ 第１シール部材
１７ 第２シール部材
２７ 第３シール部材
２８ 第４シール部材
３０ 第５シール部材
３７ 当接部
３８ａ，３８ｂ 受け部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cylinder housing 1a Cylinder hole 2 Head cover 2a 1st head cover part 2b 2nd head cover part 3 Rod cover 3A Outer cover part 3B Inner cover part 3Aa 1st outer cover part 3Bb 2nd outer cover part 4 Piston 4A Outer piston Portion 4B Inner piston portion 5 Output shaft 6 Rotation drive shaft 13, 26, 31 Bearing 16 First seal member 17 Second seal member 27 Third seal member 28 Fourth seal member 30 Fifth seal member 37 Contact portion 38a, 38b Receiving part

Claims (8)

内部にシリンダ孔を備えたシリンダハウジングと、該シリンダハウジングの軸方向の一端側に取り付けられたヘッドカバー及び他端側に取り付けられたロッドカバーと、上記シリンダ孔の内部を流体圧の作用により移動するピストンと、該ピストンから延出して上記ロッドカバーを貫通し、軸線方向の直進移動と軸線回りの回転とを行う出力軸と、上記ヘッドカバーを貫通して先端部が上記シリンダ孔内に進入し、上記出力軸に回転力を与える回転駆動軸とを有し、
上記ピストンは、上記シリンダ孔内を軸線方向に直進移動する外側ピストン部分と、該外側ピストン部分の内部に軸線方向の相対的な移動は規制された状態で相互に回転自在なるように嵌合する内側ピストン部分とに分かれていて、この内側ピストン部分に上記出力軸が結合され、また、上記外側ピストン部分の外周面とシリンダハウジングの内周面との間に第１シール部材が設けられ、上記外側ピストン部分の内周面と内側ピストン部分の外周面との間に第２シール部材が設けられており、
上記ロッドカバーは、上記シリンダハウジングに固定された外側カバー部分と、該外側カバー部分の内部に軸線方向の移動は規制された状態で相互に回転自在なるように嵌合する内側カバー部分とに分かれていて、この内側カバー部分の内部を上記出力軸が軸線方向に移動自在なるように貫通し、また、上記外側カバー部分の内周面と内側カバー部分の外周面との間に第３シール部材が設けられ、上記内側カバー部分の内周面と出力軸の外周面との間に第４シール部材が設けられており、
上記回転駆動軸は、上記ヘッドカバーを軸線方向の移動は規制された状態で回転自在なるように貫通していて、上記出力軸に、軸線方向には相対的に変位自在であるが回転方向には相互に固定された状態に結合されており、
上記内側ピストン部分の軸方向両端部にそれぞれ当接部が形成されると共に、上記内側カバー部分と回転駆動軸とにそれぞれ受け部が形成され、上記ピストンが往復両ストローク端に達したとき上記内側ピストン部分の当接部がこれらの受け部に当接するように構成されている、
ことを特徴とする直進／回転駆動可能な複合アクチュエータ。 A cylinder housing having a cylinder hole therein, a head cover attached to one end side in the axial direction of the cylinder housing, a rod cover attached to the other end side, and the inside of the cylinder hole are moved by the action of fluid pressure. A piston, an output shaft that extends from the piston and penetrates the rod cover, performs linear movement in the axial direction and rotates around the axis, and a tip portion that penetrates the head cover and enters the cylinder hole; A rotational drive shaft for applying a rotational force to the output shaft,
The piston is fitted into an outer piston portion that moves linearly in the axial direction in the cylinder hole, and the outer piston portion is fitted inside the outer piston portion so as to be rotatable in a state where relative movement in the axial direction is restricted. The output shaft is coupled to the inner piston portion, and a first seal member is provided between the outer peripheral surface of the outer piston portion and the inner peripheral surface of the cylinder housing. A second seal member is provided between the inner peripheral surface of the outer piston portion and the outer peripheral surface of the inner piston portion;
The rod cover is divided into an outer cover portion fixed to the cylinder housing and an inner cover portion that fits inside the outer cover portion so as to be rotatable with respect to each other in a state where movement in the axial direction is restricted. A third seal member passing through the inner cover portion so that the output shaft can move in the axial direction, and between the inner peripheral surface of the outer cover portion and the outer peripheral surface of the inner cover portion. And a fourth seal member is provided between the inner peripheral surface of the inner cover portion and the outer peripheral surface of the output shaft,
The rotational drive shaft passes through the head cover so as to be rotatable in a state where movement in the axial direction is restricted, and is relatively displaceable in the axial direction with respect to the output shaft, but in the rotational direction. Bound to each other,
Abutting portions are formed at both axial end portions of the inner piston portion, and receiving portions are formed at the inner cover portion and the rotary drive shaft, respectively, so that the inner side when the piston reaches both reciprocating stroke ends. The contact portion of the piston portion is configured to contact these receiving portions,
A composite actuator capable of linear / rotary drive. 上記第１〜第４シール部材のうち少なくとも第２シール部材と第３シール部材とが、断面円形のＯリングであることを特徴とする請求項１に記載の複合アクチュエータ。   2. The composite actuator according to claim 1, wherein at least the second seal member and the third seal member of the first to fourth seal members are O-rings having a circular cross section. 上記第２シール部材と第３シール部材とがＯリングであり、かつ、上記第１シール部材と第４シール部材とが断面非円形のリング状シール部材であることを特徴とする請求項２に記載の複合アクチュエータ。   The second seal member and the third seal member are O-rings, and the first seal member and the fourth seal member are non-circular ring-shaped seal members. The compound actuator described. 上記出力軸の中空部内に回転駆動軸が嵌合していて、これらの出力軸と回転駆動軸とが相互にスプライン結合されていることを特徴とする請求項１から３の何れかに記載の複合アクチュエータ。 Optionally combined rotary drive shaft fitted in the hollow portion of the output shaft, according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the rotary drive shaft and those of the output shaft is spline-coupled to each other Compound actuator. 上記ピストンにおける外側ピストン部分と内側ピストン部分との間、上記ロッドカバーにおける外側カバー部分と内側カバー部分との間、及び上記ヘッドカバーと回転駆動軸との間にそれぞれ、転がり接触式のベアリングが介在していることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載の複合アクチュエータ。 Rolling contact type bearings are interposed between the outer piston portion and the inner piston portion of the piston, between the outer cover portion and the inner cover portion of the rod cover, and between the head cover and the rotary drive shaft, respectively. composite actuator according to any one of claims 1 to 4, characterized in that is. 上記ロッドカバーの外側カバー部分が、シリンダハウジングに固定するための第１外カバー部片と、この第１外カバー部片に結合された第２外カバー部片とに分かれていて、該第１外カバー部片と上記内側カバー部分との間に上記第３シール部材が介設され、第２外カバー部片と上記内側カバー部分との間に上記ベアリングが介設されていることを特徴とする請求項５に記載の複合アクチュエータ。 The outer cover portion of the rod cover is divided into a first outer cover piece for fixing to the cylinder housing and a second outer cover piece joined to the first outer cover piece. The third seal member is interposed between the outer cover piece and the inner cover portion, and the bearing is interposed between the second outer cover piece and the inner cover portion. The composite actuator according to claim 5 . 上記ヘッドカバーが、シリンダハウジングに固定するための第１ヘッドカバー部片と、この第１ヘッドカバー部片に結合された第２ヘッドカバー部片とに分かれていて、上記第１ヘッドカバー部片の内周面と上記回転駆動軸の外周面との間に第５シール部材が介設され、第２ヘッドカバー部片と上記回転駆動軸との間に上記ベアリングが介設されていることを特徴とする請求項５又は６に記載の複合アクチュエータ。 The head cover is divided into a first head cover piece for fixing to the cylinder housing and a second head cover piece joined to the first head cover piece, and an inner peripheral surface of the first head cover piece. is fifth seal member interposed between the outer peripheral surface of the rotary drive shaft, according to claim 5 in which the bearing between the second cover piece and the rotary drive shaft, characterized in that it is interposed Or the composite actuator of 6 . 上記ピストンが、上記外側ピストン部分の軸方向両端部の位置に上記ベアリングを２つ有していて、これら２つのベアリングの間の位置に上記第２シール部材が配設されていることを特徴とする請求項５から７までの何れかに記載の複合アクチュエータ。 The piston has two bearings at positions of both end portions in the axial direction of the outer piston portion, and the second seal member is disposed at a position between the two bearings. The composite actuator according to any one of claims 5 to 7 .
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