JP4029081B2 - 試料ホルダ用蓋、試料ホルダ及び蛍光ｘ線測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、蛍光Ｘ線測定装置などに用いられる試料ホルダ、試料ホルダに用いられる試料ホルダ用蓋、及び試料ホルダを用いる蛍光Ｘ線測定装置に関する。

元素分析や成分分析の手法として蛍光Ｘ線分析法が知られている。蛍光Ｘ線分析法は、Ｘ線を試料に照射して元素固有の蛍光Ｘ線を検出し、検出された蛍光Ｘ線に基づいて試料中に含まれている元素の分析を行うものであり、試料を破壊することなく分析できること、微量元素分析が可能であることからよく用いられている。

このような蛍光Ｘ線分析法は一般に、試料を試料ホルダに装着し、この試料ホルダを蛍光Ｘ線分析装置に導入し、試料ホルダに形成された開口を通して試料にＸ線を照射することにより行われる。

近年、蛍光Ｘ線測定装置において、試料中に含まれている微量成分を高精度に検出することが求められている。微量成分を高精度に検出するには、強い検出信号を得ることが重要である。このためには、例えば蛍光Ｘ線測定装置において、より強度の大きいＸ線を発生するＸ線源を用いるか、あるいは、Ｘ線の線源と試料との間の距離を近づければよい。

しかし、一般に強度が大きくなるほどＸ線源も大型化し、蛍光Ｘ線測定装置が大型化するおそれがある。

従って、小型化の観点からは、蛍光Ｘ線測定装置において、Ｘ線源と試料との間の距離を近づけることが望まれる。

蛍光Ｘ線測定装置としては、従来、例えば下記特許文献１に開示されるものが知られている。同文献１に記載の蛍光Ｘ線測定装置は、シャッタを有するシャッタ装置を備えており、シャッタ装置は、試料を装着した試料ホルダとＸ線源との間に配置されている。そして、真空排気を行うときに、シャッタ装置においてシャッタを開き、試料表面に付着した異物が除去されるようになっている。

また、分析装置に用いる試料ホルダとして、下記特許文献２に開示されるものが知られている。同文献２には、試料ホルダとしての試料容器の上に蓋をかぶせ、蓋開放装置によって試料が測定に供される直前に蓋が取り除かれるようになっている。また、この特許文献２には、試料を覆う蓋として、蝶番で試料ホルダと一体化した蓋も提案されている。
特開２００４−１１７２３０号公報 特開２００２−１８１８３０号公報

しかしながら、前述した特許文献１に記載の蛍光Ｘ線測定装置は、以下に示す課題を有していた。

すなわち上記蛍光Ｘ線測定装置は、シャッタ装置においてシャッタを開き、真空排気を行うことによって、試料表面に付着した異物を除去することが可能であるものの、真空排気によって除去可能な異物は、比較的軽量な粉体などに限られており、重量の大きい粉体や油等の高粘性液体等は除去することが困難であり、試料の元素分析を的確に行う観点からは未だ改良の余地を有していた。

また蛍光Ｘ線測定装置は、試料を装着した試料ホルダを、試料ホルダを収容する試料ホルダ台から蛍光Ｘ線測定部に導入するアームを備える場合がある。この場合、アームのギヤ部に塗布された潤滑剤等が、アームの作動時に、試料の表面に落下し、蛍光Ｘ線分析装置による試料の元素分析の測定を的確に行うことができなくなるおそれがある。

また特許文献２に記載の試料ホルダは、蓋により試料への異物の混入を防止できるものの、その上に単に蓋がかぶせられているにすぎないため、蓋を取り外すのに大掛かりな装置が必要になる。また蝶番で試料ホルダと一体化された蓋については、蓋を取り外したときに、蓋の収納に大きなスペースが必要になる。従って、上記のような蓋を試料ホルダにつける場合、上述した試料ホルダを蛍光Ｘ線装置で使用しようとすれば、蛍光Ｘ線装置が大型化することになる。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、試料の元素分析を的確に行うことができ、且つ蛍光Ｘ線装置の小型化を実現できる試料ホルダ、試料ホルダ用蓋及び蛍光Ｘ線測定装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明による試料ホルダ用蓋は、ホルダ本体部に連結されて試料ホルダを構成する試料ホルダ用蓋であって、開口及び前記開口を囲む包囲面を有する蓋本体部と、前記包囲面に対向する領域に収納可能であり、且つ前記包囲面に平行な方向に移動させることにより前記開口を覆うことが可能な少なくとも１つのカバー部材とを備えることを特徴とする。

この試料ホルダ用蓋によれば、ホルダ本体部に連結されると、試料ホルダが構成される。この試料ホルダにおいてカバー部材を包囲面に平行な方向に移動させることにより開口が覆われるようにすると、この試料ホルダを例えば蛍光Ｘ線分析装置のＸ線照射位置に配置するまでの間に、異物混入等による試料の汚染を十分に防止することが可能となる。また、カバー部材は、試料ホルダ用蓋において、包囲面に対向する領域に収納可能であり、且つ包囲面に平行な方向に移動される。このため、カバー部材の収納に必要なスペースを十分に小さくすることができる。一方、試料へのＸ線照射時にカバー部材を、蓋本体部における包囲面に対向する領域に配置すれば、試料がカバー部材で覆われなくなるため、試料に対してＸ線を照射することができる。

上記試料ホルダ用蓋は、前記蓋本体部に対して移動可能に設けられる突出部と、前記突出部の移動に連動して、前記カバー部材を、前記蓋本体部の前記開口を覆う位置又は覆わない位置に移動させるカバー移動機構と、を更に備えることが好ましい。

この場合、突出部を蓋本体部に対して移動させると、カバー移動機構により、カバー部材を、蓋本体部の開口を覆う位置に配置したり、蓋本体部の開口を覆わない位置に配置したりすることが可能となる。このため、カバー部材の配置変更を容易に行うことが可能となる。

また、本発明による試料ホルダは、ホルダ本体部と、前記ホルダ本体部に連結される蓋と、を備える試料ホルダであって、前記蓋が、開口及び前記開口を囲む包囲面を有する蓋本体部と、前記包囲面に対向する領域に収納可能であり、且つ前記包囲面に平行な方向に移動させることにより前記開口を覆うことが可能な少なくとも１つのカバー部材と、を備えることを特徴とする。

この試料ホルダによれば、カバー部材を包囲面に平行な方向に移動させることにより蓋本体部における開口が覆われるようにすると、この試料ホルダを例えば蛍光Ｘ線分析装置のＸ線照射位置に配置するまでの間に、異物混入等による試料の汚染を十分に防止することが可能となる。また、カバー部材は、蓋において、包囲面に対向する領域に収納可能であり、且つ包囲面に平行な方向に移動される。このため、カバー部材の収納に必要なスペースを十分に小さくすることができる。一方、試料へのＸ線照射時にカバー部材を、蓋本体部における包囲面に対向する領域に配置すれば、試料がカバー部材で覆われなくなるため、試料に対してＸ線を照射することができる。

上記試料ホルダは、前記蓋本体部又は前記ホルダ本体部に対して移動可能に設けられる突出部と、前記突出部の移動に連動して、前記カバー部材を、前記蓋本体部の前記開口を覆う位置又は覆わない位置に移動させるカバー移動機構と、を更に備えることが好ましい。

この場合、突出部を蓋本体部又はホルダ本体部に対して移動させると、カバー移動機構により、カバー部材を、蓋本体部の開口を覆う位置に配置したり、蓋本体部の開口を覆わない位置に配置したりすることが可能となる。このため、カバー部材の配置変更を容易に行うことが可能となる。

また本発明による試料ホルダは、ホルダ本体部と、前記ホルダ本体部に連結され、開口及び前記開口を囲む包囲面を有する蓋本体部を有する蓋と、を備える試料ホルダであって、前記開口を覆うことが可能なシート状カバー部材と、前記シート状カバー部材の少なくとも一部を、前記蓋本体部の前記開口を覆う位置又は覆わない位置に移動させるリールと、前記シート状カバー部材の少なくとも一部を前記開口を覆う位置に移動させる場合に前記シート状カバー部材が前記開口を覆うようにガイドするガイド部と、を備えることを特徴とする。

この試料ホルダによれば、リールによりシート状カバー部材の少なくとも一部が移動されると、シート状カバー部材の少なくとも一部が、ガイド部により蓋本体部の開口を覆うようにガイドされる。このようにカバー部材により蓋本体部の開口が覆われるようにすると、この試料ホルダを例えば蛍光Ｘ線分析装置のＸ線照射位置に配置するまでの間に、異物混入等による試料の汚染を十分に防止することが可能となる。また、リールによりシート状カバー部材を、開口が覆われなくなる位置に移動しても、蓋本体部における空間を有効に利用することで、カバー部材の収納に必要なスペースの拡張を十分に防止することができる。即ち、カバー部材の収納に必要なスペースを十分に小さくすることができる。一方、試料へのＸ線照射時に、リールによりシート状カバー部材の少なくとも一部が開口を覆わない位置に移動されると、試料がシート状カバー部材で覆われなくなるため、試料に対してＸ線を照射することができる。

本発明の蛍光Ｘ線測定装置は、Ｘ線を発生させるＸ線源と、前記Ｘ線源から照射されるＸ線により、試料ホルダに収容される試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出部と、を備える蛍光Ｘ線測定装置であって、前記試料ホルダが、ホルダ本体部と、前記ホルダ本体部に連結され、前記試料を収容する試料収容室を形成する蓋とを有し、前記蓋が、開口及び前記開口を包囲する包囲面を有する蓋本体部と、前記包囲面に対向する領域に収納可能であり、且つ前記包囲面に平行な方向に移動させることにより前記開口を覆うことが可能な少なくとも１つのカバー部材とを有し、前記試料ホルダが、前記蓋本体部又は前記ホルダ本体部に対して移動可能に設けられる突出部と、前記突出部の移動に連動して、前記カバー部材を、前記蓋本体部の前記開口を覆う位置又は覆わない位置に移動させるカバー移動機構とを備えており、前記蛍光Ｘ線測定装置が、前記突出部を、前記試料ホルダに対して移動させることが可能な移動手段を備えることを特徴とする。

この蛍光Ｘ線測定装置によれば、試料ホルダにおいて、カバー部材が蓋本体部の包囲面に平行に移動されて蓋本体部の開口を覆う位置に配置され、試料ホルダがＸ線を照射する位置に配置され、この位置で、移動手段により試料ホルダに対して突出部が移動され、カバー移動機構により、カバー部材が、開口を覆わない位置に配置される。これにより試料ホルダに収容される試料に対してＸ線源によりＸ線を照射することができると共に、試料に対してＸ線を照射するまでの間に、異物混入等による試料の汚染を十分に防止することが可能となる。また、カバー部材は、蓋において、包囲面に対向する領域に収納可能であり、且つ包囲面に平行な方向に移動される。このため、カバー部材の収納に必要なスペースを十分に小さくすることができる。

また本発明の蛍光Ｘ線測定装置は、Ｘ線を発生させるＸ線源と、前記Ｘ線源から照射されるＸ線により、試料ホルダに収容される試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出部と、を備える蛍光Ｘ線測定装置であって、前記試料ホルダが、ホルダ本体部と、前記ホルダ本体部に連結され、開口及び前記開口を囲む包囲面を有する蓋本体部を有する蓋とを有し、前記開口を覆うことが可能なシート状カバー部材と、前記シート状カバー部材の少なくとも一部を、前記蓋本体部の前記開口を覆う位置又は覆わない位置に移動させるリールと、前記前記シート状カバー部材の少なくとも一部を前記開口を覆う位置に移動させる場合に前記シート状カバー部材が前記開口を覆うようにガイドするガイド部と、前記蓋本体部又は前記ホルダ本体部に対して移動可能に且つ前記蓋本体部又は前記ホルダ本体部から外側に突出する突出部と、前記突出部の移動に連動し、前記リールによる前記シート状カバー部材の移動を可能とするリール駆動機構とを備えており、前記蛍光Ｘ線測定装置が、前記突出部を、前記試料ホルダに対して移動させることが可能な移動手段を備える、ことを特徴とする。

この蛍光Ｘ線測定装置によれば、試料ホルダにおいて、リールによりシート状カバー部材の少なくとも一部が移動されると、シート状カバー部材の少なくとも一部が、ガイド部により蓋本体部の開口を覆うようにガイドされる。そして、この試料ホルダがＸ線を照射する位置に配置され、この位置で、移動手段により試料ホルダに対して突出部が移動され、リール移動機構により、カバー部材が、開口を覆わない位置に配置される。これにより試料ホルダに収容される試料に対してＸ線源によりＸ線を照射することができると共に、試料ホルダを例えば蛍光Ｘ線分析装置のＸ線照射位置に配置するまでの間に、異物混入等による試料の汚染を十分に防止することが可能となる。また、リールによりシート状カバー部材を、開口が覆われなくなる位置に移動しても、蓋本体部における空間を有効に利用することで、シート状カバー部材の収納に必要なスペースの拡張を十分に防止することができる。即ち、シート状カバー部材の収納に必要なスペースを十分に小さくすることができる。

本発明による試料ホルダ用蓋、試料ホルダ及びこれを装着する蛍光Ｘ線測定装置によれば、外部からの異物等の混入による試料の汚染を十分に防止することができるため、試料の元素分析を的確に行うことができる。また、本発明による試料ホルダ用蓋、試料ホルダ及びこれを装着する蛍光Ｘ線測定装置によれば、カバー部材の収納に必要なスペースを十分に小さくすることができるので、蛍光Ｘ線装置の小型化を実現できる。

以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、以下の説明では、同一又は相当部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。

図１は、本発明の試料ホルダの好適な実施形態を示す断面図であり、図２は、図１の試料ホルダを示す平面図であり、図３及び図４はそれぞれ、試料ホルダを構成する蓋の部分断面図であり、図５は、図４の一部を拡大して示す部分断面図、図６は、図１の試料ホルダを示す平面図である。

図１に示すように、試料ホルダ１００は、有底筒状のホルダ本体部１と、ホルダ本体部１に連結される蓋２とを備えている。ホルダ本体部１と蓋２とによって、試料が収容される試料収容室３が構成されている。

ホルダ本体部１は底面１ｃを有する底部１ａと、底部１ａの周縁部から底面１ｃに直交する方向に延びる側壁部１ｂとを有しており、側壁部１ｂの先端部における外周面にはネジが切られている。試料収容室３の内部には、底面から直交する方向に伸縮するスプリング１０が設けられており、スプリング１０には、試料Ｓを載せる試料台１１が設けられている。また底部１ａは、底面１ｃに直交する方向に延びる貫通孔１ｄを有している。ホルダ本体部１と蓋２は、それぞれに形成されたネジで連結されるようになっており、貫通孔１ｄに挿入される開閉駆動棒２１は連結時にホルダ本体部１に対して弧を描くように移動する。したがって、貫通孔１ｄは円弧状に形成されていることが好ましい。

蓋２は、円盤状の蓋本体部４を有しており、蓋本体部４は、開口５と、開口５を包囲する平坦な環状の包囲面６とを有している。蓋本体部４は、包囲面６の反対側に平坦面７を有している。そして、蓋本体部４の外周縁からは、平坦面７から遠ざかる方向に環状の側壁部８が延びている。側壁部８の内周面にはネジが切られており、このネジと、ホルダ本体部１の側壁部１ｂに形成されたネジとで蓋２とホルダ本体部１とがしっかりと連結されるようになっている。なお、蓋２とホルダ本体部１とが接続されると、試料Ｓを収容するための試料収容室３が形成される。このため、蓋本体部４には、ホルダ本体部１の底部１ａ側に延び、試料Ｓを押さえる環状の試料押さえ部４ａが設けられることが好ましい。

蓋本体部４及び側壁部８に用いられる材料は一般の容器等に用いられる材料から選択することができるが、加工性、強度、静電気による試料粉末の付着が発生しにくい等の点から金属が好適に用いられる。このような金属としては、一般の試料ホルダ用蓋に使用される金属を使用することができ、このような金属は、例えばステンレス、チタン、アルミニウム、ニッケル、銅、真鍮などから選択される。この金属の種類は、蓋２を備えた試料ホルダ１００が使用される蛍光Ｘ線測定装置、試料Ｓの組成、測定の目的等に応じて選択される。蛍光Ｘ線測定装置において、試料Ｓに含まれる微量元素の検出を目的とする場合は、この目的とする微量元素が蓋本体部４の表面に存在しないことが好ましく、蓋本体部２の表面に沿って、上記微量元素以外の金属を配置できる構成を蓋本体部４が有していることが好ましい。具体的には、例えば蛍光Ｘ線測定装置において、試料Ｓに微量含まれる鉄の成分を検出する場合は、蓋本体部４の材料にステンレスを用いることは好ましくない。従って、この場合には、蓋本体部４全体を、鉄以外の金属を含む材料で構成するか、又は、ステンレスで構成される蓋本体部４の表面に沿って、鉄以外の金属を含む部材、例えば銅、アルミニウムのプレートを配置することが好ましい。

蓋本体部４の包囲面６には、６本の軸ピン９が開口５の周囲に沿って固定されており、各軸ピン９には、板状の覆い羽根（カバー部材）１２が包囲面６に平行に且つ軸ピン９を中心として回転可能に設けられている。具体的には、覆い羽根１２に開口が形成され、この開口に軸ピン９が差し込まれている。覆い羽根１２の形状は、例えば三角形状となっており、覆い羽根１２の大きさは、覆い羽根１２を開口５から取り除いた場合に包囲面６に対向する領域に収納可能な大きさであればよい。また覆い羽根１２の包囲面６と反対側には従動ピン１３が設けられている。

ここで、覆い羽根１２の材料は、蓋本体部４と同様、加工性、強度、静電気による試料粉末の付着が発生しにくい等の点から金属が好適に用いられる。覆い羽根１２を構成する材料としては、蓋本体部４に使用した金属、具体的には、ステンレス、チタン、アルミニウム、ニッケル、銅、真鍮などを使用することができる。６枚の覆い羽根１２は、試料Ｓを覆い、試料Ｓの上方で互いに重なり合うため、覆い羽根１２の剥離片等が試料Ｓに混入することをより十分に防止する観点からは、覆い羽根１２を構成する材料としては、耐磨耗性が高い材料、例えばステンレス、チタンが好適に使用される。

一方、蓋本体部４には、包囲面６側に、覆い羽根１２を介して環状のカムリング１４が設けられている。カムリング１４は、開口５の周りに回転可能に設けられている。カムリング１４は、６枚の覆い羽根１２のそれぞれに設けられた従動ピン１３が挿入されるカム溝１５を有している。ここで、カム溝１５は、カムリング１４の回転に伴って従動ピン１３の位置を規制し、６枚の覆い羽根１２が開口５を覆う位置と、覆わない位置とに配置されるように形成されている。またカムリング１４は、外方に向けて突出する突出部１６を有している。

カムリング１４に対して覆い羽根１２と反対側には、環状の駆動リング１７が、包囲面６に平行に、且つ蓋本体部４の開口５の周りに回転可能に設けられている。駆動リング１７は、外周にギヤ部１８を有している。また駆動リング１７は突出部１７ａを有し、その裏面、すなわち包囲面６側の面からはピン１９が垂下しており、このピン１９は、駆動リング１７の回転に伴い、カムリング１４の突出部１６に接触し、カムリング１４を回転させることが可能となっている（図３参照）。

そして、カムリング１４の突出部１６は、蓋本体部４の周縁部近傍に設けられた固定点１４ａから延びる弾性部材１４ｂの弾性力により駆動リング１７の突起部１７ａに当接させられている。従って、駆動リング１７が図２の矢印Ａ方向に沿って回転すると、カムリング１４の突出部１６がそれに追従し、カムリング１４が図２の矢印Ａ方向に回転するようになる。

一方、蓋本体部４には、駆動リング１７を回転させる円筒状の中間駆動部２０と、中間駆動部２０を回転させる開閉駆動棒２１とが互いに平行に配置され、且つ包囲面６に直交する方向に延びている。中間駆動部２０は、蓋本体部４に、包囲面６に直交する軸の周りに回転可能に設けられている。中間駆動部２０は、抜止め２０ａによって蓋本体部４からの抜けが防止されるようになっている。また開閉駆動棒２１は、その一端が中間駆動部２０の内側に挿入されており、包囲面６に対して直交する方向に移動可能になっている。開閉駆動棒２１の先端部２１ｂは、ホルダ本体部１の底部１ａに円弧状に形成された貫通孔１ｄを経てホルダ本体部１の外側に突出しており、突出部として機能している。開閉駆動棒２１は、板状の止め具２１ｃ，２１ｄを有しており、蓋本体部４において、開閉駆動棒２１の外径よりも大きく、止め具２１ｃ，２１ｄの外径よりも小さい内径を有する開口を貫通している。これにより、開閉駆動棒２１の延び方向に沿った移動量が規制されるようになっている。更に、開閉駆動棒２１には、止め具２１ｃと蓋本体部４の平坦面７との間に、スプリング２５が巻きつけられている。従って、開閉駆動棒２１の先端部２１ｂをホルダ本体部１の内側に押し込むと、スプリングの弾性反発力により先端部２１ｂが押し戻されるようになっている。

図５は、中間駆動部２０に対する開閉駆動棒２１の取付け状態を示す部分断面図である。図５の破線で示されるように、開閉駆動棒２１は、外周面に突起部２１ａを有している。中間駆動部２０は、その外周面に、駆動リング１７のギヤ部１８と噛み合うギヤ部２３を有し、その内周面に、開閉駆動棒２１の突起部２１ａをガイドするガイド溝２４を有している。ガイド溝２４は、中間駆動部の内周面に、中間駆動部２０の延び方向に沿って略らせん状に形成されている。なお、開閉駆動棒２１の先端部２１ｂは、自転を防止して中間駆動部２０の回転を確実に行う観点からは、円柱状ではなく、角柱状（例えば四角柱状）であることが好ましい。

このため、開閉駆動棒２１の先端部２１ｂをホルダ本体部１の内側に押し込むと、開閉駆動棒２１の突起部２１ａが、中間駆動部２０のガイド溝２４に沿って移動するようになり、その結果、中間駆動部２０が回転する。これに伴い、ギヤ部２３が回転して駆動リング１７が図２の矢印Ａ方向に回転する。駆動リング１７が回転すると、その回転に伴って駆動リング１７のピン１９がカムリング１４の突出部１７ａに回転力を伝達し、カムリング１４が回転する。これにより、覆い羽根１２の従動ピン１３がカムリング１４のカム溝１５に沿って移動し、覆い羽根１２が軸ピン９を中心として包囲面６に平行な方向に回転移動し、図６に示すように、包囲面６に対面する位置に配置されるようになる。その結果、蓋本体部４の開口５が現れ、試料Ｓが露出されるようになる。

逆に、開閉駆動棒２１の先端部２１ｂに加えられる押圧力が解除されると、スプリング２５の弾性反発力により、開閉駆動棒２１の先端部２１ｂがホルダ本体部１の貫通孔１ｄからホルダ本体部１の外側に突出するようになる。このとき、開閉駆動棒２１の突起部２１ａが、中間駆動部２０のガイド溝２４に沿って移動し、中間駆動部２０が回転する。これに伴い、ギヤ部２３が回転して駆動リング１７が図６の矢印Ｂ方向に回転する。駆動リング１７が回転すると、その回転に伴って駆動リング１７のピン１９がカムリング１４の突出部１７ａに回転力を伝達し、カムリング１４が回転する。これにより、覆い羽根１２の従動ピン１３がカムリング１４のカム溝１５に沿って移動し、覆い羽根１２が軸ピン９を中心として包囲面６に平行な方向に回転移動し、図２に示すように、覆い羽根１２が開口５側に現れ、最終的には、６枚の覆い羽根１２により開口５が覆われ、試料Ｓが覆われるようになる。

なお、本実施形態では、軸ピン９、従動ピン１３、カムリング１４、駆動リング１７、弾性部材１４ｂ、中間駆動部２０、開閉駆動棒２１によりカバー移動機構が構成されている。

次に、本発明の蛍光Ｘ線測定装置の実施形態について説明する。

本実施形態では、上述した試料ホルダ１００を用いて蛍光Ｘ線測定を行う蛍光Ｘ線測定装置を例にして説明する。

図７は、本発明の蛍光Ｘ線測定装置の好適な実施形態を示す概略図であり、特に、蛍光Ｘ線測定装置を構成する蛍光Ｘ線測定部についてはその内部構成が示されている。

図７に示すように、蛍光Ｘ線測定装置２００は、試料ホルダ１００を複数載せる試料ホルダ台２０１と、試料ホルダ１００の蛍光Ｘ線測定を行う蛍光Ｘ線測定部２０２と、試料ホルダ台２０１に載せられた試料ホルダ１００を蛍光Ｘ線測定部２０２に装着する試料ホルダ運搬アーム２０３とを備えている。試料ホルダ台２０１においては、試料ホルダ１００が配置される配置部２０１ａには、環状の溝２０１ｂが形成されており、試料ホルダ１００における開閉駆動棒２１の先端部２１ｂが環状の溝２０１ｂに入り込むようになっている。つまり、試料ホルダ１００は、開口５を閉じた状態で配置することが可能である。

蛍光Ｘ線測定部２０２は、試料ホルダ１００を導入するホルダ導入口２０３ａを有するハウジング２２０を有しており、ハウジング２２０の内部空間は、主として、試料ホルダ１００内の試料Ｓに対しＸ線照射が行われるＸ線照射室２０４と、Ｘ線照射室２０４で試料Ｓから発生した蛍光Ｘ線が検出される蛍光Ｘ線検出部２０５と、ホルダ導入口２０３ａに連通し、次に測定される試料ホルダ１００が待機する待機室２０６とで構成されている。Ｘ線照射室２０４と蛍光Ｘ線検出部２０５とは、仕切り壁２０７によって仕切られており、待機室２０６と、Ｘ線照射室２０４とは、開閉自在な仕切り壁２０８によって仕切られるようになっている。

Ｘ線照射室２０４及び待機室２０６にはそれぞれ排気ライン２０４ａ、２０６ａが接続されており、これらはそれぞれ真空ポンプ２０９，２１９に接続されている。排気ライン２０４ａ，２０６ａにはそれぞれバルブ２０４ｂ，２０６ｂが設けられている。従って、仕切り壁２０８によってＸ線照射室２０４と待機室２０６とが仕切られると、バルブ２０４ｂ，２０６ｂの開閉によりＸ線照射室２０４及び待機室２０６をそれぞれ独立に真空状態にすることが可能である。

また蛍光Ｘ線測定部２０２は、Ｘ線を発生させるＸ線管２１０と、試料ホルダ１００内の試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線を分光する分光結晶２１１と、分光結晶２１１で分光された蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出器２１２とを備えている。Ｘ線管２１０は、ハウジング２２０の外側からＸ線照射室２０４に嵌め込まれており、分光結晶２１１及び蛍光Ｘ線検出器２１２は、蛍光Ｘ線検出部２０５内に配置されている。

また蛍光Ｘ線測定部２０２は、試料ホルダ１００を待機室２０６からＸ線照射室２０４に配置する回転盤２１３を備えており、回転盤２１３の表面２１３ａ上には、試料ホルダ２１３を保持するホルダ保持部２１４が複数設けられている。ホルダ保持部２１４は、回転盤２１３の表面２１３ａから延び、伸縮可能な支持部２１４ａと、支持部２１４ａに設けられ、試料ホルダ１００を保持するホルダ保持トレイ２１４ｂと、支持部２１４ａに設けられ、ホルダ保持トレイ２１４ｂから突出して試料ホルダ１００を昇降させる昇降シリンダ（移動手段）２１４ｃとを備えている。なお、ホルダ保持トレイ２１４ｂは、試料ホルダ１００の底部１ａと接触する接触面を有している。

次に、上述した蛍光Ｘ線測定装置２００を用い、試料ホルダ１００について蛍光Ｘ線を測定する方法を説明する。

まず図１に示すように、ホルダ本体部１の試料台１１上に試料Ｓを載置し、続いて蓋２をホルダ本体部１に連結させる。このとき、スプリング１０により、試料台１１を介して試料Ｓが蓋本体部４に押し付けられるため、試料Ｓが試料ホルダ１００にしっかりと固定される。

こうして試料Ｓを装着した複数の試料ホルダ１００を試料ホルダ台２０１に載置する。このとき、試料ホルダ台２０１において、試料ホルダ１００が配置される配置部２０１ａには、環状の溝２０１ｂが形成されており、試料ホルダ１００における開閉駆動棒２１の先端部２１ｂが環状の溝２０１ｂに入り込むようになっている。従って、試料ホルダ１００が試料ホルダ台２０１に配置されても、試料ホルダ１００において、蓋本体部１の開口５は６枚の覆い羽根１２によって覆われた状態のままとなる。

次に、試料ホルダ運搬アーム２０３により、試料ホルダ台２０１上の試料ホルダ１００を掴み、蛍光Ｘ線測定部２０２のホルダ導入口２０３ａまで運搬し、ホルダ導入口２０３ａに試料ホルダ１００を導入してホルダ保持部２１４に装着する。このとき、ホルダ保持部２１４において、昇降シリンダ２１４ｃをホルダ保持トレイ２１４ｂから突出させておく。これにより、開閉駆動棒２１の先端部２１ｂに押圧力が加えられないため、試料ホルダ１００において、蓋本体部１の開口５は６枚の覆い羽根１２によって覆われた状態のままとなる。

試料ホルダ１００がホルダ保持部２１４の上に載置されると、ホルダ保持部２１４が回転盤２１３側に移動し、ホルダ導入口２０３ａが閉じられ、待機室２０６が真空ポンプ２０９によって真空予備排気される。このとき、前の試料が真空状態で測定中の場合はＸ線照射室２０４と待機室２０６とを隔てる仕切り弁２０８は閉じられており、Ｘ線照射室２０４は、真空ポンプ２１９によって真空排気されている。前の試料の測定が終了すると、回転盤２１３は１８０°回転し、待機室２０６に準備されていた試料ホルダ１００がＸ線照射室２０４に配置され、その後待機室２０６は大気圧状態に戻される。このときもＸ線照射室２０４は真空ポンプ２１９によって真空排気された状態のままである。このように、試料Ｓが真空状態で測定される場合には、運搬アーム２０３による試料交換のため、待機室２０６では真空状態及び大気圧状態が繰り返され、Ｘ線照射室２０４では仕切り弁２０８によって常時真空が保たれる。

試料ホルダ１００がＸ線照射室２０４に配置されると、ホルダ保持部２１４がＸ線管２１０の方に移動される。このとき、試料ホルダ１００における開閉駆動棒２１の先端部２１ｂには押圧力が加わらず、６枚の覆い羽根１２によって蓋本体部１の開口５が覆われる状態が保持されている。

ここで、昇降シリンダ２１４ｃを下降させると、試料ホルダ１００の底部１ａは、ホルダ保持トレイ２１４ｂにおける接触面２１４ｄに接触する。このとき、開閉駆動棒２１の先端部２１ｂに押圧力が加えられる。これにより、開閉駆動棒２１の先端部２１ｂがホルダ本体部１の内側に押し込まれ、開閉駆動棒２１の突起部２１ａが、中間駆動部２０のガイド溝２４に沿って移動し、その結果、中間駆動部２０が回転する。これに伴い、ギヤ部２３が回転して駆動リング１７が図２の矢印Ａ方向に回転する。駆動リング１７が回転すると、その回転に伴って駆動リング１７のピン１９がカムリング１４の突出部１７ａに回転力を伝達し、カムリング１４が回転する。これにより、覆い羽根１２の従動ピン１３がカムリング１４のカム溝１５に沿って移動し、覆い羽根１２が軸ピン９を中心として回転し、図６に示すように、包囲面６に対面する位置に配置されるようになる。その結果、試料ＳとＸ線管２１０との間から覆い羽根１２が取り除かれ、蓋本体部４の開口５が現れ、試料Ｓが露出されるようになる。

こうして試料Ｓが露出されたならば、Ｘ線管２１０によりＸ線を発生させ、蓋本体部１の開口５を通して試料ＳにＸ線を照射する。そして、試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線は、蛍光Ｘ線検出部２０５において、分光結晶２１１によって分光し、蛍光Ｘ線検出器２１２によって検出する。こうして、試料Ｓの元素分析が終了する。

試料Ｓの元素分析が終了するとホルダ保持部２１４がＸ線管２１０から離れる方向に移動される。このとき、昇降シリンダ２１４ｃをホルダ保持トレイ２１４ｂから突出させる。これにより、試料ホルダ１００における開閉駆動棒２１の先端部２１ｂへの押圧力が解除され、覆い羽根１２が開口５を覆い、試料Ｓが覆われるようになる。

そして、覆い羽根１２で試料Ｓが覆われている状態で回転盤２１３が１８０°回転し、測定が終了した試料Ｓが装着されている試料ホルダ１００は待機室２０６に搬送され、同時に次の測定に供される試料Ｓが装着された試料ホルダ１００がＸ線照射室２０４に搬送される。

Ｘ線照射室２０４と待機室２０６が仕切り壁２０８によって隔てられた状態で、待機室２０６のみを大気圧状態にして、ホルダ導入口２０３ａを開き、試料ホルダ運搬アーム２０３を用いて測定が終了した試料ホルダ１００を取り出し、試料ホルダ台２０１の上に載置する。次の測定のための試料ホルダ１００がある場合は、再び試料ホルダ運搬アーム２０３が試料ホルダ１００を掴み、蛍光Ｘ線測定部２０２の待機室２０６に配置する。この操作を予め設定した回数だけ繰り返し行い、連続蛍光Ｘ線測定が終了する。測定が終了した試料ホルダ１００は、覆い羽根１２を閉じた状態で再び試料ホルダ台２０１上に並べられる。こうして蛍光Ｘ線の測定作業が終了する。

なお、蛍光Ｘ線測定が行われる雰囲気は、真空状態とは限らず、Ｘ線照射室２０４がガス（例えばＨｅ）雰囲気置換された状態、又は大気中であってもよい。

上記のようにして試料Ｓの蛍光Ｘ線を測定すると、Ｘ線を試料Ｓに照射し試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線を検出する直前まで、試料ホルダ１００において蓋本体部４の開口５が覆い羽根１２によって覆われているため、異物混入等による試料Ｓの汚染が十分に防止される。このため、試料Ｓの元素分析を的確に行うことができる。

また、試料ホルダ１００によれば、蓋本体部４の開口５を覆うために複数枚の覆い羽根１２が用いられているため、覆い羽根１２を包囲面６に対向する領域に収納することが可能となる。加えて、覆い羽根１２は、包囲面６に平行に移動される。このため、覆い羽根１２の収納に必要なスペースを十分に小さくすることができ、蛍光Ｘ線装置２００のＸ線照射室２０４を小さくすることができ、ひいては蛍光Ｘ線測定装置２００の小型化を実現できる。

なお、上記実施形態において、蓋２とホルダ本体部１は、それぞれにネジ切を施し、回転させて連結されているが、蓋２とホルダ本体部１のそれぞれにネジを切らず、相互に嵌合させて連結してもよいし、ホルダ本体部１の上に蓋２を載置し、ホルダ本体部１と蓋２を止め具で固定して連結してもよい。

蓋本体部４に形成されている開口５については、測定時において試料Ｓの少なくとも一部が露出し、試料Ｓに対するＸ線の照射に支障がない限り、開口５の位置および形状は特に限定されない。しかし、蛍光Ｘ線測定装置２００が、試料ホルダ１００を保持しているホルダ保持部２１４を回転させ、測定対象となる試料Ｓをスピンさせながら測定を行う場合、また、自動的に蛍光Ｘ線測定装置２００内に試料ホルダ１００を装着して連続的に測定を行う場合は、開口５は対称性を有する形状で、蓋本体部４の所定位置に形成されていることが好ましく、具体的には、蓋本体部４の中心部に円形の開口５が形成されていることが好ましい。

更に、上記実施形態では、覆い羽根１２に開口が形成され、この開口に、包囲面６に固定された軸ピン９が差し込まれているが、覆い羽根１２が蓋本体部４に対して回転可能に設けられていればよく、覆い羽根１２に軸ピン９が固定されていて、蓋本体部４の包囲面６に軸ピン９を差し込む開口が形成されていてもよい。

また、カムリング１４に形成されているカム溝１５は覆い羽根１２に形成されていてもよく、この場合は、カムリング１４にカム溝を移動可能な従動ピン１３を設ければよい。

また、上記の実施形態では、試料ホルダ１００における開閉駆動棒２１の先端部２１ｂに対して外部から操作が加えられた場合に、開口５が覆い羽根１２によって覆われなくなる場合について説明したが、逆に、試料ホルダ１００における開閉駆動棒２１の先端部２１ｂに対して外部から操作が加えられていない場合に、試料測定のための開口５が覆い羽根１２によって覆われなくなり、試料ホルダ１００における開閉駆動棒２１の先端部２１ｂに対して外部から操作が加えられた場合に、開口５が覆い羽根１２によって覆われるようにしてもよい。

また蛍光Ｘ線測定装置２００は、ホルダ保持部２１４を回転させることによって試料ホルダ１００を回転させ、測定の対象となる試料をスピンさせながら測定を行う試料スピン機構を有していてもよい。

次に、本発明の試料ホルダの第２実施形態について説明する。

図８は、本発明の試料ホルダの第２実施形態を示す部分断面図である。図８に示すように、本実施形態の試料ホルダ３００は、以下の点で試料ホルダ１００と相違する。すなわち、本実施形態では、蓋本体部４の外周縁から張出し部３０２が設けられており、張出し部３０２には開口３０２ａが形成され、この開口３０２ａと、円筒状の中間駆動部２０の貫通孔、包囲面６に形成された開口６ａを開閉駆動棒３０１が貫通するようになっている。また開閉駆動棒３０１には、蓋本体部４の平坦面７側に止め具３０１ａが設けられ、張出し部３０２に対して包囲面６と反対側に止め具３０１ｃが設けられている。そして、止め具３０１ｃと張出し部３０２との間には、スプリング３０３が設けられている。なお、開閉駆動棒３０１は、第１実施形態で用いた開閉駆動棒２１と同様に、その外周に中間駆動部２０のガイド溝２４に沿って移動される突起部（図示せず）を有している。

従って、開閉駆動棒３０１の先端部３０１ｂに押圧力を加えると、スプリング３０３の弾性反発力に抗して開閉駆動棒３０１が押し込まれ、開閉駆動棒３０１の突起部が、中間駆動部２０の内周面に形成されたガイド溝２４に沿って移動し、中間駆動部２０が回転する。これに伴い、ギヤ部２３が回転して駆動リング１７が回転し、その回転に伴って駆動リング１７がカムリング１４に回転力を伝達し、カムリング１４が回転する。これにより、覆い羽根１２が包囲面６に平行な方向に回転移動し、包囲面６に対面する位置に配置されるようになる。その結果、蓋本体部４の開口５が現れ、試料Ｓが露出されるようになる。

逆に、開閉駆動棒３０１の先端部３０１ｂに加えられる押圧力が解除されると、開閉駆動棒３０１の突起部が中間駆動部２０のガイド溝２４に沿って移動し、中間駆動部２０が回転する。これに伴い、ギヤ部２３が回転して駆動リング１７が回転し、その回転に伴ってカムリング１４が回転する。これにより、覆い羽根１２が包囲面６に平行な方向に回転移動し、開口５側に現れ、最終的には、６枚の覆い羽根１２により開口５が覆われ、試料Ｓが覆われるようになる。

なお、この試料ホルダ３００を用いて、蛍光Ｘ線測定装置による試料Ｓの元素分析を行う場合、例えば蛍光Ｘ線測定装置２００のＸ線照射室２０４において、昇降シリンダ２１４ｃに代えて、試料ホルダ３００が所定位置に配置される場合に開閉駆動棒３０１の先端部３０１ｂと接触して押圧力を加える押圧部（図示せず）が固定される。この押圧部は、例えばハウジング２２０の内壁面に固定される。

次に、本発明の試料ホルダの第３実施形態について説明する。

図９は、本発明の試料ホルダの第３実施形態を示す平面図である。図９に示すように、本実施形態の試料ホルダ４００は、カバー部材として、覆い羽根１２に代えて、扇子状の形態をした覆い扇子４０１が用いられる点で、第１実施形態の試料ホルダ１００と相違する。覆い扇子４０１は、固定バー４０２と可動バー４０３とを有しており、固定バー４０２および可動バー４０３には、折り畳み可能なシート（カバー部材）４０４が取り付けられている。可動バー４０３は、支点４０５を中心として回転するようになっている。可動バー４０３の支点４０５と反対側の端部には、ワイヤ４０６の一端が連結され、ワイヤ４０６の他端は、蓋本体部４の包囲面６上に設けられた巻取りリール４０７に巻き取られるようになっている。巻取りリール４０７の中心には貫通孔が形成され、巻取りリールの内周面には、ガイド溝（図示せず）が形成され、このガイド溝に沿って、開閉駆動棒２１における突起部２１ａが移動するようになっている。

また可動バー４０３には、スプリング４０９の一端が固定され、スプリング４０９の他端は、蓋本体部４の包囲面６上の支点４１０に固定されている。

従って、覆い扇子４０１が開口５を覆っていないとした場合、覆い扇子４０１は、包囲面６に対向する領域に収納されているが、開閉駆動棒２１を包囲面６に直交する方向に動かすと、開閉駆動棒２１の突起部２１ａが巻取りリール４０７の内周面に形成されたガイド溝に沿って移動し、その結果、巻取りリール４０７が回転する。それに伴い、ワイヤ４０６が巻取りリール４０７に巻き取られる。これにより、可動バー４０３が支点４０５を中心として、包囲面６に平行な方向に回転移動する。可動バー４０３が図９の２点鎖線で示す位置に配置されるときには、開口５がシート４０４によって覆われるようになる。

逆に、開閉駆動棒２１を逆方向に動かすと、リール４０７からワイヤ４０６が繰り出され、可動バー４０３が元に戻り、開口５がシート４０４によって覆われなくなる。このとき、可動バー４０３には、スプリング４０９による弾性力が加えられている。このため、可動バー４０３を容易に元の位置に戻すことができる。

なお、シート４０４は折り畳み可能な材質であればよく、このような材質としては、例えばアルミニウム、ステンレス、銅、プラスチックなどが挙げられる。

次に、本発明の試料ホルダの第４実施形態について説明する。

図１０は、本発明の試料ホルダの第４実施形態を示す部分断面図である。図１０に示すように、本実施形態の試料ホルダ５００は、カバー部材として、覆い羽根１２に代えて覆いシート（シート状カバー部材）５０１を用いている。この覆いシート５０１の基端は、ホルダ本体部１内に配置されたリール５０２に巻き取られており、シート５０１の先端は、蓋本体部４に形成されたスリット５０３を貫通し、包囲面６側に突出し、ガイドロール５０４によりガイドされるようになっている。

リール５０２にはこれと同軸上にギヤ部５０５が設けられており、ギヤ部５０５は、開閉駆動棒２１に形成されたギヤ部５２１ａと噛み合っている。

また包囲面６に対向する位置には、覆いシート５０１を挟むように、開口５０６ａを有する押さえ板５０６が設けられており、押さえ板５０６により覆いシート５０１が、包囲面６に平行な方向に移動可能とされている。

従って、覆いシート５０１の先端が開口５を覆われている状態にある場合に、開閉駆動棒２１の先端部２１ｂに押圧力が加えられると、先端部２１ｂがホルダ本体部１の内側に押し込まれる。これに伴い、ギヤ部５０５が回転し、リール５０２も回転する。これにより、覆いシート５０１がリール５０２に巻き取られ、覆いシート５０１の先端が開口５の上から退避し、開口５が覆いシート５０１によって覆われなくなり、試料Ｓが露出されるようになる。

逆に、開閉駆動棒２１の先端部２１ｂへの押圧力が解除されると、先端部２１ｂがホルダ本体部１から外側に突出し、これに伴ってリール５０２が回転し、覆いシート５０１がリール５０２から繰り出される。これにより、覆いシート５０１の先端がガイドロール５０４を経て包囲面６に平行な方向に移動し、最終的に開口５が覆いシート５０１によって覆われるようになる。

なお、覆いシート５０１は金属箔、プラスチックフィルムなどで構成される。本実施形態では、開閉駆動棒２１、ギヤ部５０５によりリール駆動機構が構成されている。

また、上記第４実施形態では、試料ホルダ５００における開閉駆動棒２１の先端部２１ｂに対して外部から操作が加えられた場合に、開口５が覆いシート５０１によって覆われなくなる場合について説明したが、逆に、試料ホルダ５００における開閉駆動棒２１の先端部２１ｂに対して外部から操作が加えられていない場合に、試料測定のための開口５が覆いシート５０１によって覆われなくなり、試料ホルダ５００における開閉駆動棒２１の先端部２１ｂに対して外部から操作が加えられた場合に、開口５が覆いシート５０１によって覆われるようにしてもよい。

また上記第４実施形態では、リール５０２が、覆いシート５０１の巻取り及び繰出しを行っており、覆いシート５０１の一部を、蓋本体部の開口５を覆う位置に移動させているが、リール５０２は、覆いシート５０１に接続された糸状体等の巻取り及び繰出しを行うことにより、覆いシート５０１の全部を、蓋本体部の開口５を覆う位置に移動させるようにしてもよい。

上記第４実施形態にかかる試料ホルダ５００に試料Ｓを装着すれば、上述した蛍光Ｘ線測定装置２００を用いて試料Ｓについて元素分析を的確に行うことができる。また上記試料ホルダ５００を用いても、蛍光Ｘ線測定装置２００の小型化を実現することができる。

本発明の試料ホルダは、上述した実施形態に限定されない。例えば上記実施形態では、開閉駆動棒２１の先端部２１ｂがホルダ本体部１の底部から突出していたり、開閉駆動棒３０１の先端部３０１ｂが蓋本体部４から外側に突出しているが、突出部は、ホルダ本体部１又は蓋本体部４の外周面から外方に突出するようにしてもよい。

また、上記実施形態では、蛍光Ｘ線測定装置に用いる試料ホルダが示されているが、試料ホルダは、蛍光Ｘ線測定装置に限らず、Ｘ線回折装置、Ｘ線反射率測定装置などの上面照射型の測定装置にも好適に用いることが可能である。

上記実施形態では、ガイド溝２４を有する中間駆動部２０と中間駆動部２０の内側に一端が挿入され、突起部２１ａを有する開閉駆動棒２１とによって開閉駆動棒２１の直線運動が中間駆動部２０の回転運動に変換されているが、ギアボックスを用いて開閉駆動棒２１の直線運動を中間駆動部２０の回転運動に変換してもよい。

本発明の試料ホルダの一実施形態を示す断面図である。 図１の試料ホルダを示す平面図である。 図１の試料ホルダ用蓋を示す部分断面図である。 図１の試料ホルダ用蓋のうち図３と異なる箇所を示す部分断面図である。 図４の一部を拡大して示す部分断面図である。 図２の試料ホルダにおける異なる状態を示す平面図である。 本発明の蛍光Ｘ線測定装置の好適な実施形態の構成を示す概略図である。 本発明の試料ホルダの他の実施形態を示す断面図である。 本発明の試料ホルダの更に他の実施形態を示す断面図である。 本発明の試料ホルダの他の実施形態を示す平面図である。

符号の説明

１…ホルダ本体部、２…試料ホルダ用蓋、４…蓋本体部、５…開口、６…包囲面、１２…覆い羽根（カバー部材）、２１ｂ…先端部（突出部）、１４…カムリング（カバー移動機構）、１７…駆動リング（カバー移動機構）、２０…中間駆動部（カバー移動機構）、２１…開閉駆動棒（カバー移動機構）、２４…ガイド溝（カバー移動機構）、１００，３００，４００，５００…試料ホルダ、２００…蛍光Ｘ線測定装置、２１０…Ｘ線管（Ｘ線源）、２１１…分光結晶（蛍光Ｘ線検出部）、２１２…蛍光Ｘ線検出器（蛍光Ｘ線検出部）、２１４ｃ…昇降シリンダ（移動手段）、５０１…覆いシート（シート状カバー部材）、５０２…リール、５０４…ガイドロール（ガイド部）、５０６…押さえ板（ガイド部）。

Claims (7)

1. ホルダ本体部に連結されて試料ホルダを構成する試料ホルダ用蓋であって、
   開口及び前記開口を囲む包囲面を有する蓋本体部と、
   前記包囲面に対向する領域に収納可能であり、且つ前記包囲面に平行な方向に移動させることにより前記開口を覆うことが可能な少なくとも１つのカバー部材と、
   を備えることを特徴とする試料ホルダ用蓋。
2. 前記蓋本体部に対して移動可能に設けられ且つ前記蓋本体部の外側に突出する突出部と、
   前記突出部の移動に連動して、前記カバー部材を、前記蓋本体部の前記開口を覆う位置又は覆わない位置に移動させるカバー移動機構と、
   を更に備える請求項１に記載の試料ホルダ用蓋。
3. ホルダ本体部と、
   前記ホルダ本体部に連結される蓋と、
   を備える試料ホルダであって、
   前記蓋が、
   開口及び前記開口を囲む包囲面を有する蓋本体部と、
   前記包囲面に対向する領域に収納可能であり、且つ前記包囲面に平行な方向に移動させることにより前記開口を覆うことが可能な少なくとも１つのカバー部材と、
   を備えることを特徴とする試料ホルダ。
4. 前記蓋本体部又は前記ホルダ本体部に対して移動可能に設けられ且つ前記蓋本体部又は前記ホルダ本体部から突出する突出部と、
   前記突出部の移動に連動して、前記カバー部材を、前記蓋本体部の前記開口を覆う位置又は覆わない位置に移動させるカバー移動機構と、
   を更に備える請求項３に記載の試料ホルダ。
5. ホルダ本体部と、
   前記ホルダ本体部に連結され、開口及び前記開口を囲む包囲面を有する蓋本体部を有する蓋と、
   を備える試料ホルダであって、
   前記開口を覆うことが可能なシート状カバー部材と、
   前記シート状カバー部材の少なくとも一部を、前記蓋本体部の前記開口を覆う位置又は覆わない位置に移動させるリールと、
   前記シート状カバー部材の少なくとも一部を前記開口を覆う位置に移動させる場合に前記シート状カバー部材が前記開口を覆うようにガイドするガイド部と、
   を備えることを特徴とする試料ホルダ。
6. Ｘ線を発生させるＸ線源と、
   前記Ｘ線源から照射されるＸ線により、試料ホルダに収容される試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出部と、
   を備える蛍光Ｘ線測定装置であって、
   前記試料ホルダが、
   ホルダ本体部と、
   前記ホルダ本体部に連結され、前記試料を収容する試料収容室を形成する蓋とを有し、
   前記蓋が、
   開口及び前記開口を包囲する包囲面を有する蓋本体部と、
   前記包囲面に対向する領域に収納可能であり、且つ前記包囲面に平行な方向に移動させることにより前記開口を覆うことが可能な少なくとも１つのカバー部材とを有し、
   前記試料ホルダが、
   前記蓋本体部又は前記ホルダ本体部に対して移動可能に設けられる突出部と、
   前記突出部の移動に連動して、前記カバー部材を、前記蓋本体部の前記開口を覆う位置又は覆わない位置に移動させるカバー移動機構とを備えており、
   前記蛍光Ｘ線測定装置が、前記突出部を、前記試料ホルダに対して移動させることが可能な移動手段を備える、
   ことを特徴とする蛍光Ｘ線測定装置。
7. Ｘ線を発生させるＸ線源と、
   前記Ｘ線源から照射されるＸ線により、試料ホルダに収容される試料から発生する蛍光Ｘ線を検出する蛍光Ｘ線検出部と、
   を備える蛍光Ｘ線測定装置であって、
   前記試料ホルダが、
   ホルダ本体部と、
   前記ホルダ本体部に連結され、開口及び前記開口を囲む包囲面を有する蓋本体部を有する蓋とを有し、
   前記開口を覆うことが可能なシート状カバー部材と、
   前記シート状カバー部材の少なくとも一部を、前記蓋本体部の前記開口を覆う位置又は覆わない位置に移動させるリールと、
   前記前記シート状カバー部材の少なくとも一部を前記開口を覆う位置に移動させる場合に前記シート状カバー部材が前記開口を覆うようにガイドするガイド部と、
   前記蓋本体部又は前記ホルダ本体部に対して移動可能に且つ前記蓋本体部又は前記ホルダ本体部から外側に突出する突出部と、
   前記突出部の移動に連動し、前記リールによる前記シート状カバー部材の移動を可能とするリール駆動機構とを備えており、
   前記蛍光Ｘ線測定装置が、前記突出部を、前記試料ホルダに対して移動させることが可能な移動手段を備える、
   ことを特徴とする蛍光Ｘ線測定装置。
   
   

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