JP4028263B2

JP4028263B2 - Parts storage device

Info

Publication number: JP4028263B2
Application number: JP2002071829A
Authority: JP
Inventors: 秀樹南部; 義章福川; 啓且村松; 晃岸田
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2002-03-15
Filing date: 2002-03-15
Publication date: 2007-12-26
Anticipated expiration: 2022-03-15
Also published as: JP2003267552A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＩＣチップ等の電子部品を試験する部品試験装置に組込まれる部品収納装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置などの製造過程においては、最終的に製造されたＩＣチップ等の電子部品に対して各種試験を施す必要があり、従来からそのような試験を自動的に行う部品試験装置が提案されている。
【０００３】
この種の装置は、試験前後の部品をトレイに載置した状態で収納する部品収納部と、部品の試験を実施するテストヘッドと、これら部品収納部とテストヘッドとの間で部品を搬送する搬送装置とを有しており、電子部品を収納したトレイから部品を取出しながらこれをテストヘッドに搬送して試験に供し、試験後、試験結果に対応して設けられた各トレイに部品を収納するように構成されている。
【０００４】
部品収納部には、未試験部品を収納した複数のトレイが昇降テーブル上に積層状態で載置されており、最上位のトレイから未試験部品が取出されながら、最上位のトレイが空になると、そのトレイが排除されて次ぎのトレイから部品が取出されるように構成されている。また、試験済み部品を収納するトレイも同様に昇降テーブル上に載置されており、トレイに部品が収納されながら、このトレイが満載状態となると、新たな空トレイがその上に積層されるように構成されている。そして、未試験部品を収納した最上位のトレイと、試験済み部品を収納した最上位のトレイとが同じ高さに位置するように各昇降テーブルの高さ位置が駆動制御されることにより、搬送手段による部品の取出しおよび収納が同じ高さ位置で行われるように構成されている。
【０００５】
なお、部品収納部に対するトレイの出し入れは、一般に、昇降テーブルを特定の高さ位置にセットした状態で装置側面に設けられる扉を開くことにより、該側面に形成された出し入れ口を介して行うようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記の部品試験装置では、近年、部品収納部へのトレイの出し入れに伴う作業の中断回数を軽減し、これにより稼働率を上げることが要求されており、例えば、部品収納部におけるトレイの収納容量を増大させることが行われている。
【０００７】
ところが、このようにトレイの収納容量を増大させると、積層トレイの増大によりトレイの総重量が増すとともに、積層高さが大きくなることにより出し入れ時のバランス確保が難しくなり、トレイの出し入れが困難なものとなる。
【０００８】
そこで、トレイを複数回に分割して出し入れすることも考えられる。しかし、上下のトレイは凹凸部分を嵌合させて互いに水平方向に位置決めした状態で積層するのが一般的であり、またトレイの収納スペースは通常必要最小限のスペースしか有していないため、例えば、未試験部品の収納部に対しては、複数段に積まれたトレイを順次積み重ねることにより複数回に分けて収納することもある程度は可能であるが、試験済み部品の収納部においては、既に満載状態に積み上げられたトレイを分割しながら取り出すのは上記の事情により困難である。
【０００９】
また、トレイの収納容量の増大に伴い収納扉が大きくなるため、その分、開閉に必要なスペースが大きくなり、装置の設置場所が制限されるおそれがある。例えば、扉を引き倒して略水平に開放させることにより、トレイ出し入れ時のガイドとして扉を機能させる装置もあり、この種の装置では扉の大型化に比例して開閉スペースが拡大することとなり極めて都合が悪い。
【００１０】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、トレイの収納容量を増やして部品収納部からのトレイ取り出し回数を軽減できるようにする一方で、トレイの出し入れ作業を容易に行い得るようにすること、より好ましくは、扉開閉スペースの拡大を抑えることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の部品収納装置は、部品収納用のケーシング内に昇降可能なテーブルが配設され、このテーブル上に部品収納用のトレイを積み重ねた状態で載置することにより前記ケーシング内に部品を収納するように構成され、前記トレイとして、上面に凸部を具備する一方、下面に前記凸部に対応する凹部を具備し、これら凹凸部を互いに嵌合させた状態で積層するように形成されたトレイを収納する部品収納装置において、前記テーブル上に最大収納量のトレイが積層されたときの略上側半分のトレイに対応するように前記ケーシングに形成されるトレイの出し入れ口と、この出し入れ口を開閉する扉と、前記テーブルが昇降する空間内であって、かつ前記テーブルの昇降ストロークの途中部分に挿入される作動位置と前記空間の外側に待避する待避位置とに変位可能な支持板を有し、この支持板を前記作動位置に配置した状態で、前記テーブル上に積層されたトレイのうち当該支持板の上側に位置するトレイを当該支持板により支持する支持手段とを備え、前記扉は、その下端部において略水平軸回りに回動可能に設けられ、ケーシング外側に引き倒されることにより前記出し入れ口を開放するように構成されるとともにこの開放状態において略水平に保持されるように構成され、前記支持手段は、前記扉の開放状態において当該扉の上面と前記支持板によるトレイの支持面とが略面一となるように設けられているものである（請求項１）。
【００１２】
この構成によると、積層されたトレイをテーブルの移動を利用して上下方向に一旦分離させてからその上側部分から取り出すことができるので、上下のトレイを凹凸部分等により互いに位置決めしながらテーブル上にトレイを積み上げる収納形式であっても、収納されたトレイを難なく分割して取り出すことが可能となる。そのため、トレイの収納容量を増やして部品収納部からのトレイ取り出し回数を軽減できる一方で、トレイの取り出し作業を容易に行えるようになる。しかも、トレイの荷重を扉で支えながらケーシングに対してトレイの出し入れすることができるので、トレイの出し入れ作業をさらに容易に行うことが可能となる。
【００１６】
具体的には、前記テーブル上に順次トレイを載置しながら各トレイに部品を収納することにより前記テーブル上にトレイを積み重ねるとともに、最上位のトレイが一定の高さ位置に配設されるように前記テーブルを下降させるようにし、例えばテーブル上にトレイが満載状態となった時に、前記支持手段の支持板を待避位置から作動位置に移動させてテーブル上のトレイのうちその途中部分のトレイを支持させ、この状態で前記テーブルを下降させるようにすれば、テーブル上のトレイを、前記支持板により支持したトレイを含む上側部分とそれ以外の下側部分とに分離させることができる。
【００１７】
なお、この装置は、上記のように空トレイに部品を収納しながら該トレイを積み重ねる場合以外にも、部品を収納したトレイを予め前記テーブル上に積み重ねておき、最上位のトレイから順次部品を取り出す場合にも適している。この場合には、テーブル上に前記トレイを積層する作業を分割して行うことができるという利点がある。すなわち、テーブルを前記支持手段よりも下側に配置するとともに、前記支持板を作動位置に移動させておき、この状態で、適当な数に積み上げたトレイを前記支持板に支持させ、その後、前記テーブルを上昇させて該テーブル上のトレイと支持手段により支持されたトレイとを上下に合体させることにより、前記テーブル上へのトレイの収納を分割して行うことが可能となる。
【００２０】
なお、上記のように空トレイに部品を収納しながらトレイをテーブル上に積み重ねる場合には、支持手段により支持された上側部分のトレイをまず取り出した後、前記テーブルを上昇させて残置トレイを出し入れ口に対応する高さ位置に配置することにより該テーブル上の残置トレイを取り出すことができる。
【００２１】
一方、部品を収納したトレイを予め前記テーブル上に積み重ねておき、最上位のトレイから順次部品を取り出す場合には、まず適当な数に積み上げたトレイを出し入れ口から収納して前記支持手段により支持させた後、これらのトレイを前記テーブルの昇降動作に伴いテーブル上に移し、さらに適当な数に積み上げたトレイを出し入れ口から収納して前記支持手段により支持させた後、前記テーブルを上昇させて先にテーブル上に載置されているトレイ上に後から収納したトレイを積み上げることにより前記テーブル上に必要な数のトレイを積層した状態で載置することが可能となる。
【００２４】
なお、前記テーブル上に空トレイを置き、該トレイに部品を収納しながら順次トレイを積み重ねることにより前記ケーシング内に部品を収納する場合には、前記テーブル上に積層されるトレイの間に介挿されることにより上下のトレイの間に隙間を形成するスペーサと、前記テーブルが昇降する前記空間の外側に設けられる待機位置と前記テーブル上に積層されるトレイとの間で前記スペーサを搬送するスペーサ搬送手段とを備え、前記テーブル上に特定数のトレイが積層されると、前記待機位置に置かれたスペーサが前記スペーサ搬送手段により最上位のトレイ上に搬送されてそれ以降のトレイが該スペーサ上に積層され、さらに前記テーブル上に予め定められた数のトレイが積層されると、前記支持手段が前記挿入位置に移動して前記スペーサにより形成されたトレイ間の前記隙間に挿入され、さらに前記テーブルが所定量だけ下降することにより前記スペーサより上側に積層されているトレイが前記支持手段によりその下側から支持されて該トレイと前記スペーサを含むそれ以外のトレイとが分離されるように構成されているのが好ましい（請求項２）。
【００２５】
このようにスペーサを介挿して上下のトレイ間に隙間を形成し、その隙間に前記支持手段を挿入してトレイを支持するように構成すれば、トレイ自体に特別な構造を設けることなく、テーブル上に積層されたトレイを上下に分離させることが可能となる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、図中には方向性を明確にするためにＸ軸、Ｙ軸を示している。
【００２７】
図１及び図２は、本発明に係る部品収納装置が適用される部品試験装置を概略的に示している。これらの図に示すように、部品試験装置１（以下、試験装置１と略す）は、部品の搬送及び試験中の部品保持（固定）という機械的な役割を担うハンドラ２と、このハンドラ２に組込まれる試験装置本体３とから構成されている。
【００２８】
試験装置本体３は、上面にテストヘッド４を備えた箱型の装置で、テストヘッド４に設けられたソケット（図示省略）に部品をセットして該部品の入力端子にテスト電流を供給しつつ部品の出力端子からの出力電流を受けることにより部品の品質を判断するように構成されている。
【００２９】
試験装置本体３は、前記ハンドラ２に対して脱着可能に構成されており、図示を省略するが、例えば試験装置本体３を専用の台車に載せた状態でハンドラ２の下側から所定の挿着位置に挿入し、テストヘッド４をハンドラ２の基台２ａに形成された開口部から後記テスト領域Ｔａに臨ませた状態で固定することによりハンドラ２に対して組付けられている。なお、テストヘッド４と試験装置本体３とは必ずしも一体である必要はなく、テストヘッド４のみをハンドラ２に組付け、その他の部分をハンドラ２から離間した位置に配置してテストヘッド４に対して電気ケーブル等で電気的に接続するようにしてもよい。
【００３０】
ハンドラ２は、同図に示すように、上部が側方に迫出した略箱型の装置で、トレイに収納された部品を取出して前記テストヘッド４に搬送し、さらに試験後の部品をその試験結果に応じて仕分けするように構成されている。以下、その構成について具体的に説明する。
【００３１】
ハンドラ２の基台２ａ上は、大きく分けて、トレイＴｒが収納されるトレイ収納領域Ｓａと、テストヘッド４等が配置されるテスト領域Ｔａの二つの領域に分けられている。
【００３２】
トレイ収納領域Ｓａには、Ｘ軸方向に複数のトレイ収納部が並設されており、当実施形態では、図２の左側から順に第１〜第４の４つのトレイ収納部１１〜１４が並設されている。そして、第２トレイ収納部１２に試験前（未検査）の部品を載せたトレイＴｒが、第１トレイ収納部１１に空のトレイＴｒが、第４トレイ収納部１４に試験後の部品のうち合格品（Pass）を載せたトレイＴｒが、第３トレイ収納部１３に試験後の部品のうち不合格品（Fail）を載せたトレイＴｒが夫々収納されている。なお、各トレイＴｒは何れもＹ軸方向に細長の平面視矩形に形成されており、図示を省略するが、例えばその表面には複数の部品収納凹部が区画形成されており、ＩＣチップ等の部品が各部品収納凹部内に収納されるように構成されている。
【００３３】
前記トレイ収納部１１〜１４のうち、第１トレイ収納部１１はトレイＴｒを基台２ａ上に積み重ねた状態で載置するように構成されている。一方、他のトレイ収納部１２〜１４は、夫々昇降可能なテーブル上に複数のトレイＴｒを積み重ねた状態で基台下のスペースに収納し、最上位のトレイＴｒのみを基台上に形成された開口部１２ａ〜１４ａに臨ませるように構成されている。具体的に説明すると、図３及び図４に示すように、各トレイ収納部１２〜１４には、上下方向に延びるレール１７が設けられ、このレール１７にテーブル１６が移動可能に装着されている。また、サーボモータ１８により作動する、レール１７と平行なボールねじ軸１９が設けられ、このボールねじ軸１９がテーブル１６のナット部分１６ａに螺合装着されている。そして、テーブル１６上に複数のトレイＴｒが積み重ねられた状態で載置され、サーボモータ１８によるボールねじ軸１９の回転駆動に伴いテーブル１６が昇降することにより、テーブル１６上に積み重ねられたトレイＴｒの数に応じてその最上位のものが各開口部１２ａ〜１４ａに臨むように構成されている。
【００３４】
なお、トレイＴｒには、その表面適所に凸部が、裏面に該凸部に対応する凹部がそれぞれ形成されており、トレイＴｒが積層されると上下の対応する凹凸同士が互いに嵌合して各トレイＴｒが水平方向に位置決めされ、その結果、トレイＴｒがバランス良く積層され得るようになっている。
【００３５】
ハンドラ２の側壁（ケーシングの側面）には、各トレイ収納部１２〜１４に対応してトレイＴｒの出し入れ口１２ｃ〜１４ｃが設けられるとともに、各出し入れ口１２ｃ〜１４ｃを開閉する扉１２ｂ〜１４ｂが設けられている。
【００３６】
各扉１２ｂ〜１４ｂは、図４に示すように、下端部がヒンジを介してハンドラ２の側壁に組み付けられており、同図の一点鎖線に示すように手前（同図では左側）に引き倒すことにより出し入れ口１２ｃ〜１４ｃを開放するとともに、この開放状態において扉自体が略水平に保持されるように構成されている。これにより、トレイＴｒの出し入れ時には、トレイＴｒを支持しながら各トレイ収納部１２〜１４内に案内するガイドとして扉１２ｂ〜１４ｂを機能させるように構成されている。
【００３７】
各出し入れ口１２ｃ〜１３ｃの高さ方向の寸法Ｈａは、同図に示すようにトレイ収納部１２〜１４における最大収納時の高さＨｂよりも小さく設定されており、当実施形態では、例えば最大収納時の概ね上側半分に積層されたトレイＴｒに対応するようにその位置および高さ方向の寸法Ｈａが設定されている。
【００３８】
なお、当実施形態では、前記トレイ収納部１１〜１４のうち、合格品（Pass）を載せたトレイＴｒを収納する第４トレイ収納部１４に本願発明の部品収納装置の構成が適用されており、以下に詳しく説明するように、スペーサ収納装置１５やトレイＴｒの支持手段がこの第４トレイ収納部１４に対して設けられている。
【００３９】
すなわち、前記基台２ａにおける開口部１４ａの側方には、図３及び図５に示すようにスペーサ収納装置１５が設けられており、ここにスペーサ５が収納保持されている。
【００４０】
スペーサ５は、前記テーブル１６上に積層されるトレイＴｒの途中部分に介挿されることにより上下のトレイＴｒの間に隙間を形成するための部材である。このスペーサ５は、トレイＴｒと略同等の外形寸法を有したＹ軸方向に細長の平面視略矩形の板状部材で、その周縁部分には各長辺部分に２カ所ずつ合計４つの切欠部５ａ〜５ｄが形成されており、トレイＴｒの間に介挿されることにより上下のトレイＴｒの周縁部分に前記切欠部５ａ〜５ｄによる隙間を形成するようになっている。なお、スペーサ５の表裏面にはトレイＴｒと同様の位置決め用の凹凸部が形成されており、トレイＴｒの間に介挿された状態で他のトレイＴｒと同様に水平方向に位置決めされ得るように構成されている。
【００４１】
スペーサ収納装置１５は、前記スペーサ５の収納テーブル１５１を有しており、この収納テーブル上に前記スペーサ５を載置した支持するとともに、エアシリンダ１５４の作動によりこの収納テーブル１５１を前記開口部１４ａ外側の待機位置（図５の実線位置）と、開口部１４ａ上方の供給位置（図５の一点鎖線位置）とにわたって略水平に移動させるように構成されている。すなわち、収納テーブル１５１には、Ｘ軸方向に延びる一対のレール部材１５２が固定されおり、これらレール部材１５２が基台２ａに固定されたガイド１５３にスライド自在に支持されるとともに、基台２ａに固定されたエアシリンダ１５４のロッド１５４ａが連結されている。そして、エアシリンダ１５４の駆動状態の切り換えに応じて、収納テーブル１５１が前記ガイド１５３等に案内されながら前記待機位置と供給位置とにわたって変位するように構成されている。
【００４２】
なお、収納テーブル１５１の表面には位置決め用の凸部１５１ａが設けられており、スペーサ載置時には、この凸部１５１ａがスペーサ裏面に形成される凹部に嵌合することにより、スペーサ５が収納テーブル１５１上に位置決めされた状態で支持されるように構成されている。
【００４３】
また、図３，図６及び図７に示すように、第４トレイ収納部１４の内部には、スペーサ５の介挿によりトレイ間に形成される隙間を利用してテーブル１６上のトレイＴｒを支持する支持手段が設けられている。
【００４４】
この支持手段は、テーブル１６の昇降する空間を挟んで配設される合計４つの支持装置１６１から構成されている。各支持装置１６１は、トレイＴｒをその下側から支持するための平坦な表面（上面）を有する支持板１６３と、この支持板１６３を水平方向に進退駆動するエアシリンダ１６２とを有しており、第４トレイ収納部１４の各仕切壁１４ｄにそれぞれ２つずつ、前記支持板１６３を仕切壁１４ｄに貫通させた状態でその外側から組付けられている。そして、各エアシリンダ１６２の作動により、支持板１６３を、テーブル１６が昇降する空間から外側に待避させた待機位置（図６の実線位置）と該空間内に突出させた作動位置（図６の一点鎖線位置）とにわたって進退移動させ得るように構成されている。
【００４５】
各支持装置１６１は全て同一の高さ配置に配設されており、具体的には、前記扉１４ｂが開放されて略水平に支持されたときの該扉上面（図４に符号Ｈｃで示す高さ位置）と前記支持板１６３の上面とが略面一となるように設定されている。また、各支持装置１６１の平面的な配置は、図７に示すようにトレイ上にスペーサ５が載置された状態でスペーサ５の前記切欠部５ａ〜５ｄに対応する配置とされている。つまり、トレイＴｒにスペーサ５が介挿された状態で、図６に示すようにスペーサ５に対応する位置で前記支持板１６３を作動位置にセットすると、スペーサ５の前記切欠部５ａ〜５ｄに対して支持板１６３が外側から挿入され（すなわち、スペーサ５により形成される上下のトレイ間の隙間に支持板１６３が挿入され）、この状態でテーブル１６を下降させると、スペーサ５よりも上側に積層されたトレイＴｒが前記各支持板１６３に下側から支持され、前記スペーサ５を含むそれより下側に積層されたトレイＴｒ等から分離されるようになっている。
【００４６】
トレイ収納領域Ｓａには、さらに図１及び図２に示すようにＰ＆Ｐロボット（Pick & Place Robot）２０が設けられている。
【００４７】
Ｐ＆Ｐロボット２０は、移動可能なヘッド２３を有しており、このヘッド２３によって第２トレイ収納部１２のトレイＴｒから部品を取り出して後記シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに受け渡すとともに、試験後の部品をシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂから受け取って第３トレイ収納部１３又は第４トレイ収納部１４のトレイＴｒに移載するもので、さらに、第１トレイ収納部１１とその他のトレイ収納部１２〜１４との間でトレイＴｒを搬送するトレイ搬送装置として機能するとともに、後述するようにスペーサの搬送手段としても機能するように構成されている。
【００４８】
すなわち、上記基台２ａ上にはＹ軸方向に延びる一対の固定レール２１が設けられ、これら固定レール２１にヘッド支持部材２２が移動可能に装着されている。また、図示を省略するが、前記固定レール２１と平行に延びてサーボモータにより回転駆動されるボールねじ軸が基台２ａ上に設けられ、このボールねじ軸が前記支持部材２２に設けられたナット部材（図示省略）に螺合装着されている。さらに、詳しく図示していないが、前記支持部材２２にＸ軸方向に延びる固定レールが設けられてこの固定レールにヘッド２３が移動可能に装着されるとともに、前記固定レールと平行に延びてサーボモータにより回転駆動されるボールねじ軸が配設され、このボールねじ軸がヘッド２３に設けられたナット部分に螺合装着されている。そして、上記各サーボモータによるボールねじ軸の回転駆動に応じて支持部材２２がＹ軸方向に、ヘッド２３がＸ軸方向に夫々移動することにより、ヘッド２３が前記トレイ収納部１１〜１４及びシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの後記部品受渡し位置Ｐ１を含む範囲で平面的に移動（Ｘ−Ｙ平面上を移動）し得るように構成されている。
【００４９】
ヘッド２３には、複数のノズル部材が搭載されており、当実施の形態では部品吸着用の一対のノズル部材２４ａ，２４ｂと、トレイＴｒおよび前記スペーサ５を吸着するためのノズル部材２５（便宜上、トレイ用ノズル部材２５という）との合計３つのノズル部材が搭載されている。
【００５０】
部品吸着用の各ノズル部材２４ａ，２４ｂは、ヘッド２３に対して昇降及び回転（ノズル軸回りの回転）が可能となっており、図示を省略するがサーボモータを駆動源とする駆動機構により夫々作動するように構成されている。そして、第２トレイ収納部１２等のトレイＴｒ上、あるいはシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの後記テーブル３２の上方にヘッド２３が配置された状態で、各ノズル部材２４ａ，２４ｂの昇降動作に伴いトレイＴｒに対する部品の出し入れ等を行うように構成されている。なお、トレイＴｒへの部品の収納に際しては、このようなノズル昇降動作に加えて各ノズル部材２４ａ，２４ｂが回転することによりトレイＴｒに対して予め定められた方向で部品が収納されるように構成されている。
【００５１】
トレイ用ノズル部材２５は、ヘッド２３に対して昇降動作のみが可能となっており、サーボモータを駆動源とする駆動機構により作動するように構成されている。そして、部品の取出しに伴い空になったトレイＴｒを吸着した状態で、ヘッド２３の移動に伴い第２トレイ収納部１２から第１トレイ収納部１１にトレイＴｒを移送するとともに、必要に応じて第１トレイ収納部１１に収納されている空のトレイＴｒを吸着して第３又は第４のトレイ収納部１３，１４に移送するように構成されている。また、前記スペーサ収納装置１５の収納テーブル上に置かれている前記スペーサ５を吸着して第４トレイ収納部１４のトレイ上に移送するとともに、トレイ上のスペーサ５を吸着してスペーサ収納装置１５の収納テーブル上に移送するように構成されている。
【００５２】
なお、トレイ用ノズル部材２５には、その先端部（下端部）に例えば矩形板型の吸着パッドが組付けられることにより広い吸着面積が設けられており、その結果、トレイＴｒやスペーサ５を良好に吸着し得るように構成されている。
【００５３】
トレイ収納領域Ｓａには、さらに各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ１の間にＣＣＤエリアセンサからなる部品認識カメラ３４が配設されている。このカメラ３４は、Ｐ＆Ｐロボット２０の前記ヘッド２３に吸着されている部品を下側から撮像するもので、試験終了後の部品をトレイＴｒへの収納に先立って撮像するように構成されている。
【００５４】
一方、テスト領域Ｔａには、前記テストヘッド４、一対のシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ（第１シャトルロボット３０Ａ，第２シャトルロボット３０Ｂ）及びテストロボット４０が配設されている。
【００５５】
テストヘッド４は、上述の通り基台２ａに形成された開口部からテスト領域Ｔａの略中央部分に露出した状態で配設されている。テストヘッド４の表面には、部品をセットするための複数のソケット（図示省略）が配設されており、当試験装置１においては２つのソケットがＸ軸方向に並んだ状態で設けられている。
【００５６】
各ソケットには、それぞれ部品（ＩＣチップ等）の各リードに対応する接触部（図示せず）が設けられており、各ソケットに部品を夫々位置決めすると、部品の各リードとこれに対応する接触部とが接触して該部品に対して導通試験や、入力電流に対する出力特性試験等の電気的試験が施されるように構成されている。
【００５７】
シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂは、トレイ収納領域Ｓａとテスト領域Ｔａとの間で部品を搬送しつつ前記Ｐ＆Ｐロボット２０およびテストロボット４０に対して部品の受渡しを行う装置で、図２に示すように夫々Ｙ軸方向に延びる固定レール３１と、サーボモータを駆動源とする駆動機構により駆動されて前記固定レール３１に沿って移動するテーブル３２とを有している。そして、第１トレイ収納部１１及び第４トレイ収納部１４の近傍に設定されたＰ＆Ｐロボット２０に対する部品受渡し位置Ｐ１と、テストヘッド４側方に設定されたテストロボット４０に対する部品受渡し位置Ｐ２との間で前記テーブル３２を固定レール３１に沿って往復移動させながら該テーブル３２により部品を搬送するように構成されている。
【００５８】
テーブル３２には、試験前の部品を載置するためのエリアと、試験後の部品を載置するエリアとが設けられており、各エリアにそれぞれ２個の部品を載置することができるように構成されている。図示を省略するが、各エリアにはそれぞれ負圧パッドが設けらており、移動中には、テーブル上の部品を下から吸着することにより該テーブル３２からの部品の脱落を防止するようになっている。
【００５９】
テストロボット４０は、上述のように各シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂによりトレイ収納領域Ｓａからテスト領域Ｔａに供給される部品をテストヘッド４に搬送（供給）して該試験の間テストヘッド４に対して部品を押圧した状態で保持（固定）し、試験後は、部品をそのままシャトルロボット３０Ａ，３０Ｂに受け渡す（排出する）装置である。
【００６０】
このテストロボット４０は、シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂを跨ぐように基台２ａ上に設けられた高架２ｂに沿って移動する一対の搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂ（第１搬送用ヘッド４２Ａ，第２搬送用ヘッド４２Ｂ）を有しており、これら搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに夫々搭載された一対のヘッド本体４３ａ，４３ｂによりテストヘッド４に対して部品の供給及び排出を行うように構成されている。
【００６１】
各ヘッド本体４３ａ，４３ｂは、それぞれ搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂに対してＸ軸方向及びＹ軸方向の移動が可能に構成され、サーボモータを駆動源とする図外の駆動機構により駆動するように構成されている。
【００６２】
各ヘッド本体４３ａ，４３ｂには、それぞれ部品吸着用のノズル部材（図示省略）が搭載されている。各ノズル部材は、ヘッド本体４３ａ，４３ｂのフレームに対して昇降及び回転（ノズル軸回りの回転）が可能となっており、サーボモータを駆動源とする図外の駆動機構により駆動するように構成されている。また、各ヘッド本体４３ａ又は４３ｂの一方には、テストヘッド４への部品供給の際にソケットに付された基準マークを撮像するためのＣＣＤエリアセンサからなるソケット認識カメラ６２が搭載されている。
【００６３】
テスト領域Ｔａには、さらに前記シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂの部品受渡し位置Ｐ２とテストヘッド４との間に、夫々ＣＣＤエリアセンサからなる部品認識カメラ６４Ａ，６４Ｂが上向きに配設されている。これらのカメラ６４Ａ，６４Ｂは、各搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂによる部品の吸着状態をテストヘッド４への搬入に先立って撮像するもので、シャトルロボット３０Ａ（又は３０Ｂ）からの搬送用ヘッド４２Ａ（又は４２Ｂ）による部品の取り上げ後、該搬送用ヘッド４２Ａ（又は４２Ｂ）が部品認識カメラ６４Ａ（又は６４Ｂ）上方に移動することにより各ヘッド本体４３ａ，４３ｂのノズル部材に吸着されている部品を撮像するように構成されている。なお、部品受渡し位置Ｐ２、部品認識カメラ６４Ａ，６４Ｂ及びテストヘッド４は、Ｘ軸と平行な同一軸線上に配置されており、これにより搬送用ヘッド４２Ａ，４２Ｂを夫々部品受渡し位置Ｐ２からテストヘッド４に亘って最短距離で移動させながその途中で試験前の部品を撮像し得るように構成されている。
【００６４】
なお、ハンドラ２の上部には、図１に示すように防塵用のカバー２ｃが装着されており、テスト領域Ｔａ及びトレイ収納領域Ｓａを含む基台２ａ上の空間がこのカバー２ｃによって覆われている。
【００６５】
前記試験装置１には、図示を省略するが、論理演算を実行する周知のＣＰＵと、そのＣＰＵを制御する種々のプログラムなどを予め記憶するＲＯＭと、装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するＲＡＭとを備えた制御装置（制御手段）が搭載されており、前記試験装置本体３、部品認識カメラ３４，６４Ａ，６４Ｂ及びソケット認識カメラ６２や、前記スペーサ収納装置１５、Ｐ＆Ｐロボット２０、テストロボット４０、シャトルロボット３０Ａ，３０Ｂ及び支持装置１６１等の各コントローラ等がこの制御装置に電気的に接続されている。そして、この制御装置により前記Ｐ＆Ｐロボット２０等の駆動が統括的に制御されることにより順次部品の試験が行われるようになっている。以下、この部品試験動作について説明する。
【００６６】
まず、第１シャトルロボット３０Ａのテーブル３２が部品受渡し位置Ｐ１にセットされ、前記Ｐ＆Ｐロボット２０により第２トレイ収納部１２のトレイＴｒから未試験の部品が取り出されて前記テーブル３２上に載置される。この際、２つの部品が同時にトレイＴｒから取り出されてテーブル３２上に載置される。
【００６７】
次いで、該テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ１から部品受渡し位置Ｐ２に移動することによりトレイ収納領域Ｓａからテスト領域Ｔａに部品が搬送され、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ２に到達すると、第１搬送用ヘッド４１Ａの各ヘッド本体４３ａ，４３ｂによりテーブル３２上の部品が吸着されることによりテーブル３２からピックアップされる。なお、当該アップ動作の後、テーブル３２は、再度部品受渡し位置Ｐ１に移動し、Ｐ＆Ｐロボット２０から次の部品を受け取った後、再び部品受渡し位置Ｐ２に移動して待機する。
【００６８】
そして、テーブル３２から部品がピックアップされると、第１搬送用ヘッド４２Ａの移動に伴い該部品が部品認識カメラ６４Ａの上方に搬送され、ここで部品の吸着状態が画像認識され、さらにテストヘッド４の上方に搬送された後、各部品がテストヘッド４の各ソケットに夫々同時に押し付けられた状態で位置決めされる。これにより部品の試験が開始される。この際、前記ソケット認識カメラ６２によるソケット上のマークの画像認識結果と、部品認識カメラ６４Ａによる部品の吸着状態の画像認識結果とに応じて第１搬送用ヘッド４２Ａが駆動制御されることにより、ソケットと各部品との位置関係にずれがある場合にはそのずれが補正され、これにより各部品がソケット内に正確に位置決めされることとなる。
【００６９】
部品の試験が終了すると、各部品がテストヘッド４のソケットから取り外され、第１搬送用ヘッド４２Ａの移動に伴い第１シャトルロボット３０Ａとの部品受渡し位置Ｐ２に搬送されてテーブル３２上に載置される。この際、テーブル３２上には、上述のように次ぎの部品（未試験の部品）が既に載置されており、従って、試験後の部品がテーブル３２上に移載されると、第１搬送用ヘッド４２Ａにより直ちにテーブル３２上の次の部品がピックアップされてテストヘッド４に搬送されることとなる。
【００７０】
一方、試験後の部品は、テーブル３２が部品受渡し位置Ｐ２から部品受渡し位置Ｐ１に移動することによりテスト領域Ｔａからトレイ収納領域Ｓａに戻される。
【００７１】
トレイ収納領域Ｓａに戻された部品は、Ｐ＆Ｐロボット２０のヘッド２３によりテーブル３２からピックアップされた後、部品認識カメラ３４の上方に搬送され、ここで部品の吸着状態が画像認識された後、試験結果に応じて第３トレイ収納部１３又は第４トレイ収納部１４に搬送されてトレイＴｒ内に収納される。この際、部品認識カメラ３４による部品の吸着状態の認識結果に応じてＰ＆Ｐロボット２０が駆動制御されることにより、各部品がトレイＴｒ内の所定の部品収納凹部に正確に位置決めされることとなる。
【００７２】
以上の説明では、第１シャトルロボット３０Ａおよび第１搬送用ヘッド４２Ａにより部品を搬送しながら試験を行う場合について説明しているが、この試験装置１では、上記のような第１シャトルロボット３０Ａ等による部品の搬送動作に時間差をもたせた状態で第２シャトルロボット３０Ｂおよび第２搬送用ヘッド４２Ｂによる部品の搬送動作が行われるように構成されている。つまり、第１シャトルロボット３０Ａ等による部品の搬送と、第２シャトルロボット３０Ｂ等による部品の搬送とが移相をずらして行われることにより、テストヘッド４に対してほぼ連続的に部品が搬入、搬出され、その結果、部品の試験が効率的に行われるように構成されている。なお、第２シャトルロボット３０Ｂおよび第２搬送用ヘッド４２Ｂによる部品の搬送動作は第１シャトルロボット３０Ａ等による動作と基本的に同一でありその説明は省略する。
【００７３】
ところで、上記のような試験操作中、トレイ収納領域Ｓａの各トレイ収納部１１〜１４は以下のように作動する。
【００７４】
すなわち、第２トレイ収納部１２には、未試験部品を収納したトレイＴｒが前記テーブル１６上に積層された状態で収納され、かつ最上位のトレイＴｒが所定の部品取り出し高さ位置に配置される。そして、部品（試験前の部品）の取り出しに伴い第２トレイ収納部１２のトレイＴｒ（最上位のトレイ）が空になると、Ｐ＆Ｐロボット２０のヘッド２３（トレイ用ノズル部材２５）により該空トレイＴｒが吸着されて第２トレイ収納部１２等から第１トレイ収納部１１に移送されるとともに、トレイ１枚分だけテーブル１６が上昇する。これにより最上位のトレイＴｒが前記取り出し高さ位置に配置され、第２トレイ収納部１２において次ぎのトレイＴｒからの部品の取り出しが行われることとなる。
【００７５】
一方、第３トレイ収納部１３および第４トレイ収納部１４には、試験済みの部品を収納したトレイＴｒが前記テーブル１６上に積層された状態で収納され、かつ最上位のトレイＴｒが所定の部品収納高さ位置に配置される。そして、部品（試験済み部品）の収納に伴いトレイＴｒ（最上位のトレイ）が満載状態になると、Ｐ＆Ｐロボット２０のヘッド２３により第１トレイ収納部１１に置かれた空トレイＴｒが吸着されて第３トレイ収納部１３等に移送されて最上位のトレイ上に積み重ねられるとともに、トレイ１枚分だけテーブル１６が下降する。これにより空トレイＴｒが前記部品収納高さ位置に配置され、第３トレイ収納部１３等に対して次ぎの部品の収納が行われることとなる。
【００７６】
なお、部品の収納に伴い所定数のトレイＴｒが積層されて第４トレイ収納部１４が満載状態となると、前記扉１４ｂが開放されて出し入れ口１４ｃからトレイＴｒが取り出されが、第４トレイ収納部１４においては、トレイＴｒを積み重ね過程で前記スペーサ５がトレイ間に介挿され、さらにトレイ取り出しの際には、前記支持装置１６１等が作動することにより、第４トレイ収納部１４内に収納されているトレイＴｒの取り出しが分割して行われることとなる。以下、図８，図９を用いてこの動作について、オペレータの作業も含めて説明することとする。
【００７７】
まず、部品の収納に伴い所定数のトレイＴｒ、具体的には前記出し入れ口１４ｃから同時に取り出し可能な所定数のトレイＴｒがテーブル上に積み上げられると、前記スペーサ収納装置１５等が作動してスペーサ５が最上位のトレイ上に積み重ねられる。具体的には、エアシリンダ１５４の作動によりスペーサ５が収納テーブル１５１と共に待機位置から開口部１４ａ上方の供給位置に移動するとともに、Ｐ＆Ｐロボット２０のヘッド２３がこのスペーサ５の上方に移動し、トレイ用ノズル部材２５によりスペーサ５がその上側から吸着されることにより収納テーブル１５１からスペーサ５がピックアップされる（図８（ａ））。次いで、エアシリンダ１５４がロッド引き込み駆動状態に切り換えられることにより収納テーブル１５１が待機位置にリセットされた後、前記トレイ用ノズル部材２５が下降することによりスペーサ５が最上位のトレイ上に積み重ねられ（図８（ｂ））。そして、以後、このスペーサ５上にトレイＴｒが積み重ねられる（図８（ｃ））。
【００７８】
こうしてスペーサ５の下側に積層されたトレイＴｒの数と同数のトレイＴｒがスペーサ上に積み上げられると、スペーサ５が各支持装置１６１に対応するように、具体的にはスペーサ５の上面と支持装置１６１の前記支持板１６３の上面とが略面一となるようにテーブル１６が高さ方向に移動する（図８（ｄ））。次いで、エアシリンダ１６２の作動により各支持装置１６１の支持板１６３が待機位置から作動位置に移動し、さらに前記テーブル１６が所定高さだけ下降することにより、スペーサ５よりも上側に積層されたトレイＴｒが前記各支持板１６３に支持された状態で前記スペーサ５を含むそれより下側のトレイＴｒ等から分離される（図９（ａ））。
【００７９】
そして、この状態で前記扉１４ｂが開放され、支持装置１６１により支持されているトレイＴｒがオペレータによって引き出されることにより、第４トレイ収納部１４内のトレイＴｒのうち、まず上側半分のトレイＴｒが同時に出し入れ口１４ｃから取り出される。この際、上述したように扉１４ｂが開放状態で略水平に保持され、かつ支持板１６３の上面が開放された前記扉１４ｂの上面と略面一になるように各支持装置１６１が設けられている結果、トレイＴｒを扉１４ｂの上に引き出して容易に運び出すことができ、トレイＴｒの取り出しが容易に行われることとなる。
【００８０】
第４トレイ収納部１４内の上側半分のトレイＴｒが取り出されると、テーブル上面が前記扉１４ｂの上面と略面一になるようにテーブル１６が高さ方向に移動し（図９（ｂ））、さらにスペーサ収納装置１５等が作動してスペーサ５が取り除かれる。具体的には、Ｐ＆Ｐロボット２０のヘッド２３が開口部１４ａの上方に配置され、トレイ用ノズル部材２５によりスペーサ５が吸着されることによりトレイ上からピックアップされた後、収納テーブル１５１が待機位置から供給位置に移動する（図９（ｃ））。そして、スペーサ５が収納テーブル１５１上に移載された後、収納テーブル１５１が待機位置にリセットされることにより、スペーサ５が待機位置に戻される（図９（ｄ））。
【００８１】
このようにしてスペーサ５が取り除かれた後、オペレータによってテーブル上に支持されているトレイＴｒが引き出されることにより、第４トレイ収納部１４内の残りのトレイＴｒが同時に出し入れ口１４ｃから取り出される。このときも、上述したようにテーブル上面が扉１４ｂの上面と略面一になるように配置されていることにより、トレイＴｒを扉１４ｂの上に引き出すことができ、トレイＴｒの取り出しが容易に行われることとなる。
【００８２】
なお、そのほかのトレイ収納部については、例えば以下のようにしてトレイＴｒの出し入れが行われる。
【００８３】
まず、第２トレイ収納部１２へのトレイＴｒ（未試験部品を収納したトレイＴｒ）の収納は、扉１２ｂを開放された状態で、前記出し入れ口１２ｃから同時に挿入可能な数のトレイＴｒがこの扉上に積み上げられる。そして、テーブル上面が扉１４ｂの上面と略面一になるようにテーブル１６が配置された、扉上に積層されたトレイＴｒが出し入れ口１２ｃから第２トレイ収納部１２内に押し込まれてテーブル１６上に移載される。その後、テーブル１６が下降し、適当な数に積層されたトレイＴｒをその上下から支えながらオペレータが出し入れ口１２ｃから第２トレイ収納部１２内に運びこみ、テーブル上に積層されたトレイＴｒの最上位に積み重ねることにより行われるようになっている。
【００８４】
一方、第３トレイ収納部１３からのトレイＴｒの取り出しは、テーブル上面が開放された前記扉１３ｂの上面と略面一になるようにテーブル１６が配置され、この状態でテーブル上に積層されているトレイＴｒが扉１３ｂの上に引き出されることにより行われる。すなわち、この種の試験では、合格品（Pass）に比べて不良部品（Fail）は極めて少なく、第４トレイ収納部１４のようにトレイＴｒを分割して取り出すことが要求される程、第３トレイ収納部１３にトレイＴｒが収納されることはない。従って、第３トレイ収納部１３には、スペーサ収納装置１５や支持装置１６１等が設けられていない。
【００８５】
以上説明したように、上記のような第４トレイ収納部１４を有する試験装置１によると、試験終了後の部品をトレイＴｒに収納しながら該トレイＴｒを積み重ねるようにしながらも、トレイＴｒを取り出す際には、上述したようにトレイＴｒを分割して取り出すことができるため、トレイＴｒの取り出し作業を容易に行うことができる。特に、この試験装置１では扉１４ｂがガイドを兼ねており、該扉上にトレイＴｒを引き出すことにより、トレイＴｒを難なく第４トレイ収納部１４から取り出すことができるため、その作業は極めて楽なものとなる。
【００８６】
従って、試験終了後の部品をトレイＴｒに収納しながらより多くのトレイＴｒをハンドラ２内に積み重ねた状態で収納しておくことができる一方で、該トレイＴｒの取り出しの際には、その作業を容易に行うことができるようになる。
【００８７】
しかも、トレイＴｒを分割して取り出せるようにしている結果、扉１４ｂ（出し入れ口１４ｃ）についても図４に示すように最大収納容量に対して小さくもので対応することができる。特に、この第４トレイ収納部１４では、扉１４ｂを引き倒して水平に保持することによりトレイ取り出し用のガイドとして兼用するが、上記のように扉１４ｂを最大収納容量に対して小さく設けることができる結果、同じ収納容量を有する従来のこの種の装置に比べると扉開閉に要するスペースが小さくて済む。従って、試験装置１の使用に際して要求されるスペースを縮小化することもできる。
【００８８】
ところで、以上説明した試験装置１は、本発明に係る部品収納装置を適用した部品試験装置の一例であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、以下のような構成を採用することもできる。
【００８９】
▲１▼ トレイＴｒの底面に凹部を形成し、トレイＴｒを積層すると前記凹部によって上下のトレイ間に各支持装置１６１の支持板１６３を挿入可能な隙間が形成されるようにしてもよい。これによれば、スペーサ５を用いることなく積層されたトレイＴｒを上下に分割することが可能となるため、スペーサ収納装置１５が不要となり構成を簡略化することが可能となる。また、スペーサ５の供給、排出に要する時間を削減できるため、トレイＴｒの取り出しをより速やかに行えるようになるというメリットがある。
【００９０】
▲２▼ より多くのトレイＴｒを収納する場合には、トレイＴｒの積層過程で複数箇所にスペーサ５を介挿し、テーブル上に積層されるトレイＴｒを３つ以上に分割して取り出すようにしてもよい。
【００９１】
▲３▼ トレイＴｒの最大収納時の下側半分に積層されるトレイＴｒに対応するように扉１４ｂ（出し入れ口１４ｃ）の位置を設定し、積層されたトレイＴｒのうち下側半分のトレイＴｒから順に取り出すようにしてもよい。この場合には、図９（ａ）に示す如くテーブル上のトレイＴｒを分割して下側半分のトレイＴｒをまず取り出した後、支持装置１６１により支持されている上側半分のトレイＴｒを前記テーブル１６の昇降に伴い受け取ってから該トレイＴｒを出し入れ口１４ｃに対応する高さ位置に配置するようにすればよい。この場合、スペーサ５はトレイＴｒと共に取り出し、オペレータが回収するようにすればよい。但し、上記▲１▼の構成を採用すれば、このようなスペーサ５の回収は不要となる。
【００９２】
▲４▼ 試験前の部品を収納する第２トレイ収納部１２に、第４トレイ収納部１４と同様の配置で支持装置１６１を設けるようにしてもよい。これによれば、トレイＴｒの収納作業をより簡単に行うことが可能となる。
【００９３】
すなわち、支持装置１６１を設けた場合には、次のようにしてトレイＴｒを収納することができる。まず、扉１２ｂを開放し、出し入れ口１２ｃから同時に挿入可能な所定数のトレイＴｒを扉上に積み上げるとともに、開放された前記扉１２ｂの上面とテーブル上面とが略面一になるようにテーブル１６を配置し、扉１２ｂ上に積層した前記トレイＴｒを出し入れ口１２ｃから第２トレイ収納部１２内に押し込みテーブル１６上に移載する。次いで、次に収納するトレイＴｒをさらに扉上に積層する一方で、最上位のトレイＴｒが出し入れ口１２ｃの下端より下側に位置するようにテーブル１６を下降させ、支持装置１６１の各支持板１６３を作動位置にセットする。そして、扉１２ｂ上に積層したトレイＴｒを出し入れ口１２ｃから第２トレイ収納部１２内に押し込み支持装置１６１により支持し、その後、テーブル１６を上昇させて先に収納したトレイＴｒに対して後から収納したトレイＴｒを積み上げ、各支持板１６３を待機位置に移動させる。
【００９４】
このようにすれば、第２トレイ収納部１２に多くのトレイＴｒを収納する場合でもその作業を難なく行うことが可能となり、トレイ収納時の作業性を向上させることが可能になるというメリットがある。
【００９５】
なお、このように支持装置１６１を設ける代わりにスペーサ５を使って同様の作業を行うことも可能である。すなわち、開放された扉１２ｂの上面とテーブル上面とが略面一になるようにテーブル１６を配置し、まず扉１２ｂ上に積層したトレイＴｒを出し入れ口１２ｃから第２トレイ収納部１２内に押し込みテーブル１６上に移載する。次いで、スペーサ５をその最上位のトレイ上に積み重ね、開放された扉１２ｂの上面と該スペーサ５の上面とが面一となるようにテーブル１６を下降させる一方で、次に収納するトレイＴｒをさらに扉上に積層する。そして、扉１２ｂ上に積層したトレイＴｒを前記スペーサ上をスライドさせながら出し入れ口１２ｃから第２トレイ収納部１２内に押し込み、スペーサ５上に積み重ねるようにする。
【００９６】
このようにしてもトレイ収納時の作業性を向上させることができる。但し、この場合には、上記のようにスペーサ５に対してトレイＴｒが前後方向（出し入れ方向）にスライドし得るように両者を構成しておく必要がある。また、部品の取り出しに伴い、スペーサ５が最上位にきたときに該スペーサ５をＰ＆Ｐロボット２０により吸着して搬出する必要もある。
【００９７】
▲５▼ 実施形態では、Ｐ＆Ｐロボット２０のテーブル３２およびスペーサ収納装置１５にスペーサ５の搬送を行っている。つまり、Ｐ＆Ｐロボット２０およびスペーサ収納装置１５により本発明のスペーサ搬送手段が構成されているが、勿論、スペーサ搬送手段は、単一の装置でスペーサ５を搬送するように構成してもよい。
【００９８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ケーシング内に配設された昇降可能なテーブル上に部品収納用のトレイを置き、該トレイに部品を収納しながら順次トレイを積み重ねながら収納する一方で、該トレイの取り出し時には、テーブル上に積層されたトレイのうち予め定めた高さ位置にある特定のトレイを支持し、この状態で前記テーブルを下降させて前記テーブル上のトレイを前記特定のトレイを含む上側部分とそれ以外の下側部分とに分離させることにより、前記上側部分のトレイをケーシング側面の取り出し口から取り出すことができるので、上下のトレイを凹凸部分等により互いに位置決めしながらトレイをテーブル上に積み上げる収納形式であっても、トレイを分割しながらケーシング側面の取り出し口から容易に取り出すことができる。そのため、トレイの収納容量を増やして部品収納部からのトレイ取り出し回数を軽減できるようにしながらも、トレイの取り出し作業を容易に行えるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る部品収納装置が組込まれた部品試験装置を示す斜視概略図である。
【図２】部品試験装置を示す平面図である。
【図３】トレイ収納領域の各トレイ収納部の構成を示す断面図である。
【図４】トレイ収納部の構成を示す図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】スペーサ収納装置の構成を示す平面略図である。
【図６】第４トレイ収納部（特に支持手段）の構成を示す要部断面図である。
【図７】第４トレイ収納部（特に支持手段）の構成を示す図６のＢ−Ｂ断面図である。
【図８】（ａ）〜（ｄ）は、第４トレイ収納部におけるトレイ取り出し時の動作を時系列的に示した模式図である。
【図９】（ａ）〜（ｄ）は、第４トレイ収納部におけるトレイ取り出し時の動作を時系列的に示した模式図である。
【符号の説明】
１部品試験装置
２ハンドラ
３試験装置本体
４テストヘッド
５スペーサ
１１第１トレイ収納部
１２第２トレイ収納部
１３第３トレイ収納部
１４第４トレイ収納部
１５スペーサ収納装置
１５１収納テーブル
３０Ａ第１シャトルロボット
３０Ｂ第２シャトルロボット
４０テストロボット
４２Ａ第１搬送用ヘッド
４２Ｂ第２搬送用ヘッド
４３ａ，４３ｂヘッド本体
１６１支持装置（支持手段）
１６３支持板
Ｓａトレイ収納領域
Ｔａテスト領域
Ｔｒトレイ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
 The present invention relates to a component storage device incorporated in a component testing apparatus for testing an electronic component such as an IC chip.In placeIt is related.
[0002]
[Prior art]
In the manufacturing process of semiconductor devices and the like, it is necessary to perform various tests on electronic components such as IC chips that are finally manufactured. Conventionally, component testing apparatuses that automatically perform such tests have been proposed. Yes.
[0003]
This type of apparatus transports components between a component storage unit that stores components before and after the test in a state of being placed on a tray, a test head that performs a component test, and the component storage unit and the test head. It has a transport device and takes out the parts from the tray containing the electronic parts and transports them to the test head for testing. After the test, the parts are stored in the trays corresponding to the test results. Is configured to do.
[0004]
In the parts storage section, multiple trays containing untested parts are placed on the lifting table in a stacked state, and when the untested parts are removed from the top tray, the top tray becomes empty The tray is removed, and the parts are taken out from the next tray. Similarly, the tray for storing the tested parts is also placed on the lifting table. When the tray is fully loaded while the parts are stored in the tray, a new empty tray is stacked on the tray. It is configured. The height of each lifting table is driven and controlled so that the top tray containing untested parts and the top tray containing tested parts are at the same height. The parts are taken out and stored by the means at the same height position.
[0005]
In general, the tray is inserted into and removed from the component storage unit through a loading / unloading port formed on the side surface by opening a door provided on the side surface of the apparatus with the lifting table set at a specific height. It has become.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
In the above-described component testing apparatus, in recent years, it has been required to reduce the number of interruptions of work associated with the loading and unloading of the tray into the component storage unit, thereby increasing the operating rate. For example, the storage capacity of the tray in the component storage unit Has been done to increase.
[0007]
However, when the storage capacity of the tray is increased in this way, the total weight of the tray increases due to the increase in the number of stacked trays, and the stacking height increases, so that it is difficult to secure a balance at the time of loading and unloading. It will be a thing.
[0008]
Therefore, it is also possible to divide the tray into a plurality of times and put it in and out. However, the upper and lower trays are generally stacked in a state where the concavo-convex portions are fitted and positioned in the horizontal direction, and the storage space for the trays usually has the minimum necessary space. It is possible to store a plurality of times by sequentially stacking trays stacked in a plurality of stages for the storage part for untested parts, but in the storage part for tested parts, It is difficult to take out the trays stacked in the full state while dividing them due to the above circumstances.
[0009]
In addition, since the storage door becomes larger as the storage capacity of the tray increases, the space required for opening and closing increases accordingly, and the installation location of the apparatus may be limited. For example, there is a device that allows the door to function as a guide for loading and unloading the tray by pulling down the door and opening it approximately horizontally. With this type of device, the opening and closing space increases in proportion to the size of the door. Inconvenient.
[0010]
The present invention has been made in view of the above problems, and its object is to increase the storage capacity of the tray and reduce the number of times the tray is taken out from the component storage section, while facilitating the tray insertion / removal operation. More preferably, the expansion of the door opening / closing space is suppressed.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
 In order to solve the above problems, the present inventionParts storage equipmentIn the casing for storing partsRising toDescendable tableThis table is arrangedaboveFor parts storagetrayMultiplyLayeredPlace in the stateTo house parts in the casingThe tray is configured as described above, and has a convex portion on the upper surface and a concave portion corresponding to the convex portion on the lower surface, and is formed so as to be stacked in a state where these concave and convex portions are fitted to each other. StoreFor parts storageNoOn the tableMaximum tray capacityLaminatedA tray inlet / outlet formed in the casing so as to correspond to the substantially upper half of the tray, a door for opening / closing the inlet / outlet, a space in which the table moves up and down, and a lifting stroke of the table The support plate is displaceable at an operating position inserted in the middle of the space and a retracted position retracting outside the space, and the support plate is disposed on the operating position and stacked on the table. Supporting means for supporting the tray located above the support plate among the trays by the support plate, and the door is provided at a lower end portion thereof so as to be rotatable about a substantially horizontal axis and pulled down to the outside of the casing. And is configured to be held substantially horizontally in the opened state, and the support means is configured to open the door. A tray support surface and the upper surface of the door by the supporting plate is provided so as to be substantially flush in state(Claim 1).
[0012]
 thisConstitutionAccording to the above, the stacked trays are once separated in the vertical direction by using the movement of the table, and then the upper portion thereof.Taken from the minuteStart outIt is possibleTherefore, even if the storage format is such that the upper and lower trays are positioned with respect to each other by the concave and convex portions and the trays are stacked on the table, the stored trays can be divided and taken out without difficulty. Therefore, the storage capacity of the tray can be increased to reduce the number of times the tray is removed from the parts storage section.RuichiThus, the tray can be easily taken out.In addition, since the tray can be taken in and out of the casing while supporting the load of the tray with the door, the tray can be taken in and out more easily.
[0016]
 In particularThe trays are stacked on the table by sequentially storing the trays on the table, and the trays are stacked on the table, and the uppermost tray is disposed at a certain height position. For example, when the tray is full on the table, the support meansSupport plateIs moved from the retracted position to the operating position to support the middle part of the tray on the table, and when the table is lowered in this state, the tray on the table is supported by the support.BoardCan be separated into an upper part including the tray supported and a lower part other than the upper part.
[0017]
 In addition to the case where the trays are stacked while storing the components in the empty tray as described above, this apparatus stacks the trays storing the components on the table in advance, and sequentially transfers the components from the uppermost tray. Also suitable for taking out. In this case, there is an advantage that the operation of stacking the tray on the table can be performed in a divided manner. That is, the table is disposed below the support means and the supportBoardIs moved to the operating position, and in this state, the trays stacked in an appropriate number are supported by the support.BoardTo support, ThatThereafter, the table is raised and the tray on the table and the tray supported by the supporting means are combined vertically, so that the tray can be stored separately on the table.
[0020]
 In addition, when storing the components in the empty tray as described above, the tray is stacked on the table.TogetherFirst, the upper tray supported by the supporting means is taken out, and then the table is raised and the remaining tray is placed at a height position corresponding to the loading / unloading port to remove the remaining tray on the table. it can.
[0021]
 on the other hand,When trays storing parts are stacked on the table in advance, and the parts are sequentially removed from the top tray.TogetherFirst, an appropriate number of trays stacked are accommodated from the loading / unloading port and supported by the support means, and then these trays are moved onto the table as the table moves up and down, and further stacked to an appropriate number. Is stored in the inlet / outlet and supported by the support means, and then the table is lifted and the tray stored later is stacked on the tray previously placed on the table, thereby being necessary on the table. It becomes possible to place a number of trays in a stacked state.
[0024]
 In addition, when storing components in the casing by placing an empty tray on the table and sequentially stacking the trays while storing the components in the tray, the components are inserted between the trays stacked on the table. Spacer that forms a gap between the upper and lower trays, and a spacer transport that transports the spacer between a standby position provided outside the space in which the table moves up and down and a tray stacked on the table. And when a specific number of trays are stacked on the table, the spacer placed at the standby position is transported onto the uppermost tray by the spacer transporting means, and the subsequent trays are placed on the spacer. When a predetermined number of trays are stacked on the table, the support means moves to the insertion position and the tray is moved. The tray is inserted into the gap between the trays formed by the spacer and the table is further lowered by a predetermined amount, so that the tray stacked above the spacer is supported from the lower side by the support means. And the other tray including the spacer are preferably separated from each other.2).
[0025]
If the spacer is thus interposed to form a gap between the upper and lower trays, and the support means is inserted into the gap to support the tray, the table itself is not provided with a special structure. It becomes possible to separate the trays stacked on the top and bottom.
[0026]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the figure, the X axis and the Y axis are shown to clarify the directionality.
[0027]
1 and 2 schematically show a component testing apparatus to which a component storage device according to the present invention is applied. As shown in these drawings, a component test apparatus 1 (hereinafter abbreviated as “test apparatus 1”) includes a handler 2 that plays a mechanical role of conveying parts and holding (fixing) components during a test, It is comprised from the test apparatus main body 3 incorporated.
[0028]
The test apparatus main body 3 is a box-type apparatus having a test head 4 on the upper surface, and a part is set in a socket (not shown) provided on the test head 4 and a test current is supplied to an input terminal of the part. It is configured to judge the quality of a component by receiving an output current from the output terminal of the component.
[0029]
The test apparatus main body 3 is configured to be detachable from the handler 2 and is not shown in the figure. For example, the test apparatus main body 3 is inserted from the lower side of the handler 2 with the test apparatus main body 3 mounted on a dedicated carriage. The test head 4 is assembled to the handler 2 by being inserted into the position and being fixed in a state where the test head 4 faces an after-mentioned test area Ta from an opening formed in the base 2a of the handler 2. Note that the test head 4 and the test apparatus main body 3 are not necessarily integrated with each other, only the test head 4 is assembled to the handler 2, and other portions are arranged at positions away from the handler 2 to the test head 4. Then, it may be electrically connected by an electric cable or the like.
[0030]
As shown in the figure, the handler 2 is a substantially box-shaped device with the upper part protruding sideways, takes out the parts stored in the tray and transports them to the test head 4, and further passes the parts after the test to the test head 4. It is configured to sort according to the test result. The configuration will be specifically described below.
[0031]
The base 2a of the handler 2 is roughly divided into two areas: a tray storage area Sa in which the tray Tr is stored and a test area Ta in which the test head 4 and the like are arranged.
[0032]
In the tray storage area Sa, a plurality of tray storage units are arranged in parallel in the X-axis direction. In this embodiment, the first to fourth four tray storage units 11 to 14 are arranged in order from the left side of FIG. It is installed. Then, the tray Tr on which the pre-test (untested) parts are placed in the second tray storage part 12 is empty, the empty tray Tr is in the first tray storage part 11, and the fourth tray storage part 14 is the part after the test. The tray Tr on which the acceptable product (Pass) is placed is stored in the third tray storage portion 13, and the tray Tr on which the rejected product (Fail) among the tested components is placed. Each tray Tr is formed in a rectangular shape in plan view that is elongated in the Y-axis direction. Although not shown, for example, a plurality of component storage recesses are formed on the surface of the tray Tr, such as an IC chip. The component is configured to be stored in each component storage recess.
[0033]
Among the tray storage units 11 to 14, the first tray storage unit 11 is configured to mount the tray Tr in a stacked state on the base 2 a. On the other hand, the other tray storage units 12 to 14 are stored in a space below the base in a state where a plurality of trays Tr are stacked on a vertically movable table, and only the uppermost tray Tr is formed on the base. It is comprised so that it may face the opened parts 12a-14a. More specifically, as shown in FIGS. 3 and 4, each tray storage portion 12-14 is provided with a rail 17 extending in the vertical direction, and a table 16 is movably mounted on the rail 17. . A ball screw shaft 19 that is operated by the servo motor 18 and is parallel to the rail 17 is provided, and the ball screw shaft 19 is screwed onto the nut portion 16 a of the table 16. A plurality of trays Tr are stacked on the table 16, and the table 16 is moved up and down as the ball screw shaft 19 is rotated by the servomotor 18, thereby stacking the trays Tr on the table 16. Depending on the number, the uppermost one is configured to face each of the openings 12a to 14a.
[0034]
The tray Tr has a convex portion at an appropriate position on the front surface and a concave portion corresponding to the convex portion on the back surface. When the tray Tr is stacked, the upper and lower corresponding concave and convex portions are fitted to each other. Each tray Tr is positioned in the horizontal direction, and as a result, the trays Tr can be stacked in a balanced manner.
[0035]
The side walls of the handler 2 (side surfaces of the casing) are provided with tray Tr entrances 12c to 14c corresponding to the respective tray storage portions 12 to 14, and doors 12b to 14b for opening and closing the entrances 12c to 14c. Is provided.
[0036]
As shown in FIG. 4, the doors 12 b to 14 b have lower ends assembled to the side walls of the handler 2 via hinges, and are pulled down toward the front (left side in FIG. 4) as indicated by the alternate long and short dash line in FIG. 4. Accordingly, the doors 12c to 14c are opened, and the door itself is configured to be held substantially horizontal in this opened state. Thereby, when the tray Tr is put in and out, the doors 12b to 14b are configured to function as guides for guiding the tray Tr into the tray storage portions 12 to 14 while supporting the tray Tr.
[0037]
The dimension Ha in the height direction of each of the inlet / outlet ports 12c to 13c is set to be smaller than the height Hb at the time of maximum storage in the tray storage portions 12 to 14 as shown in FIG. The position and the height direction dimension Ha are set so as to correspond to the trays Tr stacked almost in the upper half at the time of storage.
[0038]
In addition, in this embodiment, the structure of the components storage apparatus of this invention is applied to the 4th tray storage part 14 which accommodates the tray Tr which loaded the pass product (Pass) among the said tray storage parts 11-14. As will be described in detail below, support means for the spacer storage device 15 and the tray Tr is provided for the fourth tray storage portion 14.
[0039]
That is, as shown in FIGS. 3 and 5, a spacer storage device 15 is provided on the side of the opening 14a in the base 2a, and the spacer 5 is stored and held therein.
[0040]
The spacer 5 is a member for forming a gap between the upper and lower trays Tr by being inserted in the middle part of the trays Tr stacked on the table 16. The spacer 5 is a substantially rectangular plate-like member that is elongated in the Y-axis direction and has substantially the same external dimensions as the tray Tr, and has a total of four notches at the peripheral portion, two on each long side portion. 5a to 5d are formed, and are inserted between the trays Tr to form gaps by the notches 5a to 5d in the peripheral portions of the upper and lower trays Tr. The front and back surfaces of the spacer 5 are formed with positioning irregularities similar to those of the tray Tr, and can be positioned in the horizontal direction in the same manner as the other trays Tr while being inserted between the trays Tr. It is configured.
[0041]
The spacer storage device 15 has a storage table 151 for the spacer 5, supports the spacer 5 mounted on the storage table, and operates the air cylinder 154 to support the storage table 151 with the opening 14 a. It is configured to move substantially horizontally across the outer standby position (the solid line position in FIG. 5) and the supply position above the opening 14a (the one-dot chain line position in FIG. 5). That is, a pair of rail members 152 extending in the X-axis direction are fixed to the storage table 151, and these rail members 152 are slidably supported by guides 153 fixed to the base 2a, and are also attached to the base 2a. The rod 154a of the fixed air cylinder 154 is connected. The storage table 151 is configured to be displaced between the standby position and the supply position while being guided by the guide 153 and the like in accordance with switching of the driving state of the air cylinder 154.
[0042]
In addition, a convex portion 151a for positioning is provided on the surface of the storage table 151. When the spacer is placed, the convex portion 151a is fitted into a concave portion formed on the back surface of the spacer, so that the spacer 5 is stored in the storage table. 151 is configured to be supported while being positioned on 151.
[0043]
As shown in FIGS. 3, 6 and 7, the tray Tr on the table 16 is placed inside the fourth tray storage portion 14 using a gap formed between the trays by the insertion of the spacer 5. Support means for supporting is provided.
[0044]
The support means is composed of a total of four support devices 161 disposed with a space in which the table 16 is moved up and down. Each support device 161 includes a support plate 163 having a flat surface (upper surface) for supporting the tray Tr from the lower side thereof, and an air cylinder 162 that drives the support plate 163 to advance and retract in the horizontal direction. Two each of the partition walls 14d of the fourth tray storage portion 14 are assembled from the outside in a state where the support plate 163 is passed through the partition wall 14d. Then, by the operation of each air cylinder 162, the support plate 163 is retracted to the outside from the space in which the table 16 moves up and down (solid line position in FIG. 6) and the operation position in which the support plate 163 protrudes into the space (in FIG. 6). It is configured to be able to move forward and backward over the position of the one-dot chain line.
[0045]
The support devices 161 are all arranged at the same height. Specifically, the upper surface of the door (the height indicated by Hc in FIG. 4) when the door 14b is opened and supported substantially horizontally. And the upper surface of the support plate 163 are set to be substantially flush with each other. Further, the planar arrangement of each support device 161 is an arrangement corresponding to the notches 5a to 5d of the spacer 5 in a state where the spacer 5 is placed on the tray as shown in FIG. That is, when the support plate 163 is set at the operating position at a position corresponding to the spacer 5 as shown in FIG. 6 with the spacer 5 inserted in the tray Tr, the notch portions 5a to 5d of the spacer 5 are set. Then, the support plate 163 is inserted from the outside (that is, the support plate 163 is inserted into the gap between the upper and lower trays formed by the spacer 5). The tray Tr thus formed is supported on the respective support plates 163 from the lower side, and is separated from the tray Tr and the like stacked on the lower side including the spacer 5.
[0046]
In the tray storage area Sa, a P & P robot (Pick & Place Robot) 20 is further provided as shown in FIGS.
[0047]
The P & P robot 20 has a movable head 23. The head 23 takes out the parts from the tray Tr of the second tray storage unit 12 and delivers them to the shuttle robots 30A and 30B described later. It is received from the shuttle robots 30A and 30B and transferred to the tray Tr of the third tray storage unit 13 or the fourth tray storage unit 14, and further includes a first tray storage unit 11 and other tray storage units 12-14. In addition to functioning as a tray transport device that transports the tray Tr between the two, it is also configured to function as a spacer transport means as will be described later.
[0048]
That is, a pair of fixed rails 21 extending in the Y-axis direction are provided on the base 2a, and a head support member 22 is movably mounted on the fixed rails 21. Although not shown, a ball screw shaft extending in parallel with the fixed rail 21 and driven to rotate by a servo motor is provided on the base 2a, and this ball screw shaft is a nut provided on the support member 22. Screwed onto a member (not shown). Further, although not shown in detail, the support member 22 is provided with a fixed rail extending in the X-axis direction, and the head 23 is movably mounted on the fixed rail, and extends parallel to the fixed rail to serve as a servomotor. The ball screw shaft that is rotationally driven by is provided, and this ball screw shaft is screwed to a nut portion provided on the head 23. Then, the support member 22 moves in the Y-axis direction and the head 23 moves in the X-axis direction in accordance with the rotational drive of the ball screw shaft by the servo motors, so that the head 23 moves to the tray storage portions 11 to 14 and the shuttle. The robot 30 A, 30 B is configured to be movable in a plane (moving on the XY plane) within a range including a later-described component delivery position P 1.
[0049]
A plurality of nozzle members are mounted on the head 23. In this embodiment, a pair of nozzle members 24a and 24b for sucking components, and a nozzle member 25 for sucking the tray Tr and the spacer 5 (for convenience, A total of three nozzle members, which are called tray nozzle members 25), are mounted.
[0050]
Each of the nozzle members 24a and 24b for sucking components can be moved up and down and rotated (rotation around the nozzle axis) with respect to the head 23. Although not shown, each is driven by a drive mechanism using a servo motor as a drive source. It is configured to operate. Then, in the state where the head 23 is disposed on the tray Tr such as the second tray storage unit 12 or the postscript table 32 of the shuttle robots 30A and 30B, with respect to the tray Tr as the nozzle members 24a and 24b move up and down. It is configured to take parts in and out. When storing the components in the tray Tr, the nozzle members 24a and 24b rotate in addition to the nozzle lifting and lowering operation so that the components are stored in a predetermined direction with respect to the tray Tr. It is configured.
[0051]
The tray nozzle member 25 can only move up and down with respect to the head 23 and is configured to operate by a drive mechanism using a servo motor as a drive source. The tray Tr is transferred from the second tray storage unit 12 to the first tray storage unit 11 along with the movement of the head 23 in a state where the tray Tr that has become empty as a result of taking out the component is adsorbed. An empty tray Tr stored in the first tray storage unit 11 is sucked and transferred to the third or fourth tray storage units 13 and 14. Further, the spacer 5 placed on the storage table of the spacer storage device 15 is sucked and transferred onto the tray of the fourth tray storage portion 14, and the spacer 5 on the tray is sucked and spacer storage device 15. It is comprised so that it may transfer on a storage table.
[0052]
The tray nozzle member 25 is provided with a wide suction area by assembling, for example, a rectangular plate-type suction pad at the tip (lower end) thereof. As a result, the tray Tr and the spacer 5 are excellent. It is comprised so that it can adsorb | suck to.
[0053]
In the tray storage area Sa, a component recognition camera 34 including a CCD area sensor is further disposed between the component delivery positions P1 of the shuttle robots 30A and 30B. The camera 34 images the parts attracted to the head 23 of the P & P robot 20 from the lower side, and is configured to image the parts after the test is completed before being stored in the tray Tr.
[0054]
On the other hand, in the test area Ta, the test head 4, a pair of shuttle robots 30A and 30B (first shuttle robot 30A and second shuttle robot 30B), and a test robot 40 are arranged.
[0055]
As described above, the test head 4 is disposed in a state where the test head 4 is exposed from the opening formed in the base 2a to a substantially central portion of the test area Ta. A plurality of sockets (not shown) for setting parts are disposed on the surface of the test head 4. In the test apparatus 1, two sockets are arranged in the X-axis direction. .
[0056]
Each socket is provided with a contact portion (not shown) corresponding to each lead of the component (IC chip or the like). When the component is positioned in each socket, each lead of the component and the corresponding contact are provided. The part is in contact with each other and is subjected to an electrical test such as a continuity test and an output characteristic test with respect to an input current.
[0057]
The shuttle robots 30A and 30B are devices that deliver parts to the P & P robot 20 and the test robot 40 while conveying parts between the tray storage area Sa and the test area Ta, as shown in FIG. It has a fixed rail 31 extending in the Y-axis direction and a table 32 that is driven by a drive mechanism using a servo motor as a drive source and moves along the fixed rail 31. The component delivery position P1 for the P & P robot 20 set in the vicinity of the first tray storage unit 11 and the fourth tray storage unit 14 and the component delivery position P2 for the test robot 40 set on the side of the test head 4 The parts are conveyed by the table 32 while the table 32 is reciprocated along the fixed rail 31 between them.
[0058]
The table 32 is provided with an area for placing parts before the test and an area for placing parts after the test, so that two parts can be placed in each area. It is configured. Although not shown, each area is provided with a negative pressure pad. During movement, the parts on the table are sucked from below to prevent the parts from falling off the table 32. ing.
[0059]
As described above, the test robot 40 conveys (supplies) the parts supplied from the tray storage area Sa to the test area Ta by the shuttle robots 30A and 30B to the test head 4 and supplies the parts to the test head 4 during the test. This is a device that holds (fixes) a part in a pressed state, and delivers (discharges) the part as it is to the shuttle robots 30A and 30B after the test.
[0060]
The test robot 40 includes a pair of transport heads 42A and 42B (first transport head 42A and second transport head) that move along the overhead 2b provided on the base 2a so as to straddle the shuttle robots 30A and 30B. The head 42B) is configured so that components are supplied to and discharged from the test head 4 by a pair of head bodies 43a and 43b mounted on the transport heads 42A and 42B, respectively.
[0061]
The head bodies 43a and 43b are configured to be movable in the X-axis direction and the Y-axis direction with respect to the transport heads 42A and 42B, respectively, and are driven by a drive mechanism (not shown) using a servo motor as a drive source. It is configured.
[0062]
Each head body 43a, 43b is mounted with a nozzle member (not shown) for sucking parts. Each nozzle member can be moved up and down and rotated (rotation around the nozzle axis) with respect to the frames of the head main bodies 43a and 43b, and is configured to be driven by a drive mechanism (not shown) using a servo motor as a drive source. Has been. In addition, a socket recognition camera 62 including a CCD area sensor for imaging a reference mark attached to the socket when components are supplied to the test head 4 is mounted on one of the head main bodies 43a or 43b.
[0063]
In the test area Ta, component recognition cameras 64A and 64B each comprising a CCD area sensor are disposed upward between the component delivery position P2 of the shuttle robots 30A and 30B and the test head 4, respectively. These cameras 64A and 64B capture the picked-up state of the components by the respective transport heads 42A and 42B prior to loading into the test head 4, and the transport head 42A (or 30B) from the shuttle robot 30A (or 30B). 42B), after picking up the parts, the conveying head 42A (or 42B) moves above the parts recognition camera 64A (or 64B) to pick up an image of the parts adsorbed by the nozzle members of the head main bodies 43a and 43b. It is configured as follows. The component delivery position P2, the component recognition cameras 64A and 64B, and the test head 4 are arranged on the same axis parallel to the X axis, whereby the transport heads 42A and 42B are respectively moved from the component delivery position P2 to the test head. 4 is configured to be able to pick up an image of the part before the test while being moved at the shortest distance.
[0064]
As shown in FIG. 1, a dust-proof cover 2c is attached to the top of the handler 2, and the space on the base 2a including the test area Ta and the tray storage area Sa is covered with the cover 2c. Yes.
[0065]
Although not shown in the drawing, the test apparatus 1 is a well-known CPU for executing logical operations, a ROM for storing various programs for controlling the CPU, and various data temporarily during operation of the apparatus. A control device (control means) including a RAM for storing is mounted, the test device main body 3, the component recognition cameras 34, 64A, 64B, the socket recognition camera 62, the spacer storage device 15, the P & P robot 20, Each controller such as the test robot 40, the shuttle robots 30A and 30B, and the support device 161 is electrically connected to the control device. Then, the driving of the P & P robot 20 and the like is comprehensively controlled by this control device so that the parts are sequentially tested. Hereinafter, the component test operation will be described.
[0066]
First, the table 32 of the first shuttle robot 30A is set at the parts delivery position P1, and untested parts are taken out from the tray Tr of the second tray storage unit 12 by the P & P robot 20 and placed on the table 32. The At this time, the two components are simultaneously removed from the tray Tr and placed on the table 32.
[0067]
Next, when the table 32 moves from the component delivery position P1 to the component delivery position P2, the parts are conveyed from the tray storage area Sa to the test area Ta, and when the table 32 reaches the parts delivery position P2, the first conveyance head. The parts on the table 32 are picked up by the head bodies 43a and 43b of 41A and picked up from the table 32. After the up operation, the table 32 moves again to the parts delivery position P1, receives the next part from the P & P robot 20, and then moves to the parts delivery position P2 again and waits.
[0068]
Then, when a part is picked up from the table 32, the part is transported above the part recognition camera 64A with the movement of the first transport head 42A, where the suction state of the part is image-recognized, and further the test head 4 Then, each component is positioned in a state where it is pressed against each socket of the test head 4 at the same time. This initiates part testing. At this time, the first transfer head 42A is driven and controlled in accordance with the image recognition result of the mark on the socket by the socket recognition camera 62 and the image recognition result of the component suction state by the component recognition camera 64A. If there is a deviation in the positional relationship between the socket and each component, the deviation is corrected, and thereby each component is accurately positioned in the socket.
[0069]
When the component test is completed, each component is removed from the socket of the test head 4, and is transported to the component delivery position P 2 with the first shuttle robot 30 A as the first transport head 42 A is moved and placed on the table 32. Is done. At this time, the next component (untested component) has already been placed on the table 32 as described above. Therefore, when the tested component is transferred onto the table 32, the first conveyance is performed. The next part on the table 32 is immediately picked up by the head 42 A and conveyed to the test head 4.
[0070]
On the other hand, the parts after the test are returned from the test area Ta to the tray storage area Sa by moving the table 32 from the parts delivery position P2 to the parts delivery position P1.
[0071]
The parts returned to the tray storage area Sa are picked up from the table 32 by the head 23 of the P & P robot 20 and then transferred to the upper part of the parts recognition camera 34. Here, after the suction state of the parts is image-recognized, the test is performed. Depending on the result, it is conveyed to the third tray storage unit 13 or the fourth tray storage unit 14 and stored in the tray Tr. At this time, the P & P robot 20 is driven and controlled according to the recognition result of the component suction state by the component recognition camera 34, whereby each component is accurately positioned in a predetermined component storage recess in the tray Tr. .
[0072]
In the above description, a case is described in which a test is performed while parts are being transported by the first shuttle robot 30A and the first transport head 42A. However, in the test apparatus 1, the first shuttle robot 30A and the like as described above are used. The parts are transported by the second shuttle robot 30 B and the second transport head 42 B in a state where there is a time difference in the parts transport operation by the above. That is, the parts are transported to the test head 4 almost continuously by transferring the parts by the first shuttle robot 30A or the like and the parts by the second shuttle robot 30B or the like with a phase shift. As a result, the parts are tested efficiently. The parts transporting operation by the second shuttle robot 30B and the second transporting head 42B is basically the same as the operation by the first shuttle robot 30A and the like, and the description thereof is omitted.
[0073]
By the way, during the test operation as described above, the respective tray storage units 11 to 14 in the tray storage area Sa operate as follows.
[0074]
That is, the second tray storage unit 12 stores a tray Tr storing untested components stacked on the table 16, and the uppermost tray Tr is disposed at a predetermined component removal height position. The Then, when the tray Tr (uppermost tray) of the second tray storage unit 12 becomes empty as a part (part before testing) is taken out, the empty tray is placed by the head 23 (tray nozzle member 25) of the P & P robot 20. Tr is adsorbed and transferred from the second tray storage unit 12 or the like to the first tray storage unit 11 and the table 16 is raised by one tray. As a result, the uppermost tray Tr is arranged at the take-out height position, and parts are taken out from the next tray Tr in the second tray storage portion 12.
[0075]
On the other hand, the third tray storage unit 13 and the fourth tray storage unit 14 store trays Tr that store tested components in a stacked state on the table 16, and the uppermost tray Tr is a predetermined tray. Arranged at the part storage height position. Then, when the tray Tr (uppermost tray) becomes full with the storage of the parts (tested parts), the empty tray Tr placed in the first tray storage unit 11 is adsorbed by the head 23 of the P & P robot 20. While being transferred to the third tray storage unit 13 and the like and stacked on the uppermost tray, the table 16 is lowered by one tray. As a result, the empty tray Tr is arranged at the component storage height position, and the next component is stored in the third tray storage portion 13 and the like.
[0076]
When a predetermined number of trays Tr are stacked as the parts are stored and the fourth tray storage unit 14 is fully loaded, the door 14b is opened and the tray Tr is taken out from the loading / unloading port 14c. In the section 14, the spacers 5 are inserted between the trays in the process of stacking the trays Tr, and when the trays are taken out, the support device 161 and the like are operated to store them in the fourth tray storage section 14. The tray Tr being taken out is divided and performed. Hereinafter, this operation will be described with reference to FIGS. 8 and 9 including the work of the operator.
[0077]
First, when a predetermined number of trays Tr, specifically, a predetermined number of trays Tr that can be taken out simultaneously from the loading / unloading port 14c are stacked on the table as the components are stored, the spacer storage device 15 or the like operates to move the spacers. 5 are stacked on the top tray. Specifically, the operation of the air cylinder 154 moves the spacer 5 together with the storage table 151 from the standby position to the supply position above the opening 14a, and the head 23 of the P & P robot 20 moves above the spacer 5, The spacer 5 is picked up from the upper side of the spacer 5 by the nozzle member 25, so that the spacer 5 is picked up from the storage table 151 (FIG. 8A). Next, after the air cylinder 154 is switched to the rod retracting drive state and the storage table 151 is reset to the standby position, the tray nozzle member 25 is lowered to stack the spacers 5 on the uppermost tray ( FIG. 8B). Thereafter, the tray Tr is stacked on the spacer 5 (FIG. 8C).
[0078]
Specifically, when the same number of trays Tr as the number of trays Tr stacked on the lower side of the spacer 5 are stacked on the spacer, specifically, the upper surface of the spacer 5 and the support are supported so that the spacer 5 corresponds to each support device 161. The table 16 moves in the height direction so that the upper surface of the support plate 163 of the device 161 is substantially flush (FIG. 8D). Next, when the air cylinder 162 is operated, the support plate 163 of each support device 161 is moved from the standby position to the operating position, and the table 16 is lowered by a predetermined height, so that the trays stacked above the spacer 5 are stacked. In a state where Tr is supported by each of the support plates 163, it is separated from the tray Tr and the like below it including the spacer 5 (FIG. 9A).
[0079]
Then, in this state, the door 14b is opened, and the tray Tr supported by the support device 161 is pulled out by the operator, so that the upper half of the tray Tr is first among the trays Tr in the fourth tray storage unit 14. At the same time, it is taken out from the entrance / exit 14c. At this time, as described above, each support device 161 is provided so that the door 14b is held substantially horizontal in the opened state, and the upper surface of the support plate 163 is substantially flush with the opened upper surface of the door 14b. As a result, the tray Tr can be pulled out onto the door 14b and easily carried out, and the tray Tr can be easily taken out.
[0080]
When the upper half of the tray Tr in the fourth tray storage portion 14 is taken out, the table 16 moves in the height direction so that the upper surface of the table is substantially flush with the upper surface of the door 14b (FIG. 9B). Further, the spacer storage device 15 or the like is operated, and the spacer 5 is removed. Specifically, after the head 23 of the P & P robot 20 is disposed above the opening 14a and the spacer 5 is picked up by the tray nozzle member 25 being picked up from the tray, the storage table 151 is moved from the standby position. It moves to the supply position (FIG. 9 (c)). Then, after the spacer 5 is transferred onto the storage table 151, the storage table 151 is reset to the standby position, whereby the spacer 5 is returned to the standby position (FIG. 9 (d)).
[0081]
After the spacer 5 is removed in this way, the tray Tr supported on the table is pulled out by the operator, whereby the remaining tray Tr in the fourth tray storage portion 14 is simultaneously taken out from the loading / unloading port 14c. Also at this time, as described above, since the table upper surface is arranged so as to be substantially flush with the upper surface of the door 14b, the tray Tr can be pulled out onto the door 14b, and the tray Tr can be easily taken out. Will be done.
[0082]
For other tray storage units, for example, the tray Tr is put in and out as follows.
[0083]
First, the storage of the tray Tr (the tray Tr storing untested parts) in the second tray storage unit 12 is performed with the number of trays Tr that can be simultaneously inserted from the loading / unloading port 12c with the door 12b opened. Stacked on the door. Then, the table 16 is arranged so that the upper surface of the table is substantially flush with the upper surface of the door 14b, and the tray Tr stacked on the door is pushed into the second tray storage portion 12 from the loading / unloading port 12c. Reprinted on top. Thereafter, the table 16 descends, and the operator carries the tray Tr stacked in an appropriate number from above and below from the loading / unloading port 12c into the second tray storage unit 12, and the top of the trays Tr stacked on the table. It is done by stacking on top.
[0084]
On the other hand, when the tray Tr is taken out from the third tray storage unit 13, the table 16 is arranged so as to be substantially flush with the upper surface of the door 13b with the upper surface of the table being opened, and in this state, the table is stacked on the table. This is done by pulling out the tray Tr that is on the door 13b. That is, in this type of test, the number of defective parts (Fail) is extremely small compared to a pass product (Pass), and the third Tr is required to divide and take out the tray Tr as in the fourth tray storage unit 14. The tray Tr is not stored in the tray storage unit 13. Accordingly, the third tray storage portion 13 is not provided with the spacer storage device 15 or the support device 161.
[0085]
As described above, according to the test apparatus 1 having the fourth tray storage section 14 as described above, the tray Tr is taken out while stacking the tray Tr while storing the components after the test in the tray Tr. In this case, since the tray Tr can be divided and taken out as described above, the tray Tr can be easily taken out. In particular, in this test apparatus 1, the door 14b also serves as a guide, and by pulling out the tray Tr on the door, the tray Tr can be taken out from the fourth tray storage portion 14 without difficulty, so that the operation is extremely easy. It will be a thing.
[0086]
Accordingly, it is possible to store more trays Tr in the handler 2 while storing the components after the test in the tray Tr. On the other hand, when removing the tray Tr, Can be easily performed.
[0087]
In addition, as a result of dividing the tray Tr so that it can be taken out, the door 14b (in / out port 14c) can also be accommodated with a smaller capacity as shown in FIG. In particular, in the fourth tray storage section 14, the door 14b is pulled down and held horizontally to serve as a guide for taking out the tray. However, as described above, the door 14b is provided small relative to the maximum storage capacity. As a result, the space required for opening and closing the door is smaller than that of a conventional device of this type having the same storage capacity. Therefore, the space required when using the test apparatus 1 can be reduced.
[0088]
By the way, the test apparatus 1 described above is an example of a component test apparatus to which the component storage apparatus according to the present invention is applied, and a specific configuration thereof can be appropriately changed without departing from the gist of the present invention. . For example, the following configuration may be employed.
[0089]
(1) A recess may be formed on the bottom surface of the tray Tr, and when the trays Tr are stacked, a gap may be formed between the upper and lower trays by which the support plate 163 can be inserted between the upper and lower trays. According to this, the stacked trays Tr can be divided into upper and lower without using the spacer 5, so that the spacer storage device 15 is not required and the configuration can be simplified. Further, since the time required for supplying and discharging the spacer 5 can be reduced, there is an advantage that the tray Tr can be taken out more quickly.
[0090]
(2) When storing a larger number of trays Tr, spacers 5 are inserted at a plurality of positions in the stacking process of the trays Tr, and the trays Tr stacked on the table are divided into three or more and taken out. Also good.
[0091]
(3) The position of the door 14b (in / out port 14c) is set so as to correspond to the tray Tr stacked in the lower half of the tray Tr at the maximum storage, and the lower half of the stacked Trs Tr You may make it take out in order. In this case, as shown in FIG. 9A, after the tray Tr on the table is divided and the lower half tray Tr is first taken out, the upper half tray Tr supported by the support device 161 is removed from the table. The tray Tr may be arranged at a height position corresponding to the loading / unloading port 14c after being received as the elevator 16 is moved up and down. In this case, the spacer 5 may be taken out together with the tray Tr and collected by the operator. However, if the configuration (1) is adopted, such a recovery of the spacer 5 is not necessary.
[0092]
{Circle around (4)} The support device 161 may be provided in the same arrangement as the fourth tray storage portion 14 in the second tray storage portion 12 storing the parts before the test. According to this, it becomes possible to perform the storing operation | work of tray Tr more easily.
[0093]
That is, when the support device 161 is provided, the tray Tr can be stored as follows. First, the door 12b is opened, and a predetermined number of trays Tr that can be simultaneously inserted from the loading / unloading port 12c are stacked on the door, and the table 16 is set so that the upper surface of the opened door 12b is substantially flush with the table upper surface. The tray Tr stacked on the door 12b is pushed into the second tray storage unit 12 through the loading / unloading port 12c and transferred onto the table 16. Next, while the tray Tr to be stored next is further stacked on the door, the table 16 is lowered so that the uppermost tray Tr is located below the lower end of the loading / unloading port 12c, and each supporting plate of the supporting device 161 is supported. Set 163 to the operating position. Then, the tray Tr stacked on the door 12b is pushed into the second tray storage unit 12 through the loading / unloading port 12c and supported by the support device 161, and then the table 16 is raised to the previously stored tray Tr. The stored trays Tr are stacked, and each support plate 163 is moved to the standby position.
[0094]
In this way, even when a large number of trays Tr are stored in the second tray storage unit 12, it is possible to perform the operation without difficulty, and there is a merit that workability at the time of storing the tray can be improved. .
[0095]
In addition, it is also possible to perform the same work using the spacer 5 instead of providing the support device 161 in this way. That is, the table 16 is arranged so that the upper surface of the opened door 12b and the upper surface of the table are substantially flush with each other, and the tray Tr stacked on the door 12b is first pushed into the second tray storage portion 12 through the loading / unloading port 12c. Transfer on the table 16. Next, the spacers 5 are stacked on the uppermost tray, and the table 16 is lowered so that the upper surface of the opened door 12b and the upper surface of the spacer 5 are flush with each other. Furthermore, it is laminated on the door. Then, the tray Tr stacked on the door 12b is pushed into the second tray storage portion 12 from the loading / unloading opening 12c while sliding on the spacer, and is stacked on the spacer 5.
[0096]
Even if it does in this way, the workability | operativity at the time of tray accommodation can be improved. However, in this case, it is necessary to configure both of them so that the tray Tr can slide in the front-rear direction (in / out direction) with respect to the spacer 5 as described above. Further, as the parts are taken out, it is necessary to suck out the spacer 5 by the P & P robot 20 when the spacer 5 comes to the uppermost position.
[0097]
(5) In the embodiment, the spacer 5 is transported to the table 32 and the spacer storage device 15 of the P & P robot 20. In other words, the P & P robot 20 and the spacer storage device 15 constitute the spacer conveying means of the present invention. Of course, the spacer conveying means may be constituted so as to convey the spacer 5 by a single device.
[0098]
【The invention's effect】
 As explained above, the present inventionAccording toA tray for storing parts is placed on a table that can be moved up and down arranged in the casing, and the trays are stacked while being stacked while the parts are stored in the tray, while being stacked on the table when the tray is taken out. A specific tray at a predetermined height position is supported among the trays that have been moved, and the table is lowered in this state.TheThe tray on the table is separated into an upper part including the specific tray and a lower part other than the upper part.ByThe upper partMinRemove the tray from the outlet on the side of the casing.be able toAs a result, the upper and lower trays must be positionedEtEven in a storage format in which the trays are stacked on the table, the trays can be easily taken out from the outlet on the side of the casing while being divided. Therefore, the tray can be easily removed while increasing the storage capacity of the tray to reduce the number of times the tray is removed from the component storage unit.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic perspective view showing a component testing apparatus incorporating a component storage device according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a component testing apparatus.
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a configuration of each tray storage unit in a tray storage region.
4 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 3 showing the configuration of the tray storage unit.
FIG. 5 is a schematic plan view showing the configuration of the spacer storage device.
FIG. 6 is a cross-sectional view of the main part showing the configuration of a fourth tray housing part (particularly, supporting means).
7 is a cross-sectional view taken along the line B-B in FIG. 6 showing the configuration of the fourth tray storage section (particularly the supporting means).
FIGS. 8A to 8D are schematic diagrams showing time-sequential operations at the time of tray removal in the fourth tray storage unit. FIGS.
FIGS. 9A to 9D are schematic views showing time-series operations at the time of tray removal in the fourth tray storage unit. FIGS.
[Explanation of symbols]
1 Parts testing equipment
2 Handler
3 Test equipment
4 Test head
5 Spacer
11 First tray storage
12 Second tray storage
13 Third tray storage
14 Fourth tray compartment
15 Spacer storage device
151 storage table
30A First shuttle robot
30B Second shuttle robot
40 test robot
42A First transport head
42B Second transport head
43a, 43b Head body
161 Support device (support means)
163 Support plate
Sa tray storage area
Ta test area
Tr tray

Claims

部品収納用のケーシング内に昇降可能なテーブルが配設され、このテーブル上に部品収納用のトレイを積み重ねた状態で載置することにより前記ケーシング内に部品を収納するように構成され、前記トレイとして、上面に凸部を具備する一方、下面に前記凸部に対応する凹部を具備し、これら凹凸部を互いに嵌合させた状態で積層するように形成されたトレイを収納する部品収納装置において、
前記テーブル上に最大収納量のトレイが積層されたときの略上側半分のトレイに対応するように前記ケーシングに形成されるトレイの出し入れ口と、
この出し入れ口を開閉する扉と、
前記テーブルが昇降する空間内であって、かつ前記テーブルの昇降ストロークの途中部分に挿入される作動位置と前記空間の外側に待避する待避位置とに変位可能な支持板を有し、この支持板を前記作動位置に配置した状態で、前記テーブル上に積層されたトレイのうち当該支持板の上側に位置するトレイを当該支持板により支持する支持手段とを備え、
前記扉は、その下端部において略水平軸回りに回動可能に設けられ、ケーシング外側に引き倒されることにより前記出し入れ口を開放するように構成されるとともにこの開放状態において略水平に保持されるように構成され、
前記支持手段は、前記扉の開放状態において当該扉の上面と前記支持板によるトレイの支持面とが略面一となるように構成されていることを特徴とする部品収納装置。 Arranged ascending descending possible tables in the casing for the component housing is configured to house the components in the casing by mounting to Rukoto in a state in which the tray for component storing superimposed seen product on the table The tray is provided with a convex portion on the upper surface and a concave portion corresponding to the convex portion on the lower surface, and the tray formed so as to be stacked in a state where the concave and convex portions are fitted to each other. and have you in the component storage device,
A tray inlet / outlet formed in the casing so as to correspond to a substantially upper half tray when the maximum amount of trays is stacked on the table ,
A door that opens and closes this door;
The support plate has a support plate that is displaceable between an operating position to be inserted in an intermediate portion of a lifting stroke of the table and a retracted position to be retracted outside the space, in the space in which the table moves up and down. With the support plate supporting the tray positioned on the upper side of the support plate among the trays stacked on the table with the support plate disposed at the operating position,
The door is provided at the lower end thereof so as to be rotatable about a substantially horizontal axis, and is configured to open the access port by being pulled down to the outside of the casing and is held substantially horizontal in this open state. Configured as
The component storage device , wherein the support means is configured such that an upper surface of the door and a support surface of the tray by the support plate are substantially flush with each other when the door is open .

請求項１記載の部品収納装置において、
前記テーブル上にトレイを置き、該トレイに部品を収納しながら順次トレイを積み重ねるとともに、最上位のトレイが一定の高さ位置に配設されるように前記テーブルを下降させるように構成されるものであって、
前記テーブル上に積層されるトレイの間に介挿されることにより上下のトレイの間に隙間を形成するスペーサと、前記テーブルが昇降する前記空間の外側に設けられる待機位置と前記テーブル上に積層されるトレイとの間で前記スペーサを搬送するスペーサ搬送手段とを備え、前記テーブル上に特定数のトレイが積層されると、前記待機位置に置かれたスペーサが前記スペーサ搬送手段により最上位のトレイ上に搬送されてそれ以降のトレイが該スペーサ上に積層され、さらに前記テーブル上に予め定められた数のトレイが積層されると、前記支持手段が前記挿入位置に移動して前記スペーサにより形成されたトレイ間の前記隙間に挿入され、さらに前記テーブルが所定量だけ下降することにより前記スペーサより上側に積層されているトレイが前記支持手段により下側から支持されて該トレイと前記スペーサを含むそれ以外のトレイとが分離されるように構成されていることを特徴とする部品収納装置。The component storage device according to claim 1,
The tray is placed on the table, and the trays are sequentially stacked while storing the components in the tray, and the table is lowered so that the uppermost tray is disposed at a certain height position. Because
A spacer is formed between the trays stacked on the table to form a gap between the upper and lower trays, a standby position provided outside the space in which the table moves up and down, and stacked on the table. Spacer transporting means for transporting the spacers to and from the tray, and when a specific number of trays are stacked on the table, the spacer placed at the standby position is moved to the uppermost tray by the spacer transporting means. When the trays that have been conveyed and stacked thereafter are stacked on the spacer, and a predetermined number of trays are stacked on the table, the support means moves to the insertion position and is formed by the spacer. The tray is inserted into the gap between the trays and the table is further lowered by a predetermined amount so that the tray stacked above the spacer is stacked. Component storage apparatus characterized by being supported from the lower side and the other tray containing the spacer and the tray is configured to be separated by but the supporting means.