JP4007329B2 - アレイ導波路回折格子 - Google Patents
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Description
本発明は、アレイ導波路回折格子に関わり、特に、小さな面積にアレイ導波路を配置して全体を小型化したアレイ導波路回折格子に関する。
従来技術では、図１０に示すように曲げ導波路２０７、２０８を利用したアレイ導波路が導波路型回折格子に用いられている（例えば、特許文献１参照）。この場合、隣接する各アレイ導波路間の光路長差を一定にしている。
特開２００２−１７４７４０号公報
しかし、曲げ導波路２０７、２０８の曲げ半径は、曲げ損失を考慮して決定され、最小の曲げ半径Ｒminは導波路のコアとクラッドの屈折率差(Δ)に依存する。Δ＝０.３〜０.７５％でＲmin＝２５〜５ｍｍ程度であるため、アレイ導波路回折格子の寸法は大きくなってしまう。寸法の大きいアレイ導波路回折格子は、１枚の基板からの作製枚数を制限するため、コスト削減の妨げになる。さらに、アレイ導波路部の寸法が大きい場合、導波路の屈折率の不均一性を受ける。これは、アレイ導波路間の光路長差のずれの原因となり、導波路型回折格子の性能を劣化させる。これらの問題を解決するため、Δが大きい導波路（＝１.５〜２.０％）を利用して、導波路最小曲げ半径を小さくする方法が用いられている。この場合、アレイ導波路の寸法は、小さくなるが、接続する光ファイバとのスポット形状の相違から結合損失が大きくなってしまう。そのため、スポットサイズ変換器を挿入する必要がある。
本発明は、上記問題点に鑑み、導波路最小曲げ半径を小さくしなくても、アレイ導波路を配置する面積を小さくすることができるアレイ導波路回折格子を提供することを目的とする。
本発明のアレイ導波路回折格子は、入力光が入射する複数の入力側単一モード導波路と、該入力側単一モード導波路からの出射光を入射する入力側スラブ導波路と、該入力側スラブ導波路からの出射光を入射して隣接する各アレイ導波路間の光路長差が一定である複数のアレイ導波路と、各該アレイ導波路内に６つあって、いずれも隣接するアレイ導波路の対応のものとは本アレイ導波路回折格子の長手方向の異なる位置に存在し、光路を長手方向に２往復させる９０度曲げ反射構造と、前記アレイ導波路からの出射光を入射する出力側スラブ導波路と、該出力側スラブ導波路からの出射光を入射して出力光を出射する複数の出力側単一モード導波路とを備える。
本発明によれば、アレイ導波路部の小面積化が実現すると共に縦及び横の両方とも小さくすることができ、アレイ導波路回折格子の小型化や屈折率の不均一性の影響の抑制につながる。これにより、１枚の基板上での作製枚数を増やすことが可能になり、低コスト化と共に性能の安定化が望める。さらに、この形状は、光ファイバとの結合損失が小さい小さな屈折率差を持つ導波路で実現可能であるため、スポットサイズ変換器が不要になる。
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。
図１は、本発明に関連する第１実施の形態によるアレイ導波路回折格子の構成を示す図である。本実施の形態のアレイ導波路回折格子は、入力側単一モード導波路１１、出力側単一モード導波路１２、入力側スラブ導波路１３、出力側スラブ導波路１４、入力側テーパー導波路１５、出力側テーパー導波路１６、曲げアレイ導波路（内側）１７、曲げアレイ導波路（外側）１８、及び反射構造１９からなる。本実施の形態のアレイ導波路回折格子に入射した光は、導波路内の反射構造１９によって反射し、出力側の導波路を伝搬する。
図２は、本実施の形態におけるテーパー導波路の構成を拡大して示す図である。本実施の形態のテーパー導波路１５は、直線導波路１５１及び曲げ導波路１５２からなる。曲げアレイ導波路１７、１８への入射を低損失に実現するため、テーパーの直線導波路１５１を利用し、シングルモード導波路幅になった所から、曲げ導波路１５２を利用し、各曲げアレイ導波路１７、１８を平行にする。
図３は、本実施の形態の設計に必要な各種パラメータを示す図である。入力側スラブ導波路１３の長さをｆ、直線導波路１５１の長さをｔ、そして、それらの最大広がり角をθとすると、各直線導波路１５１の終端の座標（ｘi,ｙi）、曲げ導波路１５２の終端の座標（ｘai,ｙai）、曲げ導波路１５２の曲げ半径Ｒiは、これらの記号を用いて表せる。ここで、アレイ導波路の本数が偶数の場合（２ｎ）と奇数の場合（２ｎ＋１）に分けて検討する必要がある。
（１）偶数の場合
Ｙ座標が正の領域では、ｎ本のアレイ導波路が存在する。入力側スラブ導波路１３における各アレイ導波路の広がり角θiは、
θi＝(ｉ−１／２)Δθ
となる。ｉはｉ本目のアレイ導波路を示し（ｉ＝１,２,…,ｎ）、Δθは各アレイ導波路間の広がり角の差であり、以下の式で示される。
Δθ＝２θ／(２ｎ−１)
以上より、（ｘi,ｙi）は、
ｘi＝(ｆ＋ｔ)cosθi
ｙi＝(ｆ＋ｔ)sinθi
となる。
Ｙ座標が正の領域では、ｎ本のアレイ導波路が存在する。入力側スラブ導波路１３における各アレイ導波路の広がり角θiは、
θi＝(ｉ−１／２)Δθ
となる。ｉはｉ本目のアレイ導波路を示し（ｉ＝１,２,…,ｎ）、Δθは各アレイ導波路間の広がり角の差であり、以下の式で示される。
Δθ＝２θ／(２ｎ−１)
以上より、（ｘi,ｙi）は、
ｘi＝(ｆ＋ｔ)cosθi
ｙi＝(ｆ＋ｔ)sinθi
となる。
つぎに、すべてのアレイ導波路を平行にすることを考える。異なる曲げ半径の曲げ導波路１５２を使うことになり、端に存在するｎ番目のアレイ導波路の曲げ半径Ｒminが最小になる。Ｒminを使って、点（ｘn,ｙn）から伸びた曲げ導波路の接線がＸ軸と平行になる点（ｘan,ｙan）を導出する。（ｘan,ｙan）は、以下のようになる。
ｘan＝ｘn＋Ｒmin sinθn
ｙan＝ｙn＋Ｒmin(１−cosθn)
各アレイ導波路の間隔ｄは均一になる必要があるので、
ｄ＝ｙan／(ｎ−１／２)
と表せる。これにより、各アレイ導波路の点ｙaiは簡単に求まる。一方、ｘaiは各曲げ導波路１５２の曲げ半径Ｒiによって決まる。曲げ導波路１５２の始点と終点のｙ座標が求まっているため、Ｒiは
Ｒi＝(ｙai−ｙi)／(１−cosθi)
と表せる。よって、ｘai、ｙaiはそれぞれ
ｘai＝ｘi＋Ｒi sinθi
ｙai＝ｄ(ｉ−１／２)
となる。各アレイ導波路は、一様な間隔ｄでｘ軸に平行になったが、ｘaiの値がそれぞれ異なる。ｘa1＞ｘa2＞…＞ｘanの関係が成り立っているため、その他のアレイ導波路の端面をｘa1にまで延長する。Ｙ座標が負の領域のアレイ導波路は、これらのアレイ導波路を反転させることで出来上がる。以上の方法で、図２に示す入力側テーパー導波路１５が設計される。
ｘan＝ｘn＋Ｒmin sinθn
ｙan＝ｙn＋Ｒmin(１−cosθn)
各アレイ導波路の間隔ｄは均一になる必要があるので、
ｄ＝ｙan／(ｎ−１／２)
と表せる。これにより、各アレイ導波路の点ｙaiは簡単に求まる。一方、ｘaiは各曲げ導波路１５２の曲げ半径Ｒiによって決まる。曲げ導波路１５２の始点と終点のｙ座標が求まっているため、Ｒiは
Ｒi＝(ｙai−ｙi)／(１−cosθi)
と表せる。よって、ｘai、ｙaiはそれぞれ
ｘai＝ｘi＋Ｒi sinθi
ｙai＝ｄ(ｉ−１／２)
となる。各アレイ導波路は、一様な間隔ｄでｘ軸に平行になったが、ｘaiの値がそれぞれ異なる。ｘa1＞ｘa2＞…＞ｘanの関係が成り立っているため、その他のアレイ導波路の端面をｘa1にまで延長する。Ｙ座標が負の領域のアレイ導波路は、これらのアレイ導波路を反転させることで出来上がる。以上の方法で、図２に示す入力側テーパー導波路１５が設計される。
（２）奇数の場合
Ｙ座標が正の領域では、ｎ本のアレイ導波路が存在する。そして、Ｘ軸上にも導波路が存在するので、ｉ＝０,１,…,ｎと仮定する。偶数の時との主な違いは、各アレイ導波路の広がり角θi、各アレイ導波路の間隔ｄとｙaiにある。以下に各パラメータを示す。
θi＝ｉΔθ
ｄ＝ｙan／ｎ
ｙai＝ｉｄ
ただし、Δθはθ／ｎである。その他のパラメータの定義は、（１）と同様である。
Ｙ座標が正の領域では、ｎ本のアレイ導波路が存在する。そして、Ｘ軸上にも導波路が存在するので、ｉ＝０,１,…,ｎと仮定する。偶数の時との主な違いは、各アレイ導波路の広がり角θi、各アレイ導波路の間隔ｄとｙaiにある。以下に各パラメータを示す。
θi＝ｉΔθ
ｄ＝ｙan／ｎ
ｙai＝ｉｄ
ただし、Δθはθ／ｎである。その他のパラメータの定義は、（１）と同様である。
つぎに、反射構造１９及び曲げアレイ導波路１７、１８の設計法を示す。すべての曲げアレイ導波路１７、１８の起点のＸ座標は等しくｘaiであり、Ｙ座標は間隔ｄだけ離れている。さらに、各アレイ導波路での反射構造１９は等しいため、反射構造１９への入射角はすべて等しいと仮定できる。
図４は、本実施の形態における曲げアレイ導波路の曲げ半径の導出法を説明する図である。間隔ｄだけ離れている各曲げアレイ導波路１７、１８の始点から、反射構造１９への入射角が等しくなるための曲げアレイ導波路の曲げ半径の導出法を初めに示す。点（ｘa1,ｙai）と点（ｘci,ｙci）間を結ぶ曲げ導波路の曲げ半径をＲaiとする。ただし、ｉはアレイ導波路本数で決定され、偶数の場合１〜２ｎ、奇数の場合１〜（２ｎ＋１）である。
アレイ導波路の寸法を最小にするとき、Ｒa1=Ｒminとなるので、中心角θaが決定される。反射構造が等しいため、点（ｘci,ｙci）での接線の傾きは、すべて等しい。かつ、ｙciも全てのｉで等しい。これらの条件の基、図４より、以下の２式が得られる。
Ｒai+1＝ｄ＋ｄ1＋Ｒai
Ｒai cosθa＝Ｒai+1 cosθa−(Ｒai+1−Ｒai−ｄ)
この連立方程式を解くと、Ｒai+1は
Ｒai+1＝｛Ｒai(θa−１)−ｄ｝／(cosθa−１)
となる。Ｒa1＝Ｒminが初期条件として与えられるため、各曲げ導波路の曲げ半径が求まる。
アレイ導波路の寸法を最小にするとき、Ｒa1=Ｒminとなるので、中心角θaが決定される。反射構造が等しいため、点（ｘci,ｙci）での接線の傾きは、すべて等しい。かつ、ｙciも全てのｉで等しい。これらの条件の基、図４より、以下の２式が得られる。
Ｒai+1＝ｄ＋ｄ1＋Ｒai
Ｒai cosθa＝Ｒai+1 cosθa−(Ｒai+1−Ｒai−ｄ)
この連立方程式を解くと、Ｒai+1は
Ｒai+1＝｛Ｒai(θa−１)−ｄ｝／(cosθa−１)
となる。Ｒa1＝Ｒminが初期条件として与えられるため、各曲げ導波路の曲げ半径が求まる。
図５は、本実施の形態における光路長の調節法を説明する図である。各アレイ導波路間では、アレイ導波路回折格子の特性を得るため、光路長差ΔＬが設けられている。反射構造を有するアレイ導波路では、入射側導波路と反射側導波路間の形状が等しいため、片側で（ΔＬ／２）分の光路長差を与えることになる。各アレイ導波路部分の曲げ導波路内での光路長差は、通常ΔＬ／２以下であるため、直線導波路１８１を付加して、光路長差をあわせる。この時、直線導波路１８１の長さは、直線導波路１５１の終端から曲げアレイ導波路１８の始端までの光路長差を考慮して決定される。最終的な構造を図５に示す。
図６は、本実施の形態における反射構造の構成を示す図である。反射構造１９は、入出力単一モード導波路２１（曲げ導波路と直線導波路で構成）、スラブ導波路２２、及び楕円型金属反射面２３で構成されている。楕円型金属反射面２３の楕円の焦点２４は入出力単一モード導波路２１内に位置させる。これは、最も小さい反射構造１９の構成である。スポット径が無視できる焦点距離ｆが数ｍｍ以上の系では、レンズないしミラーから、光軸上で２ｆ離れた対称の位置でスポットがスポットに結像するが、焦点距離が短くなるにつれて互いに結像するスポット位置が２ｆより短くなる。ある焦点距離ｆminにおいて、結像する位置がｆに等しくなり、それ以上に焦点距離を短くすると互いに結像する点が存在しない。本構成では、単一モード導波路２１端からミラー反射点までの距離をｆminとしている。本構成では、最小の反射構造１９を利用することにしているが、ｆ＞ｆminであるような焦点距離のミラーを用いることも可能である。
図７(a)は、本発明に関連する第２実施の形態によるアレイ導波路回折格子の構成を示す図である。本実施の形態のアレイ導波路回折格子は、入力側単一モード導波路３１、出力側単一モード導波路３２、入力側スラブ導波路３３、出力側スラブ導波路３４、入力側テーパー導波路３５、出力側テーパー導波路３６、入力側アレイ導波路３７、出力側アレイ導波路３８、第１反射構造３９、第２反射構造４０、及び直線導波路４１からなる。直線導波路４１は、第１、第２反射構造３９、４０をつなぐ。
第１反射構造３９と第２反射構造４０は互いに左右を反転した構造を有し、図７(b)に第２反射構造４０の構成を拡大して示す。第２反射構造４０は、入出力単一モード導波路５１、スラブ導波路５２、及び楕円型金属反射面５３によって構成されており、入出力単一モード導波路５１はお互いに垂直な位置にある。楕円型金属反射面５３の楕円の焦点５４は入出力単一モード導波路５１内に位置させる。
本実施の形態の特徴は、９０度曲げの反射構造を２つ利用することにより、第１実施の形態よりも更に小型なアレイ導波路回折格子が実現できるところにある。入力側、出力側テーパー導波路３５、３６までの設計は、第１実施の形態と同様である。９０度曲げの第１、第２反射構造３９、４０は、各アレイ導波路で同一であるため、直線の入力側、出力側アレイ導波路３７、３８、及び直線導波路４１の長さの違いによって一定の光路長差ΔＬを設ける。入力側、出力側テーパー導波路３５、３６端でのアレイ導波路間隔はｄであるので、各曲げ構造を結ぶ直線導波路４１の長さはＭi+1＝Ｍi＋２ｄで表せられる。ここで、ｉ＝１,２,…,ｎである。アレイ導波路間隔ｄは数十μｍ程度であるため、各アレイ導波路間の光路差は、主に、入力側、出力側アレイ導波路３７、３８で与えられる。入力側、出力側アレイ導波路３７、３８の長さは等しくＬiとおくと、以下の式で求まる。
Ｌi+1＝Ｌi＋(ΔＬ−２ｄ)／２
ただし、ここでも入力側、出力側テーパー導波路３５、３６を設計する際に生じた各アレイ導波路間の光路差を最終的に考慮し、Ｌiの微調整が必要である。
Ｌi+1＝Ｌi＋(ΔＬ−２ｄ)／２
ただし、ここでも入力側、出力側テーパー導波路３５、３６を設計する際に生じた各アレイ導波路間の光路差を最終的に考慮し、Ｌiの微調整が必要である。
図８(a)は、本発明の第３実施の形態によるアレイ導波路回折格子の構成を示す図である。本実施の形態のアレイ導波路回折格子は、入力側単一モード導波路６１、出力側単一モード導波路６２、入力側スラブ導波路６３、出力側スラブ導波路６４、入力側テーパー導波路６５、出力側テーパー導波路６６、入力側アレイ導波路６７、出力側アレイ導波路６８、第３反射構造６９、第４反射構造７０、及びスラブ導波路７１からなる。本実施の形態と第２実施の形態との相違点は導波路内の第３、第４反射構造６９、７０及び第３、第４反射構造６９、７０をつなぐスラブ導波路７１にある。第３反射構造６９と第４反射構造７０は互いに左右を反転した構造を有し、図８(b)に第４反射構造７０の構成を拡大して示す。第４反射構造７０は、１つの単一モード導波路８１、スラブ導波路８２、スラブ導波路８２内に構成される放物線型金属反射面８３によって構成される。放物線の焦点８４から出た光は、放物面で反射後必ず軸（放物線の焦点と頂点を結ぶ線）と平行になるという原理を利用している。そこで、図８(a)では、第３反射構造６９で平行になった光をスラブ導波路７１内に伝搬させ、第３反射構造６９と同形状の第４反射構造７０で光を出力側アレイ導波路６８に集光し、１８０度の曲げを実現している。本実施の形態は第２実施の形態と同様に２つの反射構造を有するため、第１実施の形態よりも小型になることが期待できる。
図９は、本発明に係る第４実施の形態によるアレイ導波路回折格子の構成を示す図である。本実施の形態のアレイ導波路回折格子は、入力側単一モード導波路９１、出力側単一モード導波路９２、入力側スラブ導波路９３、出力側スラブ導波路９４、入力側テーパー導波路９５、出力側テーパー導波路９６、入力側アレイ導波路９７、出力側アレイ導波路９８、及び１８０度曲げ構造９９からなる。本実施の形態のアレイ導波路回折格子は、第２、第３実施の形態で示した１８０度曲げの構造を３セット具備する。第２、第３実施の形態では、従来のアレイ導波路回折格子に比べ、横の幅が縮小されたため、細長な形状になっていた。本実施の形態では、１８０度曲げ構造９９を３セット利用することで、アレイ導波路回折格子の縦横のサイズをそれぞれ縮小できるようになる。図９に示す小型アレイ導波路回折格子は、９０度曲げを２回利用した１８０度曲げ構造９９を３回利用している。すなわち、９０度曲げの反射構造を６つ利用している。各アレイ導波路の向きを平行にする箇所までの設計は第１〜第３実施の形態と同様である。各アレイ導波路間の光路長差ΔＬは、主に直線の入力側、出力側アレイ導波路９７、９８で与えられている。このように、光路を本アレイ導波路回折格子の長手方向に２往復させる構造とすることによって、アレイ導波路部の縦及び横の両方とも小さくすることができる。
図８(a)は、本発明に関連する第３実施の形態によるアレイ導波路回折格子の構成を示す図である。本実施の形態のアレイ導波路回折格子は、入力側単一モード導波路６１、出力側単一モード導波路６２、入力側スラブ導波路６３、出力側スラブ導波路６４、入力側テーパー導波路６５、出力側テーパー導波路６６、入力側アレイ導波路６７、出力側アレイ導波路６８、第３反射構造６９、第４反射構造７０、及びスラブ導波路７１からなる。本実施の形態と第２実施の形態との相違点は導波路内の第３、第４反射構造６９、７０及び第３、第４反射構造６９、７０をつなぐスラブ導波路７１にある。第３反射構造６９と第４反射構造７０は互いに左右を反転した構造を有し、図８(b)に第４反射構造７０の構成を拡大して示す。第４反射構造７０は、１つの単一モード導波路８１、スラブ導波路８２、スラブ導波路８２内に構成される放物線型金属反射面８３によって構成される。放物線の焦点８４から出た光は、放物面で反射後必ず軸（放物線の焦点と頂点を結ぶ線）と平行になるという原理を利用している。そこで、図８(a)では、第３反射構造６９で平行になった光をスラブ導波路７１内に伝搬させ、第３反射構造６９と同形状の第４反射構造７０で光を出力側アレイ導波路６８に集光し、１８０度の曲げを実現している。本実施の形態は第２実施の形態と同様に２つの反射構造を有するため、第１実施の形態よりも小型になることが期待できる。
１１ 入力側単一モード導波路
１２ 出力側単一モード導波路
１３ 入力側スラブ導波路
１４ 出力側スラブ導波路
１５ 入力側テーパー導波路
１６ 出力側テーパー導波路
１７、１８ 曲げアレイ導波路
１９ 反射構造
２１ 入出力単一モード導波路
２２ スラブ導波路
２３ 楕円型金属反射面
２４ 焦点
３１ 入力側単一モード導波路
３２ 出力側単一モード導波路
３３ 入力側スラブ導波路
３４ 出力側スラブ導波路
３５ 入力側テーパー導波路
３６ 出力側テーパー導波路
３７ 入力側アレイ導波路
３８ 出力側アレイ導波路
３９ 第１反射構造
４０ 第２反射構造
４１ 直線導波路
５１ 入出力単一モード導波路
５２ スラブ導波路
５３ 楕円型金属反射面
５４ 焦点
６１ 入力側単一モード導波路
６２ 出力側単一モード導波路
６３ 入力側スラブ導波路
６４ 出力側スラブ導波路
６５ 入力側テーパー導波路
６６ 出力側テーパー導波路
６７ 入力側アレイ導波路
６８ 出力側アレイ導波路
６９ 第３反射構造
７０ 第４反射構造
７１ スラブ導波路
８１ 単一モード導波路
８２ スラブ導波路
８３ 放物線型金属反射面
８４ 焦点
９１ 入力側単一モード導波路
９２ 出力側単一モード導波路
９３ 入力側スラブ導波路
９４ 出力側スラブ導波路
９５ 入力側テーパー導波路
９６ 出力側テーパー導波路
９７ 入力側アレイ導波路
９８ 出力側アレイ導波路
９９ １８０度曲げ構造
１５１ 直線導波路
１５２ 曲げ導波路
１８１ 直線導波路
２０１ 入力側単一モード導波路
２０２ 出力側単一モード導波路
２０３ 入力側スラブ導波路
２０４ 出力側スラブ導波路
２０５ 入力側テーパー導波路
２０６ 出力側テーパー導波路
２０７、２０８ 曲げ導波路
ｄ アレイ導波路間隔
１２ 出力側単一モード導波路
１３ 入力側スラブ導波路
１４ 出力側スラブ導波路
１５ 入力側テーパー導波路
１６ 出力側テーパー導波路
１７、１８ 曲げアレイ導波路
１９ 反射構造
２１ 入出力単一モード導波路
２２ スラブ導波路
２３ 楕円型金属反射面
２４ 焦点
３１ 入力側単一モード導波路
３２ 出力側単一モード導波路
３３ 入力側スラブ導波路
３４ 出力側スラブ導波路
３５ 入力側テーパー導波路
３６ 出力側テーパー導波路
３７ 入力側アレイ導波路
３８ 出力側アレイ導波路
３９ 第１反射構造
４０ 第２反射構造
４１ 直線導波路
５１ 入出力単一モード導波路
５２ スラブ導波路
５３ 楕円型金属反射面
５４ 焦点
６１ 入力側単一モード導波路
６２ 出力側単一モード導波路
６３ 入力側スラブ導波路
６４ 出力側スラブ導波路
６５ 入力側テーパー導波路
６６ 出力側テーパー導波路
６７ 入力側アレイ導波路
６８ 出力側アレイ導波路
６９ 第３反射構造
７０ 第４反射構造
７１ スラブ導波路
８１ 単一モード導波路
８２ スラブ導波路
８３ 放物線型金属反射面
８４ 焦点
９１ 入力側単一モード導波路
９２ 出力側単一モード導波路
９３ 入力側スラブ導波路
９４ 出力側スラブ導波路
９５ 入力側テーパー導波路
９６ 出力側テーパー導波路
９７ 入力側アレイ導波路
９８ 出力側アレイ導波路
９９ １８０度曲げ構造
１５１ 直線導波路
１５２ 曲げ導波路
１８１ 直線導波路
２０１ 入力側単一モード導波路
２０２ 出力側単一モード導波路
２０３ 入力側スラブ導波路
２０４ 出力側スラブ導波路
２０５ 入力側テーパー導波路
２０６ 出力側テーパー導波路
２０７、２０８ 曲げ導波路
ｄ アレイ導波路間隔
Claims (1)
- 入力光が入射する複数の入力側単一モード導波路と、
該入力側単一モード導波路からの出射光を入射する入力側スラブ導波路と、
該入力側スラブ導波路からの出射光を入射して隣接する各アレイ導波路間の光路長差が一定である複数のアレイ導波路と、
各該アレイ導波路内に６つあって、いずれも隣接するアレイ導波路の対応のものとは本アレイ導波路回折格子の長手方向の異なる位置に存在し、光路を長手方向に２往復させる９０度曲げ反射構造と、
前記アレイ導波路からの出射光を入射する出力側スラブ導波路と、
該出力側スラブ導波路からの出射光を入射して出力光を出射する複数の出力側単一モード導波路と
を備えることを特徴とするアレイ導波路回折格子。
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