JP4005620B2 - Planar resonator - Google Patents
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Description
本発明は、高周波（マイクロ波）用とした平面回路中の平面共振器を産業上の技術分野とし、特に、高機能化及び簡易経済化に適した平面共振器に関する。 The present invention relates to a planar resonator in a planar circuit for high frequency (microwave) use as an industrial technical field, and more particularly to a planar resonator suitable for high functionality and simple economy.
マイクロ波集積回路を基盤とした各種の平面回路は、ワイヤレス通信システム機器や測定機器等に使用され、需要も年々増加する傾向にある。近年では、各種機器の高性能化や生産性等の点から、高機能化及び製造の容易性が求められている。 Various planar circuits based on microwave integrated circuits are used in wireless communication system equipment, measuring equipment, etc., and the demand tends to increase year by year. In recent years, high functionality and ease of manufacture have been demanded from the viewpoint of high performance and productivity of various devices.
（従来技術の例）第７図及び第８図は一従来例を説明する典型的な平面回路の図で、第７図は平面共振器及びこれを用いた平面発振器の例であり、第８図は平面共振器からなる平面アンテナの例である。なお、各図ともに（ａ）は平面図、同図（ｂ）は断面図である。
平面共振器は、誘電体からなる基板１の一主面に円形の平面回路導体（単に回路導体とする）２を、他主面に接地導体３を形成してなる。このようなものでは、回路導体２と接地導体３との間で生ずる電界及びこれによる磁界によってＴＭモードからなる共振器を形成する。なお、共振周波数は、基板１の誘電率、厚さ及び回路導体２の面積に依存する。
(Example of Prior Art) FIGS. 7 and 8 are diagrams of typical planar circuits for explaining one conventional example. FIG. 7 is an example of a planar resonator and a planar oscillator using the same. The figure is an example of a planar antenna comprising a planar resonator . In each figure, (a) is a plan view and (b) is a cross-sectional view.
The planar resonator is formed by forming a circular planar circuit conductor (simply referred to as a circuit conductor) 2 on one principal surface of a substrate 1 made of a dielectric, and a ground conductor 3 on the other principal surface. In such a configuration, a TM mode resonator is formed by an electric field generated between the circuit conductor 2 and the ground conductor 3 and a magnetic field generated thereby. Note that the resonance frequency depends on the dielectric constant and thickness of the substrate 1 and the area of the circuit conductor 2.
平面発振器は、平面共振器を形成する基板１内にガンダイオード６を埋設（挿入）する。通常では、基板１に貫通孔を設けて埋設される。そして、ガンダイオード６の両端子を例えば半田によって回路導体２及び接地導体３に接続する。そして、２個のガンダイオード６が発振用増幅器として機能し、平面共振器の共振周波数を帰還増幅して発振回路を構成する。なお、平面共振器は、発振回路の共振器であると同時に位相同期と電力合成機能の役割を果たす。図中の符号４は引出線、同５はマッチング用の容量線路である。 In the planar oscillator, a Gunn diode 6 is embedded (inserted) in a substrate 1 forming a planar resonator. Normally, the substrate 1 is embedded with a through hole. Then, both terminals of the Gunn diode 6 are connected to the circuit conductor 2 and the ground conductor 3 by, for example, solder. Then, two Gunn diode 6 acts as an oscillation amplifier, constitutes an oscillation circuit with feedback amplification resonance frequency of the planar resonator. The planar resonator is a resonator of the oscillation circuit and at the same time plays a role of phase synchronization and power combining function. In the figure, reference numeral 4 denotes a leader line, and reference numeral 5 denotes a matching capacitive line.
平面アンテナは、基板１の一主面に例えば方形状の回路導体２を、中間層に開口部を有する接地導体３を、他主面に給電線８を設けてなる。そして、回路導体２と接地導体３によって平面共振器を形成し、給電線８と接地導体３でマイクロストリップラインを形成する。マイクロストリップラインは信号線８と接地導体３との間で生じる電界及びこれによる磁界によって高周波の伝送路を形成する。これにより、マイクロストリップラインを給電線として、平面共振器による共振周波数の電磁波を送信あるいは受信してアンテナを構成する。なお、平面共振器とマイクロストリップラインとは中間層に設けた開口部７によって電磁結合する。
（従来技術の問題点）しかしながら、上記構成の平面共振器に基づいた各平面回路ではいずれも電気的特性は固定のままであり（したがって共振周波数は固定のままであり）、例えば共振周波数を可変型として高機能化とすることが困難であった。すなわち、平面共振器の電気的特性は、幾何学的形状で規定される境界条件、入出力線路の接続条件及び構成材料等によって形成される固定的な電磁波動場に依存する。したがって、各平面回路を可変型として高機能化することが困難であった。要するに、現状の平面回路（共振器）では、固定的な電磁波動場をただ利用するに止まっている。 (Problems of the prior art) However, in each planar circuit based on the planar resonator having the above configuration, the electrical characteristics remain fixed (therefore, the resonant frequency remains fixed). For example, the resonant frequency is variable. It was difficult to achieve high functionality as a mold. In other words, the electrical characteristics of the planar resonator depend on the boundary electromagnetic conditions defined by the geometric shape, the connection conditions of the input / output lines, the fixed electromagnetic field generated by the constituent materials, and the like. Therefore, it has been difficult to increase the functionality of each planar circuit as a variable type. In short, the current planar circuit (resonator) only uses a fixed electromagnetic field.
また、上述したガンダイオード６を用いた平面発振器の構成例で示されるように、集積回路や能動回路を含む半導体素子及び受動素子等からなる回路素子は、回路導体２と接地導体３間の基板１内に埋設して接続するのが一般的である。このため、基板１に対して穴（貫通孔）あけ工程が必要となって高精度の製造を困難にして生産性（量産性）が低下するとともに、回路素子の表面実装には不適当になる問題もあった。 In addition, as shown in the configuration example of the planar oscillator using the Gunn diode 6 described above, a circuit element including a semiconductor element including an integrated circuit and an active circuit, a passive element, and the like is a substrate between the circuit conductor 2 and the ground conductor 3. It is common to embed in 1 and connect. For this reason, a hole (through hole) drilling step is required for the substrate 1, making it difficult to manufacture with high precision, reducing productivity (mass productivity), and being inappropriate for surface mounting of circuit elements. There was also a problem.
なお、回路素子を表面に配置した場合、例えば前述のガンダイオード６を一主面に配置した場合には、回路導体２と接地導体３と所謂ビアホール（電極貫通孔）によって接続せざるを得ない。しかし、この場合には、ビアホールによる導体長（線路長）が大きくなるため、インダクタ成分が増加して高周波特性を劣化させる。したがって、回路素子を基板１に埋設して線路長を小さくしていた。 When the circuit element is disposed on the surface, for example, when the aforementioned Gunn diode 6 is disposed on one main surface, the circuit conductor 2 and the ground conductor 3 must be connected to each other by a so-called via hole (electrode through hole). . However, in this case, since the conductor length (line length) due to the via hole becomes large, the inductor component increases and the high frequency characteristics are deteriorated. Therefore, the circuit element is embedded in the substrate 1 to reduce the line length.
（発明の目的）本発明は、電磁波動場を可変制御して、特に縮退した直交モードの切り替えを容易にした平面共振器を提供することを目的とする。 (Object of the Invention) An object of the present invention is to provide a planar resonator in which the electromagnetic field is variably controlled, and in particular, switching of the degenerated orthogonal mode is facilitated.
本発明は、特許請求の範囲（請求項１）に示したように、基板の一主面に設けられた平面回路導体と、前記基板の他主面に設けられて前記平面回路導体とは直流的に接続されない接地導体とから、ＴＭモードとした電磁波動場による高調波用の共振器を形成し、前記共振器は直交方向に縮退した２つの共振モードを有する平面共振器において、前記平面回路導体又は前記接地導体の少なくとも一方に、前記接地導体又は前記平面回路導体の外形面積よりも面積が小さい開口部を設け、前記開口部内の全面が前記接地導体又は前記平面回路導体の外形面積内で対面し、前記開口部における前記直交方向の前記接地導体又は前記平面回路導体は、前記電磁波動場を電子的に制御して前記２つの共振モードのうちのいずれか一方を選択する互いに逆極性としてスター結線した２対のスイッチング素子の計4個によって電気的に接続され、前記２つの共振モードのうちの一方のみを動作した構成とする。 According to the present invention, the planar circuit conductor provided on one principal surface of the substrate and the planar circuit conductor provided on the other principal surface of the substrate are defined as DC. A planar resonator having two resonance modes degenerated in an orthogonal direction is formed from a ground conductor that is not electrically connected to form a harmonic resonator by an electromagnetic wave field of TM mode. An opening having an area smaller than the outer area of the ground conductor or the planar circuit conductor is provided in at least one of the conductor and the ground conductor, and the entire surface within the opening is within the outer area of the ground conductor or the planar circuit conductor. face-to-face, the ground conductor or the planar circuit conductor of the perpendicular direction in the opening, opposite to each other to select either one of the electromagnetic wave Dojo electronically controlled and the two resonance modes Is a total of four to thus electrically connected the two pairs of switching elements and star connection as sex, and only one was operating configuration of said two resonant modes.
このような構成であれば、開口部における直交方向の接地導体又は平面回路導体は、電磁波動場を電子的に制御して２つの共振モードのうちのいずれか一方を選択するスイッチング素子よって電気的に接続される。したがって、直交方向に縮退した２つの共振モードのうちの一方のみを選択的に動作できる。以下、本発明の実施例を説明する。なお、本発明は原出願の分割出願であり、第４実施例が本発明の実施例に相当する。 With such a configuration, the grounding conductor or the planar circuit conductor in the orthogonal direction in the opening is electrically controlled by the switching element that electronically controls the electromagnetic wave motion field and selects one of the two resonance modes. Connected to. Therefore, only one of the two resonance modes degenerated in the orthogonal direction can be selectively operated. Examples of the present invention will be described below. The present invention is a divisional application of the original application, and the fourth embodiment corresponds to the embodiment of the present invention.
（第１実施例、参考）
第１図（ａｂ）は本発明の一実施例を説明する可変型とした平面共振器（可変型共振器とする）の図で、第１図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は断面図である。
可変型共振器は、基板１の一主面に方形状の回路導体２を他主面に接地導体３を形成し、回路導体２に短冊状の開口部９を設ける。そして、カソード同士が接続した逆極性接続の一対のバラクターダイオード１０を実装し、両者の中点（接続点）に制御電圧を印加する供給端子１１の一端を接続する。各バラクターダイオード１０のアノードは開口部の両側の回路導体２に接続する。そして、供給端子１１と回路導体２との間に印加される制御電圧によって、一対のバラクターダイオード１０における端子間の容量値が変化する。
(First Example, reference )
FIG. 1 (ab) is a diagram of a variable planar resonator (referred to as a variable resonator) for explaining an embodiment of the present invention. FIG. 1 (a) is a plan view, and FIG. Is a cross-sectional view.
In the variable resonator, a rectangular circuit conductor 2 is formed on one main surface of the substrate 1, a ground conductor 3 is formed on the other main surface, and a strip-shaped opening 9 is provided in the circuit conductor 2. Then, a pair of reverse varactor diodes 10 having cathodes connected to each other are mounted, and one end of a supply terminal 11 that applies a control voltage is connected to the middle point (connection point) of both. The anode of each varactor diode 10 is connected to the circuit conductor 2 on both sides of the opening. The capacitance value between the terminals of the pair of varactor diodes 10 is changed by the control voltage applied between the supply terminal 11 and the circuit conductor 2.
このような構成であれば、前述したように回路導体２と接地導体３との間で平面共振器を形成する。そして、この場合には、一対のバラクターダイオード１０が開口部内に配置されるので、バラクターダイオード１０の容量値によって、開口部の電気的な長さ（開口長とする）が等価的に変化する。したがって、電磁波動場を形成する境界条件も異なって、共振周波数が変化する。これらのことから、バラクターダイオード１０の容量値を制御電圧によって可変すれば、平面共振器の共振周波数を変化させられる。 With such a configuration, a planar resonator is formed between the circuit conductor 2 and the ground conductor 3 as described above. In this case, since the pair of varactor diodes 10 are disposed in the opening, the electrical length of the opening (the opening length) changes equivalently depending on the capacitance value of the varactor diode 10. To do. Therefore, the boundary conditions for forming the electromagnetic wave motion field are different, and the resonance frequency changes. From these facts, if the capacitance value of the varactor diode 10 is varied by the control voltage, the resonance frequency of the planar resonator can be changed.
要するに、回路導体２に設けた開口部に可変容量素子を設けたことによって、従来の固定された電磁波動場を電子的に制御して、可変型共振器を形成できる。そして、可変容量素子としてのバラクターダイオード１０の容量値を制御電圧によって任意に制御できるので、共振器としてのアダプティブ性及び汎用性を大きく高めて高機能化をもたらす。また、バラクターダイオード１０を基板１内に埋設することなく、基板１の一主面に実装できるので製造も容易にして生産性を高める。 In short, by providing a variable capacitance element in the opening provided in the circuit conductor 2, a conventional fixed electromagnetic wave field can be electronically controlled to form a variable resonator. And since the capacitance value of the varactor diode 10 as the variable capacitance element can be arbitrarily controlled by the control voltage, the adaptive property and versatility as the resonator are greatly enhanced, and the high functionality is brought about. Further, since the varactor diode 10 can be mounted on one main surface of the substrate 1 without being embedded in the substrate 1, manufacturing is facilitated and productivity is increased.
なお、バラクターダイオード１０に、必要に応じて、並列あるいは直列に固定のコンデンサーを接続して、中心周波数を調整することもできる。また、ここでは単に可変型共振器として説明したが、前述したように接地導体３を中間層として開口部を設け、他主面に電磁結合するマイクロストリップラインを形成すれば、動作周波数を可変型とした平面アンテナを形成できる。 The center frequency can also be adjusted by connecting a fixed capacitor in parallel or in series to the varactor diode 10 as necessary. Further, here, the variable resonator has been described. However, as described above, if an opening is provided with the ground conductor 3 as an intermediate layer and a microstrip line that is electromagnetically coupled to the other main surface is formed, the operating frequency can be changed. A planar antenna can be formed.
（第２実施例、参考）
第２図は本発明の第２実施例を説明する可変型共振器の断面図である。なお、前第１実施例と同一部分の説明は省略又は簡略する。
前第１実施例では回路導体２に短冊状の開口部９を設けて一対のバラクターダイオード１０を配置したが、第２実施例では開口部９を接地導体３に設ける。そして、開口部９上に一対のバラクターダイオード１０を配置し、各アノードを接地導体３に接続する。なお、図では開口部の符号９は省略されている。
(Second example, reference )
FIG. 2 is a sectional view of a variable resonator for explaining a second embodiment of the present invention. The description of the same parts as in the first embodiment is omitted or simplified.
In the previous first embodiment, the circuit conductor 2 is provided with the strip-shaped opening 9 and the pair of varactor diodes 10 are arranged. In the second embodiment, the opening 9 is provided in the ground conductor 3. Then, a pair of varactor diodes 10 are arranged on the opening 9 and each anode is connected to the ground conductor 3. In the figure, the reference numeral 9 of the opening is omitted.
このような構成であっても、バラクターダイオード１０の容量値によって、開口長が等価的に変化して境界条件を異ならせ、電磁波動場を変化させるので可変型共振器を形成できる。したがって、前述同様に共振器としてのアダプティブ性及び汎用性を大きく高めて高機能化を達成する。そして、バラクターダイオード１０を基板１内に埋設することなく、基板１の一主面に実装できるので製造も容易にして生産性を高める。 Even in such a configuration, the variable length resonator can be formed because the aperture length is equivalently changed depending on the capacitance value of the varactor diode 10 to change the boundary condition and change the electromagnetic field. Therefore, as described above, the adaptive performance and versatility of the resonator are greatly enhanced to achieve higher functionality. Since the varactor diode 10 can be mounted on one main surface of the substrate 1 without being embedded in the substrate 1, manufacturing is facilitated and productivity is increased.
また、この場合でも、第３図（ａｂ）に示したように、回路導体２に給電線を接続すれば、動作周波数を可変型とした平面アンテナを形成できる。この場合、給電線は回路導体２に信号線１２Ａを設けたマイクロストリップライン１２とする。なお、第３図（ａ）は一主面の平面図、同図（ｂ）は断面図である。 Also in this case, as shown in FIG. 3 (ab), if a feeder line is connected to the circuit conductor 2, a planar antenna having a variable operating frequency can be formed. In this case, the power supply line is the microstrip line 12 in which the signal line 12 </ b> A is provided on the circuit conductor 2. 3A is a plan view of one main surface, and FIG. 3B is a cross-sectional view.
（第３実施例、参考）
第４図（ａｂｃ）は本発明の第３実施例を説明する周波数可変型の平面発振器（可変型発振器とする）の図である。なお、前各実施例と同一部分の説明は省略又は簡略する。
可変型発振器は、第１実施例で説明した可変型共振器を利用する。すなわち、可変型発振器は、前述のように基板１の一主面に設けられた回路導体２の開口部９に、共振周波数を制御する一対のバラクターダイオード１０を配置する。ここでは、さらに他主面の接地導体３に開口部９を設けて、開口部内に分割された一対の信号線１４（ａｂ）を形成する。一対の信号線１４（ａｂ）は接地導体３との間でコプレーナラインを形成する。そして、信号線１４（ａｂ）間にＩＣ等を含む半導体素子からなる増幅器１５を接続する。
(Third example, reference )
FIG. 4 (abc) is a diagram of a frequency variable type plane oscillator (referred to as a variable type oscillator) for explaining a third embodiment of the present invention. The description of the same parts as those in the previous embodiments is omitted or simplified.
The variable oscillator uses the variable resonator described in the first embodiment. That is, in the variable oscillator, a pair of varactor diodes 10 for controlling the resonance frequency are arranged in the opening 9 of the circuit conductor 2 provided on one main surface of the substrate 1 as described above. Here, an opening 9 is further provided in the ground conductor 3 on the other main surface to form a pair of signal lines 14 (ab) divided in the opening. The pair of signal lines 14 (ab) form a coplanar line with the ground conductor 3. Then, an amplifier 15 made of a semiconductor element including an IC or the like is connected between the signal lines 14 (ab).
このような構成であれば、一対の信号線１４（ａｂ）と回路導体２との電磁結合によって、第４図（ｃ）に矢印で示すように発振閉ループを形成する。なお、発振周波数は可変型共振器の共振周波数に依存して、決定される。したがって、バラクターダイオード１０の容量値を制御電圧によって制御することにより、発振周波数を可変できる。これにより、可変型発振器（所謂電圧制御発振器）を得ることができる。そして、この場合には、増幅器１５を開口部７上に配置するので、従来のように増幅器を基板１内に埋設することなく基板面上に表面実装できて製造を容易にする。 With such a configuration, an oscillation closed loop is formed by electromagnetic coupling between the pair of signal lines 14 (ab) and the circuit conductor 2 as shown by an arrow in FIG. 4 (c). The oscillation frequency is determined depending on the resonance frequency of the variable resonator. Therefore, the oscillation frequency can be varied by controlling the capacitance value of the varactor diode 10 with the control voltage. Thereby, a variable oscillator (so-called voltage controlled oscillator) can be obtained. In this case, since the amplifier 15 is disposed on the opening 7, the amplifier can be surface-mounted on the substrate surface without being embedded in the substrate 1 as in the prior art, and manufacturing is facilitated.
そして、方形状の回路導体２と接地導体３からなる平面共振器に図示しない給電線を設けて平面アンテナに設計すれば、周波数可変発振機能とアンテナ機能を持たせた送信モジュールが実現できる。発振周波数の可変、あるいは発振のオンオフも可能であるからFSK やASK 変調のディジタル変調機能を付加する等の高機能化も実現できる。 If a planar antenna composed of a rectangular circuit conductor 2 and a ground conductor 3 is provided with a feed line (not shown) and designed as a planar antenna, a transmission module having a variable frequency oscillation function and an antenna function can be realized. Since the oscillation frequency can be varied or the oscillation can be turned on / off, it is possible to realize high functionality such as adding a digital modulation function such as FSK or ASK modulation.
（第４実施例、請求項１に相当）
第５図（ａｂ）は本発明の第４実施例を説明するモード切替制御の平面共振器（モード切替共振器とする）の図で、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）は断面図である。
第４実施例は、直交する縮退モードを有する平面共振器を切り替え制御した、モード切替共振器に関するものである。すなわち、モード切替共振器は、基板１の一主面に形成された円形状の回路導体２に同心とする小円状の開口部９を設け、他主面を接地導体３とする。そして、小円状の開口部９上に対向する素子が互いに逆極性にスター結線して、直交方向にオン、オフして切り替えられる２対のスイッチング素子（計４個）１６を配置する。そして、各スイッチング素子１６の接続する中点（接続点）に、スイッチング用の制御電圧が印加される供給端子１１を接続する。そして、ここでの、平面共振器の共振モードはＴＭ11モードとし、これは水平及び垂直の直交方向に縮退姿態を有する。
(Fourth embodiment , equivalent to claim 1 )
FIG. 5 (ab) is a diagram of a planar resonator for mode switching control (referred to as a mode switching resonator) for explaining a fourth embodiment of the present invention. FIG. 5 (a) is a plan view and FIG. 5 (b). Is a cross-sectional view.
The fourth embodiment relates to a mode switching resonator in which a planar resonator having orthogonal degenerate modes is controlled to be switched. That is, the mode switching resonator is provided with a small circular opening 9 concentric with the circular circuit conductor 2 formed on one main surface of the substrate 1, and the other main surface is the ground conductor 3. Then, two pairs of switching elements (a total of four elements) 16 that are switched on and off in the orthogonal direction are arranged on the small circular opening 9 by star connection with opposite polarities and star connection. A supply terminal 11 to which a control voltage for switching is applied is connected to a midpoint (connection point) to which each switching element 16 is connected. The resonance mode of the planar resonator here is the TM11 mode, which has a degenerated state in the horizontal and vertical orthogonal directions.
このような構成であれば、制御電圧を正電圧とすれば垂直方向のスイッチング素子が導通（オン）する。したがって、この場合には、水平方向のＴＭ11モードは励起することなく、垂直方向のＴＭ11モードのみが励起する。逆に、制御電圧を負電圧とすれば、水平方向のスイッチング素子が導通する。したがって、この場合には、垂直方向のＴＭ11モードは励起することなく、水平方向のＴＭ11モードのみが励起する。これにより、制御電圧によって水平方向又は垂直方向のＴＭ11モードを切り替え選択できる。なお、この場合でも、スイッチング素子によって、境界条件等が等価的に変化して固定の電磁波導場を制御していると言える。 With such a configuration, when the control voltage is set to a positive voltage, the vertical switching element is turned on. Therefore, in this case, only the TM11 mode in the vertical direction is excited without exciting the TM11 mode in the horizontal direction. On the other hand, if the control voltage is a negative voltage, the horizontal switching element becomes conductive. Therefore, in this case, only the TM11 mode in the horizontal direction is excited without exciting the TM11 mode in the vertical direction. Thereby, the TM11 mode in the horizontal direction or the vertical direction can be switched and selected by the control voltage. Even in this case, it can be said that the fixed electromagnetic wave field is controlled by the switching element equivalently changing the boundary condition and the like.
このようなことから、前述したような給電線を設けて平面アンテナを形成すれば、水平又は垂直方向のＴＭ11モードでの共振を切替選択することによって、水平又は垂直偏波の高周波（電波）を送信あるいは受信できる。したがって、この場合には、水平／垂直偏波切り替え機能を有する平面アンテナを得ることができる。 Therefore, if a feed antenna as described above is provided to form a planar antenna, horizontal or vertical polarized high-frequency waves (radio waves) can be selected by switching the resonance in the TM11 mode in the horizontal or vertical direction. Can send or receive. Therefore, in this case, a planar antenna having a horizontal / vertical polarization switching function can be obtained.
なお、この例では開口部９は小円状としたが、例えば第６図に示したように十字状の開口部９としてもよい。この場合、開口部９が小円状のときには例えば水平方向のＴＭ11モードが励起されているときは垂直モードが僅かに存在するが、十字状のときには抑圧される。なぜなら、十字状の開口部によって、大部分の垂直方向の表面電流が阻止されるからである。 In this example, the opening 9 is a small circle, but it may be a cross-shaped opening 9 as shown in FIG. In this case, when the opening 9 is small, for example, when the horizontal TM11 mode is excited, there is a slight vertical mode, but when the opening 9 is cross-shaped, it is suppressed. This is because most of the vertical surface current is blocked by the cross-shaped opening.
また、スイッチング素子１６としては開口部９上の一主面上に配置するので表面実装素子を採用でき、例えば各種のパッケージ入りやピームリード型のショットキーバリヤダイオードやＰＩＮダイオード等が一般的に適用できるとともに、スイッチング機能のあるＩＣ類でも可能である。また、実装する集積回路がトランシーバ機能を有する場合は、開口部の対向近接する回路導体２間を入出力ポートと設定し、さらに、送信は垂直偏波、受信は水平偏波とすれば、アンテナ共用の簡易な双方向のワイヤレス送受信機も実現できる。 Further, since the switching element 16 is arranged on one main surface on the opening 9, a surface mount element can be adopted. For example, various packaged or beam lead type Schottky barrier diodes or PIN diodes can be generally applied. In addition, ICs having a switching function are also possible. If the integrated circuit to be mounted has a transceiver function, the circuit conductors 2 facing each other in the opening are set as input / output ports, and if the transmission is vertically polarized and the reception is horizontally polarized, the antenna A simple bidirectional wireless transceiver can be realized.
（他の事項）上記実施例では回路素子を表面実装するとしたが、例えばバンプを用いて実装すると接続線路長を最小にするので好都合である。また、基板１は誘電体としたが、これに代えて磁性体あるいは半導体でもよい。また、基板１は単一基板として説明したが、例えば平面回路を形成した複数の基板１を積層して多層構造マイクロ波集積回路を形成する。あるいは、集積回路や機能回路を含む半導体素子及び受動素子等の回路素子が表面上に形成された半導体上に、前述した各平面回路を搭載して例えばビアホールによって接続して、所謂３次元ＭＭＩＣを形成してもよい。これらの場合、大幅な小型化を達成する。 (Other matters) In the above embodiment, the circuit elements are mounted on the surface. However, mounting using bumps, for example, is advantageous because the connection line length is minimized. The substrate 1 is a dielectric, but may be a magnetic material or a semiconductor instead. Moreover, although the board | substrate 1 was demonstrated as a single board | substrate, the multilayered structure microwave integrated circuit is formed by laminating | stacking the several board | substrate 1 which formed the planar circuit, for example. Alternatively, a semiconductor element including an integrated circuit and a functional circuit, and a semiconductor element on which a circuit element such as a passive element is formed on the surface, each planar circuit described above is mounted and connected by, for example, a via hole, and a so-called three-dimensional MMIC is formed. It may be formed. In these cases, a significant reduction in size is achieved.
また、第４実施例では、平面共振器を直交する方向に縮退モード有するとしてスイッチング素子により垂直又は水平方向のモードを選択したが、例えば縮退モードでない形状の場合には、直交方向を切り替える２対のスイッチング素子によって垂直方向と水平方向を選択したときに得られる両線路の線路長差を移相量としたデジタル移相器、所謂線路切替型移相器にも適用できる。この場合、基本モードあるいは高次モードのいずれでも電磁波動場の制御に適用できる。 Further, in the fourth embodiment, the vertical or horizontal mode is selected by the switching element by assuming that the planar resonator has a degenerate mode in the orthogonal direction. For example, in the case of a shape that is not the degenerate mode, two pairs for switching the orthogonal direction are selected. The present invention can also be applied to a digital phase shifter in which the line length difference between the two lines obtained when the vertical direction and the horizontal direction are selected by the switching element is a phase shift amount, so-called line switching type phase shifter. In this case, either the fundamental mode or the higher order mode can be applied to control of the electromagnetic field.
また、スイッチング素子は単にオン・オフとしたが、例えばＭＯＳＦＥＴ等を可変抵抗器として抵抗値を制御すれば、抵抗値の大小によってオン・オフのスイッチング機能を持たせるとともに、アンテナの送受信や発振器等の出力の強度を制御できる。 Although the switching element is simply turned on / off, for example, if the resistance value is controlled using a MOSFET or the like as a variable resistor, the switching function of on / off is given depending on the resistance value, and transmission / reception of an antenna, an oscillator, etc. Can control the output intensity.
また、上記第１、第２及び第３実施例では可変リアクタンス素子は容量値の変化するバラクタダイオードとしたが、制御電圧に対して実質的にインダクタンスを含むリアクタンスが変化する素子であれば適用でき、電圧によらず結果としてリアクタンスを制御できればよい。また、縮退した共振モードは直交方向に縮退姿態を有するＴＭ11モードとしたが、例えば回路導体を方形状としたＴＭ10モード等も適用できる。 In the first, second and third embodiments , the variable reactance element is a varactor diode whose capacitance value changes. However, the variable reactance element can be applied to any element whose reactance substantially including inductance changes with respect to the control voltage. The reactance can be controlled as a result regardless of the voltage. Further, although the degenerated resonance mode is the TM11 mode having a degenerated state in the orthogonal direction, for example, a TM10 mode in which a circuit conductor is rectangular can be applied.
そして、ここで述べた以外に本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で適宜自在な変更を可能として、本発明の技術範囲に包含される。なお、基板本体内に一部の素子が埋設されてあったとしても、本発明の趣旨である開口部を設けて回路素子を配置し、これにより電磁波動場を制御している場合にも、本発明の技術的範囲に属する。 In addition to what has been described here, the present invention can be arbitrarily changed without departing from the spirit of the present invention and is included in the technical scope of the present invention. Even if some elements are embedded in the substrate body, even when the circuit element is arranged by providing an opening that is the gist of the present invention, thereby controlling the electromagnetic field, It belongs to the technical scope of the present invention.
１ 基板、２ 回路導体、３ 接地導体、４ 引出線、５ マッチング用の容量線路、６ ガンダイオード、７、９ 開口部、８、１２、１４ 信号線、１０ バラクターダイオード、１１ 供給線、１５ 増幅器、１６ スイッチング素子。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Board | substrate, 2 Circuit conductor, 3 Ground conductor, 4 Leader line, 5 Matching capacity line, 6 Gunn diode, 7, 9 Opening part, 8, 12, 14 Signal line, 10 Varactor diode, 11 Supply line, 15 Amplifier, 16 switching element.
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