JP3999832B2

JP3999832B2 - Magnetic recording / reproducing apparatus and magnetic recording medium

Info

Publication number: JP3999832B2
Application number: JP24230096A
Authority: JP
Inventors: 裕三上口; 政司佐橋
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1996-09-12
Filing date: 1996-09-12
Publication date: 2007-10-31
Anticipated expiration: 2016-09-12
Also published as: JPH1092026A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録層に磁気抵抗効果を利用した磁気記録装置および磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の磁気記録装置においては、磁気記録媒体に書き込まれた信号の再生は主に、 (1)磁気記録媒体からの漏れ磁束を測定する、 (2)光磁気記録媒体にスポット光を照射して反射光のカー回転角や透過光のファラデー回転角等を測定する、 (3)光磁気記録媒体にスポット光を照射して光の反射率を測定する、等により行われてきた。しかしながら、情報処理の高度化や高速化が急速に進むにつれて、磁気記録装置に対してはより一層記録密度の向上を図ることが求められており、また実際に磁気記録密度は急速に向上しているが、将来的には磁気記録密度の向上要求に対して、上記した方法では対応ができなくなることが予想される。
【０００３】
まず、 (1)の磁気記録媒体からの漏れ磁束を測定する方法では、磁気記録密度の向上に伴って、漏れ磁束の量自体が極めて小さくなってくるため、測定が極めて難しくなる。また、磁束は収束させることが難しく、ある程度空間で広がってしまうため、極微小な記録領域のビット値を測定することは困難となる。
【０００４】
また、上記した (2)および (3)の光を用いた方法、すなわち磁気光学特性等を利用した光磁気記録方式では、光のスポット径自体が最小の記録ビット面積を決定するが、その光のスポット径は光の波長以下に小さくすることはできない。このため、最小の記録ビット面積はサブミクロン程度に留まり、記録密度のさらなる向上は困難とされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、磁気記録装置に対しては、より一層の記録密度の向上を図ることが求められているが、従来の磁気記録再生方式のうち、漏れ磁束を測定する方式では、磁気記録密度の向上に伴って漏れ磁束の量自体がより小さくなると共に、磁束は収束させることが難しいため、記録領域をより極微小化していくと再生が困難となることが予想される。また、磁気光学特性等を利用した光磁気記録方式では、最小の記録ビット面積が光のスポット径により決定され、サブミクロン程度に留まるため、記録密度のさらなる向上は困難とされている。
【０００６】
このようなことから、磁気記録装置においては、将来的な磁気記録密度の向上に対応し得る磁気記録再生方式の開発が課題とされている。
【０００７】
本発明は、このような課題に対処するためになされたもので、従来の漏れ磁束による磁気記録方式や磁気光学特性等を利用した光磁気記録方式に比べて、より一層の高記録密度の達成を可能とした磁気記録装置および磁気記録媒体を提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気記録再生装置は、請求項１に記載したように、磁気抵抗効果を示すグラニュラー構造膜の磁性膜からなる磁気記録層を有する磁気記録媒体と、前記磁気抵抗効果を示す磁性膜の電気抵抗を測定することにより、前記磁気記録層に書き込まれた信号を再生する磁気ヘッドとを具備することを特徴としている。
【０００９】
本発明の磁気記録再生装置は、特に請求項２に記載したように、前記磁気ヘッドは少なくとも 2つの電気端子を有し、そのうち少なくとも 1つの電気端子から前記磁性膜に電流を注入させ、他の少なくとも 1つの電気端子から電流を流出させて、前記磁性膜の電気抵抗を測定するよう構成されていること、さらには請求項３に記載したように、前記磁気ヘッドは第１の金属層／絶縁層／第２の金属層の3層積層構造を有し、前記第１の金属層および第２の金属層が書き込み磁極となるよう構成されていることを特徴としている。
【００１１】
本発明においては、磁気抵抗効果を示す磁性膜からなる磁気記録層を有する磁気記録媒体を用いているため、記録信号の“０”と“１”に対応する磁気記録層の磁気抵抗効果に基く電気抵抗の変化で、磁気記録を行うことが可能となる。従って、この磁気記録層の電気抵抗の変化を、例えば 2端子もしくは 4端子構造の磁気ヘッドで直接測定することによって、磁気記録層に書き込まれた信号を再生することができる。
【００１２】
このような電気抵抗の直接測定に基く信号再生によれば、磁気へッドの端子間隔を極めて狭くしても、再生信号の大きさ自体はほとんど低下させることがないため、記録ビットの面積をより小さくすることができる。このため、例えば従来の漏れ磁束の測定による再生に比べて、より微小な記録ビットの再生を感度よく行うことができ、高記録密度化が可能となる。また、従来の光を用いた方式に比べても、磁気ヘッドの端子間隔を狭くすることによって、記録ビットの面積を小さくすることができることから、高記録密度化を達成することが可能である。
【００１３】
また、磁気ヘッドに第１の金属層／絶縁層／第２の金属層の 3層積層構造を有する 2端子式触針へッドを適用することによって、第１の金属層と第２の金属層との間隔、すなわち中間の絶縁層の幅で端子間隔を正確に規定することができる。このように、微小な端子間隔を精度よく規定することを可能にすることによって、記録ビット面積の微小化を容易に達成することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を実施するための形態について説明する。
【００１５】
図１は、本発明の磁気記録装置および磁気記録媒体の一実施形態の概略構成を示す図である。図１に示す磁気記録装置は、磁気記録媒体１０と再生用の磁気ヘッド２０とから主として構成されている。
【００１６】
磁気記録媒体１０は、例えば表面に絶縁層を有する金属支持体や樹脂製支持体等の絶縁性支持基体１１上に設けられた、磁気抵抗効果を示す磁性膜（以下、磁気抵抗効果膜と記す）からなる磁気記録層１２を有している。この磁気抵抗効果膜からなる磁気記録層１２の表面は、再生用磁気ヘッド２０との接触面となるため、導電性を有する潤滑剤を塗布したり、あるいは潤滑性を有する導電性保護層を設けることが好ましい。
【００１７】
上記した磁気抵抗効果膜からなる磁気記録層１２には、通常の磁気記録と同様に、信号磁界を磁気ヘッドから印加し、磁気記録層１２の磁化を反転させることにより磁気記録が行われるが、具体的な磁気記録は磁気記録層１２の磁気抵抗効果に基く抵抗値変化によりなされており、記録信号の“０”と“１”に対応して磁気記録層１２の電気抵抗が磁気抵抗効果により変化している。すなわち、記録信号の“０”と“１”に対応して磁気記録層１２に磁界が記録されているが、この記録磁界は磁気記録層１２、言い換えると磁気抵抗効果膜が有する磁気抵抗効果によって、電気抵抗の変化として記録されている。
【００１８】
なお、この際の記録用磁気ヘッドについては、通常の磁気記録と同様な記録ヘッドを用いることも可能であるが、後に詳述するように、再生用磁気ヘッド２０の構造や構成材料等を適宜に選択することによって、この再生用磁気ヘッド２０を記録ヘッド兼用の磁気ヘッドとして用いることも可能である。
【００１９】
上述した磁気記録層１２として機能する磁気抵抗効果膜は、例えば3%以上の磁気抵抗変化率を有する磁性膜を用いることが好ましい。磁気抵抗効果膜の磁気抵抗変化率が3%未満であると、記録信号を磁気ヘッド２０で再生する際に、十分な再生出力を得ることが困難となるおそれがある。言い換えると、3%以上の磁気抵抗変化率を有する磁性膜は、記録信号の“０”に対応する記録ビットと“１”に対応する記録ビットとの電気抵抗の差を大きくすることができ、より良好な再生出力を得ることが可能となる。
【００２０】
このような磁気抵抗変化率を有する磁気抵抗効果膜としては、電流の方向と磁性膜の磁化モーメントの成す角度に依存して電気抵抗が変化する、Ｎｉ₈₀Ｆｅ₂₀等の強磁性体からなる異方性磁気抵抗効果膜や、磁性層／非磁性層／磁性層のサンドイッチ積層構造の磁性多層膜を有し、これら磁性層間の磁化の成す角度に依存して電気抵抗が変化するスピンバルブ膜、あるいは磁性層と非磁性層とを交互に多重積層した磁性多層膜を有する人工格子膜等が例示される。これらのうち、巨大磁気抵抗効果を示すスピンバルブ膜や人工格子膜を磁気記録層１２として用いることが望ましい。なお、後述する他の実施形態に示すように、磁気抵抗効果膜としてグラニュラー構造膜を使用することも可能である。
【００２１】
図２は、上記した各種の磁気抵抗効果膜のうち、巨大磁気抵抗効果を示すスピンバルブ膜１３を、磁気記録層１２に用いた磁気記録媒体の一構造例を示している。図２に示す磁気記録層１２は、第１の磁性層１４／非磁性層１５／第２の磁性層１６のサンドイッチ構造を有するスピンバルブ膜１３によって構成されている。スピンバルブ膜１３のうち、表面側の第１の磁性層１４は信号磁界の書込みにより磁化方向が反転し、一方絶縁性支持基体１１側の第２の磁性層１６は磁化方向が固着されており、信号磁界の書込みによっても磁化方向は変化しない。従って、第１の磁性層１４に記録された信号磁界の方向と第２の磁性層１６の磁化方向とに応じて、磁気抵抗効果により電気抵抗が変化している。このような電気抵抗の変化を、後に詳述するように再生用磁気ヘッド２０で測定することによって、信号の再生が行われる。
【００２２】
上記したスピンバルブ膜１３の第１および第２の磁性層１４、１６には、上述したような磁気抵抗効果の発現性（磁気抵抗効果特性）と磁気記録材料に必要な保磁力とを合せ持つ材料が使用される。このような磁性材料としては、例えばＣｏＰｔ、ＣｏＰｄ、ＣｏＮｉ等のＣｏ系硬磁性材料、ＣｕＮｉＦｅ等のＦｅ系硬磁性材料等が挙げられる。また、第２の磁性層１６には反強磁性材料等を適用することも可能である。これら第１および第２の磁性層１４、１６の膜厚は、例えば 1〜20nm程度とすることが好ましい。
【００２３】
ただし、第１の磁性層１４は信号磁界の書込みにより磁化方向を反転させる磁性層であるため、保磁力は 5×10₄〜20×10₄A/m 程度とすることが好ましく、一方第２の磁性層１６は信号磁界の書込み時に磁化方向が変化しないことが必要であるため、保磁力は10×10₄A/m 以上であることが好ましい。第１の磁性層１４の保磁力が 5×10₄A/m 未満であると磁気記録の保持性が損われ、一方20×10₄A/m を超えると磁気記録が困難となるおそれがある。また、第２の磁性層１６の保磁力が10×10₄A/m 未満であると、信号磁界の書込み時に磁化方向が変化して、磁気記録の再現性が低下するおそれがある。
【００２４】
中間の非磁性層１５には、例えばＣｕ、Ａｕ、Ａｇ、これらの合金等の非磁性金属材料が用いられる。このような非磁性金属材料からなる非磁性層１５の膜厚は、例えば 1〜10nm程度とすることが好ましい。
【００２５】
また、磁気記録層１２としては、図３に示すように、第１および第２の磁性層１４、１６を、それぞれ磁気抵抗効果特性に優れる磁性層（以下、磁気抵抗効果層と記す）１４ａ、１６ａと、磁気記録材料に必要な保磁力に優れる磁性層（以下、高保磁力層と記す）１４ｂ、１６ｂとの積層膜で構成したスピンバルブ膜１７を用いることもできる。
【００２６】
ここで、磁気抵抗効果層１４ａ、１６ａとしては、磁気抵抗効果特性に優れるＣｏ₉₀Ｆｅ₁₀のようなＣｏ系磁性合金、Ｆｅ系磁性合金等が好ましく用いられる。ただし、このような磁性材料からなる磁気抵抗効果層１４ａ、１６ａは、記録材料としての特性をもたないため、これら両層に対してそれぞれＣｏ系硬磁性材料、Ｆｅ系硬磁性材料等からなる高保磁力層１４ｂ、１６ｂを隣接配置し、これらを交換結合させて磁気的に一体とすることによって、より良好な磁気抵抗効果特性と記録保持特性とを両立させることができる。
【００２７】
上記したスピンバルブ膜１７からなる磁気記録層１２においては、信号磁界の書込みにより磁気抵抗効果層１４ａと高保磁力層１４ｂとの積層膜からなる第１の磁性層１４の磁化が共に反転し、また磁気抵抗効果層１６ａと高保磁力層１６ｂとの積層膜からなる第２の磁性層１６の磁化方向は共に固着されている。上記した磁気抵抗効果層１４ａ、１６ａの膜厚は、例えば 1〜10nm程度とすることが好ましく、また高保磁力層１４ｂ、１６ｂの膜厚は、例えば 5〜 100nm程度とすることが好ましい。
【００２８】
上述したスピンバルブ膜１３、１７等からなる磁気記録層１２を有する磁気記録媒体１０は、巨大磁気抵抗効果により大きな電気抵抗の変化が得られるだけでなく、図４や図５に示すように、 1つの磁性層１４への磁気記録で磁気抵抗効果に基く電気抵抗の変化を得ることができるため、磁気抵抗効果を利用した記録・再生を容易に実施することが可能であり、本発明に好適であるということができる。
【００２９】
上述したような磁気抵抗効果膜からなる磁気記録層１２に書き込まれた信号は、図１（ｂ）に示したように、磁気記録層１２と再生用磁気ヘッド２０とを相対的に移動させ、具体的には例えば再生用磁気ヘッド２０の相対的な移動方向が矢印Ｘ方向となるように磁気記録媒体１０を移動させ、再生用磁気ヘッド２０で磁気記録層１２の電気抵抗の変化を直接測定することにより再生される。磁気記録層１２と再生用磁気ヘッド２０との相対的な移動方向は、図１（ｃ）に示す方向であってもよい。
【００３０】
このように、再生用磁気ヘッド２０には、磁気記録層１２の電気抵抗の変化を直接測定することが可能な、 2端子または 4端子の触針式ヘッドが用いられる。ヘッド構造は 4端子法でも 2端子法でもよいが、 2端子法の方が構造が簡単となるためにより望ましい。
【００３１】
この実施形態の再生用磁気ヘッド２０は 2端子構造の触針式ヘッドであり、第１の金属層２１／絶縁層２２／第２の金属層２３の 3層積層構造を有している。すなわち、再生用磁気ヘッド２０は、例えばＡｌ₂Ｏ₃等の非磁性絶縁層２２を介して配置された、ＮｉＦｅ合金のような強磁性金属材料からなる 2つの金属端子２１、２３を有する触針式ヘッドである。この再生用磁気ヘッド２０は、第１の金属端子２１および第２の金属端子２３が磁気記録媒体１０と接触しており、例えば第１の金属端子２１から磁気記録層１２を介して第２の金属端子２３に電流を流す 2端子法によって、磁気記録層１２の抵抗値を直接測定する構成とされている。
【００３２】
なお、上記したように 2つの金属端子２１、２３を強磁性金属材料で構成すると共に、その上部に記録用コイルを巻回することによって、磁気ヘッド２０を記録ヘッド兼用の再生ヘッドとして使用することができる。すなわち、 2つの金属端子２１、２３を書き込み時の磁極として利用することができる。
【００３３】
そして、前述したように、磁気記録層１２は記録信号の“０”と“１”に対応して電気抵抗が磁気抵抗効果により変化しているため、このような磁気記録層１２の抵抗値の変化を再生用磁気ヘッド２０で直接測定することによって、磁気記録層１２に記録された信号を再生することができる。
【００３４】
この信号再生について、図２に示したスピンバルブ膜１３を磁気記録層１２に用いた磁気記録媒体１０を例として、より詳しく説明すると、図４（ａ）に示すように、第１の磁性層１４の磁化方向が第２の磁性層１６の磁化方向と同一の記録領域では、磁気抵抗効果（巨大磁気抵抗効果）により抵抗値が低下している。それに対して、図４（ｂ）に示すように、第１の磁性層１４の磁化方向が第２の磁性層１６の磁化方向と反平行の記録領域では、磁気抵抗効果（巨大磁気抵抗効果）により抵抗値が増加している。この磁気記録層１２の電気抵抗の差に基いて磁気記録層１２に書き込まれた信号の再生を行うことができる。
【００３５】
また、図３に示したスピンバルブ膜１７を磁気記録層１２に用いた磁気記録媒体１０についても同様であり、図５（ａ）に示すように、磁気抵抗効果層１４ａと高保磁力層１４ｂとからなる第１の磁性層１４の磁化方向と、磁気抵抗効果層１６ａと高保磁力層１６ｂとからなる第２の磁性層１６の磁化方向とが同一の記録領域では、磁気抵抗効果（巨大磁気抵抗効果）により抵抗値が低下している。それに対して、図５（ｂ）に示すように、第１の磁性層１４の磁化方向と第２の磁性層１６の磁化方向とが反平行の記録領域では、磁気抵抗効果（巨大磁気抵抗効果）により抵抗値が増加している。この磁気記録層１２の電気抵抗の差に基いて、磁気記録層１２に書き込まれた信号の再生を行うことができる。
【００３６】
上述したように、磁気抵抗効果膜からなる磁気記録層１２を有する磁気記録媒体を用いることによって、磁気記録層１２への磁気記録を磁気抵抗効果に基く電気抵抗の変化により行うことが可能となる。そして、この磁気記録層１２の電気抵抗の変化を、例えば 2端子構造の再生用磁気ヘッド２０で直接測定することによって、磁気記録層１２に書き込まれた信号を再生することができる。
【００３７】
このような磁気記録層１２の電気抵抗の変化を直接測定する再生方式においては、再生用磁気へッド２０の 2つの金属端子２１、２３間隔を極めて狭くしても再生信号の大きさ自体はほとんど低下しないため、記録領域（ビット）の面積をより小さくすることができる。このため、例えば従来の漏れ磁束の測定による再生に比べて、より微小な記録ビットの再生を感度よく行うことができ、高記録密度化が可能となる。また、従来の光を用いた方式に比べても、磁気ヘッド２０の 2つの金属端子２１、２３間隔を狭くすることによって、記録ビットの面積を小さくすることができることから、高記録密度化を達成することが可能である。
【００３８】
特に、上述した実施形態の再生用磁気ヘッド２０のように、第１の金属端子２１／絶縁層２２／第２の金属端子２３の 3層積層構造を有する 2端子式触針へッドを適用することにより、第１の金属端子２１と第２の金属端子２３との間隔、すなわち中間の絶縁層２２の幅で端子間隔を正確に規定することが可能となる。このように、微小な端子間隔を精度よく規定することによって、記録ビット面積の微小化をより容易に達成することが可能となる。また、第１および第２の金属端子２１、２３を強磁性金属材料で構成すると共に、その上部に記録コイルを巻回することで、再生用磁気ヘッド２０を記録ヘッド兼用の磁気ヘッドとして使用することができるため、装置の簡易化および小形化を図ることができると共に、オフトラック特性を高めることが可能となる。
【００３９】
上述した図２に示したスピンバルブ膜１３を磁気記録層１２に用いた磁気記録媒体１０を有する磁気記録装置の具体例として、Ｃｕ非磁性層１５（膜厚:3nm）を介して保磁力が約80kA/mのＣｏＰｔ合金からなる第１の磁性層（膜厚: 10nm）１４と保磁力が約 160kA/mのＣｏＰｔ合金からなる第２の磁性層（膜厚: 10nm）１６とを積層したスピンバルブ膜１３を、ガラス製の絶縁性支持基体１１上に配置した磁気記録媒体１０を作製し、上述した構成の磁気ヘッド２０を用いて、信号磁界の記録と再生を行ったところ、良好な再生特性が得られた。なお、第１の磁性層１４としてのＣｏＰｔ合金と第２の磁性層１６としてのＣｏＰｔ合金は、組成により保持力調整を行った。
【００４０】
また、図３に示したスピンバルブ膜１７を磁気記録層１２に用いた磁気記録媒体１０を有する磁気記録装置の具体例として、膜厚10nmのＣｏＰｔ合金層（保磁力：約80kA/m）１４ｂ／膜厚 3nmのＣｏ₉₀Ｆｅ₁₀合金層１４ａ／膜厚 3nmのＣｕ非磁性層１５／膜厚 3nmのＣｏ₉₀Ｆｅ₁₀合金層１６ａ／膜厚10nmのＣｏＰｔ合金層（保磁力：約 160kA/m）１６ｂ構造のスピンバルブ膜１７を、ガラス製の絶縁性支持基体１１上に配置した磁気記録媒体１０を作製した。この具体例の磁気記録媒体２０は、スピンバルブ膜１７の磁気抵抗変化率を上述した第１の具体例のスピンバルブ膜１３の約 2倍とすることができた。この第２の具体例の磁気記録媒体２０の信号磁界の記録・再生を、上述した構成の磁気ヘッド２０を用いて行ったところ、第１の具体例に比べて再生出力を約 2倍とすることができた。
【００４１】
次に、本発明の磁気記録装置および磁気記録媒体の他の実施形態について、図６を参照して説明する。
【００４２】
この第２の実施形態における磁気記録媒体３０は、前述した実施形態と同様な構成の絶縁性支持基体１１上に、磁気記録層として機能する磁気抵抗効果を示す磁性膜（磁気抵抗効果膜）として、グラニュラー構造膜３１を有している。なお再生用磁気ヘッド２０の構成は、前述した実施形態と同様である。
【００４３】
磁気記録層としてのグラニュラー構造膜３１は、磁性領域と非磁性領域とに相分離した膜であり、磁性領域としては例えばＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅ等を主成分とする磁性微粒子が用いられ、非磁性領域としてはＡｌ₂Ｏ₃等の非磁性絶縁材料、あるいはＣｕ、Ａｕ、Ａｇおよびその合金等の非磁性金属材料が用いられる。
【００４４】
例えば、非磁性領域にＡｌ₂Ｏ₃等の非磁性絶縁材料を用いたグラニュラー構造膜では、電気伝導は各磁性微粒子間のトンネリングによるホッピング伝導により起こっているが、そのトンネリング抵抗は各磁性微粒子の磁化の成す角によって変化する。
【００４５】
ここで、図６（ａ）に示すように、信号磁界が書き込まれている 1ビットの記録領域内に再生用磁気ヘッド２０の両端子２１、２３が位置している場合を考えると、この位置では全ての磁性微粒子の磁化は揃っている。従って、磁気抵抗効果に基くトンネリング抵抗は小さく、測定される抵抗値は小さい。一方、図６（ｂ）に示すように、信号磁界が書き込まれている 2つの記録ビットの遷移領域に再生用磁気ヘッド２０が位置する場合には、磁化の方向が変化しているため、測定される抵抗値は増大する。
【００４６】
このように、グラニュラー構造膜３１を磁気抵抗効果膜として用いた磁気記録媒体３０によっても、磁気遷移領域のセンシングにより磁気記録層に書き込まれた信号を再生することができる。また、記録ビットの面積縮小は、前述した実施形態と同様に実施することができるため、磁気記録装置の高記録密度化を達成することが可能となる。
【００４７】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の磁気記録装置によれば、将来的な磁気記録密度の向上に対応し得る、より一層の高記録密度化を達成することができる。また、本発明の磁気記録媒体によれば、そのような高記録密度の磁気記録システムを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気記録装置および磁気記録媒体の一実施形態の概略構成を示す断面図である。
【図２】図１に示す磁気記録媒体の一具体例を示す断面図である。
【図３】図２に示す磁気記録媒体の変形例を示す断面図である。
【図４】図２に示す磁気記録媒体を用いた磁気記録装置による信号再生の状態を説明するための図である。
【図５】図３に示す磁気記録媒体を用いた磁気記録装置による信号再生の状態を説明するための図である。
【図６】本発明の磁気記録装置および磁気記録媒体の他の実施形態の概略構成を示す断面図である。
【符号の説明】
１０、３０……磁気記録媒体
１２……磁気記録層
１３、１７……スピンバルブ膜
２０……再生用磁気ヘッド
２１、２３……金属端子
２２……絶縁層
３１……グラニュラー構造膜[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a magnetic recording apparatus and a magnetic recording medium using a magnetoresistive effect for a magnetic recording layer.
[0002]
[Prior art]
In the conventional magnetic recording apparatus, the reproduction of the signal written on the magnetic recording medium is mainly performed by (1) measuring the leakage magnetic flux from the magnetic recording medium, and (2) irradiating the magneto-optical recording medium with spot light. The Kerr rotation angle of reflected light, the Faraday rotation angle of transmitted light, and the like are measured. (3) The light reflectance is measured by irradiating a magneto-optical recording medium with spot light. However, as information processing is advanced and speeded up rapidly, magnetic recording devices are required to further improve the recording density, and the magnetic recording density is actually increasing rapidly. However, in the future, it is expected that the above-described method will not be able to meet the demand for improvement in magnetic recording density.
[0003]
First, in the method (1) of measuring the leakage magnetic flux from the magnetic recording medium, the amount of leakage magnetic flux itself becomes extremely small as the magnetic recording density is improved, so that the measurement becomes extremely difficult. Further, since the magnetic flux is difficult to converge and spreads in a certain amount of space, it is difficult to measure the bit value of a very small recording area.
[0004]
In addition, in the above-described methods using the light of (2) and (3), that is, the magneto-optical recording method using magneto-optical characteristics, etc., the recording bit area where the light spot diameter itself is minimum is determined. The spot diameter cannot be made smaller than the wavelength of light. For this reason, the minimum recording bit area is limited to about submicron, and it is difficult to further improve the recording density.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, the magnetic recording apparatus is required to further improve the recording density. However, among the conventional magnetic recording and reproducing methods, the magnetic recording density is measured in the method of measuring the leakage magnetic flux. As the amount of leakage magnetic flux itself becomes smaller and the magnetic flux is difficult to converge, the reproduction is expected to become difficult as the recording area is further miniaturized. Further, in the magneto-optical recording method using the magneto-optical characteristics and the like, the minimum recording bit area is determined by the spot diameter of the light and remains at about submicron, so that it is difficult to further improve the recording density.
[0006]
For this reason, in magnetic recording devices, the development of a magnetic recording / reproducing system that can cope with future improvements in magnetic recording density is an issue.
[0007]
The present invention has been made to cope with such problems, and achieves a higher recording density than conventional magneto-optical recording methods utilizing magnetic recording methods using magnetic flux leakage and magneto-optical characteristics. It is an object of the present invention to provide a magnetic recording apparatus and a magnetic recording medium that enable the above.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
According to a first aspect of the present invention, there is provided a magnetic recording / reproducing apparatus comprising: a magnetic recording medium having a magnetic recording layer composed of a magnetic film having a granular structure film exhibiting a magnetoresistive effect; and a magnetic film exhibiting the magnetoresistive effect. And a magnetic head for reproducing a signal written in the magnetic recording layer by measuring electric resistance.
[0009]
According to a magnetic recording / reproducing apparatus of the present invention, as described in claim 2, the magnetic head has at least two electric terminals, and current is injected into the magnetic film from at least one of the electric terminals. The magnetic head is configured to measure an electric resistance of the magnetic film by flowing a current from at least one electric terminal, and the magnetic head includes a first metal layer / insulation It has a three-layer structure of layer / second metal layer, and the first metal layer and the second metal layer are configured to be a write magnetic pole.
[0011]
In the present invention, since a magnetic recording medium having a magnetic recording layer made of a magnetic film exhibiting a magnetoresistive effect is used, it is based on the magnetoresistive effect of the magnetic recording layer corresponding to “0” and “1” of the recording signal. Magnetic recording can be performed by changing the electric resistance. Therefore, the signal written in the magnetic recording layer can be reproduced by directly measuring the change in the electric resistance of the magnetic recording layer, for example, with a magnetic head having a two-terminal or four-terminal structure.
[0012]
According to signal reproduction based on such direct measurement of electrical resistance, even if the magnetic head terminal interval is extremely narrow, the size of the reproduction signal itself is hardly reduced. It can be made smaller. For this reason, for example, as compared with the conventional reproduction by measuring the leakage magnetic flux, the reproduction of a smaller recording bit can be performed with high sensitivity, and the recording density can be increased. Compared to the conventional method using light, the area of the recording bit can be reduced by narrowing the terminal interval of the magnetic head, so that a high recording density can be achieved.
[0013]
Also, by applying a two-terminal stylus head having a three-layer structure of first metal layer / insulating layer / second metal layer to the magnetic head, the first metal layer and the second metal The distance between the terminals, that is, the width of the intermediate insulating layer can accurately define the terminal distance. Thus, by making it possible to precisely define a minute terminal interval, it is possible to easily reduce the recording bit area.
[0014]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, modes for carrying out the present invention will be described.
[0015]
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of an embodiment of a magnetic recording apparatus and a magnetic recording medium of the present invention. The magnetic recording apparatus shown in FIG. 1 is mainly composed of a magnetic recording medium 10 and a reproducing magnetic head 20.
[0016]
The magnetic recording medium 10 is a magnetic film that exhibits a magnetoresistive effect (hereinafter referred to as a magnetoresistive effect film) provided on an insulating support base 11 such as a metal support or a resin support having an insulating layer on the surface. The magnetic recording layer 12 is formed. Since the surface of the magnetic recording layer 12 made of the magnetoresistive film serves as a contact surface with the reproducing magnetic head 20, a conductive lubricant is applied or a conductive protective layer having lubricity is provided. It is preferable.
[0017]
Magnetic recording is performed on the magnetic recording layer 12 made of the magnetoresistive film described above by applying a signal magnetic field from a magnetic head and reversing the magnetization of the magnetic recording layer 12, as in normal magnetic recording. The specific magnetic recording is performed by changing the resistance value based on the magnetoresistive effect of the magnetic recording layer 12, and the electrical resistance of the magnetic recording layer 12 corresponds to the recording signals “0” and “1” due to the magnetoresistive effect. It has changed. That is, a magnetic field is recorded in the magnetic recording layer 12 corresponding to the recording signals “0” and “1”. This recording magnetic field is generated by the magnetoresistive effect of the magnetic recording layer 12, that is, the magnetoresistive film. , Recorded as a change in electrical resistance.
[0018]
As the recording magnetic head at this time, a recording head similar to normal magnetic recording can be used. However, as will be described in detail later, the structure and constituent materials of the reproducing magnetic head 20 are appropriately selected. The reproducing magnetic head 20 can also be used as a magnetic head serving as a recording head.
[0019]
As the magnetoresistive film functioning as the magnetic recording layer 12 described above, it is preferable to use a magnetic film having a magnetoresistance change rate of 3% or more, for example. If the magnetoresistive change rate of the magnetoresistive film is less than 3%, it may be difficult to obtain a sufficient reproduction output when the recording signal is reproduced by the magnetic head 20. In other words, a magnetic film having a magnetoresistance change rate of 3% or more can increase the difference in electrical resistance between the recording bit corresponding to “0” and the recording bit corresponding to “1” of the recording signal, It becomes possible to obtain a better reproduction output.
[0020]
A magnetoresistive film having such a magnetoresistance change rate is a different film made of a ferromagnetic material such as Ni ₈₀ Fe ₂₀ whose electric resistance changes depending on the direction of the current and the angle formed by the magnetization moment of the magnetic film. A spin-valve film having an isotropic magnetoresistive film or a magnetic multilayer film having a sandwich layered structure of magnetic layer / nonmagnetic layer / magnetic layer whose electric resistance changes depending on the angle formed by the magnetization between these magnetic layers, Alternatively, an artificial lattice film having a magnetic multilayer film in which magnetic layers and nonmagnetic layers are alternately laminated is exemplified. Among these, it is desirable to use a spin valve film or an artificial lattice film exhibiting a giant magnetoresistance effect as the magnetic recording layer 12. As shown in other embodiments described later, a granular structure film can be used as the magnetoresistive film.
[0021]
FIG. 2 shows a structural example of a magnetic recording medium in which the spin valve film 13 showing the giant magnetoresistive effect among the various magnetoresistive films described above is used for the magnetic recording layer 12. The magnetic recording layer 12 shown in FIG. 2 is composed of a spin valve film 13 having a sandwich structure of a first magnetic layer 14 / nonmagnetic layer 15 / second magnetic layer 16. Of the spin valve film 13, the first magnetic layer 14 on the surface side is reversed in magnetization direction by writing the signal magnetic field, while the second magnetic layer 16 on the insulating support base 11 side is fixed in magnetization direction. The magnetization direction does not change even when the signal magnetic field is written. Therefore, the electric resistance changes due to the magnetoresistive effect according to the direction of the signal magnetic field recorded in the first magnetic layer 14 and the magnetization direction of the second magnetic layer 16. By measuring such a change in electric resistance with the reproducing magnetic head 20 as will be described in detail later, the signal is reproduced.
[0022]
The first and second magnetic layers 14 and 16 of the spin valve film 13 have both the above-described magnetoresistive effect (magnetoresistive characteristics) and the coercive force necessary for the magnetic recording material. Material is used. Examples of such magnetic materials include Co-based hard magnetic materials such as CoPt, CoPd, and CoNi, and Fe-based hard magnetic materials such as CuNiFe. Further, an antiferromagnetic material or the like can be applied to the second magnetic layer 16. The film thicknesses of the first and second magnetic layers 14 and 16 are preferably about 1 to 20 nm, for example.
[0023]
However, since the first magnetic layer 14 is a magnetic layer that reverses the magnetization direction by writing a signal magnetic field, the coercive force is preferably about 5 × 10 _{4 to} 20 × 10 ₄ A / m, while the second Since the magnetic layer 16 needs to have a magnetization direction that does not change when a signal magnetic field is written, the coercive force is preferably 10 × 10 ₄ A / m or more. If the coercive force of the first magnetic layer 14 is less than 5 × 10 ₄ A / m, the retention of magnetic recording is impaired, whereas if it exceeds 20 × 10 ₄ A / m, magnetic recording may be difficult. . If the coercive force of the second magnetic layer 16 is less than 10 × 10 ₄ A / m 2, the magnetization direction may change when the signal magnetic field is written, and the reproducibility of magnetic recording may be reduced.
[0024]
The intermediate nonmagnetic layer 15 is made of a nonmagnetic metal material such as Cu, Au, Ag, or an alloy thereof. The film thickness of the nonmagnetic layer 15 made of such a nonmagnetic metal material is preferably about 1 to 10 nm, for example.
[0025]
As the magnetic recording layer 12, as shown in FIG. 3, the first and second magnetic layers 14 and 16 are each a magnetic layer (hereinafter referred to as a magnetoresistive effect layer) 14a having excellent magnetoresistive effect characteristics, It is also possible to use a spin valve film 17 composed of a laminated film of 16a and magnetic layers (hereinafter referred to as high coercive force layers) 14b and 16b having excellent coercive force necessary for the magnetic recording material.
[0026]
Here, as the magnetoresistive effect layers 14a and 16a, a Co-based magnetic alloy such as Co ₉₀ Fe ₁₀ having excellent magnetoresistive effect characteristics, an Fe-based magnetic alloy, or the like is preferably used. However, since the magnetoresistive effect layers 14a and 16a made of such a magnetic material do not have characteristics as recording materials, these layers are made of a Co-based hard magnetic material, an Fe-based hard magnetic material, or the like. By arranging the high coercive force layers 14b and 16b adjacent to each other and magnetically integrating them by exchange coupling, it is possible to achieve both better magnetoresistance effect characteristics and recording retention characteristics.
[0027]
In the magnetic recording layer 12 composed of the spin valve film 17 described above, the magnetization of the first magnetic layer 14 composed of the laminated film of the magnetoresistive layer 14a and the high coercive force layer 14b is reversed by the writing of the signal magnetic field. The magnetization directions of the second magnetic layer 16 formed of a laminated film of the magnetoresistive effect layer 16a and the high coercive force layer 16b are fixed together. The film thickness of the magnetoresistive effect layers 14a and 16a is preferably about 1 to 10 nm, for example, and the film thickness of the high coercive force layers 14b and 16b is preferably about 5 to 100 nm, for example.
[0028]
The magnetic recording medium 10 having the magnetic recording layer 12 composed of the above-described spin valve films 13, 17 and the like can not only obtain a large change in electric resistance due to the giant magnetoresistance effect, but also as shown in FIGS. Since a change in electrical resistance based on the magnetoresistance effect can be obtained by magnetic recording on one magnetic layer 14, recording / reproduction utilizing the magnetoresistance effect can be easily performed, which is suitable for the present invention. It can be said that.
[0029]
The signal written in the magnetic recording layer 12 made of the magnetoresistive film as described above moves the magnetic recording layer 12 and the reproducing magnetic head 20 relatively as shown in FIG. Specifically, for example, the magnetic recording medium 10 is moved so that the relative moving direction of the reproducing magnetic head 20 is the arrow X direction, and the change in the electric resistance of the magnetic recording layer 12 is directly measured by the reproducing magnetic head 20. It is reproduced by doing. The relative movement direction of the magnetic recording layer 12 and the reproducing magnetic head 20 may be the direction shown in FIG.
[0030]
As described above, the reproducing magnetic head 20 is a 2-terminal or 4-terminal stylus head capable of directly measuring a change in the electric resistance of the magnetic recording layer 12. The head structure may be the 4-terminal method or the 2-terminal method, but the 2-terminal method is more preferable because the structure is simpler.
[0031]
The reproducing magnetic head 20 of this embodiment is a stylus head having a two-terminal structure, and has a three-layer laminated structure of a first metal layer 21 / insulating layer 22 / second metal layer 23. That is, the reproducing magnetic head 20 has a stylus having two metal terminals 21 and 23 made of a ferromagnetic metal material such as a NiFe alloy disposed via a nonmagnetic insulating layer 22 such as Al ₂ O _3. Expression head. In the reproducing magnetic head 20, the first metal terminal 21 and the second metal terminal 23 are in contact with the magnetic recording medium 10. For example, the second metal terminal 21 and the second metal terminal 23 are connected to the second metal terminal 21 via the magnetic recording layer 12. The resistance value of the magnetic recording layer 12 is directly measured by a two-terminal method in which a current is passed through the metal terminal 23.
[0032]
In addition, as described above, the two metal terminals 21 and 23 are made of a ferromagnetic metal material, and the recording coil is wound on the upper portion thereof, so that the magnetic head 20 can be used as a reproducing head also serving as a recording head. Can do. That is, the two metal terminals 21 and 23 can be used as magnetic poles at the time of writing.
[0033]
As described above, since the electric resistance of the magnetic recording layer 12 is changed by the magnetoresistive effect corresponding to “0” and “1” of the recording signal, the resistance value of such a magnetic recording layer 12 is reduced. By directly measuring the change with the reproducing magnetic head 20, the signal recorded on the magnetic recording layer 12 can be reproduced.
[0034]
This signal reproduction will be described in more detail by taking the magnetic recording medium 10 using the spin valve film 13 shown in FIG. 2 as the magnetic recording layer 12 as an example. As shown in FIG. 4A, the first magnetic layer In the recording region in which the magnetization direction of 14 is the same as the magnetization direction of the second magnetic layer 16, the resistance value is lowered due to the magnetoresistance effect (giant magnetoresistance effect). On the other hand, as shown in FIG. 4B, in the recording region in which the magnetization direction of the first magnetic layer 14 is antiparallel to the magnetization direction of the second magnetic layer 16, the magnetoresistance effect (giant magnetoresistance effect). As a result, the resistance value increases. Based on the difference in electrical resistance of the magnetic recording layer 12, the signal written in the magnetic recording layer 12 can be reproduced.
[0035]
The same applies to the magnetic recording medium 10 using the spin valve film 17 shown in FIG. 3 for the magnetic recording layer 12, and as shown in FIG. 5A, the magnetoresistive effect layer 14a, the high coercive force layer 14b, In the recording region where the magnetization direction of the first magnetic layer 14 made of and the magnetization direction of the second magnetic layer 16 made of the magnetoresistive effect layer 16a and the high coercive force layer 16b are the same, the magnetoresistive effect (giant magnetoresistance The resistance value is reduced due to the effect). On the other hand, as shown in FIG. 5B, in the recording region where the magnetization direction of the first magnetic layer 14 and the magnetization direction of the second magnetic layer 16 are antiparallel, the magnetoresistance effect (giant magnetoresistance effect). ) Increases the resistance value. Based on the difference in electrical resistance of the magnetic recording layer 12, the signal written in the magnetic recording layer 12 can be reproduced.
[0036]
As described above, by using a magnetic recording medium having the magnetic recording layer 12 made of a magnetoresistive effect film, magnetic recording on the magnetic recording layer 12 can be performed by a change in electrical resistance based on the magnetoresistive effect. . Then, by directly measuring the change in the electric resistance of the magnetic recording layer 12 with the reproducing magnetic head 20 having a two-terminal structure, for example, the signal written in the magnetic recording layer 12 can be reproduced.
[0037]
In such a reproducing method that directly measures the change in the electric resistance of the magnetic recording layer 12, even if the distance between the two metal terminals 21 and 23 of the reproducing magnetic head 20 is extremely narrow, the magnitude of the reproduced signal itself is not reduced. Since it hardly decreases, the area of the recording area (bit) can be further reduced. For this reason, for example, as compared with the conventional reproduction by measuring the leakage magnetic flux, the reproduction of a smaller recording bit can be performed with high sensitivity, and the recording density can be increased. Compared with the conventional method using light, the area of the recording bit can be reduced by narrowing the distance between the two metal terminals 21 and 23 of the magnetic head 20, thereby achieving high recording density. Is possible.
[0038]
In particular, like the reproducing magnetic head 20 of the above-described embodiment, a two-terminal stylus head having a three-layer laminated structure of the first metal terminal 21 / insulating layer 22 / second metal terminal 23 is applied. By doing so, it is possible to accurately define the terminal interval by the interval between the first metal terminal 21 and the second metal terminal 23, that is, the width of the intermediate insulating layer 22. In this way, it is possible to more easily achieve a reduction in the recording bit area by precisely defining a minute terminal interval. Further, the first and second metal terminals 21 and 23 are made of a ferromagnetic metal material, and a recording coil is wound around the first and second metal terminals 21 and 23, whereby the reproducing magnetic head 20 is used as a magnetic head serving also as a recording head. Therefore, the apparatus can be simplified and miniaturized, and off-track characteristics can be improved.
[0039]
As a specific example of a magnetic recording apparatus having the magnetic recording medium 10 using the spin valve film 13 shown in FIG. 2 as the magnetic recording layer 12 described above, the coercive force is exerted via a Cu nonmagnetic layer 15 (film thickness: 3 nm). A first magnetic layer (film thickness: 10 nm) 14 made of a CoPt alloy of about 80 kA / m and a second magnetic layer (film thickness: 10 nm) 16 made of a CoPt alloy of about 160 kA / m were laminated. When the magnetic recording medium 10 in which the spin valve film 13 is disposed on the insulating support substrate 11 made of glass is manufactured and the magnetic head 20 having the above-described configuration is used for recording and reproducing the signal magnetic field, it is satisfactory. Reproduction characteristics were obtained. Note that the CoPt alloy as the first magnetic layer 14 and the CoPt alloy as the second magnetic layer 16 were adjusted in coercive force depending on the composition.
[0040]
As a specific example of the magnetic recording apparatus having the magnetic recording medium 10 using the spin valve film 17 shown in FIG. 3 as the magnetic recording layer 12, a 10 nm thick CoPt alloy layer (coercive force: about 80 kA / m) 14b / 3 nm thick Co ₉₀ Fe ₁₀ alloy layer 14 a / 3 nm thick Cu nonmagnetic layer 15/3 nm thick Co ₉₀ Fe ₁₀ alloy layer 16 a / 10 nm thick CoPt alloy layer (coercive force: about 160 kA / m The magnetic recording medium 10 in which the spin valve film 17 having the 16b structure is disposed on the insulating support base 11 made of glass was produced. In the magnetic recording medium 20 of this specific example, the magnetoresistance change rate of the spin valve film 17 could be about twice that of the spin valve film 13 of the first specific example described above. When the recording / reproduction of the signal magnetic field of the magnetic recording medium 20 of the second specific example is performed using the magnetic head 20 having the above-described configuration, the reproduction output is approximately doubled as compared with the first specific example. I was able to.
[0041]
Next, another embodiment of the magnetic recording apparatus and magnetic recording medium of the present invention will be described with reference to FIG.
[0042]
The magnetic recording medium 30 in the second embodiment is a magnetic film (magnetoresistance effect film) showing a magnetoresistance effect that functions as a magnetic recording layer on the insulating support base 11 having the same configuration as that of the above-described embodiment. A granular structure film 31 is provided. The configuration of the reproducing magnetic head 20 is the same as that of the above-described embodiment.
[0043]
The granular structure film 31 as a magnetic recording layer is a film that is phase-separated into a magnetic region and a non-magnetic region. The magnetic region is made of magnetic fine particles mainly composed of, for example, Co, Ni, Fe, etc. As the region, a nonmagnetic insulating material such as Al ₂ O ₃ or a nonmagnetic metal material such as Cu, Au, Ag and an alloy thereof is used.
[0044]
For example, in a granular structure film using a non-magnetic insulating material such as Al ₂ O _{3 in} the non-magnetic region, electrical conduction occurs by hopping conduction due to tunneling between magnetic fine particles, but the tunneling resistance is the resistance of each magnetic fine particle. Varies depending on the angle formed by magnetization.
[0045]
Here, as shown in FIG. 6A, considering the case where both terminals 21 and 23 of the reproducing magnetic head 20 are located in the 1-bit recording area where the signal magnetic field is written, this position is considered. Then, all the magnetic fine particles have the same magnetization. Therefore, the tunneling resistance based on the magnetoresistance effect is small, and the measured resistance value is small. On the other hand, as shown in FIG. 6B, when the reproducing magnetic head 20 is located in the transition region of the two recording bits in which the signal magnetic field is written, the magnetization direction is changed, so that the measurement is performed. The resistance value to be increased.
[0046]
As described above, even with the magnetic recording medium 30 using the granular structure film 31 as the magnetoresistive film, the signal written in the magnetic recording layer by sensing the magnetic transition region can be reproduced. Further, since the area reduction of the recording bit can be performed in the same manner as in the above-described embodiment, it is possible to achieve a high recording density of the magnetic recording apparatus.
[0047]
【The invention's effect】
As described above, according to the magnetic recording apparatus of the present invention, it is possible to achieve further higher recording density that can cope with future improvements in magnetic recording density. In addition, according to the magnetic recording medium of the present invention, it is possible to provide such a high recording density magnetic recording system.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of an embodiment of a magnetic recording apparatus and a magnetic recording medium of the present invention.
2 is a cross-sectional view showing a specific example of the magnetic recording medium shown in FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a modification of the magnetic recording medium shown in FIG.
4 is a diagram for explaining a state of signal reproduction by a magnetic recording apparatus using the magnetic recording medium shown in FIG. 2; FIG.
5 is a diagram for explaining a state of signal reproduction by a magnetic recording apparatus using the magnetic recording medium shown in FIG. 3. FIG.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of another embodiment of the magnetic recording apparatus and the magnetic recording medium of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 30 ... Magnetic recording medium 12 ... Magnetic recording layer 13, 17 ... Spin-valve film 20 ... Reproducing magnetic head 21, 23 ... Metal terminal 22 ... Insulating layer 31 ... Granular structure film

Claims

磁気抵抗効果を示すグラニュラー構造膜の磁性膜からなる磁気記録層を有する磁気記録媒体と、
前記磁気抵抗効果を示す磁性膜の電気抵抗を測定することにより、前記磁気記録層に書き込まれた信号を再生する磁気ヘッドとを具備することを特徴する磁気記録再生装置。A magnetic recording medium having a magnetic recording layer made of a magnetic film having a granular structure film exhibiting a magnetoresistive effect;
A magnetic recording / reproducing apparatus comprising: a magnetic head for reproducing a signal written in the magnetic recording layer by measuring an electric resistance of the magnetic film exhibiting the magnetoresistive effect.

請求項１記載の磁気記録装置において、前記磁気ヘッドは、少なくとも 2つの電気端子を有し、そのうち少なくとも 1つの電気端子から前記磁性膜に電流を注入させ、他の少なくとも 1つの電気端子から電流を流出させて、前記磁性膜の電気抵抗を測定するよう構成されていることを特徴とする磁気記録再生装置。 2. The magnetic recording apparatus according to claim 1, wherein the magnetic head has at least two electric terminals, and current is injected into the magnetic film from at least one of the electric terminals, and current is supplied from at least one other electric terminal. A magnetic recording / reproducing apparatus configured to measure the electrical resistance of the magnetic film after flowing out.

請求項１記載の磁気記録装置において、前記磁気ヘッドは、第１の金属層／絶縁層／第２の金属層の 3層積層構造を有し、前記第１の金属層および第２の金属層が書き込み磁極となるよう構成されていることを特徴とする磁気記録再生装置。 2. The magnetic recording apparatus according to claim 1, wherein the magnetic head has a three-layer laminated structure of a first metal layer / an insulating layer / a second metal layer, and the first metal layer and the second metal layer. Is a magnetic pole for writing and recording.

請求項３に記載の磁気記録再生装置において、前記第1の金属層及び前記第２の金属層はそれぞれ磁性体からなり、これら磁性体間の電気抵抗を測定することにより、前記磁気記録層に記録された信号を再生することを特徴とする磁気記録再生装置。4. The magnetic recording / reproducing apparatus according to claim 3 , wherein each of the first metal layer and the second metal layer is made of a magnetic material, and an electric resistance between the magnetic materials is measured to thereby form the magnetic recording layer. A magnetic recording / reproducing apparatus for reproducing a recorded signal.