JP3999797B2 - 磁気記録媒体、記録再生装置およびスタンパー - Google Patents

Description

本発明は、サーボパターン領域に凹凸パターンによってサーボパターンが形成された磁気記録媒体、その磁気記録媒体を備えた記録再生装置、およびその磁気記録媒体を製造するためのスタンパーに関するものである。

この種の磁気記録媒体を備えた記録再生装置として、ディスクリートトラック型の磁気ディスクを備えて構成された磁気記録装置が特開平９−９７４１９号公報に開示されている。この場合、この磁気記録装置に搭載されている磁気ディスクは、ガラスディスク基板（基材）の一面側に記録磁性部材（磁性材料）で同心円状の記録トラック（帯状の凸部）が形成されて各種記録データの記録および再生が可能に構成されている。また、各記録トラックの間の凹部には、磁気ディスクの表面平坦性を向上させると共に、隣り合う磁気トラックを磁気的に分離するためのガードバンド部材（非磁性材料）が埋め込まれてガードバンド部が形成されている。

この磁気ディスクの製造に際しては、まず、基材の一面側に磁性材料をスパッタリングして記録磁気層を形成する。次いで、記録磁気層を覆うようにしてポジ形レジストをスピンコートしてプリベークした後に、原盤カッティング装置を用いてガードバンド部のパターンと同じパターンを描画して現像処理する。これにより、記録磁気層の上にレジストパターン（凹凸パターン）が形成される。続いて、レジストパターンをマスクとして用いて記録磁気層をエッチング処理した後に、アッシング装置によって磁気記録層上の残留マスクを除去する。これにより、基材の上に磁性材料からなる記録トラックおよびサーボパターン（凸部が磁性材料で形成された凹凸パターン）が形成される。次いで、この状態の基材に非磁性材料をスパッタリングする。この際には、サーボパターンを構成する凹部や各記録トラック間の凹部が非磁性材料で埋め尽くされ、かつ、サーボパターンを構成する凸部や各記録トラックが非磁性材料で覆われるまで非磁性材料を十分な厚みにスパッタリングする。続いて、スパッタリングした非磁性材料の表面をドライエッチング処理することにより、サーボパターンを構成する凸部や記録トラック等の突端面（磁性材料の表面）を非磁性材料から露出させる。これにより、磁気ディスクが完成する。
特開平９−９７４１９号公報（第６−１２頁、第１−１９図）

ところが、従来の磁気ディスクには、以下の問題点がある。すなわち、従来の磁気ディスクでは、基材の全域を覆うようにして非磁性材料をスパッタリングした後に、サーボパターンを構成する凸部や記録トラック等の突端面（上面）が露出するまで非磁性材料をドライエッチング処理して表面を平坦化している。しかし、この製造方法に従って磁気ディスクを製造した場合、ドライエッチング処理に際して、その突端面が広い凸部（突端面における任意の方向に対する長さが長い凸部：以下、「全方向に長い凸部」ともいう）の上に非磁性材料が大量に残留して（以下、凸部の上に残留した非磁性材料を「残渣」ともいう）、厚手の残渣によって凸部が覆われた状態となることがある。

具体的には、例えば、図２９に示すように、上記の製造方法に従って製造した磁気ディスク１０ｚは、同心円状の複数のデータ記録トラックで構成されたデータトラックパターン４０ｔｚが形成されたデータ記録領域Ａｔｚと、トラッキングサーボ用のサーボパターン４０ｓｚが形成されたサーボパターン領域Ａｓｚとが磁気ディスク１０ｚの回転方向（同図に示す矢印Ｒの向き）で交互に並ぶように規定されて製造されている。また、図３０に示すように、磁気ディスク１０ｚのサーボパターン領域Ａｓｚは、一例として、プリアンブルパターンが形成されたプリアンブルパターン領域Ａｐｚと、アドレスパターンが形成されたアドレスパターン領域Ａａｚと、バースト領域Ａｂ１ｚ〜Ａｂ４ｚの各領域にバーストパターンが形成されたバーストパターン領域Ａｂｚとを備えている。なお、同図および後に参照する図３１において斜線で塗り潰した領域は、サーボパターン４０ｓｚおよびデータトラックパターン４０ｔｚにおける凸部（図３２における凸部４０ａｚ）の形成領域を表している。

この場合、この磁気ディスク１０ｚを含む従来の磁気ディスクでは、アドレスパターン領域Ａａｚに形成したサーボパターン４０ｓｚにおける凸部４０ａｚ，４０ａｚ・・（図３２参照）の基材の回転方向に沿った長さが、記録すべきアドレスデータのデータ内容に対応して非常に長くなることがある。具体的には、アドレスパターン領域Ａａｚにバイナリーデータでアドレスデータを記録するときに、例えば、「１」に対応して凸部４０ａｚを形成すると共に、「０」に対応して凹部４０ｂｚ（図３２参照）を形成した場合には、アドレスデータ上で「１」が多数連続する部位において凸部４０ａｚの回転方向に沿った長さが長くなる。この結果、例えば、図３１に示すように、アドレスデータにおいて「１」が連続していない部位（アドレスデータが「０，１，０」の部位）では、「１」に対応して形成される凸部４０ａｚの回転方向に沿った長さＬ１１が比較的短くなっている。これに対して、アドレスデータにおいて「１」が複数連続している部位（例えば、アドレスデータが「０，１，１，１，０」の部位等）では、「１」に対応して形成される凸部４０ａｚの回転方向に沿った長さＬ１２が長くなる。この場合、図３０，３１に示すように、アドレスパターン領域Ａａｚ内では、凸部４０ａｚが複数の記録トラックを跨ぐようにして半径方向（両図における上下方向）に連続して形成されることが多いため、凸部４０ａｚの半径方向に沿った長さが長くなる傾向がある。したがって、アドレスデータにおいて「１」が複数連続する部位においては、凸部４０ａｚの突端面における半径方向に沿った長さおよび回転方向に沿った長さの双方が長くなる（突端面が過剰に広くなる）。

また、図３０に示すように、従来の磁気ディスク１０ｚでは、データ記録領域Ａｔｚとプリアンブルパターン領域Ａｐｚとの間、プリアンブルパターン領域Ａｐｚとアドレスパターン領域Ａａｚとの間、アドレスパターン領域Ａａｚとバーストパターン領域Ａｂｚとの間、およびバーストパターン領域Ａｂｚとデータ記録領域Ａｔｚとの間の各領域に、磁性材料（磁性層１４：図３２参照）からなる凸部で構成された非サーボ信号領域Ａｘｚが形成されている。さらに、バーストパターン領域Ａｂｚにおける各バースト領域Ａｂ１ｚ〜Ａｂ４ｚの各領域の間には、磁性材料（磁性層１４）からなる凸部で構成された非サーボ信号領域Ａｘｂｚが形成されている。この非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚには、トラッキングサーボ制御用の制御信号が記録されておらず、非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚのほぼ全域が上記の凸部で構成されて凹部が存在しない状態となっている。

この場合、出願人は、サーボパターン４０ｓｚ等を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層（凸部４０ａｚ，４０ａｚ・・等の間にガードバンド部を形成するための材料の層：図３２参照）をドライエッチング処理して各凸部４０ａｚ，４０ａｚ・・を露出させる際に、その下方に存在する凸部４０ａｚの突端面が広いほど（凸部４０ａｚが全方向に長いほど：例えば、凸部４０ａｚにおける突端面の回転方向に沿った長さおよび半径方向に沿った長さが共に長いほど）、非磁性材料１５に対するエッチングの進行が遅くなる現象を見出している。したがって、アドレスパターン領域Ａａｚにおいて回転方向に沿った長さが長い凸部４０ａｚ（一例として、長さＬ１２の凸部４０ａｚ）が形成されている部位には、非磁性材料１５の層に対するドライエッチング処理に際して厚手の残渣が生じることとなる。

具体的には、図３２に示すように、例えば、突端面の回転方向に沿った長さＬ１１が短い凸部４０ａｚ，４０ａｚ・・（いずれかの方向に対する長さが短い凸部４０ａｚ，４０ａｚ・・の一例）の上では、ドライエッチング処理によって非磁性材料１５が十分にエッチングされて凸部４０ａｚの突端面が非磁性材料１５から露出する。これに対して、突端面の回転方向に沿った長さＬ１２が長く突端面が広い凸部４０ａｚ，４０ａｚ・・（全方向に長い凸部４０ａｚ，４０ａｚ・・の一例）の上では、非磁性材料１５に対するエッチングの進行が遅いため、長さＬ１１が短い凸部４０ａｚの突端面が非磁性材料１５から露出した時点でドライエッチング処理を終了したときに、厚みＴの残渣が生じた状態（凸部４０ａｚが非磁性材料１５によって覆われた状態）となる。この結果、残渣が生じた部位（アドレスデータにおいて「１」が多数連続している部位）においてアドレスパターン領域Ａａｚ内の表面平坦性が悪化する。また、突端面が広い凸部４０ａｚが形成されている非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚ・・等においても、上記の長さＬ１２の凸部４０ａｚ上と同様にして厚手の残渣が生じた状態となる。この結果、残渣が生じた部位（非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚ等）においてサーボパターン領域Ａｓｚ内の表面平坦性が悪化する。

一方、突端面が過剰に広い凸部４０ａｚ上の残渣が完全に取り除かれるまでドライエッチング処理を継続した場合には、例えば、突端面の回転方向に沿った長さＬ１１が短い凸部４０ａｚの部位で非磁性材料１５のみならず磁性層１４（凸部４０ａｚ）までもがエッチングされる。したがって、アドレスパターン領域Ａａｚの全域に亘って凸部４０ａｚ上の残渣が完全に取り除かれるまでドライエッチング処理を継続した場合には、突端面の回転方向に沿った長さまたは半径方向に沿った長さ等が比較的短い部位（例えば、アドレスデータにおいて「１」が連続していない部位）における凸部４０ａｚ，４０ａｚ・・が過度にエッチングされて、磁気的信号（アドレスデータ）の確実な読み取りが困難となるおそれがある。また、非サーボ信号領域Ａｘｚ，Ａｘｂｚを含むサーボパターン領域Ａｓｚの全域に亘って凸部４０ａｚ上の残渣が完全に取り除かれるまでドライエッチング処理を継続した場合には、いずれかの方向に対する長さが短い部位（例えば、プリアンブルパターン領域Ａｐｚ内）における凸部４０ａｚ，４０ａｚ・・が過度にエッチングされてこの部位（領域）からの磁気的信号の確実な読み取りが困難となるおそれがある。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、磁気的信号の確実な読み取りが可能で、しかも、表面平坦性が良好なサーボパターンを有する磁気記録媒体、および記録再生装置、並びに、このような磁気記録媒体を製造し得るスタンパーを提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく本発明に係る磁気記録媒体は、少なくとも突端部が磁性材料で形成された複数の凸部と、当該各凸部の間に形成された凹部とを有する凹凸パターンが円板状の基材の少なくとも一面に直接または所定の層を介して形成され、当該凹凸パターンによって当該一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが設けられてデータトラックパターンが形成され、かつ、前記凹部に非磁性材料が埋め込まれて表面が平坦化された回転型の磁気記録媒体であって、前記サーボパターン領域および前記データ記録領域は、当該磁気記録媒体の回転方向において交互に並ぶように規定され、前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凸部における突端面の当該磁気記録媒体の回転方向に沿った各長さがアドレスデータのデータ内容に対応して規定されると共に当該各長さのうちの前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径位置毎の最大の長さが当該同一半径位置内の当該各凸部における突端面の当該回転方向に沿った最小の長さの２倍の長さである第１の長さとなるように前記凹部が形成され、前記同一半径位置毎の前記第１の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凹部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凹部が形成されている。

なお、本明細書における「２倍の長さ」とは、ほぼ２倍の長さを含む概念であって、上記の最小の長さの２倍の長さを目標にして凸部を形成すべく凹部を形成した際に僅かな製造誤差が生じたとしても、その製造誤差分だけ相違しているその凸部における突端面の長さも最小の長さの２倍の長さ（第１の長さ）であることを意味する。また、製造誤差とは別に「２倍」に対して僅かな許容範囲を当初から規定して凸部を形成すべく凹部を形成したときにも、その凸部における突端面の長さも最小の長さの２倍の長さ（第１の長さ）であることを意味する。また、本明細書における「凹部の少なくとも一部が円形領域内に含まれる」との状態には、「凹凸パターンを構成する凸部と凹部との境界部分（凹部の端部）が円形領域内に含まれている状態」が含まれる。

さらに、本発明に係る磁気記録媒体は、上記のいずれかの磁気記録媒体において、前記凹凸パターンの凸部によって複数の前記データ記録トラックが形成され、前記各データ記録トラックは、前記基材の半径方向に沿った長さが前記各第１の長さのうちの最大の長さ以下となるように形成されている。

また、本発明に係る磁気記録媒体は、少なくとも突端部が磁性材料で形成された複数の凸部と、当該各凸部の間に形成された凹部とを有する凹凸パターンが円板状の基材の少なくとも一面に直接または所定の層を介して形成され、当該凹凸パターンによって当該一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが設けられてデータトラックパターンが形成され、かつ、前記凹部に非磁性材料が埋め込まれて表面が平坦化された回転型の磁気記録媒体であって、前記サーボパターン領域および前記データ記録領域は、当該磁気記録媒体の回転方向において交互に並ぶように規定され、前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凸部における突端面の当該磁気記録媒体の回転方向に沿った各長さがアドレスデータのデータ内容に対応して規定されると共に当該各長さが前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径位置内において互いに等しい第２の長さとなるように前記凹部が形成され、前記同一半径位置毎の前記第２の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凹部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凹部が形成されている。

なお、本明細書における「互いに等しい」とは、互いにほぼ等しいことを含む概念であって、上記の第２の長さを目標にして凸部を形成すべく凹部を形成した際に僅かな製造誤差が生じたとしても、その製造誤差分だけ相違しているその凸部における突端面の長さも第２の長さであることを意味する。また、製造誤差とは別に僅かな許容範囲を当初から規定して凸部を形成すべく凹部を形成したときにも、その凸部における突端面の長さも第２の長さであることを意味する。

さらに、本発明に係る磁気記録媒体は、上記のいずれかの磁気記録媒体において、前記凹凸パターンの凸部によって複数の前記データ記録トラックが形成され、前記各データ記録トラックは、前記基材の半径方向に沿った長さが前記各第２の長さのうちの最大の長さ以下となるように形成されている。

また、本発明に係る記録再生装置は、上記のいずれかの磁気記録媒体と、当該磁気記録媒体における前記サーボパターン領域から読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部とを備えている。

また、本発明に係るスタンパーは、磁気記録媒体製造用のスタンパーであって、複数の凸部と凹部とを有する凹凸パターンが円板状の基材の少なくとも一面に直接または所定の層を介して形成され、当該凹凸パターンによって当該一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状の前記凸部が設けられてデータトラックパターンが形成され、かつ、前記サーボパターン領域および前記データ記録領域が回転方向において交互に並ぶように規定されると共に、前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凸部における突端面の前記回転方向に沿った各長さがアドレスデータのデータ内容に対応して規定されると共に当該各長さのうちの前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径位置毎の最大の長さが当該同一半径位置内の当該各凸部における突端面の当該回転方向に沿った最小の長さの２倍の長さである第１の長さとなるように前記凹部が形成され、前記同一半径位置毎の前記第１の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凹部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凹部が形成されている回転型の磁気記録媒体を製造可能に、前記凹凸パターンの前記凹部に対応して形成されたスタンパー側凸部と当該凹凸パターンの前記凸部に対応して形成されたスタンパー側凹部とを有するスタンパー側凹凸パターンが形成されている。

また、本発明に係るスタンパーは、磁気記録媒体製造用のスタンパーであって、複数の凸部と凹部とを有する凹凸パターンが円板状の基材の少なくとも一面に直接または所定の層を介して形成され、当該凹凸パターンによって当該一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状の前記凸部が設けられてデータトラックパターンが形成され、かつ、前記サーボパターン領域および前記データ記録領域が回転方向において交互に並ぶように規定されると共に、前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凸部における突端面の前記回転方向に沿った各長さがアドレスデータのデータ内容に対応して規定されると共に当該各長さが前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径位置内において互いに等しい第２の長さとなるように前記凹部が形成され、前記同一半径位置毎の前記第２の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凹部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凹部が形成されている回転型の磁気記録媒体を製造可能に、前記凹凸パターンの前記凹部に対応して形成されたスタンパー側凸部と当該凹凸パターンの前記凸部に対応して形成されたスタンパー側凹部とを有するスタンパー側凹凸パターンが形成されている。

本発明に係る磁気記録媒体によれば、凹凸パターンを構成する各凸部における突端面の回転方向に沿った各長さのうちの各同一半径位置毎の最大の長さがその同一半径位置内の各凸部における突端面の回転方向に沿った最小の長さの２倍の長さである第１の長さとなるようにアドレスパターン領域に凹部を形成したことにより、凸部における突端面の半径方向に沿った長さが長くなる傾向があるアドレスパターン領域内にその突端面の回転方向に沿った長さが過剰に長い凸部（全方向に長い凸部）が存在しないため、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、サーボパターン領域内の凹凸パターンを覆うようにして形成した非磁性材料の層をエッチング処理する際に、アドレスパターン領域内の各凸部の上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、アドレスパターン領域内の平坦性が良好で、しかもアドレスデータの確実な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。また、アドレスパターン領域内の各凸部における回転方向に沿った最大の長さと最小の長さとの差が小さいため、最大の長さの凸部における突端面が非磁性材料から露出するまで十分にエッチング処理した場合であっても最小の長さの凸部自体が過度にエッチングされる事態を回避することができる。これにより、アドレスデータの正確な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。

また、本発明に係る磁気記録媒体によれば、各第１の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域をサーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、凹凸パターンを構成する凹部の少なくとも一部が円形領域内に含まれるようにサーボパターン領域に凹部を形成したことにより、アドレスパターン領域のみならず、サーボパターン領域の全域において突端面が全方向に過剰に長い（突端面が過剰に広い）凸部が存在しないため、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、サーボパターン領域内の凹凸パターンを覆うようにして形成した非磁性材料の層をエッチング処理する際に、非サーボ信号領域等を含むサーボパターン領域の全域において各凸部の上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボパターン領域内の平坦性が良好で、しかもトラッキングサーボ制御用のデータの確実な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。

さらに、本発明に係る磁気記録媒体によれば、基材の半径方向に沿った長さが各第１の長さのうちの最大の長さ以下となるように各データ記録トラックを形成したことにより、凸部における突端面の回転方向に沿った長さが長くなるデータ記録領域内にその突端面の半径方向に沿った長さが過剰に長い凸部（全方向に長い凸部）が存在しないため、データ記録領域内の凹凸パターンを覆うようにして形成した非磁性材料の層をエッチング処理する際に、各凸部（データ記録トラック）上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。したがって、サーボパターン領域およびデータ記録領域の双方（磁気記録媒体の全域）において平坦性が良好で、しかも安定した記録再生が可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。

また、本発明に係る磁気記録媒体によれば、凹凸パターンを構成する各凸部における突端面の回転方向に沿った各長さが各同一半径位置内において互いに等しい第２の長さとなるようにアドレスパターン領域に凹部を形成したことにより、凸部における突端面の半径方向に沿った長さが長くなる傾向があるアドレスパターン領域内にその突端面の回転方向に沿った長さが過剰に長い凸部（全方向に長い凸部）が存在しないため、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、サーボパターン領域内の凹凸パターンを覆うようにして形成した非磁性材料の層をエッチング処理する際に、アドレスパターン領域内の各凸部の上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、アドレスパターン領域内の平坦性が良好で、しかもアドレスデータの確実な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。また、アドレスパターン領域内の各凸部における回転方向に沿った最大の長さが各同一半径毎に互いに等しい第２の長さの１種類のみとなるため、アドレスパターン領域内のいずれかの凸部における突端面が非磁性材料から露出するまで十分にエッチング処理した場合であっても他の凸部自体が過度にエッチングされる事態を回避することができる。これにより、アドレスデータの正確な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。

また、本発明に係る磁気記録媒体によれば、各第２の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域をサーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、凹凸パターンを構成する凹部の少なくとも一部が円形領域内に含まれるようにサーボパターン領域に凹部を形成したことにより、アドレスパターン領域のみならず、サーボパターン領域の全域において突端面が全方向に過剰に長い（突端面が過剰に広い）凸部が存在しないため、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、サーボパターン領域内の凹凸パターンを覆うようにして形成した非磁性材料の層をエッチング処理する際に、非サーボ信号領域等を含むサーボパターン領域の全域において各凸部の上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボパターン領域内の平坦性が良好で、しかもトラッキングサーボ制御用のデータの確実な読み取りが可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。

さらに、本発明に係る磁気記録媒体によれば、基材の半径方向に沿った長さが各第２の長さのうちの最大の長さ以下となるように各データ記録トラックを形成したことにより、凸部における突端面の回転方向に沿った長さが長くなるデータ記録領域内にその突端面の半径方向に沿った長さが過剰に長い凸部（全方向に長い凸部）が存在しないため、データ記録領域内の凹凸パターンを覆うようにして形成した非磁性材料の層をエッチング処理する際に、各凸部（データ記録トラック）上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。したがって、サーボパターン領域およびデータ記録領域の双方（磁気記録媒体の全域）において平坦性が良好で、しかも安定した記録再生が可能な磁気記録媒体、およびその磁気記録媒体を備えた記録再生装置を提供することができる。

また、本発明に係る記録再生装置によれば、上記のいずれかの磁気記録媒体と、磁気記録媒体におけるサーボパターン領域から読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部とを備えたことにより、例えば非サーボ信号領域に形成された凹凸パターン（ダミーパターン）の存在に影響されることなく、データ記録領域内の各凸部（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッドを介して記録データの記録再生を行うことができる。

また、本発明に係るスタンパーによれば、磁気記録媒体製造用のスタンパーであって、上記の磁気記録媒体における凹凸パターンの凹部に対応して形成されたスタンパー側凸部と、磁気記録媒体における凹凸パターンの凸部に対応して形成されたスタンパー側凹部とを有するスタンパー側凹凸パターンを形成したことにより、磁気記録媒体製造用の中間体に対するインプリント処理時に、突端面が広い凸部がアドレスパターン領域内等に存在しない凹凸パターンを磁性材料の層の上に形成することができる。したがって、この凹凸パターン、または、この凹凸パターンと凹凸位置関係が一致する凹凸パターン（マスク）を用いて中間体における磁性材料の層に対するエッチング処理を実行することにより、アドレスパターン領域等に広い突端面を有する凸部が形成される事態を回避することができる。したがって、この凹凸パターンを覆うようにして形成した非磁性材料の層をエッチング処理する際に、アドレスパターン領域内等の凸部上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、平坦性が良好で、しかもアドレスデータ等の確実な読み取りが可能な磁気記録媒体を製造することができる。また、磁気記録媒体における各凸部の突端面に対応して、過剰に広いスタンパー側凹部がスタンパーに存在しないため、中間体における樹脂層（樹脂マスク形成用の層）にスタンパー側凹凸パターンを押し付けた際に、スタンパー側凹部内への樹脂材料（樹脂層）の移動量の不足に起因する凸部の高さ不足（樹脂マスクの厚み不足）が生じる事態を回避することができる。したがって、例えば、樹脂層に形成した凹凸パターンを樹脂マスクとして他のマスク層をエッチングする際に、マスク層に対するエッチングの完了に先立って樹脂層の凸部が消失する事態を回避することができる結果、十分な深さの凹部を有する凹凸パターンを磁性材料の層の上に形成することができる。これにより、この凹凸パターンをマスクとして磁性材料の層に対するエッチング処理を実行する際に、十分な深さの凹部を有する凹凸パターンを磁性材料の層に形成することができる。

以下、添付図面を参照して、本発明に係る磁気記録媒体、記録再生装置およびスタンパーの最良の形態について説明する。

図１に示すハードディスクドライブ１は、本発明に係る記録再生装置の一例であって、モータ２、磁気ヘッド３、検出部４、ドライバ５、制御部６、記憶部７および磁気ディスク１０Ａを備えて各種データの記録再生が可能に構成されている。モータ２は、制御部６の制御に従って磁気ディスク１０Ａを一例として４２００ｒｐｍの回転数で定速回転させる。磁気ヘッド３は、スイングアーム３ａを介してアクチュエータ３ｂに取り付けられて磁気ディスク１０Ａに対する記録データの記録再生時においてアクチュエータ３ｂによって磁気ディスク１０Ａ上を移動させられる。また、磁気ヘッド３は、磁気ディスク１０Ａのサーボパターン領域Ａｓａ（図２参照）からのサーボデータの読み出しと、データ記録領域Ａｔ（図２参照）に対する記録データの磁気的な書き込みと、データ記録領域Ａｔに磁気的に書き込まれている記録データの読み出しとを実行する。なお、磁気ヘッド３は、実際には磁気ディスク１０Ａに対して磁気ヘッド３を浮上させるためのスライダの底面（エアベアリング面）に形成されているが、このスライダについての説明および図示を省略する。アクチュエータ３ｂは、制御部６の制御下でドライバ５から供給される駆動電流によってスイングアーム３ａをスイングさせることにより、磁気ヘッド３を磁気ディスク１０Ａ上の任意の記録再生位置に移動させる。

検出部４は、磁気ヘッド３から出力された出力信号（アナログ信号）からサーボデータを取得（検出）して制御部６に出力する。ドライバ５は、制御部６から出力された制御信号に従ってアクチュエータ３ｂを制御して磁気ヘッド３を所望のデータ記録トラックにオントラックさせる。制御部６は、ハードディスクドライブ１を総括的に制御する。また、制御部６は、本発明に係る制御部の一例であって、検出部４から出力されたサーボデータ（「サーボパターン領域から読み取られた所定の信号」の一例）に基づいてドライバ５を制御する（トラッキングサーボ制御処理の実行）。記憶部７は、制御部６の動作プログラムなどを記憶する。

一方、磁気ディスク１０Ａは、本発明に係る磁気記録媒体の一例であって、前述したモータ２や磁気ヘッド３などと共にハードディスクドライブ１の筐体内に配設されている。この磁気ディスク１０Ａは、垂直記録方式による記録データの記録が可能なディスクリートトラック型の磁気ディスク（パターンド媒体）であって、図４に示すように、軟磁性層１２、中間層１３および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されている。この場合、磁性層１４は、突端部（同図における上端部）から基端部（同図における下端部）までの全体が磁性材料で形成された凸部４０ａ，４０ａ・・と、凸部４０ａ，４０ａ・・間の凹部４０ｂ，４０ｂ・・とが形成されて凹凸パターン４０を構成する。また、凹部４０ｂ，４０ｂ・・には、ＳｉＯ_２等の非磁性材料１５が埋め込まれて磁気ディスク１０Ａの表面が平坦化されている。さらに、凹部４０ｂ，４０ｂ・・に埋め込まれた非磁性材料１５、および磁性層１４（凸部４０ａ）の表面には、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等によって厚みが２ｎｍ程度の保護層１６（ＤＬＣ膜）が形成されている。また、保護層１６の表面には、磁気ヘッド３および磁気ディスク１０Ａの双方の傷付きを回避するための潤滑剤（一例として、フォンブリン系の潤滑剤）が塗布されている。

ガラス基材１１は、本発明における基材に相当し、ガラス板を表面研磨して厚みが０．６ｍｍ程度の円板状に形成されている。なお、本発明における基材は、ガラス基材に限定されず、アルミニウムやセラミックなどの各種非磁性材料で円板状に形成した基材を使用することができる。軟磁性層１２は、ＣｏＺｒＮｂ合金などの軟磁性材料をスパッタリングすることによって厚みが１００ｎｍ〜２００ｎｍ程度の薄膜状に形成されている。中間層１３は、磁性層１４を形成するための下地層として機能する層であって、ＣｒやＣｏＣｒ非磁性合金などの中間層形成用材料をスパッタリングすることによって厚みが４０ｎｍ程度の薄膜状に形成されている。なお、この磁気ディスク１０Ａにおいては、軟磁性層１２および中間層１３が本発明における「所定の層」に相当する。磁性層１４は、凹凸パターン４０（図３に示すデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓａ）を構成する層であって、後述するように、例えばＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングした層に対してエッチング処理することによって凹部４０ｂ，４０ｂ・・が形成されている。

この場合、図２に示すように、この磁気ディスク１０Ａでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・の間にサーボパターン領域Ａｓａ，Ａｓａ・・が設けられてデータ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓａが磁気ディスク１０Ａの回転方向（矢印Ｒの向き）において交互に並ぶように規定されている。なお、本明細書では、回転方向において並ぶ２つのデータ記録領域（この例では、データ記録領域Ａｔ）によって挟まれた領域（１つのデータ記録領域における回転方向側の端部から、他の１つのデータ記録領域における回転方向側の端部までの間の領域）をサーボパターン領域（この例では、サーボパターン領域Ａｓａ）とする。また、データ記録領域における回転方向側の端部は、そのデータ記録領域に形成された複数のデータ記録トラック（後述する凸部４０ａ，４０ａ・・）における回転方向側の各端部を連結した仮想線分（磁気ディスクの半径方向に沿った直線状または円弧状の線分）と一致しているものとする。

また、この磁気ディスク１０Ａを搭載したハードディスクドライブ１では、前述したようにモータ２が制御部６の制御に従って磁気ディスク１０Ａを角速度一定で回転させるように構成されている。したがって、この磁気ディスク１０Ａでは、単位時間当たりに磁気ヘッド３の下方を通過させられる磁気ディスク１０Ａ上の長さに比例して、磁気ディスク１０Ａの回転方向に沿ったデータ記録領域Ａｔの長さ、および回転方向に沿ったサーボパターン領域Ａｓａの長さがデータトラックパターン４０ｔの中心Ｏから離間するほど長くなるように（データ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓａが内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏほど幅広となるように）規定されている。この結果、データ記録領域Ａｔ内に形成されたデータ記録トラック（凸部４０ａ）における突端面の回転方向に沿った長さや、サーボパターン領域Ａｓａ内に形成されたサーボパターン４０ｓａ用の各凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った基準の長さ、およびサーボパターン４０ｓａ用の各凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った基準の開口長（隣り合う凸部４０ａ，４０ａの両突端面において対向する端部の間の長さ）（例えば、単位信号長に対応する長さ）は、磁気ディスク１０Ａの内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏほど長くなっている。なお、以下の説明において、凹部の開口長を「凹部の長さ」ともいう。

この場合、サーボパターン領域Ａｓａ内の各凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った基準の長さについては、磁気ディスク１０Ａの半径方向で隣接している数十トラックの範囲内でほぼ等しい長さとなっている。このため、本明細書では、この数十トラックの範囲内において回転方向に沿った基準の長さが等しいものとして説明する。具体的には、例えば内周側領域Ａｉに含まれる数十トラックの範囲内においては回転方向に沿った基準の長さが互いに等しく、外周側領域Ａｏ内に含まれる数十トラックの範囲内においては回転方向に沿った基準の長さが互いに等しいものとする。また、各サーボパターン領域Ａｓａに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った長さについての説明に際して特に限定しない限りにおいては、データトラックパターン４０ｔの中心Ｏからの距離が等しい同一半径位置（同一半径の領域内）における対応する長さを基準として説明するものとする。

また、図３に示すように、データ記録領域Ａｔには、データトラックパターン４０ｔが形成されている。なお、同図および後に参照する図５〜９，２４〜２６において斜線で塗り潰した領域は、凹凸パターン４０における凸部４０ａの形成領域を表している。この場合、図５に示すように、データトラックパターン４０ｔは、中心Ｏ（図２参照）を中心とする同心円状（または、螺旋状）の多数の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）と、各凸部４０ａ，４０ａ・・の間の凹部４０ｂ，４０ｂ・・（トラック間凹部：従来の磁気ディスクにおけるガードバンド部）とで構成されている。なお、磁気ディスク１０Ａの回転中心とデータトラックパターン４０ｔの中心Ｏとが一致しているのが好ましいが、磁気ディスク１０Ａの回転中心とデータトラックパターン４０ｔの中心Ｏとの間には、製造誤差に起因する３０〜５０μｍ程度の極く小さなずれが生じることがある。しかし、この程度のずれ量であれば磁気ヘッド３に対するトラッキングサーボ制御が十分に可能であるため、回転中心と中心Ｏとは、実質的には同様であるといえる。

また、図５に示すように、この磁気ディスク１０Ａのデータ記録領域Ａｔでは、一例として、凸部４０ａ（データ記録トラック）における突端面の半径方向に沿った長さＬ３と、凹部４０ｂ（ガードバンド部）の半径方向に沿った長さＬ４とが互いに等しい長さ（長さ比が１：１）となっている。また、この磁気ディスク１０Ａでは、データ記録領域Ａｔに形成された凸部４０ａの半径方向に沿った長さＬ３、および凹部４０ｂの半径方向に沿った長さＬ４が磁気ディスク１０Ａの内周側領域Ａｉから外周側領域Ａｏまで等しい長さに規定されている。この場合、凸部４０ａの半径方向に沿った長さＬ３は、サーボパターン領域Ａｓａ（アドレスパターン領域Ａａａ）に形成された凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さのうちの最大の長さ（後述する長さＬ２ａ：図７参照）以下となるように規定されている。さらに、データトラックパターン４０ｔの凹部４０ｂ，４０ｂ・・には、非磁性材料１５が埋め込まれてデータ記録領域Ａｔが平坦化されている。

一方、図３に示すように、サーボパターン領域Ａｓａには、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたプリアンブルパターンと、アドレスパターン領域Ａａａに形成されたアドレスパターンと、バーストパターン領域Ａｂａに形成されたバーストパターンと、非サーボ信号領域Ａｘに形成されたダミーパターンとを有するサーボパターン４０ｓａが形成されている。この場合、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａａおよびバーストパターン領域Ａｂａに形成されているサーボパターン４０ｓａが本発明における「所定の信号（トラッキングサーボ制御用の制御信号）」に対応するパターンに相当する。また、サーボパターン４０ｓａは、凸部４０ａ，４０ａ・・および凹部４０ｂ，４０ｂ・・の形成位置やそれぞれの大きさ（回転方向に沿った長さ等）が本発明における「所定の信号（トラッキングサーボ制御用の制御信号）」に対応して規定されている。

具体的には、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたプリアンブルパターンは、アドレスパターン領域Ａａａ等から各種制御信号を読み取るための基準クロックを磁気ディスク１０Ａの回転状態（回転速度）に応じて補正するためのサーボパターンであって、図６に示すように、磁気ディスク１０Ａの半径方向（同図における上下方向）に長い帯状の凸部４０ａ，４０ａ・・が磁気ディスク１０Ａの回転方向（矢印Ｒの向き）に沿って凹部４０ｂ，４０ｂ・・を挟んで形成されている。この場合、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った長さＬ５、および凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った長さＬ６は、中心Ｏからの距離が等しい同一半径位置において互いに等しい長さで、かつ内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏ側の方が長くなるように規定されている。また、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凸部４０ａにおける突端面の回転方向に沿った長さＬ５は、一例として、同一半径位置におけるアドレスパターン領域Ａａａに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・の回転方向に沿った各長さのうちの最小の長さ（後述する長さＬ１：図７参照）と等しくなるように規定されている。なお、プリアンブルパターンの凸部４０ａおよび凹部４０ｂの回転方向に沿った長さＬ５，Ｌ６は上記の例に限定されるものではなく、また、凸部４０ａの長さＬ５と凹部４０ｂの長さＬ６とを互いに相違する長さに規定することもできる。

また、アドレスパターン領域Ａａａに形成されたアドレスパターンは、磁気ヘッド３がオントラックしているトラックのトラック番号等を示すアドレスデータに対応して形成されたサーボパターンであって、図７に示すように、凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さと、凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各長さとが上記のアドレスデータに対応して規定されている。この場合、この磁気ディスク１０Ａでは、アドレスデータがマンチェスター符号やバイフェーズＭ符号等に準じて符号化されてアドレスパターン領域Ａａａに記録されている。具体的には、例えば、マンチェスター符号におけるハイレベルに対応して凸部４０ａが形成されると共に、ローレベルに対応して凹部４０ｂが形成されることにより、アドレスデータのデータ内容に対応する凹凸パターン４０がアドレスパターン領域Ａａａ内に形成されている。

この磁気ディスク１０Ａでは、アドレスパターン領域Ａａａに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さのうちの同一半径位置における最小の長さＬ１は、一例として、同一半径位置のプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凸部４０ａにおける突端面の回転方向に沿った長さＬ５と等しくなるように規定されている。また、アドレスパターン領域Ａａａに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さのうちの同一半径位置における最大の長さＬ２（本発明における「第１の長さ」の一例）は、一例として、同一半径位置における上記の長さＬ１の２倍の長さとなるように規定されている。この場合、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、回転方向に沿った基準の長さが内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏほど長くなっている。したがって、この磁気ディスク１０Ａでは、外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａａ内の凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さのうちの最大の長さＬ２（以下、各長さＬ２のうちの最大の長さを他の長さＬ２と区別するときには、「長さＬ２ａ」ともいう）が、本発明における「各第１の長さのうちの最大の長さ」に相当し、この長さＬ２ａがサーボパターン領域Ａｓａ内の凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さのうちの最大の長さとなっている。なお、この磁気ディスク１０Ａでは、アドレスデータがマンチェスター符号等に準じて符号化されてアドレスパターンが形成されているため、アドレスパターン領域Ａａａ内の各同一半径位置において、アドレスパターン（サーボパターン４０ｓａ）を構成する各凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った長さ（ハードディスクドライブ１においてハイレベルとして認識される信号長）が上記の長さＬ１，Ｌ２の２種類のみとなっている。

また、図３に示すように、バーストパターン領域Ａｂａは、第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４の各バースト領域と、非サーボ信号領域Ａｘｂ，Ａｘｂ・・とを備えている。この場合、第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４に形成されたバーストパターンは、磁気ヘッド３を所望のトラックにオントラックさせるための位置検出用のサーボパターンであって、図８，９に示すように、磁気ディスク１０Ａの回転方向に沿って複数の凸部４０ａ，４０ａ・・が凹部４０ｂを挟んで形成されることにより、凸部４０ａおよび凹部４０ｂが回転方向に沿って交互に並ぶ領域と、凹部４０ｂが回転方向において連続する領域とが形成されている。

また、この磁気ディスク１０Ａでは、一例として、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４において回転方向に沿って並ぶ凸部４０ａ，凸部４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った長さＬ５が、同一半径位置におけるアドレスパターン領域Ａａａに形成された凸部４０ａにおける突端面の回転方向に沿った最小の長さＬ１、およびプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凸部４０ａにおける同一半径位置の突端面の回転方向に沿った長さＬ５と等しくなるように規定されている。さらに、バーストパターン領域Ａｂａに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・の間の凹部４０ｂの回転方向に沿った長さＬ６は、一例として、同一半径位置におけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹部４０ｂの回転方向に沿った長さＬ６と等しくなるように規定されている。なお、第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４に形成する凸部４０ａ，４０ａ・・の回転方向に沿った長さＬ５や、凹部４０ｂの凸部４０ａ，４０ａ・・の間の回転方向に沿った長さＬ６については上記の例に限定されるものではなく、また、凸部４０ａの長さＬ５と凹部４０ｂの長さＬ６とを互いに相違する長さに規定することもできる。

さらに、図３に示すように、データ記録領域Ａｔとプリアンブルパターン領域Ａｐとの間、プリアンブルパターン領域Ａｐとアドレスパターン領域Ａａａとの間、アドレスパターン領域Ａａａとバーストパターン領域Ａｂａとの間、およびバーストパターン領域Ａｂａとデータ記録領域Ａｔとの間には、非サーボ信号領域Ａｘがそれぞれ規定されている。また、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１と第２バースト領域Ａｂ２との間、第２バースト領域Ａｂ２と第３バースト領域Ａｂ３との間、および第３バースト領域Ａｂ３と第４バースト領域Ａｂ４との間には、前述したように、非サーボ信号領域Ａｘｂがそれぞれ形成されている。これら非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂは、製造時に磁気ディスク１０Ａの表面平坦性が悪化するのを回避するためのパターンが形成された領域であって、一例として、上記のデータ記録領域Ａｔ、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）に形成された各種パターンと同種（同じ形状）のパターンがダミーパターンとして形成されている。

具体的には、図３に示すように、データ記録領域Ａｔとプリアンブルパターン領域Ａｐとの間の非サーボ信号領域Ａｘ（図中最も左側の非サーボ信号領域Ａｘ）には、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が形成されている。また、バーストパターン領域Ａｂａとデータ記録領域Ａｔとの間の非サーボ信号領域Ａｘ（図中最も右側の非サーボ信号領域Ａｘ）には、バーストパターン領域Ａｂａにおける第４バースト領域Ａｂ４に形成されたサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が形成されている。さらに、プリアンブルパターン領域Ａｐとアドレスパターン領域Ａａａとの間の非サーボ信号領域Ａｘには、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が形成されている。また、アドレスパターン領域Ａａａとバーストパターン領域Ａｂａとの間の非サーボ信号領域Ａｘには、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１に形成されたサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が形成されている。

また、第１バースト領域Ａｂ１と第２バースト領域Ａｂ２との間の非サーボ信号領域Ａｘｂ（図中左側の非サーボ信号領域Ａｘｂ）には、第１バースト領域Ａｂ１に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第１バースト領域Ａｂ１側に形成されると共に、第２バースト領域Ａｂ２に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第２バースト領域Ａｂ２側に形成されている。さらに、第２バースト領域Ａｂ２と第３バースト領域Ａｂ３との間の非サーボ信号領域Ａｘｂ（同図における中央の非サーボ信号領域Ａｘｂ）には、第２バースト領域Ａｂ２に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第２バースト領域Ａｂ２側に形成されると共に、第３バースト領域Ａｂ３に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第３バースト領域Ａｂ３側に形成されている。また、第３バースト領域Ａｂ３と第４バースト領域Ａｂ４との間の非サーボ信号領域Ａｘｂ（図中右側の非サーボ信号領域Ａｘｂ）には、第３バースト領域Ａｂ３に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第３バースト領域Ａｂ３側に形成されると共に、第４バースト領域Ａｂ４に形成されているサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が回転方向における第４バースト領域Ａｂ４側に形成されている。

したがって、この磁気ディスク１０Ａでは、サーボパターン領域Ａｓａ内に恰も非サーボ信号領域Ａｘが存在することなく、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａａおよびバーストパターン領域Ａｂａが互いに接して連続する状態に視認されると共に、バーストパターン領域Ａｂａ内に恰も非サーボ信号領域Ａｘｂが存在することなく、第１バースト領域Ａｂ１から第４バースト領域Ａｂ４までの各バースト領域が互いに接して連続する状態に視認される。しかし、この磁気ディスク１０Ａに対する記録データの記録再生時には、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂからの磁気ヘッド３による磁気的信号の読み取りなどは実行されるものの、この非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂに形成された凹凸パターン４０に対応するデータは、制御部６によってトラッキングサーボ用のサーボデータとは相違するデータと判別される。したがって、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂ内に形成された凸部４０ａや凹部４０ｂの各長さについては、他のパターンの長さに影響されることなく、磁気ディスク１０Ａの表面平坦性を良好にし得る範囲内で任意に規定することができる。また、凸部４０ａや凹部４０ｂの形状についても任意に規定することができる。

この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、データ記録領域Ａｔに形成した凸部４０ａの半径方向に沿った長さＬ３が、サーボパターン領域Ａｓａに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さのうちの最大の長さ（この例では、外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａａ内の凸部４０ａにおける突端面の回転方向に沿った各長さのうちの最大の長さＬ２ａ）以下となるように規定されている。したがって、図５に示すように、その直径がアドレスパターン領域Ａａａ内の最大の長さＬ２ａと等しい円形領域Ｑａをデータ記録領域Ａｔ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑａ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれることとなる。また、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成した凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５が、サーボパターン領域Ａｓａに形成された同一半径位置の凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さのうちの最小の長さＬ１と等しくなるように規定されている。この場合、前述したように、長さＬ１が長さＬ２の１／２の長さであるため、図６に示すように、その直径がアドレスパターン領域Ａａａ内の最大の長さＬ２ａと等しい円形領域Ｑａをプリアンブルパターン領域Ａｐ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑａ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれることとなる。

さらに、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、アドレスデータがマンチェスター符号等に準じて符号化されてアドレスパターンがアドレスパターン領域Ａａａに形成されているため、アドレスデータにおいて「１」が多数連続する場合であっても凸部４０ａが回転方向に沿って連続して形成されることなく、長さＬ１（最小の長さ）の凸部４０ａ、長さＬ２（最大の長さ）の凸部４０ａ、および凹部４０ｂによって凹凸パターン４０（アドレスパターン）が構成される。この場合、長さＬ１が長さＬ２の１／２の長さであるため、アドレスパターン領域Ａａａ内の最大の長さＬ２ａと等しい円形領域Ｑａをアドレスパターン領域Ａａａ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑａ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれることとなる。なお、アドレスパターン領域Ａａａ内に配置する円形領域Ｑａがアドレスパターン領域Ａａａ内において最大の長さＬ２ａである凸部４０ａの突端面における内接円と一致する状態では、その円形領域Ｑａ内に凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれることとなる。この場合、本明細書では、前述したように、凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれている状態を「凹部４０ｂの一部が含まれている状態」とする。

また、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４に形成した凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５が、サーボパターン領域Ａｓａに形成された同一半径位置の凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さのうちの最小の長さＬ１と等しくなるように規定されている。この場合、長さＬ１が長さＬ２の１／２の長さであるため、図８，９に示すように、その直径がアドレスパターン領域Ａａａ内の最大の長さＬ２ａと等しい円形領域Ｑａを第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑａ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれることとなる。

さらに、この磁気ディスク１０Ａでは、前述したように、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）に形成したサーボパターン４０ｓａと同種の凹凸パターン４０が非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂに形成されている。したがって、図３に示すように、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）内のいずれの位置に円形領域Ｑａを配置したとしても円形領域Ｑａ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれるこの磁気ディスク１０Ａでは、これらの領域と同種のサーボパターン４０ｓａが形成されている非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂのいずれかの部位に円形領域Ｑａを配置したときに、その円形領域Ｑａ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれることとなる。

このように、この磁気ディスク１０Ａでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓａ，Ａｓａ・・の全域において、任意に配置した円形領域Ｑａ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれるように凹部４０ｂ，４０ｂ・・が形成されてデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓａが構成されている。言い換えれば、この磁気ディスク１０Ａでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓａ，Ａｓａ・・の全域において、凸部４０ａ，４０ａの突端面におけるいずれかの方向に対する長さ（この例では、凸部４０ａにおける回転方向に沿った長さ、および半径方向に沿った長さのいずれか）が上記の円形領域Ｑａの直径（この例では、長さＬ２ａ）よりも短く（または、等しく）なっている。つまり、この磁気ディスク１０Ａでは、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、その突端面が過剰に広い凸部４０ａがデータ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓａ，Ａｓａ・・のいずれの領域にも存在しないようにデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓａが形成されている。

次に、磁気ディスク１０Ａの製造方法について説明する。

上記の磁気ディスク１０Ａの製造に際しては、図１０に示す中間体２０と、図１１に示すスタンパー３０とを使用する。この場合、図１０に示すように、中間体２０は、軟磁性層１２、中間層１３、および磁性層１４がガラス基材１１の上にこの順で形成されると共に、磁性層１４の上に、マスク層１７と、厚み８０ｎｍ程度の樹脂層（レジスト層）１８とが形成されて構成されている。一方、スタンパー３０は、本発明に係る磁気記録媒体製造用のスタンパーの一例であって、図１１に示すように、磁気ディスク１０Ａにおける凹凸パターン４０（データトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓａ）を形成するための凹凸パターン４１を形成可能な凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０Ａの製造が可能に構成されている。この場合、スタンパー３０の凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０Ａの凹凸パターン４０における凹部４０ｂ，４０ｂ・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン４０における凸部４０ａ，４０ａ・・に対応するように形成されている。

このスタンパー３０の製造に際しては、図１２に示すように、まず、ガラス基材３１の上に、一例としてポジ型レジストをスピンコートした後にベーク処理することにより、厚みが１５０ｎｍ程度のレジスト層３２をガラス基材３１の上に形成する。次いで、図１３に示すように、スタンパー３０の凹部３９ｂ，３９ｂ・・に対応する部位（すなわち、磁気ディスク１０Ａの凸部４０ａ，４０ａ・・に対応する部位）に電子ビーム３２ａを照射してレジスト層３２に潜像３２ｂ（トラックパターンおよびサーボパターン）を形成する。続いて、レジスト層３２に対する現像処理を実行することにより、図１４に示すように、レジスト層３２からなる凹凸パターン３３（凸部３３ａおよび凹部３３ｂ）をガラス基材３１の上に形成する。次いで、図１５に示すように、凹凸パターン３３の凸部３３ａ，３３ａ・・および凹部３３ｂ，３３ｂ・・を覆うようにして厚みが３０ｎｍ程度のニッケル層３４をスパッタリング法によって形成する。続いて、このニッケル層３４を電極として使用してめっき処理を実行することにより、図１６に示すように、ニッケル層３４の上にニッケル層３５を形成する。この際には、レジスト層３２によって形成された凹凸パターン３３がニッケル層３４，３５の積層体に転写されて凹凸パターン３３における凸部３３ａ，３３ａ・・の部位に凹部３６ｂ，３６ｂ・・が形成されると共に、凹部３３ｂ，３３ｂ・・の部位に凸部３６ａ，３６ａ・・が形成されてニッケル層３４，３５の積層体に凹凸パターン３６が形成される。

続いて、ガラス基材３１、レジスト層３２およびニッケル層３４，３５の積層体をレジスト剥離液に浸すことにより、ニッケル層３４，３５の積層体とガラス基材３１との間のレジスト層３２を除去する。これにより、図１７に示すように、ニッケル層３４，３５の積層体がガラス基材３１から剥離されて、スタンパー３７が完成する。次いで、スタンパー３７をマスタースタンパーとして使用してスタンパー３０（マザースタンパー）を製作する。具体的には、まず、スタンパー３７に対する表面処理を実行することにより、スタンパー３７における凹凸パターン３６の形成面に酸化膜を形成する。次いで、図１８に示すように、酸化膜の形成が完了したスタンパー３７にメッキ処理によってニッケル層３８を形成する。この際には、スタンパー３７の凹凸パターン３６がニッケル層３８に転写されて凸部３６ａ，３６ａ・・の部位に凹部３９ｂ，３９ｂ・・が形成されると共に、凹部３６ｂ，３６ｂ・・の部位に凸部３９ａ，３９ａ・・が形成されてニッケル層３８に凹凸パターン３９が形成される。この後、ニッケル層３８からスタンパー３７を剥離した後に、ニッケル層３８の裏面（凹凸パターン３９の形成面に対する裏面）を研磨処理して平坦化することにより、図１１に示すように、スタンパー３０が完成する。

一方、中間体２０の製造に際しては、まず、ガラス基材１１の上にＣｏＺｒＮｂ合金をスパッタリングすることによってガラス基材１１の上に軟磁性層１２を形成した後に、軟磁性層１２の上に中間層形成用材料をスパッタリングすることによって中間層１３を形成する。次いで、中間層１３の上にＣｏＣｒＰｔ合金をスパッタリングすることによって厚みが１５ｎｍ程度の磁性層１４を形成する。続いて、磁性層１４の上にマスク層１７を形成し、さらに、マスク層１７の上に一例としてレジストをスピンコートして厚みが８０ｎｍ程度の樹脂層１８を形成する。これにより、図１０に示すように、中間体２０が完成する。

続いて、図１９に示すように、中間体２０の樹脂層１８にスタンパー３０の凹凸パターン３９をインプリント法によって転写する。具体的には、スタンパー３０における凹凸パターン３９の形成面を中間体２０の樹脂層１８に押し付けることにより、凹凸パターン３９の凸部３９ａ，３９ａ・・を中間体２０の樹脂層１８に押し込む。この際には、凸部３９ａ，３９ａ・・が押し込まれた部位のレジスト（樹脂層１８）が凹凸パターン３９における凹部３９ｂ，３９ｂ・・内に向けて移動する。この後、中間体２０からスタンパー３０を剥離し、さらに、底面に残存する樹脂（図示せず）を酸素プラズマ処理によって除去することにより、図２０に示すように、中間体２０におけるマスク層１７の上に樹脂層１８からなる凹凸パターン４１が形成される。この場合、凹凸パターン４１における凸部４１ａ，４１ａ・・の高さ（凹部４１ｂ，４１ｂ・・）の深さは、１３０ｎｍ程度となる。

次いで、上記の凹凸パターン４１（樹脂層１８）をマスクとして用いてエッチング処理を実行することにより、凹凸パターン４１における凹部４１ｂ，４１ｂ・・の底部においてマスク（凸部４１ａ，４１ａ・・）から露出しているマスク層１７をエッチングして、図２１に示すように、凸部４２ａおよび凹部４２ｂを有する凹凸パターン４２を中間体２０のマスク層１７に形成する。続いて、凹凸パターン４２（マスク層１７）をマスクとして用いてエッチング処理を実行することにより、凹凸パターン４２における凹部４２ｂ，４２ｂ・・の底部においてマスク（凸部４２ａ，４２ａ・・）から露出している磁性層１４をエッチングして、図２２に示すように、凸部４０ａおよび凹部４０ｂを有する凹凸パターン４０を中間体２０の磁性層１４に形成する。これにより、データトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓａ（凹凸パターン４０）が中間層１３の上に形成される。次いで、凸部４０ａ，４０ａ・・の上に残存しているマスク層１７に対して選択的にエッチング処理を行うことにより、残存しているマスク層１７を完全に除去して凸部４０ａ，４０ａ・・の突端面を露出させる。

次いで、図２３に示すように、非磁性材料１５としてのＳｉＯ_２をスパッタリングする。この際には、非磁性材料１５によって凹部４０ｂ，４０ｂ・・が完全に埋め尽くされ、かつ、凸部４０ａ，４０ａ・・の上に例えば厚みが６０ｎｍ程度の非磁性材料１５の層が形成されるように、非磁性材料１５を十分にスパッタリングする。続いて、磁性層１４の上（凸部４０ａ，４０ａ・・の上および凹部４０ｂ，４０ｂの上）の非磁性材料１５の層に対してイオンビームエッチング処理を実行する。この際には、中間体２０における外周側（後に磁気ディスク１０Ａの外周側領域Ａｏとなる部位）のアドレスパターン領域Ａａａにおいて、回転方向に沿った長さが長さＬ２ａの凸部４０ａにおける突端面が非磁性材料１５から露出するまでイオンビームエッチング処理を継続する。

この場合、この磁気ディスク１０Ａ（中間体２０）では、前述したように、データ記録領域Ａｔの全域およびサーボパターン領域Ａｓａの全域において、凸部４０ａ，４０ａの突端面におけるいずれかの方向に対する長さが上記の円形領域Ｑａの直径（この例では、最大の長さＬ２ａ）よりも短く（または、等しく）なっている。したがって、その突端面が過剰に広い凸部４０ａ（全方向に長い凸部４０ａ）がデータ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓａ，Ａｓａ・・のいずれの領域にも存在しないため、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、サーボパターン領域Ａｓａ内の凸部４０ａ，４０ａ・・およびデータ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａ，４０ａ・・の上に厚手の残渣が生じることなく、各凸部４０ａ，４０ａ・・の突端面（上面）が非磁性材料１５から露出する。これにより、非磁性材料１５の層に対するイオンビームエッチング処理が完了して中間体２０の表面が平坦化される。続いて、中間体２０の表面を覆うようにしてＣＶＤ法によってダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）の薄膜を成膜することによって保護層１６形成した後に、保護層１６の表面にフォンブリン系の潤滑剤を平均厚さが例えば２ｎｍ程度となるように塗布する。これにより、図４に示すように、磁気ディスク１０Ａが完成する。

この磁気ディスク１０Ａを搭載したハードディスクドライブ１では、前述したように、磁気ディスク１０Ａに対する記録データの記録再生時において、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘ・・および非サーボ信号領域Ａｘｂ，Ａｘｂ・・に形成された凹凸パターン４０に対応するデータが制御部６によってトラッキングサーボ用のサーボデータとは相違するデータと判別される。具体的には、制御部６は、検出部４から出力されるサーボデータを含むデータのうち、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａａおよびバーストパターン領域Ａｂａ（非サーボ信号領域Ａｘｂを除く）に形成された凹凸パターン４０に対応するデータに基づいてドライバ５を制御することにより、アクチュエータ３ｂを駆動させて磁気ヘッド３を所望のトラックにオントラックさせる。

また、このハードディスクドライブ１では、アドレスパターン領域Ａａａに形成された凹凸パターン４０に対応して検出部４から出力されるデータに基づいてアドレスデータを抽出する際に、制御部６は、検出部４からの出力データがマンチェスター符号やバイフェーズＭ符号等で符号化されているものとして出力データを復号化する。この結果、アドレスパターン領域Ａａａから読み取られたアドレスデータやバーストパターン領域Ａｂａから読み取られたバースト信号等に基づいてトラッキングサーボ制御が実行されて、磁気ヘッド３を所望のデータ記録トラック（凸部４０ａ，４０ａ・・）にオントラックさせることが可能となる。これにより、データ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生を行うことが可能となる。

このように、この磁気ディスク１０Ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さのうちの各同一半径位置毎の最大の長さＬ２がその同一半径位置内の各凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った最小の長さＬ１の２倍の長さ（本発明における第１の長さ）となるようにアドレスパターン領域Ａａａに凹部４０ｂを形成したことにより、凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の半径方向に沿った長さが長くなる傾向があるアドレスパターン領域Ａａａ内にその突端面の回転方向に沿った長さが過剰に長い凸部４０ａ（全方向に長い凸部４０ａ）が存在しないため、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、サーボパターン領域Ａｓａ内の凹凸パターン４０を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層をエッチング処理する際に、アドレスパターン領域Ａａａ内の凸部４０ａ，４０ａ・・の上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、アドレスパターン領域Ａａａ内の平坦性が良好で、しかもアドレスデータの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ａ、およびその磁気ディスク１０Ａを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。また、アドレスパターン領域Ａａａ内の凸部４０ａ，４０ａ・・における回転方向に沿った最大の長さＬ２と最小の長さＬ１との差が小さいため、長さＬ２の凸部４０ａにおける突端面が非磁性材料１５から露出するまで十分にエッチング処理した場合であっても長さＬ１の凸部４０ａ自体が過度にエッチングされる事態を回避することができる。これにより、アドレスデータの正確な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ａ、およびその磁気ディスク１０Ａを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。

また、この磁気ディスク１０Ａおよびハードディスクドライブ１によれば、各長さＬ２（第１の長さ）のうちの最大の長さＬ２ａと等しい直径の円形領域Ｑａをサーボパターン領域Ａｓａのいずれかの部位に配置したときに、凹部４０ｂの少なくとも一部が円形領域Ｑａ内に含まれるようにサーボパターン領域Ａｓａに凹部４０ｂを形成したことにより、アドレスパターン領域Ａａａのみならず、サーボパターン領域Ａｓａの全域において全方向に過剰に長い（突端面が過剰に広い）凸部４０ａが存在しないため、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、サーボパターン領域Ａｓａ内の凹凸パターン４０を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層をエッチング処理する際に、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂ・・を含むサーボパターン領域Ａｓａの全域において凸部４０ａ，４０ａ・・の上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボパターン領域Ａｓａ内の平坦性が良好で、しかもトラッキングサーボ制御用のデータの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ａ、およびその磁気ディスク１０Ａを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。

さらに、この磁気ディスク１０Ａおよびハードディスクドライブ１によれば、基材の半径方向に沿った長さＬ３が各長さＬ２（第１の長さ）のうちの最大の長さＬ２ａ以下となるように各データ記録トラック（凸部４０ａ，４０ａ・・）を形成したことにより、凸部４０ａにおける突端面の回転方向に沿った長さが長くなるデータ記録領域Ａｔ内にその突端面の半径方向に沿った長さが過剰に長い凸部４０ａ（全方向に長い凸部４０ａ）が存在しないため、データ記録領域Ａｔ内の凹凸パターン４０を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層をエッチング処理する際に、凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。したがって、サーボパターン領域Ａｓａおよびデータ記録領域Ａｔの双方（磁気ディスク１０Ａの全域）において平坦性が良好で、しかも安定した記録再生が可能な磁気ディスク１０Ａ、およびその磁気ディスク１０Ａを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。

また、このハードディスクドライブ１によれば、磁気ディスク１０Ａと、磁気ディスク１０Ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａから読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部６とを備えたことにより、非サーボ信号領域Ａｘに形成された凹凸パターン４０（ダミーパターン）の存在に影響されることなく、データ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生を行うことができる。

また、この磁気ディスク１０Ａを製造するためのスタンパー３０によれば、磁気ディスク１０Ａにおける凹凸パターン４０の凹部４０ｂ，４０ｂ・・に対応して形成された凸部３９ａ，３９ａ・・と、磁気ディスク１０Ａにおける凹凸パターン４０の凸部４０ａ，４０ａ・・に対応して形成された凹部３９ｂ，３９ｂ・・とを有する凹凸パターン３９を形成したことにより、中間体２０に対するインプリント処理時に、突端面が過剰に広い凸部４１ａがアドレスパターン領域Ａａａ内等に存在しない凹凸パターン４１を形成することができる。したがって、この凹凸パターン４１と凹凸位置関係が一致するマスク（この例では、凹凸パターン４２）を用いて中間体２０に対するエッチング処理を実行することにより、アドレスパターン領域Ａａａ等に広い突端面を有する凸部４０ａが形成される事態を回避することができる。したがって、この凹凸パターン４０を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層をエッチング処理する際に、アドレスパターン領域Ａａａ内等の凸部４０ａ上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、平坦性が良好で、しかもアドレスデータ等の確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ａを製造することができる。また、磁気ディスク１０Ａにおける各凸部４０ａの突端面に対応して、過剰に広い凹部３９ｂがスタンパー３０に存在しないため、中間体２０における樹脂層１８に凹凸パターン３９を押し付けた際に、凹部３９ｂ内への樹脂材料（樹脂層１８）の移動量の不足に起因する凸部４１ａの高さ不足（樹脂マスクの厚み不足）が生じる事態を回避することができる。したがって、凹凸パターン４１をマスクとしてマスク層１７をエッチングする際に、マスク層１７に対するエッチングの完了に先立って凸部４１ａが消失する事態を回避することができる結果、十分な深さの凹部４２ｂを有する凹凸パターン４２を磁性層１４の上に形成することができる。これにより、この凹凸パターン４２をマスクとして磁性層１４に対するエッチング処理を実行する際に、十分な深さの凹部４０ｂを有する凹凸パターン４０を中間層１３上に形成することができる。

次いで、本発明に係る磁気記録媒体の他の一例である磁気ディスク１０Ｂをハードディスクドライブ１に搭載した例について、図面を参照して説明する。なお、前述した磁気ディスク１０Ａ、および磁気ディスク１０Ａを搭載したハードディスクドライブ１と共通の構成要素については、共通の符号を付して重複した説明を省略する。

磁気ディスク１０Ｂは、図２４に示すように、磁気ディスク１０Ａにおけるサーボパターン領域Ａｓａに代えて、データ記録領域Ａｔ，Ａｔの間にサーボパターン領域Ａｓｂが規定されて構成されている。このサーボパターン領域Ａｓｂは、磁気ディスク１０Ａのサーボパターン領域Ａｓａにおけるアドレスパターン領域Ａａａに代えてアドレスパターン領域Ａａｂを備えている。この場合、この磁気ディスク１０Ｂでは、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａｂおよびバーストパターン領域Ａｂａに形成されているサーボパターン４０ｓｂが本発明における「所定の信号（トラッキングサーボ制御用の制御信号）」に対応するパターンに相当する。また、この磁気ディスク１０Ｂでは、データ記録領域Ａｔに形成されたデータトラックパターン４０ｔにおける凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）の半径方向に沿った長さＬ３が、サーボパターン領域Ａｓｂに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さのうちの最大の長さ（後述する長さＬ１ａ：図２５参照）以下となるように規定されている。さらに、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凸部４０ａにおける突端面の回転方向に沿った長さＬ５は、一例として、同一半径位置におけるアドレスパターン領域Ａａｂに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・の回転方向に沿った各長さ（後述する長さＬ１：図２５参照）と等しくなるように規定されている。

また、図２５に示すように、アドレスパターン領域Ａａｂに形成されたサーボパターン４０ｓｂ（アドレスパターン）は、凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さと、凹部４０ｂ，４０ｂ・・の回転方向に沿った各長さとがアドレスデータに対応して規定されている。この場合、この磁気ディスク１０Ｂでは、一例として、アドレスデータがＲＺ（Return-to-Zero）符号等に準じて符号化されてアドレスパターン領域Ａａａに記録されている。具体的には、ＲＺ符号等におけるハイレベルに対応して凸部４０ａが形成されると共に、ローレベルに対応して凹部４０ｂが形成されることにより、アドレスデータのデータ内容に対応する凹凸パターンがアドレスパターン領域Ａａｂ内に形成されている。したがって、この磁気ディスク１０Ｂでは、アドレスパターン領域Ａａｂ内の各同一半径位置において、アドレスパターン（サーボパターン４０ｓａ）を構成する各凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さ（ハードディスクドライブ１においてハイレベルとして認識される信号長）が互いに等しい長さＬ１（本発明における「第２の長さ」の一例）の１種類のみとなっている。この場合、この磁気ディスク１０Ｂでは、前述したように、回転方向に沿った基準の長さが内周側領域Ａｉよりも外周側領域Ａｏほど長くなっている。したがって、この磁気ディスク１０Ｂでは、外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａｂ内の凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の各長さＬ１が、本発明における「各第２の長さのうちの最大の長さ」に相当する。以下、各長さＬ１のうちの最大の長さを他の長さＬ１と区別するときには、「長さＬ１ａ」ともいう。

また、この磁気ディスク１０Ｂでは、図２４に示すように、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４において回転方向に沿って並ぶ凸部４０ａ，凸部４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った長さＬ５が、同一半径位置におけるアドレスパターン領域Ａａｂに形成された凸部４０ａにおける突端面の回転方向に沿った長さＬ１、および同一半径位置におけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凸部４０ａにおける突端面の回転方向に沿った長さＬ５と等しくなるように規定されている。さらに、バーストパターン領域Ａｂａに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・の間の凹部４０ｂの回転方向に沿った長さＬ６は、一例として、同一半径位置におけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成された凹部４０ｂの回転方向に沿った長さＬ６と等しくなるように規定されている。また、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１と第２バースト領域Ａｂ２との間、第２バースト領域Ａｂ２と第３バースト領域Ａｂ３との間、および第３バースト領域Ａｂ３と第４バースト領域Ａｂ４との間には、前述した磁気ディスク１０Ａと同様にして、非サーボ信号領域Ａｘｂがそれぞれ設けられて表面平坦性が悪化するのを回避するためのダミーパターンが形成されている。さらに、図２４に示すように、データ記録領域Ａｔとプリアンブルパターン領域Ａｐとの間、プリアンブルパターン領域Ａｐとアドレスパターン領域Ａａｂとの間、アドレスパターン領域Ａａｂとバーストパターン領域Ａｂａとの間、およびバーストパターン領域Ａｂａとデータ記録領域Ａｔとの間には、前述した磁気ディスク１０Ａと同様にして、非サーボ信号領域Ａｘがそれぞれ規定されている。

この磁気ディスク１０Ｂでは、前述したように、データ記録領域Ａｔに形成した凸部４０ａの半径方向に沿った長さＬ３が、サーボパターン領域Ａｓｂに形成された凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さＬ１のうちの最大の長さ（この例では、外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａｂ内の凸部４０ａの回転方向に沿った各長さＬ１ａ）以下となるように規定されている。したがって、その直径がアドレスパターン領域Ａａｂ内の最大の長さＬ１ａと等しい円形領域Ｑｂ（図２５参照）をデータ記録領域Ａｔ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑｂ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれることとなる。また、この磁気ディスク１０Ｂでは、前述したように、プリアンブルパターン領域Ａｐに形成した凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５が、サーボパターン領域Ａｓｂに形成された同一半径位置の凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さＬ１と等しくなるように規定されている。したがって、その直径がアドレスパターン領域Ａａｂ内の最大の長さＬ１ａと等しい円形領域Ｑｂ（図２５参照）をプリアンブルパターン領域Ａｐ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑｂ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれることとなる。なお、プリアンブルパターン領域Ａｐ内に配置する円形領域Ｑｂが凸部４０ａの突端面における内接円と一致する状態では、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれることとなる。この場合、本明細書では、前述したように、凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれている状態を「凹部４０ｂの一部が含まれている状態」とする。

さらに、この磁気ディスク１０Ｂでは、前述したように、アドレスデータがＲＺ符号等に準じて符号化されてアドレスパターンがアドレスパターン領域Ａａｂに形成されているため、アドレスデータにおいて「１」が多数連続する場合であっても凸部４０ａが回転方向に連続して形成されることなく、長さＬ１の凸部４０ａおよび凹部４０ｂによって凹凸パターン４０（アドレスパターン）が構成される。この結果、アドレスパターン領域Ａａｂに形成した凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った長さが、各同一半径位置内毎に互いに等しい長さＬ１となる。したがって、図２５に示すように、アドレスパターン領域Ａａｂ内の最大の長さＬ１（この例では、外周側領域Ａｏにおける凸部４０ａの長さＬ１ａ）と等しい円形領域Ｑｂをアドレスパターン領域Ａａｂ内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑｂ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれることとなる。なお、アドレスパターン領域Ａａｂ内に配置する円形領域Ｑｂが凸部４０ａの突端面における内接円と一致する状態では、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれることとなる。また、この磁気ディスク１０Ｂでは、前述したように、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４に形成した凸部４０ａの回転方向に沿った長さＬ５が、サーボパターン領域Ａｓｂに形成された同一半径位置の凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さＬ１と等しくなるように規定されている。したがって、その直径がアドレスパターン領域Ａａｂ内の最大の長さＬ１ａと等しい円形領域Ｑｂ（図２５参照）をバーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４内のいずれかの部位に配置したときには、その円形領域Ｑｂ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれることとなる。なお、バーストパターン領域Ａｂａ内に配置する円形領域Ｑｂが凸部４０ａの突端面における内接円と一致する状態では、その円形領域Ｑｂ内に凸部４０ａと凹部４０ｂとの境界部分が含まれることとなる。

さらに、この磁気ディスク１０Ｂでは、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）に形成したサーボパターン４０ｓｂと同種の凹凸パターン４０が非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂに形成されている。したがって、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ（第１バースト領域Ａｂ１〜第４バースト領域Ａｂ４）内のいずれの位置に円形領域Ｑｂを配置したとしても円形領域Ｑｂ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれるこの磁気ディスク１０Ｂでは、これらの領域と同種のサーボパターン４０ｓｂが形成されている非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂのいずれかの部位に円形領域Ｑｂを配置したときに、その円形領域Ｑｂ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれることとなる。

このように、この磁気ディスク１０Ｂでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓｂ，Ａｓｂ・・の全域において、任意に配置した円形領域Ｑｂ内に凹部４０ｂの少なくとも一部が含まれるように凹部４０ｂ，４０ｂ・・が形成されてデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓｂが構成されている。言い換えれば、この磁気ディスク１０Ｂでは、データ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓｂ，Ａｓｂ・・の全域において、凸部４０ａ，４０ａの突端面におけるいずれかの方向に対する長さ（この例では、凸部４０ａにおける回転方向に沿った長さ、および半径方向に沿った長さのいずれか）が上記の円形領域Ｑｂの直径（この例では、長さＬ１ａ）よりも短く（または、等しく）なっている。つまり、この磁気ディスク１０Ｂでは、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、その突端面が過剰に広い凸部４０ａがデータ記録領域Ａｔ，Ａｔ・・およびサーボパターン領域Ａｓｂ，Ａｓｂ・・のいずれの領域にも存在しないようにデータトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓｂが形成されている。

この磁気ディスク１０Ｂの製造に際しては、前述した磁気ディスク１０Ａの製造時と同様にして、図１０に示す中間体２０と図１１に示すスタンパー３０とを使用する。この場合、この磁気ディスク１０Ｂを製造するためのスタンパー３０は、本発明に係る磁気記録媒体製造用のスタンパーの他の一例であって、磁気ディスク１０Ｂにおける凹凸パターン４０（データトラックパターン４０ｔおよびサーボパターン４０ｓｂ）を形成するための凹凸パターン４１を形成可能な凹凸パターン３９が形成されて、インプリント法による磁気ディスク１０Ｂの製造が可能に構成されている。この場合、スタンパー３０の凹凸パターン３９は、凸部３９ａ，３９ａ・・が磁気ディスク１０Ｂの凹凸パターン４０における凹部４０ｂ，４０ｂ・・に対応し、凹部３９ｂ，３９ｂ・・が凹凸パターン４０における凸部４０ａ，４０ａ・・に対応して形成されている。このスタンパー３０を用いた磁気ディスク１０Ｂの製造時には、前述した磁気ディスク１０Ａの製造時と同様にして、アドレスパターン領域Ａａｂ内等に突端面が過剰に広い凸部４０ａ（全方向に長い凸部４０ａ）が存在しないため、アドレスパターン領域Ａａｂ内に残渣が生じる事態が回避される。なお、この磁気ディスク１０Ｂの製造方法については、前述した磁気ディスク１０Ａの製造方法と同様であるため、詳細な説明を省略する。

この磁気ディスク１０Ｂを搭載したハードディスクドライブ１では、前述した磁気ディスク１０Ａを搭載したハードディスクドライブ１と同様にして、磁気ディスク１０Ｂに対する記録データの記録再生時において、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘ・・および非サーボ信号領域Ａｘｂ，Ａｘｂ・・に形成された凹凸パターン４０に対応するデータが制御部６によってトラッキングサーボ用のサーボデータとは相違するデータと判別される。具体的には、制御部６は、検出部４から出力されるサーボデータを含むデータのうち、プリアンブルパターン領域Ａｐ、アドレスパターン領域Ａａｂおよびバーストパターン領域Ａｂａ（非サーボ信号領域Ａｘｂを除く）に形成された凹凸パターン４０に対応するデータに基づいてドライバ５を制御することにより、アクチュエータ３ｂを駆動させて磁気ヘッド３を所望のトラックにオントラックさせる。

また、このハードディスクドライブ１では、アドレスパターン領域Ａａｂに形成された凹凸パターン４０に対応して検出部４から出力されるデータに基づいてアドレスデータを抽出する際に、制御部６は、検出部４からの出力データがＲＺ符号等で符号化されているものとして出力データを復号化する。この結果、アドレスパターン領域Ａａｂから読み取られたアドレスデータやバーストパターン領域Ａｂａから読み取られたバースト信号等に基づいてトラッキングサーボ制御が実行されて、磁気ヘッド３を所望のデータ記録トラック（凸部４０ａ，４０ａ・・）にオントラックさせることが可能となる。これにより、データ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生を行うことが可能となる。

このように、この磁気ディスク１０Ｂおよびハードディスクドライブ１によれば、各凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さＬ１が各同一半径位置内において互いに等しい長さ（第２の長さ）となるようにアドレスパターン領域Ａａｂに凹部４０ｂを形成したことにより、凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の半径方向に沿った長さが長くなる傾向があるアドレスパターン領域Ａａｂ内にその突端面の回転方向に沿った長さが過剰に長い凸部４０ａ（全方向に長い凸部４０ａ）が存在しないため、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、サーボパターン領域Ａｓｂ内の凹凸パターン４０を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層をエッチング処理する際に、アドレスパターン領域Ａａｂ内の凸部４０ａ，４０ａ・・の上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、アドレスパターン領域Ａａｂ内の平坦性が良好で、しかもアドレスデータの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ｂ、およびその磁気ディスク１０Ｂを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。また、アドレスパターン領域Ａａｂ内の凸部４０ａ，４０ａ・・における回転方向に沿った最大の各長さが各同一半径毎に互いに等しい長さＬ１の１種類のみとなるため、アドレスパターン領域Ａａｂ内のいずれかの凸部４０ａにおける突端面が非磁性材料１５から露出するまで十分にエッチング処理した場合であっても他の凸部４０ａ自体が過度にエッチングされる事態を回避することができる。これにより、アドレスデータの正確な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ｂ、およびその磁気ディスク１０Ｂを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。

また、この磁気ディスク１０Ｂおよびハードディスクドライブ１によれば、各長さＬ１，Ｌ１・・（第２の長さ）のうちの最大の長さＬ１ａと等しい直径の円形領域Ｑｂをサーボパターン領域Ａｓｂのいずれかの部位に配置したときに、凹部４０ｂの少なくとも一部が円形領域Ｑｂ内に含まれるようにサーボパターン領域Ａｓｂに凹部４０ｂを形成したことにより、アドレスパターン領域Ａａｂのみならず、サーボパターン領域Ａｓｂの全域において突端面が全方向に過剰に長い（突端面が過剰に広い）凸部４０ａが存在しないため、従来の磁気ディスク１０ｚとは異なり、サーボパターン領域Ａｓｂ内の凹凸パターン４０を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層をエッチング処理する際に、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘｂ・・を含むサーボパターン領域Ａｓｂの全域において凸部４０ａ，４０ａ・・の上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボパターン領域Ａｓｂ内の平坦性が良好で、しかもトラッキングサーボ制御用のデータの確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ｂ、およびその磁気ディスク１０Ｂを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。

さらに、この磁気ディスク１０Ｂおよびハードディスクドライブ１によれば、基材の半径方向に沿った長さＬ３が各長さＬ１（第２の長さ）のうちの最大の長さＬ１ａ以下となるように各データ記録トラック（凸部４０ａ）を形成したことにより、凸部４０ａにおける突端面の回転方向に沿った長さが長くなるデータ記録領域Ａｔ内にその突端面の半径方向に沿った長さが過剰に長い凸部４０ａ（全方向に長い凸部４０ａ）が存在しないため、データ記録領域Ａｔ内の凹凸パターン４０を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層をエッチング処理する際に、凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。したがって、サーボパターン領域Ａｓｂおよびデータ記録領域Ａｔの双方（磁気ディスク１０Ｂの全域）において平坦性が良好で、しかも安定した記録再生が可能な磁気ディスク１０Ｂ、およびその磁気ディスク１０Ｂを備えたハードディスクドライブ１を提供することができる。

また、このハードディスクドライブ１によれば、磁気ディスク１０Ｂと、磁気ディスク１０Ｂにおけるサーボパターン領域Ａｓｂから読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部６とを備えたことにより、非サーボ信号領域Ａｘに形成された凹凸パターン４０（ダミーパターン）の存在に影響されることなく、データ記録領域Ａｔ内の凸部４０ａ，４０ａ・・（データ記録トラック）にオントラックさせた磁気ヘッド３を介して記録データの記録再生を行うことができる。

また、この磁気ディスク１０Ｂを製造するためのスタンパー３０によれば、磁気ディスク１０Ｂにおける凹凸パターン４０の凹部４０ｂ，４０ｂ・・に対応して形成された凸部３９ａ，３９ａ・・と、磁気ディスク１０Ｂにおける凹凸パターン４０の凸部４０ａ，４０ａ・・に対応して形成された凹部３９ｂ，３９ｂ・・とを有する凹凸パターン３９を形成したことにより、中間体２０に対するインプリント処理時に、突端面が過剰に広い凸部４１ａがアドレスパターン領域Ａａｂ内等に存在しない凹凸パターン４１を形成することができる。したがって、この凹凸パターン４１と凹凸位置関係が一致するマスク（この例では、凹凸パターン４２）を用いて中間体２０に対するエッチング処理を実行することにより、アドレスパターン領域Ａａｂ等に広い突端面を有する凸部４０ａが形成される事態を回避することができる。したがって、この凹凸パターン４０を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層をエッチング処理する際に、アドレスパターン領域Ａａｂ内等の凸部４０ａ上に厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、平坦性が良好で、しかもアドレスデータ等の確実な読み取りが可能な磁気ディスク１０Ｂを製造することができる。また、磁気ディスク１０Ｂにおける各凸部４０ａの突端面に対応して、過剰に広い凹部３９ｂがスタンパー３０に存在しないため、中間体２０における樹脂層１８に凹凸パターン３９を押し付けた際に、凹部３９ｂ内への樹脂材料（樹脂層１８）の移動量の不足に起因する凸部４１ａの高さ不足（樹脂マスクの厚み不足）が生じる事態を回避することができる。したがって、凹凸パターン４１をマスクとしてマスク層１７をエッチングする際に、マスク層１７に対するエッチングの完了に先立って凸部４１ａが消失する事態を回避することができる結果、十分な深さの凹部４２ｂを有する凹凸パターン４２を磁性層１４の上に形成することができる。これにより、この凹凸パターン４２をマスクとして磁性層１４に対するエッチング処理を実行する際に、十分な深さの凹部４０ｂを有する凹凸パターン４０を中間層１３上に形成することができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、上記の磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂでは、バーストパターン領域Ａｂａ内に複数の凸部４０ａ，４０ａ・・を回転方向に沿って並べて形成することでバーストパターンが構成されているが、本発明はこれに限定されず、図２６に示す磁気ディスク１０Ｃのように、磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂにおける凸部４０ａ，４０ａ・・に代えて、複数の凹部４０ｂ，４０ｂ・・をバーストパターン領域Ａｂｃ内に回転方向に沿って並べて形成することでバーストパターンを構成することもできる。なお、同図では、バーストパターン領域Ａｂｃにおける第１バースト領域Ａｂ１および第２バースト領域Ａｂ２のみを図示している。この場合、この磁気ディスク１０Ｃでは、バーストパターン領域Ａｂｃ内の４つの凹部４０ｂ，４０ｂ・・に接する円形領域Ｑｃの直径Ｌ７が、アドレスパターン領域内に形成された凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さのうちの最大の長さ以下となるようにアドレスパターン等のサーボパターン４０ｓｃが形成されている。これにより、アドレスパターン領域内に形成された凸部４０ａ，４０ａ・・における突端面の回転方向に沿った各長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域をサーボパターン領域Ａｓｃのいずれかの部位に配置したときに、その円形領域内に凹部４０ｂの少なくとも一部（凸部４０ａおよび凹部４０ｂの境界部分を含む）が含まれることとなる。この結果、この磁気ディスク１０Ｃにおいても、前述した磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂと同様にして、非磁性材料１５に対するエッチング処理に際して、サーボパターン領域Ａｓｃ内に厚手の残渣が生じる事態が回避される。

また、上記の磁気ディスク１０Ａ、１０Ｂ等では、凹凸パターン４０における凸部４０ａの突端部から基端部までの全体が磁性層１４（磁性材料）で形成されているが、本発明における凹凸パターンを構成する凸部はこれに限定されない。具体的には、例えば、図２７に示す磁気ディスク１０Ｄのように、ガラス基材１１に形成した凹凸パターン（凹凸パターン４０と凹凸の位置関係が同様の凹凸パターン）を覆うようにして薄厚の磁性層１４を形成することにより、その表面が磁性材料で形成された複数の凸部４０ａ，４０ａ・・と底面が磁性材料で形成された複数の凹部４０ｂ，４０ｂ・・とによって凹凸パターン４０を構成することができる（凹凸パターンが基材の一面に直接形成されている構成の一例）。さらに、図２８に示す磁気ディスク１０Ｅのように、凸部４０ａだけではなく凹部４０ｂの底部を含めて磁性層１４で形成して凹凸パターン４０を構成することもできる。また、例えば凹凸パターン４０における凸部４０ａの突端部のみが磁性層１４で形成されて基端部側が非磁性材料または軟磁性材料で形成された凸部４０ａ，４０ａ・・を備えて凹凸パターン４０を構成することもできる（図示せず）。

さらに、上記の磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂ等では、非サーボ信号領域Ａｘ，Ａｘ・・および非サーボ信号領域Ａｘｂ，Ａｘｂ・・にダミーパターン（凹凸パターン４０）が形成されているが、本発明はこれに限定されない。例えば、データ記録領域Ａｔとプリアンブルパターン領域Ａｐとの間、プリアンブルパターン領域Ａｐとアドレスパターン領域Ａａａ（Ａａｂ）との間、アドレスパターン領域Ａａａ（Ａａｂ）とバーストパターン領域Ａｂａとの間、およびバーストパターン領域Ａｂａとデータ記録領域Ａｔとの間に、その全域が凹部で構成された非サーボ信号領域を規定すると共に、バーストパターン領域Ａｂａにおける第１バースト領域Ａｂ１と第２バースト領域Ａｂ２との間、第２バースト領域Ａｂ２と第３バースト領域Ａｂ３との間、および第３バースト領域Ａｂ３と第４バースト領域Ａｂ４との間にも、その全域が凹部で構成された非サーボ信号領域を規定することもできる。このように形成した磁気ディスクによれば、残渣が生じるおそれのある凸部４０ａが凹部で構成された非サーボ信号領域内に存在しないため、サーボパターン領域内の凹凸パターン４０を覆うようにして形成した非磁性材料１５の層をエッチング処理する際に、サーボパターン領域の全域において厚手の残渣が生じる事態を回避することができる。これにより、サーボパターン領域Ａｓａ（Ａｓｂ）内の平坦性が良好で、しかもサーボデータの確実な読み取りが可能な磁気ディスクを提供することができる。

また、上記の磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂ等では、プリアンブルパターン領域Ａｐおよびバーストパターン領域Ａｂａ内の凹凸パターン４０と同種のパターンを非サーボ信号領域Ａｘ、Ａｘｂ内にダミーパターンとして形成したが、本発明はこれに限定されない。例えば、各種サーボ信号用の凹凸パターン４０とは形状が相違する任意の形状の凹凸パターン４０をダミーパターンとして形成する構成を採用することができる。さらに、本発明に係る磁気記録媒体には、非サーボ信号領域Ａｘが存在せずに、プリアンブルパターン領域、アドレスパターン領域およびバーストパターン領域が回転方向において互いに接するように連続して規定された磁気記録媒体や、非サーボ信号領域Ａｘｂが存在せずに、各バースト領域が回転方向において互いに接するように連続して規定された磁気記録媒体が含まれる。また、上記の磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂ等では、ガラス基材１１の片面にのみサーボパターン４０ｓａ（４０ｓｂ）およびデータトラックパターン４０ｔが形成されているが、本発明に係る磁気記録媒体はこれに限定されず、ガラス基材１１の表裏両面にサーボパターン４０ｓａ（４０ｓｂ）およびデータトラックパターン４０ｔを形成することもできる。さらに、本発明に係る磁気記録媒体は、磁気ディスク１０Ａ，１０Ｂのような垂直記録方式の磁気記録媒体に限定されず、面内記録方式の磁気記録媒体にも適用することができる。

ハードディスクドライブ１の構成図である。 磁気ディスク１０Ａの平面図である。 外周側領域Ａｏにおけるデータ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓａに形成された各種パターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。 磁気ディスク１０Ａの層構造を示す断面図である。 データ記録領域Ａｔに形成されたデータトラックパターン４０ｔの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。 外周側領域Ａｏにおけるプリアンブルパターン領域Ａｐに形成されたプリアンブルパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。 外周側領域Ａｏにおけるアドレスパターン領域Ａａａに形成されたアドレスパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。 外周側領域Ａｏにおけるバーストパターン領域Ａｂａの第１バースト領域Ａｂ１および第２バースト領域Ａｂ２に形成されたバーストパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。 外周側領域Ａｏにおけるバーストパターン領域Ａｂａの第３バースト領域Ａｂ３および第４バースト領域Ａｂ４に形成されたバーストパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ａの平面図である。 中間体２０の層構造を示す断面図である。 スタンパー３０の断面図である。 ガラス基材３１の上にレジスト層３２を形成した状態の断面図である。 レジスト層３２に電子ビーム３２ａを照射して潜像３２ｂ，３２ｂ・・を形成した状態の断面図である。 潜像３２ｂ，３２ｂ・・が形成されたレジスト層３２を現像処理して凹凸パターン３３を形成した状態の断面図である。 凹凸パターン３３を覆うようにしてニッケル層３４を形成した状態の断面図である。 メッキ処理によってニッケル層３５を形成した状態の断面図である。 ニッケル層３４，３５の積層体をガラス基材３１から剥離して形成したスタンパー３７の断面図である。 スタンパー３７における凹凸パターン３６の形成面にニッケル層３８を形成した状態（凹凸パターン３６をニッケル層３８に転写した状態）の断面図である。 中間体２０の樹脂層１８にスタンパー３０の凹凸パターン３９を押し付けた状態の断面図である。 図１９に示す状態の樹脂層１８からスタンパー３０を剥離してマスク層１７の上に凹凸パターン４１（樹脂マスク）を形成した状態の断面図である。 凹凸パターン４１をマスクとしてマスク層１７をエッチング処理して磁性層１４の上に凹凸パターン４２（マスク）を形成した状態の断面図である。 凹凸パターン４２をマスクとして磁性層１４をエッチング処理して中間層１３の上に凹凸パターン４０を形成した状態の断面図である。 凹凸パターン４０を覆うようにして非磁性材料１５の層を形成した状態の中間体２０の断面図である。 外周側領域Ａｏにおけるデータ記録領域Ａｔおよびサーボパターン領域Ａｓｂに形成された各種パターンの他の一例を示す磁気ディスク１０Ｂの平面図である。 外周側領域Ａｏにおけるサーボパターン領域Ａｓｂのアドレスパターン領域Ａａｂに形成されたアドレスパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ｂの平面図である。 バーストパターン領域Ａｂｃに形成されたバーストパターンの一例を示す磁気ディスク１０Ｃの平面図である。 磁気ディスク１０Ｄの層構造を示す断面図である。 磁気ディスク１０Ｅの層構造を示す断面図である。 従来の磁気ディスク１０ｚの平面図である。 データ記録領域Ａｔｚおよびサーボパターン領域Ａｓｚに形成された各種パターンの一例を示す磁気ディスク１０ｚの平面図である。 アドレスパターン領域Ａａｚに形成されたアドレスパターンの一例を示す磁気ディスク１０ｚの平面図である。 磁気ディスク１０ｚの層構造を示す断面図である。

符号の説明

１ ハードディスクドライブ
６ 制御部
１０Ａ〜１０Ｅ 磁気ディスク
１１ ガラス基材
１４ 磁性層
１５ 非磁性材料
２０ 中間体
３０ スタンパー
３９，４０，４１，４２ 凹凸パターン
３９ａ，４０ａ，４１ａ，４２ａ 凸部
３９ｂ，４０ｂ，４１ｂ，４２ｂ 凹部
４０ｓａ〜４０ｓｃ サーボパターン
４０ｔ データトラックパターン
Ａａａ，Ａａｂ アドレスパターン領域
Ａｉ 内周側領域
Ａｏ 外周側領域
Ａｓａ〜Ａｓｃ サーボパターン領域
Ａｔ データ記録領域
Ｌ１〜Ｌ６ 長さ
Ｌ７ 直径
Ｏ 中心
Ｑ 円形領域

Claims (7)

1. 少なくとも突端部が磁性材料で形成された複数の凸部と、当該各凸部の間に形成された凹部とを有する凹凸パターンが円板状の基材の少なくとも一面に直接または所定の層を介して形成され、当該凹凸パターンによって当該一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが設けられてデータトラックパターンが形成され、かつ、前記凹部に非磁性材料が埋め込まれて表面が平坦化された回転型の磁気記録媒体であって、
   前記サーボパターン領域および前記データ記録領域は、当該磁気記録媒体の回転方向において交互に並ぶように規定され、
   前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凸部における突端面の当該磁気記録媒体の回転方向に沿った各長さがアドレスデータのデータ内容に対応して規定されると共に当該各長さのうちの前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径位置毎の最大の長さが当該同一半径位置内の当該各凸部における突端面の当該回転方向に沿った最小の長さの２倍の長さである第１の長さとなるように前記凹部が形成され、
   前記同一半径位置毎の前記第１の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凹部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凹部が形成されている磁気記録媒体。
2. 前記凹凸パターンの凸部によって複数の前記データ記録トラックが形成され、
   前記各データ記録トラックは、前記基材の半径方向に沿った長さが前記各第１の長さのうちの最大の長さ以下となるように形成されている請求項１記載の磁気記録媒体。
3. 少なくとも突端部が磁性材料で形成された複数の凸部と、当該各凸部の間に形成された凹部とを有する凹凸パターンが円板状の基材の少なくとも一面に直接または所定の層を介して形成され、当該凹凸パターンによって当該一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状のデータ記録トラックが設けられてデータトラックパターンが形成され、かつ、前記凹部に非磁性材料が埋め込まれて表面が平坦化された回転型の磁気記録媒体であって、
   前記サーボパターン領域および前記データ記録領域は、当該磁気記録媒体の回転方向において交互に並ぶように規定され、
   前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凸部における突端面の当該磁気記録媒体の回転方向に沿った各長さがアドレスデータのデータ内容に対応して規定されると共に当該各長さが前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径位置内において互いに等しい第２の長さとなるように前記凹部が形成され、
   前記同一半径位置毎の前記第２の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凹部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凹部が形成されている磁気記録媒体。
4. 前記凹凸パターンの凸部によって複数の前記データ記録トラックが形成され、
   前記各データ記録トラックは、前記基材の半径方向に沿った長さが前記各第２の長さのうちの最大の長さ以下となるように形成されている請求項３記載の磁気記録媒体。
5. 請求項１から４のいずれかに記載の磁気記録媒体と、当該磁気記録媒体における前記サーボパターン領域から読み取られた所定の信号に基づいてトラッキングサーボ制御処理を実行する制御部とを備えている記録再生装置。
6. 複数の凸部と凹部とを有する凹凸パターンが円板状の基材の少なくとも一面に直接または所定の層を介して形成され、当該凹凸パターンによって当該一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状の前記凸部が設けられてデータトラックパターンが形成され、かつ、前記サーボパターン領域および前記データ記録領域が回転方向において交互に並ぶように規定されると共に、前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凸部における突端面の前記回転方向に沿った各長さがアドレスデータのデータ内容に対応して規定されると共に当該各長さのうちの前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径位置毎の最大の長さが当該同一半径位置内の当該各凸部における突端面の当該回転方向に沿った最小の長さの２倍の長さである第１の長さとなるように前記凹部が形成され、前記同一半径位置毎の前記第１の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凹部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凹部が形成されている回転型の磁気記録媒体を製造可能に、前記凹凸パターンの前記凹部に対応して形成されたスタンパー側凸部と当該凹凸パターンの前記凸部に対応して形成されたスタンパー側凹部とを有するスタンパー側凹凸パターンが形成された磁気記録媒体製造用のスタンパー。
7. 複数の凸部と凹部とを有する凹凸パターンが円板状の基材の少なくとも一面に直接または所定の層を介して形成され、当該凹凸パターンによって当該一面におけるサーボパターン領域にサーボパターンが形成されると共に、当該一面のデータ記録領域に同心円状または螺旋状の前記凸部が設けられてデータトラックパターンが形成され、かつ、前記サーボパターン領域および前記データ記録領域が回転方向において交互に並ぶように規定されると共に、前記サーボパターン領域内のアドレスパターン領域には、前記凹凸パターンを構成する前記各凸部における突端面の前記回転方向に沿った各長さがアドレスデータのデータ内容に対応して規定されると共に当該各長さが前記データトラックパターンの中心からの距離が等しい同一半径位置内において互いに等しい第２の長さとなるように前記凹部が形成され、前記同一半径位置毎の前記第２の長さのうちの最大の長さと等しい直径の円形領域を前記サーボパターン領域のいずれかの部位に配置したときに、前記凹凸パターンを構成する前記凹部の少なくとも一部が当該円形領域内に含まれるように当該サーボパターン領域に当該凹部が形成されている回転型の磁気記録媒体を製造可能に、前記凹凸パターンの前記凹部に対応して形成されたスタンパー側凸部と当該凹凸パターンの前記凸部に対応して形成されたスタンパー側凹部とを有するスタンパー側凹凸パターンが形成された磁気記録媒体製造用のスタンパー。

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