JP3999399B2

JP3999399B2 - X-ray tube

Info

Publication number: JP3999399B2
Application number: JP08589999A
Authority: JP
Inventors: 浩昌丸野
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1999-03-29
Filing date: 1999-03-29
Publication date: 2007-10-31
Anticipated expiration: 2019-03-29
Also published as: JP2000277042A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工業用及び分析用分野のＸ線検査及び分析に用いられるＸ線管に係わり、特に、開放構造型透過Ｘ線管のターゲットの装着部に関する。
【０００２】
【従来の技術】
微細な内部構造を非破壊検査法で観察する手法が各分野で要求されている。例えば、半導体パッケージの開発や実装検査・品質保証のために、微小焦点を有するＸ線管を使って内部の欠陥などが調べられている。このＸ線管は開放型構造で、ターゲットに厚さが薄いタングステンプレートを使用し、収束された電子ビームをこのターゲットに打ち込み、そこで発生するＸ線を透過した裏側から放射するものである。検査部品の微細な構造を観察するため、焦点寸法は微小なものが使われている。
図２に開放透過型Ｘ線管の断面構造を示す。このＸ線管はカソード部５０（下部）とアノード部５１（中部）とターゲット部５２（上部）、から構成されており、各部はＯリングで互いに真空気密に連結されており、ターボポンプとロータリーポンプ（図示せず）による２段引きがされた真空チャンバ５を形成している。カソード部５０は高圧ケーブル挿込み口３４に高圧ケーブルが挿し込まれ、ウエネルト２の電極とフィラメント１に負の高電圧が印加される。アノード部５１、ターゲット部５２及び真空チャンバ５の外装は接地電位に保たれている。高圧ケーブル（図示されていない）からフィラメント１に電圧が印加され電流が流れ加熱されると、熱電子が放出されアノード４に向かって加速され、電子ビームＥを形成する。アノード部５１はレンズホルダ７にアノード４とパイプ６を組み込んだものである。電子ビームＥはパイプ６の中空部を通り、ターゲット部５２の収束コイル８によって、微小な径の電子ビームＥに収束されターゲット１２に突入する。ターゲット部５２はポールピース９の円筒内に収束コイル８を組み込み、ポールピース１０（ＴＯＰ）の上部と、ターゲットホルダ１１の間にターゲット基台１１Ｋがサンドイッチされた状態で組込まれており、ターゲット基台１１Ｋ上の内側にターゲット１２がマウントされている。ターゲット１２は例えば厚さが０．０５ｍｍ程度のタングステン薄膜が使われている。このターゲット１２に電子ビームＥが突入すると、そこでＸ線を放射する。その放射方向は指向性を持っており、透過した方向のＸ線ビームが利用される。Ｘ線管のＸ線条件は管電圧は５〜１６０ｋＶ、管電流は〜０．３ｍＡ程度で、焦点寸法は１〜２００μｍ程度のものが使われている。
ターゲット１２に衝突した電子の運動エネルギーの一部はＸ線に変換され、その強度はＩ＝ｋ・ｉ・Ｚ・Ｖ^２により与えられる。ここでＩはＸ線強度、ｋは定数、ｉは管電流、Ｚはターゲット元素の原子番号、Ｖは加速電圧である。ターゲット１２は固定式で、ターゲット基台１１Ｋに厚み一定の箔または薄膜が取り付けられており、発生するＸ線の強度は波長分布を持ち、その分布は、加速電圧Ｖ、ターゲット１２の材質、厚みにより決定される。ターゲット基台１１ＫもそのためＸ線透過率の良い材料が使われる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来のＸ線管は以上のように構成されているが、厚みがある金属材料の試料の透過検査を行なう場合には、加速電圧Ｖを上げて波長の短いエネルギーの高いＸ線（硬Ｘ線）を発生させて、試料の透過能力を上げている。加速電圧Ｖをあげて電子ビームＥのエネルギーを高くすると、高速の電子ビームＥの衝撃によりターゲット１２の表面が荒れたりスパッターされたりして、Ｘ線変換効率が低下し、Ｘ線の波長分布特性が変化する。そのためターゲット１２を有したターゲット基台１１Ｋを使用状態に応じて交換している。
【０００４】
この交換頻度を少なくするために、図３に示すようなターゲット保持機構のＸ線管が最近使われている。このＸ線管は、本体部１８の上部にＸ線ビーム中心軸ＸをセンターにしてＯリング１６を備え、その上にターゲット１２を有したターゲット基台１１Ｋを、ターゲット１２が内側になるようにセットされ、その上から押え具開口部１７を有したターゲット押え具１３を、リング状の板バネ２０ａを挟み、ターゲット基台１１Ｋの位置に合わせてセットし、そして、上から固定リング１４を載せ、円周部のネジ１５を締め付け、ターゲット押え具１３を固定リング１４で固定し、ターゲット基台１１Ｋを固定している。ネジ１５は固定リング１４の横長穴１４ａを通して本体部１８の取付ネジ穴で固定される。
この構造にすることにより、周辺部のネジ１５を緩めて、横長穴１４ａの横方向に固定リング１４をスライドさせ、図3に示すように、ターゲット基台中心ＴをＸ線ビーム中心軸ＸからΔｄだけずらせることで、新しいターゲット１２を電子ビームＥのＸ線ビーム中心軸Ｘの位置にセットすることができる。またターゲット基台１１Ｋを少しターゲット基台中心Ｔの周りに回転させることにより、新しいターゲット１２を電子ビームＥのＸ線ビーム中心軸Ｘの位置にセットすることができる。
しかし、ターゲット基台１１Ｋはターゲット押え具１３と固定リング１４が周辺部の複数個のネジ１５で固定されているため、ターゲット１２の電子ビームＥが当たる位置を変更するためには、周辺部の複数個のネジ１５を緩めて作業する必要があった。また、ターゲット１２を有したターゲット基台１１Ｋを交換する場合も同様の作業が必要であった。この作業はドライバーを使用して複数個のネジ１５を各々緩め、あるいは取り外すことになり、手間がかかるという問題があった。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、新しいターゲット１２を電子ビームＥのＸ線ビーム中心軸Ｘの位置に、手間をあまりかけずに容易にセットすることができるＸ線管を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明のＸ線管は、陰極フィラメントから放出された電子を加速して電子ビームを形成し、これを収束させて陽極ターゲットに衝突させ、透過方向にＸ線を発生させる開放構造型のＸ線管であって、ネジ部を有するＸ線管本体部と、電子ビームの中心軸に対してターゲットを偏心して装着できるターゲット押え具と、前記Ｘ線管本体部のネジ部と嵌合するネジ部を有しこれにより前記ターゲット押え具をＸ線管本体部に固定する固定リングとを備え、前記ターゲットは偏心させた距離以上の半径を有するものとし、前記ネジ部を緩めて前記ターゲットを回転させることによって前記電子ビームの中心軸に同じターゲットの新しいターゲット面をセットできるようにしたことを特徴とする。
【０００７】
本発明のＸ線管は上記のように構成されており、電子ビームの中心軸に対し偏心してターゲットを装着でき、そのターゲットを押さえている偏心した開口部を有するターゲット押え金具を、電子ビーム中心軸がセンターである固定リングを介して、Ｘ線管本体部の外周部のネジで固定しているので、外周部の固定リングを回転するだけでターゲットがフリーになり、ターゲットを回転させることができ、電子ビーム中心軸に新しいターゲットをセットすることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】
本発明のＸ線管の一実施例を図１を参照しながら説明する。本発明のＸ線管は図２に示す従来のＸ線管のカソード部５０とアノード部５１については同様な構造をしているが、ターゲット部５２のターゲット１２の保持機構に大きな相違がある。図１の本体部１８は、上部にＯリング１６を備え、そのＯリング１６の中心がＸ線ビーム中心軸ＸとΔｄだけ偏心した位置に備えられ、周辺部に固定リング１４の雌ネジと噛み合うネジ嵌合部１９を備えている。ターゲット１２は、例えばタングステンの薄膜が使用され、Ｘ線の透過性の良い高融点の金属材料、例えばベリリュームのターゲット基台１１Ｋの裏面上にマウントされる。その薄膜の大きさは半径で上記の偏心Δｄよりも大きく、Ｏリングの内径よりも小さくて良い。実際に使用するターゲットの電子ビームＥが当たる位置で所定の幅のリング状の薄膜で良い。また分析用のＸ線管では所定の特性Ｘ線が要求されるので、その特性Ｘ線を発生する金属が選択されて薄膜として使用される。ターゲット押え具１３は、押え具開口部１７が前記Ｏリングに対向した位置、即ち押え具開口部１７の中心がＸ線ビーム中心軸ＸとΔｄだけ偏心した位置に設けられ、その開口径はＯリング１６の径より少し小さくされ、ターゲット基台１１ＫをＯリング１６を介して本体部１８に一様に押さえつけることができる構造である。リング状板バネ２０は、固定リング１４を回転してターゲット押え具１３を締め付ける時に、全周にわたって一様に力が分散して加わるようにするためと、固定リングを回転する時にターゲット押え具１３が回転し難いようにするための役割を果たす。固定リング１４は、外周の内側に本体部１８の外周部の雄ネジと噛み合うネジ嵌合部１９を備えている。
【０００９】
高速の電子ビームＥの衝撃によりターゲット１２の表面が荒れたりスパッターされたりして、Ｘ線変換効率が低下し、Ｘ線の波長分布特性が変化したりする。そのときターゲット１２を新しい位置にセットしたり、交換したりする手順について説明する。
まず、本体部１８内の真空状態を真空排気系のリークバルブ（図示せず）を開けて、Ｘ線管内を大気圧にする。次に固定リング１４の外周部を掴み、ネジ嵌合部１９を反時計方向に回転して緩める。ターゲット１２を新しい位置にセットする場合は、ターゲット基台１１Ｋを少し回転（１〜２度程度）する。その状態のまま固定リング１４を時計回りに回し固定する。そして真空排気系によりＸ線管を真空排気する。ターゲット１２を交換する場合は、上記のネジ嵌合部１９を反時計方向に回転して緩め、さらに回転して取り外し、そしてリング状板バネ２０をはずし、ターゲット押え具１３を取り除く。そしてターゲット１２がついているターゲット基台１１Ｋを、新しいターゲット１２が付いているターゲット基台１１Ｋに交換する。そしてターゲット押え具１３を載せ、リング状板バネ２０を嵌め、固定リング１４を締め付け、ターゲット基台１１Ｋを固定する。そして真空排気系によりＸ線管を真空排気する。
【００１０】
上記の実施例ではターゲット基台１１Ｋをセットする場所の段差は、図１に示すように、本体部１８側に設けているが、この段差は本体部１８側でなくターゲット押え具１３側に設けることも可能である。本体部１８側に設ける方がターゲット基台１１Ｋの位置が安定する。しかしターゲット押え具１３側に設けると製作加工が容易になる。
【００１１】
さらに固定リング１４と本体部１８のネジ嵌合部１９に付いての雄ネジ、雌ネジの関係はどちらに装備しても良い。
【００１２】
【発明の効果】
本発明のＸ線管は上記のように構成されており、電子ビームの中心軸に対し偏心してターゲットを装着でき、そのターゲットを押さえている偏心した開口部を有するターゲット押え金具を、電子ビーム中心軸がセンターである固定リングを介して、Ｘ線管本体部の外周部のネジで固定しているので、外周部の固定リングを回転するだけでターゲットがフリーになり、ターゲットを回転させることができ、電子ビーム中心軸に新しいターゲットをセットすることができて、ターゲットにまつわる作業、時間の大幅な短縮ならびに、作業工具が不用になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のＸ線管の一実施例を示す図である。
【図２】従来の開放型透過Ｘ線管の断面を示す図である。
【図３】従来の開放型透過Ｘ線管のターゲット保持部分を示す図である。
【符号の説明】
１…フィラメント２…ウエネルト
３…高電圧レセプタクル４…アノード
５…真空チャンバ６…パイプ
７…レンズホルダ８…収束コイル
９…ポールピース１０…ポールピース
１１…ターゲットホルダ１１Ｋ…ターゲット基台
１２…ターゲット１３…ターゲット押え具
１４…固定リング１４ａ…横長穴
１５…ネジ１６…Ｏリング
１７…押え具開口部１８…本体部
１９…ネジ嵌合部２０…リング状板バネ
２０ａ…板バネ３４…高圧ケーブル挿込み口
５０…カソード部５１…アノード部
５２…ターゲット部Ｘ…Ｘ線ビーム中心軸
Ｅ…電子ビームＴ…ターゲット基台中心[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an X-ray tube used for X-ray inspection and analysis in the industrial and analytical fields, and more particularly to a target mounting portion of an open structure type transmission X-ray tube.
[0002]
[Prior art]
A technique for observing a fine internal structure by a nondestructive inspection method is required in each field. For example, for the development of semiconductor packages, mounting inspection, and quality assurance, an internal defect or the like is examined using an X-ray tube having a micro focus. This X-ray tube has an open structure and uses a thin tungsten plate as a target. A focused electron beam is injected into the target and X-rays generated there are emitted from the back side. In order to observe the fine structure of the inspection component, a small focal size is used.
FIG. 2 shows a cross-sectional structure of an open transmission X-ray tube. This X-ray tube is composed of a cathode part 50 (lower part), an anode part 51 (middle part), and a target part 52 (upper part). Each part is vacuum-tightly connected to each other by an O-ring. A vacuum chamber 5 is formed in which two stages are drawn by a pump (not shown). In the cathode portion 50, a high voltage cable is inserted into the high voltage cable insertion port 34, and a negative high voltage is applied to the electrode of the Wehnelt 2 and the filament 1. The anode part 51, the target part 52, and the exterior of the vacuum chamber 5 are kept at the ground potential. When a voltage is applied to the filament 1 from a high voltage cable (not shown) and current flows and is heated, thermoelectrons are emitted and accelerated toward the anode 4 to form an electron beam E. The anode portion 51 is obtained by incorporating the anode 4 and the pipe 6 into the lens holder 7. The electron beam E passes through the hollow portion of the pipe 6, is converged to a minute diameter electron beam E by the focusing coil 8 of the target portion 52, and enters the target 12. The target unit 52 incorporates the converging coil 8 in the cylinder of the pole piece 9 and is assembled with the target base 11K sandwiched between the upper part of the pole piece 10 (TOP) and the target holder 11, and the target base 52 A target 12 is mounted on the inside of the table 11K. For example, a tungsten thin film having a thickness of about 0.05 mm is used for the target 12. When the electron beam E enters the target 12, X-rays are emitted there. The radiation direction has directivity, and an X-ray beam in the transmitted direction is used. As the X-ray conditions of the X-ray tube, a tube voltage of 5 to 160 kV, a tube current of about 0.3 mA, and a focal size of about 1 to 200 μm are used.
A part of the kinetic energy of the electrons colliding with the target 12 is converted into X-rays, and the intensity is given by I = k · i · Z · V ² . Here, I is the X-ray intensity, k is a constant, i is the tube current, Z is the atomic number of the target element, and V is the acceleration voltage. The target 12 is fixed, and a foil or thin film having a constant thickness is attached to the target base 11K. The intensity of the generated X-ray has a wavelength distribution, and the distribution includes the acceleration voltage V, the material of the target 12, and the thickness. Determined by. Therefore, a material with good X-ray transmittance is used for the target base 11K.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
The conventional X-ray tube is configured as described above. However, when performing a transmission inspection of a sample of a thick metal material, an X-ray (hard X-ray) having a short wavelength and a high wavelength is increased by increasing the acceleration voltage V. ) To increase the transmission ability of the sample. When the acceleration voltage V is increased to increase the energy of the electron beam E, the surface of the target 12 is roughened or sputtered by the impact of the high-speed electron beam E, the X-ray conversion efficiency is lowered, and the X-ray wavelength distribution characteristics. Changes. Therefore, the target base 11K having the target 12 is exchanged according to the use state.
[0004]
In order to reduce the replacement frequency, an X-ray tube having a target holding mechanism as shown in FIG. 3 has been used recently. This X-ray tube is provided with an O-ring 16 centered on an X-ray beam central axis X at the upper part of a main body 18 and a target base 11K having a target 12 thereon so that the target 12 is on the inside. The target presser 13 having the presser opening 17 is set from above, the ring-shaped leaf spring 20a is sandwiched between the target bases 11K, and the fixing ring 14 is placed from above. The circumferential screw 15 is tightened, the target presser 13 is fixed by the fixing ring 14, and the target base 11K is fixed. The screw 15 is fixed in the mounting screw hole of the main body 18 through the laterally long hole 14 a of the fixing ring 14.
With this structure, the peripheral screw 15 is loosened and the fixing ring 14 is slid in the lateral direction of the laterally long hole 14a, so that the target base center T is separated from the X-ray beam central axis X as shown in FIG. By shifting by Δd, the new target 12 can be set at the position of the X-ray beam central axis X of the electron beam E. Further, by rotating the target base 11K slightly around the target base center T, the new target 12 can be set at the position of the X-ray beam central axis X of the electron beam E.
However, since the target holder 11K has the target presser 13 and the fixing ring 14 fixed by a plurality of screws 15 in the peripheral portion, in order to change the position where the electron beam E of the target 12 hits, It was necessary to work by loosening a plurality of screws 15. Moreover, the same operation | work was required also when replacing | exchanging the target base 11K which has the target 12. FIG. This operation has a problem that it takes time and labor to loosen or remove the screws 15 using a screwdriver.
[0005]
The present invention has been made in view of such circumstances, and the new target 12 can be easily set at the position of the X-ray beam central axis X of the electron beam E without much effort. The purpose is to provide a tube.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above problems, the X-ray tube of the present invention accelerates electrons emitted from the cathode filament to form an electron beam, converges it to collide with the anode target, and generates X-rays in the transmission direction. An X-ray tube of an open structure type, and an X-ray tube main body having a screw portion, a target presser capable of mounting the target eccentrically with respect to the central axis of the electron beam, and a screw of the X-ray tube main body And a fixing ring for fixing the target presser to the X-ray tube main body, and the target has a radius that is equal to or greater than the eccentric distance. A new target surface of the same target can be set on the central axis of the electron beam by loosening and rotating the target.
[0007]
The X-ray tube of the present invention is configured as described above, and can be attached to the target eccentrically with respect to the central axis of the electron beam. Since the shaft is fixed with the screw on the outer peripheral part of the X-ray tube main body through the fixing ring, the target becomes free just by rotating the fixing ring on the outer peripheral part, and the target can be rotated. And a new target can be set on the central axis of the electron beam.
[0008]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the X-ray tube of the present invention will be described with reference to FIG. The X-ray tube of the present invention has the same structure for the cathode portion 50 and the anode portion 51 of the conventional X-ray tube shown in FIG. 1 includes an O-ring 16 at the top, and the center of the O-ring 16 is provided at a position eccentric from the X-ray beam central axis X and Δd, and meshes with the female screw of the fixing ring 14 at the periphery. A screw fitting portion 19 is provided. The target 12 is made of, for example, a tungsten thin film and is mounted on the back surface of a high melting point metal material having good X-ray transmission, for example, a beryllium target base 11K. The size of the thin film may be larger than the above-mentioned eccentricity Δd in radius and smaller than the inner diameter of the O-ring. A ring-shaped thin film having a predetermined width may be used at a position where the target electron beam E hits. In addition, since an X-ray tube for analysis requires a predetermined characteristic X-ray, a metal that generates the characteristic X-ray is selected and used as a thin film. The target presser 13 is provided at a position where the presser opening 17 faces the O-ring, that is, at a position where the center of the presser opening 17 is decentered by the X-ray beam central axis X and Δd. The structure is made slightly smaller than the diameter of the ring 16 and can uniformly press the target base 11K against the main body 18 through the O-ring 16. The ring-shaped leaf spring 20 is configured so that when the fixing ring 14 is rotated and the target presser 13 is tightened, the force is uniformly distributed over the entire circumference, and the target presser 13 is rotated when the fixing ring is rotated. Plays a role in making it difficult to rotate. The fixing ring 14 includes a screw fitting portion 19 that meshes with the male screw on the outer peripheral portion of the main body portion 18 inside the outer periphery.
[0009]
The surface of the target 12 is roughened or sputtered by the impact of the high-speed electron beam E, the X-ray conversion efficiency is lowered, and the X-ray wavelength distribution characteristic is changed. A procedure for setting or replacing the target 12 at a new position will be described.
First, the vacuum state in the main body 18 is opened by opening a leak valve (not shown) of an evacuation system, and the X-ray tube is brought to atmospheric pressure. Next, the outer peripheral portion of the fixing ring 14 is grasped, and the screw fitting portion 19 is rotated counterclockwise and loosened. When setting the target 12 at a new position, the target base 11K is slightly rotated (about 1 to 2 degrees). In this state, the fixing ring 14 is rotated clockwise to fix it. Then, the X-ray tube is evacuated by an evacuation system. When the target 12 is replaced, the screw fitting portion 19 is rotated and loosened counterclockwise, further rotated and removed, and the ring-shaped plate spring 20 is removed, and the target presser 13 is removed. Then, the target base 11K with the target 12 is replaced with a target base 11K with a new target 12. Then, the target presser 13 is placed, the ring-shaped leaf spring 20 is fitted, the fixing ring 14 is tightened, and the target base 11K is fixed. Then, the X-ray tube is evacuated by an evacuation system.
[0010]
In the above embodiment, the step where the target base 11K is set is provided on the main body 18 side as shown in FIG. 1, but this step is provided not on the main body 18 but on the target presser 13 side. It is also possible. The position of the target base 11K is more stable when it is provided on the main body 18 side. However, if it is provided on the target presser 13 side, the manufacturing process becomes easy.
[0011]
Furthermore, the relationship between the male screw and the female screw attached to the fixing ring 14 and the screw fitting portion 19 of the main body portion 18 may be provided in either one.
[0012]
【The invention's effect】
The X-ray tube of the present invention is configured as described above, and can be attached to the target eccentrically with respect to the central axis of the electron beam. Since the shaft is fixed with the screw on the outer peripheral part of the X-ray tube main body through the fixing ring, the target becomes free just by rotating the fixing ring on the outer peripheral part, and the target can be rotated. It is possible to set a new target on the central axis of the electron beam, and the work related to the target, the time is greatly reduced, and the work tool is not required.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of an X-ray tube according to the present invention.
FIG. 2 is a view showing a cross section of a conventional open transmission X-ray tube.
FIG. 3 is a view showing a target holding portion of a conventional open transmission X-ray tube.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Filament 2 ... Wehnelt 3 ... High voltage receptacle 4 ... Anode 5 ... Vacuum chamber 6 ... Pipe 7 ... Lens holder 8 ... Converging coil 9 ... Pole piece 10 ... Pole piece 11 ... Target holder 11K ... Target base 12 ... Target 13 ... target presser 14 ... fixing ring 14a ... horizontal hole 15 ... screw 16 ... O-ring 17 ... presser opening 18 ... main body 19 ... screw fitting part 20 ... ring-shaped leaf spring 20a ... leaf spring 34 ... high-voltage cable insertion Slot 50 ... Cathode part 51 ... Anode part 52 ... Target part X ... X-ray beam central axis E ... Electron beam T ... Target base center

Claims

陰極フィラメントから放出された電子を加速して電子ビームを形成し、これを収束させて陽極ターゲットに衝突させ、透過方向にＸ線を発生させる開放構造型のＸ線管であって、ネジ部を有するＸ線管本体部と、電子ビームの中心軸に対してターゲットを偏心して装着できるターゲット押え具と、前記Ｘ線管本体部のネジ部と嵌合するネジ部を有しこれにより前記ターゲット押え具をＸ線管本体部に固定する固定リングとを備え、前記ターゲットは偏心させた距離以上の半径を有するものとし、前記ネジ部を緩めて前記ターゲットを回転させることによって前記電子ビームの中心軸に同じターゲットの新しいターゲット面をセットできるようにしたことを特徴とするＸ線管。 An open-structure X-ray tube that accelerates electrons emitted from a cathode filament to form an electron beam, converges it, collides with an anode target, and generates X-rays in the transmission direction. An X-ray tube main body, a target presser capable of mounting the target eccentrically with respect to the central axis of the electron beam, and a screw portion that fits into a screw portion of the X-ray tube main body, thereby A fixing ring for fixing the tool to the X-ray tube main body, the target having a radius equal to or larger than the eccentric distance, and the central axis of the electron beam by rotating the target by loosening the screw portion An X-ray tube characterized in that a new target surface of the same target can be set on the X-ray tube.