JP3998906B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はルテニウムを含む原料ガスと酸素を含む酸素含有ガスとを用いて基板上にルテニウム膜を形成する半導体装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図5はルテニウム膜を有するDRAMの一部を示す断面図である。図に示すように、シリコン基板1の表面に多数のトランジスタ形成領域を分離形成するフィールド酸化膜2が形成され、シリコン基板1の表面部にソース電極3、ドレイン電極4が形成され、ソース電極3とドレイン電極4との間にゲート絶縁膜5を介してワード線を兼ねたゲート電極6が形成され、ゲート絶縁膜5上に層間絶縁膜7が形成され、層間絶縁膜7にコンタクト孔8が形成され、コンタクト孔8内にソース電極3に接続されたプラグ電極15およびバリアメタル9が形成され、層間絶縁膜7上に層間絶縁膜10が形成され、層間絶縁膜10にコンタクト孔11が形成され、層間絶縁膜10上およびコンタクト孔11内にルテニウムからなりかつバリアメタル9と接続された容量下部電極12が形成され、容量下部電極12上にTa2O5からなる容量絶縁膜13が形成され、容量絶縁膜13上にルテニウム、チタンナイトライドなどからなる容量上部電極14が形成されている。すなわち、このDRAMにおいてはMOSトランジスタのソース電極3にキャパシタセルが接続されている。
【0003】
つぎに、図5に示したDRAMの製造方法について説明する。まず、シリコン基板1の表面のトランジスタ形成領域の周囲にLOCOS法によりフィールド酸化膜2を形成する。つぎに、トランジスタ形成領域にゲート絶縁膜5を介してゲート電極6を形成する。つぎに、フィールド酸化膜2、ゲート電極6をマスクにしたイオン注入法によりシリコン基板1の表面に不純物を導入して、自己整合的にソース電極3、ドレイン電極4を形成する。つぎに、ゲート電極6を絶縁膜で覆ったのち、層間絶縁膜7を形成する。つぎに、層間絶縁膜7にソース電極3を露出するコンタクト孔8を形成し、コンタクト孔8内にプラグ電極15およびバリアメタル9を形成する。つぎに、層間絶縁膜7上に層間絶縁膜10を形成し、層間絶縁膜10にバリアメタル9を露出するコンタクト孔11を形成する。つぎに、層間絶縁膜10上およびコンタクト孔11内にルテニウム膜を堆積し、ルテニウム膜のパターニングを行なうことにより、容量下部電極12を形成する。つぎに、容量下部電極12上にTa2O5からなる容量絶縁膜13を形成し、容量絶縁膜13上にルテニウム、チタンナイトライドなどからなる容量上部電極14を形成する。
【0004】
図6は図5に示したDRAMを製造するときなどにシリコンウェハ上にルテニウム膜を堆積する場合に使用される半導体製造装置を示す断面図である。図に示すように、装置本体21に排気口22が設けられ、装置本体21の上部にシャワーヘッド23が設けられ、装置本体21にガス供給管24が取り付けられ、ガス供給管24はシャワーヘッド23の上部の空間に開口している。また、装置本体21に昇降可能に支持体25が取り付けられ、支持体25にベース26が取り付けられ、ベース26にヒータ電極28を介してヒータ27が取り付けられ、支持体25にサセプタ29が取り付けられ、サセプタ29上にシリコンウェハ30が載置され、支持体25にカバープレート31が載置されている。また、装置本体21内にシリコンウェハ30を処理する反応室32が形成されている。なお、図中33はシリコンウェハ30を装置本体21内のサセプタ29に対して搬送する基板搬送口である。
【0005】
つぎに、この半導体製造装置を使用してシリコンウェハ上にルテニウム膜を堆積する方法について説明する。まず、基板搬送口33を介して装置本体21内に搬送され、サセプタ29上に載置されたシリコンウェハ30を支持体25を上昇させることにより反応室32内の処理位置まで上昇させ、ヒータ27によりシリコンウェハ30を処理温度まで加熱する。つぎに、ガス供給管24によりシャワーヘッド23の上部の空間にルテニウムを含む原料ガスと酸素を含む酸素含有ガスとを供給する。この場合、原料ガスと酸素含有ガスとがシャワーヘッド23を介してシリコンウェハ30上に供給され、酸素含有ガス中の酸素とルテニウム原料ガスが化学反応して、シリコンウェハ30上にルテニウム膜が堆積される。つぎに、原料ガス、酸素含有ガスの供給を停止し、N2ガス等の不活性ガスにより反応室32内をパージして、残留ガスを除去したのち、処理済みのシリコンウェハ30を支持体25を下降させることによりウェハ搬送位置まで下降し、基板搬送口33を介して装置外に取り出す。
【0006】
従来、図6に示すような半導体製造装置を使用してシリコンウェハ上にルテニウム膜を堆積する半導体装置の製造方法においては、図7(線aは原料ガスの供給量変化を示し、線bは酸素含有ガスの供給量変化を示す)に示すように、酸素含有ガスを原料ガスより先行して供給している。すなわち、まず酸素含有ガスの供給量が一定になったのちに、原料ガスの供給を開始して、ルテニウム膜の成膜を開始する。そして、ルテニウム膜の成膜終了後においては、原料ガスの供給を停止したのちに、酸素含有ガスの供給を停止している。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような半導体装置の製造方法においては、成膜開始前(時刻t1前)および成膜終了後(時刻t2後)において酸素比率すなわち原料ガスに対する酸素含有ガスの体積比率が大きくなり、酸素過剰になるから、ルテニウム酸化物が形成されやすくなるので、ルテニウム膜の膜質の均一性が良好ではないため、ルテニウム膜のシート抵抗等が均一ではなくなるとともに、表面モフォロジーの再現性が良好ではない。
【0008】
本発明は上述の課題を解決するためになされたもので、膜質の均一性、表面モフォロジーの再現性が良好なルテニウム膜を形成することができる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、本発明においては、ルテニウムを含む原料ガスと酸素含有ガスとを用いて基板上にルテニウム膜を成膜する半導体装置の製造方法において、上記ルテニウム膜の成膜開始前または成膜終了後の酸素比率を成膜時の酸素比率よりも小さくする。
【0010】
また、上記ルテニウム膜の成膜開始前に、上記原料ガスを上記酸素含有ガスより先行して供給し、上記原料ガスの供給量が一定となった後に、上記酸素含有ガスを供給して上記ルテニウム膜の成膜を開始してもよい。
【0011】
また、上記ルテニウム膜の成膜開始前、上記原料ガスを上記酸素含有ガスより先行して供給してもよい。
【0012】
また、上記ルテニウム膜の成膜開始前、上記原料ガスと上記酸素含有ガスとを同時に供給する場合、成膜開始前の上記酸素含有ガスの供給量を徐々に大きくしてもよい。
【0013】
また、上記ルテニウム膜の成膜開始前、上記酸素含有ガスを上記原料ガスより先行して供給する場合、成膜開始前の上記酸素含有ガスの供給量を成膜時の上記酸素含有ガスの供給量よりも小さくしてもよい。
【0014】
また、上記ルテニウム膜の成膜終了後、上記酸素含有ガスの供給を上記原料ガスの供給より先に停止してもよい。
【0015】
また、上記ルテニウム膜の成膜終了後、上記原料ガスの供給と上記酸素含有ガスの供給とを同時に停止させる場合、成膜終了後の上記酸素含有ガスの供給量を徐々に小さくしてもよい。
【0016】
また、上記ルテニウム膜の成膜終了後、上記原料ガスの供給を上記酸素含有ガスの供給より先に停止させる場合、成膜終了後の上記酸素含有ガスの供給量を成膜時の上記酸素含有ガスの供給量よりも小さくしてもよい。
【0017】
また、上記ルテニウム膜の成膜開始前または成膜終了後に成膜反応に寄与しないガスを導入し、成膜開始前、成膜中および成膜開終了後の圧力をほぼ一定に保持してもよい。
また、ルテニウムを含む原料ガスと酸素含有ガスとを用いて基板上にルテニウム膜を成膜する工程を有する半導体装置の製造方法において、上記ルテニウム膜の成膜開始前に、上記原料ガスを上記酸素含有ガスより先行して供給し、上記原料ガスの供給量が一定となった後に、上記酸素含有ガスを供給して上記ルテニウム膜の成膜を開始する。
また、ルテニウムを含む原料ガスと酸素含有ガスとを用いて基板上にルテニウム膜を成膜する工程を有する半導体装置の製造方法において、上記原料ガスと上記酸素含有ガスとを供給して上記ルテニウム膜の成膜を行なった後、上記酸素含有ガスの供給を上記原料ガスの供給より先に停止する。
また、ルテニウムを含む原料ガスと酸素含有ガスとを用いて基板上にルテニウム膜を成膜する工程を有する半導体装置の製造方法において、上記ルテニウム膜の成膜開始前に、上記原料ガスを上記酸素含有ガスより先行して供給し、上記原料ガスの供給量が一定となった後に、上記酸素含有ガスを供給して上記ルテニウム膜の成膜を開始し、上記ルテニウム膜の成膜終了後、上記酸素含有ガスの供給を上記原料ガスの供給より先に停止する。
【0018】
【発明の実施の形態】
図1により本発明に係る半導体装置の製造方法を説明する。まず、半導体製造装置内のサセプタ上に載置されたシリコンウェハを反応室内の成膜位置まで上昇させ、ヒータによりシリコンウェハを290〜350°Cまで加熱する。つぎに、反応室内に供給量ksccmで成膜反応に寄与しないN2ガスを供給する。ここで、供給量ksccmは反応室内の圧力を60〜180Paに保持する供給量である。つぎに、N2ガスの供給量を1250〜1500sccmにし、反応室内の圧力を60〜4000Paに上昇する。つぎに、供給量0.005〜0.12ccmでルテニウムを含む原料ガスたとえばRu(C2H5C5H4)2ガスを反応室に供給するともに、N2ガスの供給量を減少して、反応室内の圧力を60〜4000Paに保持する。つぎに、原料ガスの供給量が一定になったのちに、供給量40〜1500sccmで酸素を含む酸素含有ガスたとえばO2ガスまたはO3ガスまたはN2Oガスを反応室に供給するとともに、N2ガスの供給量を0〜710sccmに減少して、反応室内の圧力を60〜4000Paに保持する。このようにしてルテニウム膜の成膜が開始される。すなわち、原料ガスを酸素含有ガスより先行して供給し、ルテニウム膜の成膜開始前の酸素比率を成膜時の酸素比率よりも小さくし、ルテニウム膜の成膜開始前の酸素比率を原料ガスからルテニウムが分離される成膜反応が起こらない程度の値以下としている。つぎに、酸素含有ガスの供給量を減少し、また原料ガスの供給量を減少して、酸素含有ガス、原料ガスの供給を停止するともに、N2ガスの供給量を1250〜1500sccmに増加して、反応室内の圧力を60〜4000Paに保持する。このようにしてルテニウム膜の成膜が終了する。つぎに、N2ガスの供給量をksccmに減少して、反応室内の圧力を60〜180Paに保持する。
【0019】
この半導体装置の製造方法においては、ルテニウム膜の成膜開始前の酸素比率は成膜時の酸素比率よりも小さく、ルテニウム膜の成膜開始前の酸素比率は原料ガスからルテニウムが分離される成膜反応が起こらない程度の値以下であるから、ルテニウム酸化物が形成されることはないので、膜質の均一性が良好なルテニウム膜を形成することができるため、ルテニウム膜のシート抵抗等を均一にすることができるとともに、表面モフォロジーの再現性が良好なルテニウム膜を形成することができる。また、ルテニウム膜の成膜開始前、成膜中および成膜終了後の圧力を60〜4000Paに保持するから、さらに膜質の均一性が良好なルテニウム膜を形成することができる。
【0020】
つぎに、図2(線aは原料ガスの供給量変化を示し、線bは酸素含有ガスの供給量変化を示す)により本発明に係る他の半導体装置の製造方法を説明する。まず、半導体製造装置内のサセプタ上に載置されたシリコンウェハを反応室内の成膜位置まで上昇させ、ヒータによりシリコンウェハを290〜350°Cまで加熱する。つぎに、反応室内への原料ガスの供給を開始し、原料ガスの供給量が一定となったのち、反応室内への酸素含有ガスの供給を開始して、ルテニウム膜の成膜を開始する。そして、ルテニウム膜の成膜が終了したのち、反応室内への酸素含有ガスの供給を終了したのち、反応室内への原料ガスの供給を終了する。すなわち、ルテニウム膜の成膜開始前(時刻t1前)、原料ガスを酸素含有ガスより先行して反応室に供給し、ルテニウム膜の成膜終了後(時刻t2後)、酸素含有ガスの供給を原料ガスの供給より先に停止し、ルテニウム膜の成膜開始前および成膜終了後の酸素比率を成膜時の酸素比率よりも小さくし、ルテニウム膜の成膜開始前および成膜終了後の酸素比率を成膜反応が起こらない程度の値以下とする。
【0021】
この半導体装置の製造方法においては、ルテニウム膜の成膜開始前および成膜終了後の酸素比率は成膜時の酸素比率よりも小さく、ルテニウム膜の成膜開始前および成膜終了後の酸素比率は成膜反応が起こらない程度の値以下であるから、ルテニウム酸化物が形成されることはないので、膜質の均一性が良好なルテニウム膜を形成することができるため、ルテニウム膜のシート抵抗等を均一にすることができるとともに、表面モフォロジーの再現性が良好なルテニウム膜を形成することができる。
【0022】
つぎに、図3(線aは原料ガスの供給量変化を示し、線bは酸素含有ガスの供給量変化を示す)により本発明に係る他の半導体装置の製造方法を説明する。まず、半導体製造装置内のサセプタ上に載置されたシリコンウェハを反応室内の成膜位置まで上昇させ、ヒータによりシリコンウェハを290〜350°Cまで加熱する。つぎに、反応室内への原料ガス、酸素含有ガスの供給を同時に開始する。この場合、原料ガスの供給量を先に一定にし、原料ガスの供給量が一定になったのちに、酸素含有ガスの供給量を一定にして、ルテニウム膜の成膜を開始する。そして、ルテニウム膜の成膜が終了したのち、反応室内への原料ガス、酸素含有ガスの供給を同時に終了する。この場合、反応室内への原料ガス、酸素含有ガスの供給を停止する前に酸素含有ガスの供給量を徐々に減少させる。すなわち、ルテニウム膜の成膜開始前(時刻t1前)、原料ガスと酸素含有ガスとを同時に供給し、成膜開始前の酸素含有ガスの供給量を直線状に徐々に大きくし、ルテニウム膜の成膜終了後(時刻t2後)、酸素含有ガスの供給量を直線状に徐々に小さくしていき、原料ガスの供給と酸素含有ガスの供給とを同時に停止する。
【0023】
この半導体装置の製造方法においても、ルテニウム膜の成膜開始前および成膜終了後の酸素比率は成膜時の酸素比率よりも小さく、ルテニウム膜の成膜開始前および成膜終了後の酸素比率は成膜反応が起こらない程度の値以下であるから、ルテニウム酸化物が形成されることはないので、膜質の均一性が良好なルテニウム膜を形成することができるとともに、表面モフォロジーの再現性が良好なルテニウム膜を形成することができる。
【0024】
つぎに、図4(線aは原料ガスの供給量変化を示し、線bは酸素含有ガスの供給量変化を示す)により本発明に係る他の半導体装置の製造方法を説明する。まず、半導体製造装置内のサセプタ上に載置されたシリコンウェハを反応室内の成膜位置まで上昇させ、ヒータによりシリコンウェハを290〜350°Cまで加熱する。つぎに、反応室内への酸素含有ガスの供給を先に開始し、酸素含有ガスの供給量が一定になったのち、反応室内への原料ガスの供給を開始する。この場合、酸素含有ガスの供給量をわずかとする。つぎに、原料ガスの供給量が一定になったのちに、酸素含有ガスの供給量を増加して、ルテニウム膜の成膜を開始する。そして、ルテニウム膜の成膜が終了したのち、反応室への酸素含有ガスの供給量を減少させ、酸素含有ガスの供給量を一定にする。この場合、酸素含有ガスの供給量をわずかとする。つぎに、原料ガスの供給を停止し、その後反応室内への酸素含有ガスの供給を停止する。すなわち、ルテニウム膜の成膜開始前(時刻t1前)、酸素含有ガスを原料ガスより先行して供給し、成膜開始前の酸素含有ガスの供給量を成膜時の酸素含有ガスの供給量よりも小さくし、成膜開始前の酸素含有ガスの供給量を成膜反応が起こらない程度の値以下とする。また、ルテニウム膜の成膜終了後(時刻t2後)、酸素含有ガスの供給量を成膜時の酸素含有ガスの供給量よりも小さくし、成膜終了後の酸素含有ガスの供給量を成膜反応が起こらない程度の値以下として、原料ガスの供給を酸素含有ガスの供給より先に停止させる。
【0025】
この半導体装置の製造方法においても、ルテニウム膜の成膜開始前および成膜終了後の酸素比率は成膜時の酸素比率よりも小さく、ルテニウム膜の成膜開始前および成膜終了後の酸素比率は成膜反応が起こらない程度の値以下であるから、ルテニウム酸化物が形成されることはないので、膜質の均一性が良好なルテニウム膜を形成することができるとともに、表面モフォロジーの再現性が良好なルテニウム膜を形成することができる。
【0026】
図8(a)は酸素比率と堆積速度との関係を示すグラフである。また、図8(b)は図8(a)中の(A)の領域、(B)の領域、(C)の領域にて形成したルテニウム膜のX線回折データを示すグラフである。これらのグラフから明らかなように、堆積速度がほぼ安定している領域(A)では、ルテニウム膜が形成される。また、堆積速度が速くなる領域(B)では、ルテニウムと酸化ルテニウム(RuO2)との混晶膜となる。また、堆積速度の変化量が大きい領域(C)では、酸化ルテニウム膜が形成される。よって、純粋なルテニウム膜を得るためには、領域(A)の範囲内に収まるように成膜時の酸素比率を設定する必要がある。また、成膜開始前や成膜終了後においても、その酸素比率を越えないようにする必要があり、そのためには本願発明の図1または図2または図3または図4で説明した方法が有効となる。
【0027】
また、図9は本発明の半導体装置の製造方法と従来の半導体装置の製造方法とにより複数回(4回)にわたり成膜を行なったときのルテニウム膜の表面モフォロジーの再現性を示す顕微鏡写真で、それぞれの場合のシート抵抗値を示した。この顕微鏡写真から明らかなように、従来に比べて本発明の方が表面モフォロジーの再現性に優れている。すなわち、本発明の場合には複数回のルテニウム膜の成膜における各成膜ごとのルテニウム膜の表面の状態の変化が小さい(安定している)のに対して、従来の場合には複数回のルテニウム膜の成膜における各成膜ごとのルテニウム膜の表面の状態が大きく変化している。また、従来に比べて本発明の方がシート抵抗の再現性に優れている。すなわち、本発明の場合には複数回のルテニウム膜の成膜における各成膜ごとのルテニウム膜のシート抵抗の値の変化が小さい(安定している)のに対して、従来の場合には複数回のルテニウム膜の成膜における各成膜ごとのルテニウム膜のシート抵抗の値が大きく変化している。
【0028】
なお、図2で説明した実施の形態においては、ルテニウム膜の成膜開始前、原料ガスを酸素含有ガスより先行して反応室に供給し、ルテニウム膜の成膜終了後、酸素含有ガスの供給を原料ガスの供給より先に停止し、また図3で説明した実施の形態においては、ルテニウム膜の成膜開始前、反応室内に原料ガスと酸素含有ガスとを同時に供給し、ルテニウム膜の成膜終了後、原料ガスの供給と酸素含有ガスの供給とを同時に停止し、また図4で説明した実施の形態においては、ルテニウム膜の成膜開始前、酸素含有ガスを原料ガスより先行して供給し、ルテニウム膜の成膜終了後、原料ガスの供給を酸素含有ガスの供給より先に停止したが、ルテニウム膜の成膜開始前の原料ガス、酸素含有ガスの供給開始の方法と、ルテニウム膜の成膜終了後の原料ガス、酸素含有ガスの供給停止の方法とは任意に組み合わせることができる。たとえば、ルテニウム膜の成膜開始前、原料ガスを酸素含有ガスより先行して反応室に供給し、ルテニウム膜の成膜終了後、原料ガスの供給と酸素含有ガスの供給とを同時に停止してもよく、またルテニウム膜の成膜開始前、原料ガスを酸素含有ガスより先行して反応室に供給し、ルテニウム膜の成膜終了後、原料ガスの供給を酸素含有ガスの供給より先に停止してもよく、またルテニウム膜の成膜開始前、反応室内に原料ガスと酸素含有ガスとを同時に供給し、ルテニウム膜の成膜終了後、酸素含有ガスの供給を原料ガスの供給より先に停止してもよく、またルテニウム膜の成膜開始前、反応室内に原料ガスと酸素含有ガスとを同時に供給し、ルテニウム膜の成膜終了後、原料ガスの供給を酸素含有ガスの供給より先に停止してもよく、またルテニウム膜の成膜開始前、酸素含有ガスを原料ガスより先行して供給し、ルテニウム膜の成膜終了後、酸素含有ガスの供給を原料ガスの供給より先に停止してもよく、またルテニウム膜の成膜開始前、酸素含有ガスを原料ガスより先行して供給し、ルテニウム膜の成膜終了後、原料ガスの供給と酸素含有ガスの供給とを同時に停止してもよい。また、図3により説明した実施の形態においては、成膜開始前の酸素含有ガスの供給量を直線状に徐々に大きくし、成膜終了後の酸素含有ガスの供給量を直線状に徐々に小さくしたが、成膜開始前の酸素含有ガスの供給量を階段状に徐々に大きくし、成膜終了後の酸素含有ガスの供給量を階段状に徐々に小さくしてもよい。また、上述実施の形態においては、基板がシリコンウェハの場合について説明したが、他の基板上にルテニウム膜を形成する場合にも本発明を適用することができる。また、図1〜図4で説明した実施の形態では、いずれも反応室へのルテニウムを含む原料ガスの供給を、シリコンウェハの温度が処理温度(290〜350℃)に到達したのちに開始しているが、シリコンウェハの昇温中にルテニウムを含む原料ガスの供給を開始するのがむしろ望ましい。そうすることにより、シリコンウェハの温度が処理温度となったときに、既にルテニウムを含む原料ガスの流量が安定している状態をつくり出すことができ、シリコンウェハの昇温後すみやかに成膜を行なうことができるからである。また、同様な理由により、成膜前の反応室への不活性ガス等の導入、反応室内の圧力調整等についても、シリコンウェハの昇温中に行なうのが望ましい。
【0029】
【発明の効果】
本発明に係る半導体装置の製造方法においては、ルテニウム膜の成膜開始前または成膜終了後の酸素比率は成膜時の酸素比率よりも小さく、ルテニウム膜の成膜開始前または成膜終了後の酸素比率は成膜反応が起こらない程度の値以下であるから、ルテニウム酸化物が形成されることはないので、膜質の均一性が良好なルテニウム膜を形成することができるとともに、表面モフォロジーの再現性が良好なルテニウム膜を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体装置の製造方法の説明図である。
【図2】本発明に係る他の半導体装置の製造方法の説明図である。
【図3】本発明に係る他の半導体装置の製造方法の説明図である。
【図4】本発明に係る他の半導体装置の製造方法の説明図である。
【図5】DRAMの一部を示す断面図である。
【図6】半導体製造装置を示す断面図である。
【図7】従来の半導体装置の製造方法の説明図である。
【図8】 (a)は酸素比率と堆積速度との関係を示すグラフ、(b)は(a)中の(A)の領域、(B)の領域、(C)の領域にて形成した膜のX線回折データを示すグラフである。
【図9】本発明の半導体装置の製造方法と従来の半導体装置の製造方法との表面モフォロジーの再現性を示す顕微鏡写真である。
【符号の説明】
1…シリコン基板
3…ソース電極
4…ドレイン電極
5…ゲート絶縁膜
6…ゲート電極
12…容量下部電極
13…容量絶縁膜
14…容量上部電極
24…ガス供給管
27…ヒータ
29…サセプタ
30…シリコンウェハ
32…反応室
Claims (12)
- ルテニウムを含む原料ガスと酸素含有ガスとを用いて基板上にルテニウム膜を成膜する半導体装置の製造方法において、上記ルテニウム膜の成膜開始前または成膜終了後の酸素比率を成膜時の酸素比率よりも小さくすることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 上記ルテニウム膜の成膜開始前に、上記原料ガスを上記酸素含有ガスより先行して供給し、上記原料ガスの供給量が一定となった後に、上記酸素含有ガスを供給して上記ルテニウム膜の成膜を開始することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記ルテニウム膜の成膜開始前、上記原料ガスを上記酸素含有ガスより先行して供給することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記ルテニウム膜の成膜開始前、上記原料ガスと上記酸素含有ガスとを同時に供給する場合、成膜開始前の上記酸素含有ガスの供給量を徐々に大きくすることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記ルテニウム膜の成膜開始前、上記酸素含有ガスを上記原料ガスより先行して供給する場合、成膜開始前の上記酸素含有ガスの供給量を成膜時の上記酸素含有ガスの供給量よりも小さくすることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記ルテニウム膜の成膜終了後、上記酸素含有ガスの供給を上記原料ガスの供給より先に停止することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記ルテニウム膜の成膜終了後、上記原料ガスの供給と上記酸素含有ガスの供給とを同時に停止させる場合、成膜終了後の上記酸素含有ガスの供給量を徐々に小さくすることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記ルテニウム膜の成膜終了後、上記原料ガスの供給を上記酸素含有ガスの供給より先に停止させる場合、成膜終了後の上記酸素含有ガスの供給量を成膜時の上記酸素含有ガスの供給量よりも小さくすることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記ルテニウム膜の成膜開始前または成膜終了後に成膜反応に寄与しないガスを導入し、成膜開始前、成膜中および成膜開終了後の圧力をほぼ一定に保持することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- ルテニウムを含む原料ガスと酸素含有ガスとを用いて基板上にルテニウム膜を成膜する工程を有する半導体装置の製造方法において、上記ルテニウム膜の成膜開始前に、上記原料ガスを上記酸素含有ガスより先行して供給し、上記原料ガスの供給量が一定となった後に、上記酸素含有ガスを供給して上記ルテニウム膜の成膜を開始することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- ルテニウムを含む原料ガスと酸素含有ガスとを用いて基板上にルテニウム膜を成膜する工程を有する半導体装置の製造方法において、上記原料ガスと上記酸素含有ガスとを供給して上記ルテニウム膜の成膜を行なった後、上記酸素含有ガスの供給を上記原料ガスの供給より先に停止することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- ルテニウムを含む原料ガスと酸素含有ガスとを用いて基板上にルテニウム膜を成膜する工程を有する半導体装置の製造方法において、上記ルテニウム膜の成膜開始前に、上記原料ガスを上記酸素含有ガスより先行して供給し、上記原料ガスの供給量が一定となった後 に、上記酸素含有ガスを供給して上記ルテニウム膜の成膜を開始し、上記ルテニウム膜の成膜終了後、上記酸素含有ガスの供給を上記原料ガスの供給より先に停止することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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