JP3998799B2

JP3998799B2 - Barrier inspection apparatus and inspection method for back plate for plasma display panel

Info

Publication number: JP3998799B2
Application number: JP4300698A
Authority: JP
Inventors: 博己前田
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1998-02-10
Filing date: 1998-02-10
Publication date: 2007-10-31
Anticipated expiration: 2018-02-10
Also published as: JPH11230863A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰとも言う）用背面板の障壁の凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥を検査する検査装置と検査方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、プラズマディスプレイパネル（以下ＰＤＰとも記す）は、その奥行きの薄いこと、軽量であること、更に鮮明な表示と液晶パネルに比べ視野角が広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。
一般に、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、２枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一対の電極を設け、その間にネオン、キセノン等を主体とするガスを封入した構造となっている。そして、これらの電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を行うようにしている。特に情報表示をするためには、規則的に並んだセルを選択的に放電発光させている。
【０００３】
ここで、ＰＤＰの構成を、図５に示すＡＣ型ＰＤＰの１例を挙げて説明しておく。
図５はＰＤＰ構成斜視図であるが、分かり易くするため前面板（ガラス基板５１０）、背面板（ガラス基板５２０）とを実際より離して示してある。
図５に示すように、２枚のガラス基板５１０、５２０が互いに平行に且つ対向して配設されており、両者は背面板となるガラス基板５２０上に互いに平行に設けられた障壁（セル障壁とも言う）５３０により、一定の間隔に保持されている。
前面板となるガラス基板５１０の背面側には、放電維持電極である透明電極５４０とバス電極である金属電極５５０とで構成される複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って、誘電体層５６０が形成されており、更にその上に保護層（ＭｇＯ層）５７０が形成されている。
また、背面板となるガラス基板５２０の前面側には前記複合電極と直交するように障壁５３０間に位置してアドレス電極５８０が互いに平行に形成されており、更に障壁５３０の壁面とセル底面を覆うように螢光面５９０が設けられている。
障壁５３０は放電空間を区画するためのもので、区画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。
このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合電極間に交流電圧を印加し、で放電させる構造である。この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫外線により螢光体５９０を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認できるものである。
なお、ＤＣ型ＰＤＰにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構造を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同じである。
また、図５に示すものは、ガラス基板５２０の一面に下地層５６７を設けその上に誘電体層５６５を設けた構造となっているが、下地層５６７、誘電体層５６５は必ずしも必要としない。
【０００４】
このようなプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）用基板の背面板、前面板の製造工程は複雑で長い為、製造過程で不良が発生し、製造中および製造後に各種検査が行われている。中でも背面板の障壁の凹欠陥や凸欠陥等の形状欠陥の検査は、ＰＤＰの品質を保証するものとして不可欠である。
障壁の形状検査は、通常、背面板に障壁を形成する工程の後、螢光体層を設ける工程の前において行われ、頂上部の形状欠陥については、人間の目視検査が採られていた。
形状欠陥の検査方法としては、従来、図４（ａ）に示すように、試料４６０の欠陥検出面側を上にして、試料移送部４３０により、一定速度で一方向に移動する周期性パターンを有する平面状の試料４６０に対し、その欠陥検出面側を一方向の照明光４２０Ａにて照明して、その反射光４２０Ｂを、試料４６０の絵柄の配列方向に沿う（略平行の）線状領域撮影手段４１０により撮影した画像データ（画像信号データ）に基づき、周期性パターンにある凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥を検出する方法が知られている。この方法は隣接パターン比較法とも呼ばれている。
この方法は、正常な試料面においては、反射光４２０Ｂが線状領域撮影手段４１０にて撮影されるように、線状領域撮影手段４１０と照明手段４２０とを法線Ｌ１に略対象な位置に配置しているため、凹欠陥や凸欠陥に照明光４２０Ａが当たった場合には、その箇所において散乱反射されるため、その箇所における線状領域撮影手段４１０に入射される光の量は、正常の試料面に比べ少なくなる。
各パターンの画像データは、それぞれ隣接するパターンの画像データと比べると、欠陥がなかったり、同じ欠陥がある場合には同じ画像データとなり、一方のみが欠陥があったり、異なる位置に欠陥がある場合には画像データは異なるため、隣接するパターン間で、その画像データ同志の差を、各画素毎にとることにより、図４（ｂ）に示すようになり、これを不良検出用のスライスレベルＳＬ２と比較することにより欠陥箇所を概ね把握することができる。
【０００５】
この図４（ａ）に示す方法（隣接パターン比較法）をプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）用基板の背面板の障壁の凹欠陥や凸欠陥等の形状欠陥の検査に適用した場合、障壁は所定のピッチで略平行に配列されており、周期性パターンを形成しているため、各障壁の画像データは、それぞれ隣接する障壁の画像データと比べることにより、欠陥箇所を把握することができる。
しかし、この方法は、言うまでもなく、障壁からの反射光が得られる範囲については有効であるが、障壁からの反射光が得られない範囲については有効でない。
図４（ａ）に示す方法は、単一の光源を用いて照明するもので、この方法をそまままプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）用基板の背面板の障壁の凹欠陥や凸欠陥等の形状欠陥の検査に適用した場合、図４（ｃ）に図１（ａ）のＤ０部に相当する部分を拡大して示すように、各障壁の撮影において照明光の影となる部分が生じ、障壁の頂部の欠陥の検出、障壁の照明光４２０Ａが照射される側面についての欠陥検出は可能であるが、影となる領域についての欠陥については検出ができない。
試料の向きを変えて２回検査すれば、障壁の両側面の欠陥を検査することがてきるが、作業性が悪い。
尚、ここでは、１回の検査とは、試料の検査全領域を１回撮影する動作を言っている。即ち、図４では、試料移動装置により、試料を定速度で一方向に移動しながら線状撮影手段により試料の検査領域を全て撮影する動作１回である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
近年、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）はその大型化とともに、各セルのファイン化も進む中、障壁の側面部についても、品質面からその欠陥検査が要求されるようになってきたが、図４に示す形状欠陥の検出方法（隣接パターン比較法）をＰＤＰ用背面板の障壁の欠陥検査に適用した場合には、１回の検査では障壁の照明光の影となる領域の欠陥の検出はできず、試料の向きを変えた２回検査では作業性が劣るという問題があり、この対応が求められていた。
本発明は、これに対応するためのもので、ＰＤＰ用の背面板の障壁の凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥を検査する装置であって、効率的に、且つ、障壁の両側面部の欠陥も検出できる検査装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査装置は、障壁形成面側を上にして、試料移送部により、一定速度で一方向に移動されるプラズマディスプレイ用背面板に対し、その障壁形成面側を照明光にて照明し、その散乱反射光を撮影手段により撮影して得られた画像データを基に、画像データ処理部により障壁部の欠陥を検出するプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁の欠陥検査装置であって、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ、障壁の両側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明する第一照明手段、第二照明手段と、前記障壁形成面からの散乱反射光を撮影するための、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ、背面板に略直交する方向から撮影する撮影手段とを有し、前記所定の角度θが、障壁間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔａｎ -1 （Ｌ０／Ｈ０）以下であることを特徴とするものである。
【０００８】
本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査方法は、相対的に、一定速度で一方向に移動されるプラズマディスプレイ用背面板に対し、その障壁形成面側を照明光にて照明し、その散乱反射光を撮影手段により撮影して得られた画像データを基に、画像データ処理部により障壁部の欠陥を検出するプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁の欠陥検査方法であって、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ、障壁の両側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明する第一照明手段、第二照明手段により、障壁の両側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明し、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ、背面板に略直交する方向から撮影する撮影手段により、散乱反射光を撮影するもので、前記所定の角度θが、障壁間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔａｎ -1 （Ｌ０／Ｈ０）以下であることを特徴とするものである。
そして、上記において、障壁間に螢光面がある場合には、螢光面部の状態を併せて欠陥検出を行うものであることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】
本発明の本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査装置は、このような構成にすることにより、効率的に、且つ、障壁の両側面部の凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥も検出できる検査装置の提供を可能としている。結果、ＰＤＰのセルのファイン化にも対応できるものとしている。
具体的には、障壁形成面側を上にして、試料移送部により、一定速度で一方向に移動されるプラズマディスプレイ用背面板に対し、その障壁形成面側を照明光にて照明し、その反射光を撮影手段により撮影して得られた画像データを基に、画像データ処理部により障壁部の欠陥を検出するプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁の欠陥検査装置であって、障壁の両側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明する第一照明手段、第二照明手段と、前記障壁形成面からの反射光を撮影するための、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ、背面板に略直交する方向から撮影する撮影手段とを有することにより、これを達成している。
即ち、障壁の両側面から、それぞれ、所第一照明手段、第二照明手段と、障壁形成面からの反射光を撮影するための、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ線状領域撮影手段とを有することにより、障壁の頂部のみならず、障壁の両側面の形状欠陥を検出できるものとしている。
そして、所定の角度θが、障壁間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔａｎ^-1（Ｌ０／Ｈ０）以下であることにより、確実に障壁の頂部と両側面部の欠陥検出を可能としている。
【００１０】
また、本発明の本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査方法は、このような構成にすることにより、効率的に、且つ、障壁の両側面部の凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥も検出できるものとしており、ＰＤＰのセルのファイン化にも対応できるものとしている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査装置の実施の形態の１例を挙げて、本発明を説明する。
図１（ａ）は実施の形態の１例の概略構成図で、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１側からみた撮影部の平面図で、図２（ａ）は図１のＡ０部を拡大して示した図で、図２（ｂ）は欠陥箇所抽出データの図、図３は画像処理の１例を示した図である。
図１、図２中、１００は障壁検査装置、１１０は線状領域撮影手段、１２０は第一照明手段、１２０Ａは照明光、１２０Ｂは反射光、１２５は第二照明手段、１２５Ａは照明光、１２５Ｂは反射光、１３０は移送部、１４０は画像処理部、１５０はモニター、１６０は制御部、１７０は背面板、１７１〜１７３、１７５は障壁、１７７は側面、１７８は頂部、１８０はエンコーダ、１８１は信号検出用ヘッド、１８５は信号検出箇所、１９１は凹欠陥、１９３は凸欠陥である。
図１に示す装置は、障壁１７５形成面側を上にして、移送部１３０により、一定速度で一方向に移動されるプラズマディスプレイ用背面板１７０に対し、その障壁１７５形成面側を照明光１２０Ａ、１２５Ａにて照明し、その反射光を線状領域撮影手段１１０により撮影して得られた画像データを基に、画像データ処理部１４０により障壁部の欠陥を検出するプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁の欠陥検査装置である。
背面板１７０は移動方向（太線矢印の方向）に略直交する方向に障壁の配列方向長手方向を置いて欠陥検出を行うものである。
そして、障壁１７５の両側面１７７から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁１７５形成面側を照明する第一照明手段１２０、第二照明手段１２５と、障壁１７５形成面からの反射光を撮影するための、障壁１７５の配列方向、即ち長手方向（図１（ｂ）のＢ１−Ｂ２方向）に沿い、且つ障壁１７５の検査領域を跨ぐように、背面板に略直交する方向に設けられた、該検査領域の線状領域を撮影する線状領域撮影手段１１０を備えている。
制御部１６０は各部を制御するもので、画像処理の結果や、欠陥部を表示するモニター１５０を備えている。
【００１２】
図２（ａ）に示すように、第一の照明手段１２０から、所定の角θで凹部欠陥１９１に入射されると、その反射光１２０Ｂの一部が線状領域撮影手段１１０へ入射される。
また、第一の照明手段１２０から、所定の角θで凸部欠陥１９１に入射されると、その反射光１２０Ｂの一部が線状領域撮影手段１１０へ入射される。
図２（ａ）の凹欠陥１９１と凸欠陥１９３とは反対側に凹欠陥、凸欠陥がある場合は、同様に第二の照明手段１２５から、所定の角θで入射される光の反射光１２５Ｂの一部が線状領域撮影手段１１０に入射される。
即ち、障壁の両側面にある凹欠陥、凸欠陥が全て線状領域撮影手段１１０により撮影される。
特に、所定の角度θが、障壁間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔａｎ^-1（Ｌ０／Ｈ０）以下である場合には、確実に障壁の頂部と両側面部の欠陥検出ができ好ましい。
凹欠陥１９１や凸欠陥１９３がある場合、この位置に欠陥がない場合に比べ撮影手段に入射する光の量が増えることとなる。
これより、後述するように、隣接する障壁に対応する画像データ同志を、対応する画素毎に差分をとると、欠陥部のある箇所のみが、図２（ｂ）に示すように値が大となり、所定のスライスレベルＳＬ１で比較して、欠陥箇所を特定することができる。
【００１３】
図３に基づいて、図１に示す検査装置１００の動作を簡単に説明し、本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査方法の説明に代える。
図１に示すように、背面板１７０は障壁１７５形成面側を上にして、移送部１３０により移動され搬送されるが、その移動位置の管理はエンコーダ１８０によりなされ、エンコーダ１８０により得られる移動位置に基づき、同期して線状領域撮影手段（ラインセンサカメラ）１１０は、背面板１７０の所定領域を撮影する。（Ｓ３１０）
尚、図１に示す検査装置１００においては、エンコーダ１８０の信号検出用ヘッド１８１が、所定の間隔に設けられた信号検出箇所１８３をパルスとして認識するため、パルスの数によりその位置を特定できる。
線状領域撮影手段（ラインセンサカメラ）１１０により得られた画像データ信号は、Ａ／Ｄ変換（Ｓ３２０）され、画像処理部１４０にて送られる。
画像処理部１４０では、得られた画像データ信号のシェーディング補正、ノイズの除去を行い、障壁の欠陥を抽出するが、簡単には、隣接する障壁に対応するそれぞれの画像データ間で、対応する画素毎に差分をとり、更に必要に応じ欠陥部を強調する強調処理を行った後、不良判定レベルと比較して、不良箇所を抽出する。（Ｓ３３０）
具体的には、試料の同一箇所において複数回（Ｎ回とする）、撮影手段により撮影し、画像信号を得て、得られたＮ回分の画像信号を積算、平均処理ことにより、ビデオ信号等で発生するランダムノイズは１／Ｎ^1/2となりランダムノイズは除去できる。そして、ランダムノイズを除去した隣接する障壁に対応する画像データ間で、対応する画素毎に差分をとることにより、照明ムラ、撮像面の感度ムラ等による緩やかな信号変化（シェーディング）や撮像する位置の移動により変化しない信号分（例えば、光学系に付着したゴミによる信号の局部的変化）も除去される。
更に、シェーディングやランダムノイズを除去した画像データに対し、空間フィルター等を用いて微分処理（差分をとる処理）を行い、欠陥部を強調する処理が強調処理である。
この後、不良箇所位置を演算し（Ｓ３３５）、その位置をモニターへ表示する。（Ｓ３４０）
エンコーダ１８０からの同期信号に対応して撮影が行われ、各画像データについては、対応する背面基板の位置が特定できるため、不良箇所の位置は特定できる。
【００１４】
図１の検査装置１００では、撮影手段として、ＣＣＤ素子からなるラインセンサカメラ等の線状領域撮影手段１１０を用いたが、エリアセンサでも良い。
また、背面板のパターンが単純なストライプでなく、格子状のものでも検査対象として適用できる。
【００１５】
【発明の効果】
本発明は、上記のように、ＰＤＰ用の背面板の障壁の凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥を障壁の頂点だけでなく、障壁の両側面部にわたり、効率的に検出できる、検査装置、検査方法の提供を可能としている。
特に、ますますの大型化とセルの微細化が進み、形状も多種となるＰＤＰ用の検査において有効で、結果、ＰＤＰ用の基板の量産に対応できるものとしている。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査装置の実施の形態の１例を示した概略図
【図２】図２（ａ）は実施の形態の一部拡大断面図で、図２（ｂ）は欠陥箇所抽出データの図
【図３】欠陥検出の動作を説明するためのフロー図
【図４】従来の形状欠陥検出方法を説明するための図
【図５】ＰＤＰを説明するための斜視図
【符号の説明】
１００障壁検査装置
１１０線状領域撮影手段（ラインセンサカメラ）
１２０第一照明手段
１２０Ａ（第一照明手段の）照明光
１２０Ｂ（第一照明手段の）反射光
１２５第二照明手段
１２５Ａ（第二照明手段の）照明光
１２５Ｂ（第二照明手段の）反射光
１３０移送部
１４０画像処理部
１５０モニター
１６０制御部
１７０背面板
１７１〜１７３、１７５障壁
１７７側面
１７８頂部
１８０エンコーダ
１９１凹欠陥
１９３凸欠陥
４１０線状領域撮影手段
４２０照明手段
４２０Ａ照明光
４２０Ｂ反射光
４３０試料移送部
４６０試料
４７０背面板
４７１〜４７３障壁
４９１凹欠陥
４９３凸欠陥[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an inspection apparatus and an inspection method for inspecting a shape defect such as a concave defect or a convex defect of a barrier of a back plate for a plasma display panel (also referred to as PDP).
[0002]
[Prior art]
In recent years, plasma display panels (hereinafter also referred to as PDPs) are being used in various display devices because of their thin depth, light weight, and clear display and wider viewing angle than liquid crystal panels.
In general, a plasma display panel (PDP) has a structure in which a pair of regularly arranged electrodes are provided on two opposing glass substrates, and a gas mainly composed of neon, xenon, or the like is enclosed therebetween. Then, a voltage is applied between these electrodes, and discharge is generated in minute cells around the electrodes, thereby causing each cell to emit light for display. In particular, in order to display information, the regularly arranged cells are selectively discharged to emit light.
[0003]
Here, the configuration of the PDP will be described with an example of the AC type PDP shown in FIG.
FIG. 5 is a perspective view of the PDP structure, but the front plate (glass substrate 510) and the back plate (glass substrate 520) are shown separated from each other for the sake of clarity.
As shown in FIG. 5, two glass substrates 510 and 520 are arranged in parallel and facing each other, and both are barriers (cell barriers) provided in parallel to each other on a glass substrate 520 serving as a back plate. (Also referred to as 530).
A composite electrode composed of a transparent electrode 540 as a discharge sustaining electrode and a metal electrode 550 as a bus electrode is formed in parallel with each other on the back side of the glass substrate 510 as a front plate. A layer 560 is formed, and a protective layer (MgO layer) 570 is further formed thereon.
In addition, address electrodes 580 are formed on the front side of the glass substrate 520 serving as a back plate so as to be perpendicular to the composite electrode and between the barriers 530 in parallel with each other. A fluorescent surface 590 is provided so as to cover.
The barrier 530 is for partitioning the discharge space, and each partitioned discharge space is called a cell or a unit light emitting region.
This AC type PDP is a surface discharge type, and has a structure in which an AC voltage is applied between the composite electrodes on the front plate to cause discharge. In this case, since alternating current is applied, the direction of the electric field changes corresponding to the frequency. The phosphor 590 emits light by the ultraviolet rays generated by this discharge, and the observer can visually recognize the light transmitted through the front plate.
The DC type PDP is different from the AC type in that the electrode has a structure not covered with a dielectric layer, but the discharge effect is the same.
5 has a structure in which a base layer 567 is provided on one surface of a glass substrate 520 and a dielectric layer 565 is provided thereon, but the base layer 567 and the dielectric layer 565 are not necessarily required. .
[0004]
Since the manufacturing process of the back plate and front plate of such a plasma display (PDP) substrate is complicated and long, defects occur in the manufacturing process, and various inspections are performed during and after manufacturing. In particular, the inspection of shape defects such as concave defects and convex defects on the barrier on the back plate is indispensable for assuring the quality of the PDP.
The shape inspection of the barrier is usually performed after the step of forming the barrier on the back plate and before the step of providing the phosphor layer, and the shape defect at the top has been visually inspected by humans.
As a method for inspecting a shape defect, as shown in FIG. 4A, a periodic pattern that moves in one direction at a constant speed by a sample transfer unit 430 with the defect detection surface side of the sample 460 facing up is conventionally used. A planar sample 460 having a defect detection surface side is illuminated with illumination light 420 </ b> A in one direction, and the reflected light 420 </ b> B is a linear region (almost parallel) along the pattern arrangement direction of the sample 460. A method for detecting a shape defect such as a concave defect or a convex defect in a periodic pattern based on image data (image signal data) photographed by the photographing means 410 is known. This method is also called an adjacent pattern comparison method.
In this method, on the normal sample surface, the linear region imaging unit 410 and the illuminating unit 420 are positioned substantially at the normal line L1 so that the reflected light 420B is captured by the linear region imaging unit 410. Therefore, when the illumination light 420A hits a concave defect or a convex defect, it is scattered and reflected at that location, so that the amount of light incident on the linear region imaging means 410 at that location is normal. Less than the sample surface.
The image data of each pattern is the same image data when there is no defect or the same defect compared to the image data of each adjacent pattern, and only one of them has a defect or a defect at a different position Since the image data is different from each other, the difference between the image data between adjacent patterns is obtained for each pixel as shown in FIG. 4B, and this is shown as a slice level SL2 for detecting a defect. By comparing with, it is possible to roughly grasp the defective part.
[0005]
When the method shown in FIG. 4A (adjacent pattern comparison method) is applied to the inspection of a shape defect such as a concave defect or a convex defect on a back plate of a plasma display (PDP) substrate, the barrier has a predetermined pitch. Since the periodic patterns are formed, the image data of each barrier can be grasped by comparing the image data of each barrier with the image data of adjacent barriers.
However, it goes without saying that this method is effective for the range where the reflected light from the barrier is obtained, but is not effective for the range where the reflected light from the barrier is not obtained.
The method shown in FIG. 4A illuminates using a single light source, and this method is used as it is for the formation of defects such as concave defects and convex defects on the back plate of the plasma display (PDP) substrate. When applied to the inspection, as shown in FIG. 4C in which the portion corresponding to the portion D0 in FIG. 1A is enlarged, a portion that becomes a shadow of the illumination light is generated in photographing each barrier, and the top of the barrier Although it is possible to detect the defect and the defect on the side surface irradiated with the illumination light 420A of the barrier, the defect on the shadow area cannot be detected.
If inspection is performed twice while changing the direction of the sample, defects on both sides of the barrier can be inspected, but workability is poor.
Here, one inspection refers to an operation of imaging the entire inspection region of the sample once. That is, in FIG. 4, one operation is performed in which the sample moving area is imaged by the linear imaging means while moving the sample in one direction at a constant speed.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
In recent years, as the size of the plasma display (PDP) has been increased and the finer size of each cell has been advanced, the defect inspection of the side surface of the barrier has been required from the quality aspect, as shown in FIG. When the shape defect detection method (adjacent pattern comparison method) is applied to the defect inspection of the barrier of the back plate for PDP, the defect in the area that is the shadow of the illumination light of the barrier cannot be detected by one inspection, There is a problem that workability is inferior in the two inspections in which the direction of the sample is changed, and this countermeasure is required.
The present invention is a device for inspecting a shape defect such as a concave defect or a convex defect of a barrier on a back plate for PDP, and is a device for efficiently and defects on both sides of the barrier. It is an object of the present invention to provide an inspection apparatus that can detect the above.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
The apparatus for inspecting a barrier for a back plate of a plasma display panel according to the present invention has a barrier forming surface with respect to the back plate for a plasma display that is moved in one direction at a constant speed by a sample transfer unit with the barrier forming surface side up. Illuminate the side with illumination light, and based on the image data obtained by photographing the scattered reflected light by the imaging means, the image data processing unit detects a defect in the barrier part of the back plate for the plasma display panel A defect inspection apparatus, which is provided so as to extend in the arrangement direction of the barrier portion and straddle the inspection region of the barrier portion, and the barrier of the back plate for the plasma display panel from each side surface of the barrier at a predetermined angle θ. first illumination means for illuminating the forming surface side, and a second illumination means, for capturing scattered light reflected from the barrier formation surface, along the array direction of the barrier unit, and the inspection area of the barrier section Provided Guyo, and a photographing means for photographing a direction substantially perpendicular to the back plate, the predetermined angle θ is, the distance between the barriers L0, the height of the barrier and H0, tan -1 (L0 / H0) or less .
[0008]
The plasma display panel back plate barrier inspection method of the present invention relatively illuminates the barrier forming surface side with illumination light on the plasma display back plate moved in one direction at a constant speed. A method for inspecting a defect in a barrier of a back plate for a plasma display panel, wherein a defect in a barrier is detected by an image data processing unit based on image data obtained by imaging scattered reflected light with an imaging means , A first illuminating means that is provided so as to extend along the arrangement direction and straddle the inspection region of the barrier portion, and illuminates the barrier forming surface side of the back plate for the plasma display panel from each side surface of the barrier at a predetermined angle θ. The second illumination means illuminates the barrier formation surface side of the plasma display panel back plate from the both side surfaces of the barrier at a predetermined angle θ, respectively, along the arrangement direction of the barrier portions. In addition, the scattered reflected light is photographed by the photographing means that is provided so as to straddle the inspection region of the barrier portion and is photographed from a direction substantially orthogonal to the back plate, and the predetermined angle θ is the distance L0 between the barriers. The height of the barrier is H0, and is tan −1 (L0 / H0) or less .
In the above, when there is a fluorescent surface between the barriers, the defect detection is performed by combining the state of the fluorescent surface portion.
[0009]
[Action]
By adopting such a configuration, the barrier plate inspection apparatus for the back plate of the present invention for plasma display panels can efficiently detect shape defects such as concave defects and convex defects on both side portions of the barrier. An inspection device can be provided. As a result, it is possible to cope with finer PDP cells.
Specifically, the barrier-forming surface side is illuminated with illumination light on the back plate for plasma display that is moved in one direction at a constant speed by the sample transfer unit with the barrier-forming surface side facing up. An apparatus for inspecting a defect in a barrier for a back panel of a plasma display panel, wherein a defect in a barrier is detected by an image data processing unit based on image data obtained by imaging reflected light with an imaging means, and both sides of the barrier The first illuminating means and the second illuminating means for illuminating the barrier forming surface side of the back plate for the plasma display panel at a predetermined angle θ, respectively, and the barrier for photographing the reflected light from the barrier forming surface This is achieved by having imaging means that is provided along the arrangement direction of the parts and straddles the inspection area of the barrier part, and that photographs from a direction substantially orthogonal to the back plate.
That is, from both side surfaces of the barrier, the first illuminating means, the second illuminating means, and the barrier region inspection direction for photographing the reflected light from the barrier forming surface, respectively. By having the linear region photographing means provided so as to straddle, it is possible to detect not only the top of the barrier but also the shape defect on both sides of the barrier.
Then, the predetermined angle θ is L0 as the distance between the barriers and H0 as the height of the barriers, and it is less than tan ⁻¹ (L0 / H0), so that defects on the top and both sides of the barriers can be reliably detected. It is said.
[0010]
In addition, the method for inspecting a barrier for a back plate for a plasma display panel according to the present invention has such a configuration, so that shape defects such as a concave defect and a convex defect on both side surfaces of the barrier are also efficiently formed. It is assumed that it can be detected, and it can cope with finer PDP cells.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The present invention will be described by giving an example of an embodiment of a barrier plate inspection apparatus for a back plate of a plasma display panel according to the present invention.
FIG. 1A is a schematic configuration diagram of an example of the embodiment, FIG. 1B is a plan view of the photographing unit viewed from the A1 side in FIG. 1A, and FIG. FIG. 2B is an enlarged view of the A0 portion, FIG. 2B is a diagram of defect location extraction data, and FIG. 3 is a diagram illustrating an example of image processing.
1 and 2, 100 is a barrier inspection device, 110 is a linear region imaging means, 120 is a first illumination means, 120A is illumination light, 120B is reflected light, 125 is second illumination means, 125A is illumination light, 125B is reflected light, 130 is a transfer unit, 140 is an image processing unit, 150 is a monitor, 160 is a control unit, 170 is a back plate, 171 to 173 and 175 are barriers, 177 is a side surface, 178 is a top, 180 is an encoder, Reference numeral 181 denotes a signal detection head, 185 denotes a signal detection location, 191 denotes a concave defect, and 193 denotes a convex defect.
The apparatus shown in FIG. 1 has the barrier 175 formation surface side up, and the barrier 175 formation surface side of the back surface 170 for the plasma display is moved in one direction by the transfer unit 130 at a constant speed. , 125A, and the image data processing unit 140 detects a defect in the barrier portion based on the image data obtained by photographing the reflected light with the linear region photographing means 110. It is a barrier defect inspection device.
The back plate 170 performs defect detection by placing the longitudinal direction of the arrangement direction of the barriers in a direction substantially perpendicular to the moving direction (the direction of the thick arrow).
The first illuminating means 120, the second illuminating means 125, and the barrier 175 forming surfaces that illuminate the barrier 175 forming surface side of the back panel for the plasma display panel at a predetermined angle θ from both side surfaces 177 of the barrier 175, respectively. Is substantially orthogonal to the back plate so as to cross the inspection direction of the barrier 175 along the arrangement direction of the barriers 175, that is, the longitudinal direction (B1-B2 direction in FIG. A linear area imaging unit 110 that images the linear area of the inspection area is provided.
The control unit 160 controls each unit, and includes a monitor 150 that displays image processing results and defective portions.
[0012]
As shown in FIG. 2A, when the first illumination unit 120 enters the recess defect 191 at a predetermined angle θ, a part of the reflected light 120B enters the linear region imaging unit 110. .
Further, when the first illumination unit 120 is incident on the convex defect 191 at a predetermined angle θ, a part of the reflected light 120B is incident on the linear region imaging unit 110.
In the case where there are a concave defect and a convex defect on the opposite side of the concave defect 191 and the convex defect 193 in FIG. 2A, similarly, reflected light of light incident at a predetermined angle θ from the second illumination means 125. A part of 125B is incident on the linear region imaging means 110.
That is, all the concave defects and convex defects on both side surfaces of the barrier are photographed by the linear region photographing means 110.
In particular, when the predetermined angle θ is equal to or less than tan ⁻¹ (L0 / H0), where L0 is the distance between the barriers and H0 is the height of the barriers, defect detection on the top and both side portions of the barriers is reliably performed. This is preferable.
When there is a concave defect 191 or a convex defect 193, the amount of light incident on the photographing means is increased as compared with the case where there is no defect at this position.
Thus, as will be described later, when image data corresponding to adjacent barriers is differentiated for each corresponding pixel, only a portion having a defective portion has a large value as shown in FIG. By comparing with a predetermined slice level SL1, it is possible to identify a defective portion.
[0013]
The operation of the inspection apparatus 100 shown in FIG. 1 will be briefly described based on FIG. 3, and will be replaced with the description of the method for inspecting the barrier of the back plate for the plasma display panel of the present invention.
As shown in FIG. 1, the back plate 170 is moved and conveyed by the transfer unit 130 with the barrier 175 forming surface side up, and the movement position is managed by the encoder 180, and the movement position obtained by the encoder 180 is obtained. Based on the above, the linear area photographing means (line sensor camera) 110 photographs a predetermined area of the back plate 170 synchronously. (S310)
In the inspection apparatus 100 shown in FIG. 1, the signal detection head 181 of the encoder 180 recognizes the signal detection points 183 provided at predetermined intervals as pulses, so that the position can be specified by the number of pulses.
The image data signal obtained by the linear area photographing means (line sensor camera) 110 is A / D converted (S320) and sent by the image processing unit 140.
The image processing unit 140 performs shading correction and noise removal of the obtained image data signal, and extracts barrier defects, but simply, corresponding pixels between the respective image data corresponding to adjacent barriers. A difference is taken every time, and further, an emphasis process for emphasizing the defective portion is performed as necessary, and then a defective portion is extracted in comparison with the defect determination level. (S330)
Specifically, the image signal is obtained by photographing with the photographing means a plurality of times (N times) at the same location of the sample, and the image signal obtained is integrated and averaged to obtain a video signal, etc. The random noise generated at 1 / N ^1/2 is 1 / N ^{1/2 and} can be removed. Then, by taking a difference for each corresponding pixel between the image data corresponding to adjacent barriers from which random noise has been removed, a gentle signal change (shading) due to uneven illumination, uneven sensitivity on the imaging surface, etc. The amount of signal that does not change due to movement of the signal (for example, local change in signal due to dust attached to the optical system) is also removed.
Further, the enhancement processing is processing for performing differential processing (processing for obtaining a difference) on the image data from which shading or random noise has been removed using a spatial filter or the like, and emphasizing a defective portion.
Thereafter, the position of the defective part is calculated (S335), and the position is displayed on the monitor. (S340)
Photographing is performed in response to the synchronization signal from the encoder 180, and for each image data, the position of the corresponding back substrate can be specified, so the position of the defective portion can be specified.
[0014]
In the inspection apparatus 100 of FIG. 1, the linear region imaging unit 110 such as a line sensor camera including a CCD element is used as the imaging unit, but an area sensor may be used.
Also, the back plate pattern is not a simple stripe, but a lattice pattern can be applied as an inspection target.
[0015]
【The invention's effect】
As described above, the present invention provides an inspection apparatus and inspection that can efficiently detect not only the top of the barrier but also the side surface of the barrier not only the top surface of the barrier but also the shape defect such as the concave defect and the convex defect of the back plate for PDP. It is possible to provide a method.
In particular, it is effective in inspections for PDPs that are becoming increasingly larger and cell miniaturized and have a variety of shapes, and as a result, can be used for mass production of PDP substrates.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view showing an example of an embodiment of a barrier plate inspection apparatus for a back plate of a plasma display panel according to the present invention. FIG. 2 (a) is a partially enlarged sectional view of the embodiment. 2B is a diagram of defect location extraction data. FIG. 3 is a flowchart for explaining the operation of defect detection. FIG. 4 is a diagram for explaining a conventional shape defect detection method. Perspective view for explanation
100 Barrier Inspection Device 110 Linear Area Imaging Unit (Line Sensor Camera)
120 First illumination means 120A Illumination light 120B (from the first illumination means) Reflected light 125 (from the first illumination means) 125 Second illumination means 125A Illumination light 125B (from the second illumination means) Reflected light (from the second illumination means) 130 Transfer Unit 140 Image Processing Unit 150 Monitor 160 Control Unit 170 Back Plates 171 to 173, 175 Barrier 177 Side 178 Top 180 Encoder 191 Concave Defect 193 Convex Defect 410 Linear Area Imaging Unit 420 Illumination Unit 420A Illumination Light 420B Reflected Light 430 Sample Transfer unit 460 Sample 470 Back plate 471 to 473 Barrier 491 Concave defect 493 Convex defect

Claims

障壁形成面側を上にして、試料移送部により、一定速度で一方向に移動されるプラズマディスプレイ用背面板に対し、その障壁形成面側を照明光にて照明し、その散乱反射光を撮影手段により撮影して得られた画像データを基に、画像データ処理部により障壁部の欠陥を検出するプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁の欠陥検査装置であって、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ、障壁の両側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明する第一照明手段、第二照明手段と、前記障壁形成面からの散乱反射光を撮影するための、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ、背面板に略直交する方向から撮影する撮影手段とを有し、前記所定の角度θが、障壁間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔａｎ -1 （Ｌ０／Ｈ０）以下であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査装置。The back side plate for plasma display, which is moved in one direction at a constant speed by the sample transfer unit with the barrier forming surface side up, is illuminated with illumination light on the back surface of the plasma display, and the scattered reflected light is photographed. Based on the image data obtained by photographing by means, a defect inspection apparatus for a barrier on the back plate of the plasma display panel for detecting defects in the barrier by an image data processing unit , along the arrangement direction of the barrier, The first illuminating means and the second illuminating means are provided so as to straddle the inspection region of the barrier portion, and illuminate the barrier forming surface side of the back plate for the plasma display panel from each side surface of the barrier at a predetermined angle θ. When the for photographing the scattered light reflected from the barrier formation surface, along the array direction of the barrier unit, and is provided so as to straddle the inspection area of the barrier section, shooting hand to shoot from a direction substantially perpendicular to the rear plate Has the door, the predetermined angle θ is, the distance between the barrier L0, and the height of the barrier H0, tan -1 (L0 / H0 ) is a back plate for a plasma display panel, characterized in that less Barrier inspection device.

相対的に、一定速度で一方向に移動されるプラズマディスプレイ用背面板に対し、その障壁形成面側を照明光にて照明し、その散乱反射光を撮影手段により撮影して得られた画像データを基に、画像データ処理部により障壁部の欠陥を検出するプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁の欠陥検査方法であって、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ、障壁の両側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明する第一照明手段、第二照明手段により、障壁の両側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明し、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ、背面板に略直交する方向から撮影する撮影手段により、散乱反射光を撮影するもので、前記所定の角度θが、障壁間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔａｎ -1 （Ｌ０／Ｈ０）以下であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査方法。Image data obtained by illuminating the barrier-forming surface side with illumination light on a plasma display back plate that is relatively moved in one direction at a constant speed and photographing the scattered reflected light with an imaging means A barrier defect inspection method for a plasma display panel back plate that detects a defect in a barrier portion by an image data processing unit based on the above, along an arrangement direction of the barrier portion and straddling the inspection region of the barrier portion Provided from both side surfaces of the barrier, respectively, by a first illuminating means that illuminates the barrier forming surface side of the back plate for the plasma display panel at a predetermined angle θ , from the both side surfaces of the barrier by the second illuminating means , Illuminates the barrier forming surface side of the back plate for the plasma display panel at a predetermined angle θ, is provided so as to extend along the arrangement direction of the barrier portion and straddle the inspection region of the barrier portion, and is substantially orthogonal to the back plate. In this case, the reflected light is photographed by photographing means for photographing from the direction in which the predetermined angle θ is less than tan −1 (L0 / H0) , where L0 is the distance between the barriers and H0 is the height of the barriers. A method for inspecting a barrier of a back plate for a plasma display panel.

請求項２において、障壁間に螢光面がある場合には、螢光面部の状態を併せて欠陥検出を行うものであることを特徴とするプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査方法。Oite to claim 2, when there is a phosphor screen between the barrier, the barrier method for inspecting a back plate for a plasma display panel, characterized in that performs a defect detection together state of the fluorescent surface.