JP3998662B2 - ウエハピッチ変換機 - Google Patents
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Description
4 ウエハ
6 ウエハ保持部材
8 支持体
12 変換プレート
17 係合凸部
18 爪
19 係合凹部
20 爪
Claims (3)
- 複数のウエハを平行に保持する均一なピッチで整列された複数のウエハ保持部材と、
該複数のウエハ保持部材の中空孔を貫通して延在された支柱と、
前記複数のウエハ保持部材のうちの一端に配されたウエハ保持部材を前記複数のウエハ保持部材のピッチを変更する際の基準として、前記複数のウエハ保持部材のうちの他端に配されたウエハ保持部材を前記支柱に沿って摺動させる変換プレートと
を備えたウエハピッチ変換機であって、
前記各ウエハ保持部材は、
一端側に配された隣の前記ウエハ保持部材と対向するフランジ面の中心部に形成された円筒状の係合凹部と、
該係合凹部の端部内周側面に一体に形成された鉤状の爪と、
他端側に配された隣の前記ウエハ保持部材と対向するフランジ面の中心部に形成され、前記係合凹部内に嵌挿された円筒状の係合凸部と、
該係合凸部の端部外周側面に一体に形成された鉤状の爪とを有し、
前記複数のウエハ保持部材のピッチは、隣合う前記各ウエハ保持部材の互いの前記フランジ面が当接している第1ピッチと、前記係合凹部の爪と前記係合凸部の爪とが当接している、前記第1ピッチより大きい第2ピッチとに変更されることを特徴とするウエハピッチ変換機。 - 前記係合凹部の爪および前記係合凸部の爪は、樹脂から形成された請求項1に記載のウエハピッチ変換機。
- 前記係合凹部の爪は、前記係合凹部の端部内周側面に、全周にわたって設けられており、かつ、前記係合凸部の爪は、前記係合凸部の端部外周側面に、全周にわたって設けられている請求項1または2に記載のウエハピッチ変換機。
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