JP3990289B2 - 移動レンズを有するリソグラフ及び記憶媒体にデジタルホログラムを生成する方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 25
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000001093 holography Methods 0.000 description 1
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
- G03H1/08—Synthesising holograms, i.e. holograms synthesized from objects or objects from holograms
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70383—Direct write, i.e. pattern is written directly without the use of a mask by one or multiple beams
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
- G03H1/08—Synthesising holograms, i.e. holograms synthesized from objects or objects from holograms
- G03H1/0891—Processes or apparatus adapted to convert digital holographic data into a hologram
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Claims (25)
- 記憶媒体(4)にコンピュータ生成デジタルホログラムを1点ずつ生成するリソグラフィ装置であって、
所定のビーム断面を有する書き込みビーム(12)を生成する光源(6,10)と、
レンズホルダ(16)内に配置され、書き込まれる前記記憶媒体(4)上に前記書き込みビーム(12)を集束する書き込みレンズ(14)と、
前記記憶媒体(4)に対する前記書き込みビーム(12)の2次元移動のための駆動手段と、を備えるリソグラフィ装置であって、
前記駆動手段は、前記レンズホルダ(16)を前記書き込みビーム(12)に対して実質的に垂直に移動する第1の駆動装置(18)を含み、
前記書き込みレンズ(14)のアパーチャは、前記書き込みビーム(12)のビーム断面より小さく、
前記第1の駆動装置(18)は、前記書き込みレンズ(14)を第1の移動方向に移動し、
前記駆動手段は、前記第1の移動方向を横切る第2の移動方向に、前記書き込みビーム(12)を前記記憶媒体(4)に対して移動する第2の駆動装置を備え、
前記第1の駆動装置(18)は、前記第2の駆動装置より高速の走査移動を行うことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 前記駆動手段は、リニアモータ又はボイスコイルモータとして形成されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記レンズホルダ(16)の取り付けは、固形の支持部材、ボール軸受け、滑り軸受け、空気軸受け、又は磁気軸受けとして形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載の装置。
- 前記レンズホルダ(16)は、1方向にリニアに取り付けられ、周期的に振動することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の装置。
- 前記レンズホルダ(16’’)は、1回転方向に回転するように取り付けられ、周期的に振動することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の装置。
- 前記レンズホルダ(16,16’’)は、1kHzより大きな周波数で振動することを特徴とする請求項4又は5に記載の装置。
- 前記第2の駆動装置は、前記書き込みレンズ(14)の前記レンズホルダ(16,16’’)を前記書き込みビーム(12)に対して移動することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記第2の駆動装置は、前記光源(6,10)及び前記書き込みレンズ(14)の前記レンズホルダ(16,16’’)を前記記憶媒体(4)に対して移動することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記第2の駆動装置は、前記記憶媒体(4)を、前記光源(6,10)及び前記書き込みレンズ(14)の前記レンズホルダ(16,16’’)に対して移動することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記書き込みレンズ(14’)は、マイクロレンズとして形成されることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の装置。
- 互いに近接して配置された少なくとも2個の書き込みレンズ(14’)が設けられ、前記書き込みビーム(12)は前記少なくとも2個の書き込みレンズ(14’)を同時に照明することを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記書き込みレンズ(14’)はアレイ状に配置されていることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記記憶媒体(4)と前記書き込みレンズ(14,14’)の間の距離を調整する手段が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 請求項1に記載されたリソグラフで、記憶媒体にデジタルホログラムをリソグラフィ的に生成する方法であって、
書き込みビームが、光源及び書き込みレンズにより前記記憶媒体上に集束され、駆動手段により前記記憶媒体に対して2次元で移動され、
前記書き込みレンズは、前記書き込みビームの伝達方向に対して実質的に垂直な第1の移動方向で、前記光学的記憶媒体に対して移動され、
前記書き込みレンズの移動範囲内で、前記書き込みレンズのアパーチャは前記書き込みビームにより実質的に完全に照明され、
前記ホログラムは点毎に放射エネルギを導入することにより書かれ、前記書き込みビームの強度は前記記憶媒体上の前記書き込みビームの位置の関数として制御される方法。 - 前記書き込みレンズは、前記記憶媒体に対して、前記第1の移動方向を横切る第2の移動方向に移動される請求項14に記載の方法。
- 前記光源及び前記書き込みレンズは、前記記憶媒体に対して移動される請求項14に記載の方法。
- 前記記憶媒体は、前記光源及び前記書き込みレンズに対して移動される請求項14に記載の方法。
- 前記記憶媒体上の直角の点パターンは、前記書き込みビームにより走査される請求項14から17のいずれか1項に記載の方法。
- 前記書き込みビームと前記記憶媒体の間の前記第2の移動方向の前記相対的な移動は、前記第1の移動方向の前記書き込みレンズの移動の間不連続的に実行される請求項18に記載の方法。
- 書き込まれる前記記憶媒体の領域に沿った前記第1の移動方向の前記書き込みビームの移動の間、前記書き込みビーム前記第2の移動方向には移動せず、
書き込まれない前記記憶媒体の領域に沿った前記第1の移動方向の前記書き込みビームの移動の間、前記第1の移動方向を横切るように1ステップずつ移動される請求項19に記載の方法。 - 前記書き込みビームの前記第1の移動方向移動の間、前記書き込みビームは前記第2の移動方向に連続して移動される請求項18に記載の方法。
- 前記互いに近接して配置され、特にマイクロレンズの形に設計された少なくとも2個の書き込みレンズにより、ホログラムが前記媒体に同時に書き込まれる請求項14から21のいずれか1項に記載の方法。
- 前記書き込みレンズ又は書き込みマイクロレンズと前記記憶媒体との間の距離が、前記記憶媒体内の各種の深さに書き込むように設定される請求項14から22のいずれか1項に記載の方法。
- 対象物(4)を走査する顕微鏡であって、
所定のビーム断面を有する書き込みビーム(12)を生成する光源(6,10)と、
レンズホルダ(16)内に配置され、前記対象物(4)の表面上に前記観察ビーム(12)を集束するレンズ(14)と、
前記対象物(4)に対する前記観察ビーム(12)の2次元移動のための駆動手段と、を備える顕微鏡であって、
前記駆動手段は、前記レンズホルダ(16)を前記観察ビーム(12)に対して実質的に垂直に移動する第1の駆動装置(18)を含み、
前記レンズ(14)のアパーチャは、前記観察ビーム(12)のビーム断面より小さく、
前記第1の駆動装置(18)は、前記書き込みレンズ(14)を第1の移動方向に移動し、
前記駆動手段は、前記第1の移動方向を横切る第2の移動方向に、前記書き込みビーム(12)を前記記憶媒体(4)に対して移動する第2の駆動装置を備え、
前記第1の駆動装置(18)は、前記第2の駆動装置より高速の走査移動を行うことを特徴とする顕微鏡。 - 請求項2から14のいずれか1項に記載の1つ以上の特徴を有する請求項24に記載の顕微鏡。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10116059A DE10116059B4 (de) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | Lithograph mit bewegter Linse und Verfahren zum Herstellen digitaler Hologramme in einem Speichermedium |
PCT/EP2002/003517 WO2002079881A2 (de) | 2001-03-30 | 2002-03-28 | Lithographischer apparat mit bewegter linse zum herstellen digitaler hologramme |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004531844A JP2004531844A (ja) | 2004-10-14 |
JP3990289B2 true JP3990289B2 (ja) | 2007-10-10 |
Family
ID=7679869
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002577652A Expired - Fee Related JP3990289B2 (ja) | 2001-03-30 | 2002-03-28 | 移動レンズを有するリソグラフ及び記憶媒体にデジタルホログラムを生成する方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7123340B2 (ja) |
EP (1) | EP1373981B1 (ja) |
JP (1) | JP3990289B2 (ja) |
CN (1) | CN1284047C (ja) |
AU (1) | AU2002246118A1 (ja) |
DE (2) | DE10116059B4 (ja) |
ES (1) | ES2292735T3 (ja) |
WO (1) | WO2002079881A2 (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7413830B2 (en) * | 2001-04-12 | 2008-08-19 | Tesa Scribos Gmbh | Lithograph with one-dimensional trigger mask and method of producing digital holograms in a storage medium |
GB2395799B (en) * | 2001-07-27 | 2005-06-15 | Tesa Scribos Gmbh | Lithograph having a moving cylindrical lens system |
WO2005054953A2 (en) * | 2003-11-24 | 2005-06-16 | Carl-Zeiss Smt Ag | Holding device for an optical element in an objective |
EP1826632B1 (de) | 2006-02-22 | 2015-12-30 | tesa scribos GmbH | Verfahren zum Berechnen von computergenerierten Hologrammen auf einer unebenen Fläche |
EP2005251B1 (de) | 2006-04-04 | 2011-11-02 | tesa scribos GmbH | Vorrichtung und verfahren zur steuerung einer vorrichtung zur mikrostrukturierung eines speichermediums |
DE102006037216B4 (de) * | 2006-04-04 | 2017-07-13 | Tesa Scribos Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer Punkteverteilung in einem Speichermedium sowie ein Speichermedium |
DE102006032538A1 (de) | 2006-04-04 | 2007-10-11 | Tesa Scribos Gmbh | Speichermedium mit einem Sicherheitsmerkmal sowie Verfahren zur Herstellung eines Speichermediums mit einem Sicherheitsmerkmal |
DE102006032234A1 (de) | 2006-07-12 | 2008-01-17 | Tesa Scribos Gmbh | Verfahren zum Aufbringen eines Sicherheitsmerkmals auf ein Sicherheitsdokument sowie Sicherheitsdokument mit einem Sicherheitsmerkmal |
DE102007004857A1 (de) | 2007-01-31 | 2008-08-07 | Tesa Scribos Gmbh | Datenträger und Etikett sowie deren Herstellung |
DE102007006120A1 (de) | 2007-02-02 | 2008-08-07 | Tesa Scribos Gmbh | Speichermedium mit einer optisch veränderbaren Speicherschicht |
US7760331B2 (en) * | 2007-02-20 | 2010-07-20 | Electro Scientific Industries, Inc. | Decoupled, multiple stage positioning system |
CN101216679B (zh) * | 2007-12-28 | 2011-03-30 | 上海微电子装备有限公司 | 一种边缘曝光装置 |
NL1036701A1 (nl) * | 2008-04-15 | 2009-10-19 | Asml Holding Nv | Apparatus for supporting an optical element, and method of making same. |
DE102008048459A1 (de) | 2008-09-23 | 2010-03-25 | Pp-Mid Gmbh | Polymerformkörper mit leitfähigen Strukturen auf der Oberfläche, sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
WO2010015420A1 (de) * | 2008-08-08 | 2010-02-11 | Pp-Mid Gmbh | Polymerformkörper und leiterplatten-anordnung, sowie verfahren zu deren herstellung |
EP2151830A1 (de) | 2008-08-08 | 2010-02-10 | pp-mid GmbH | Polymerformkörper mit leitfähigen Strukturen auf der Oberfläche, sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102008061051A1 (de) | 2008-12-08 | 2010-06-10 | Pp-Mid Gmbh | Leiterplatten-Anordnung und leitfähige Klebstoffe zum Verbinden von Bauteilen mit der Leiterplatte sowie Verfahren zu deren Herstellung |
DE102009011538A1 (de) | 2009-03-03 | 2010-09-09 | Pp-Mid Gmbh | Leiterplatten-Anordnung, sowie Verfahren zu deren Herstellung |
DE102008051204A1 (de) | 2008-10-14 | 2010-04-15 | Tesa Scribos Gmbh | Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen in einem Speichermedium |
DE102009040112B4 (de) | 2009-09-04 | 2021-03-04 | Tesa Scribos Gmbh | Etikettenbahn mit einer Mehrzahl von Etiketten |
NL2006261A (en) * | 2010-02-25 | 2011-08-29 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method. |
DE102012215697A1 (de) | 2012-09-05 | 2014-03-06 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Blockierelement zum Schutz von optischen Elementen in Projektionsbelichtungsanlagen |
JP2016218150A (ja) * | 2015-05-15 | 2016-12-22 | 株式会社村田製作所 | ホログラム記録装置及びホログラム再生装置 |
JP2017129769A (ja) * | 2016-01-21 | 2017-07-27 | 富士ゼロックス株式会社 | ホログラム記録装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR920002820B1 (ko) * | 1987-05-27 | 1992-04-04 | 마쯔시다덴기산교 가부시기가이샤 | 주사형 투영 노광장치 |
AU5364094A (en) | 1992-10-27 | 1994-05-24 | Pmdc, Inc. | Optically readable information disc including visible ornamental hologram, and method of fabricating same |
JP2001500628A (ja) * | 1996-02-28 | 2001-01-16 | ケニス シー ジョンソン | マイクロリトグラフィ用マイクロレンズスキャナ及び広フィールド共焦顕微鏡 |
DE19626176A1 (de) * | 1996-06-29 | 1998-01-08 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Lithographie-Belichtungseinrichtung und Lithographie-Verfahren |
US6177980B1 (en) * | 1997-02-20 | 2001-01-23 | Kenneth C. Johnson | High-throughput, maskless lithography system |
TW460758B (en) * | 1998-05-14 | 2001-10-21 | Holographic Lithography System | A holographic lithography system for generating an interference pattern suitable for selectively exposing a photosensitive material |
WO2000072092A1 (de) * | 1999-05-19 | 2000-11-30 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Lithographie-belichtungseinrichtung und lithographie-verfahren |
US6379867B1 (en) * | 2000-01-10 | 2002-04-30 | Ball Semiconductor, Inc. | Moving exposure system and method for maskless lithography system |
-
2001
- 2001-03-30 DE DE10116059A patent/DE10116059B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-03-28 DE DE50210812T patent/DE50210812D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-28 WO PCT/EP2002/003517 patent/WO2002079881A2/de active IP Right Grant
- 2002-03-28 US US10/472,970 patent/US7123340B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-03-28 CN CNB028076222A patent/CN1284047C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-03-28 AU AU2002246118A patent/AU2002246118A1/en not_active Abandoned
- 2002-03-28 ES ES02714195T patent/ES2292735T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-28 EP EP02714195A patent/EP1373981B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-03-28 JP JP2002577652A patent/JP3990289B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES2292735T3 (es) | 2008-03-16 |
DE10116059B4 (de) | 2007-03-01 |
EP1373981B1 (de) | 2007-08-29 |
CN1284047C (zh) | 2006-11-08 |
CN1500233A (zh) | 2004-05-26 |
JP2004531844A (ja) | 2004-10-14 |
WO2002079881A3 (de) | 2003-10-16 |
DE10116059A1 (de) | 2002-11-07 |
DE50210812D1 (de) | 2007-10-11 |
US7123340B2 (en) | 2006-10-17 |
US20040150802A1 (en) | 2004-08-05 |
AU2002246118A1 (en) | 2002-10-15 |
WO2002079881A2 (de) | 2002-10-10 |
EP1373981A2 (de) | 2004-01-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050106 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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