JP3978049B2

JP3978049B2 - 誘導型位置トランスデューサ

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Publication number: JP3978049B2
Application number: JP2002052704A
Authority: JP
Inventors: 勝三郎辻
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2002-02-28
Filing date: 2002-02-28
Publication date: 2007-09-19
Anticipated expiration: 2022-02-28
Also published as: JP2003254783A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は誘導型位置トランスデューサ、特に読み取りヘッドとスケールとを備え、スケールに対する読み取りヘッドの絶対位置（ＡＢＳ）を検出する位置トランスデューサに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、誘導電流を用いた位置トランスデューサ（あるいは磁気エンコーダ）が知られている。位置トランスデューサは対向配置した読み取りヘッドとスケールとを備える。読み取りヘッド側に送信コイル及び受信コイルを備え、スケール側にも受信コイル及び送信コイルを備える。読み取りヘッド側の送信コイルから磁界を発生させ、この磁界によりスケール側の受信コイルに誘導電流を生じさせる。スケール側の送信コイルと受信コイルは接続され、生じた誘導電流により送信コイルから磁界が生じる。読み取りヘッド側の受信コイルは、スケール側の送信コイルから発生した磁界を検出し、検出信号として出力する。検出信号の位相は、読み取りヘッドとスケールとの位置関係に応じて変動するから、検出信号の位相に基づき読み取りヘッドのスケール上の基準ポイントからの位置、すなわち絶対位置を検出することができる。
【０００３】
通常、スケール側には、互いに異なるピッチ（波長）λ１及びλ２を有する送信コイルをスケールの幅方向に並設し、λ１とλ２の位相差に基づき絶対位置を検出する。すなわち、λ１のコイルのみではλ１毎に検出信号の位相が同一となるため、λ１を超える絶対位置を一義的に決定することができない。そこで、λ１とλ２の位相差に基づき、λ１が何周期目かを検出することで絶対位置を検出する。λ１をλｆｉｎｅとし、λ１とλ２の位相差の１周期をλｍｅｄと定義し、λｍｅｄ内にλｆｉｎｅが含まれる数をｎとすると以下の式が成り立つ。
【０００４】
【数１】
λｍｅｄ＝ｎ・λｆｉｎｅ・・・（１）
ｎはλ１とλ２の波長差により決定される値であり、波長差が小さいほどｎは大きくなり絶対位置を検出できる長さ（測定範囲）は増大する。λ１とλ２の位相差の値が、３６０度をｎ等分した範囲のうちどの範囲に入っているかを判定することでλ１の周期数がわかり、（λ１の周期）×（λ１の周期数）＋（λ１の位相）により絶対位置が算出される。
【０００５】
このように２波長型位置トランスデューサでは測定範囲が拡大されるが、同様に３波長型、つまりスケール側にλ１、λ２及びλ３の異なる３波長を有する送信コイルを配置した位置トランスデューサも提案されている。
【０００６】
図７には、このような３波長型位置トランスデューサの構成が示されている。図７（ａ）はスケール側の構成であり、図７（ｂ）は読み取りヘッド（グリッド）側の構成である。実際には、スケールと読み取りヘッドは互いに重なるように対向配置されるが、図では説明の都合上、両者をそれぞれ並べて示している。
【０００７】
スケール側には、波長λ１のコイルが形成されるとともに、波長λ２及びλ３のコイルも形成される。波長λ１のコイルは、中央の送信コイル１０と当該中央送信コイル１０を挟むようにその両側に配置された受信コイル１１から形成される。また、波長λ２及びλ３のコイルは、それぞれ送信コイルと受信コイルを兼用する。すなわち、波長λ２とλ３のコイルは接続され、波長λ２の送信コイル１２にとっての受信コイルは波長λ３の送信コイル１４であり、波長λ３の送信コイル１４に生じた誘導電流で波長λ２の送信コイル１２は磁界を発生させる。波長λ３の送信コイル１４にとっての受信コイルは波長λ２の送信コイル１２であり、波長λ２の送信コイル１２に生じた誘導電流で波長λ３の送信コイル１４は磁界を発生させる。
【０００８】
一方、グリッド側には、波長λ１の受信コイル１１に向けて磁界を発生する送信コイル２０及び波長λ１の送信コイル１０から発生する磁界を検出する受信コイル３０が設けられる。また、λ２の受信コイルに向けて磁界を発生する送信コイル２２及びλ２の送信コイル１２からの磁界を検出する受信コイル３２が設けられる。さらに、λ３の受信コイルに対し磁界を発生する送信コイル２４及び波長λ３の送信コイル１４からの磁界を検出する受信コイル３４が設けられる。グリッドの送信コイル２０はスケールの受信コイル１１に対向し、受信コイル３０は送信コイル１０に対向して磁気結合する。同様に、送信コイル２４は送信コイル１２（波長λ３の送信コイル１４にとっての受信コイル）に対向し、受信コイル３２は送信コイル１２に対向して磁気結合する。送信コイル２２は送信コイル１４（波長λ２の送信コイル１２にとっての受信コイル）に対向し、受信コイル３４は送信コイル１４に対向して磁気結合する。
【０００９】
グリッド側の送信コイル２０、２２、２４には順次駆動電流が時分割で供給され、受信コイル３０、３２、３４はそれぞれの駆動電流によりスケールの送信コイル１０、１２、１４で順次発生した磁界を検出して信号を出力する。λ１でλｆｉｎｅ、λ１とλ２の位相差でλｍｅｄ、λ２とλ３の位相差でλｃｏａを形成する。λｃｏａ内に含まれるλｍｅｄの数をｍとすると、
【数２】
λｃｏａ＝ｍ・λｍｅｄ＝ｍ・ｎ・λｆｉｎｅ＝ｍ・ｎ・λ１・・・（２）
となる。測定範囲はｍ・ｎで決定されるので、２波長λ１、λ２を用いた位置トランスデューサに比べて測定範囲が増大する。
【００１０】
図８には、上述したλｆｉｎｅ、λｍｅｄ、λｃｏａの位置精度が示されている。図において、横軸はスケールの基準ポイントからの位置であり、縦軸は位相である。λｆｉｎｅ、λｍｅｄ、λｃｏａの順で精度が低く（粗く）なり、これらを組み合わせることでλｃｏａの範囲内で絶対位置を一義的に決定できる。
【００１１】
なお、λｆｉｎｅ、λｍｅｄ、λｃｏａは、具体的には以下のように定義される。
【００１２】
【数３】
λｆｉｎｅ＝λ１
λｍｅｄ＝λ２λ１／（λ２−λ１）＝ｎλｆｉｎｅ
λｃｏａ＝λ３λ２／（λ３−λ２）＝ｍλｍｅｄ・・・（３）
ここで、ｍ及びｎは正の整数である。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】
このように、３波長λ１、λ２、λ３を用いることで測定範囲を増大させることが可能であるが、図７に示されるように、λ２とλ３について送信コイルと受信コイルを共通化したとしてもスケールの幅方向に合計５列のコイル群が形成されることとなり、スケールサイズ、ひいては位置トランスデューサのサイズが増大してしまう問題があった。近年、特にＮＣ等においては装置の小型化が図られており、これらの装置に取り付けて位置データを出力する位置トランスデューサにおいても一層の小型及び高精度化が要求されている。
【００１４】
本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑みなされたものであり、その目的は、小型かつ高精度の３波長型位置トランスデューサを提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は、磁界発生手段及び磁界検出手段を有する読み取りヘッドと、前記読み取りヘッドに対向配置され、前記磁界発生手段からの磁界により誘導電流を発生する受信コイルと前記誘導電流により磁界を発生させる送信コイルからなる磁気結合コイルが測定方向に沿って所定ピッチλで形成されたスケールとを備え、前記スケールの前記送信コイルからの磁界を前記磁界検出手段で検出して得られる検出信号の位相に基づき前記読み取りヘッドの前記スケールに対する位置を検出する誘導型トランスデューサであって、前記磁気結合コイルは、第１のピッチλ１で前記測定方向に沿って形成された第１送信コイルと、前記第１のピッチλ１と異なる第２のピッチλ２で前記測定方向に沿って形成され、前記第１送信コイルの片側に形成された第２送信コイルと、前記第１のピッチλ１及び第２のピッチλ２と異なる第３のピッチλ３で前記測定方向に沿って形成され、前記第１送信コイルを挟んで前記第２送信コイルの反対側に形成された第３送信コイルと、を有し、前記第１送信コイルは、前記第２送信コイルに接続されるコイルと、前記第２送信コイルに接続されるコイルに隣接して設けられるコイルであって前記第３送信コイルに接続されるコイルと、から構成され、前記第２送信コイル及び前記第３送信コイルは前記第１送信コイルに接続された受信コイルとして機能し、前記第１送信コイルは前記第２送信コイルあるいは前記第３送信コイルに接続された受信コイルとして機能し、前記第１のピッチλ１、第２のピッチλ２、第３のピッチλ３は、λ２＜λ３＜λ１またはλ３＜λ２＜λ１なる大小関係を満たすことを特徴とする。
【００１６】
ここで、前記第１送信コイル、第２送信コイル及び第３送信コイルは、前記スケールの幅方向に並んで形成され、前記第１送信コイルは第２送信コイルと前記第３送信コイルの間に形成されることが好適である。
【００１８】
この場合、前記第１送信コイルからの磁界の検出信号の位相と、前記第１送信コイルからの磁界の検出信号の位相と前記第２送信コイルからの磁界の検出信号の位相との位相差と、前記第１送信コイルからの磁界の検出信号の位相と前記第３送信コイルからの磁界の検出信号の位相との位相差に基づいて前記位置を検出することが好適である。
【００１９】
このように、本発明の位置トランスデューサ（磁気エンコーダ）では、λ１、λ２、λ３の３ピッチ（３波長）のコイルを用いるが、スケール側のコイル配置として送信コイルと受信コイルを互いに兼用させることでスケール幅方向のコイル数を削減し、サイズを縮小化する。すなわち、第１送信コイル（λ１コイル）と第２送信コイル（λ２コイル）を接続してλ２コイルをλ１コイルの受信コイルとして機能させる。すなわち、読み取りヘッド側の送信コイルから生じた磁界はλ２コイルに誘導電流を生じさせ、その誘導電流がλ１コイルに供給されてλ１コイルから磁界を発生させる。同様に、λ１コイルをλ２コイルの受信コイルとして機能させる。第１送信コイルと第３送信コイルとの関係も同様である。このように、３つの送信コイルがそれぞれ接続された送信コイルの受信コイルとしても機能することで、コイル数を削減して小型化することができる。なお、第１送信コイル（λ１コイル）、第２送信コイル（λ２コイル）、第３送信コイル（λ３コイル）は時分割で駆動されるため、送受信を兼用しても問題は生じない。
【００２０】
また、それぞれピッチ（波長）の異なる第１送信コイルと第２送信コイルを接続し、第１送信コイルと第３送信コイルを接続する場合、第１送信コイルのピッチを最小とすると第１送信コイルで接続不能の「浮きコイル」あるいは「歯抜け」が生じ得、このような浮きの部分では位置を検出できないため精度が低下する。そこで、λ１の周期数を検出するにすぎない第２送信コイルあるいは第３送信コイルに浮きあるいは歯抜けを生じさせることで、浮きあるいは歯抜けが精度に与える影響を抑制することができる。λ１の浮きあるいは歯抜けの防止は、λ１のピッチが最大となる波長構成を採用することで得られる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づき本発明の実施形態について説明する。
【００２２】
図１には、本実施形態に係る３波長型位置トランスデューサ（磁気エンコーダ）の構成が示されている。図１（ａ）はスケール側の構成であり、図１（ｂ）は読み取りヘッド（グリッド）側の構成である。なお、実際にはスケールとグリッドは所定距離だけ離間して対向配置されることは従来装置と同様である。まず、スケール側の構成について説明する。
【００２３】
スケール側には、波長（ピッチ）λ１の送信コイル１０、波長λ２の送信コイル１２、及び波長λ３の送信コイル１４がスケールの幅方向に並んで形成される。波長λ１の送信コイル１０は、波長λ２の送信コイル１２と波長λ３の送信コイル１４との間に配置される。波長λ１の送信コイル１０は波長λ２の送信コイル１２に接続されるコイルと、当該送信コイル１２に接続されるコイルに隣接して設けられるとともに波長λ３の送信コイル１４に接続されるコイルと、から構成される。波長λ２の送信コイル１２は波長λ１の送信コイル１０にとって受信コイルとして機能する。また、波長λ１の送信コイル１０は波長λ２の送信コイル１２にとっての受信コイルとして機能する。同様に、波長λ３の送信コイル１４は波長λ１の送信コイル１０にとっての受信コイルとして機能し、波長λ１の送信コイル１０は、波長λ３の送信コイル１４にとっての受信コイルとして機能する。
【００２４】
一方、グリッド側の構成は以下の通りである。すなわち、送信コイル２０、２２、２４が設けられ、送信コイル２０は波長λ２の送信コイル１２及び波長λ３の送信コイル１４に対向して配置され、送信コイル２２及び２４は波長λ１の送信コイル１０に対向して配置される。また、送信コイル１０に対向して受信コイル３０が配置され、送信コイル１２に対向して受信コイル３２が配置され、送信コイル１４に対向して受信コイル３４が配置されてそれぞれ磁気結合する。
【００２５】
送信コイル２０に駆動電流を供給することで、送信コイル２０から波長λ２の送信コイル１２（波長λ１の送信コイル１０にとっての受信コイル）及び波長λ３の送信コイル１４（波長λ１の送信コイルにとっての受信コイル）に向けて磁界が発生し、波長λ２の送信コイル１２で生じた誘導電流は送信コイル１０を構成するコイルのうち送信コイル１２に接続されたコイルに、波長λ３の送信コイル１４で発生した誘導電流は送信コイル１０を構成するコイルのうち送信コイル１４に接続されたコイルに、それぞれ供給される。波長λ１の送信コイル１０に供給された誘導電流により磁界が生じ、この磁界は波長λ１の送信コイル１０に対向して配置された受信コイル３０で受信され検出信号として出力される。
【００２６】
また、送信コイル２２に駆動電流を供給することにより、送信コイル２２から波長λ１の送信コイル１０に向けて磁界が発生し、波長λ１の送信コイル１０に誘導電流が生じる。この誘導電流は波長λ２の送信コイル１２に供給され、波長λ２の送信コイル１２から磁界が発生して受信コイル３２で受信され検出信号として出力される。
【００２７】
さらに、送信コイル２４に駆動電流を供給することにより、送信コイル２４から波長λ１の送信コイル１０に向けて磁界が発生し、送信コイル１０に誘導電流が生じる。この誘導電流は送信コイル１４に供給される。送信コイル１４は、この誘導電流により磁界を発生し、送信コイル１４に対向して配置された受信コイル３４で受信され検出信号として出力される。送信コイル２０、２２、２４は従来装置と同様に順次駆動される。
【００２８】
スケール側の３波長のコイルは互いに送信コイル及び受信コイルとして機能するため、図７と異なりスケール幅方向に３列だけコイルを形成すればよく、スケールの幅を縮小させることができる。
【００２９】
以下、本実施形態の３波長型位置エンコーダの作用についてより詳細に説明する。
【００３０】
図２〜図４には、送信コイル２０、２２、２４を順次駆動する場合のスケールとグリッドの作用説明図が示されている。図２は、送信コイル２０を駆動する場合の作用説明図である。グリッド側の送信コイル２０はスケール側の送信コイル１２と１４に対向配置し、グリッド側の受信コイル３０はスケール側の送信コイル１０に対向配置する。グリッド側の送信コイル２０を駆動することでスケール側の送信コイル１０から磁界が生じ、この磁界を受信コイル３０で受信し検出信号を出力する。スケール側の送信コイル１０には、送信コイル１２に接続されたコイルには送信コイル１２からの誘導電流が、送信コイル１４に接続されたコイルには送信コイル１４からの誘導電流がそれぞれ供給される。この送信コイル１２に接続されたコイルの周囲に形成される磁界と、送信コイル１４に接続されたコイルの周囲に形成される磁界と、が互いに干渉して強め合うため、送信コイル１０で生じた磁界を検出する受信コイル３０では強度の大きな検出信号が得られる。すなわち、ノイズに強い測定を行うことができる。検出信号の周期はλ１である。
【００３１】
図３は、送信コイル２２を駆動する場合の作用説明図である。グリッド側の送信コイル２２はスケール側の送信コイル１０に対向配置され、グリッド側の受信コイル３２はスケール側の送信コイル１２に対向配置される。送信コイル２２を駆動することにより、送信コイル１０を介して送信コイル１２から磁界が生じ、この磁界を受信コイル３２で検出する。受信コイル３２からの検出信号は、周期λ２の検出信号である。
【００３２】
図４は、送信コイル２４を駆動する場合の作用説明図である。グリッド側の送信コイル２４はスケール側の送信コイル１０に対向配置され、グリッド側の受信コイル３４はスケール側の送信コイル１４に対向配置される。送信コイル２４を駆動することにより送信コイル１０を介してスケール側の送信コイル１４から磁界が生じ、この磁界を受信コイル３４で検出する。受信コイル３４からの検出信号は、周期λ３の検出信号である。
【００３３】
したがって、従来装置と同様に、λ１でλｆｉｎｅ、λ１とλ２の位相差でλｍｅｄ、λ２とλ３の位相差でλｃｏａを構成し、これらλｆｉｎｅ、λｍｅｄ、λｃｏａを用いて絶対位置を検出することができる。
【００３４】
一方、このように３波長λ１、λ２、λ３の送信コイルと受信コイルを兼用してスケールに形成することで、いわゆるコイルの「歯抜け」が生じる問題がある。これは、３つのコイルがそれぞれλ１、λ２、λ３と異なる波長を有するため、λ１のコイルとλ２のコイル、及びλ１のコイルとλ３のコイルを接続する際に、両コイルの位置関係が次第にずれていくためあるところではもはや接続することができず、接続の「飛び」が生じるからである。
【００３５】
図５には、λ１のコイルを中央に配置し、λ２及びλ３のコイルを両側に配置した場合の歯抜けの様子が示されている。例えば、λ１＝１．０２４ｍｍ、λ２＝１．０９２ｍｍ、λ３＝１．０２８ｍｍとすると、λ２のコイルと接続できないλ１コイル、及びλ３と接続できないλ１コイルが生じている（図中「浮きコイル」と示される部分）。このような浮きコイル（あるいは歯抜け）が存在すると、その部分で磁界の周期的分布が乱れてしまい、特に最も高精度の送信コイルである波長λ１の送信コイル１０に生じると検出精度に大きな影響がある。
【００３６】
そこで、本実施形態では、単にλ１＜λ２＜λ３（あるいはλ１＜λ３＜λ２）とするのではなく、波長構成を変更して精度低下を抑制する。
【００３７】
具体的には、スケールの中央に位置するλ１送信コイル１０の波長λ１を最大とし、
λ２＜λ３＜λ１
あるいは
λ３＜λ２＜λ１
とする。このような波長構成とすることで、λ１ではなくλ２あるいはλ３に歯抜けを生じさせることができる。λ２及びλ３はλｍｅｄ及びλｃｏａを算出するためだけのものであるから、許容される誤差はλ１に比べて格段に大きく、したがって歯抜けによる精度低下を抑制することが可能である。具体的には、例えばλ１＝１．０２４ｍｍ、λ２＝０．９６３ｍｍ、λ３＝１．０２０ｍｍとすればよく、これによりλ２の送信コイル１２のみに歯抜けを生じさせることが可能である。図６には、λ２＜λ３＜λ１とした場合のスケール側のコイル構成が示されている。
【００３８】
なお、歯抜けを防止するためにλ１を大きくすると、その分だけ分解能が低下することとなるが、λ１の検出信号はその強度が大きいため十分な検出精度を確保できる。
【００３９】
また、例えばλ２＜λ３＜λ１としてλ２に歯抜けが生じた場合、λ１で定義されるλｆｉｎｅには影響がないものの、λ１とλ２の位相差で定義されるλｍｅｄやλ２とλ３で定義されるλｃｏａの精度が低下する。特に、λｃｏａに関しては精度の低いλ２とλ３を用いているためその影響が大きいと考えられる。そこで、λ２あるいはλ３に歯抜けを生じさせた場合、λｃｏａはλ２とλ３の位相差で定義するのではなく、λ１とλ３の位相差で定義することが好ましい。具体的には、以下のように定義される。
【００４０】
【数４】
λｆｉｎｅ＝λ１
λｍｅｄ＝λ２λ１／（λ２−λ１）
λｃｏａ＝λ３λ１／（λ３−λ１）・・・（４）
このように、本実施形態では、３波長型位置トランスデューサで、スケール側のコイル配置としてスケール幅方向にコイルが３列に並ぶような構成としたので、スケールサイズ、ひいては位置トランスデューサ全体のサイズを縮小化することができる。
【００４１】
また、本実施形態では、３列コイル構成とした場合の、コイルの浮きあるいは歯抜けを最も精度の高いλ１のコイルに生じさせるのではなく、λｍｅｄあるいはλｃｏａを精製するためだけのコイルλ２あるいはλ３に生じさせるような波長構成とし、かつ、λｃｏａをλ２とλ３ではなくλ１とλ３で定義しているため、浮きあるいは歯抜けによる精度低下を効果的に抑制することができる。
【００４２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば検出範囲を増大させるとともに小型かつ高精度の位置トランスデューサを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態に係る位置トランスデューサのスケールとグリッド構成図である。
【図２】図１において送信コイル２０を駆動した場合の作用説明図である。
【図３】図１において送信コイル２２を駆動した場合の作用説明図である。
【図４】図１において送信コイル２４を駆動した場合の作用説明図である。
【図５】 λ１送信コイルの歯抜け（浮き）説明図である。
【図６】 λ２送信コイルの歯抜け（浮き）説明図である。
【図７】従来の３波長型位置トランスデューサのスケールとグリッド構成図である。
【図８】図７の３波長型位置エンコーダのλｆｉｎｅ、λｍｅｄ、λｃｏａの説明図である。
【符号の説明】
１０，１２，１４送信コイル（スケール側）、２０，２２，２４送信コイル（グリッド側）、３０，３２，３４受信コイル（グリッド側）。

Claims

磁界発生手段及び磁界検出手段を有する読み取りヘッドと、
前記読み取りヘッドに対向配置され、前記磁界発生手段からの磁界により誘導電流を発生する受信コイルと前記誘導電流により磁界を発生させる送信コイルからなる磁気結合コイルが測定方向に沿って所定ピッチλで形成されたスケールと、
を備え、前記スケールの前記送信コイルからの磁界を前記磁界検出手段で検出して得られる検出信号の位相に基づき前記読み取りヘッドの前記スケールに対する位置を検出する誘導型トランスデューサであって、
前記磁気結合コイルは、
第１のピッチλ１で前記測定方向に沿って形成された第１送信コイルと、
前記第１のピッチλ１と異なる第２のピッチλ２で前記測定方向に沿って形成され、前記第１送信コイルの片側に形成された第２送信コイルと、
前記第１のピッチλ１及び第２のピッチλ２と異なる第３のピッチλ３で前記測定方向に沿って形成され、前記第１送信コイルを挟んで前記第２送信コイルの反対側に形成された第３送信コイルと、
を有し、
前記第１送信コイルは、前記第２送信コイルに接続されるコイルと、前記第２送信コイルに接続されるコイルに隣接して設けられるコイルであって前記第３送信コイルに接続されるコイルと、から構成され、
前記第２送信コイル及び前記第３送信コイルは前記第１送信コイルに接続された受信コイルとして機能し、前記第１送信コイルは前記第２送信コイルあるいは前記第３送信コイルに接続された受信コイルとして機能し、
前記第１のピッチλ１、第２のピッチλ２、第３のピッチλ３は、λ２＜λ３＜λ１なる大小関係を満たす
ことを特徴とする誘導型位置トランスデューサ。
磁界発生手段及び磁界検出手段を有する読み取りヘッドと、
前記読み取りヘッドに対向配置され、前記磁界発生手段からの磁界により誘導電流を発生する受信コイルと前記誘導電流により磁界を発生させる送信コイルからなる磁気結合コイルが測定方向に沿って所定ピッチλで形成されたスケールと、
を備え、前記スケールの前記送信コイルからの磁界を前記磁界検出手段で検出して得られる検出信号の位相に基づき前記読み取りヘッドの前記スケールに対する位置を検出する誘導型トランスデューサであって、
前記磁気結合コイルは、
第１のピッチλ１で前記測定方向に沿って形成された第１送信コイルと、
前記第１のピッチλ１と異なる第２のピッチλ２で前記測定方向に沿って形成され、前記第１送信コイルの片側に形成された第２送信コイルと、
前記第１のピッチλ１及び第２のピッチλ２と異なる第３のピッチλ３で前記測定方向に沿って形成され、前記第１送信コイルを挟んで前記第２送信コイルの反対側に形成された第３送信コイルと、
を有し、
前記第１送信コイルは、前記第２送信コイルに接続されるコイルと、前記第２送信コイルに接続されるコイルに隣接して設けられるコイルであって前記第３送信コイルに接続されるコイルと、から構成され、
前記第２送信コイル及び前記第３送信コイルは前記第１送信コイルに接続された受信コイルとして機能し、前記第１送信コイルは前記第２送信コイルあるいは前記第３送信コイルに接続された受信コイルとして機能し、
前記第１のピッチλ１、第２のピッチλ２、第３のピッチλ３は、λ３＜λ２＜λ１なる大小関係を満たす
ことを特徴とする誘導型位置トランスデューサ。
請求項１または２に記載の位置トランスデューサにおいて、
前記第１送信コイル、第２送信コイル及び第３送信コイルは、前記スケールの幅方向に並んで形成され、前記第１送信コイルは第２送信コイルと前記第３送信コイルの間に形成されることを特徴とする誘導型位置トランスデューサ。
請求項１から３のいずれかに記載の位置トランスデューサにおいて、
前記第１送信コイルからの磁界の検出信号の位相と、
前記第１送信コイルからの磁界の検出信号の位相と前記第２送信コイルからの磁界の検出信号の位相との位相差と、
前記第１送信コイルからの磁界の検出信号の位相と前記第３送信コイルからの磁界の検出信号の位相との位相差
に基づいて前記位置を検出することを特徴とする誘導型位置トランスデューサ。