JP3970527B2

JP3970527B2 - Rotation drive device and disk master production apparatus using the same

Info

Publication number: JP3970527B2
Application number: JP2001026746A
Authority: JP
Inventors: 治熊坂; 正規小林; 弘喜金田; 正己曽根; 健二上村; 和巳栗山
Original assignee: Pioneer Corp
Current assignee: Pioneer Corp
Priority date: 2001-02-02
Filing date: 2001-02-02
Publication date: 2007-09-05
Anticipated expiration: 2021-02-02
Also published as: JP2002230845A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は回転駆動装置、特に、真空中で用いられる回転駆動装置及びこれを用いたディスク原盤製造装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
可視域、紫外域のレーザ光を用いたディスク原盤のカッティングは、記録用レーザ光のスポット径の限界によって記録分解能が制限される。そこで、可視域、紫外域のレーザ光よりも短波長で記録分解能の向上が図られる電子ビームを用いたディスク原盤製造装置によってディスク原盤のカッティングを行なうことが検討され、走査形電子顕微鏡と類似の鏡筒を用いたディスク原盤製造装置が開発されている。
【０００３】
電子ビームは、大気雰囲気中において著しく拡散、減衰する特性を有していることから、その伝搬経路に他の媒体が存在するのは好ましくなく、真空雰囲気下で使用される。従って、電子銃、原盤回転駆動装置、原盤移送装置は、真空容器に収容され真空雰囲気内で用いられる。
ディスク原盤製造装置には、ディスク原盤に対して微細なピッチで微小な凹凸パターンの潜像を形成することから、各駆動装置が極めて高精度に位置決め制御されると共に駆動制御される必要がある。
【０００４】
情報記録媒体用原盤に情報を記録（カッティング）する際、ディスク原盤をターンテーブル上に載置し、電子ビーム照射手段から電子ビームを出射させて原盤表面に照射させることで表面上に潜像を形成させる。この場合、ターンテーブルに回転力を付与する原盤回転駆動装置として電磁モータを用いるため、かかるモータの近傍には電磁場が発生する。この電磁場は、出射される電子ビームの飛翔方向等に悪影響を及ぼし、カッティング精度を低下させる。
【０００５】
そこで、特許第３０４０８８７号公報（特開平６−１３１７０６号）に示されるような、モータよる電磁場の影響を電子ビームから遮断すべく、電磁モータを磁気シールド手段により囲繞したディスク原盤製造装置が開発されている。
従来のディスク原盤製造装置における回転駆動装置において、スピンドルシャフトは、静圧空気軸受によりスピンドルチャンバ内に軸支され、モータによって回転駆動される。スピンドルチャンバとスピンドルシャフトとの径方向の間隙には、軸受け用のエアーを真空室から遮断するための圧力シール（磁性流体シール）が設けられている。
【０００６】
かかるディスク原盤製造装置では、ターンテーブルに高電圧を供給するため高電圧ケーブルをスピンドルシャフト内に設ける場合がある。高電圧ケーブルは、その１端部にスピンドルチャンバ内の空間に露出したロ−タリ型などの高電圧接点を有し、スピンドルシャフトの回転時において、当該高電圧接点及びこれに電気的に接続された引出ケーブルを介して外部電源から高電圧が供給されるように構成される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した回転駆動装置においては、高電圧ケーブルの接点がスピンドルチャンバ内の空間に露出するため、当該高電圧接点と接地電位であるスピンドルチャンバやモータのコイルを収容しているハウジングとの間の距離が近いと放電を生じるおそれがある。従って、高電圧接点と接地電位であるスピンドルチャンバ及びハウジング等との間の距離を大きくとる必要があるため、回転駆動装置を小型化することが困難であった。
【０００８】
本発明は、上述した点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、小型化が可能で回転性能に優れ、高電圧供給機能を備えた高性能回転駆動装置及びこれを用いたディスク原盤製造装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明による回転駆動装置は、スピンドルチャンバと、スピンドルチャンバから１端部が露出しつつ収容され気体軸受によって回転自在に支持されたスピンドルシャフトと、スピンドルシャフトを回転駆動するモータと、スピンドルチャンバとスピンドルシャフトとの間隙に介在する圧力シールと、スピンドルシャフト内に収容され、一部がスピンドルチャンバ内の空間に露出した高電圧線と、を備えた回転駆動装置であって、当該高電圧線が露出した空間に絶縁性気体を導入する手段を有することを特徴としている。
【００１０】
また、本発明によるディスク原盤製造装置は、基板を回転駆動する回転駆動装置と、電子ビームを射出する電子ビーム射出手段と、電子ビームの偏向制御を行う偏向制御手段と、電子ビームを収束せしめて基板に照射する電子ビーム収束手段と、を備えたディスク原盤製造装置であって、上記回転駆動装置は、スピンドルチャンバと、スピンドルチャンバから１端部が露出しつつ収容され気体軸受によって回転自在に支持されたスピンドルシャフトと、スピンドルシャフトを回転駆動するモータと、スピンドルチャンバとスピンドルシャフトとの間隙に介在する圧力シールと、スピンドルシャフト内に収容され、一部がスピンドルチャンバ内の空間に露出した高電圧線と、高電圧線が露出した空間に絶縁性気体を導入する手段と、を有することを特徴としている。
【００１１】
【発明の実施の形態】
本発明の実施例を図面を参照しつつ詳細に説明する。
図１は、本発明の実施例である回転駆動装置１０の構成を示す断面図である。
図１に示すように、回転駆動装置１０のスピンドルチャンバ１１内部には、スピンドルシャフト１２と、スピンドルシャフトを回転駆動する電磁モータ１３が収容されている。スピンドルシャフト１２はスピンドルチャンバ１１から１端部が露出し、気体軸受１４によって回転自在に軸支されている。この例ではスピンドルシャフト１２の端部近傍において、圧力シール（磁性流体シール）１５が、スピンドルチャンバ１１の開口部とスピンドルシャフト１２との径方向の間隙に介在するように、スピンドルシャフト１２を囲繞して設けられている。磁性流体シール１５によりスピンドルチャンバ１１内部の気密性が保持される。
【００１２】
スピンドルチャンバ１１内のスピンドルシャフト１２にはスピンドルシャフト１２を回転駆動するモータ（本体）１３Ａが取り付けられている。ハウジング１７内に設けられたコイル１３Ｂに電流を流すことにより発生した電磁力を利用してスピンドルシャフト１２を回転させることができる。これにより、スピンドルチャンバ１１外におけるスピンドルシャフト１２の他端に固定された、例えば、ターンテーブル１０１等の回転体を回転させることができる。
【００１３】
スピンドルチャンバ１１内には、ターンテーブル１０１に高電圧を供給するための高電圧ケーブル２１が設けられている。高電圧ケーブル２１は、その１端部にスピンドルチャンバ１１内の空間に露出したロ−タリ型などの高電圧接点２３を有している。スピンドルシャフト１２の回転時において、高電圧接点２３及びこれに電気的に接続された引出ケーブル２４を介して外部電源（図示しない）から高電圧が供給される。
【００１４】
気体軸受１４においては、バルブ２５を介して外部から供給されたＳＦ₆などの絶縁性気体が加圧循環ポンプ２７により循環されている。すなわち、加圧循環ポンプ２７からの絶縁性気体は、パイプ２８Ａを経て気体軸受１４に供給され、スピンドルチャンバ１１内に充満する。また、スピンドルチャンバ１１内の絶縁性気体は、パイプ２８Ｂを経て循環される。
【００１５】
従って、上記した高電圧接点２３の周囲の空間も絶縁性気体で満たされるため、放電開始電圧を高めることができる。つまり、高電圧接点２３とスピンドルチャンバ１１及びハウジング１７等との放電が起こりにくくなるため、これらの間の距離（図中のＡ及びＢ）を短くできる。すなわち、スピンドルシャフト１２を短くすることができるので、スピンドルチャンバ１１を小型化することが可能になる。さらに、スピンドルシャフト１２を短くできることにより、回転端部が短くかつ軽量になるために、回転性能も向上する。
【００１６】
次に、上記回転駆動装置を用いたディスク原盤製造装置について説明する。
図２に示すように、ディスク原盤製造装置３０は、真空チャンバ３１と、真空チャンバ３１内に配置されたディスク原盤１００を回転駆動するターンテーブル１０１と、ターンテーブル１０１を回転駆動させる回転駆動装置１０と、この回転駆動装置１０をディスク原盤の半径方向に移動させる原盤移動駆動装置４０と、ターンテーブル１０１に高電圧を供給するための高電圧電源３３と、絶縁性気体を回転駆動装置１０に供給するための加圧循環ポンプ２７等と、真空チャンバ３１に取り付けられた電子ビーム出射ヘッド部と、を備えている。電子ビーム出射ヘッド部は、一端に電子ビーム出射口５０Ａが形成された電子銃筒５０と、電子銃筒５０の各要素を制御するための後述する各制御部及びコントローラ６００とから構成されている。
【００１７】
電子銃筒５０は、その電子ビーム出射口５０Ａが真空チャンバ３１内部に挿入されるように、鉛直に真空チャンバ３１へ固定されている。すなわち、電子銃筒５０の電子ビーム出射口５０Ａが真空チャンバ３１内の空間に臨ませた状態で真空チャンバの天井面に取り付けられている。電子ビーム出射口５０Ａは、回転駆動装置１０のターンテーブル１０１上に位置決めされたディスク原盤１００の主面と近接した状態で対向配置されている。
【００１８】
電子銃筒５０は、電子ビーム出射口５０Ａから遠い側から、電子銃５１、集束レンズ５２、ブランキング電極５３、アパーチャ５４、ビーム偏向電極５５、フォーカス調整レンズ５６及び対物レンズ５７を筒体内に備え、この順で内部に配置されている。
真空チャンバ３１は、エアーダンパなどの防振台（図示しない）を介して設置されており、外部からの振動の伝達が抑制されている。また、真空チャンバ３１には、真空ポンプ３５が接続されており、これによって真空チャンバ３１内を排気することによってチャンバ内部が所定圧力の真空雰囲気となるように制御されている。
【００１９】
図２のディスク原盤製造装置におけるディスク原盤の回転駆動装置１０には、前述した図１に示す回転駆動装置１０が用いられている。すなわち、回転駆動装置１０のスピンドルチャンバ１１内に設けられた高電圧ケーブル２１には、高電圧接点２３を介して高電圧電源３３から負の高電圧が供給される。かかる高電圧はターンテーブル１０１上のディスク原盤１００に負の高電圧を印加し、入射する電子ビームを減速させるために用いられる。あるいは、他の用途に用いられてもよい。
【００２０】
また、スピンドルチャンバ１１内の気体軸受１４には、伸縮自在な連結パイプ２８Ｃを介して加圧循環ポンプ２７が結合され、絶縁性気体が導入されている。すなわち、バルブ２５を介して加圧循環ポンプ２７に供給された絶縁性気体は、連結パイプ２８Ｃを経て気体軸受１４に供給され、循環されている。
かかる回転駆動装置は上記した構成を有するため、前述のように小型でかつ回転性能も良好である。
【００２１】
ターンテーブル１０１がスピンドルシャフト１２の端部に固定された回転駆動装置１０は、原盤移動駆動装置４０により水平方向に移動自在に支持されている。ディスク原盤１００は、上記した静電チャッキング機構によりターンテーブル１０１上に位置決めされ、保持されている。
コントローラ６００は、ブランキング電極を調整駆動するブランキング電極駆動部５３０、ビーム偏向電極を調整駆動するビーム偏向電極駆動部５５０、及びフォーカス調整レンズ５６を調整駆動するフォーカスレンズ駆動部５６０を含む電子ビーム出射ヘッド部における電子銃筒５０の各要素を制御する。
【００２２】
コントローラ６００により制御される加速高電圧電源部５１０の電力供給によって、電子銃５１は、１０ＫＶ前後の高電圧により陰極から発せられた電子を、陽極により数十ＫｅＶに加速して電子ビームを放出する。集束レンズ５２は、放出された電子ビームを集束してアパーチャ５４へと導く。ブランキング電極５３は電子ビーム出射のオン／オフ制御を行う。
【００２３】
ブランキング電極駆動部５３０は、コントローラ６００から供給される制御信号に応答して、ブランキング電極５３間に電圧を印加して通過する電子ビームを大きく偏向させる。これにより、電子ビームはアパーチャ５４の絞り孔に集束されない状態となって電子ビームの出射が阻止され、オフ状態となる。
ビーム偏向電極駆動部５５０は、コントローラ６００から供給される制御信号に応答して、ビーム偏向電極５５間に電圧を印加して通過する電子ビームを偏向させる。これにより、ディスク原盤１００の所定位置に対する電子ビームスポットの位置制御を行う。
【００２４】
フォーカスレンズ駆動部５６０は、高さ検出部７００からの制御信号に応答してディスク原盤の主面に照射される電子ビームのビームスポットの焦点調整を行う。高さ検出部７００は、光源７０１から出射され、ディスク原盤１００の表面で反射された光をディテクタ７０２（ポジションセンサ、ＣＣＤなど）で受光し、その出力に基づいてディスク原盤の主面の高さを検出する。
【００２５】
コントローラ６００は、電子ビーム出射ヘッド部の各要素だけでなく、各種制御信号を、回転駆動装置１０、原盤移動駆動装置４０、真空ポンプ３５などに供給し、これらを制御する。
上記のディスク原盤製造装置を用いたディスク原盤の作製は、概ね以下の手順である。ディスク原盤をディスク原盤製造装置のターンテーブルに装着して、装置内部を所定雰囲気にする。ディスク原盤は、ガラスなどからなる基板と、その上にスピンコート法などにより所定の厚さに塗布形成された電子線用レジスト層からなる。
【００２６】
情報信号によって変調された電子ビームを原盤の主面に直接照射すると共に、原盤を回転させることで、ピットやグループなどの微小凹凸パターンの潜像を螺旋状に配列した潜像（現像後のピット）を原盤上に形成する。
ディスク原盤は、カッティング終了後に現像処理が施され、電子ビームで照射された部分のレジスト層が除去され、微小な凹凸パターンが形成され、情報が記録されたディスク原盤が作製される。なお、微小な凹凸パターンが形成されたディスク原盤表面に導電膜を形成し、電鋳処理が施されてスタンパが作製される。
【００２７】
【発明の効果】
上記したことから明らかなように、本発明によれば、小型化が可能な高性能回転駆動装置及びこれを用いたディスク原盤製造装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例である回転駆動装置の構成を示す断面図である。
【図２】図１に示す回転駆動装置を用いたディスク原盤製造装置の構成を示す図である。
【主要部分の符号の説明】
１０回転駆動装置
１１スピンドルチャンバ
１２スピンドルシャフト
１３モータ
１４気体軸受
１５磁性流体シール
１７ハウジング
２１高電圧ケーブル
２３高電圧接点
２４引出ケーブル
２７加圧循環ポンプ
３０ディスク原盤製造装置
３１真空チャンバ
３３高電圧電源
３５真空ポンプ
４０原盤移動駆動装置
５０電子銃筒
１００ディスク原盤
１０１ターンテーブル
６００コントローラ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a rotary drive device, and more particularly to a rotary drive device used in a vacuum and a disk master manufacturing apparatus using the same.
[0002]
[Prior art]
In the cutting of a disc master using laser light in the visible region and ultraviolet region, the recording resolution is limited by the limit of the spot diameter of the recording laser light. Therefore, it is considered that the disc master is cut by a disc master manufacturing apparatus using an electron beam that can improve the recording resolution at a shorter wavelength than laser light in the visible region and the ultraviolet region, and is similar to a scanning electron microscope. Disc master production equipment using a lens barrel has been developed.
[0003]
Since the electron beam has a characteristic of diffusing and attenuating remarkably in the air atmosphere, it is not preferable that another medium exists in the propagation path, and the electron beam is used in a vacuum atmosphere. Therefore, the electron gun, the master disk rotation driving device, and the master disk transfer device are accommodated in a vacuum container and used in a vacuum atmosphere.
Since the disk master manufacturing apparatus forms a latent image with a minute uneven pattern with a fine pitch on the disk master, each drive device needs to be positioned and controlled with extremely high accuracy.
[0004]
When recording (cutting) information on an information recording medium master, the disk master is placed on a turntable, and an electron beam is emitted from the electron beam irradiation means to irradiate the surface of the master, thereby forming a latent image on the surface. Let it form. In this case, since an electromagnetic motor is used as a master disk rotation driving device that applies a rotational force to the turntable, an electromagnetic field is generated in the vicinity of the motor. This electromagnetic field adversely affects the flight direction of the emitted electron beam and reduces cutting accuracy.
[0005]
Therefore, as shown in Japanese Patent No. 3040887 (Japanese Patent Laid-Open No. 6-131706), a disk master production apparatus in which an electromagnetic motor is surrounded by a magnetic shield means has been developed in order to block the influence of the electromagnetic field from the motor from the electron beam. ing.
In a conventional rotary drive device in a disk master production apparatus, a spindle shaft is supported in a spindle chamber by a static pressure air bearing and is driven to rotate by a motor. A radial seal between the spindle chamber and the spindle shaft is provided with a pressure seal (magnetic fluid seal) for blocking bearing air from the vacuum chamber.
[0006]
In such a disk master manufacturing apparatus, a high voltage cable may be provided in the spindle shaft in order to supply a high voltage to the turntable. The high voltage cable has a high voltage contact such as a rotary type exposed in the space in the spindle chamber at one end thereof, and is electrically connected to the high voltage contact and the rotation when the spindle shaft rotates. In addition, a high voltage is supplied from an external power source via the lead-out cable.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the rotary drive device described above, since the contact of the high voltage cable is exposed to the space in the spindle chamber, it is between the high voltage contact and the housing that houses the spindle chamber and motor coil that are at ground potential. If the distance is short, there is a risk of discharge. Therefore, it is necessary to increase the distance between the high-voltage contact and the spindle chamber, the housing, and the like, which are at the ground potential, and it is difficult to reduce the size of the rotary drive device.
[0008]
The present invention has been made in view of the above-described points, and an object of the present invention is to use a high-performance rotary drive device that can be reduced in size, has excellent rotational performance, and has a high-voltage supply function. It is to provide a disk master production apparatus.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
A rotary drive device according to the present invention includes a spindle chamber, a spindle shaft that is housed with one end exposed from the spindle chamber and rotatably supported by a gas bearing, a motor that rotationally drives the spindle shaft, the spindle chamber, and the spindle A rotary drive device comprising: a pressure seal interposed in a gap with a shaft; and a high voltage line housed in the spindle shaft and partially exposed to a space in the spindle chamber, wherein the high voltage line is exposed It is characterized by having means for introducing an insulating gas into the space.
[0010]
In addition, a disk master manufacturing apparatus according to the present invention includes a rotation driving device that rotates and drives a substrate, an electron beam emitting unit that emits an electron beam, a deflection control unit that performs deflection control of the electron beam, and converges the electron beam. An apparatus for manufacturing a master disk, comprising: an electron beam converging means for irradiating a substrate, wherein the rotary drive device is housed while being exposed at one end from the spindle chamber, and is rotatably supported by a gas bearing. Spindle shaft, motor for rotating the spindle shaft, pressure seal interposed in the gap between the spindle chamber and the spindle shaft, and high voltage housed in the spindle shaft and partially exposed to the space in the spindle chamber And means for introducing an insulating gas into the space where the high voltage line is exposed. It is characterized in.
[0011]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a rotary drive device 10 according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, a spindle shaft 12 and an electromagnetic motor 13 that rotationally drives the spindle shaft are accommodated in the spindle chamber 11 of the rotation driving device 10. One end of the spindle shaft 12 is exposed from the spindle chamber 11 and is rotatably supported by a gas bearing 14. In this example, in the vicinity of the end of the spindle shaft 12, a pressure seal (magnetic fluid seal) 15 surrounds the spindle shaft 12 so as to be interposed in a radial gap between the opening of the spindle chamber 11 and the spindle shaft 12. Is provided. The magnetic fluid seal 15 maintains the airtightness inside the spindle chamber 11.
[0012]
A motor (main body) 13 </ b> A for rotating the spindle shaft 12 is attached to the spindle shaft 12 in the spindle chamber 11. The spindle shaft 12 can be rotated using an electromagnetic force generated by passing an electric current through a coil 13B provided in the housing 17. Thereby, for example, a rotating body such as the turntable 101 fixed to the other end of the spindle shaft 12 outside the spindle chamber 11 can be rotated.
[0013]
A high voltage cable 21 for supplying a high voltage to the turntable 101 is provided in the spindle chamber 11. The high voltage cable 21 has a high voltage contact 23 such as a rotary type exposed at a space in the spindle chamber 11 at one end thereof. When the spindle shaft 12 rotates, a high voltage is supplied from an external power source (not shown) through the high voltage contact 23 and the lead cable 24 electrically connected thereto.
[0014]
In the gas bearing 14, an insulating gas such as SF ₆ supplied from the outside via the valve 25 is circulated by the pressurized circulation pump 27. That is, the insulating gas from the pressurized circulation pump 27 is supplied to the gas bearing 14 through the pipe 28 </ b> A and fills the spindle chamber 11. The insulating gas in the spindle chamber 11 is circulated through the pipe 28B.
[0015]
Accordingly, since the space around the high voltage contact 23 is also filled with the insulating gas, the discharge start voltage can be increased. That is, since the high-voltage contact 23 and the spindle chamber 11 and the housing 17 are less likely to be discharged, the distance between them (A and B in the figure) can be shortened. That is, since the spindle shaft 12 can be shortened, the spindle chamber 11 can be reduced in size. Furthermore, since the spindle shaft 12 can be shortened, the rotation end portion is short and light, and thus the rotation performance is improved.
[0016]
Next, a disk master manufacturing apparatus using the above rotary drive device will be described.
As shown in FIG. 2, the disk master production apparatus 30 includes a vacuum chamber 31, a turntable 101 that rotationally drives the disk master 100 disposed in the vacuum chamber 31, and a rotary drive device 10 that rotationally drives the turntable 101. The master drive moving device 40 for moving the rotary drive device 10 in the radial direction of the disc master, the high voltage power source 33 for supplying a high voltage to the turntable 101, and supplying the insulating gas to the rotary drive device 10. And a pressure circulation pump 27 and the like, and an electron beam emitting head portion attached to the vacuum chamber 31 are provided. The electron beam emission head unit includes an electron barrel 50 having an electron beam emission port 50 </ b> A formed at one end, and a control unit and a controller 600 described later for controlling each element of the electron barrel 50. .
[0017]
The electron barrel 50 is vertically fixed to the vacuum chamber 31 so that the electron beam exit 50A is inserted into the vacuum chamber 31. That is, the electron beam emitting port 50A of the electron gun barrel 50 is attached to the ceiling surface of the vacuum chamber in a state where it faces the space in the vacuum chamber 31. The electron beam exit 50 </ b> A is disposed to face the main surface of the disc master 100 positioned on the turntable 101 of the rotary drive device 10 in a state of being close to the main surface.
[0018]
The electron gun barrel 50 includes an electron gun 51, a focusing lens 52, a blanking electrode 53, an aperture 54, a beam deflection electrode 55, a focus adjustment lens 56, and an objective lens 57 in the cylinder from the side far from the electron beam exit 50A. Are arranged inside in this order.
The vacuum chamber 31 is installed via an anti-vibration table (not shown) such as an air damper, and vibration transmission from the outside is suppressed. In addition, a vacuum pump 35 is connected to the vacuum chamber 31, and the interior of the chamber is controlled to be a vacuum atmosphere at a predetermined pressure by evacuating the inside of the vacuum chamber 31.
[0019]
The above-described rotary drive device 10 shown in FIG. 1 is used as the rotary drive device 10 for the master disc in the master disc manufacturing apparatus of FIG. That is, a negative high voltage is supplied from the high voltage power supply 33 to the high voltage cable 21 provided in the spindle chamber 11 of the rotary drive device 10 via the high voltage contact 23. Such a high voltage is used to apply a negative high voltage to the disc master 100 on the turntable 101 and decelerate the incident electron beam. Or you may use for another use.
[0020]
In addition, a pressure circulation pump 27 is coupled to the gas bearing 14 in the spindle chamber 11 via a telescopic connecting pipe 28C, and an insulating gas is introduced. That is, the insulating gas supplied to the pressure circulation pump 27 via the valve 25 is supplied to the gas bearing 14 via the connecting pipe 28C and circulated.
Since such a rotary drive device has the above-described configuration, it is small and has a good rotational performance as described above.
[0021]
The rotary drive device 10 in which the turntable 101 is fixed to the end of the spindle shaft 12 is supported by the master disk drive device 40 so as to be movable in the horizontal direction. The disc master 100 is positioned and held on the turntable 101 by the electrostatic chucking mechanism described above.
The controller 600 includes a blanking electrode driver 530 that adjusts and drives the blanking electrode, a beam deflection electrode driver 550 that adjusts and drives the beam deflection electrode, and a focus lens driver 560 that adjusts and drives the focus adjustment lens 56. Each element of the electron barrel 50 in the emission head unit is controlled.
[0022]
By supplying power from the acceleration high-voltage power supply unit 510 controlled by the controller 600, the electron gun 51 accelerates electrons emitted from the cathode by a high voltage of about 10 KV to several tens KeV and emits an electron beam. . The focusing lens 52 focuses the emitted electron beam and guides it to the aperture 54. The blanking electrode 53 performs on / off control of electron beam emission.
[0023]
In response to a control signal supplied from the controller 600, the blanking electrode driver 530 applies a voltage between the blanking electrodes 53 to greatly deflect the passing electron beam. As a result, the electron beam is not focused on the aperture hole of the aperture 54 so that the emission of the electron beam is blocked and the electron beam is turned off.
In response to a control signal supplied from the controller 600, the beam deflection electrode driver 550 applies a voltage between the beam deflection electrodes 55 to deflect the passing electron beam. Thereby, the position control of the electron beam spot with respect to the predetermined position of the disc master 100 is performed.
[0024]
The focus lens driving unit 560 adjusts the focus of the beam spot of the electron beam irradiated on the main surface of the disc master in response to a control signal from the height detection unit 700. The height detector 700 receives light emitted from the light source 701 and reflected by the surface of the disc master 100 by a detector 702 (position sensor, CCD, etc.), and the height of the main surface of the disc master is based on the output. Is detected.
[0025]
The controller 600 supplies not only each element of the electron beam emitting head unit but also various control signals to the rotation driving device 10, the master disk movement driving device 40, the vacuum pump 35, etc., and controls them.
The production of a disc master using the above-described disc master production apparatus is generally performed as follows. The disk master is mounted on the turntable of the disk master manufacturing apparatus, and the inside of the apparatus is brought into a predetermined atmosphere. The disc master is composed of a substrate made of glass or the like, and an electron beam resist layer formed on the substrate by spin coating or the like to a predetermined thickness.
[0026]
Directly irradiate the main surface of the master with an electron beam modulated by an information signal, and rotate the master to create a latent image (lattice image of developed pits and groups) in a spiral pattern. ) On the master.
The disc master is subjected to development processing after the cutting is completed, the resist layer in the portion irradiated with the electron beam is removed, a minute uneven pattern is formed, and a disc master on which information is recorded is produced. In addition, a conductive film is formed on the surface of the disk master on which a minute uneven pattern is formed, and an electroforming process is performed to produce a stamper.
[0027]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, according to the present invention, it is possible to realize a high-performance rotary drive device that can be miniaturized and a disk master production apparatus using the same.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of a rotary drive device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a disc master manufacturing apparatus using the rotary drive device shown in FIG. 1;
[Explanation of main part codes]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Rotation drive apparatus 11 Spindle chamber 12 Spindle shaft 13 Motor 14 Gas bearing 15 Magnetic fluid seal 17 Housing 21 High voltage cable 23 High voltage contact 24 Extraction cable 27 Pressure circulation pump 30 Disc master production apparatus 31 Vacuum chamber 33 High voltage power supply 35 Vacuum pump 40 Master disk drive 50 Electronic barrel 100 Disk master 101 Turntable 600 Controller

Claims

スピンドルチャンバと、前記スピンドルチャンバから１端部が露出しつつ収容され気体軸受によって回転自在に支持されたスピンドルシャフトと、前記スピンドルシャフトを回転駆動するモータと、前記スピンドルチャンバと前記スピンドルシャフトとの間隙に介在する圧力シールと、前記スピンドルシャフト内に収容され、一部が前記スピンドルチャンバ内の空間に露出した高電圧線と、を備えた回転駆動装置であって、
前記高電圧線が露出した空間に絶縁性気体を導入する手段を有することを特徴とする回転駆動装置。A spindle chamber, a spindle shaft housed with one end exposed from the spindle chamber and supported rotatably by a gas bearing, a motor for rotationally driving the spindle shaft, and a gap between the spindle chamber and the spindle shaft A rotary drive device comprising: a pressure seal interposed in the spindle shaft; and a high voltage wire housed in the spindle shaft and partially exposed to a space in the spindle chamber,
A rotary drive device comprising means for introducing an insulating gas into a space where the high voltage line is exposed.

基板を回転駆動する回転駆動装置と、電子ビームを射出する電子ビーム射出手段と、前記電子ビームの偏向制御を行う偏向制御手段と、前記電子ビームを収束せしめて前記基板に照射する電子ビーム収束手段と、を備えたディスク原盤製造装置であって、
前記回転駆動装置は、スピンドルチャンバと、前記スピンドルチャンバから１端部が露出しつつ収容され気体軸受によって回転自在に支持されたスピンドルシャフトと、前記スピンドルシャフトを回転駆動するモータと、前記スピンドルチャンバと前記スピンドルシャフトとの間隙に介在する圧力シールと、前記スピンドルシャフト内に収容され、一部が前記スピンドルチャンバ内の空間に露出した高電圧線と、前記高電圧線が露出した空間に絶縁性気体を導入する手段と、を有することを特徴とするディスク原盤製造装置。A rotation driving device for rotating the substrate; an electron beam emitting means for emitting an electron beam; a deflection control means for controlling the deflection of the electron beam; and an electron beam converging means for converging the electron beam to irradiate the substrate. And a disc master production apparatus comprising:
The rotary drive device includes a spindle chamber, a spindle shaft that is accommodated while being exposed at one end from the spindle chamber and rotatably supported by a gas bearing, a motor that rotationally drives the spindle shaft, and the spindle chamber A pressure seal interposed in a gap with the spindle shaft, a high voltage line housed in the spindle shaft, a part of which is exposed in the space in the spindle chamber, and an insulating gas in the space in which the high voltage line is exposed And a means for introducing a disc master.