JP3963660B2

JP3963660B2 - Clean room air conditioning system

Info

Publication number: JP3963660B2
Application number: JP2001140800A
Authority: JP
Inventors: 允和山形; 州三秋田; 正明篠原; 正鈴木; 利壽清水
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd; Kubota Corp; Kubota Air Conditioner Ltd
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd; Kubota Corp; Kubota Air Conditioner Ltd
Priority date: 2001-05-11
Filing date: 2001-05-11
Publication date: 2007-08-22
Anticipated expiration: 2021-05-11
Also published as: JP2002333180A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はクリーンルーム用空調システムに関し、半導体、液晶等の生産ラインを設置するクリーンルームにおける空気調和の技術に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば図６〜図７に示すように、従来のクリーンルーム用空調システム１では、外気処理空気調和機（図示省略）を通して供給する外気ＯＡは床置きドライコイルユニット２を通って給気流路３に流入し、天井面に設けたファン・フィルタユニット４を通ってクリーンルーム５に垂直層流で流入し、孔あき床６を通って還気流路７に流入し、床置きドライコイルユニット２に循環する。還気流路７に流入する空気の一部は排気処理装置であるスクラバー（図示省略）を通って系外へ流れ出る。
【０００３】
また、他の構成としては、図８に示すように、床置きファン付ドライコイルユニット８を使用するものがある。
外気処理空気調和機（図示省略）は、外気の粉塵、ガスを除去し、外気を所定の温度、湿度に調節し、送風量を調節してクリーンルーム５の内部を所定の圧力に制御する。スクラバー（図示省略）は、クリーンルーム５の空気を外部へ排出するために、半導体、液晶の製造過程で発生する有害ガスを除去する。床置きドライコイルユニット２および床置きファン付ドライコイルユニット８は、半導体、液晶の製造・検査設備、その他クリーンルーム５の内部で発生する熱負荷を処理する。ファン・フィルタユニット４は、クリーンルーム５の空気を循環させるとともに、クリーンルーム内で発生した塵埃や汚染ガスの除去を行なう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記した構成においては、クリーンルーム５の全領域を一つの制御対象領域として扱うものであり、その温度制御を外気処理空気調和機、床置きドライコイルユニット２もしくは床置きファン付ドライコイルユニット８において一元的に行っている。
【０００５】
ところで、クリーンルーム５においては、半導体、液晶等の製造設備および検査設備の配置構成に由来して場所（ゾーン）毎に熱負荷（発生熱量）が異なっている。また、ライン構成の変更に伴う各設備の配置変えに伴ってクリーンルーム５の各場所の熱負荷が変化する。
【０００６】
しかし、上述したように、従来においてはクリーンルーム５の全領域を一つの制御対象領域として温度制御しており、クリーンルーム５の内部に形成する循環空気流路系が１形態の固定的な配置であるために、クリーンルーム５において熱負荷の異なる各場所を個別にその最適な所定温度に維持することができない。
【０００７】
本発明は上記した課題を解決するものであり、クリーンルームにおける各場所の熱負荷に応じて最適な温度制御を行うことができるクリーンルーム用空調システムを提供することを目的とする。
【０００８】
上記した課題を解決するために、請求項１に係る本発明のクリーンルーム用空調システムは、天井面の上方に給気流路を有し、床面の下方に還気流路を有し、天井面にファン・フィルタユニットを配置し、床面に孔あき床を配置し、給気流路に流入する空気が天井面に設けたファン・フィルタユニットを通って室内に垂直層流で流入し、室内の空気が孔あき床を通って還気流路に流出し、還気流路から給気流路へ空気が循環するクリーンルーム用空調システムにおいて、還気流路と給気流路とを連通する循環空気用ダクトを室内の所定範囲毎に設置して室内に複数の循環空気流路系を形成し、給気流路に複数のファン付ドライコイルユニットを室内の所定範囲毎に対応させて配置し、ファン付ドライコイルユニットが、室内の各所定範囲で循環する空気の一部を吸込口から吸い込み、給気口から下方の給気流路に向けて、もしくは給気流路の天面に向けて噴出するものである。
【０００９】
上記した構成により、空気は給気流路から天井面のファン・フィルタユニットを通して室内の各所定範囲に垂直層流で流入し、床面の孔あき床を通って還気流路に流出し、各循環空気用ダクトを通って給気流路に戻ることで室内の各所定範囲において循環し、室内の各所定範囲で循環する空気は給気流路において各ファン付ドライコイルユニットにより室内の各所定範囲の目標温度に調整される。
【００１０】
このように、室内の各所定範囲毎に、給気流路、ファン付ドライコイルユニット、ファン・フィルタユニット、還気流路、循環空気用ダクトによって循環空気流路系が形成されるので、クリーンルーム内の室内の各所定範囲において独立した雰囲気を維持することができ、室内の各所定範囲を個別の異なる温度に制御することができるので、クリーンルームにおいて、半導体、液晶等の製造設備および検査設備の配置構成に由来して室内の各所定範囲毎に異なる熱負荷となっても、室内の各所定範囲を最適な温度に維持できる。
【００１１】
ファン付ドライコイルユニットは、給気流路の天面の天井下梁間に設置することで、特別の空間を必要とせずに、従来の無駄なスペースであった天井下梁間の空間を有効利用して設置することができる。
【００１２】
請求項２に係る本発明のクリーンルーム用空調システムは、天井面に配置する複数のファン・フィルタユニットをそれぞれ着脱自在に配置し、各ファン・フィルタユニットの直下にファン・フィルタユニットと同寸法で孔あき床を形成するフロアデッキを着脱自在に配置し、任意のファン・フィルタユニットとフロアデッキとを取り外して循環空気用ダクトを着脱自在に配置したものである。
【００１３】
上記した構成により、循環空気用ダクトを任意の位置に配置替えして循環空気流路系をフレキシブルに変更することで、各ファン付ドライコイルユニットに対応する室内の各所定範囲の広さを任意に設定し直すことができ、クリーンルーム内のライン構成の変更による各設備の配置変えに伴って生じるクリーンルームの各場所の熱負荷の変化に対して、空調能力を柔軟に変更することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１〜図３において、クリーンルーム用空調システムは構造壁体５０の外部に外気処理空気調和機５１を配置し、天井面５２の上方に給気流路５３を形成し、天井面５２に複数のファン・フィルタユニット５４を配置している。クリーンルーム５５は天井面５２と床面の孔あき床５６との間に形成し、孔あき床５６の下方に還気流路５７を形成し、還気流路５７に排気処理装置（スクラバー）５８を接続している。
【００１７】
天井面５２に配置する各ファン・フィルタユニット５４はそれぞれ着脱自在に配置し、孔あき床５６はファン・フィルタユニット５４と同寸法をなす複数のフロアデッキ５６ａからなり、各フロアデッキ５６ａを各ファン・フィルタユニット５４の直下に着脱自在に配置している。室内の各所定範囲には還気流路５７と給気流路５３とを連通する循環空気用ダクト５９を任意のファン・フィルタユニット５４とフロアデッキ５６ａとを取り外して着脱自在に配置している。
【００１８】
給気流路５３には複数のファン付ドライコイルユニット６０を室内の所定範囲毎に対応させて配置している。各ファン付ドライコイルユニット６０は、給気流路５３の天面の天井下梁５３ａの間に設置しており、特別の空間を必要とせずに、従来の無駄なスペースであった天井下梁間の空間を有効利用して設置することができる。
【００１９】
図３に示すように、ファン付ドライコイルユニット６０はケーシング６１の一側面に吸込口６２を有し、下面に給気口６３を有し、内部に冷却コイル６４を配置しており、給気口６３に送風ファン６５を配置している。冷却コイル６４には熱媒体として冷水を供給するフレキシブルな熱媒体用配管６６が着脱自在に接続している。
【００２０】
外気処理空気調和機５１は、送風機７１によって外気ＯＡを吸い込んで送気するものであり、粗塵除去を行なうプレフィルタ７２と、細塵除去を行なう中性能フィルタ７３と、冷却もしくは加熱を行なう予冷・予熱コイル７４と、水溶性汚染ガス除去および加湿を行なうエアワッシャ７５と、冷却を行なう冷却コイル７６と、加熱を行なう再熱コイル７７と、活性炭フィルタや吸着剤含浸マット等からなり非水溶性汚染ガス除去を行なうケミカルフィルタ７８と、微細塵除去を行なう超高性能エアフィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）７９からなり、外気を適温、適湿の清浄空気として供給する。
【００２１】
以下、上記した構成における作用を説明する。外気ＯＡは外気処理空気調和機５１を通って給気流路５３に流入し、天井面に設けた複数のファン・フィルタユニット５４を通ってクリーンルーム５５に垂直層流で流入し、孔あき床５６を通って還気流路５７に流入し、各循環空気用ダクト５９を通って給気流路５３に戻ることで室内の各所定範囲において循環し、還気流路５７に流入する空気の一部は排気処理装置（スクラバー）５８を通って系外へ流出する。
【００２２】
室内の各所定範囲で循環する空気の一部は給気流路５３において各ファン付ドライコイルユニット６０に吸込口６２から流入し、冷却コイル６４で室内の各所定範囲の目標温度に調整された後に、送風ファン６５によって給気口６３から下方に噴出し、天井面５２のファン・フィルタユニット５４を通して室内の各所定範囲に垂直層流で流入する。
【００２３】
このように、室内の各所定範囲毎に、給気流路５３、ファン付ドライコイルユニット６０、ファン・フィルタユニット５４、還気流路５７、循環空気用ダクト５９によって循環空気流路系が形成されるので、クリーンルーム５５の室内の各所定範囲において独立した雰囲気を維持することができ、室内の各所定範囲を個別の異なる温度に制御することができるので、クリーンルーム５５において、半導体、液晶等の製造設備および検査設備の配置構成に由来して室内の各所定範囲毎に異なる熱負荷となっても、それぞれの熱負荷を各ファン付ドライコイルユニット６０で処理することで、室内の各所定範囲を最適な温度に維持できる。
【００２４】
ファン付ドライコイルユニット６０は、その冷却コイル６４にフレキシブルな熱媒体用配管６６を着脱自在に接続しているので、クリーンルーム５５におけるライン構成を変更した場合には、熱媒体用配管６６の接続構成を変更することで、各設備の配置変えに由来してクリーンルーム５５の各場所の熱負荷が変化することに追従して空調能力を柔軟に変更することができる。
【００２５】
図４から図５に示すように、ファン付ドライコイルユニット６０は空気を給気流路５３の天面に向けて噴出するように配置することもでき、空気は天面で反転して後にファン・フィルタユニット５４に流入する。
【００２６】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、給気流路において各ファン付ドライコイルユニットで室内の各所定範囲の目標温度に調整された空気が、天井面のファン・フィルタユニットを通して室内の各所定範囲に垂直層流で流入し、孔あき床を通して還気流路へ流入した空気が循環空気用ダクトを通して給気流路へ戻り、室内の各所定範囲において形成する循環空気流路系で空気が循環することで、クリーンルーム内の室内の各所定範囲において独立した雰囲気を維持することができ、室内の各所定範囲を個別の異なる温度に制御することができ、半導体、液晶等の製造設備および検査設備の配置構成に由来して室内の各所定範囲毎に異なる熱負荷となっても、室内の各所定範囲を最適な温度に維持できる。
【００２７】
循環空気用ダクトを任意の位置に配置替えして循環空気流路系をフレキシブルに変更することで、各ファン付ドライコイルユニットに対応する室内の各所定範囲の広さを任意に設定し直すことができ、クリーンルーム内のライン構成の変更による各設備の配置変えに伴って生じるクリーンルームの各場所の熱負荷の変化に対して、空調能力を柔軟に変更することができる。
【００２８】
熱媒体用配管をフレキシブルに、かつ各ファン・フィルタユニットの冷却コイルへ着脱自在に接続することで、クリーンルーム内のライン構成の変更に伴う各設備の配置変えに伴ってクリーンルームの各場所の熱負荷が変化しても、任意のファン付ドライコイルユニットを稼動させて空調能力を柔軟に変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態におけるクリーンルーム用空調システムを示す模式図である。
【図２】同クリーンルーム用空調システムにおける要部拡大図である。
【図３】同クリーンルーム用空調システムにおけるファン付ドライコイルユニットを示す断面図である。
【図４】本発明の他の実施の形態におけるクリーンルーム用空調システムを示す模式図である。
【図５】同クリーンルーム用空調システムにおけるファン付ドライコイルユニットを示す断面図である。
【図６】従来のクリーンルーム用空調システムを示す模式図である。
【図７】同クリーンルーム用空調システムにおける要部拡大図である。
【図８】従来の他のクリーンルーム用空調システムを示す模式図である。
【符号の説明】
５０構造壁体
５１外気処理空気調和機
５２天井面
５３給気流路
５３ａ天井下梁
５４ファン・フィルタユニット
５５クリーンルーム
５６孔あき床
５６ａフロアデッキ
５７還気流路
５８排気処理装置（スクラバー）
５９循環空気用ダクト
６０ファン付ドライコイルユニット
６１ケーシング
６２吸込口
６３給気口
６４冷却コイル
６５送風ファン
６６熱媒体用配管
７１送風機
７２プレフィルタ
７３中性能フィルタ
７４予冷・予熱コイル
７５エアワッシャ
７６冷却コイル
７７再熱コイル
７８ケミカルフィルタ
７９超高性能エアフィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an air conditioning system for a clean room, and relates to air conditioning technology in a clean room in which a production line for semiconductors, liquid crystals, and the like is installed.
[0002]
[Prior art]
For example, as shown in FIGS. 6 to 7, in the conventional clean room air conditioning system 1, the outside air OA supplied through the outside air processing air conditioner (not shown) flows into the air supply passage 3 through the floor-standing dry coil unit 2. Then, it flows into the clean room 5 through the fan / filter unit 4 provided on the ceiling surface in a vertical laminar flow, flows into the return air flow path 7 through the perforated floor 6, and circulates to the floor-mounted dry coil unit 2. Part of the air flowing into the return air flow path 7 flows out of the system through a scrubber (not shown) that is an exhaust treatment device.
[0003]
Further, as another configuration, as shown in FIG. 8, there is one using a dry coil unit 8 with a floor-standing fan.
An outside air processing air conditioner (not shown) removes dust and gas from the outside air, adjusts the outside air to a predetermined temperature and humidity, and adjusts the amount of air to control the inside of the clean room 5 to a predetermined pressure. The scrubber (not shown) removes harmful gases generated in the process of manufacturing semiconductors and liquid crystals in order to discharge the air in the clean room 5 to the outside. The floor-mounted dry coil unit 2 and the floor-mounted fan-equipped dry coil unit 8 process semiconductors, liquid crystal manufacturing / inspection equipment, and other thermal loads generated inside the clean room 5. The fan / filter unit 4 circulates air in the clean room 5 and removes dust and polluted gas generated in the clean room.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
In the above-described configuration, the entire area of the clean room 5 is handled as one control target area, and the temperature control is unified in the outside air processing air conditioner, the floor-mounted dry coil unit 2 or the floor-mounted fan-equipped dry coil unit 8. Is going.
[0005]
By the way, in the clean room 5, the heat load (generated heat amount) is different for each place (zone) due to the arrangement configuration of manufacturing equipment and inspection equipment such as semiconductor and liquid crystal. Moreover, the thermal load of each place of the clean room 5 changes with the change of arrangement of each facility accompanying the change of the line configuration.
[0006]
However, as described above, conventionally, the temperature of the entire area of the clean room 5 is controlled as one control target area, and the circulating air flow path system formed inside the clean room 5 is a fixed arrangement in one form. For this reason, in the clean room 5, each place where the heat load is different cannot be individually maintained at the optimum predetermined temperature.
[0007]
This invention solves an above-described subject, and it aims at providing the air conditioning system for clean rooms which can perform optimal temperature control according to the thermal load of each place in a clean room.
[0008]
In order to solve the above-described problems, the clean room air conditioning system of the present invention according to claim 1 has an air supply channel above the ceiling surface, a return air channel below the floor surface, and a ceiling surface. A fan / filter unit is placed, a perforated floor is placed on the floor, and the air flowing into the air supply passage flows into the room in a vertical laminar flow through the fan / filter unit provided on the ceiling surface. In a clean room air conditioning system in which air flows out from the return air flow path to the supply air flow path through the perforated floor, a circulating air duct that communicates the return air flow path with the supply air flow path is installed in the room. forming a plurality of circulating air channel system into the room by installing a predetermined range, and a plurality of fans with dry coil units to correspond to each predetermined range of room air supply channel arranged, dry coil unit with fan Circulate in each indoor range Suction part of the air from the inlet to, toward the air inlet to the air intake passage of the lower, or is to ejected toward the top surface of the air supply channel.
[0009]
With the configuration described above, air flows in a vertical laminar flow from the air supply passage through the fan / filter unit on the ceiling surface to each predetermined range in the room, flows out through the perforated floor on the floor surface, and flows out to the return air passage. By returning to the air supply flow path through the air duct, the air circulates in each predetermined range in the room, and the air circulating in each predetermined range in the room is circulated in the air supply flow path by each fan dry coil unit. Adjusted to temperature.
[0010]
In this way, a circulating air flow path system is formed by the air supply flow path, the fan-equipped dry coil unit, the fan / filter unit, the return air flow path, and the circulating air duct for each predetermined range in the room. An independent atmosphere can be maintained in each predetermined range in the room, and each predetermined range in the room can be controlled to a different temperature. Therefore, in a clean room, the arrangement configuration of manufacturing equipment and inspection equipment for semiconductors, liquid crystals, etc. Even if the heat load is different for each predetermined range in the room, each predetermined range in the room can be maintained at an optimum temperature.
[0011]
The fan-equipped dry coil unit is installed between the ceiling ceiling beams on the top of the air supply flow path, so that it does not require any special space and effectively uses the space between the ceiling under beams, which was a wasteful space in the past. Can be installed.
[0012]
The clean room air conditioning system of the present invention according to claim 2 is configured such that a plurality of fan / filter units arranged on a ceiling surface are detachably arranged, and a hole of the same size as the fan / filter unit is provided directly below each fan / filter unit. A floor deck that forms a perforated floor is detachably disposed, and an optional fan / filter unit and a floor deck are detached and a circulating air duct is detachably disposed.
[0013]
With the configuration described above, the size of each predetermined range in the room corresponding to each fan-equipped dry coil unit can be arbitrarily changed by rearranging the circulating air duct to an arbitrary position and flexibly changing the circulating air flow path system. The air conditioning capacity can be flexibly changed with respect to the change in the thermal load at each location of the clean room caused by the change of the arrangement of each facility due to the change of the line configuration in the clean room.
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 to 3, in the clean room air conditioning system, an outside air processing air conditioner 51 is disposed outside the structural wall 50, an air supply passage 53 is formed above the ceiling surface 52, and a plurality of fans are provided on the ceiling surface 52. A filter unit 54 is disposed. The clean room 55 is formed between the ceiling surface 52 and the perforated floor 56 on the floor, and a return air passage 57 is formed below the perforated floor 56, and an exhaust treatment device (scrubber) 58 is connected to the return air passage 57. is doing.
[0017]
Each fan / filter unit 54 disposed on the ceiling surface 52 is detachably disposed. The perforated floor 56 includes a plurality of floor decks 56a having the same dimensions as the fan / filter unit 54, and each floor deck 56a is connected to each fan. -It is detachably arranged directly under the filter unit 54. A circulating air duct 59 that communicates the return air flow path 57 and the air supply flow path 53 is detachably disposed in each predetermined range by removing an optional fan / filter unit 54 and a floor deck 56a.
[0018]
A plurality of fan-equipped dry coil units 60 are arranged in the air supply passage 53 so as to correspond to each predetermined range in the room. Each of the fan-equipped dry coil units 60 is installed between the ceiling under beams 53a on the top surface of the air supply channel 53, and does not require a special space, and between the conventional ceiling under beams, which is a wasteful space. It can be installed using the space effectively.
[0019]
As shown in FIG. 3, the dry coil unit 60 with a fan has a suction port 62 on one side surface of the casing 61, an air supply port 63 on the lower surface, and a cooling coil 64 disposed inside. A blower fan 65 is disposed at the port 63. A flexible heat medium pipe 66 for supplying cold water as a heat medium is detachably connected to the cooling coil 64.
[0020]
The outside air processing air conditioner 51 sucks outside air OA by an air blower 71 and sends the air, and a prefilter 72 that removes coarse dust, a medium performance filter 73 that removes fine dust, and precooling that cools or heats. A preheating coil 74, an air washer 75 for removing and humidifying water-soluble pollutant gases, a cooling coil 76 for cooling, a reheating coil 77 for heating, an activated carbon filter, an adsorbent-impregnated mat, etc. It consists of a chemical filter 78 that removes polluted gas and an ultra-high performance air filter (HEPA filter) 79 that removes fine dust, and supplies outside air as clean air with appropriate temperature and humidity.
[0021]
Hereinafter, the operation of the above-described configuration will be described. The outside air OA flows into the air supply passage 53 through the outside air processing air conditioner 51, flows into the clean room 55 through a plurality of fans and filter units 54 provided on the ceiling surface, and flows through the perforated floor 56. The air flows into the return air flow path 57 and returns to the supply air flow path 53 through the circulation air ducts 59 to circulate in each predetermined range in the room. A part of the air flowing into the return air flow path 57 is exhausted. It flows out of the system through a device (scrubber) 58.
[0022]
A part of the air circulating in each predetermined range in the room flows into each dry coil unit 60 with a fan in the air supply passage 53 from the suction port 62 and is adjusted to a target temperature in each predetermined range in the room by the cooling coil 64. Then, the air is blown downward from the air supply port 63 by the blower fan 65 and flows in a vertical laminar flow into each predetermined range in the room through the fan / filter unit 54 on the ceiling surface 52.
[0023]
In this way, a circulation air passage system is formed by the air supply passage 53, the fan-equipped dry coil unit 60, the fan / filter unit 54, the return air passage 57, and the circulation air duct 59 for each predetermined range in the room. Therefore, it is possible to maintain an independent atmosphere in each predetermined range in the clean room 55 and to control each predetermined range in the room at different temperatures. In the clean room 55, manufacturing equipment for semiconductors, liquid crystals, etc. Even if the heat load is different for each predetermined range in the room due to the arrangement configuration of the inspection equipment, each predetermined range in the room is optimized by processing each heat load with each dry coil unit 60 with a fan. Temperature can be maintained.
[0024]
In the dry coil unit 60 with a fan, the flexible heat medium pipe 66 is detachably connected to the cooling coil 64. Therefore, when the line configuration in the clean room 55 is changed, the connection structure of the heat medium pipe 66 is changed. Thus, the air conditioning capability can be flexibly changed following the change in the thermal load at each location of the clean room 55 resulting from the change in the arrangement of the facilities.
[0025]
As shown in FIGS. 4 to 5, the fan-equipped dry coil unit 60 can be arranged so as to eject air toward the top surface of the air supply flow path 53. It flows into the filter unit 54.
[0026]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, the air adjusted to the target temperature in each predetermined range in the room by each fan dry coil unit in the air supply passage passes through each fan in the ceiling surface through the fan / filter unit. The air that flows into the return air flow path through the perforated floor returns to the supply air flow path through the circulation air duct, and the air circulates in the circulation air flow path system formed in each predetermined range in the room. Therefore, it is possible to maintain an independent atmosphere in each predetermined range in the clean room, and to control each predetermined range in the room to different temperatures, and to arrange semiconductor and liquid crystal manufacturing equipment and inspection equipment. Even if the heat load is different for each predetermined range in the room due to the configuration, each predetermined range in the room can be maintained at an optimum temperature.
[0027]
By re-arranging the circulating air duct to an arbitrary position and flexibly changing the circulating air flow path system, the width of each predetermined range in the room corresponding to each dry coil unit with a fan can be arbitrarily set again. The air conditioning capability can be flexibly changed with respect to the change in the thermal load at each place in the clean room caused by the change in the arrangement of each facility due to the change in the line configuration in the clean room.
[0028]
By connecting the heating medium piping flexibly and detachably to the cooling coil of each fan / filter unit, the heat load at each location in the clean room is changed as the equipment is relocated as the line configuration in the clean room changes. Even if the air temperature changes, it is possible to flexibly change the air conditioning capacity by operating any fan-equipped dry coil unit.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic diagram showing an air conditioning system for a clean room according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view of a main part in the clean room air conditioning system.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a fan-equipped dry coil unit in the clean room air conditioning system.
FIG. 4 is a schematic diagram showing an air conditioning system for a clean room according to another embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a fan-equipped dry coil unit in the clean room air conditioning system.
FIG. 6 is a schematic diagram showing a conventional clean room air conditioning system.
FIG. 7 is an enlarged view of a main part of the clean room air conditioning system.
FIG. 8 is a schematic diagram showing another conventional clean room air conditioning system.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 50 Structure wall body 51 Outside air processing air conditioner 52 Ceiling surface 53 Air supply flow path 53a Ceiling under beam 54 Fan filter unit 55 Clean room 56 Perforated floor 56a Floor deck 57 Return air flow path 58 Exhaust treatment device (scrubber)
59 Duct for circulating air 60 Dry coil unit with fan 61 Casing 62 Suction port 63 Air supply port 64 Cooling coil 65 Blower fan 66 Heat medium pipe 71 Blower 72 Prefilter 73 Medium performance filter 74 Precooling / preheating coil 75 Air washer 76 Cooling Coil 77 Reheating coil 78 Chemical filter 79 Ultra-high performance air filter (HEPA filter)

Claims

天井面の上方に給気流路を有し、床面の下方に還気流路を有し、天井面にファン・フィルタユニットを配置し、床面に孔あき床を配置し、給気流路に流入する空気が天井面に設けたファン・フィルタユニットを通って室内に垂直層流で流入し、室内の空気が孔あき床を通って還気流路に流出し、還気流路から給気流路へ空気が循環するクリーンルーム用空調システムにおいて、還気流路と給気流路とを連通する循環空気用ダクトを室内の所定範囲毎に設置して室内に複数の循環空気流路系を形成し、給気流路に複数のファン付ドライコイルユニットを室内の所定範囲毎に対応させて配置し、ファン付ドライコイルユニットが、室内の各所定範囲で循環する空気の一部を吸込口から吸い込み、給気口から下方の給気流路に向けて、もしくは給気流路の天面に向けて噴出することを特徴とするクリーンルーム用空調システム。It has an air supply channel above the ceiling surface, a return air channel below the floor surface, a fan / filter unit on the ceiling surface, a perforated floor on the floor surface, and flows into the air supply channel Air flows into the room in a vertical laminar flow through the fan / filter unit provided on the ceiling surface, and the room air flows through the perforated floor to the return air flow path, and then flows from the return air flow path to the supply air flow path. In a clean room air conditioning system that circulates, a circulating air duct that communicates the return air channel and the air supply channel is installed for each predetermined range in the room to form a plurality of circulating air channel systems in the room, and the air supply channel A plurality of dry coil units with a fan are arranged corresponding to each predetermined range in the room, and the dry coil unit with a fan sucks a part of the air circulated in each predetermined range in the room from the intake port and from the air supply port. Toward the lower air supply channel or supply air Air-conditioning system for a clean room, which comprises ejected toward the top surface of the road.

天井面に配置する複数のファン・フィルタユニットをそれぞれ着脱自在に配置し、各ファン・フィルタユニットの直下にファン・フィルタユニットと同寸法で孔あき床を形成するフロアデッキを着脱自在に配置し、任意のファン・フィルタユニットとフロアデッキとを取り外して循環空気用ダクトを着脱自在に配置したことを特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム用空調システム。A plurality of fan / filter units arranged on the ceiling surface are detachably arranged, and a floor deck that has a perforated floor with the same dimensions as the fan / filter unit is detachably arranged directly under each fan / filter unit, 2. The air conditioning system for a clean room according to claim 1, wherein an optional fan / filter unit and a floor deck are removed and a circulating air duct is detachably disposed.