JP3959665B2 - フランジ取付け形差圧測定装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、温度特性が向上されたフランジ取付け形差圧測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図3は、従来より一般に使用されている従来例の構成説明図である。図において、1は、フランジ取付け形差圧測定装置カプセルを構成する本体ボディである。2は、本体ボディ1に内蔵された圧力センサである。
【0003】
この場合は、静電容量式センサが使用されている。3は、圧力センサ2からの信号を電気信号に変換する変換器である。4は、本体ボディ1に接続された高圧側フランジである。
【0004】
5は、高圧側フランジ4に設けられ、高圧側フランジ4と高圧側ダイアフラム室6を構成する高圧側ダイアフラムである。7は、圧力センサ2の高圧側と高圧側ダイアフラム室6とを連通する連通孔である。
【0005】
8は、圧力センサ2の高圧側と高圧側ダイアフラム室6と連通孔7とに封入される封入液である。11は、本体ボディ1の側面に設けられ、本体ボディ1と低圧側ダイアフラム室12を構成する低圧側ダイアフラムである。
【0006】
13は、圧力センサ2の低圧側と低圧側ダイアフラム室12とを連通する連通孔である。14は、圧力センサ2の低圧側と低圧側ダイアフラム室12と連通孔13とに封入される封入液である。この場合は、封入液8,14はシリコンオイルが使用されている。
【0007】
以上の構成において、フランジ取付け形差圧測定装置は、高圧側フランジ4により、タンク等に取付けられる。高圧側ダイアフラム5により高圧側圧力を受圧し封入液8により、高圧側圧力を圧力センサ2の高圧側へ伝える。
【0008】
低圧側ダイアフラム11により低圧側圧力を受圧し、封入液14により、低圧側圧力を圧力センサ2の低圧側へ伝える。低圧側と高圧側とにより、圧力センサ2へ伝えられた差圧の圧力信号に基づき、変換器3により電気信号に変換され、出力される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような装置においては、測定流体温度が変化すると、封入液8が膨張あるいは収縮する。この膨張あるいは収縮量は、高圧側ダイアフラム5を膨らませて、吸収するが、この際、高圧側ダイアフラム5のばね強さにより、内圧が上昇あるいは下降し、内圧変化分が測定誤差となって表われる。
【0010】
このような、接液温度誤差による測定誤差は、小型の高圧側ダイアフラム5の場合には、数Kpa/100℃となり、大きな問題となる。ダイアフラムシール形差圧測定装置のように、センサカプセルの高低圧側の両方に、フランジと受圧ダイアフラムとが対称に付いていれば、内圧上昇がキャンセルされ、測定流体に対する接液温度誤差が発生しない。
【0011】
しかし、図3実施例のように、高圧側片側のみに、受圧ダイアフラム6があり、高圧側のみの内圧が上昇すると、接液温度誤差が発生する。これを防止するためには、受圧部の測定流体温度を測定し、演算して補正する方法等が有るが、補正するための温度校正を必要としたり、補正回路を要したり、防爆構造を必要としたりする。
【0012】
また、上記の接液温度誤差のために、製品の品質維持が難しい。また、たとえば、バッチ運転等でタンクが空となっても、温度誤差による出力信号が出力され、液位ゼロ信号が出力されず、運転が止まらずに、プロセス装置が破壊されるトラブルが生じていた。
【0013】
本発明の目的は、上記の課題を解決するもので、温度特性が向上されたフランジ取付け形差圧測定装置を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明では、請求項1記載のフランジ取付け形差圧測定装置においては、
本体ボディに設けられた圧力センサと、高圧側フランジに設けられ前記圧力センサの高圧側に連通される高圧側ダイアフラム室と、前記本体ボディの側面に設けられ前記圧力センサの低圧側に連通される低圧側ダイアフラム室と、前記圧力センサの高圧側と低圧側とにそれぞれ封入される第1,第2の封入液とを具備するフランジ取付け形差圧測定装置において、前記高圧側の測定流体温度と均温になる個所に設けられこの高圧側の測定流体温度に基づく温度誤差を補償する補償封入液溜りと、一面が前記低圧側ダイアフラムの外表面を覆ってこの低圧側ダイアフラムと第2の低圧側ダイアフラム室を構成するベースブロックと、このベースブロックの他面を覆ってこのベースブロックと第3の低圧側ダイアフラム室を構成する第2の低圧側ダイアフラムと、前記第2の低圧側ダイアフラム室と前記第3の低圧側ダイアフラム室と前記補償封入液溜りとを連通する第 2 の連通管と、前記第2の低圧側ダイアフラム室と前記第3の低圧側ダイアフラム室と前記補償封入液溜りと前記第2の連通管とに封入される第3の封入液とを具備したことを特徴とする。
【0015】
本発明の請求項2記載のフランジ取付け形差圧測定装置において、
本体ボディに設けられた圧力センサと、高圧側フランジに設けられ前記圧力センサの高圧側に実質的に連通される高圧側ダイアフラム室と、前記本体ボディの側面に設けられ前記圧力センサの低圧側に連通される低圧側ダイアフラム室と、前記圧力センサの高圧側と低圧側とにそれぞれ封入される第1,第2の封入液とを具備するフランジ取付け形差圧測定装置において、前記高圧側の測定流体温度と均温になる個所に設けられこの高圧側の測定流体温度に基づく温度誤差を補償する補償封入液溜りと、一面が前記低圧側ダイアフラムの外表面を覆ってこの低圧側ダイアフラムと第2の低圧側ダイアフラム室を構成するベースブロックと、このベースブロックの他面を覆ってこのベースブロックと第3の低圧側ダイアフラム室を構成する第2の低圧側ダイアフラムと、前記第2の低圧側ダイアフラム室と前記第3の低圧側ダイアフラム室と前記補償封入液溜りとを連通する第2の連通管と、前記第2の低圧側ダイアフラム室と前記第3の低圧側ダイアフラム室と前記補償封入液溜りと前記第2の連通管とに封入される第3の封入液と、一面が前記本体ボディの側面を覆ってこの本体ボディと第2の高圧側ダイアフラム室を構成する第2の高圧側ダイアフラムと、一端側がこの第2の高圧側ダイアフラムの他面を覆ってこの第2の高圧側ダイアフラムと第3の高圧側ダイアフラム室を構成し他端が前記高圧側フランジに接続される連通ブロックと、前記高圧側ダイアフラム室と前記第3の高圧側ダイアフラム室とを連通する第3の連通管と、前記高圧側ダイアフラム室と前記第3の高圧側ダイアフラム室と前記第3の連通管とに封入される第4の封入液とを具備したことを特徴とする。
【0016】
本発明の請求項3においては、請求項1又は請求項2記載のフランジ取付け形差圧測定装置において、
前記補償封入液溜りが前記高圧側フランジに設けられたことを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図である。
図において、図3と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図3と相違部分のみ説明する。
【0018】
図において、補償封入液溜り21は、高圧側の測定流体FLの温度と均温になる個所に設けられ、この高圧側の測定流体FLの温度に基づく温度誤差を補償する。
この場合は、補償封入液溜り21は、高圧側フランジ4に設けられている。
【0019】
また、この場合は、補償封入液溜り21の容積が下記の式を満足するように定められている。
A=B×(C/D)
但し、
A:補償封入液溜り21の容積
【0020】
B:高圧側ダイアフラム室6の容積
C:低圧側ダイアフラム11の容積変化常数
D:高圧側ダイアフラム5の容積変化常数
【0021】
連通管22は、この補償封入液溜り21と圧力センサ2の低圧側とを連通する連通管である。
【0022】
以上の構成において、フランジ取付け形差圧測定装置は、高圧側フランジ4により、タンク等に取付けられる。
高圧側ダイアフラム5により高圧側圧力を受圧し封入液8により、高圧側圧力を圧力センサ2の高圧側へ伝える。
【0023】
低圧側ダイアフラム11により低圧側圧力を受圧し、封入液14により、低圧側圧力を圧力センサ2の低圧側へ伝える。一般には、低圧側圧力としては、大気圧が使用されることが多い。
【0024】
低圧側と高圧側とにより、圧力センサ2へ伝えられた差圧の圧力信号に基づき、変換器3により電気信号に変換され、出力される。
一方、いま、高圧側測定流体FL1の温度が上昇するとすると、高圧側は図3従来例と同様に、内圧が上昇する。
【0025】
同時に、補償封入液溜り21内の封入液14も膨張し、この膨張分は、低圧側ダイアフラム11が膨らむ事により吸収する。
高低圧側共に、封入液8,14の膨張量を吸収するダイアフラム5,11のばね強さにより、内圧の大きさが決まる。
【0026】
高低圧側の内圧が同じ圧力であれば、圧力は打ち消しあい、誤差は発生しない。
従って、
高圧側の発生内圧=(高圧側ダイアフラム室6封入液量×封入液膨張係数×温度)/高圧側ダイアフラム5容積変化常数
【0027】
低圧側の発生内圧=(補償封入液溜り21封入液量×封入液膨張係数×温度)/低圧側ダイアフラム11容積変化常数
【0028】
上式より、高圧側の発生内圧と低圧側の発生内圧とをイクオールにするには、下記の式が成り立つ。
高圧側ダイアフラム室6封入液量/高圧側ダイアフラム5容積変化常数=補償封入液溜り21封入液量/低圧側ダイアフラム11容積変化常数
【0029】
通常、ダイアフラム5,11は、測定する差圧、フランジサイズや材質等により定まった値となる。
補償封入液溜りの容積を、上式が成立するように決めることにより、以下の結果が得られる。
【0030】
(1)高圧側ダイアフラム室6に生じた測定流体温度に基づく温度誤差を、容易に、より正確に補正出来、より温度特性が向上されたフランジ取付け形差圧測定装置が得られる。
【0031】
(2)高圧側ダイアフラム5と低圧側ダイアフラム11の直径が異なっても、容易に、補償封入液溜り21の容積を決定出来、設計の自由度が広げ易いフランジ取付け形差圧測定装置が得られる。
【0032】
そして、本実施例においては、標準的なフランジ取付け形差圧測定装置を出来るだけ利用しようとするものである。
【0033】
図において、ベースブロック31は、一面が低圧側ダイアフラム11の外表面を覆って、この低圧側ダイアフラム11と第2の低圧側ダイアフラム室32を構成する。
【0034】
第2の低圧側ダイアフラム33は、このベースブロック31の他面を覆って、このベースブロック31と第3の低圧側ダイアフラム室34を構成する。
第2の連通管35は、第2の低圧側ダイアフラム室32と第3の低圧側ダイアフラム室34と補償封入液溜り21とを連通する。
【0035】
第3の封入液36は、第2の低圧側ダイアフラム室32と第3の低圧側ダイアフラム室34と補償封入液溜り21と第2の連通管35とに封入される。
【0036】
この結果、
高圧側の測定流体温度と均温になる個所に設けられ高圧側の測定流体温度に基づく温度誤差を補償する補償封入液溜り21が設けられたので、高圧側ダイアフラム室6に生じた測定流体温度に基づく膨張収縮による内圧の変化を相殺し、温度特性が向上されたフランジ取付け形差圧測定装置が得られる。
【0037】
補償封入液溜り21が高圧側フランジ4に設けられので、補償封入液溜り21が高圧側フランジ4内に内蔵出来、コンパクトなフランジ取付け形差圧測定装置が得られる。
【0038】
標準的なフランジ取付け形差圧測定装置にユニット的に、部品を追加し、僅かの加工で済むので安価なフランジ取付け形差圧測定装置が得られる。
【0039】
図2は本発明の他の実施例の要部構成説明図である。本実施例においては、標準的なフランジ取付け形差圧測定装置でなく、更に、一般な、差圧測定装置を出来るだけ利用しようとするものである。
【0040】
図において、ベースブロック31は、一面が低圧側ダイアフラム11の外表面を覆って、この低圧側ダイアフラム11と第2の低圧側ダイアフラム室32を構成する。
【0041】
第2の低圧側ダイアフラム33は、このベースブロック31の他面を覆って、このベースブロック31と第3の低圧側ダイアフラム室34を構成する。
第2の連通管35は、第2の低圧側ダイアフラム室32と第3の低圧側ダイアフラム室34と補償封入液溜り21とを連通する。
【0042】
第3の封入液26は、第2の低圧側ダイアフラム室32と第3の低圧側ダイアフラム室34と補償封入液溜り21と第2の連通管35とに封入される。
【0043】
第2の高圧側ダイアフラム41は、一面が本体ボディ1の側面を覆って、この本体ボディ1と第2の高圧側ダイアフラム室42を構成する。
連通ブロック43は、一端側がこの第2の高圧側ダイアフラム41の他面を覆って、この第2の高圧側ダイアフラム41と第3の高圧側ダイアフラム室44を構成し、他端が高圧側フランジ4に接続される。
【0044】
第3の連通管45は、高圧側ダイアフラム室5と第3の高圧側ダイアフラム室44とを連通する。
第4の封入液46は、高圧側ダイアフラム室5と第3の高圧側ダイアフラム室44と第3の連通管45とに封入される。
【0045】
この結果、標準的なフランジ取付け形差圧測定装置でなく、更に、一般的な、差圧測定装置にユニット的に、部品を追加し、加工すれば良いので、更に、安価なフランジ取付け形差圧測定装置が得られる。
【0046】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
【0047】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項1によれば、次のような効果がある。
高圧側の測定流体温度と均温になる個所に設けられ高圧側の測定流体温度に基づく温度誤差を補償する補償封入液溜りが設けられたので、高圧側ダイアフラム室に生じた測定流体温度に基づく膨張収縮による内圧の変化を相殺し、温度特性が向上されたフランジ取付け形差圧測定装置が得られる。
【0048】
標準的なフランジ取付け形差圧測定装置にユニット的に、部品を追加し、僅かの加工で済むので安価なフランジ取付け形差圧測定装置が得られる。
【0049】
本発明の請求項2によれば、次のような効果がある。
標準的なフランジ取付け形差圧測定装置でなく、更に、一般的な、差圧測定装置にユニット的に、部品を追加し、加工すれば良いので、更に、安価なフランジ取付け形差圧測定装置が得られる。
【0050】
本発明の請求項3によれば、次のような効果がある。
補償封入液溜りが高圧側フランジに設けられので、補償封入液溜りが高圧側フランジ内に内蔵出来、コンパクトなフランジ取付け形差圧測定装置が得られる。
【0051】
従って、本発明によれば、温度特性が向上されたフランジ取付け形差圧測定装置を実現することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図2】 本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図3】 従来より一般に使用されている従来例の要部構成説明図である。
【符号の説明】
1 本体ボディ
2 圧力センサ
3 変換器
4 高圧側フランジ
5 高圧側ダイアフラム
6 高圧側ダイアフラム室
7 連通孔
8 封入液
11 低圧側ダイアフラム
12 低圧側ダイアフラム室
13 連通孔
14 封入液
21 補償封入液溜り
22 連通管
31 ベースブロック
32 第2の低圧側ダイアフラム室
33 第2の低圧側ダイアフラム
34 第3の低圧側ダイアフラム室
35 第2の連通管
36 第3の封入液
41 第2の高圧側ダイアフラム
42 第2の高圧側ダイアフラム室
43 連通ブロック
44 第3の高圧側ダイアフラム室
45 第3の連通管
46 第4の封入液
Claims (3)
- 本体ボディに設けられた圧力センサと、高圧側フランジに設けられ前記圧力センサの高圧側に連通される高圧側ダイアフラム室と、前記本体ボディの側面に設けられ前記圧力センサの低圧側に連通される低圧側ダイアフラム室と、前記圧力センサの高圧側と低圧側とにそれぞれ封入される第1,第2の封入液とを具備するフランジ取付け形差圧測定装置において、
前記高圧側の測定流体温度と均温になる個所に設けられこの高圧側の測定流体温度に基づく温度誤差を補償する補償封入液溜りと、
一面が前記低圧側ダイアフラムの外表面を覆ってこの低圧側ダイアフラムと第2の低圧側ダイアフラム室を構成するベースブロックと、
このベースブロックの他面を覆ってこのベースブロックと第3の低圧側ダイアフラム室を構成する第2の低圧側ダイアフラムと、
前記第2の低圧側ダイアフラム室と前記第3の低圧側ダイアフラム室と前記補償封入液溜りとを連通する第 2 の連通管と、
前記第2の低圧側ダイアフラム室と前記第3の低圧側ダイアフラム室と前記補償封入液溜りと前記第2の連通管とに封入される第3の封入液と
を具備したことを特徴とするフランジ取付け形差圧測定装置。 - 本体ボディに設けられた圧力センサと、高圧側フランジに設けられ前記圧力センサの高圧側に実質的に連通される高圧側ダイアフラム室と、前記本体ボディの側面に設けられ前記圧力センサの低圧側に連通される低圧側ダイアフラム室と、前記圧力センサの高圧側と低圧側とにそれぞれ封入される第1,第2の封入液とを具備するフランジ取付け形差圧測定装置において、
前記高圧側の測定流体温度と均温になる個所に設けられこの高圧側の測定流体温度に基づく温度誤差を補償する補償封入液溜りと、
一面が前記低圧側ダイアフラムの外表面を覆ってこの低圧側ダイアフラムと第2の低圧側ダイアフラム室を構成するベースブロックと、
このベースブロックの他面を覆ってこのベースブロックと第3の低圧側ダイアフラム室を構成する第2の低圧側ダイアフラムと、
前記第2の低圧側ダイアフラム室と前記第3の低圧側ダイアフラム室と前記補償封入液溜りとを連通する第2の連通管と、
前記第2の低圧側ダイアフラム室と前記第3の低圧側ダイアフラム室と前記補償封入液溜りと前記第2の連通管とに封入される第3の封入液と、
一面が前記本体ボディの側面を覆ってこの本体ボディと第2の高圧側ダイアフラム室を構成する第2の高圧側ダイアフラムと、
一端側がこの第2の高圧側ダイアフラムの他面を覆ってこの第2の高圧側ダイアフラムと第3の高圧側ダイアフラム室を構成し他端が前記高圧側フランジに接続される連通ブロックと、
前記高圧側ダイアフラム室と前記第3の高圧側ダイアフラム室とを連通する第3の連通管と、
前記高圧側ダイアフラム室と前記第3の高圧側ダイアフラム室と前記第3の連通管とに封入される第4の封入液と
を具備したことを特徴とするフランジ取付け形差圧測定装置。 - 前記補償封入液溜りが前記高圧側フランジに設けられたこと
を特徴とする請求項1又は請求項2記載のフランジ取付け形差圧測定装置。
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