JP3959212B2 - マスクパターン補正方法とそれを用いた露光用マスク - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造に適用されるリソグラフィ工程で用いられる露光用マスクのパターン補正方法とそれを用いた露光用マスクに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体装置の高集積化、高速化に伴い、デバイスパターンの寸法制御に対する要求が益々厳しくなってきている。プロセスの誤差に起因する寸法変動、すなわち、設計寸法と仕上がり寸法の差を補正する手段として種々のOPC(Optical Proximity Correction)手法が提案されている。OPC手法とは、ウェハのトータルプロセスを考慮したり、光学シミュレーションを駆使して部分的にマスクパターンの幅を広くしたり、ダミーパターンを配置するものである。特にプロセスの誤差に起因する光近接効果(Optical Proximity Effect、以下、OPEを称す)、つまり、パターンの疎密による寸法差を補正するOPC手法が数多く提案されている。これらOPC手法では、実験やシミュレーションによりマスクパターンを補正するための補正テーブルが作成される。しかし、実験によるマスク補正テーブルの作成の簡便さ、マスク補正の精度、補正処理時間の全てを満足するOPC手法はまだ確立されていない。
【0003】
OPC手法としては、例えば1994年にIBMのL.W.Liebmanにより提案されたBuckets方式(Optical Proximity Correction, a First Look at Manufacture SPIE Vol.232 Photo Mask Technology and Management(1994))が良く知られている。以下これについて説明する。
【0004】
先ず、トータルプロセスを経たウェハでACLV(Across the Chip Line Width Variation)と称するTEG(Test Element Group)を用いて、設計寸法と仕上がり寸法の差としての寸法変動量と、隣接パターンとの距離の関係(パターン疎密依存性)が電気的に測定される。
【0005】
すなわち、図15に示すような、測定用マスクの測定パターンと、この測定パターンに隣接するパターンの間隔Sを変化させた複数の測定用マスクを用いて、ウェハ上にレジストパターンを形成し、このレジストパターンの測定パターンの片側エッジ当たりの寸法変動を求める。
【0006】
図16は、この測定結果を示しており、パターン相互間の距離S(x軸)と片側エッジ当たりの寸法変動量(y軸)の関係を示している。図16より、所望の寸法からの寸法変動量がゼロの点を基準としてマスク描画装置のウェハ上における最小グリッド幅で分割することにより、マスク描画装置のグリッドに対応した電気特性上の点を摘出する。この摘出された点のx座標(a)(b)(c)により、1グリッド分の補正領域、2グリッド分の補正領域、3グリッド分の補正領域が決定され、図17に示すマスクの補正ルールテーブルが作成される。すなわち、図17に示す補正値において、パターンの距離Sが(a)以下である場合補正値はゼロであり、距離Sが(a)<S≦(b)乃至S>(c)に従って、補正値は−1GRID乃至−3GRID、すなわち1グリッド分ずつマスクパターンが細くされる。この手法を用いることにより、パターンの疎密による所望の寸法からの寸法差が図16に示すように、Δ1からΔ2まで低減される。
【0007】
上記方法によれば、平坦化された下地層上のパターンの疎密に対しては高精度な補正が可能である。しかし、下地層に段差が存在するデバイスに対しては次に述べるように、光学的な段差により生じるレジスト寸法、エッチング変換差の違いによる寸法差の補正をすることができない。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
近時、複雑なデバイス構造に伴い下地層の構成が多様化され、デバイスパターンの寸法精度を悪化させている。下地層が例えば同一の基板、あるいはシリコン酸化膜にそれぞれ反射防止膜(反射防止膜:Anti Reflective coating)の膜厚を変えて塗布し、これら反射防止膜に同じ露光条件でレジストパターンを転写する場合を考える。
【0009】
図18は、露光光吸収量のレジスト膜厚依存性のシミュレーション結果を示している。レジスト膜の中に取り込まれた露光光は、レジスト膜中で多重干渉を繰り返すが、多重干渉の度合いが反射防止膜の膜厚によって異なる。このため、同じ露光条件にも拘わらず、ウェハ毎にパターンの寸法差が生じる。
【0010】
この事実を実デバイスに置き換えて考えると、下地層に段差が存在し、反射防止膜の膜厚が異なる箇所に同じ設計寸法のパターンを転写すると、これらのパターンの寸法は一致しないことになる。この下地層の段差による反射防止膜の膜厚の差を無くすため、様々な反射防止膜が提案され、実用化されている。しかし、下地層の段差による反射防止膜の膜厚の差を完全にゼロとすることは困難である。
【0011】
次に、従来のマスクを使用した場合の問題点について説明する。
【0012】
図19に示すような従来の露光用マスク190を用いて、図20、図21に示すように、層間絶縁膜200に形成された例えばトレンチのような段差201の両側に周期的にラインを転写するようなデバイスを考える。図19において、マスク190は、例えばクローム(Cr)からなる複数の遮光パターン191を有している。これら遮光パターン191は同一の幅を有し、段差201の両側に対応して配置されている。
【0013】
図21に示すように、層間絶縁膜200の表面に反射防止膜202が塗布され、この反射防止膜202の上にマスク190を用いて、レジストパターン203が形成される。反射防止膜202の膜厚は段差201からの距離に応じて次第に厚くなっている。このため、反射防止膜202上に形成されたレジストパターンの寸法A’〜D’は、遮光パターン191の幅が同一寸法にも拘わらず寸法差が生じてしまう。また、このレジストパターンを用いて層間絶縁膜202をエッチングした後、層間絶縁膜202内に形成されるパターン形状の仕上がり寸法を考えた場合、反射防止膜の膜厚の差によってエッチング変換差が異なり、A’〜D’の寸法差を生じる。
【0014】
次に、図22に示すような従来のマスク220を用いて、図23、図24に示すように、層間絶縁膜230に形成された例えばコンタクトホールのような複数の段差231を有するデバイスに、周期的に配線を形成する場合を考える。
【0015】
図24に示すように、コンタクトホールのような複数の段差231を有する層間絶縁膜230上に反射防止膜232が塗布され、この反射防止膜232の上にマスク220を用いて図示せぬレジストパターンが形成される。この場合も、前述したように、段差231からの距離に応じて反射防止膜232の膜厚が異なっている。このため、反射防止膜232上に形成されたレジストパターン233の寸法はばらつく。したがって、このレジストパターン233を用いて配線を形成した場合、段差231の近傍で配線の幅が細くなり、配線の形状が変形してしまう。
【0016】
以上のように、パターンの疎密に基づく寸法差だけではなく、反射防止膜の膜厚差によってもレジストパターンやパターン形状の仕上がり寸法が変化する。このため、これらパターンの疎密及び反射防止膜の膜厚差も考慮した高精度のマスクパターンの補正方法及びそれを用いた露光用マスクが要望されている。
【0017】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、パターンの疎密に基づく寸法差だけではなく、反射防止膜の膜厚差も考慮した高精度のマスクパターンの補正方法及びそれを用いた露光用マスクを提供しようとするものである。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本発明のマスクパターン補正方法の態様は、段差が形成された下地層の上方に上層パターンを形成する際、前記下地層の段差の端部からの距離の差により生じる前記下地層上の反射防止膜の膜厚の差に応じて前記上層パターンを形成するための遮光パターンの補正量を決定する。
【0019】
前記補正量は、前記段差から離れて安定した仕上がり寸法が得られる部分を基準とし、前記段差から所定の距離の範囲毎に、マスク描画グリッドの整数倍に設定される。
【0020】
本願発明の露光用マスクの態様は、段差が形成された下地層の上方に上層パターンを形成するための遮光パターンを有する露光用マスクであって、前記遮光パターンの幅が前記下地層の段差の端部からの距離の差により生じる前記下地層上の反射防止膜の膜厚の差に応じて補正されていることを特徴とする。
【0021】
前記遮光パターンの幅は、下地層の段差の端部からの距離が近いほど補正量が多く設定されている。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0023】
(第1の実施例)
図1は、本発明の第1の実施例を示す露光用マスクを示している。ここでは、図2(a)(b)に示すように、例えば層間絶縁膜20に形成された例えばトレンチのような段差21の両側に、周期的に同一の幅を有するラインを転写するようなデバイスを考える。図1において、マスク10は、例えばクローム(Cr)からなる複数の遮光パターン11を有している。これら遮光パターン11は、段差21の両側に対応して設けられ、後述するように、段差21からの距離に応じてパターンの幅が相違されている。この実施例の場合、段差21に最も近接する遮光パターン11aに対する補正量が最も多く、遮光パターン11aは最大の幅を有している。段差21から離れるに従い補正量が少なくされ、遮光パターン11b、11cの幅は次第に狭くされている、
図2(a)(b)に示すように、層間絶縁膜20の表面には反射防止膜22が塗布される。この反射防止膜22の膜厚は、前述したように、段差21からの距離に応じて次第に厚くなっている。しかし、本発明のマスク10は、図1に示すように、段差21からの距離に応じて遮光パターン11の補正量を変えている。このため、図2(a)(b)に示すように、反射防止膜22上に形成されるレジストパターン23の寸法を全て設計寸法Aに仕上げることができる。
【0024】
次に、マスクパターンの補正方法について説明する。
【0025】
先ず、補正ルールテーブルを作成する。このため、図3(a)(b)(c)に示すように、平坦なウェハ31、32、33の表面に、反射防止膜34、35、36を形成する。これら反射防止膜34、35、36の膜厚はそれぞれTa、Tb、Tcとされている。これら膜厚の異なる反射防止膜34、35、36が形成された各ウェハ31、32、33にレジストを塗布し、このレジストに対して、このデバイスで使用するパターンを同一露光条件で形成する。この後、各反射防止膜34、35、36上に形成されたレジストパターン37、38、39の寸法を測定する。この測定は、例えば走査型電子顕微鏡により各レジストを撮像し、これにより得られた断面SEM、寸法SEM等を用いて測定する。
【0026】
反射防止膜34、35、36の膜厚Ta、Tb、Tcは、例えば図18に示す膜厚a〜cに相当する。この範囲の膜厚では、同一条件で露光した場合、反射防止膜の膜厚が厚いほどレジスト寸法は大きくなる。
【0027】
図4は、上記測定結果を示すものであり、各反射防止膜の膜厚Ta、Tb、Tcに対するレジスト寸法の関係を示している。
【0028】
次に、図5に示すように、このデバイスの実際の段差を有するウェハに所望の膜厚の反射防止膜を例えばスピンコータを用いて塗布する。すなわち、ウェハ51には、例えばトレンチからなる段差52が形成され、このウェハ51に反射防止膜53が塗布される。
【0029】
この後、例えば走査型電子顕微鏡により上記デバイスが撮像され、これにより得られた断面SEM、寸法SEM等を用いて、段差52の片方の端部からの距離Sと反射防止膜の膜厚Tを求める。
【0030】
図6は、上記段差52の片方の端部からの距離Sと反射防止膜の膜厚Tとの関係を示している。
【0031】
図7は、図4に示す反射防止膜の膜厚Ta、Tb、Tcに対するレジスト寸法の関係と、図6に示す距離Sと反射防止膜の膜厚Tとの関係から求めた、段差の端部からの距離Sとレジスト寸法との関係を示している。これを元に、露光マスクの描画グリッドを基準とした補正ルールテーブルが作成される。
【0032】
図8は、図7から作成した補正ルールテーブルを示している。この場合、補正値は、安定した仕上がり寸法が得られる距離SがC以上の部分を基準として設定され、所定の距離の範囲毎に、マスク描画グリッドの整数倍の補正値が設定されている。すなわち、S≧Cの範囲において補正値はゼロとされ、C>S≧Bの範囲において、補正値は1GRIDであり、1グリッド分マスクパターンの幅が広げられる。B>S≧Aの範囲において、補正値は2GRID、A>Sの範囲において、補正値は3GRIDとされ、それぞれ2グリッド分、3グリッド分マスクパターンの幅が広げられる。
【0033】
図7に示す補正量は、パターンエッジに垂直、水平の両方向とも同じ値だけ付加され、その値はマスク描画最小グリッドの整数倍である。このような補正ルールテーブルを用い、マスクパターンを補正することにより、下地の段差からの距離によるレジスト寸法のばらつきをマスクの最小描画グリッドに抑えることができる。
【0034】
また、第1の実施例に示す方法は、補正をCAD(Computer Aided Design)上のレイヤー構成によってのみ行うことができる。このため、データの処理時間を短縮できる利点を有している。
【0035】
また、第1の実施例において、補正ルールテーブルの作成は、実験により実際にウェハ上にパターニングすることで段差からの距離と反射防止膜の膜厚の関係を求めている。しかし、この関係は光学シミュレーションなどによって求めることも可能である。
【0036】
尚、上記第1の実施例では、レジストが所望の寸法になるような補正方法を示したが、これに限定されるものではなく、例えばエッチング後のパターン寸法に注目して段差の端部からの距離Sと仕上がり寸法のグラフを作成し、これを元にマスクの描画グリッドを基準とした補正ルールテーブルを作成することにより、仕上がり寸法を補正することも可能である。
【0037】
また、補正ルールテーブルの補正値に従った遮光パターンの補正は、使用するレジストの種類や反射防止膜の性質に応じて、遮光パターンの幅を広げたり、狭めたりすればよい。
【0038】
(第2の実施例)
図9、図10、図11は、本発明の第2の実施例を示すものである。第2の実施例では、下層の下地に段差として、例えば複数のコンタクトホールからなるが周期定期に配置され、これらコンタクトホールの相互間にラインを周期的に転写するようなデバイスを考える。
【0039】
図10、図11に示すように、例えば層間絶縁膜100には、複数のコンタクトホール101が周期定期に配置されている。層間絶縁膜100上に反射防止膜102を塗布すると、第1の実施例と同様に、コンタクトホール101の近傍と離れた部分で反射防止膜102の膜厚が異なる。
【0040】
本実施例においても、段差の端部からの距離Sとレジスト寸法との関係に基づいて作成された図8に示す補正ルールテーブルに従って、露光用マスクのマスクパターンが補正される。
【0041】
図9は、補正された露光用マスク90を示している。ラインに対応した各遮光パターン91において、下地のコンタクトホール101に近接する部分の反射防止膜102の膜厚は、コンタクトホール101から離れた部分より薄い。このため、このコンタクトホール101に近接する部分は補正により遮光パターン91の幅が例えば広げられている。すなわち、本実施例では、先に形成された層のパターンに応じて周期的に補助パターン92が加えられている。
【0042】
このように補正された露光用マスク90を用いて反射防止膜102上のレジストを露光、現像すると、図10、図11に示すように、反射防止膜102上に形成されるレジストパターン103の寸法は全て所望の通りに仕上がる。
【0043】
上記第2の実施例によっても第1の実施例と同様の効果を得ることができる。
【0044】
(第3の実施例)
図12、図13、図14は、本発明の第3の実施例を示している。第3の実施例では、下層の下地に段差として、例えばトレンチが形成され、このトレンチの両側に周期的に複数のコンタクトホールを転写するようなデバイスを考える。
【0045】
図12、図13に示すように、例えば層間絶縁膜140には、トレンチ141が形成されている。この層間絶縁膜140上に反射防止膜142を塗布すると、第1の実施例と同様に、トレンチ141の近傍と離れた部分で反射防止膜142の膜厚が異なる。すなわち、トレンチ141の近傍ほど反射防止膜142の膜厚が薄くなる。
【0046】
本実施例においても、段差の端部からの距離Sとレジスト寸法との関係に基づいて作成された図8に示す補正ルールテーブルに従って、露光用マスクのマスクパターンが補正される。
【0047】
図12は、補正された露光用マスク120を示している。トレンチ141の両側に複数のコンタクトホールを形成するための遮光パターン121において、下地のトレンチ141に近接する部分の反射防止膜142の膜厚は、トレンチ141から離れた部分より薄い。このため、このトレンチ141に近接する部分は補正量が多く、遮光パターン141の幅が広げられている。したがって、形成されるコンタクトホールに対応した透光部122の面積は下地層のトレンチ141に近接するほど小さくなるように補正されている。
【0048】
このように補正された露光用マスク120を用いてレジストを露光、現像すると、図13、図14に示すように、反射防止膜142上に形成されるレジストパターン143の寸法は全て所望の通りに仕上がる。
【0049】
第3の実施例によっても、第1、第2の実施例と同様の効果を得ることができる。
【0050】
尚、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨を変えない範囲で種々変形実施可能なことは勿論である。
【0051】
【発明の効果】
以上、詳述したようにこの発明によれば、パターンの疎密に基づく寸法差だけではなく、反射防止膜の膜厚差も考慮した高精度のマスクパターンの補正方法及びそれを用いた露光用マスクを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係る露光用マスクを示す平面図。
【図2】図2(a)は図1に示す露光用マスクを用いて形成したレジストパターンを示す平面図、図2(b)は図2(a)の2B−2B線に沿った断面図。
【図3】反射防止膜の膜厚とレジストパターンの関係を示す断面図。
【図4】反射防止膜の膜厚とレジスト寸法との関係を示す図。
【図5】段差の端部からの距離と反射防止膜の膜厚の関係を示す断面図。
【図6】段差の端部からの距離と反射防止膜の膜厚の関係を示す図。
【図7】段差の端部からの距離とレジスト寸法の仕上がり寸法との関係を示す図。
【図8】補正ルールテーブルを示す図。
【図9】本発明の第2の実施例に係る露光用マスクを示す平面図。
【図10】図9に示す露光用マスクを用いて形成したレジストパターンを示す平面図。
【図11】図10の11−11線に沿った断面図。
【図12】本発明の第3の実施例に係る露光用マスクを示す平面図。
【図13】図12に示す露光用マスクを用いて形成したレジストパターンを示す平面図。
【図14】図13の14−14線に沿った断面図。
【図15】従来の測定用マスクを示す平面図。
【図16】図15に示すマスクを用いて形成したパターンの間隔と片側エッジ当たりの寸法変動量の関係を示す図。
【図17】従来の補正ルールテーブルを示す図。
【図18】露光光吸収量のレジスト膜厚依存性のシミュレーション結果を示す図。
【図19】従来の露光用マスクの一例を示す平面図。
【図20】図19に示す露光用マスクを用いて形成したレジストパターンを示す平面図。
【図21】図20の21−21線に沿った断面図。
【図22】従来の露光用マスクの一例を示す平面図。
【図23】図20に示す露光用マスクを用いて形成したレジストパターンを示す平面図。
【図24】図23の24−24線に沿った断面図。
【符号の説明】
10…露光用マスク、
11…遮光パターン、
21…段差、
22、102、142…反射防止膜、
23、103、143…レジストパターン、
90…露光用マスク、
91…遮光パターン、
92…補助パターン、
101…コンタクトホール、
102…反射防止膜、
103…レジストパターン、
141…トレンチ、
142…反射防止膜、
143…レジストパターン。
Claims (4)
- 段差が形成された下地層の上方に上層パターンを形成する際、前記下地層の段差の端部からの距離の差により生じる前記下地層上の反射防止膜の膜厚の差に応じて前記上層パターンを形成するための遮光パターンの補正量を決定することを特徴とするマスクパターン補正方法。
- 前記補正量は、前記段差から離れて安定した仕上がり寸法が得られる部分を基準とし、前記段差から所定の距離の範囲毎に、マスク描画グリッドの整数倍に設定されることを特徴とする請求項1記載のマスクパターン補正方法。
- 段差が形成された下地層の上方に上層パターンを形成するための遮光パターンを有する露光用マスクであって、
前記遮光パターンの幅が前記下地層の段差の端部からの距離の差により生じる前記下地層上の反射防止膜の膜厚の差に応じて補正されていることを特徴とする露光用マスク。 - 前記遮光パターンの幅は、前記下地層の段差の端部からの距離が近いほど補正量が多く設定されていることを特徴とする請求項3記載の露光用マスク。
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