JP3946173B2 - インクジェットプリントヘッド - Google Patents
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
202 電極
204 ヒータ
206 ヒューズ部
208 絶縁層
210 耐キャビテーション膜
214 インクチャンバ
216 ノズル
218 ノズルプレート
220 カバー部材
225 角
230 ヒューズアレイ
Claims (19)
- インクチャンバに充填されたインクを加熱してバブルを発生させることによりノズルを通じてインクを吐出させるインクジェットプリントヘッドにおいて,
前記ノズルを選択的に駆動させる駆動論理回路としての集積回路とデータを入出力させる論理回路とが形成される基板と,
前記集積回路及び前記論理回路の配線として使用され,前記基板上にパターニングされて形成される電極と,
前記集積回路から前記電極を通じて印加される電流により熱を発生し,前記電極上に形成される複数のヒータと,
前記論理回路から前記電極を通じて印加される電流により選択的にヒュージングされて前記データを記憶し,前記ヒータと同一平面上で前記電極上に底面と側面とを備えるように形成される複数のヒューズ部から構成されるヒューズアレイと,
前記ヒータ及び前記ヒューズアレイの上部に設けられ,前記ヒータの各々に対応する位置にインクチャンバ及びノズルが形成されるカバー部材と,
を備え、
前記ヒューズ部の底面と側面との交差部分は,前記ヒューズ部が形成される段差における被覆性が,前記ヒューズ部の前記底面の他の部分および前記側面の他の部分の被覆性より低いことを特徴とするインクジェットプリントヘッド。 - 前記ヒューズアレイの材質は,Ti又はTiNであることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記ヒューズアレイの材質は,Ta,TaN又はTaAlであることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記ヒューズアレイは,スパッタリング法により蒸着されて形成されることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記ヒューズアレイの厚さは500〜1500Åの範囲内であることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記ヒューズアレイの上面に形成された絶縁層をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記絶縁層の材質はSiNxであることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記絶縁層の上面に形成された耐キャビテーション膜をさらに備えることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記耐キャビテーション膜の材質はTaであることを特徴とする請求項8に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記耐キャビテーション膜の材質はTi又はTiNであることを特徴とする請求項8に記載のインクジェットプリントヘッド。
- インクチャンバに充填されたインクを加熱してバブルを発生させることによりノズルを通じてインクを吐出させるインクジェットプリントヘッドにおいて,
前記ノズルを選択的に駆動させる駆動論理回路としての集積回路とデータを入出力させる論理回路とが形成される基板と,
前記基板上に形成されるヒータと,
前記集積回路及び前記論理回路の配線として使用され,前記基板及び前記ヒータの上面にパターニングされて形成される電極と,
前記ヒータは、前記集積回路から前記電極を通じて印加される電流により熱を発生することと、
前記論理回路から前記電極を通じて印加される電流により選択的にヒュージングされて前記データを記憶し,前記電極上に底面と側面とを備えるように形成される複数のヒューズ部から構成されるヒューズアレイと,
前記ヒータ及び前記ヒューズアレイの上部に設けられ,前記ヒータの各々に対応する位置にインクチャンバ及びノズルが形成されるカバー部材と,
を備え、
前記ヒューズ部の底面と側面との交差部分は,前記ヒューズ部が形成される段差における被覆性が,前記ヒューズ部の前記底面の他の部分および前記側面の他の部分の被覆性より低いことを特徴とするインクジェットプリントヘッド。 - 前記ヒューズアレイの材質は,Ti又はTiNであることを特徴とする請求項11に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記ヒューズアレイの材質は,Ta,TaN又はTaAlであることを特徴とする請求項11に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記ヒューズアレイは,スパッタリング法により蒸着されて形成されることを特徴とする請求項11に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記ヒューズアレイの上面に形成された絶縁層をさらに備えることを特徴とする請求項11に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記絶縁層の材質はSiNxであることを特徴とする請求項15に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記絶縁層の上面に形成された耐キャビテーション膜をさらに備えることを特徴とする請求項15に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記耐キャビテーション膜の材質はTaであることを特徴とする請求項17に記載のインクジェットプリントヘッド。
- 前記耐キャビテーション膜の材質はTi又はTiNであることを特徴とする請求項17に記載のインクジェットプリントヘッド
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