JP3945835B2 - 洗浄処理装置および処理装置の画面処理方法 - Google Patents
洗浄処理装置および処理装置の画面処理方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェハなどの被処理体を処理するための処理装置および洗浄処理装置の画面処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえばLSI等の半導体デバイスの製造工程における洗浄処理を例にとって説明すると、従来から半導体ウエハ表面のパーティクル、有機汚染物、金属不純物等のコンタミネーションを除去するために、半導体ウエハの洗浄処理装置が使用されており、その中でもとりわけ、ウェット型の洗浄処理装置は、パーティクルを効果的に除去できしかもバッチ処理が可能なため、広く普及している。
【0003】
この種の洗浄処理装置においては、所定枚数、たとえば25枚の半導体ウエハを収納した、キャリアと称される収納体が、搬送ロボットにより、処理装置のローダ部に搬入され、オリフラ合わせを行った後、ウェハ保持部において、収納された半導体ウェハが保持具により前記キャリアから取り出され、搬送待機状態に置かれる。そして、搬送待機状態にある半導体ウエハは、ウエハチャックと称される把持装置を有する搬送装置によって、各種の洗浄処理が行われる洗浄処理部へと搬送され、この洗浄処理部内にて所定の洗浄処理に付される。
【0004】
洗浄処理部は、SC1洗浄、SC2洗浄、HF洗浄、SPM洗浄などの各種薬液洗浄を行うための1または2以上の洗浄ユニットが順次配列されて成り、それぞれの洗浄ユニットは、薬液洗浄を行う薬液槽と純水洗浄を行う水洗槽とから構成されている。前記搬送装置により、ある洗浄ユニットに移送された被処理体は、まず薬液槽において薬液洗浄された後、その薬液槽の下流に配された水洗槽に移送される。そして、その水洗槽において、半導体ウェハの表面に付着した薬液を純水により洗い流してから、別種の薬液による洗浄ユニットに搬送される。このようにして、一連の洗浄処理が終了した半導体ウェハは、さらに純水により最終洗浄され、乾燥処理され、アンローダ部を介して処理装置外に搬出される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような洗浄処理装置における洗浄処理は、通常は、オペレータにより、パーソナルコンピュータやワークステーションなどから構成される制御器に対して予め設定され、格納された処理レシピに従って行われる。そしてこの処理レシピの設定または修正は、オペレータ用ディスプレイなどの画像表示装置に表示される処理レシピ設定/修正メニュー画面において、専門的知識を有するオペレータが、キーボードなどの入力手段を介して、設定または修正することによって行っていた。
【0006】
しかしながら、従来の装置では、専門的知識を有さない一般オペレータであっても、通常メニュー画面から、処理用レシピ設定/修正メニュー画面に直接アクセスすることが可能であるため、不用意にまたは不注意で処理用レシピが修正または改ざんされるおそれがあり、問題となっていた。また、パスワードなどのプロテクト手段により処理用レシピ設定/修正メニュー画面にアクセスできないように構成する方法も知られているが、電源入力時に表示されるメインメニュー画面には、図10に示すように、通常メニュー画面と同時に、処理用レシピ設定/修正メニューも表示されているため、パスワードの設定が甘かったり、何らかの原因でパスワードが知られてしまった場合には、アクセス可能な処理用レシピ設定/修正メニューが目の前に表示されているため、一般オペレータは容易にそのメニューにアクセス可能であり、その進入を防止することは困難であった。
【0007】
本発明は、従来の洗浄処理装置その他の処理装置のオペレータ用画面処理方法の有する上述の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、洗浄処理その他の処理に対して重大な影響を与える、洗浄処理装置その他の処理装置および/またはそれらの処理フローに関する各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面に対して、専門的な知識を有さない一般オペレータが不用意にまたは不注意にアクセスできる可能性を極力減じ、上記パラメータが修正または改ざんされることを防止することが可能な新規かつ改良された処理装置、洗浄処理装置の画面処理方法を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明によれば、被処理体が装置内に搬入されるローダ部と、被処理体が装置外に搬出されるアンローダ部とを備え、
被処理体を薬液洗浄する1または2以上の薬液槽と、被処理体を純水洗浄する1または2以上の水洗槽とを少なくとも含む複数の処理槽と、被処理体を乾燥処理する乾燥器が、
前記ローダ部と前記アンローダ部との間に順次配列されて成る洗浄処理装置を予め設定された処理フローに従って制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、
電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示して、エンジニア用メニュー画面を表示せず、
一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、洗浄処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法が提供される。
また、本発明によれば、被処理体が装置内に搬入されるローダ部を備え、
被処理体を薬液洗浄する1または2以上の薬液槽と、被処理体を純水洗浄する1または2以上の水洗槽とを少なくとも含む複数の処理槽と、被処理体を乾燥処理する乾燥器とが順次配列されて成る洗浄処理装置を予め設定された処理フローに従って制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、
電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示して、エンジニア用メニュー画面を表示せず、
一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、洗浄処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法が提供される。
また、本発明によれば、被処理体が装置外に搬出されるアンローダ部を備え、
被処理体を薬液洗浄する1または2以上の薬液槽と、被処理体を純水洗浄する1または2以上の水洗槽とを少なくとも含む複数の処理槽と、被処理体を乾燥処理する乾燥器が順次配列されて成る洗浄処理装置を予め設定された処理フローに従って制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、
電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示して、エンジニア用メニュー画面を表示せず、
一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、洗浄処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法が提供される。
また、本発明によれば、被処理体が装置内に搬入されるローダ部と、被処理体が装置外に搬出されるアンローダ部とを備え、
被処理体の薬液洗浄と水洗洗浄を行う洗浄ユニットが前記ローダ部と前記アンローダ部との間に配列されて成る洗浄処理装置を予め設定された処理フローに従って制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、
電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示して、エンジニア用メニュー画面を表示せず、
一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、洗浄処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法が提供される。
また、本発明によれば、被処理体が装置内に搬入されるローダ部を備え、
被処理体の薬液洗浄と水洗洗浄を行う洗浄ユニットが配列されて成る洗浄処理装置を予め設定された処理フローに従って制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、
電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示して、エンジニア用メニュー画面を表示せず、
一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、洗浄処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法が提供される。
また、本発明によれば、被処理体が装置外に搬出されるアンローダ部を備え、
被処理体の薬液洗浄と水洗洗浄を行う洗浄ユニットが配列されて成る洗浄処理装置を予め設定された処理フローに従って制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、
電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示して、エンジニア用メニュー画面を表示せず、
一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、洗浄処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法が提供される。
なお、一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、エンジニア用メニュー画面を表示するようにしても良い。
【0009】
その場合に、前記一般オペレータ用メニュー画面および/または前記エンジニア用メニュー画面は、キー入力により選択表示可能な1または2以上に階層化された1または2以上の下位メニュー画面を含み、さらにその下位メニュー画面は、別のパスワードの入力を待って表示可能なものであるように構成することが可能である。また、前記エンジニア用メニュー画面は、処理レシピ作成および/または変更用メニュー画面を含むように構成し、さらにその処理レシピ作成および/変更用メニュー画面は、別のパスワードを待って表示されるように構成することが可能である。そして、前記エンジニア用メニュー画面には、洗浄処理装置の各構成要素の状態を調整することがメンテナンス用メニュー画面が含まれるように構成することが好ましい。
【0010】
また本発明は、上記洗浄処理装置に限定されず、半導体ウェハやLCD基板などの被処理体に対して、予め設定された処理フローに従って、所定の処理を施すことが可能であり、しかも、その予め設定された処理フローは外部から該装置にアクセスして設定/変更することが可能な多くの処理装置に対しても適用することが可能であり、本発明の別の観点によれば、かかる処理装置一般に対する上記構成の応用が開示される。
【0011】
本発明によれば、電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理その他の処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニューのみが表示され、エンジニア用メニュー画面は表示されない。したがって、エンジニア用メニュー画面へのアクセスが禁止されている一般オペレータからエンジニア用メニュー画面は有効に保護される。そして、洗浄処理装置その他の処理装置の各構成部材に関するパラメータ、あるいは処理フローに関するパラメータについて新たに設定、あるいは修正が必要になった場合には、パスワードを知っているエンジニアが、電源入力時に表示される一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードを入力することにより、エンジニア用メニュー画面にアクセスすることが可能となる。以上のように、本発明によれば、電源入力時には、エンジニア用メニュー画面自体が表示されないので、アクセスが禁止されているオペレータが、不用意にあるいは不注意にあるいは意図的にエンジニア用メニュー画面にアクセスすることによって、洗浄処理装置その他の処理装置の動作に重大な影響を与えるパラメータが変更または改ざんされるような事態を有効に防止することができる。
【0012】
また、各メニュー画面を、キー入力により、選択表示可能な1または2以上の階層化された1または2以上の下位メニュー画面から構成することにより、操作性を向上させることができる。そしてその場合に、一般的なアクセスから保護されるべき下位メニュー画面をパスワードにより保護することにより、外部からの進入に対してシステムをさらに有効に保全することができる。たとえば、エンジニア用メニュー画面の下位メニューとして、処理レシピ作成および/または変更用メニュー画面を構成し、その処理レシピ作成および/または変更用メニュー画面をパスワードにより保護することにより、処理レシピの不用意な変更または改ざんを有効に保護することができる。
【0013】
さらにまた、本発明は洗浄処理装置に限定されず、半導体ウェハやLCD基板などの被処理体に対して、予め設定された処理フローに従って所定の処理を施すための各種処理装置、たとえばエッチング装置や成膜装置などの、エンジニア用メニュー画面を保護するためにも有効である。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下に本発明を洗浄処理装置に適用した一実施例について添付図面を参照しながら詳細に説明することにする。
【0015】
まず図1〜図6を参照しながら本発明を適用可能な洗浄処理装置1の全体的な構成について説明する。図1に示すように、洗浄処理装置1全体は、洗浄処理前の被処理体、たとえば半導体ウェハをキャリア単位で収容するローダ部100と、ウェハの洗浄処理が行われる洗浄処理部200と、洗浄処理後のウェハをキャリア単位で装置外に搬出するためのアンローダ部300との、3つのゾーンから構成されている。
【0016】
上記ローダ部100は、未洗浄のウェハが所定枚数、たとえば25枚収容されたキャリアCを搬入、載置させる載置部110と、載置されたキャリアCを、図2に拡大して示す保持部133、135に移送するための移送装置120と、キャリアCからウェハを取り出してウェハ搬送装置140に受け渡しを行う中継部130とから主に構成されている。この載置部110は、図2に示すように、中空の載置台111を備え、その上面には、上記キャリアCの下部が挿通可能な開口を有する複数のステーション112a、112b、…、112nが2列に整列されて設けられている。なお、各ステーション112の各角隅部近傍には、前記キャリアCの上縁角部を係止可能な係止部113がそれぞれ設けられている。
【0017】
また上記ローダ部100は、移動機構115を備えており、この移動機構115は図示しない駆動機構により、上下水平方向に自在に駆動可能であり、クランプ部材116により把持された上記キャリアCを所望のステーション112a、112b、…、112nにまで移動させることが可能である。またこの移動機構115は、上記キャリアCに収納されたウェハWのオリフラを整列するための整列装置117をも備えており、キャリアCの移動時に収納されたウェハWのオリフラ合わせを行うことができる。
【0018】
さらに、図2に示すが如く、上記ローダ部100の後方には上記移送装置120が設けられている。この移送装置120は、接近離隔自在に構成された一対のアーム121a、121bと、これらのアーム121a、121bを水平に指示するリフタ122と、上記リフタを上下方向(Z方向)に移動させるためのZベース123と、上記Zベース123自体を上記洗浄処理装置の長手方向(X方向)に移動させるためのXベース124とから構成されており、上記アーム121a、121b上に上記キャリアCの上部両側縁部を載置させたまま、このキャリアCを上記アーム121a、121bで挟持して、これを図1に示す前記中継部140まで移送させることが可能なように構成されている。
【0019】
上記中継部130は、図2に示すように、支柱131を介して天板132上に固定された保持部133、および天板132に対してそのY方向に移動自在な移動柱134によって支持された保持部135を、それぞれY方向に連ねて有している。これら各保持部133、135は、上記キャリアCの下面開口部を通過自在な形態を有し、さらに各保持部133、135の上面には、それぞれウエハWの周縁の一部が挿入されて略垂直に立設されるように円弧形状の保持溝136がそれぞれ所定数、たとえば上記キャリアCのウェハ収納枚数に対応する25本ずつ形成されている。そして上記支持柱131、および移動柱134の各基部の近傍における上記天板132上には、上記キャリアCの下端部各角部が係止される係止部材137が各々4カ所に設けられている。
【0020】
そして、これら保持部133、135に保持されるウエハWを一括して把持し、これを上記洗浄処理部200へと搬送するためのウエハ搬送装置140は、図3に示したように構成されている。すなわち、このウエハ搬送装置140は、たとえば50枚のウエハを一括して把持する左右一対の把持部材141a、141bによって構成されたウエハチャック142と、このウエハチャック142を支持する支持体143と、この支持体143を上下方向(Z方向)に昇降させると共に、前後方向(Y方向)にも移動させる駆動機構144と、この駆動機構144を洗浄処理部200の長手方向(X方向)に沿って移動させるための搬送ベース145(図2参照)とによって構成されている。
【0021】
上記ウエハチャック142おける各把持部材141a、141bは左右対称形であり、それぞれ、その回動軸146a、146bが上記支持体143に回動自在に支持され、開脚、閉脚自在に構成されている。さらに、上記回動軸146a、146bにはアルミ製の把持部材141a、141bの各上端部が固着され、またこれら各把持部材141a、141bの下端部間には、上下2段に石英製の把持棒147a、147b、148a、148bが平行に渡されている。上記各把持棒147a、147b、148a、148bの表面には、ウエハWの周縁部が挿入される把持溝149がたとえば50本形成されている。そして、各把持部材141a、141bは、回転軸146a、146bを回転させることにより、その把持棒147a、147b、148a、148bにてウェハWを把持し、上下方向(Z方向)および長手方向(X方向)の所望の位置に移載することが可能なように構成されている。
【0022】
そして、これらの搬送装置140は、後述する各洗浄ユニット201a、201b、…、201nに対応して設置されており、搬送ベース145を移動させることにより、所定枚数のウェハから成るロットを、たとえばウェハ搬送装置140aによりローダ部100と上記洗浄処理部200の一次洗浄ユニット201a間、および一次洗浄ユニット201aと二次洗浄ユニット201b間、あるいはウェハ搬送装置104bにより一次洗浄ユニットと二次洗浄ユニット間、あるいはウェハ搬送装置140nにより、(n−1)次洗浄ユニット201nとn次洗浄槽140n間、およびn次洗浄ユニット201nとアンローダ部300間においてウェハをロット単位で移載することが可能である。そして、後述する二次水洗槽(インタフェース槽)204を介して、隣接する洗浄ユニット140間においてウェハの受け渡しをするとともに、所定の薬液槽202または水洗槽204、205に設けられている後述のウェハ保持具212(図4参照)にウェハを移載することが可能なように構成されている。
【0023】
次に洗浄処理部200について説明すると、洗浄処理部200は、図1に示されるように、一次洗浄ユニットからn次洗浄ユニットまで複数の洗浄ユニット201a、201b、…、201nが順次配列されて構成されている。各洗浄ユニット201は、たとえば薬液槽202、一次水洗槽203、二次水洗槽204から構成され、薬液槽202において薬液洗浄後、一次水洗槽203および二次水洗槽204において純水によりウェハWに付着した薬液を洗浄した後、前出のウェハ搬送装置140によりさらに下流の洗浄ユニットに移載することが可能なように構成されている。さらに、前記洗浄処理部200の最下流には、純水による最終洗浄を行う最終水洗槽205および洗浄処理が終了したウェハを、たとえばIPA(イソプロピルアルコール)等で蒸気乾燥させるための乾燥処理槽206が順次配列されて、一連の洗浄処理を行うことができるように構成されている。
【0024】
各薬液槽201では、ウェハ表面に付着した汚染の種類、たとえば有機物不純物、金属不純物などに応じて、所定の薬液が導入され、薬液洗浄処理が施される。たとえば、有機物汚染に対しては、アンモニア水と過酸化水素水の混合液により、いわゆるSC1洗浄を行うことが可能である。またHF液により、いわゆるHF洗浄により自然酸化膜および金属不純物を除去することが可能である。さらに塩酸と過酸化水素水の混合液によりいわゆるSC2洗浄を行うことにより、ベアなシリコンに付着した金属不純物を除去しながら、クリーンな自然酸化膜を成長させることが可能である。そして、過酸化水素をベースにした典型的な洗浄法、いわゆるRCA洗浄に関して言えば、SC1洗浄→HF洗浄→SC2洗浄を順次対応する洗浄ユニットにより行うことにより、ウェハの洗浄を行うことが可能である。
【0025】
次に、図4および図5を参照しながら、本発明に基づいて構成された洗浄処理装置に採用可能な典型的な処理槽の構造について、SC1洗浄槽210を例に挙げて説明する。なお、他の種類の薬液槽および水洗槽の基本的構造は、ここで説明するSC1洗浄槽のものと変わらないため詳細な説明は省略する。
【0026】
図示のように、処理槽210は、高温に加熱されたアンモニア水と過酸化水素水の混合液から成るSC1洗浄用薬液を収容する箱形の処理槽211と、この処理槽211内に配設されてウェハWをたとえば50枚垂直に保持するウェハ保持具212とを備えている。さらに、処理槽211の底部213には洗浄用薬液の供給口214が開口しており、この供給口214より槽内に導入された洗浄液は、上記保持具212と上記底部213との間に介装された整流手段220を介して、乱流を生じることなく均等にウェハWの周囲に供給される。
【0027】
すなわち、この整流手段220は、処理槽211を上下に区画するように水平に配設される整流板221と、供給口214の上方に配置される円板状の拡散板222とから構成されている。この整流板221には多数の小孔223が穿設されており、供給口214より導入された薬液は、まず拡散板222の裏面に衝突し、その拡散板222の周縁部より整流板221の裏面全体に拡散され、その後整流板221の小孔223を通過して、上記ウェハ保持具212により保持されたウェハWの周囲に供給されるので、乱流を生じることなく均等な流速でウェハWを包み込み、ウェハW全体をむら無く均等に洗浄することが可能なように構成されている。
【0028】
また、上記処理槽210は、ウェハ保持具212が収納されてウェハWを処理液中に浸漬することが可能な内槽215と、この内槽215の上端からオーバーフローする処理液を受けとめる外槽216とから構成されており、上記内槽215の底部213に設けられた供給口214と外槽216の底部に設けられた排出口217との間には、薬液循環経路218が接続される。そして、この薬液循環経路218に、循環ポンプPとフィルタFと廃液用バルブVが介装されて、上記外槽216よりオーバーフローした薬液を清浄化して再び上記内槽215に循環供給するとともに、必要に応じて廃液用バルブVを開放して廃液を行うことができるように構成されている。さらに循環ポンプPには薬液/純水供給管路219が接続されており、必要に応じて新しい薬液または純水を上記処理槽210に供給することができる。
【0029】
そして、上記処理槽210の上記内槽215の上方には、図5および図6に示すように、排気口230が設けられており、上記処理槽210内において蒸発気化した薬液を真空ポンプなどの排気手段231などにより適宜排気することが可能なように構成されている。
【0030】
さらにまた、上記処理槽210の上方開口部には開閉式の蓋240が挿着されており、この蓋240を閉鎖することにより、処理中に処理液の気化拡散を防止するとともに、外部から上記処理槽210内に汚染物質やごみが混入することを防止することが可能である。この蓋240は、図5および図6に示すように、処理槽210の側壁に枢着される2本の回転軸241に対して突設される開閉アーム242に固定される固定される一対の蓋体243とから構成されており、図示しない駆動モータにより上記回転軸241を所定の時間遅れを持って回転させることにより、一対の蓋体243を開閉動作させることができる。
【0031】
以上のように洗浄処理部200は構成されており、さらにこの洗浄処理部200の下流には、洗浄処理が終了したウェハWをキャリアCに戻して、装置外に搬出するアンローダ部300が設けられているが、このアンローダ部300の基本的構成はローダ部100と同様であり、ローダ部100において行われた工程を逆にフローさせることにより、処理済ウェハWを装置外に搬出することが可能である。したがって、ここでは詳細な説明は省略する。
【0032】
本実施例が適用された洗浄処理装置1は、上記のように構成されており、次にあるロットを洗浄処理する一連の動作について説明する。まず、未処理のウェハWを25枚ずつ収納したキャリアC1、C2を搬送ロボットに(図示せず)によって、ローダ部100の載置部110のステーション112のロード用位置に載置する。
【0033】
そして移動機構115によりキャリアC1、C2を順次クランプし、オリフラ合わせしながら、ステーション112の移載用位置にまで順次移動させる。そして、その移載用位置において前記移送装置120のアーム121a、121bによりキャリアC1、C2を同時に挟持した状態でZベース123をX方向に中継部130まで移動させ、中継部130の保持部133、135をZ方向上方に移動させ、キャリアC1、C2内のウェハWを保持部133、135上に移載する。その後、移載されたウェハWを整列装置116を備えたオリフラ合わせ部で整列し、所定枚数、例えば50枚のウェハ列を1ロットとして後続の洗浄処理を待機する。
【0034】
続いて、図1に示す一次ウェハ搬送装置140aが、上記中継部130に移動して、図3に示すウェハチャック142により整列されたウェハWをロット単位で把持して、これらを一次洗浄ユニット201aのSC1洗浄槽202aに搬送し、図4に示す処理槽210内の処理液中に予め設けられた保持部212にロット単位で載置する。その後、処理槽210内に所定の薬液を導入し、ウェハWに対して所定のSC1洗浄を行った後、再びウェハWを上記ウェハチャック142により取り出して、一次水洗槽203aに搬送し、そこで、この洗浄槽203内に設けられている保持部212に移載し、純水による一次洗浄を行う。その後、同様の方法により、純水洗浄後のウェハWを二次水洗槽204a(図1)に送り、純水による二次洗浄を行い、ウェハWに付着した薬液をより完全に洗浄する。なお、この二次水洗槽204aは、インタフェース槽とも称されるものであり、別種の薬液による洗浄が行われる隣接する洗浄ユニットの間にあって、両薬液の混合を防止するためのバッファとしての機能を有するものであり、図示の実施例に即して言えば、薬液槽201aにおいてSC1洗浄が行われたウェハWは、一次水洗後、インタフェース槽である二次水洗槽204aにおいて、後続の二次洗浄ユニット201bにおけるHF洗浄を待機する。
【0035】
そして、二次洗浄ユニット201bを受け持つ二次ウェハ搬送装置140bにより、一次洗浄ユニット201bの二次水洗槽203aからウェハWを取り出して、HF洗浄用の二次洗浄ユニット201bのHF薬液槽202bに搬送する。所定の薬液処理後に、一次水洗槽203bにおいて一次洗浄を行い、さらにインタフェース槽である二次水洗槽204bにおいて、後続工程の処理の空きを待機する。以下、同様の工程を反復して、SC2洗浄その他の必要な洗浄処理を行った後、ウェハWは、n次ウェハ搬送装置140nにより最終水洗槽205に送られ、そこで純水による最終水洗処理を行った後、乾燥処理槽206に送られ、IPAによる蒸気乾燥処理を行った後、アンローダ部300を介して装置外に搬出される。
【0036】
以上が、本発明を適用可能な洗浄処理装置1によるあるロットに対する洗浄処理のフローであるが、一般に上記のような処理フローは、上記制御器260に予め設定入力された処理レシピに従って行われる。この制御器260は、図1に示すように、オペレータ用画面261およびキーボードやマウスなどの入力手段262を備えたパーソナルコンピュータやワークステーションなどから構成されており、以下に示すようなような操作画面に従って、オペレータが所定の命令を入力することにより、マニュアルモードであるいはオートモードで洗浄装置を操作することが可能である。
【0037】
図7〜図9には、本発明を適用可能な画面制御システムの階層的な系統図が示されている。図示のように、メインメニューに示すことが可能なオペレータ用画面は、一般オペレータ用メニューとエンジニア用メニューとに分かれている。そして、一般オペレータ用メニューでは、図8に示すように、ウェハフロー開始メニュー、装置情報メニュー、スタンバイ処理メニュー、メカイニシャライズメニュー、処理終了メニュー、払い出し処理メニューを、それぞれ選択することが可能なように構成されている。また図9に示すように、エンジニア用メニューは、レシピ作成メニュー、メンテナンス用メニュー、サービス用メニューから構成される。そしてレシピ作成メニューでは、ウェハフローレシピメニュー、装置パラメータメニュー、固定パラメータメニュー、槽パラメータメニューが選択可能であり、メンテナンス用メニューでは、ティーチング制御メニュー、センサステータスメニュー、アラームロギングメニューが選択可能であり、さらにサービス用メニューでは、定常画面メニュー、パスワード設定メニュー、時間設定メニューを選択することが可能なように構成されている。
【0038】
そして、図10は、図7〜図9に示すメニューのうち、上記オペレータ用画面261に表示することが可能な全てのメニューを表示したものであり、この場合には、一般オペレータ用メニューに加えて、エンジニア用メニューも表示されている。したがって、表示されたエンジニア用メニューがパスワードなどにより何ら保護されていない場合には、所定の知識を有するオペレータ以外のアクセスは本来禁止されるべきレシピ作成メニューやメンテナンスメニューやサービスメニューに対しても、一般オペレータが容易にアクセスすることができるので、不用意に、あるいは不注意で、あるいは意図的に、装置の動作に重大な影響を与えるウェハレシピ、装置パラメータ、固定パラメータ、槽パラメータなどが修正または改ざんされるおそれがあった。また仮にエンジニア用メニューをパスワードなどにより保護した場合であっても、メインメニューにエンジニア用メニュー自体は表示されるので、一般オペレータは絶えずエンジニア用メニューへアクセスする誘惑にさらされることになり、パスワードが甘い場合や、何らかの理由で一般オペレータにパスワードが知れてしまった場合には、一般オペレータのエンジニア用メニューへのアクセスが可能となり、各種パラメータが修正または改ざんされるおそれが生じる。
【0039】
しかしながら、本発明によれば、電源入力後には、図11に示すような一般オペレータ用のメニュー選択画面のみが表示されるので、一般オペレータは、そもそも、エンジニア用メニューの存在を知ることがなく、したがって、エンジニア用メニューへアクセスする誘惑から完全に解放される。そして、図25に示すサービス用メニューのパスワード設定メニューにおいて予め設定されたパスワードを知っているオペレータのみが、上記メインメニューにおいてパスワードを入力することにより、図24に示すようなパスワード入力画面を表示させ、エンジニア用メニューのうちアクセスしたいメニューに対応するパスワードを入力することにより、対応するメニュー、たとえばレシピ作成メニューへアクセスすることが可能となる。
【0040】
エンジニア用メニューについては後述するとして、まず、一般オペレータが一般の洗浄処理を実行する場合について説明する。一般オペレータは、電源入力後表示されたメインメニュー画面において、まず図11に示すように、メカイニシャライズメニューを選択し、装置内にウェハが存在しないかどうかを確認し、確認後、装置の搬送系、たとえばローダ部100の移送装置120、各洗浄ユニット201の搬送装置140などを初期位置に戻して、新しいロットを受け入れ可能状態にする。
【0041】
その後、図12に示すように、スタンバイメニューを選択し、図13に示すようなテーブルに基づいて、各処理槽に所定の薬液または純水を注入/交換するとともに、所定の温度に温調し、いつでも処理を開始できるように、洗浄装置全体のスタンバイを行う。
【0042】
以上に示したように、本実施例では、メカイニシャライズ処理とスタンバイ処理とを実行して、始めて図14に示すように、ウェハフロー開始メニューの選択が可能となる。なお、本実施例においては、メカイニシャライズ処理およびスタンバイ処理を実行したか否かを「*」マークにより識別し、各処理を実行することにより「*」マークを消去して始めて、ウェハフロー開始メニューに関する入力を受け付けるように構成している。このように、ウェハフロー開始メニューを選択し、図15に示す画面において、ウェハのロットIDや各処理レシピなどの確認を行った後、ロットスタートキーを押すことにより、オートモードにて上述したような一般の洗浄処理が開始され、一連の洗浄処理が終了した後、アンローダ部300から処理済みのロットが搬送ロボットにより装置外に自動的に搬出される。
【0043】
そして、一連の処理が終了した場合には、図16において、処理終了メニューを選択し、必要な場合には、各処理槽内の薬液や純水を廃液/排水処理を実施した後、洗浄処理装置を停止する。
【0044】
なお、一般オペレータ用メニューのうち、図17に示す、装置情報メニューは、薬液槽や水洗槽などの洗浄装置を構成する各装置に関する情報、処理レシピ、ロット情報などを画面上に表示させ、その確認を行うための画面である。また図18に示す、払い出し処理メニューは、処理中に装置のいずれかの処理槽においてトラブルが発生した場合に必要なメニューであり、図19に示すような画面に従って、トラブルが発生した処理槽からウェハを、その下流の水洗槽に強制的に払い出し、必要によっては、最終洗浄および/または乾燥処理後に、装置外に強制的に搬出する指令を発するためのものである。
【0045】
以上が、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うための一般オペレータ用メニューについての概略的な説明であるが、洗浄処理装置に予め設定された処理フローを、新たに設定または修正したい場合には、電源入力後に表示されるメインメニューにおいて、第1のパスワードを入力し、図24に示すようなパスワード入力画面を表示させた後、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている第2のパスワードを入力することにより、たとえば、図20に示すようなウェハフローレシピメニューを表示させることが可能である。そして同様に、上記パスワード入力画面において第3のパスワードを入力することにより、装置パラメータメニューを表示させることが可能である。このように、本発明によれば、あるパラメータに関する知識を有するオペレータに対してのみ、そのパラメータの設定変更を行うためのメニューにアクセスすることが可能なパスワードを教えることにより、エンジニア用メニューにアクセス可能なオペレータを、さらに該当するメニューに対する知識が十分なオペレータとそうでないオペレータとに差別化し、そのパラメータを保護することが可能である。
【0046】
さて、このようにしてアクセス可能となった、図20に示すウェハフローレシピメニューは、前出の一般オペレータ用メニューにおけるウェハフロー開始メニューにより処理を行うために必要な処理フロー、すなわち処理レシピを記録したファイルを作成するためのメニューであり、本実施例では、40個のファイルを管理することが可能である。
【0047】
そして図20に示す画面において、あるファイルを指定して、「1.新規作成、編集」を選択することにより、図21に示すような各処理ユニットと対応する処理を一覧表示したテーブルを表示させることが可能である。そして、後述する各パラメータメニューにおいて予め処理条件が設定されており、処理レシピに従った細かい指示が不要な場合には、図21に示す画面上において、単に処理時間を入力することにより、テーブルが完成され、処理レシピに従った細かい指示が必要な場合には、処理レシピの番号が入力され、テーブルが完成される。
【0048】
ここで各処理ユニットに関する処理レシピの作成/修正が必要な場合には「レシピ編集」キーを押すことにより、図22に示すような登録された処理レシピの一覧が表示され、さらに作成/修正を行う処理レシピを選択することにより、図23に示すようなレシピ編集画面を表示させることが可能である。なお、以下の説明においては、純水による一次洗浄槽に関するレシピ編集を例に挙げて、本発明に基づいて構成されたレシピ編集用画面の処理方法について説明する。
【0049】
図示のように、この画面では、この一次水洗槽に関連する情報が処理フローに沿って図表化されているので、オペレータは、容易にかつ入力ミスを最小限に抑えて、対応するパラメータの設定/修正を行うことができる。そして、以上のように、時系列的に図表化された画面において編集された処理レシピを、前出の一般オペレータ用画面のウェハフロー開始メニューで選択することにより、所望の洗浄処理を実行することが可能である。
【0050】
再び図7〜図9に戻って、レシピ作成メニューについて説明すると、装置パラメータメニューでは、各処理槽の温度や純水タンクの温度、さらにアラームを発する警告温度などのパラメータを設定することが可能である。また固定パラメータメニューでは、各槽での液交換、槽洗浄条件、オーバーフロー時間などのパラメータを設定することが可能である。そして槽パラメータメニューでは、各処理槽の廃液条件、供給条件などのパラメータを設定することが可能である。このように、これらのパラメータメニューで設定されたパラメータおよび前出のウェハーフローレシピメニューで設定された処理レシピに基づいて、最適な洗浄処理が行われる。
【0051】
次に図7〜図9に示す、メンテナンス用メニューについて説明すると、このメニューは、ティーチング制御メニューと、センサステータスメニューと、アラームロギングメニューとから構成されている。このうち、ティーチング制御メニューでは、搬送装置140、ローダ部100、アンローダ部300、移送装置120などの搬送系の位置調整を行うための画面であり、装置の初期位置および動作に関して微調整が必要な場合に表示される。またセンサステータスメニューは、洗浄処理装置の各部位に設置されたセンサの状態の表示を行い、必要な場合にはセンサの状態を調整する場合に必要な画面である。なお、本実施例にかかる洗浄処理装置では、装置内で発生した全てのアラームの時間、コード、状態などの情報を記録しており、それらの情報は、アラームロギングメニューにおいて表示可能であり、メンテナンス時に参照される。
【0052】
次に図7〜図9に示す、サービス用メニューについて説明すると、このメニューは、定常画面設定メニューと、パスワード設定メニューと、時間設定メニューとから構成されている。本実施例にかかる洗浄処理装置では、一定時間キー操作をしない場合に、指定した画面を自動的に表示する機能を有しているが、この定常画面設定メニューにおいて、定常画面において表示させたい項目および切換に要する時間などを設定することが可能である。
【0053】
そして、本発明によれば、エンジニア用メニュー画面およびレシピ作成画面は、不注意なオペレータからパスワードにより保護されているが、これらのパスワードに変更が必要な場合には、図25に示すパスワード設定メニュー画面にて変更作業を行うことが可能である。なお、パスワードは、システムの保全にあたって重要な、すなわち許可されたオペレータ以外のアクセスを禁止すべきパラメータまたは指令に対して付与することが可能であり、本システムに即して言えば、ウェハフロー作成用メニューの表示、装置パラメータ作成用メニューの表示、固定パラメータ作成用メニューの表示、払い出し処理の実施、パスワード設定用メニューの表示、そして、エンジニア用メニューを表示させるためのメインメニュー切り換えのために、それぞれ別個のパスワードを設定することが可能である。
【0054】
さらに、サービス用メニューには、時間設定メニュー画面が設けられており、必要な場合には洗浄処理装置に内蔵されているクロックの時間を変更することができる。
【0055】
以上説明したように、洗浄処理装置1を駆動するための制御系とオペレータとのインタフェースは構成されており、制御器260のオペレータ用画面261に表示される各種メニューに基づいてオペレータが所定の処理フローを指示することにより、各種モードにて駆動することが可能である。
【0056】
なお上記実施例においては、1台の薬液槽と2台の水洗槽から成る洗浄ユニットを組み合わせた洗浄処理装置について説明したが、本発明はかかる例に限定されず、たとえば同種の薬液による処理を行う複数の薬液槽を含む洗浄ユニット、あるいは1台の水洗槽のみを含む洗浄ユニットなど、各種処理槽を組み合わせた洗浄装置に対して適用することが可能である。
【0057】
また以上の説明においては、半導体ウェハ用の洗浄処理装置を例に挙げて本発明の一実施例を説明したが、本発明はこれに限定されず、たとえばLCD基板その他の部品および部材を洗浄するための洗浄処理装置に対しても当然適用することが可能である。さらにまた、本発明は洗浄処理装置に限定されず、半導体ウェハやLCD基板などの被処理体に対して、予め設定された処理フローに従って、所定の処理を施すための各種処理装置、たとえばエッチング装置や成膜装置を制御するためのオペレータ用画面に対して適用することも可能であり、その場合にも、専門的な知識を有するオペレータを一般オペレータから差別化することにより、システムの保全を図ることが可能である。
【0058】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理その他の処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニューのみが表示され、エンジニア用メニュー画面は表示されない。したがって、エンジニア用メニュー画面へのアクセスが禁止されている一般オペレータからエンジニア用メニュー画面は有効に保護される。そして、洗浄処理装置その他の処理装置の各構成部材に関するパラメータ、あるいは処理フローに関するパラメータについて新たに設定、あるいは修正が必要になった場合には、パスワードと知っているエンジニアが、電源入力時に表示される一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードを入力することにより、エンジニア用メニュー画面にアクセスすることが可能となる。
【0059】
このように、本発明によれば、電源入力時には、エンジニア用メニュー画面自体が表示されないので、アクセスが禁止されているオペレータが、不用意にあるいは不注意にあるいは意図的にエンジニア用メニュー画面にアクセスすることによって、洗浄処理装置その他の処理装置の動作に重大な影響を与えるパラメータが変更または改ざんされるような事態を有効に防止することができる。
【0060】
また、各メニュー画面を、キー入力により、選択表示可能な1または2以上の階層化された1または2以上の下位メニュー画面から構成することにより、操作性を向上させることができる。そしてその場合に、一般的なアクセスから保護されるべき下位メニュー画面をパスワードにより保護することにより、外部からの進入に対してシステムをさらに有効に保全することができる。たとえば、エンジニア用メニュー画面の下位メニューとして、処理レシピ作成および/または変更用メニュー画面を構成し、その処理レシピ作成および/または変更用メニュー画面をパスワードにより保護することにより、処理レシピの不用意な変更または改ざんを有効に保護することができる。
【0061】
さらにまた、本発明は洗浄処理装置に限定されず、半導体ウェハやLCD基板などの被処理体に対して、予め設定された処理フローに従って所定の処理を施すための各種処理装置、たとえばエッチング装置や成膜装置などの、エンジニア用メニュー画面を保護するためにも有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に基づいて構成された洗浄処理装置の一実施例を示す概略的な斜視図である。
【図2】図1に示す洗浄処理装置のローダ部の一例を拡大して示す斜視図である。
【図3】図1に示す洗浄処理装置のウェハ搬送装置の一例を拡大して示す斜視図である。
【図4】図1に示す洗浄処理装置の洗浄処理槽の一例を一部を断裁した状態を概略的に示す斜視図である。
【図5】図4に示す洗浄処理槽の様子を示す概略的な断面図である。
【図6】図4に示す洗浄処理槽の蓋を閉じた状態を概略的に示す斜視図である。
【図7】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面の階層構造を示す第1の階層系統図である。
【図8】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面の階層構造を示す第2の階層系統図である。
【図9】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面の階層構造を示す第3の階層系統図である。
【図10】本発明に基づいて採用される制御系のうちオペレータ用画面に表示可能なメニューを示す説明図である。
【図11】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうちメインメニューのメカイニシャライズメニュー選択画面の一実施例を示す説明図である。
【図12】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうちメインメニューのスタンバイ処理メニュー選択画面の一実施例を示す説明図である。
【図13】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうちスタンバイ処理メニュー画面の一実施例を示す説明図である。
【図14】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうちメインメニューのウェハフロー開始メニュー選択画面の一実施例を示す説明図である。
【図15】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうちウェハフロー開始メニュー画面の一実施例を示す説明図である。
【図16】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうちメインメニューの処理終了メニュー選択画面の一実施例を示す説明図である。
【図17】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうちメインメニューの装置情報メニュー選択画面の一実施例を示す説明図である。
【図18】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうちメインメニューの払い出し処理メニュー選択画面の一実施例を示す説明図である。
【図19】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうち払い出しメニュー画面の一実施例を示す説明図である。
【図20】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうちウェハフローレシピ画面の一実施例を示す説明図である。
【図21】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうちウェハフロー編集画面の一実施例を示す説明図である。
【図22】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうちメインメニューの一次水洗レシピのファイル選択メニュー選択画面の一実施例を示す説明図である。
【図23】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうちメインメニューの一次水洗レシピメニュー選択画面の一実施例を示す説明図である。
【図24】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のメインメニューにおいてパスワード入力後に表示されるパスワード設定画面を示す説明図である。
【図25】本発明に基づいて採用されるオペレータ用画面のうちサービス用メニューのパスワード設定画面を示す説明図である。
【符号の説明】
1 洗浄処理装置
100 ローダ部
110 載置部
130 中継部
140 ウェハ搬送装置
200 洗浄処理部
201 洗浄ユニット
202 薬液槽
203 一次水洗槽
204 二次水洗槽(インタフェース槽)
260 制御器
261 オペレータ用画面
262 キーボード
300 アンローダ部
Claims (16)
- 被処理体が装置内に搬入されるローダ部と、被処理体が装置外に搬出されるアンローダ部とを備え、
被処理体を薬液洗浄する1または2以上の薬液槽と、被処理体を純水洗浄する1または2以上の水洗槽とを少なくとも含む複数の処理槽と、被処理体を乾燥処理する乾燥器が、
前記ローダ部と前記アンローダ部との間に順次配列されて成る洗浄処理装置を予め設定された処理フローに従って制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、
電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示して、エンジニア用メニュー画面を表示せず、
一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、洗浄処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法。 - 被処理体が装置内に搬入されるローダ部を備え、
被処理体を薬液洗浄する1または2以上の薬液槽と、被処理体を純水洗浄する1または2以上の水洗槽とを少なくとも含む複数の処理槽と、被処理体を乾燥処理する乾燥器とが順次配列されて成る洗浄処理装置を予め設定された処理フローに従って制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、
電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示して、エンジニア用メニュー画面を表示せず、
一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、洗浄処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法。 - 被処理体が装置外に搬出されるアンローダ部を備え、
被処理体を薬液洗浄する1または2以上の薬液槽と、被処理体を純水洗浄する1または2以上の水洗槽とを少なくとも含む複数の処理槽と、被処理体を乾燥処理する乾燥器が順次配列されて成る洗浄処理装置を予め設定された処理フローに従って制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、
電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示して、エンジニア用メニュー画面を表示せず、
一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、洗浄処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法。 - 被処理体が装置内に搬入されるローダ部と、被処理体が装置外に搬出されるアンローダ部とを備え、
被処理体の薬液洗浄と水洗洗浄を行う洗浄ユニットが前記ローダ部と前記アンローダ部との間に配列されて成る洗浄処理装置を予め設定された処理フローに従って制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、
電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示して、エンジニア用メニュー画面を表示せず、
一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、洗浄処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法。 - 被処理体が装置内に搬入されるローダ部を備え、
被処理体の薬液洗浄と水洗洗浄を行う洗浄ユニットが配列されて成る洗浄処理装置を予め設定された処理フローに従って制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、
電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示して、エンジニア用メニュー画面を表示せず、
一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、洗浄処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法。 - 被処理体が装置外に搬出されるアンローダ部を備え、
被処理体の薬液洗浄と水洗洗浄を行う洗浄ユニットが配列されて成る洗浄処理装置を予め設定された処理フローに従って制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、
電源入力時には、予め設定された処理フローに従って洗浄処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示して、エンジニア用メニュー画面を表示せず、
一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、洗浄処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする、洗浄処理装置の画面処理方法。 - 前記一般オペレータ用メニュー画面および/または前記エンジニア用メニュー画面は、キー入力により選択表示可能な1または2以上に階層化された1または2以上の下位メニュー画面を含むことを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載の洗浄処理装置の画面処理方法。
- 前記下位メニュー画面は、さらに別のパスワードの入力を待って表示可能なものを含むことを特徴とする、請求項7に記載の洗浄処理装置の画面処理方法。
- 前記エンジニア用メニュー画面は、処理レシピ作成および/または変更用メニュー画面を含むことを特徴とする、請求項7または8に記載の洗浄処理装置の画面処理方法。
- 前記処理レシピ作成および/または変更用メニュー画面は、さらに別のパスワードを待って表示されることを特徴とする、請求項9に記載の洗浄処理装置の画面処理方法。
- 前記エンジニア用メニュー画面は、洗浄処理装置の各構成要素の状態を調整するメンテナンス用メニュー画面を含むことを特徴とする、請求項7〜10のいずれかに記載の洗浄処理装置の画面処理方法。
- 被処理体を予め設定された処理フローに従って処理する処理装置を制御するためのオペレータ用画面の表示方法であって、
電源入力時には、予め設定された処理フローに従って処理を行うために必要な項目のみを表示する一般オペレータ用メニュー画面のみを表示して、エンジニア用メニュー画面を表示せず、
一般オペレータ用メニュー画面においてパスワードの入力を待ってパスワード入力画面を表示させ、さらに所望のメニューに応じて予め設定されている別のパスワードを入力することにより、処理装置および/または処理フローの各種パラメータを変更可能なエンジニア用メニュー画面を表示することを特徴とする処理装置の画面処理方法。 - 前記一般オペレータ用メニュー画面および/または前記エンジニア用メニュー画面は、キー入力により選択表示可能な1または2以上に階層化された1または2以上の下位メニュー画面を含み、前記下位メニュー画面は、さらに別のパスワードの入力を待って表示可能なものであることを特徴とする、請求項12に記載の処理装置の画面処理方法。
- 前記エンジニア用メニュー画面は、処理レシピ設定および/または変更用メニュー画面を含むことを特徴とする、請求項12または13に記載の処理装置の画面処理方法。
- 前記処理レシピ作成および/または変更用メニュー画面は、さらに別のパスワードを待って表示されることを特徴とする、請求項14に記載の処理装置の画面処理方法。
- 前記エンジニア用メニュー画面は、処理装置の各構成要素の状態を調整するメンテナンス用メニュー画面を含むことを特徴とする、請求項13、14または15に記載の処理装置の画面処理方法。
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