JP3930170B2 - 循環ファン装置 - Google Patents
循環ファン装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3930170B2 JP3930170B2 JP34057898A JP34057898A JP3930170B2 JP 3930170 B2 JP3930170 B2 JP 3930170B2 JP 34057898 A JP34057898 A JP 34057898A JP 34057898 A JP34057898 A JP 34057898A JP 3930170 B2 JP3930170 B2 JP 3930170B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- circulation fan
- bearing
- displacement sensor
- magnetic pole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K9/00—Arrangements for cooling or ventilating
- H02K9/02—Arrangements for cooling or ventilating by ambient air flowing through the machine
- H02K9/04—Arrangements for cooling or ventilating by ambient air flowing through the machine having means for generating a flow of cooling medium
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/056—Bearings
- F04D29/058—Bearings magnetic; electromagnetic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D25/00—Pumping installations or systems
- F04D25/02—Units comprising pumps and their driving means
- F04D25/06—Units comprising pumps and their driving means the pump being electrically driven
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/047—Details of housings; Mounting of active magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0474—Active magnetic bearings for rotary movement
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2300/00—Application independent of particular apparatuses
- F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
- F16C2300/42—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions corrosive, i.e. with aggressive media or harsh conditions
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Motor Or Generator Frames (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、腐食性ガスが封入された気密容器内に設置された循環ファンを具備する循環ファン装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図8は従来の気密容器内に循環ファンが設置された循環ファン装置の一構成例を示す図である。このような循環ファン装置では、気密容器1内に各種化学プロセス及び/又は物理プロセスに必要な腐食性を有するプロセスガス3を所定圧力で封入し、循環ファン2にて該プロセスガス3を気密容器1内で循環させることにより、所定のプロセスを行っている。
【0003】
循環ファン2の両側にはそれぞれ駆動側ロータ2−1及び反駆動側ロータ2−2が取り付けられている。駆動側ロータ2−1は駆動側軸受カバー30に支持された回転軸受31にて回転自在に支持されており、反駆動側ロータ2−2は反駆動側軸受カバー40に支持された回転軸受41にて回転自在に支持されている。更に、駆動側ロータ2−1には従動磁石32が取り付けられており、これに対向する位置に軸受カバー30を挟んで駆動磁石33が気密容器1外に配置されている。駆動磁石33はモータ34と直結され、循環ファン2の駆動側ロータ2−1に動力を伝達する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来構成の装置では、回転軸受31及び回転軸受41が気密容器1内に連通する密閉空間内に配置されているので回転軸受に使用する潤滑剤がプロセスガスを汚染する。このためプロセスの安定性や信頼性が阻害され、プロセスガスを短時間で交換しなければならないという問題があった。
【0005】
また、循環ファン2の回転数が大きい場合や軸受荷重が大きい場合は回転軸受の寿命が短くなるので、該回転軸受31、41の劣化に伴って発生するダスト(金属微粒子)がプロセスガスを汚染するとともに、回転軸受31、41の交換を頻繁に行わなければならないという問題があった。
【0006】
また、モータ34は大気側に設置され、磁気力にて動力を伝達する従動磁石32と駆動磁石33とからなる磁気カップリングを用いて循環ファン2へ回転力を与えるので、回転数が大きい場合はモータ34と磁石(従動磁石32,駆動磁石33)を大きくしなければならず、装置の設置体積が大きくなるという問題があった。
【0007】
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、循環ファンが高速回転・高荷重であってもプロセスガスを汚染せずにメンテナンスフリーとなり、更に設置省スペース化が図れる循環ファン装置を提供することを目的とする。
【0008】
またプロセスガスとの接触部が該プロセスガスに対して耐食性があり、寿命の長い循環ファン装置及び循環ファン駆動用モータを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するため請求項1に記載の発明は、腐食性プロセスガスが所定の圧力で封入された気密容器内に設置された循環ファンを軸受で回転自在に支持した構成の循環ファン装置であって、循環ファンは両側にロータを備え横置きに配置されており、気密容器の両側にはケーシングを設け、軸受は一対のラジアル磁気軸受と少なくとも一つのアキシャル磁気軸受を備え、一対のラジアル磁気軸受は前記循環ファン両側のロータのラジアル方向を、アキシャル磁気軸受は前記ロータのアキシャル方向を支持するように配置され、ラジアル磁気軸受及びアキシャル磁気軸受は、それぞれロータに固着された変位センサターゲットとロータ側磁極と、これに対向してケーシング内に配置される変位センサとステータ側磁極を具備し、変位センサとステータ側磁極のロータに対向する面をキャンで覆い、キャンで気密容器内に連通する気密空間を形成すると共に、該気密空間内に変位センサターゲットとロータ側磁極を位置させ、変位センサとステータ側磁極を該気密空間外に位置させた、該キャンは気密容器に封入された腐食性プロセスガスの圧力に耐えうる板厚を有することを特徴とする。
【0010】
上記のように変位センサとステータ側磁極のロータに対向する面をキャンで覆い、キャンで気密容器内に連通する気密空間を形成すると共に、該気密空間内に変位センサターゲットとロータ側磁極を位置させ、変位センサとステータ側磁極を該気密空間外に位置させた、該キャンは気密容器に封入された腐食性プロセスガスの圧力に耐えうる板厚を有するので、プロセスガスを劣化させる磁気軸受の変位センサやステータ側磁極に該プロセスガスが接することなく、その劣化を防止できる。また、気密容器内の循環ファンを磁気軸受で非接触で支持するので、軸受のメンテナンスフリーが得られる。
【0011】
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の循環ファン装置において、循環ファンのロータの少なくとも一方にモータロータを固着すると共に、該モータロータを気密容器内に連通した密閉空間内に配置し、該モータロータに対向するモータステータはキャンを挟んで該気密容器外に配置したことを特徴とする。
【0012】
上記のように、循環ファンに回転力を与えるモータのロータを循環ファンのロータに固着して気密容器内に連通する密閉空間内に配置し、ステータをキャンを挟んで気密容器外に配置したので、プロセスガスを劣化させるモータのステータにプロセスガスが接することなくその劣化を防止できると共に、循環ファンは該モータのロータから回転力を与えられるので、磁気カップリングが不要となる。
【0013】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の循環ファン装置において、制御型の磁気軸受の変位センサターゲット、ロータ側磁極のいずれか、又は全てがパーマロイ(30〜80%のニッケルを含む鉄−ニッケル合金)であることを特徴とする。
【0014】
パーマロイはプロセスガスに対して耐食性を有するから、上記のように、制御型磁気軸受の変位センサターゲット、ロータ側磁極のいずれか、又は全てをパーマロイで構成することにより、変位センサターゲット及びロータ側磁極表面に耐食処理を施す必要がなくなる。このためローターステータ間の距離を減少させることが可能となり、磁気軸受の性能や効率向上が図れる。
【0015】
また、請求項4に記載の発明は、請求項1又は2又は3に記載の循環ファン装置において、キャンをオーステナイト系ステンレス鋼で構成したことを特徴とする。
【0016】
オーステナイト系ステンレス鋼はプロセスガスによる耐食性を有すると共に、強い機械的強度を有し、更に非磁性体であるから、上記のように、キャンをオーステナイト系ステンレス鋼で構成することにより、該プロセスガスに対して腐食を防止し、キャンの薄肉化を図ることができ、磁気軸受及びモータのローターステータ間の隙間を狭くすることが可能となり、しかも磁気軸受及びモータが発生する磁気力を妨害しない。従って、磁気軸受及びモータの長寿命化、性能や効率の向上、小型化が図れる。
【0017】
また、請求項5に記載の発明は、請求項1又は2又は3に記載の循環ファン装置において、キャンをニッケル−クローム−モリブデン合金で構成したことを特徴とする。
【0018】
ニッケル−クローム−モリブデン合金はプロセスガスによる耐食性を有すると共に、強い機械的強度を有し、更に非磁性体であるから、上記のように、キャンをニッケル−クローム−モリブデン合金で構成することにより、該プロセスガスに対して腐食を防止し、キャンの薄肉化を図ることができ、磁気軸受及びモータのローターステータ間の隙間を狭くすることが可能となり、しかも磁気軸受及びモータが発生する磁気力を妨害しない。従って、磁気軸受及びモータの長寿命化、性能や効率の向上、小型化が図れる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて説明する。図1は本発明の循環ファン装置の構成例を示す図である。なお、図1において、図8と同一符号を付した部分は同一又は相当部分を示す。
【0020】
本循環ファン装置は、気密容器1内に各種化学プロセス及び/又は物理プロセスに必要な腐食性を有するプロセスガス3を所定圧力で封入し、循環ファン2にて該プロセスガス3を気密容器1内で循環させることにより、所定のプロセスを行う点は図8に示す従来の循環ファン装置と同じである。
【0021】
循環ファン2の両側には、駆動側ロータ2−1と反駆動側ロータ2−2が取り付けられている。駆動側ロータ2−1は制御型のラジアル磁気軸受4、制御型のアキシャル磁気軸受6で回転自在に支持され、反駆動側ロータ2−2は制御型のラジアル磁気軸受5、制御型のアキシャル磁気軸受7で回転自在に支持されている。駆動側ロータ2−1はモータ8で回転駆動されるようになっている。
【0022】
駆動側ロータ2−1にはラジアル磁気軸受4の変位センサターゲット4−1及びロータ側磁極4−2と、モータ8のロータ8−1と、アキシャル磁気軸受6の変位センサターゲット6−1及びロータ側磁極6−2とが取り付けられている。また、反駆動側ロータ2−2には同様に、ラジアル磁気軸受5の変位センサターゲット5−1及びロータ側磁極5−2と、アキシャル磁気軸受7の変位センサターゲット7−1及びロータ側磁極7−2とが取り付けられている。
【0023】
気密容器1の両側には駆動側ケーシング9と反駆動側ケーシング10が設けられている。駆動側ケーシング9はケーシング本体9−1と保護ベアリング用ハウジング9−2と軸受カバー9−3から構成されている。また、反駆動側ケーシング10はケーシング本体10−1と保護ベアリング用ハウジング10−2と軸受カバー10−3から構成されている。
【0024】
駆動側ケーシング9のケーシング本体9−1には、ラジアル磁気軸受4の変位センサ4−3及びステータ側磁極4−4とモータ8のステータ8−2が収容されており、ケーシング本体9−1の気密容器1側の内周端と側板13の内周端にてキャン14を溶接等によって固着している。
【0025】
軸受カバー9−3の反気密容器1側には、アキシャル磁気軸受6のステータ側磁極6−4が取り付けられており、該ステータ側磁極6−4の外表面にはキャン15が溶接等により固着されている。また、アキシャル磁気軸受6の変位センサ6−3は軸受カバー9−3の薄肉隔壁部に設置されている。
【0026】
反駆動側ケーシング10のケーシング本体10−1には、ラジアル磁気軸受5の変位センサ5−3及びステータ側磁極5−4が収容されており、ケーシング本体10−1の気密容器1側の内周端と側板16の内周端にキャン17を溶接等によって固着している。
【0027】
軸受カバー10−3の気密容器1側には、アキシャル磁気軸受7のステータ側磁極7−4が取り付けられており、該ステータ側磁極7−4の外表面にはキャン18が溶接等により固着されている。また、アキシャル磁気軸受7の変位センサ7−3は軸受カバー10−3の薄肉隔壁部に設置されている。
【0028】
図2は駆動側ケーシング9のラジアル磁気軸受4及びモータ8の詳細構造を示す図である。ラジアル磁気軸受4の変位センサ4−3とステータ側磁極4−4及びモータ8のステータ8−2はスペーサ21−1、21−2、21−3及び側板13によってそれぞれ相対位置が決まった状態でケーシング本体9−1に収容されている。
【0029】
そして変位センサ4−3、ステータ側磁極4−4及びステータ8−2の内周面に薄肉円筒状のキャン14を挿入し、両端を溶接等により固着する。ここでキャン14の材料は、プロセスガスに対して耐食性を有する材料で構成される。また、キャン14の板厚はプロセスガス3の気密圧力に耐える厚さを有する。
【0030】
図3は反駆動側ケーシング10のラジアル磁気軸受5の詳細構造を示す図である。ラジアル磁気軸受5の変位センサ5−3及びステータ側磁極5−4はスペーサ22−1、22−2及び側板16によってそれぞれ相対位置が決まった状態でケーシング本体10−1に収容されている。
【0031】
そして変位センサ5−3及びステータ側磁極5−4の内周面に薄肉円筒状のキャン17を挿入し、両端を溶接等により固着する。ここでキャン17の材料は、プロセスガスに対して耐食性を有する材料で構成される。また、キャン17の板厚はプロセスガス3の気密圧力に耐える厚さを有する。
【0032】
図4は駆動側ケーシング9に取り付けられたアキシャル磁気軸受6の詳細構造を示す図である。アキシャル磁気軸受6のステータ側磁極6−4は軸受カバー9−3に保持されている。アキシャル磁気軸受6のステータ側磁極6−4の外表面は薄肉円板状のキャン15を溶接等により固着する。アキシャル磁気軸受6の変位センサ6−3は軸受カバー9−3の薄肉隔壁部9−3aに設置される。なお、反駆動側ケーシング10に取り付けられたアキシャル磁気軸受7の構造も同様な構造なのでその説明は省略する。
【0033】
上記構造により、駆動側ケーシング9に取り付けられたアキシャル磁気軸受6は図4に示す如く向かって左方向のアキシャル荷重に対して抗力を発生し、反駆動側ケーシング10に取り付けられたアキシャル磁気軸受7はこれとは逆方向の抗力を発生し、両方向のアキシャル荷重を支持する。
【0034】
本装置は上記構成を採用することにより、ラジアル磁気軸受4のロータ側磁極4−2とステータ側磁極4−4の間、ラジアル磁気軸受5のロータ側磁極5−2とステータ側磁極5−4の間、アキシャル磁気軸受6のロータ側磁極6−2とステータ側磁極6−4の間、アキシャル磁気軸受7のロータ側磁極7−2とステータ側磁極7−4の間、モータ8のロータ8−1とステータ8−2の間にそれぞれキャン14、キャン17、キャン15、キャン18を設け、これらキャンと気密容器1とを連通させて気密空間を形成している。
【0035】
また、ラジアル磁気軸受4のロータ側磁極4−2とラジアル磁気軸受5のロータ側磁極5−2とアキシャル磁気軸受6のロータ側磁極6−2とアキシャル磁気軸受7のロータ側磁極7−2とモータ8のロータ8−1をこの気密空間内に配置している。また、これに対向するステータ側磁極4−4とステータ側磁極5−4とステータ側磁極6−4とステータ側磁極7−4とモータステータ8−2をこの気密空間の外側に配置している。これにより、プロセスガス3を汚染する物質を気密容器1内から除去することができる。
【0036】
更に、循環ファン2の駆動側ロータ2−1、反駆動側ロータ2−2を、ラジアル磁気軸受4、ラジアル磁気軸受5、アキシャル磁気軸受6及びアキシャル磁気軸受7で非接触で支持するので、摺動等によりダスト(金属微粒子)の発生を防止することができる。この結果、プロセスガス3の長寿命化が図れる。また、軸受に磁気軸受を用いるからメンテナンスフリーとなる。
【0037】
また、循環ファン2の駆動側ロータ2−1に取り付けられたモータ8のロータ8−1と、これに対向するステータ8−2によって循環ファン2に回転力を与えるので、動力伝達手段である磁気カップリングを削除でき、装置の省設置スペース化が図れる。
【0038】
なお、上記例では、モータを片側に取付け、モータのある方を駆動側、ない方を反駆動側として区別したが、両側にモータを取付け、循環ファン2をより高速回転できるように構成しても何等差し支えない。
【0039】
図5は本発明の循環ファン装置の他の構成例を示す図である。本循環ファン装置は、気密容器1内に各種化学プロセス又は物理プロセスに必要な腐食性を有するプロセスガス3を所定圧力で封入し、循環ファン2にて該プロセスガス3を気密容器1内で循環させることにより、所定のプロセスを行なう点は上記の循環ファン装置と同じである。
【0040】
循環ファン2の両側には駆動側ロータ2−1と反駆動側ロータ2−2が取り付けられている。駆動側ロータ2−1は制御型のラジアル磁気軸受4で回転自在に支持され、反駆動側ロータ2−2は制御型のラジアル磁気軸受5と制御型のアキシャル磁気軸受7で回転自在に支持されている。循環ファン2は駆動側ロータ2−1を介してモータ8で回転駆動されるようになっている。
【0041】
駆動側ロータ2−1にはラジアル磁気軸受4の変位センサターゲット4−1及びロータ側磁極4−2と、モータ8のロータ8−1とが取り付けられている。また、反駆動側ロータ2−2にはラジアル磁気軸受5の変位センサターゲット5−1及びロータ側磁極5−2と、アキシャル磁気軸受7の変位センサターゲット7−1及びロータ側磁極7−2が取り付けられている。
【0042】
ここで、ラジアル磁気軸受4の変位センサターゲット4−1及びロータ側磁極4−2、ラジアル磁気軸受5の変位センサターゲット5−1及びロータ側磁極5−2は薄いけい素鋼板を積層して構成されている。そしてプロセスガス3による腐食を防止するため表面に耐食処理(例えば、Niメッキやテフロンコーティング)が施されるか、若しくは耐食を有する非磁性材料の薄板で表面が覆われている。
【0043】
ラジアル磁気軸受4、5の変位センサターゲット4−1、5−1及びロータ側磁極4−2、5−2、アキシャル磁気軸受7の変位センサターゲット7−1及びロータ側磁極7−2はパーマロイで構成しても良い。これらをニッケル含有量の多いパーマロイで構成することにより、プロセスガス3に対して耐食性を高めることができるから、ラジアル磁気軸受4、5の変位センサターゲット4−1、5−1及びロータ側磁極4−2、5−2、アキシャル磁気軸受7の変位センサターゲット7−1及びロータ側磁極7−2の表面に施す耐食処理が不要となる。このため、ステータ側磁極4−4、5−4、アキシャル磁気軸受7のロータ側磁極7−2と左右ステータ側磁極7−4、7−5の間の距離を減少させることが可能となり、ラジアル磁気軸受4、5及びアキシャル磁気軸受7の性能や効率を向上させることができる。
【0044】
一方、気密容器1の両側には駆動側ケーシング9と反駆動側ケーシング10が設けられている。駆動側ケーシング9はケーシング本体9−1と保護ベアリング用ハウジング9−2から構成されている。反駆動側ケーシング10はケーシング本体10−1と保護ベアリング用ハウジング10−2と軸受カバー10−3から構成されている。
【0045】
駆動側ケーシング9のケーシング本体9−1には、ラジアル磁気軸受4の変位センサ4−3及びステータ側磁極4−4とモータ8のステータ8−2が収容されている。また、ケーシング本体9−1の気密容器1側の内周端と側板13の内周端にキャン14を溶接等により固着している。
【0046】
反駆動側ケーシング10のケーシング本体10−1には、ラジアル磁気軸受5の変位センサ5−3及びステータ側磁極5−4が収容されており、該ケーシング本体10−1の気密容器1側の内周端と側板16の内周端にキャン17を溶接等によって固着している。
【0047】
保護ベアリング用ハウジング10−2には、アキシャル磁気軸受7の右ステータ側磁極7−5が取り付けられており、該右ステータ側磁極7−5の外表面にはキャン19が溶接等により固着されている。また、軸受カバー10−3には、アキシャル磁気軸受7の左ステータ側磁極7−4及び変位センサ7−3がとりつけられており、該左ステータ側磁極7−4の外表面及び該変位センサ7−3の外表面にはキャン18、キャン20が溶接等により固着されている。
【0048】
ここで、キャン14、17、18、19、20はプロセスガスに対して耐食性を有し、且つ、ラジアル磁気軸受4、5、アキシャル磁気軸受7及びモータ8で発生する磁力線を妨害しない非磁性材料で構成される。これによりプロセスガスに対して腐食を防止できると共に、これらラジアル磁気軸受4、5、アキシャル磁気軸受7及びモータ8の性能に悪影響を与えない。また、キャン14、17、18、19、20は気密容器1を構成している部品なので、その板厚は気密圧力に耐える厚さを有する。
【0049】
特に、プロセスガス3内にフッ素ガスや塩素ガスが含まれる場合は、キャン14、17、18、19、20の材料にオーステナイト系ステンレス鋼やニッケル−クローム−モリブデン合金を使用することにより、プロセスガス3に対してキャン14、17、18、19、20の腐食を防止できる。また、オーステナイト系ステンレス鋼やニッケル−クローム−モリブデン合金は高い機械的強度を有するため、キャン14、17、18、19、20を薄肉することができ、且つ非磁性材料であることから、ラジアル磁気軸受4、5、アキシャル磁気軸受7及びモータ8を効率的に動作させることができる。
【0050】
図6は駆動側のラジアル磁気軸受4とモータ8の詳細構造を示す図である。ラジアル磁気軸受4の変位センサ4−3とステータ側磁極4−4及びモータ8のステータ8−2はスペーサ21−1、22−2及び側板13にて相対位置が決まった状態でケーシング本体9−1に収容されている。そして変位センサ4−3とステータ側磁極4−4及びモータ8のステータ8−2の内周面に薄肉筒状のキャン14を挿入し、両端を溶接等により固着している。
【0051】
図7は反駆動側のラジアル磁気軸受5及びアキシャル磁気軸受の詳細構造を示す図である。ラジアル磁気軸受5の変位センサ5−3とステータ側磁極5−4はスペーサ22−1及び側板16にて相対位置が決まった状態でケーシング本体9−1に収容されている。そして変位センサ5−3とステータ側磁極5−4の内周面に薄肉円筒状のキャン17を挿入し、両端を溶接等により固着している。
【0052】
また、アキシャル磁気軸受7の右ステータ側磁極7−5と左ステータ側磁極7−4は互いに対向する位置で保護ベアリング用ハウジング10−2と軸受カバー10−3に収容される。変位センサ7−3は軸受カバー10−3に収容される。そして右ステータ側磁極7−5と左ステータ側磁極7−4及び変位センサ7−3の外表面は薄肉の円板状のキャン19、18、20を溶接等で固着して覆われている。
【0053】
なお、上記例では、モータを片側に取付け、モータのある方を駆動側、ない方を反駆動側として区別したが、両側にモータを取付け、循環ファン2をより高速回転できるように構成しても何等差し支えない。
【0054】
本循環ファン装置は上記構成を採用することにより、図1乃至4に示す構造の循環ファン装置と同様、プロセスガス3を汚染する物質を気密容器1内から完全に除去することができると共に、摺動等によるダスト(金属微粒子)の発生を防止することができ、プロセスガス3の長寿命化が図れる。また、軸受に磁気軸受を用いるからメンテナンスフリーとなリ、動力伝達手段である磁気カップリングを削除できるから、装置の省スペース化が図れる。
【0055】
【発明の効果】
以上説明したように請求項1に記載の発明によれば、変位センサとステータ側磁極のロータに対向する面をキャンで覆い、キャンで気密容器内に連通する気密空間を形成すると共に、該気密空間内に変位センサターゲットとロータ側磁極を位置させ、変位センサとステータ側磁極を該気密空間外に位置させた、該キャンは気密容器に封入された腐食性プロセスガスの圧力に耐えうる板厚を有するので、下記のような優れた効果が得られる。
【0056】
▲1▼プロセスガスの劣化を防止でき、装置のメンテナンス間隔が長くなり、長期間の安定したプロセス(装置の運転)を連続して行うことができる。特に循環ファンを高速回転させる場合や、ファンを支持する荷重が大きい場合に効果を発揮する。
【0057】
▲2▼また、気密容器内の循環ファンを磁気軸受で非接触で支持するので、軸受のメンテナンスフリーが得られる。
【0058】
また、請求項2に記載の発明によれば、循環ファンに回転力を与えるモータのロータを循環ファンのロータに固着して気密容器内に連通した密閉空間内に配置し、これに対向するステータはキャンを挟んで気密容器外に配置したので、プロセスガスの劣化を防止できると共に、循環ファンはロータから回転力を与えられるので、磁気カップリングが不要となり、装置の省設置スペース化が図れる。
【0059】
また、請求項3に記載の発明によれば、制御型磁気軸受の変位センサターゲット、ロータ側磁極のいずれか、又は全てをパーマロイで構成するので、変位センサターゲット及びロータ側磁極表面に耐食処理を施す必要がなくなる。このためローターステータ間の距離を減少させることができるから、磁気軸受の性能や効率向上が図れる。
【0060】
また、請求項4に記載の発明によれば、キャンをオーステナイト系ステンレス鋼で構成したので、プロセスガスによる腐食を防止することができると共に、オーステナイト系ステンレス鋼は強い機械的強度を有するので、キャンの薄肉化を図ることができる。これにより、磁気軸受及びモータのローターステータ間の隙間を狭くすることができ、磁気軸受やモータの性能や効率の向上を図ることができる。また、オーステナイト系ステンレス鋼は非磁性体であるから、磁気軸受及びモータが発生する磁気力を妨害しないので、磁気軸受及びモータの性能や効率の向上、小型化が図れる。
【0061】
また、請求項5に記載の発明によれば、キャンをニッケル−クローム−モリブデン合金で構成したので、プロセスガスによる腐食を防止することができると共に、ニッケル−クローム−モリブデン合金は強い機械的強度を有するので、キャンの薄肉化を図ることができる。これにより、磁気軸受及びモータのローターステータ間の隙間を狭くすることができ、磁気軸受やモータの性能や効率の向上が図れる。また、ニッケル−クローム−モリブデン合金は非磁性体であるから、磁気軸受及びモータが発生する磁気力を妨害しないので、磁気軸受及びモータの性能や効率の向上、小型化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の循環ファン装置の構成例を示す図である。
【図2】図1の駆動側ケーシングのラジアル磁気軸受及びモータの詳細構造を示す図である。
【図3】図1の反駆動側ケーシングのラジアル磁気軸受の詳細構造を示す図である。
【図4】図1の駆動側ケーシングに取り付けられたアキシャル磁気軸受の詳細構造を示す図である。
【図5】本発明の循環ファン装置の構成例を示す図である。
【図6】図5の駆動側ケーシングのラジアル磁気軸受及びモータの詳細構造を示す図である。
【図7】図5の反駆動側ケーシングに取り付けられたアキシャル磁気軸受及びラジアル磁気軸受の詳細構造を示す図である。
【図8】従来の循環ファン装置の構成例を示す図である。
【符号の説明】
1 気密容器
2 循環ファン
3 プロセスガス
4 ラジアル磁気軸受
5 ラジアル磁気軸受
6 アキシャル磁気軸受
7 アキシャル磁気軸受
8 モータ
9 駆動側ケーシング
10 反駆動側ケーシング
11 保護ベアリング
12 保護ベアリング
14 キャン
15 キャン
17 キャン
18 キャン
19 キャン
20 キャン
21 スペーサ
22 スペーサ
Claims (5)
- 腐食性プロセスガスが所定の圧力で封入された気密容器内に設置された循環ファンを軸受で回転自在に支持した構成の循環ファン装置であって、
前記循環ファンは両側にロータを備え横置きに配置されており、
前記気密容器の両側にはケーシングを設け
軸受は一対のラジアル磁気軸受と少なくとも一つのアキシャル磁気軸受を備え、
前記一対のラジアル磁気軸受は前記循環ファン両側の前記ロータのラジアル方向を、前記アキシャル磁気軸受は前記ロータのアキシャル方向を支持するように配置され、
前記ラジアル磁気軸受及び前記アキシャル磁気軸受は、それぞれ前記ロータに固着された変位センサターゲットとロータ側磁極と、これに対向して前記ケーシング内に配置される変位センサとステータ側磁極を具備し、
前記変位センサと前記ステータ側磁極の前記ロータに対向する面をキャンで覆い、
前記キャンで前記気密容器内に連通する気密空間を形成すると共に、該気密空間内に前記変位センサターゲットと前記ロータ側磁極を位置させ、前記変位センサと前記ステータ側磁極を該気密空間外に位置させた、該キャンは前記気密容器に封入された前記腐食性プロセスガスの圧力に耐えうる板厚を有することを特徴とする循環ファン装置。 - 請求項1に記載の循環ファン装置において、
前記循環ファンのロータの少なくとも一方にモータロータを固着すると共に、該モータロータを前記気密容器内に連通した密閉空間内に配置し、該モータロータに対向するモータステータは該気密空間外に配置したことを特徴と循環ファン装置。 - 請求項1に記載の循環ファン装置において、
前記制御型の磁気軸受の変位センサターゲット、ロータ側磁極のいずれか、又は全てがパーマロイ(30〜80%のニッケルを含む鉄−ニッケル合金)であることを特徴とする循環ファン装置。 - 請求項1又は2又は3に記載の循環ファン装置において、
前記キャンをオーステナイト系ステンレス鋼で構成したことを特徴とする循環ファン装置。 - 請求項1又は2又は3に記載の循環ファン装置において、
前記キャンをニッケル−クローム−モリブデン合金で構成したことを特徴とする循環ファン装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34057898A JP3930170B2 (ja) | 1998-02-18 | 1998-11-30 | 循環ファン装置 |
TW088102116A TW426789B (en) | 1998-02-18 | 1999-02-11 | Circulation fan device and circulation fan driving motor |
EP99906446A EP1056950B1 (en) | 1998-02-18 | 1999-02-18 | Sealed magnetic bearings for circulation fan |
KR1020007009124A KR100586470B1 (ko) | 1998-02-18 | 1999-02-18 | 순환팬 장치 및 순환팬 구동모터 |
PCT/JP1999/000709 WO1999042731A1 (en) | 1998-02-18 | 1999-02-18 | Circulation fan apparatus and circulation-fan driving motor |
US09/622,367 US6464472B1 (en) | 1998-02-18 | 1999-02-18 | Circulation fan apparatus and circulation-fan driving motor |
DE69907639T DE69907639T2 (de) | 1998-02-18 | 1999-02-18 | Abgedichtes magnetlager für umwalzgebläse |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5278298 | 1998-02-18 | ||
JP10-52782 | 1998-02-18 | ||
JP34057898A JP3930170B2 (ja) | 1998-02-18 | 1998-11-30 | 循環ファン装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11303793A JPH11303793A (ja) | 1999-11-02 |
JP3930170B2 true JP3930170B2 (ja) | 2007-06-13 |
Family
ID=26393445
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34057898A Expired - Lifetime JP3930170B2 (ja) | 1998-02-18 | 1998-11-30 | 循環ファン装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6464472B1 (ja) |
EP (1) | EP1056950B1 (ja) |
JP (1) | JP3930170B2 (ja) |
KR (1) | KR100586470B1 (ja) |
DE (1) | DE69907639T2 (ja) |
TW (1) | TW426789B (ja) |
WO (1) | WO1999042731A1 (ja) |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1137126B1 (en) | 1998-11-30 | 2010-01-13 | Ebara Corporation | Electric discharge excitation excimer laser |
DE69943382D1 (de) * | 1999-09-30 | 2011-06-01 | Mitsubishi Electric Corp | Magnetisches drucklager |
JP2001210896A (ja) * | 2000-01-28 | 2001-08-03 | Ebara Corp | エキシマレーザ装置 |
JP2001234929A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-08-31 | Ebara Corp | 磁気軸受及び循環ファン装置 |
JP2001304258A (ja) * | 2000-04-26 | 2001-10-31 | Ebara Corp | 磁気軸受及び磁気浮上装置 |
DE10196136T1 (de) * | 2000-04-26 | 2003-06-12 | Ebara Corp | Excimer-Laser Vorrichtung |
JP2001352114A (ja) * | 2000-06-08 | 2001-12-21 | Ebara Corp | エキシマレーザ装置用磁気軸受装置 |
DE10043235A1 (de) * | 2000-09-02 | 2002-03-14 | Leybold Vakuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP1188932A3 (en) | 2000-09-19 | 2003-05-02 | Ntn Corporation | Bearing structure for laser fan |
US6806605B1 (en) * | 2001-05-13 | 2004-10-19 | Indigo Energy, Inc. | Permanent magnetic bearing |
JP2003056489A (ja) | 2001-08-21 | 2003-02-26 | Ntn Corp | エキシマレーザ装置のガス循環ファン |
JP2003106333A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Ntn Corp | 磁気軸受装置 |
JP2004132441A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Ntn Corp | 磁気軸受装置、それを用いたエキシマレーザ用貫流ファン装置、磁気軸受のフィードバック制御をコンピュータに実行させるためのプログラム、および磁気軸受のフィードバック制御をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
BRPI0401574A (pt) * | 2004-04-12 | 2005-11-22 | Brasil Compressores Sa | Arranjo de mancal axial em compressor hermético |
FR2897911B1 (fr) * | 2006-02-27 | 2009-03-27 | Mecanique Magnetique Sa Soc D | Palier magnetique actif chemise |
DE102007036692A1 (de) | 2006-09-22 | 2008-03-27 | Ebm-Papst St. Georgen Gmbh & Co. Kg | Lüfter |
US20080219834A1 (en) * | 2007-03-08 | 2008-09-11 | General Electric Company | Rotor Shaft Assembly for Magnetic Bearings for Use in Corrosive Environments |
US7847454B2 (en) | 2007-03-08 | 2010-12-07 | General Electric Company | Encapsulated stator assembly and process for making |
US20080218008A1 (en) * | 2007-03-08 | 2008-09-11 | General Electric Company | Rotor and Stator Assemblies that Utilize Magnetic Bearings for Use in Corrosive Environments |
PL2022950T3 (pl) * | 2007-07-26 | 2016-09-30 | Maszyna przepływowa i wyporowa | |
EP2048390A3 (en) * | 2007-10-12 | 2009-08-05 | General Electric Company | Armature with coated sheets, magnetic bearing with an armature and method for assembling an armature |
JP5359108B2 (ja) * | 2008-08-12 | 2013-12-04 | 株式会社明電舎 | 磁気軸受変位検出方法及び検出装置 |
FR2948509B1 (fr) * | 2009-07-24 | 2011-08-19 | Mecanique Magnetique Sa | Machine tournante pressurisee a raccordements hermetiques |
EP2580489B1 (en) | 2010-06-08 | 2023-08-30 | BC New Energy (Tianjin) Co., Ltd. | Flywheel energy system |
WO2013155598A1 (en) | 2012-04-16 | 2013-10-24 | Temporal Power Ltd. | Method and system for regulating power of an electricity grid system |
CA2890377A1 (en) | 2012-11-05 | 2014-05-08 | Temporal Power Ltd. | Cooled flywheel apparatus |
US9083207B1 (en) | 2014-01-10 | 2015-07-14 | Temporal Power Ltd. | High-voltage flywheel energy storage system |
DE102014202570A1 (de) * | 2014-02-12 | 2015-08-13 | BSH Hausgeräte GmbH | Elektrischer Antriebsmotor, Pumpe und Haushaltsgerät mit einer solchen Pumpe |
DE102014105581A1 (de) * | 2014-04-17 | 2015-11-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
US10008898B2 (en) * | 2015-06-11 | 2018-06-26 | R&D Dynamics Corporation | Foil bearing supported motor with housingless stator |
JP6461735B2 (ja) * | 2015-07-10 | 2019-01-30 | 株式会社荏原製作所 | ファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置 |
US10895282B2 (en) * | 2016-08-18 | 2021-01-19 | Daikin Industries, Ltd. | Magnetic bearing device and fluid mechanical system |
CN111404317A (zh) * | 2019-10-17 | 2020-07-10 | 浙江兆华机械制造有限公司 | 一种磁悬浮电机 |
CN111472987A (zh) * | 2020-05-22 | 2020-07-31 | 核工业理化工程研究院 | 腐蚀气体循环泵 |
CN111828398B (zh) * | 2020-07-20 | 2021-06-29 | 淮南矿业(集团)有限责任公司 | 主通风机轮毂改造中轴承箱更换方法 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2073404A (en) * | 1932-01-06 | 1937-03-09 | B F Sturtevant Co | Motor and driven element assembly |
DE1933031C3 (de) | 1969-06-30 | 1978-10-26 | Karl 5170 Juelich Boden | Magnetische Lagerung |
DE2420814C3 (de) * | 1974-04-30 | 1980-10-16 | Padana Ag, Zug (Schweiz) | Magnetlager mit einem Lagerelement zur Festlegung eines translatorischen Freiheitsgrades |
JPS55132414A (en) | 1979-03-30 | 1980-10-15 | Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency | Magnetic bearing |
FR2528923A1 (fr) | 1982-06-17 | 1983-12-23 | Europ Propulsion | Dispositif de suspension magnetique d'un rotor place dans une enceinte etanche |
JPS63228692A (ja) | 1987-03-18 | 1988-09-22 | Toshiba Corp | 高繰返しパルスレ−ザ発振装置 |
US5023884A (en) | 1988-01-15 | 1991-06-11 | Cymer Laser Technologies | Compact excimer laser |
JPH01189974A (ja) | 1988-01-26 | 1989-07-31 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
DE3808331A1 (de) * | 1988-03-12 | 1989-09-28 | Kernforschungsanlage Juelich | Magnetische lagerung mit permanentmagneten zur aufnahme der radialen lagerkraefte |
JPH024024U (ja) * | 1988-06-20 | 1990-01-11 | ||
JP2679844B2 (ja) * | 1989-05-16 | 1997-11-19 | 日本真空技術株式会社 | ターボ分子ポンプ |
EP0413851B1 (de) * | 1989-08-25 | 1994-10-26 | Balzers und Leybold Deutschland Holding Aktiengesellschaft | Lagerring für Magnetlager |
JPH0751955B2 (ja) * | 1990-01-31 | 1995-06-05 | エヌティエヌ株式会社 | クリーンポンプ |
DE9017166U1 (ja) | 1990-12-15 | 1991-04-04 | Technische Universitaet Chemnitz, O-9010 Chemnitz, De | |
JPH04121494U (ja) * | 1991-04-18 | 1992-10-29 | 三菱重工業株式会社 | 密閉型回転流体機械 |
JPH05196041A (ja) * | 1992-01-21 | 1993-08-06 | Ebara Corp | 磁気軸受装置 |
DE4227013A1 (de) | 1992-08-14 | 1994-02-17 | Budig Peter Klaus Prof Dr Sc T | Aktives magnetisches Axiallager für Rotoren mit Notlauflager |
JPH0688592A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-03-29 | Ebara Corp | キャンドモータポンプ |
JP2579778Y2 (ja) * | 1993-09-01 | 1998-08-27 | セイコー化工機 株式会社 | マグネット駆動密封型送風機 |
DE59603933D1 (de) * | 1995-08-24 | 2000-01-20 | Sulzer Electronics Ag Winterth | Elektromotor |
JP3315027B2 (ja) * | 1995-11-14 | 2002-08-19 | 株式会社荏原製作所 | 高圧液中用磁気軸受 |
JPH09137828A (ja) * | 1995-11-14 | 1997-05-27 | Ebara Corp | 超低温用磁気軸受 |
FR2752271B1 (fr) * | 1996-08-07 | 1998-10-09 | Abb Solyvent Ventec | Dispositif de ventilation centrifuge a performances ameliorees comportant au moins deux entrees d'aspiration et procede de ventilation s'y rapportant |
JPH10173259A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Komatsu Ltd | エキシマレーザ装置 |
US5848089A (en) | 1997-07-11 | 1998-12-08 | Cymer, Inc. | Excimer laser with magnetic bearings supporting fan |
-
1998
- 1998-11-30 JP JP34057898A patent/JP3930170B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-02-11 TW TW088102116A patent/TW426789B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-02-18 EP EP99906446A patent/EP1056950B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-18 WO PCT/JP1999/000709 patent/WO1999042731A1/en active IP Right Grant
- 1999-02-18 DE DE69907639T patent/DE69907639T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-02-18 KR KR1020007009124A patent/KR100586470B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-02-18 US US09/622,367 patent/US6464472B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1999042731A1 (en) | 1999-08-26 |
KR100586470B1 (ko) | 2006-06-07 |
EP1056950B1 (en) | 2003-05-07 |
US6464472B1 (en) | 2002-10-15 |
DE69907639T2 (de) | 2004-03-11 |
JPH11303793A (ja) | 1999-11-02 |
KR20010041085A (ko) | 2001-05-15 |
EP1056950A1 (en) | 2000-12-06 |
TW426789B (en) | 2001-03-21 |
DE69907639D1 (de) | 2003-06-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3930170B2 (ja) | 循環ファン装置 | |
JP3923696B2 (ja) | 基板回転装置 | |
JP2001093967A5 (ja) | ||
JP2001234929A (ja) | 磁気軸受及び循環ファン装置 | |
EP1137126B1 (en) | Electric discharge excitation excimer laser | |
TW555940B (en) | Magnetic bearing, magnetic levitation device and chemical vapor deposition apparatus | |
JP3766230B2 (ja) | エキシマレーザ装置 | |
US6570285B2 (en) | Magnetic bearing apparatus having a protective non-magnetic can | |
JP4792793B2 (ja) | ダイレクトドライブモータ | |
US6809448B2 (en) | Excimer laser apparatus | |
EP1056171B1 (en) | Discharge-pumped excimer laser device | |
JPH04148095A (ja) | ターボ形ポンプ | |
JP5987348B2 (ja) | モータ | |
JP3927327B2 (ja) | ハロゲンガスを含むガスレーザ装置 | |
JP2023537250A (ja) | 溶融塩原子炉用のキャンド回転動力式流体機械及び溶融塩原子炉用の流体機械用能動型磁気軸受 | |
JP5246278B2 (ja) | ダイレクトドライブモータ | |
JP4406357B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
JP2006296061A (ja) | モータ | |
JP3357639B2 (ja) | ターボ形ポンプ | |
JP4322170B2 (ja) | 磁気軸受装置および磁気軸受を備えたエキシマレーザ装置 | |
JPH0510549Y2 (ja) | ||
JP2010121495A (ja) | 電動ポンプ | |
JP2000183427A (ja) | エキシマレ―ザ装置用の貫流ファン | |
JP2002198589A (ja) | エキシマレーザ装置用還流ファンの構造 | |
JP2002204013A (ja) | エキシマレーザ装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060203 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060203 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060601 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20060601 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060601 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060822 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20061006 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061006 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20061012 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070306 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070308 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100316 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110316 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110316 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120316 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120316 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130316 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130316 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140316 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |