JP3923468B2 - 走査型計測装置の較正のための方法と装置 - Google Patents
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Description
ターゲットの2次元配列の対応する2次元空間応答関数は以下の式で与えられる。
説明をわかりやすくするため、Px =Py =P=1マイクロメートル(1μm)とするが、本発明はxおよびy軸方向で周期が等しいということに限定されないことは理解されるであろう。f(x,P)およびf(x,y,P)のグラフを図2および図3に示した。
ただし、nは通常は1に等しくなるように選ばれる整数で、特に断りのない限り、ここでは1に等しいものと仮定する。
周期PA による試料のエイリアシングされたサンプリングでは、走査軸に沿った各連続サンプルは、それぞれの周期の始まりに関してさらに1つの増分距離ds−ΔPが得られる。そこで、多数のサンプル
ΔP<dsの場合(ケースa)、関数g(x)のイメージは、ΔP>dsの場合(ケースb)に得られたg(x)のイメージに関して反転されている。この結果を使用して、予想される値PE に関する周期PA の小さな変動を検出することができる。
β=ΔP/PE
そこで、以下の式を得る。
この近似の誤差は、0.003μm、つまり実際の周期PA の3%未満である。
Y(x,y,θ)=xsin(θ)+ycos(θ)
わかりやすくするため、P=1μmおよびθ=0.5度とする。サンプリング・ピッチds=0.1μmによる従来の方法に従ってこの試料のサンプリングを行うと、図30に示されているイメージが出力される。試料をわずかな角度だけ回転させてもほとんど見分けることができず、正確な回転位置合わせは非常に困難であることに注意されたい。
Y(x,y,α)=y
たとえば、試料の周期がP=1μmで、偏差角が0.5度であるとする。サンプル・ピッチds=0.1μmの従来の走査だと、イメージは図46のようになる。イメージをよく調べると非直交条件が小さいことを観察できる。この誤差の観察が困難であるため、直交条件の補正が難しいのである。
Y=y
たとえば、κ=1.05、P=1μmとする。ピッチds=0.06μmとする従来のサンプリングでは、イメージは図49に示されているものである。ピッチds’=P+ds=1.06μmとするエイリアシングされたイメージ走査では、イメージは図50に示されているものである。明らかに、エイリアシングされたイメージ走査では顕著な影響が見られ、さらに非常に小さな異方性条件を検出し、補正することができる。
Claims (30)
- 走査型ビーム・システムの較正のための方法であって、
サンプル間の間隔が配列内のターゲット間の間隔よりも広いターゲットの配列を含む試料をサンプリングするステップと、
前記システムの較正に関する情報をサンプルから取得するステップを含む方法。 - サンプルから情報を取得する前記ステップは、さらに、ビームの焦点が予想される点から外れる程度を判別するステップを含む請求項1に記載の方法。
- サンプルから情報を取得する前記ステップは、さらに、試料の位置が予想される位置から外れる程度を判別するステップを含む請求項1に記載の方法。
- イメージから情報を取得する前記ステップは、さらに、ターゲット周期が予想されるターゲット周期から外れる程度を判別するステップを含む請求項1に記載の方法。
- サンプルから情報を取得する前記ステップは、さらに、試料の回転ずれの程度を判別するステップを含む請求項1に記載の方法。
- サンプルから情報を取得する前記ステップは、さらに、ビームの偏向軸の回転ずれの程度を判別するステップを含む請求項1に記載の方法。
- サンプルから情報を取得する前記ステップは、さらに、ターゲットの周期を判別するステップを含む請求項1に記載の方法。
- サンプルから情報を取得する前記ステップは、さらに、ビームの非直交性の程度を判別するステップを含む請求項1に記載の方法。
- サンプルから情報を取得する前記ステップは、さらに、ターゲットのパターンの非直交性の程度を判別するステップを含む請求項1に記載の方法。
- サンプルから情報を取得する前記ステップは、さらに、ビームの異方性の程度を判別するステップを含む請求項1に記載の方法。
- サンプルから情報を取得する前記ステップは、さらに、ターゲットのパターンの異方性の程度を判別するステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記ターゲットの配列は矩形配列である請求項1に記載の方法。
- 前記サンプル間の間隔は、配列の次元に沿って一様である請求項1に記載の方法。
- サンプルから情報を取得する前記ステップは、さらに、前記サンプルから形成されたイメージを観察するステップを含む請求項1に記載の方法。
- 前記サンプル間の間隔を繰り返し調整して、前記システムの較正に関する情報を取得する請求項1に記載の方法。
- 前記試料は、さらに、集積回路を含む請求項1に記載の方法。
- 前記システムの較正に関する情報を使用して、自動ビーム較正システムを評価するステップをさらに含む請求項1に記載の方法。
- 走査型ビーム較正システムであって、
ターゲットの配列を含む試料と、
サンプル間の間隔が配列内のターゲット間の間隔よりも広い試料をサンプリングするように適合されているビーム偏向サブシステムと、
システムの較正に関する前記サンプルから抽出された情報を供給するように適合されているサブシステムを備える走査型ビーム較正システム。 - サンプルからの情報を供給するように適合されている前記サブシステムは、前記サンプルからイメージを形成するように適合されたイメージ処理デバイスを備える請求項18に記載のシステム。
- サンプルからの情報を供給するように適合されている前記サブシステムは、前記サンプルから取得したデータを処理するように調整されている処理回路を備える請求項18に記載のシステム。
- サンプルからの情報を供給するように適合されている前記サブシステムは、ビームの焦点が予想される点から外れる程度を判別するプロセスを備える請求項18に記載のシステム。
- サンプルからの情報を供給するように適合されている前記サブシステムは、ターゲット周期が予想されるターゲット周期から外れる程度を判別するプロセスを備える請求項18に記載のシステム。
- サンプルからの情報を供給するように適合されている前記サブシステムは、前記試料の位置が予想される位置から外れる程度を判別するプロセスを備える請求項18に記載のシステム。
- サンプルからの情報を供給するように適合されている前記サブシステムは、ビームの偏向軸に関して前記試料の回転ずれの程度を判別するプロセスを備える請求項18に記載のシステム。
- サンプルからの情報を供給するように適合されている前記サブシステムは、前記サンプルから情報を取得するステップがさらにビーム非直交性の程度を判別するステップを含む場合の判別するプロセスを備える請求項18に記載のシステム。
- サンプルからの情報を供給するように適合されている前記サブシステムは、前記ターゲットのパターンの非直交性の程度を判別するプロセスを備える請求項18に記載のシステム。
- サンプルからの情報を供給するように適合されている前記サブシステムは、ビーム異方性の程度を判別するプロセスを備える請求項18に記載のシステム。
- サンプルからの情報を供給するように適合されている前記サブシステムは、前記ターゲットのパターンの異方性の程度を判別するプロセスを備える請求項18に記載のシステム。
- 前記サンプル間の間隔を繰り返し調整して、システムの較正を精密に行う請求項18に記載のシステム。
- システムの較正を行うように適合されているアルゴリズムに従ってシステムを自動化する請求項18に記載のシステム。
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