JP3905422B2 - 排ガス処理装置 - Google Patents
排ガス処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3905422B2 JP3905422B2 JP2002156881A JP2002156881A JP3905422B2 JP 3905422 B2 JP3905422 B2 JP 3905422B2 JP 2002156881 A JP2002156881 A JP 2002156881A JP 2002156881 A JP2002156881 A JP 2002156881A JP 3905422 B2 JP3905422 B2 JP 3905422B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- combustion chamber
- exhaust gas
- lever
- combustion
- impact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23J—REMOVAL OR TREATMENT OF COMBUSTION PRODUCTS OR COMBUSTION RESIDUES; FLUES
- F23J1/00—Removing ash, clinker, or slag from combustion chambers
- F23J1/06—Mechanically-operated devices, e.g. clinker pushers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Incineration Of Waste (AREA)
- Gasification And Melting Of Waste (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体の製造工程で用いられ且つ排出される排ガスであって、可燃性ガス成分や支燃性ガス成分を含有したガスからなる排ガスを燃焼させて無害化処理するための排ガス処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程における特定の工程から、シラン（SiH4），ジシラン（Si2H6），ジボラン（B2H6），ホスフィン（PH3），アルシン（AsH3）、三フッ化窒素(NF3)等の有害な排ガスが生成することが知られている。このような有毒性排ガスは人体に対する毒性が高いため大気への放出に際しては有毒性物質の完全な除去が要求されている。
【０００３】
また、半導体製造工程における他の特定の工程から四フッ化炭素(CF4)等、地球環境に悪影響を与えるフロンガスの排ガスが生成される。このような排ガスは大気への放出に際して除去することが要求されている。
【０００４】
例えば、特許2963792号公報には、上記の如き排ガスを燃焼させて無毒化した後、大気へ放出することで上記要求を満足させることが出来る有毒性排ガスの処理方法及び装置が提案されている。
【０００５】
上記技術は、上記のような排ガスを一端が閉鎖された筒状の燃焼室に導入することにより、該燃焼室に配置されたバーナーにより水素，メタン，エタン，プロパン，ブタン等の燃料が燃焼するとき生成する高温部で分解され、或いは助燃用空気の作用により燃焼されることで無毒化し、その後、燃焼ガス搬送通路から排出されるものである。
【０００６】
上記の如く構成された排ガス処理装置では、排ガスの燃焼に伴って各種排ガスに含まれた固形化成分が粉体となって発生する。多くの粉体は燃焼部から燃焼ガス搬送通路に排出された後、該燃焼ガス搬送通路に設けたスクラバーに集塵されるが、一部は排ガス供給路及び燃焼部を構成する筒状体の内面に付着して残留する。
【０００７】
例えば、燃焼室内で粉体が発生し、該粉体が排ガス供給路及び燃焼部を構成する筒状体の内面に堆積した場合には、排ガスの流れや燃焼状態に悪影響を与え、除害性能を低下させる虞があるため粉体を除去するためのメンテナンスが必要となり、効率の低下を招いていた。
【０００８】
上述のような粉体の除去を効率的に行なうために、一部が燃焼室を構成する筒状体の内面に沿って周方向に接触しつつ移動するスクレーパーを設けておき、該スクレーパーを適宜外部から操作して筒状体の内面に沿って回転させて筒状体の内面に付着した粉体を剥離させることが考えられる。
【０００９】
前記スクレーパーにより筒状体の内面から剥離した粉体は、燃焼ガスの流れ及び助燃用空気や燃焼ガス冷却用空気等を導入しているときは、それらの空気の流れによって燃焼ガス搬送通路を経て排出することが出来る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、筒状体の内面に付着した粉体は前述のスクレーパーによって剥離して排出することが出来るが、スクレーパーを単にフラットバー等で構成した場合には、筒状体の内面に付着した粉体を掻き取る面が燃焼室内径に対して略直角となるため粉体を効果的に掻き落とすことが出来ず、粉体が筒状体の内面に硬く付着するという問題がある。
【００１１】
また、スクレーパー自体に付着した粉体を落下させるために板バネを使ってスクレーパーを撓ませて衝撃を発生することも出来るが、板バネの固定箇所が単に点或いは線接触である場合には板バネが曲がるときに固定箇所が折れ易いという問題がある。
【００１２】
また、前述のスクレーパーは片持ちで支持されるため該スクレーパーの先端部が確実に筒状体の内面に接触しつつ粉体を剥離することが困難な場合も生じるため筒状体の軸方向に亘って確実に接触しつつ粉体を剥離することが出来る構成が望まれていた。
【００１３】
本発明は前記課題を解決するものであり、その第１の目的とするところは、燃焼室の内面に付着した粉体を剥離部材により効果的に掻き落とすことが出来、更に剥離部材に衝撃を発生させるための衝撃部材の寿命を延長することが出来、更に第２の目的とするところは、剥離部材が燃焼室の内面に沿って該燃焼室を排ガスが流通する方向に亘って確実に接触しつつ粉体を剥離することが出来る排ガス処理装置を提供せんとするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための本発明に係る排ガス処理装置は、燃焼室と燃焼ガス搬送通路とを有し、前記燃焼室は一端が閉鎖されると共に他端が前記燃焼ガス搬送通路に接続され、且つ閉鎖された端部側に排ガス供給路が配置されると共に、該排ガス供給路よりも前記燃焼ガス搬送通路側にバーナーが配置され、前記燃焼室に供給された排ガスを前記バーナーによって高温にして分解或いは燃焼させて前記燃焼ガス搬送通路から排出させる排ガス処理装置において、前記燃焼室の内面に沿って周方向に移動して該燃焼室の内面に付着した粉体を剥離する剥離部材と、前記剥離部材に衝撃を発生させるための衝撃部材と、を有し、前記剥離部材はその一端が該燃焼室の外部に設けた駆動部材に取り付けられると共に他端が自由端として構成されたレバーからなり且つ前記レバーの前記燃焼室の内面に対向する位置に刃部または鋭角のエッジ部を設けて構成され、前記衝撃部材は前記レバーと接触したとき該レバーを撓ませ且つ接触が解除されたとき該レバーが元の形状に復帰するのに伴って衝撃を発生させ得る板バネを段差を有して複数枚重ねて構成したことを特徴とする。
【００１５】
本発明は、上述の如く構成したので、排ガス供給路から供給された排ガスをバーナーの火炎によって高温にして分解、燃焼する燃焼室と、燃焼ガス搬送通路とを有しており、燃焼室が、一端が閉鎖され該端部側に排ガス供給路が配置され、該排ガス供給路よりも燃焼ガス搬送通路側にバーナーが配置されて構成されているので、排ガス供給路から供給された排ガスをバーナーによって燃焼或いは分解させることが出来、その燃焼ガスを燃焼ガス搬送通路から排出することが出来る。
【００１６】
また、剥離部材を構成するレバーの燃焼室の内面に対向する位置に刃部または鋭角のエッジ部を設けたことで、該レバーの粉体を掻き落とす面を燃焼室の内面に対して鋭角になるように構成することが出来、これにより、燃焼室の内面に付着した粉体を剥離部材により効果的に掻き落として燃焼室内を清掃することが出来る。
【００１７】
また、前記剥離部材に衝撃を発生させるための衝撃部材を有し、前記衝撃部材は前記レバーと接触したとき該レバーを撓ませ且つ接触が解除されたとき該レバーが元の形状に復帰するのに伴って衝撃を発生させ得る板バネを段差を有して複数枚重ねて構成することによって、板バネにかかる応力を面接触とすることが出来、これにより板バネにかかる応力を緩和して折れを防止することが出来、衝撃部材の寿命を延長することが出来る。
【００１８】
排ガス処理装置をこのように構成することによって、駆動部材によって剥離部材（以下「スクレーパー」という）を操作したとき、該スクレーパーを構成するレバーが衝撃部材と接触して撓みが発生し、且つ衝撃部材との接触が解除されるのに伴って撓んだレバーが初期の形状に復元するのに伴って衝撃が生じ、該レバーに付着した粉体を払い落とすことが出来る。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係る排ガス処理装置の一実施形態を具体的に説明する。図１は本発明に係る排ガス処理装置の第１実施形態の構成を示す斜視説明図、図２（ａ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す正面図、図２（ｂ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す平面図、図２（ｃ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す左側面図、図２（ｄ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す右側面図、図３は第１実施形態の剥離部材の刃部または鋭角のエッジ部の角度を説明する図、図４は第１実施形態の衝撃部材の構成を示す断面説明図である。
【００２０】
先ず、図１〜図４を用いて本発明に係る排ガス処理装置の第１実施形態の構成について説明する。図１において、排ガス処理装置Ａは、半導体の製造工程から生成するシラン，ジシラン，ジボラン，ホスフィン，アルシンや、三フッ化窒素等の毒性を持つ特殊材料ガス、或いは四フッ化炭素等の地球環境に悪影響を与えるフロンガス等の排ガスを完全燃焼或いは分解させて無害化して排出する機能を有するものである。
【００２１】
排ガス処理装置Ａは、一方の端部側から供給された排ガスを分解、燃焼させる燃焼室１と、該燃焼室１の一方の端部側に配置され、処理すべき排ガスが供給される排ガス供給路２ａ，２ｂと、燃焼室１における排ガス供給路２ａ，２ｂよりも下流側に設けたバーナー３と、燃焼室１の他方の端部に接続される燃焼ガス搬送通路４と、燃焼室１に設けた剥離部材であってレバーからなるスクレーパー７と、該スクレーパー７に衝撃を発生させる衝撃部材８とを有して構成されている。
【００２２】
燃焼室１は円筒状の筒体１ａ，１ｂがシール部材を介在させてフランジ１ｃを介してボルト止め等により接続して構成されており、筒体１ａの一端に設けられたフランジ１ｃに蓋体10がシール部材を介在させてボルト止め等により固定されて閉鎖され、筒体１ｂの他端に設けられたフランジ１ｃが燃焼ガス搬送通路４を構成するＴ型筒体４ａのフランジ４ｂにシール部材を介在させてボルト止め等により接続されて開口している。
【００２３】
燃焼室１の蓋体10側の筒体１ａの所定位置には排ガス供給路２ａ，２ｂが配置されており、この排ガス供給路２ａ，２ｂよりも下流側である燃焼ガス搬送通路４側の筒体１ｂに１または複数のバーナー３が配置されている。更に、バーナー３と燃焼ガス搬送通路４との間には温度センサ11ａが設けられ、該温度センサ11ａによって燃焼室１内の温度が検出されている。
【００２４】
排ガス供給路２ａ，２ｂは、図示しない排ガス発生部位（例えば半導体の製造工程を構成するプロセス機器類）に接続され、該排ガス発生部位で発生した排ガスを燃焼室１に供給する機能を有する。排ガス供給路２ａ，２ｂには同一或いは異なる排ガス発生部位から同一種類の排ガスが供給されても良いし、異なる排ガス発生部位から異なる種類の排ガスが選択的に供給されても良い。
【００２５】
排ガス供給路２ａ，２ｂの所定位置には温度センサ11ｂ，11ｃが設けられており、該排ガス供給路２ａ，２ｂの各温度を常に監視することによって、排ガス導入温度を監視すると共に逆火現象の発生を監視し得るように構成されている。
【００２６】
バーナー３は、燃料ガスである水素ガスやＬＮＧ（天然ガス），ＬＰＧ（液化石油ガス）、都市ガス等を選択的に供給し、選択された反応促進ガスに点火することによって火炎を形成し、この火炎によって排ガスを高温にしている。
【００２７】
燃焼ガス搬送通路４は、燃焼室１において燃焼した廃棄ガスを流通させ、該燃焼ガス搬送通路４の燃焼ガス搬送通路下流側４ｄに連続して設けた図示しないスクラバーに吸引させる。また燃焼ガス搬送通路４における燃焼室１よりも下流側には温度センサ11ｄが設けられている。
【００２８】
剥離部材となるスクレーパー７は、図１及び図２に示すように、筒体１ａ，１ｂにより構成された燃焼室１の内壁に接近して配置されると共に一部が該内壁に接触するレバー７ａと、該レバー７ａを支持すると共に一部が蓋体10の内壁に接触する支持部材７ｃと、該レバー７ａと支持部材７ｃとの接合部を補強する補強部材７ｂと、該支持部材７ｃに取り付けられると共に蓋体10を貫通して設けた軸７ｄと、該軸７ｄに取り付けたハンドル７ｅとを有して構成されている。
【００２９】
軸７ｄは蓋体10に設けられた軸受５により気密性が保持された状態で回転可能に軸支されている。
【００３０】
従って、スクレーパー７は、一端が自由端として構成されたレバー７の他端が支持部材７ｃによって軸７ｄに接続され、該軸７ｄの一端部で燃焼室１の外部に設けられた駆動部材となるハンドル７ｅを操作することによって回転させることで、レバー７ａの刃部または鋭角のエッジ部7a1が燃焼室１を構成する筒体１ａ，１ｂの内面に沿って周方向に接触しつつ移動して燃焼室１を構成する筒体１ａ，１ｂの内面に付着した粉体を剥離し、更に支持部材７ｃの刃部または鋭角のエッジ部7c1が燃焼室１を構成する蓋体10の内面に沿って周方向に接触しつつ移動して燃焼室１を構成する蓋体10の内面に付着した粉体を剥離し得るように構成されている。
【００３１】
レバー７ａ及び支持部材７ｃの燃焼室１の内面に対向する位置には刃部または鋭角のエッジ部7a1，7c1が設けられており、これにより筒体１ａ，１ｂの内壁面及び蓋体10の内壁面に付着した粉体を効果的に剥離することが出来るものである。
【００３２】
図３に示すように、レバー７ａの刃部または鋭角のエッジ部7a1の筒体１ａ，１ｂの内周面に対する掬い角度（即ち、図３に示すレバー７ａの刃部または鋭角のエッジ部7a1の先端において軸７ｄの回転中心とを結んだ直線ａと直交する直線ｂと、刃部または鋭角のエッジ部7a1の面を延長した直線ｃとがなす角度）γは３０°以上、且つ９０°未満の範囲で鋭角になるように構成すれば好ましい。
【００３３】
また、レバー７ａの逃げ角度（即ち、図３に示すレバー７ａの底面と前記直線ｂとがなす角度）βは、１°以上、且つ３０°以下が好ましく、より好ましくは１°以上、且つ１５°以下でる。尚、本実施形態では、レバー７ａの逃げ角度βを１５°程度に設定している。
【００３４】
従って、レバー７ａの刃部または鋭角のエッジ部7a1の傾斜角度αは、３０°以上、且つ６０°以下が好ましい。
【００３５】
また、レバー７ａの刃部または鋭角のエッジ部7a1の先端と燃焼室１を構成する筒体１ａ，１ｂの内周面との間の間隔は、１mm以上、且つ１０mm以下が好ましく、支持部材７ｃの刃部または鋭角のエッジ部7c1の先端と燃焼室１を構成する蓋体10の内面との間の間隔は、３mm以上、且つ１３mm以下が好ましい。
【００３６】
例えば、レバー７ａを単にフラットバー等で構成した場合には、筒体１ａ，１ｂの内面に付着した粉体を掻き取る面が、その内面に対して略直角となるため粉体を効果的に掻き落とすことが出来ず、フラットバーの先行する角部から逃げた粉体は該フラットバーの後続する角部で鏝(こて)のような作用により該粉体を筒体１ａ，１ｂや蓋体10の内面に押し付けて硬く付着させてしまう場合がある。
【００３７】
そこで、本実施形態では、剥離部材を構成するレバー７ａ及び支持部材７ｃの燃焼室１を構成する筒体１ａ，１ｂ及び蓋体10の内面に対向する位置に刃部または鋭角のエッジ部7a1，7c1を設け、更にレバー７ａに逃げ角度βを設けたことで、レバー７ａの刃部または鋭角のエッジ部7a1が粉体を掻き落とす掬い角度γを燃焼室１及び蓋体10の内面に対して鋭角になるように構成することが出来、これにより、燃焼室１の内面に付着した粉体をレバー７ａ及び支持部材７ｃにより効果的に掻き落として燃焼室１内を清掃することが出来、更には、レバー７ａに設けた逃げ角度βによりレバー７ａから逃げた粉体が鏝(こて)のような作用により該粉体を筒体１ａ，１ｂの内面に押し付けて硬く付着させることがなく、鉋（かんな）のような作用により硬い粉体も削り取ることが出来る。
【００３８】
燃焼室１の内面に付着する付着物としては、処理すべき排ガスを燃焼させたときに生じる燃焼生成物としての粉体が主たるものである。この粉体は、非常に粒子が細かく、多くは燃焼した後の廃棄ガスと共に燃焼ガス搬送通路４を通って図示しないスクラバーに集塵される。しかし、燃焼室１を浮遊して落下したとき、燃焼室１の内面及びスクレーパー７のレバー７ａに付着するものもある。
【００３９】
従って、スクレーパー７は、燃焼室１の内面に付着した粉体を剥離させる機能を有しており、このスクレーパー７を操作することによって燃焼室１の内面を常に美麗に保持することが可能である。
【００４０】
このため、レバー７ａは、少なくとも一方が燃焼室１を構成する筒体１ａ，１ｂの長さよりも長く形成されており、端部が燃焼室１から燃焼ガス搬送通路４に突出している。
【００４１】
レバー７ａ及び支持部材７ｃは、高温に耐え、且つ耐腐食性に優れ、且つ燃焼室１の内面と確実に接触して該内壁の付着物を剥離し得る刃部または鋭角のエッジ部7a1，7c1を形成出来る耐熱鋼で構成すれば良く、例えば、インコネル（インコ社の商品名）等の耐熱性合金を採用すれば好ましい。
【００４２】
尚、レバー７ａ、補強部材７ｂを前記インコネルで構成し、支持部材７ｃをSUS304等のステンレス鋼等で構成することも出来る。
【００４３】
図１に示す衝撃部材８は、スクレーパー７を構成するレバー７ａに付着した粉体を払い落とすために、該レバー７ａに衝撃を発生させるものである。従って、衝撃部材８としては、前記機能を発揮し得るものであれば良く、特に構造を限定するものではない。
【００４４】
本実施形態の衝撃部材８としては、図４に示すように、スクレーパー７のレバー７ａの自由端と接触し得る位置に設けた板バネ８ａと、段差を有する一対の板バネ８ｂ，８ｃを複数枚重ねて構成したものである。
【００４５】
例えば、図４に示す衝撃部材８は、燃焼ガス搬送通路４を構成するＴ型筒体４ａの所定位置にホルダー８ｄを固定し、このホルダー８ｄに段差を有して複数枚重ねて構成した板バネ８ａ，８ｂ，８ｃを沿わせると共に中央の板バネ８ａの先端を燃焼室１の内面から適度な長さ突出させて配置し、押さえ板８ｅによって板バネ８ａ，８ｂ，８ｃの束を固定して構成されている。
【００４６】
上記衝撃部材８では、スクレーパー７を回転させてレバー７ａが板バネ８ａに当接すると、引き続くスクレーパー７の回転に伴って、レバー７ａが板バネ８ａ及び該レバー７ａの回転方向下流側の板バネ８ｂ，８ｃを二点鎖線で示すように撓ませ、同時にレバー７ａにも二点鎖線で示すように周方向への撓みδが発生する。
【００４７】
スクレーパー７の更なる回転に伴って、板バネ８ａ，８ｂ，８ｃの撓みが増大し、該板バネ８ａのレバー７ａに対する接触が解除される。このとき、板バネ８ａ，８ｂ，８ｃ及びレバー７ａは夫々元の形状に復帰するが、レバー７ａには撓みδが瞬時に復帰することに伴う衝撃が発生し、該レバー７ａが振動して該レバー７ａに付着した粉体を払い落とすことが可能となる。
【００４８】
上記構成によれば、レバー７ａと接触したときに該レバー７ａを撓ませ且つ接触が解除されたとき該レバー７ａが元の形状に復帰するのに伴って衝撃を発生させ得る板バネ８ａ，８ｂ，８ｃを段差を有して複数枚重ねて構成したことにより、各板バネ８ａ，８ｂ，８ｃにかかる応力を面接触とすることが出来、これにより該板バネ８ａ，８ｂ，８ｃにかかる応力を緩和して折れを防止することが出来、衝撃部材８の寿命を延長することが出来る。
【００４９】
尚、衝撃部材８の配置位置は特に限定するものではなく、燃焼ガス搬送通路４の流れ方向下流側（燃焼ガス搬送通路上流側４ｃから燃焼ガス搬送通路下流側４ｄに向かう方向の下流側）であっても差し支えない。
【００５０】
上記の如く構成した排ガス処理装置Ａでは、燃焼ガス搬送通路４の下流側に接続した図示しないスクラバーを作動させると、該スクラバーの吸引作用により、処理すべき排ガスは排ガス供給路２ａ，２ｂから燃焼室１に供給され、該燃焼室１の内部を燃焼ガス搬送通路４に向けて流れる。同時にケーシング９内の空気が燃焼ガス搬送通路４の上流側４ｃから下流側４ｄ方向に向けて流入する。
【００５１】
バーナー３に点火された火炎によって、排ガス供給路２ａ，２ｂから燃焼室１に供給された排ガスを高温にして分解、燃焼し、その燃焼ガスは燃焼ガス搬送通路４に流れる。このとき、燃焼生成物としての粉体が発生し、大部分は排ガスが分解或いは燃焼して生成された廃棄ガスと共に燃焼ガス搬送通路４に流れて排出される。燃焼ガス搬送通路４に流れ込んだ廃棄ガス及び粉体は、図１の矢印方向に流れ、粉体は図示しないスクラバーによって捕捉される。また燃焼室１で発生した粉体の一部は、飛散して燃焼室１の内面及びスクレーパー７のレバー７ａに付着する。
【００５２】
従って、定期的にスクレーパー７のハンドル７ｅを操作し、レバー７ａ及び支持部材７ｃに設けた刃部または鋭角のエッジ部7a1，7c1によって燃焼室１の内面に付着した粉体を剥離すると共に、レバー７ａを衝撃部材８に接触させて該レバー７ａに衝撃を発生させることで、レバー７ａに付着した粉体を払い落とすことが可能である。また、剥離させた粉体及び払い落ちた粉体は図示しないスクラバーの吸引作用により燃焼室１から燃焼ガス搬送通路４を経て図示しないスクラバーに吸引されて捕捉される。
【００５３】
【発明の効果】
本発明は、上述の如き構成と作用とを有するので、燃焼室の内壁に付着した粉体を剥離部材により掻き取ることによりバーナーの火炎が出口から完全に燃焼室内へ出るようになり、燃焼効率が向上する。
【００５４】
また、剥離部材を構成するレバーの燃焼室の内面に対向する位置に刃部または鋭角のエッジ部を設けたことで、粉体を掻き落とす面を燃焼室の内面に対して鋭角になるように構成することが出来、これにより、燃焼室の内面に付着した粉体を剥離部材により効果的に掻き落として燃焼室内を清掃することが出来る。
【００５５】
また、剥離部材に衝撃を発生させるための衝撃部材を有し、衝撃部材はレバーと接触したとき該レバーを撓ませ且つ接触が解除されたとき該レバーが元の形状に復帰するのに伴って衝撃を発生させ得る板バネを段差を有して複数枚重ねて構成した場合には、板バネにかかる応力を面接触とすることが出来、これにより板バネにかかる応力を緩和して折れを防止することが出来、衝撃部材の寿命を延長することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る排ガス処理装置の第１実施形態の構成を示す斜視説明図である。
【図２】 （ａ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す正面図、（ｂ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す平面図、（ｃ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す左側面図、（ｄ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す右側面図である。
【図３】 第１実施形態の剥離部材の刃部または鋭角のエッジ部の角度を説明する図である。
【図４】 第１実施形態の衝撃部材の構成を示す断面説明図である。
【符号の説明】
Ａ…排ガス処理装置
１…燃焼室
１ａ，１ｂ…筒体
１ｃ…フランジ
２ａ，２ｂ…排ガス供給路
３…バーナー
４…燃焼ガス搬送通路
４ａ…Ｔ型筒体
４ｂ…フランジ
４ｃ…燃焼ガス搬送通路上流側
４ｄ…燃焼ガス搬送通路下流端
５…軸受
７…スクレーパー
７ａ…レバー
7a1…刃部または鋭角のエッジ部
７ｂ…補強部材
７ｃ…支持部材
7c1…刃部または鋭角のエッジ部
７ｄ…軸
７ｅ…ハンドル
８…衝撃部材
８ａ〜８ｃ…板バネ
８ｄ…ホルダー
８ｅ…押さえ板
９…ケーシング
10…蓋体
11ａ〜11ｄ…温度センサ
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体の製造工程で用いられ且つ排出される排ガスであって、可燃性ガス成分や支燃性ガス成分を含有したガスからなる排ガスを燃焼させて無害化処理するための排ガス処理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程における特定の工程から、シラン（SiH4），ジシラン（Si2H6），ジボラン（B2H6），ホスフィン（PH3），アルシン（AsH3）、三フッ化窒素(NF3)等の有害な排ガスが生成することが知られている。このような有毒性排ガスは人体に対する毒性が高いため大気への放出に際しては有毒性物質の完全な除去が要求されている。
【０００３】
また、半導体製造工程における他の特定の工程から四フッ化炭素(CF4)等、地球環境に悪影響を与えるフロンガスの排ガスが生成される。このような排ガスは大気への放出に際して除去することが要求されている。
【０００４】
例えば、特許2963792号公報には、上記の如き排ガスを燃焼させて無毒化した後、大気へ放出することで上記要求を満足させることが出来る有毒性排ガスの処理方法及び装置が提案されている。
【０００５】
上記技術は、上記のような排ガスを一端が閉鎖された筒状の燃焼室に導入することにより、該燃焼室に配置されたバーナーにより水素，メタン，エタン，プロパン，ブタン等の燃料が燃焼するとき生成する高温部で分解され、或いは助燃用空気の作用により燃焼されることで無毒化し、その後、燃焼ガス搬送通路から排出されるものである。
【０００６】
上記の如く構成された排ガス処理装置では、排ガスの燃焼に伴って各種排ガスに含まれた固形化成分が粉体となって発生する。多くの粉体は燃焼部から燃焼ガス搬送通路に排出された後、該燃焼ガス搬送通路に設けたスクラバーに集塵されるが、一部は排ガス供給路及び燃焼部を構成する筒状体の内面に付着して残留する。
【０００７】
例えば、燃焼室内で粉体が発生し、該粉体が排ガス供給路及び燃焼部を構成する筒状体の内面に堆積した場合には、排ガスの流れや燃焼状態に悪影響を与え、除害性能を低下させる虞があるため粉体を除去するためのメンテナンスが必要となり、効率の低下を招いていた。
【０００８】
上述のような粉体の除去を効率的に行なうために、一部が燃焼室を構成する筒状体の内面に沿って周方向に接触しつつ移動するスクレーパーを設けておき、該スクレーパーを適宜外部から操作して筒状体の内面に沿って回転させて筒状体の内面に付着した粉体を剥離させることが考えられる。
【０００９】
前記スクレーパーにより筒状体の内面から剥離した粉体は、燃焼ガスの流れ及び助燃用空気や燃焼ガス冷却用空気等を導入しているときは、それらの空気の流れによって燃焼ガス搬送通路を経て排出することが出来る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、筒状体の内面に付着した粉体は前述のスクレーパーによって剥離して排出することが出来るが、スクレーパーを単にフラットバー等で構成した場合には、筒状体の内面に付着した粉体を掻き取る面が燃焼室内径に対して略直角となるため粉体を効果的に掻き落とすことが出来ず、粉体が筒状体の内面に硬く付着するという問題がある。
【００１１】
また、スクレーパー自体に付着した粉体を落下させるために板バネを使ってスクレーパーを撓ませて衝撃を発生することも出来るが、板バネの固定箇所が単に点或いは線接触である場合には板バネが曲がるときに固定箇所が折れ易いという問題がある。
【００１２】
また、前述のスクレーパーは片持ちで支持されるため該スクレーパーの先端部が確実に筒状体の内面に接触しつつ粉体を剥離することが困難な場合も生じるため筒状体の軸方向に亘って確実に接触しつつ粉体を剥離することが出来る構成が望まれていた。
【００１３】
本発明は前記課題を解決するものであり、その第１の目的とするところは、燃焼室の内面に付着した粉体を剥離部材により効果的に掻き落とすことが出来、更に剥離部材に衝撃を発生させるための衝撃部材の寿命を延長することが出来、更に第２の目的とするところは、剥離部材が燃焼室の内面に沿って該燃焼室を排ガスが流通する方向に亘って確実に接触しつつ粉体を剥離することが出来る排ガス処理装置を提供せんとするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するための本発明に係る排ガス処理装置は、燃焼室と燃焼ガス搬送通路とを有し、前記燃焼室は一端が閉鎖されると共に他端が前記燃焼ガス搬送通路に接続され、且つ閉鎖された端部側に排ガス供給路が配置されると共に、該排ガス供給路よりも前記燃焼ガス搬送通路側にバーナーが配置され、前記燃焼室に供給された排ガスを前記バーナーによって高温にして分解或いは燃焼させて前記燃焼ガス搬送通路から排出させる排ガス処理装置において、前記燃焼室の内面に沿って周方向に移動して該燃焼室の内面に付着した粉体を剥離する剥離部材と、前記剥離部材に衝撃を発生させるための衝撃部材と、を有し、前記剥離部材はその一端が該燃焼室の外部に設けた駆動部材に取り付けられると共に他端が自由端として構成されたレバーからなり且つ前記レバーの前記燃焼室の内面に対向する位置に刃部または鋭角のエッジ部を設けて構成され、前記衝撃部材は前記レバーと接触したとき該レバーを撓ませ且つ接触が解除されたとき該レバーが元の形状に復帰するのに伴って衝撃を発生させ得る板バネを段差を有して複数枚重ねて構成したことを特徴とする。
【００１５】
本発明は、上述の如く構成したので、排ガス供給路から供給された排ガスをバーナーの火炎によって高温にして分解、燃焼する燃焼室と、燃焼ガス搬送通路とを有しており、燃焼室が、一端が閉鎖され該端部側に排ガス供給路が配置され、該排ガス供給路よりも燃焼ガス搬送通路側にバーナーが配置されて構成されているので、排ガス供給路から供給された排ガスをバーナーによって燃焼或いは分解させることが出来、その燃焼ガスを燃焼ガス搬送通路から排出することが出来る。
【００１６】
また、剥離部材を構成するレバーの燃焼室の内面に対向する位置に刃部または鋭角のエッジ部を設けたことで、該レバーの粉体を掻き落とす面を燃焼室の内面に対して鋭角になるように構成することが出来、これにより、燃焼室の内面に付着した粉体を剥離部材により効果的に掻き落として燃焼室内を清掃することが出来る。
【００１７】
また、前記剥離部材に衝撃を発生させるための衝撃部材を有し、前記衝撃部材は前記レバーと接触したとき該レバーを撓ませ且つ接触が解除されたとき該レバーが元の形状に復帰するのに伴って衝撃を発生させ得る板バネを段差を有して複数枚重ねて構成することによって、板バネにかかる応力を面接触とすることが出来、これにより板バネにかかる応力を緩和して折れを防止することが出来、衝撃部材の寿命を延長することが出来る。
【００１８】
排ガス処理装置をこのように構成することによって、駆動部材によって剥離部材（以下「スクレーパー」という）を操作したとき、該スクレーパーを構成するレバーが衝撃部材と接触して撓みが発生し、且つ衝撃部材との接触が解除されるのに伴って撓んだレバーが初期の形状に復元するのに伴って衝撃が生じ、該レバーに付着した粉体を払い落とすことが出来る。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図により本発明に係る排ガス処理装置の一実施形態を具体的に説明する。図１は本発明に係る排ガス処理装置の第１実施形態の構成を示す斜視説明図、図２（ａ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す正面図、図２（ｂ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す平面図、図２（ｃ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す左側面図、図２（ｄ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す右側面図、図３は第１実施形態の剥離部材の刃部または鋭角のエッジ部の角度を説明する図、図４は第１実施形態の衝撃部材の構成を示す断面説明図である。
【００２０】
先ず、図１〜図４を用いて本発明に係る排ガス処理装置の第１実施形態の構成について説明する。図１において、排ガス処理装置Ａは、半導体の製造工程から生成するシラン，ジシラン，ジボラン，ホスフィン，アルシンや、三フッ化窒素等の毒性を持つ特殊材料ガス、或いは四フッ化炭素等の地球環境に悪影響を与えるフロンガス等の排ガスを完全燃焼或いは分解させて無害化して排出する機能を有するものである。
【００２１】
排ガス処理装置Ａは、一方の端部側から供給された排ガスを分解、燃焼させる燃焼室１と、該燃焼室１の一方の端部側に配置され、処理すべき排ガスが供給される排ガス供給路２ａ，２ｂと、燃焼室１における排ガス供給路２ａ，２ｂよりも下流側に設けたバーナー３と、燃焼室１の他方の端部に接続される燃焼ガス搬送通路４と、燃焼室１に設けた剥離部材であってレバーからなるスクレーパー７と、該スクレーパー７に衝撃を発生させる衝撃部材８とを有して構成されている。
【００２２】
燃焼室１は円筒状の筒体１ａ，１ｂがシール部材を介在させてフランジ１ｃを介してボルト止め等により接続して構成されており、筒体１ａの一端に設けられたフランジ１ｃに蓋体10がシール部材を介在させてボルト止め等により固定されて閉鎖され、筒体１ｂの他端に設けられたフランジ１ｃが燃焼ガス搬送通路４を構成するＴ型筒体４ａのフランジ４ｂにシール部材を介在させてボルト止め等により接続されて開口している。
【００２３】
燃焼室１の蓋体10側の筒体１ａの所定位置には排ガス供給路２ａ，２ｂが配置されており、この排ガス供給路２ａ，２ｂよりも下流側である燃焼ガス搬送通路４側の筒体１ｂに１または複数のバーナー３が配置されている。更に、バーナー３と燃焼ガス搬送通路４との間には温度センサ11ａが設けられ、該温度センサ11ａによって燃焼室１内の温度が検出されている。
【００２４】
排ガス供給路２ａ，２ｂは、図示しない排ガス発生部位（例えば半導体の製造工程を構成するプロセス機器類）に接続され、該排ガス発生部位で発生した排ガスを燃焼室１に供給する機能を有する。排ガス供給路２ａ，２ｂには同一或いは異なる排ガス発生部位から同一種類の排ガスが供給されても良いし、異なる排ガス発生部位から異なる種類の排ガスが選択的に供給されても良い。
【００２５】
排ガス供給路２ａ，２ｂの所定位置には温度センサ11ｂ，11ｃが設けられており、該排ガス供給路２ａ，２ｂの各温度を常に監視することによって、排ガス導入温度を監視すると共に逆火現象の発生を監視し得るように構成されている。
【００２６】
バーナー３は、燃料ガスである水素ガスやＬＮＧ（天然ガス），ＬＰＧ（液化石油ガス）、都市ガス等を選択的に供給し、選択された反応促進ガスに点火することによって火炎を形成し、この火炎によって排ガスを高温にしている。
【００２７】
燃焼ガス搬送通路４は、燃焼室１において燃焼した廃棄ガスを流通させ、該燃焼ガス搬送通路４の燃焼ガス搬送通路下流側４ｄに連続して設けた図示しないスクラバーに吸引させる。また燃焼ガス搬送通路４における燃焼室１よりも下流側には温度センサ11ｄが設けられている。
【００２８】
剥離部材となるスクレーパー７は、図１及び図２に示すように、筒体１ａ，１ｂにより構成された燃焼室１の内壁に接近して配置されると共に一部が該内壁に接触するレバー７ａと、該レバー７ａを支持すると共に一部が蓋体10の内壁に接触する支持部材７ｃと、該レバー７ａと支持部材７ｃとの接合部を補強する補強部材７ｂと、該支持部材７ｃに取り付けられると共に蓋体10を貫通して設けた軸７ｄと、該軸７ｄに取り付けたハンドル７ｅとを有して構成されている。
【００２９】
軸７ｄは蓋体10に設けられた軸受５により気密性が保持された状態で回転可能に軸支されている。
【００３０】
従って、スクレーパー７は、一端が自由端として構成されたレバー７の他端が支持部材７ｃによって軸７ｄに接続され、該軸７ｄの一端部で燃焼室１の外部に設けられた駆動部材となるハンドル７ｅを操作することによって回転させることで、レバー７ａの刃部または鋭角のエッジ部7a1が燃焼室１を構成する筒体１ａ，１ｂの内面に沿って周方向に接触しつつ移動して燃焼室１を構成する筒体１ａ，１ｂの内面に付着した粉体を剥離し、更に支持部材７ｃの刃部または鋭角のエッジ部7c1が燃焼室１を構成する蓋体10の内面に沿って周方向に接触しつつ移動して燃焼室１を構成する蓋体10の内面に付着した粉体を剥離し得るように構成されている。
【００３１】
レバー７ａ及び支持部材７ｃの燃焼室１の内面に対向する位置には刃部または鋭角のエッジ部7a1，7c1が設けられており、これにより筒体１ａ，１ｂの内壁面及び蓋体10の内壁面に付着した粉体を効果的に剥離することが出来るものである。
【００３２】
図３に示すように、レバー７ａの刃部または鋭角のエッジ部7a1の筒体１ａ，１ｂの内周面に対する掬い角度（即ち、図３に示すレバー７ａの刃部または鋭角のエッジ部7a1の先端において軸７ｄの回転中心とを結んだ直線ａと直交する直線ｂと、刃部または鋭角のエッジ部7a1の面を延長した直線ｃとがなす角度）γは３０°以上、且つ９０°未満の範囲で鋭角になるように構成すれば好ましい。
【００３３】
また、レバー７ａの逃げ角度（即ち、図３に示すレバー７ａの底面と前記直線ｂとがなす角度）βは、１°以上、且つ３０°以下が好ましく、より好ましくは１°以上、且つ１５°以下でる。尚、本実施形態では、レバー７ａの逃げ角度βを１５°程度に設定している。
【００３４】
従って、レバー７ａの刃部または鋭角のエッジ部7a1の傾斜角度αは、３０°以上、且つ６０°以下が好ましい。
【００３５】
また、レバー７ａの刃部または鋭角のエッジ部7a1の先端と燃焼室１を構成する筒体１ａ，１ｂの内周面との間の間隔は、１mm以上、且つ１０mm以下が好ましく、支持部材７ｃの刃部または鋭角のエッジ部7c1の先端と燃焼室１を構成する蓋体10の内面との間の間隔は、３mm以上、且つ１３mm以下が好ましい。
【００３６】
例えば、レバー７ａを単にフラットバー等で構成した場合には、筒体１ａ，１ｂの内面に付着した粉体を掻き取る面が、その内面に対して略直角となるため粉体を効果的に掻き落とすことが出来ず、フラットバーの先行する角部から逃げた粉体は該フラットバーの後続する角部で鏝(こて)のような作用により該粉体を筒体１ａ，１ｂや蓋体10の内面に押し付けて硬く付着させてしまう場合がある。
【００３７】
そこで、本実施形態では、剥離部材を構成するレバー７ａ及び支持部材７ｃの燃焼室１を構成する筒体１ａ，１ｂ及び蓋体10の内面に対向する位置に刃部または鋭角のエッジ部7a1，7c1を設け、更にレバー７ａに逃げ角度βを設けたことで、レバー７ａの刃部または鋭角のエッジ部7a1が粉体を掻き落とす掬い角度γを燃焼室１及び蓋体10の内面に対して鋭角になるように構成することが出来、これにより、燃焼室１の内面に付着した粉体をレバー７ａ及び支持部材７ｃにより効果的に掻き落として燃焼室１内を清掃することが出来、更には、レバー７ａに設けた逃げ角度βによりレバー７ａから逃げた粉体が鏝(こて)のような作用により該粉体を筒体１ａ，１ｂの内面に押し付けて硬く付着させることがなく、鉋（かんな）のような作用により硬い粉体も削り取ることが出来る。
【００３８】
燃焼室１の内面に付着する付着物としては、処理すべき排ガスを燃焼させたときに生じる燃焼生成物としての粉体が主たるものである。この粉体は、非常に粒子が細かく、多くは燃焼した後の廃棄ガスと共に燃焼ガス搬送通路４を通って図示しないスクラバーに集塵される。しかし、燃焼室１を浮遊して落下したとき、燃焼室１の内面及びスクレーパー７のレバー７ａに付着するものもある。
【００３９】
従って、スクレーパー７は、燃焼室１の内面に付着した粉体を剥離させる機能を有しており、このスクレーパー７を操作することによって燃焼室１の内面を常に美麗に保持することが可能である。
【００４０】
このため、レバー７ａは、少なくとも一方が燃焼室１を構成する筒体１ａ，１ｂの長さよりも長く形成されており、端部が燃焼室１から燃焼ガス搬送通路４に突出している。
【００４１】
レバー７ａ及び支持部材７ｃは、高温に耐え、且つ耐腐食性に優れ、且つ燃焼室１の内面と確実に接触して該内壁の付着物を剥離し得る刃部または鋭角のエッジ部7a1，7c1を形成出来る耐熱鋼で構成すれば良く、例えば、インコネル（インコ社の商品名）等の耐熱性合金を採用すれば好ましい。
【００４２】
尚、レバー７ａ、補強部材７ｂを前記インコネルで構成し、支持部材７ｃをSUS304等のステンレス鋼等で構成することも出来る。
【００４３】
図１に示す衝撃部材８は、スクレーパー７を構成するレバー７ａに付着した粉体を払い落とすために、該レバー７ａに衝撃を発生させるものである。従って、衝撃部材８としては、前記機能を発揮し得るものであれば良く、特に構造を限定するものではない。
【００４４】
本実施形態の衝撃部材８としては、図４に示すように、スクレーパー７のレバー７ａの自由端と接触し得る位置に設けた板バネ８ａと、段差を有する一対の板バネ８ｂ，８ｃを複数枚重ねて構成したものである。
【００４５】
例えば、図４に示す衝撃部材８は、燃焼ガス搬送通路４を構成するＴ型筒体４ａの所定位置にホルダー８ｄを固定し、このホルダー８ｄに段差を有して複数枚重ねて構成した板バネ８ａ，８ｂ，８ｃを沿わせると共に中央の板バネ８ａの先端を燃焼室１の内面から適度な長さ突出させて配置し、押さえ板８ｅによって板バネ８ａ，８ｂ，８ｃの束を固定して構成されている。
【００４６】
上記衝撃部材８では、スクレーパー７を回転させてレバー７ａが板バネ８ａに当接すると、引き続くスクレーパー７の回転に伴って、レバー７ａが板バネ８ａ及び該レバー７ａの回転方向下流側の板バネ８ｂ，８ｃを二点鎖線で示すように撓ませ、同時にレバー７ａにも二点鎖線で示すように周方向への撓みδが発生する。
【００４７】
スクレーパー７の更なる回転に伴って、板バネ８ａ，８ｂ，８ｃの撓みが増大し、該板バネ８ａのレバー７ａに対する接触が解除される。このとき、板バネ８ａ，８ｂ，８ｃ及びレバー７ａは夫々元の形状に復帰するが、レバー７ａには撓みδが瞬時に復帰することに伴う衝撃が発生し、該レバー７ａが振動して該レバー７ａに付着した粉体を払い落とすことが可能となる。
【００４８】
上記構成によれば、レバー７ａと接触したときに該レバー７ａを撓ませ且つ接触が解除されたとき該レバー７ａが元の形状に復帰するのに伴って衝撃を発生させ得る板バネ８ａ，８ｂ，８ｃを段差を有して複数枚重ねて構成したことにより、各板バネ８ａ，８ｂ，８ｃにかかる応力を面接触とすることが出来、これにより該板バネ８ａ，８ｂ，８ｃにかかる応力を緩和して折れを防止することが出来、衝撃部材８の寿命を延長することが出来る。
【００４９】
尚、衝撃部材８の配置位置は特に限定するものではなく、燃焼ガス搬送通路４の流れ方向下流側（燃焼ガス搬送通路上流側４ｃから燃焼ガス搬送通路下流側４ｄに向かう方向の下流側）であっても差し支えない。
【００５０】
上記の如く構成した排ガス処理装置Ａでは、燃焼ガス搬送通路４の下流側に接続した図示しないスクラバーを作動させると、該スクラバーの吸引作用により、処理すべき排ガスは排ガス供給路２ａ，２ｂから燃焼室１に供給され、該燃焼室１の内部を燃焼ガス搬送通路４に向けて流れる。同時にケーシング９内の空気が燃焼ガス搬送通路４の上流側４ｃから下流側４ｄ方向に向けて流入する。
【００５１】
バーナー３に点火された火炎によって、排ガス供給路２ａ，２ｂから燃焼室１に供給された排ガスを高温にして分解、燃焼し、その燃焼ガスは燃焼ガス搬送通路４に流れる。このとき、燃焼生成物としての粉体が発生し、大部分は排ガスが分解或いは燃焼して生成された廃棄ガスと共に燃焼ガス搬送通路４に流れて排出される。燃焼ガス搬送通路４に流れ込んだ廃棄ガス及び粉体は、図１の矢印方向に流れ、粉体は図示しないスクラバーによって捕捉される。また燃焼室１で発生した粉体の一部は、飛散して燃焼室１の内面及びスクレーパー７のレバー７ａに付着する。
【００５２】
従って、定期的にスクレーパー７のハンドル７ｅを操作し、レバー７ａ及び支持部材７ｃに設けた刃部または鋭角のエッジ部7a1，7c1によって燃焼室１の内面に付着した粉体を剥離すると共に、レバー７ａを衝撃部材８に接触させて該レバー７ａに衝撃を発生させることで、レバー７ａに付着した粉体を払い落とすことが可能である。また、剥離させた粉体及び払い落ちた粉体は図示しないスクラバーの吸引作用により燃焼室１から燃焼ガス搬送通路４を経て図示しないスクラバーに吸引されて捕捉される。
【００５３】
【発明の効果】
本発明は、上述の如き構成と作用とを有するので、燃焼室の内壁に付着した粉体を剥離部材により掻き取ることによりバーナーの火炎が出口から完全に燃焼室内へ出るようになり、燃焼効率が向上する。
【００５４】
また、剥離部材を構成するレバーの燃焼室の内面に対向する位置に刃部または鋭角のエッジ部を設けたことで、粉体を掻き落とす面を燃焼室の内面に対して鋭角になるように構成することが出来、これにより、燃焼室の内面に付着した粉体を剥離部材により効果的に掻き落として燃焼室内を清掃することが出来る。
【００５５】
また、剥離部材に衝撃を発生させるための衝撃部材を有し、衝撃部材はレバーと接触したとき該レバーを撓ませ且つ接触が解除されたとき該レバーが元の形状に復帰するのに伴って衝撃を発生させ得る板バネを段差を有して複数枚重ねて構成した場合には、板バネにかかる応力を面接触とすることが出来、これにより板バネにかかる応力を緩和して折れを防止することが出来、衝撃部材の寿命を延長することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る排ガス処理装置の第１実施形態の構成を示す斜視説明図である。
【図２】 （ａ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す正面図、（ｂ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す平面図、（ｃ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す左側面図、（ｄ）は第１実施形態の剥離部材の構成を示す右側面図である。
【図３】 第１実施形態の剥離部材の刃部または鋭角のエッジ部の角度を説明する図である。
【図４】 第１実施形態の衝撃部材の構成を示す断面説明図である。
【符号の説明】
Ａ…排ガス処理装置
１…燃焼室
１ａ，１ｂ…筒体
１ｃ…フランジ
２ａ，２ｂ…排ガス供給路
３…バーナー
４…燃焼ガス搬送通路
４ａ…Ｔ型筒体
４ｂ…フランジ
４ｃ…燃焼ガス搬送通路上流側
４ｄ…燃焼ガス搬送通路下流端
５…軸受
７…スクレーパー
７ａ…レバー
7a1…刃部または鋭角のエッジ部
７ｂ…補強部材
７ｃ…支持部材
7c1…刃部または鋭角のエッジ部
７ｄ…軸
７ｅ…ハンドル
８…衝撃部材
８ａ〜８ｃ…板バネ
８ｄ…ホルダー
８ｅ…押さえ板
９…ケーシング
10…蓋体
11ａ〜11ｄ…温度センサ
Claims (1)
- 燃焼室と燃焼ガス搬送通路とを有し、前記燃焼室は一端が閉鎖されると共に他端が前記燃焼ガス搬送通路に接続され、且つ閉鎖された端部側に排ガス供給路が配置されると共に、該排ガス供給路よりも前記燃焼ガス搬送通路側にバーナーが配置され、前記燃焼室に供給された排ガスを前記バーナーによって高温にして分解或いは燃焼させて前記燃焼ガス搬送通路から排出させる排ガス処理装置において、前記燃焼室の内面に沿って周方向に移動して該燃焼室の内面に付着した粉体を剥離する剥離部材と、前記剥離部材に衝撃を発生させるための衝撃部材と、を有し、前記剥離部材はその一端が該燃焼室の外部に設けた駆動部材に取り付けられると共に他端が自由端として構成されたレバーからなり且つ前記レバーの前記燃焼室の内面に対向する位置に刃部または鋭角のエッジ部を設けて構成され、前記衝撃部材は前記レバーと接触したとき該レバーを撓ませ且つ接触が解除されたとき該レバーが元の形状に復帰するのに伴って衝撃を発生させ得る板バネを段差を有して複数枚重ねて構成したことを特徴とする排ガス処理装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002156881A JP3905422B2 (ja) | 2002-05-30 | 2002-05-30 | 排ガス処理装置 |
| TW092114167A TWI228582B (en) | 2002-05-30 | 2003-05-26 | Exhaust gas treatment device |
| PCT/JP2003/006862 WO2003102471A1 (fr) | 2002-05-30 | 2003-05-30 | Équipement de traitement de gaz de carneau |
| CNB038122634A CN1308619C (zh) | 2002-05-30 | 2003-05-30 | 废气处理装置 |
| US10/514,945 US20050226790A1 (en) | 2002-05-30 | 2003-05-30 | Flue gas treating equipment |
| AU2003241674A AU2003241674A1 (en) | 2002-05-30 | 2003-05-30 | Flue gas treating equipment |
| KR1020047018127A KR100993039B1 (ko) | 2002-05-30 | 2003-05-30 | 배기가스 처리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002156881A JP3905422B2 (ja) | 2002-05-30 | 2002-05-30 | 排ガス処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003343826A JP2003343826A (ja) | 2003-12-03 |
| JP3905422B2 true JP3905422B2 (ja) | 2007-04-18 |
Family
ID=29706450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002156881A Expired - Lifetime JP3905422B2 (ja) | 2002-05-30 | 2002-05-30 | 排ガス処理装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20050226790A1 (ja) |
| JP (1) | JP3905422B2 (ja) |
| KR (1) | KR100993039B1 (ja) |
| CN (1) | CN1308619C (ja) |
| AU (1) | AU2003241674A1 (ja) |
| TW (1) | TWI228582B (ja) |
| WO (1) | WO2003102471A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5437734B2 (ja) | 2009-08-07 | 2014-03-12 | 株式会社荏原製作所 | 燃焼式排ガス処理装置 |
| GB2493752A (en) * | 2011-08-17 | 2013-02-20 | Edwards Ltd | Apparatus for treating a gas stream |
| US9138670B2 (en) | 2012-10-26 | 2015-09-22 | General Electric Company | System and method for syngas treatment |
| JP2014206297A (ja) * | 2013-04-11 | 2014-10-30 | 小池酸素工業株式会社 | 排ガスの処理装置 |
| JP2015010800A (ja) * | 2013-07-01 | 2015-01-19 | 小池酸素工業株式会社 | 排ガスの処理装置 |
| US20150377108A1 (en) * | 2015-09-04 | 2015-12-31 | Caterpillar Inc. | Dual fuel engine system |
| GB201520104D0 (en) * | 2015-11-13 | 2015-12-30 | Edwards Ltd | Scraper |
| KR102514468B1 (ko) * | 2021-06-16 | 2023-03-29 | 박종민 | 스크류실린더를 이용한 가스처리설비용 파우더제거장치 |
| GB2613012A (en) * | 2021-11-22 | 2023-05-24 | Edwards Ltd | Abatement apparatus scraper cages |
| CN115364650A (zh) * | 2022-08-31 | 2022-11-22 | 河北天宇盛恩包装制品有限公司 | 一种废气燃烧环保处理*** |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT388972B (de) * | 1985-04-02 | 1989-09-25 | Steyr Daimler Puch Ag | Vorrichtung zum abscheiden von russteilchen aus den abgasen einer luftverdichtenden, selbstzuendenden brennkraftmaschine |
| US4725365A (en) * | 1986-04-21 | 1988-02-16 | Dresser Industries, Inc. | Bar screen raking apparatus and method of use |
| US4874407A (en) * | 1989-02-07 | 1989-10-17 | Lefkowitz Leonard R | Regenerable filter |
| JPH08121728A (ja) * | 1994-10-27 | 1996-05-17 | Nippon Steel Corp | 廃棄物の溶融炉からの発生ガスの燃焼方法および廃棄物溶融炉の２次燃焼炉 |
| US5580368A (en) * | 1995-02-22 | 1996-12-03 | Su-Ying R. Lu | Exhaust gas cleaning device |
| US6010576A (en) * | 1998-08-27 | 2000-01-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Apparatus and method for cleaning an exhaust gas reactor |
| JP3622625B2 (ja) * | 2000-03-22 | 2005-02-23 | Ｊｆｅエンジニアリング株式会社 | 廃棄物処理方法および廃棄物処理設備 |
| JP3847055B2 (ja) * | 2000-05-15 | 2006-11-15 | 株式会社タクマ | ダスト含有排ガスの二次燃焼装置 |
| DE10225090A1 (de) * | 2002-06-05 | 2003-12-18 | Claas Selbstfahr Erntemasch | Kühlluft-Reinigungseinrichtung |
| TW595513U (en) * | 2003-06-30 | 2004-06-21 | Ruei-Ching Ju | Fluid filtering equipment |
| TWM278467U (en) * | 2005-05-19 | 2005-10-21 | Oav Equipment & Tools Inc | Cleaning apparatus for dust collector |
-
2002
- 2002-05-30 JP JP2002156881A patent/JP3905422B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2003
- 2003-05-26 TW TW092114167A patent/TWI228582B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-05-30 CN CNB038122634A patent/CN1308619C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-05-30 WO PCT/JP2003/006862 patent/WO2003102471A1/ja active Application Filing
- 2003-05-30 KR KR1020047018127A patent/KR100993039B1/ko active IP Right Grant
- 2003-05-30 AU AU2003241674A patent/AU2003241674A1/en not_active Abandoned
- 2003-05-30 US US10/514,945 patent/US20050226790A1/en not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20050226790A1 (en) | 2005-10-13 |
| TWI228582B (en) | 2005-03-01 |
| KR20050018678A (ko) | 2005-02-23 |
| CN1308619C (zh) | 2007-04-04 |
| JP2003343826A (ja) | 2003-12-03 |
| AU2003241674A1 (en) | 2003-12-19 |
| CN1656341A (zh) | 2005-08-17 |
| KR100993039B1 (ko) | 2010-11-09 |
| TW200402519A (en) | 2004-02-16 |
| WO2003102471A1 (fr) | 2003-12-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3905422B2 (ja) | 排ガス処理装置 | |
| US7985379B2 (en) | Reactor design to reduce particle deposition during process abatement | |
| WO2004009978A3 (en) | Methods and compositions for on-line gas turbine cleaning | |
| WO2000048751A9 (en) | Carbon-enhanced fluoride ion cleaning | |
| WO2015002149A1 (ja) | 排ガスの処理装置 | |
| TW510829B (en) | Self-cleaning chamber system | |
| EP2744588B1 (en) | Apparatus for treating a gas stream | |
| JP2003083531A (ja) | 排ガスの処理装置 | |
| JP2015053319A (ja) | 除去装置、および除害装置 | |
| JP2004278973A (ja) | 排ガス処理装置 | |
| JP2003161423A (ja) | 排ガスの処理装置 | |
| JP2014206297A (ja) | 排ガスの処理装置 | |
| EP3809042A1 (en) | Damage-reducing apparatus and inlet nozzle | |
| JP2005003331A (ja) | 有害ガスの燃焼式除害装置 | |
| US11759832B2 (en) | Powder removing apparatus using screw cylinder for gas processing facility | |
| WO2005057084A1 (ja) | 乾留ガス処理用燃焼装置 | |
| JPH11257640A (ja) | 排ガスの除害装置 | |
| JP2021109116A (ja) | 高温ガス浄化装置 | |
| KR100267170B1 (ko) | 파우더 캐처 | |
| JP2004324948A (ja) | メンテナンス用窓及び排ガス処理装置 | |
| JPH10288320A (ja) | ストーカー式焼却炉 | |
| JP2019082283A (ja) | ボイラ伝熱管の耐食・耐磨耗用保護部材 | |
| WO2009041988A1 (en) | Thermal oxidizer with enhanced gas mixing | |
| JPH07280202A (ja) | ボイラ−における過熱器 | |
| JPH11337006A (ja) | ボイラ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040721 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061003 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061129 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070109 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070111 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3905422 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100119 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110119 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110119 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120119 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130119 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130119 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |