JP3896265B2 - 位置出し治具及び位置出し治具を用いた吹き付け研磨装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体や研磨剤を懸濁した研磨液を吹き付けることによって光学部材や基板の表面研磨を行う装置に使用する位置出し治具及び位置出し治具を用いた吹き付け研磨装置に関する。
【0002】
【従来技術】
従来、この種の技術として、USP5,971,835に開示されたものが知られている。つまり、USP5,971,835には、回転するワークピースに磁性研磨粒子を懸濁した流体を吹き付けながら、その吹き付け方向をソレノイドで制御して研磨位置を調整する研磨方法およびシステムが開示されている。
【0003】
一方、他の技術として、流体の吹き付けノズルと被研磨材の距離を測定、確認したり、吹き付け方向と垂直な面内でのノズルと被研磨材の位置関係を測定して吹き付けの制御のデータとするものも知られており、上述の技術と組み合わせることで、ノズルと被研磨材との距離、位置関係を測定でき、この測定結果によりノズルを旋回させる場合の旋回中心と球面研磨面の中心とが一致しているかを知ることができる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の技術は、ここまでで、吹き付け研磨においてノズルの位置と向き、つまり、吹き付け位置や向きが目的に合っているかを確認や、ノズル旋回する場合において、その旋回中心が目標に位置に合っているかを確認するような高度なことまで考えられていないのが現状であった。
【0005】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、吹き付け研磨においてノズルの位置と向き、つまり、吹き付け位置や向きが目的に合っているかを確認でき、また、ノズル旋回する場合において、その旋回中心が目標に位置に合っているかを確認できる位置出し治具、位置出し治具を用いた吹き付け研磨装置および吹き付け研磨方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明では、被研磨材と同じ場所に同じ方法で取り付けることができる治具を用いる。この治具は被研磨材と、また、別の治具と交換可能である。治具には研磨液が吹き付けられた位置を知るための機構が設けられている。この機構は目視確認するためであったり、吹き付け位置や圧力を測定する機能を備えることもある。また、別の治具は球面の一部を有する形状を持っている。この治具は、ノズルを旋回させた、それぞれのノズル位置で被研磨材との距離や位置関係を測定する基準となる。非球面の一部を有する形状を持っている治具でも同様に、ノズルとの距離や位置関係を測定して、この測定結果に基づいてノズルの軌跡と向きを決めることが可能となる。
【0007】
治具を直接観察できない、例えば、フードなどで覆われている場合などでは、治具に研磨液を拭きつけている様子を撮像し、表示し、画像処理して正確なノズル位置、旋回中心などの調整を行う。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に従い説明する。
【0009】
(第1の実施の形態)
図1、図2を用いて本発明の第1の実施形態を説明する。
【0010】
(構成)
図1のように位置出し治具1の上面中心には後述する研磨液噴流8の入射する位置を確認する為の位置検出機構、例えばマーキングとして、噴流8の断面径寸法とほぼ等しい穴2が設けられている。また、噴流8の排出経路3も設けられており、噴流8が穴2に入射した後に再び穴2から逆流・噴出するのを防ぎ、噴流8の通過状況観察を容易にする。
【0011】
続いて研磨液を被研磨材に吹き付けて研磨する吹き付け研磨装置の概略の構成を図2に示す。研磨装置にはθ方向に回転する回転テーブル4があり、回転テーブル4にはチャック5が固定されている。このチャック5は研磨工程においては被研磨材または被研磨材保持具を取りつけるためのものである。チャック5には、被研磨材または被研磨材保持治具を保持するときと同一の保持方法で位置出し治具1も取付けることができる。
【0012】
また、チャック5の上部にはノズル7があり、図示しない手段により、回転テーブル4の旋回中心と平行なZ方向とこれと互いに直行するXY方向、およびα方向(チルト方向)に図示しないマイクロコンピュータを使った制御装置で任意に移動可能なように構成されている。またノズル7からは研磨液の噴流8を噴出させることが可能となっている。
【0013】
(作用)
位置出し治具1をチャック5に取りつけた後、ノズル7から位置出し治具1に向けて噴流8を噴出する。位置出し治具1の上面に設けられた穴2を、噴流8が通過することを目視確認することでチャック5の中心線上に噴流8が噴出されていることを確認できる。
【0014】
また、ノズル7を固定した状態で回転テーブル4をθ方向に旋回させて噴流8の通過状態を目視確認することで、チャック5の振れ方向と振れ量を知ることができる。
【0015】
更に、回転テーブル4を固定した状態でノズル7をZ方向に移動させて噴流8の通過状態を目視確認することで、ノズル7の傾き方向と傾き量を知ることができる。
【0016】
(効果)
この方法でノズル7とチャック5の相対位置を確認し、この相対位置を図示しない相対位置調整方法により調整することができる。このことは、チャック5に被研磨材または被研磨材保持具を取りつけた際のノズルとチャックの相対位置を計算により容易に求められることを意味する。
【0017】
本実施の形態では目視により噴流8が穴2に噴射される様子を確認しているが、図3のように、撮像装置10、表示装置11、画像処理装置12を図2の構成に付加して、噴流8が位置出し治具1に噴射される様子を撮像装置10で撮影しても良い。これにより、位置出し治具1を目視で直接観察できない場合にも観察が可能になり、さらに画像処理を行うことにより正確に位置ズレ量を測定する事や、ズレ量を自動に測定する事が可能となる。
【0018】
(第2の実施の形態)
図4を用いて本発明の第2の実施形態を説明する。
【0019】
(構成)
本実施の形態の位置出し治具21は実施の形態1で図2を用いて説明した研磨装置にとりつけて使用する。研磨装置の構成は実施の形態1と同じなので説明を省略する。
【0020】
位置出し治具21の上面には、研磨液噴流8の入射する位置を確認する為の位置検出機構、例えばマーキングとして、噴流8の断面径寸法とほぼ等しい穴22a〜22dが4箇所設けられている。また、噴流8の排出経路23a〜23dも設けられており、噴流8が穴22a〜22dに入射した後に再び穴22a〜22dから逆流・噴出するのを防ぎ、噴流8の通過状況観察を容易にする。
【0021】
位置出し治具21は、研磨装置のチャック5に、研磨工程において被研磨材および被研磨材保持治具を保持するときと同一の保持方法で取付けることができる。
【0022】
(作用)
位置出し治具21をチャック5に取りつけた後、ノズル7から位置出し治具21に向けて噴流8を噴出し、位置出し治具21に設けられた穴22aを前記噴流8が通過することを目視確認する。続いてノズル7をXYの2方向に治具21に設けられた穴22b〜22d相互の間隔と同じピッチだけ移動させて穴22b〜22dを前記噴流8が通過することを目視確認する。このようにしてノズル7をXY方向に所定量移動させることにより噴流8が穴22a〜22dに噴出されることを確認できる。
【0023】
更に、位置出し治具21の穴22aに噴流8が噴射される位置でノズル7のXY方向の移動を固定してZ方向移動させて噴流8の通過状態を観察することで、ノズル7の傾きの方向と傾きの量を知ることができる。
【0024】
(効果)
以上の方法でノズル7とチャック5の相対位置を確認し、この相対位置を図示しない相対位置調整方法により調整することができる。このことはプリズムや基盤等の平面研磨を行う際に、ノズル7とチャック5に取りつけられる被研磨材または被研磨材保持具との相対位置を計算により容易に決定できることを意味する。
【0025】
(第3の実施の形態)
図5を用いて本発明の第3の実施形態を説明する。
【0026】
(構成)
本実施の形態の位置出し治具21は実施の形態1で図2を用いて説明した研磨装置にとりつけて使用する。研磨装置の構成は実施の形態1と同じなので説明を省略する。
【0027】
研磨装置のチャック5には、研磨工程において被研磨材または被研磨材保持具を保持するときと同一の保持方法で位置出し治具31も取付けることができる。位置出し治具31の外形は球形状になっており、球形の表面には研磨液噴流8の入射する位置を確認する為の位置検出機構、例えばマーキングとして、噴流8の断面径寸法とほぼ等しい複数個の穴32a、32b、32c…23gが位置出し治具31の球心33方向に向かって設けられている。前記マーキングは位置出し治具31の球心点と、ノズル7の中心とを結ぶ線と、位置出し治具31の表面とが交差する位置に設けられている。これら複数個の穴は位置出し治具31の球心33付近でつながっており、噴流8を排出するための機能も兼ねている。これにより噴流8が穴32a、32b、32c…23gに入射した後に再び同じ穴32a、32b、32c…23gから逆流・噴出するのを防ぎ、噴流8が穴32a、32b、32c…23gを通過する状況の観察を容易にする。
【0028】
また、位置出し治具31をチャック5に取りつけたときの球心33の位置は、チャック5に球面形状の被研磨材または球面形状の被研磨材を保持する保持具を取りつけたときに被研磨材の表面の曲率中心と一致するような寸法構成となっている。
【0029】
(作用)
位置出し治具31をチャック5に取りつけた後、ノズル7から位置出し治具31に向けて噴流8を噴出し、位置出し治具31に設けられた穴32cを噴流8が通過するようにノズル7のXおよびY方向の位置を移動させる。
【0030】
続いてノズル7をα方向に所定量だけ傾けて穴32bを噴流8が通過することを目視確認する。同様に穴32a、穴32d、穴32fを噴流8が通過することを確認する。
【0031】
続いて回転テーブル4を所定量回転させて、ノズル7をα方向に所定量傾けることにより穴32a、穴32d…23gを噴流8が通過することを確認する。
【0032】
これらの複数の穴32a、32b、32c…23gの全部または一部を噴流8が通過する状態を観察することで、噴流8の位置出し治具31の球心、すなわち被研磨材の表面の曲率中心に対するずれ量を確認することができる。
【0033】
(効果)
研磨液を吹き付けてレンズなどの球面形状の被研磨材を研磨する場合、研磨量を正確に制御するために研磨液の噴射方向がレンズ面に対して直角になること、つまりノズル7のα方向の旋回(チルト)中心が加工するレンズ面の球心点と一致していることが望ましい。従って、加工するレンズ面と同一または相似形状を持つ球面形状の位置出し治具を用いることにより、ノズル7と被研磨材の球心の相対位置を容易に確認および調整できる。
【0034】
またこの方法により、被研磨材の表面が球面だけでなく球面に近い非球面レンズなどでも、ノズル7の方向を非球面レンズの近似的な球心に一致させることができる。
【0035】
本実施の形態では穴の数を7個としたが、これに限らず穴の増減があっても同様の効果が得られる。
【0036】
(第4の実施の形態)
図6に本発明の第4の実施形態を示す。
【0037】
(構成)
本実施の形態では、実施の形態3が凸レンズなどの球面または略球面を研磨する際の位置出しに用いるものであるのに対し、凹面形状を研磨する際に用いるものである。
【0038】
また、位置出し治具41は実施の形態1で図2を用いて説明したものと同じ研磨機で使用する。
【0039】
研磨装置のチャック5には、研磨工程において被研磨材または被研磨材保持具を保持するときと同一の保持方法で位置出し治具41も取付けることができる。位置出し治具41の外形は凹面球形状になっており、球形の表面には研磨液噴流8の入射する位置を確認する為のマーキングとして、噴流8の断面径寸法とほぼ等しい複数個の穴42a、42b、42c、42dが位置出し治具41の凹面の球心43方向に向かって設けられている。前記マーキングは位置出し治具41の球心点と、ノズル7の中心とを結ぶ線の延長線と、位置出し治具41の表面とが交差する位置に設けられている。これら複数個の穴42a、42b、42c、42dは位置出し治具41の凹面と反対側に貫通しており、噴流8を排出するための機能も兼ねている。これにより噴流8が穴42a、42b、42c、42dに入射した後に再び同じ穴42a、42b、42c、42dから逆流・噴出するのを防ぎ、噴流8が穴42a、42b、42c、42dを通過する状況の観察を容易にする
また、位置出し治具41をチャック5に取りつけたときの球心43の位置は、チャック5に凹面形状の被研磨材または凹面形状の被研磨材を保持する保持具を取りつけたときに被研磨材の表面の曲率中心と一致するような寸法構成となっている。
【0040】
(作用)
位置出し治具41をチャック5に取りつけた後、位置出し治具41に向けて噴流8を噴出し、位置出し治具41に設けられた穴42bを噴流8が通過するようにノズル7のXおよびY方向の位置を移動させる。続いてノズル7をα方向に所定量だけ傾けて穴42aを噴流8が通過するようにノズル7をZ方向に移動させる。穴42aを噴流8が通過する様子を目視確認する。同様に穴42cを噴流8が通過することを確認する。
【0041】
さらに回転テーブル4を所定量回転させて、ノズル7をα方向に所定量傾けることにより穴42dを噴流8が通過することを確認する。
【0042】
これらの複数の穴42a、42b、42c、42d全部または一部を噴流8が通過する状態を観察することで、噴流8の位置出し治具41の球心すなわち被研磨材の表面の曲率中心に対するずれ量を確認することができる。
【0043】
(効果)
本実施の形態により、凹球面または略凹球面に対して、実施の形態3と同様な効果が得られる。また、本実施の形態では穴の数を4個としたが、これに限らず穴の増減があっても同様の効果が得られる。
【0044】
(第5の実施の形態)
図7に本発明の第5の実施形態を示す。
【0045】
(構成)
位置出し治具51の先端には突起部52がある。研磨装置のチャック5には、研磨工程において被研磨材または被研磨材保持具を保持するときと同一の保持方法で位置出し治具51も取付けることができる。実施の形態3の位置出し治具31の球心33と同じ位置に突起部52が配置できるような寸法とする。
【0046】
なお、位置出し治具51は実施の形態1で図2を用いて説明したものと同じ研磨機で使用する。
【0047】
(作用)
実施の形態3で穴32a、32b、32c…に噴流8が通過するようにしたのと同様に、ノズル7の位置をX・Y・Z・αそれぞれの方向に移動させたときに噴流8が突起部52の先端に当るかどうかを確認する。
【0048】
(効果)
以上により、実施の形態3と同様な効果が得られる。
【0049】
さらに実施の形態3のときの位置出し治具31よりも本実施例の位置出し治具51の構造が簡単なため安価に、被研磨材の表面の曲率中心に対するずれ量を確認することが可能である。
【0050】
(第6の実施の形態)
図8、図9を用いて本発明の第6の実施形態を示す。
【0051】
(構成)
位置出し治具61は実施の形態1で図2を用いて説明したものと同じ研磨機で使用する。
【0052】
位置出し治具61は、球形をしており、研磨装置のチャック5には、研磨工程において被研磨材または被研磨材保持具を保持するときと同一の保持方法で位置出し治具61も取り付けることができる。
【0053】
位置出し治具61の球心は、研磨装置のチャック5に被研磨材または被研磨材を取りつけた保持具を保持したときの被研磨材の曲率中心と同じ位置になるような寸法で構成されている。
【0054】
(作用)
ノズル7のα方向の傾きをZ軸に対してゼロとなるようにしてXYZ方向に移動させ図9のaの位置にする。このとき位置出し治具61とノズル7の先端までの距離はDになる。続いてノズルaをα方向に回転させて図9のb、cの位置に順に移動させ、位置出し治具61とノズル7の距離を測定する。さらに回転テーブル4を所定量回転させて、同じようにa、b、cの位置で位置出し治具61とノズル7の距離を測定する。これらいずれの位置でもノズル7と位置出し治具61の距離がDであることを確認する。尚、距離Dはゼロであってもよい。
【0055】
(効果)
本実施の形態により、実施の形態2と同様に、ノズル7と被研磨材の球心の相対位置を容易に確認および調整できる。
【0056】
本実施の形態において、位置出し治具61の表面形状が被研摩材の表面形状、被研摩材の加工後の表面形状、あるいは球面の一部である場合、ノズル7と被研磨材の球心の相対位置を容易に確認および調整できる。
【0057】
更に、位置出し治具の球面形状の中心が被研摩材の中心と同位置にある場合、ノズル7と被研磨材の球心の相対位置をより正確に確認および調整できる。
【0058】
(第7の実施の形態)
図10、図11を用いて本発明の第7の実施形態を示す。
【0059】
(構成)
位置出し治具71は実施の形態1で図2を用いて説明したものと同じ研磨機で使用する。
【0060】
位置出し治具71の上面72は自由曲面を形成しておりしており、研磨装置のチャック5には、研磨工程において被研磨材または被研磨材保持具を保持するときと同一の保持方法で位置出し治具71も取付けることができる。
【0061】
位置出し治具71の上面72は、研磨装置のチャック5に被研磨材または被研磨材を取りつけた保持具を保持したときの被研磨材の表面位置と同じ位置になるような寸法で構成されている。
【0062】
(作用)
研磨装置の制御装置は、ノズル7を図11に点線で示した軌跡73に沿って移動させるようにプログラムしておく。このとき、軌跡73は位置出し治具71の上面72と距離がDで一定でありあり、かつ、噴流8が位置出し治具71の上面72に対して垂直にになるようにα方向の傾きを調整するように軌跡73とノズルの傾きαを計算により求め、プログラムされている。
【0063】
回転テーブル4を固定して、ノズル7を図11の(a)、(b)、(c)、(d)、(e)の位置に研磨装置のプログラムで移動させる。そして、(a)、(b)、(c)、(d)、(e)のそれぞれの位置でノズル7から噴流8を噴出し、噴流8が位置出し治具71の上面72に対して垂直になることを確認する。またノズル7と位置出し治具71の上面72の距離が常にDになることを確認する。
【0064】
さらに回転テーブル4を所定量回転させて、同じようにノズル7を図11の(a)、(b)、(c)、(d)、(e)の位置へ移動させて噴流8と位置出し治具71の上面72の角度とノズル7と位置出し治具71の距離を確認する
(効果)
本実施の形態により自由曲面に対しても、実施の形態6と同様に、ノズル7と被研磨材の相対位置と相対角度を容易に確認および調整できる。
【0065】
なお、本実施の形態では自由曲面を用いたが、自由曲面でなくても、例えば非球面のような所定の関数で示される曲面や、あるいは平面であっても同様な効果が得られる。
【0066】
(第8の実施の形態)
図12、図13を用いて本発明の第7の実施形態を示す。
【0067】
(構成)
位置出し治具81は実施の形態1で図2を用いて説明したものと同じ研磨機で使用する。
【0068】
位置出し治具81の上面には圧力センサ82がある。この圧力センサ82は上面が平面であり、平面上に圧力センサが配置されていて、2次元的な位置ごとの圧力を検出できる。
【0069】
この位置出し治具81は、研磨装置のチャック5に、研磨工程において被研磨材または被研磨材保持具を保持するときと同一の保持方法で位置出し治具81も取付けることができる。
【0070】
圧力センサ82は、研磨装置のチャック5に被研磨材または被研磨材を取りつけた保持具を保持したときの被研磨材の表面位置と同じ位置になるような寸法で構成されている。
【0071】
(作用)
研磨装置に位置出し治具81を取り付け、ノズル7から噴流8を位置出し治具81に噴射する。噴流8により圧力センサ82は圧力を検知し、この圧力は図13のような分布になる。図13において圧力が最大になる位置Aが噴流8が圧力センサ82に当たる位置である。
【0072】
このようにして位置出し治具81の上面に設けられた圧力センサ82の所定の位置で圧力が最大になることを確認することにより、噴流8がチャック5の中心線上に噴流8が噴出されているかどうかを確認できる。
【0073】
また、ノズル7をZ方向に移動させるながら圧力検知分布を確認することにより、ノズル7のZ方向に対する傾きの方向と量を知ることができる。
【0074】
また、ノズル7を固定した状態で回転テーブル4をθ方向に旋回させて圧力センサ82の圧力検知分布を確認することで、チャック5の振れ方向と振れ量を知ることができる。
【0075】
(効果)
以上の方法で、圧力センサを使ってノズル4とチャック5の相対位置を確認し、この相対位置を図示しない相対位置調整方法により調整することができる。
【0076】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、研磨液を被研磨材に吹き付けることによって被研磨材の任意の部位、または、全体を高い精度で研磨して目的の表面形状を得る研磨装置、研磨方法、研磨を制御するプログラムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の概略構成を示す図。
【図2】第1の実施の形態の概略構成を示す図。
【図3】第1の実施の形態の具体的な適用例を示す図。
【図4】本発明の第2の実施の形態の概略構成を示す図。
【図5】本発明の第3の実施の形態の概略構成を示す図。
【図6】本発明の第4の実施の形態の概略構成を示す図。
【図7】本発明の第5の実施の形態の概略構成を示す図。
【図8】本発明の第6の実施の形態の概略構成を示す図。
【図9】第6の実施の形態の概略構成を示す図。
【図10】本発明の第7の実施の形態の概略構成を示す図。
【図11】第7の実施の形態の概略構成を示す図。
【図12】本発明の第8の実施の形態の概略構成を示す図。
【図13】第8の実施の形態の概略構成を示す図。
【符号の説明】
1…位置出し治具
2…穴
3…排出経路
4…回転テーブル
5…チャック
6…形態
7…ノズル
8…研磨液噴流
10…撮像装置
11…表示装置
12…画像処理装置
21…位置出し治具
22a〜22d…穴
23a〜23d…排出経路
31…位置出し治具
32a〜32g…穴
33…球心
41…位置出し治具
42a〜42d…穴
43…球心
51…位置出し治具
52…突起部
61…位置出し治具
71…位置出し治具
72…上面
73…軌跡
81…位置出し治具
82…圧力センサ
Claims (6)
- 研磨液吹き付けノズルから噴出する研磨液を被研磨材保持具に保持された被研磨材に吹き付けて研磨する吹き付け研磨装置に用いられ、前記研磨液吹き付けノズルと被研磨材の相対位置を決定するための位置出し治具であって、
前記研磨液吹き付けノズルから噴出した研磨液が入射する位置を検出するマーキングである穴と、前記穴と連通する前記研磨液を排出する排出経路とを有する位置検出機構を備え、
前記被研磨材保持具と交換して取り付けられ、前記ノズルから噴出する噴流が前記位置検出機構の前記穴を通過する通過状況を観察することにより前記研磨液吹き付けノズルの位置を調整し、該調整の後、前記被研磨材保持具と交換される事を特徴とする位置出し治具。 - 請求項1に記載の位置出し治具であって、前記位置検出機構の前記穴は、複数設けられていることを特徴とする位置出し治具。
- 請求項1に記載の位置出し治具であって、前記位置検出機構の前記穴と前記排出経路の連結部は、角度をもって連通していることを特徴とする位置出し治具。
- 請求項1に記載の位置出し治具であって、前記位置検出機構の前記穴の大きさは、前記ノズルから噴出する噴流の断面径寸法とほぼ等しい大きさであることを特徴とする位置出し治具。
- 移動可能な研磨液吹き付けノズルから噴出する研磨液を被研磨材保持具に保持された被研磨材に吹き付けて研磨する吹き付け研磨装置であって、
前記研磨液吹き付けノズルと被研磨材毎の相対位置を決定するもので、前記研磨液吹き付けノズルから噴出した研磨液が入射する位置を検出するマーキングである穴と、前記穴と連通する前記研磨液を排出する排出経路とを有し、前記ノズルから噴出する噴流が前記穴を通過する通過状況を観察することにより前記研磨液吹き付けノズルの位置を調整する位置検出機構を有する位置出し治具と、
前記被研磨材保持具に保持された前記被研磨材と前記位置出し治具を交換可能に取り付けるチャックと、を備えた事を特徴とする吹き付け研磨装置。 - 研磨液吹き付けノズルから噴出する研磨液を被研磨材保持具に保持された被研磨材に吹き付けて研磨する吹き付け研磨装置に用いられ、前記研磨液吹き付けノズルと被研磨材の相対位置を決定するための位置出し治具であって、
前記研磨液吹き付けノズルから噴出した研磨液が入射する位置を、圧力センサーで圧力分布を検出することにより検出する位置検出機構を備え、
前記被研磨材保持具と交換して取り付けられ、前記位置検出機構の検出により前記研磨液吹き付けノズルの位置調整の後、前記被研磨材保持具と交換される事を特徴とする位置出し治具。
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