JP3881567B2

JP3881567B2 - 熱処理用ボート及び縦型熱処理装置

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Publication number: JP3881567B2
Application number: JP2002058262A
Authority: JP
Inventors: 貴庸浅野; 学本間; 知久島津
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2002-03-05
Filing date: 2002-03-05
Publication date: 2007-02-14
Anticipated expiration: 2022-03-05
Also published as: JP2003257958A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱処理用ボート及び縦型熱処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体装置の製造においては、被処理体例えば半導体ウエハに例えば酸化、拡散、ＣＶＤ、アニール等の各種の熱処理を施す工程があり、これらの工程を実行するための熱処理装置の一つとして多数枚のウエハを一度に熱処理することが可能な縦型熱処理装置が用いられている。
【０００３】
一般的に、従来の縦型熱処理装置は、熱処理炉の炉口を開閉すべく昇降可能に設けられた蓋体を備え、この蓋体上には回転導入機構によって回転される回転テーブルが設けられ、この回転テーブル上に、多数枚のウエハを上下方向に多段に支持する熱処理用ボートを炉口保温手段である保温筒を介して載置する構造になっている。
【０００４】
なお、ボートとしては、一本足の支持台の上に載置するようにしたものも提案されている（例えば、特開平８−１０２４４７号公報、特開２００１−１５６００５号公報等参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記縦型熱処理装置においては、ボートを保温筒や支持台の上に載置しただけであるため、耐震性に劣り、強い地震や振動等によってボートや保温筒などが落下したり、転倒して破損する恐れがある。また、ボート本体に一本足の脚部を一体に形成した一本足ボートの提案もなされているが、石英製の一本足ボートの脚部と金属製の回転導入機構の回転軸部とを確実に連結する方法が無かった。
【０００６】
本発明は、前記事情を考慮してなされたもので、一本足ボートの脚部と回転軸部とを確実に連結することができ、ボートの落下、転倒、破損を防止することができ、耐震性の向上が図れる熱処理用ボート及び縦型熱処理装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明のうち、請求項１の発明は、多数の被処理体を上下方向に多段に支持するボート本体と、該ボート本体を被処理体の周方向に回転させるための回転軸部に連結される一本足の脚部とを備えた熱処理用ボートにおいて、前記ボート本体と脚部が一体に形成され、前記脚部の回転軸部との連結部にはフランジ部が形成され、該フランジ部にはこれを回転軸部にネジで締結するための孔部が設けられ、前記フランジ部の回転軸部と接触する面には鏡面加工が施されていることを特徴とする。
【０００８】
請求項２の発明は、多数の被処理体を上下方向に多段に支持するボート本体と、該ボート本体を被処理体の周方向に回転させるための回転軸部に連結される一本足の脚部とを備えた熱処理用ボートにおいて、前記ボート本体と脚部が一体に形成され、前記脚部の回転軸部との連結部にはフランジ部が形成され、該フランジ部にはこれを回転軸部にネジで締結するための孔部が設けられ、前記フランジ部と回転軸部との間にはフランジ部よりも大径の台座が介在され、該台座の回転軸部と接触する面には鏡面加工が施されていることを特徴とする。
【０００９】
請求項３の発明は、熱処理炉と、該熱処理炉の炉口を開閉すべく昇降可能に設けられた蓋体と、該蓋体の上部に設けられ多数の被処理体を上下方向に多段に搭載して熱処理炉に搬入搬出される熱処理用ボートと、該ボートを回転すべく蓋体に設けられた回転導入機構とを備えた熱処理装置おいて、前記回転導入機構は蓋体を貫通して炉内に露出する回転軸部を有し、前記ボートはボート本体に一本足の脚部を一体に形成してなり、該脚部にはフランジ部が形成され、該フランジ部が前記回転軸部にネジで締結され、前記フランジ部の回転軸部と接触する面には鏡面加工が施されていることを特徴とする。
【００１０】
請求項４の発明は、熱処理炉と、該熱処理炉の炉口を開閉すべく昇降可能に設けられた蓋体と、該蓋体の上部に設けられ多数の被処理体を上下方向に多段に搭載して熱処理炉に搬入搬出される熱処理用ボートと、該ボートを回転すべく蓋体に設けられた回転導入機構とを備えた熱処理装置おいて、前記回転導入機構は蓋体を貫通して炉内に露出する回転軸部を有し、前記ボートはボート本体に一本足の脚部を一体に形成してなり、該脚部にはフランジ部が形成され、該フランジ部が前記回転軸部にネジで締結され、前記フランジ部と回転軸部との間にはフランジ部よりも大径の台座が介在され、該台座の回転軸部と接触する面には鏡面加工が施されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項３記載の縦型熱処理装置において、前記回転軸部の前記フランジと接触する面には複合セラミックス被膜がコーティングされていることを特徴とする。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項４記載の縦型熱処理装置において、前記回転軸部の前記台座と接触する面には複合セラミックス被膜がコーティングされていることを特徴とする。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項３記載の縦型熱処理装置において、前記フランジ部は、蓋体の回転軸部が貫通する軸孔部の上面を不活性ガスが噴出する所定の隙間を存して覆っており、その隙間を調整すべく前記回転軸部が高さ調整可能に設けられていることを特徴とする。
【００１４】
請求項８の発明は、請求項４記載の縦型熱処理装置において、前記台座は、蓋体の回転軸部が貫通する軸孔部の上面を不活性ガスが噴出する所定の隙間を存して覆っており、その隙間を調整すべく前記回転軸部が高さ調整可能に設けられていることを特徴とする。
【００１５】
請求項９に係る発明は、請求項３又は４記載の縦型熱処理装置において、前記ネジには超合金被膜がコーティングされていることを特徴とする。
【００１６】
請求項１０に係る発明は、請求項３又は４記載の縦型熱処理装置において、前記フランジ部にはネジの頭部側を覆って不活性ガスでパージするためのカバー部材が取付けられていると共に回転軸部側からカバー部材内に不活性ガスを導入する不活性ガス導入孔が設けられていることを特徴とする。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施の形態を添付図面に基いて詳述する。
【００１８】
図１において、１は縦型熱処理装置で、この縦型熱処理装置１は被処理体例えば半導体ウエハｗを収容して所定の処理例えば酸化処理を施すための縦型の熱処理炉２を備えている。この熱処理炉２は、下部が炉口３として開口された縦長の処理容器例えば石英製の反応管４と、この反応管４の炉口３を開閉する昇降可能な蓋体５と、前記反応管４の周囲に設けられ、反応管（炉）４内を所定の温度例えば３００〜１２００℃に加熱制御可能な発熱抵抗体を備えたヒータ６とから主に構成されている。
【００１９】
反応管４は、例えば石英製であり、図示例（実施例）では一重管からなっている。この反応管４の下端部には外向きのフランジ部４ａが形成され、このフランジ部４ａがフランジ保持部材７を介してベースプレート８の下部に保持されている。ベースプレート８には反応管４が下方から貫通されている。また、ベースプレート８上に前記ヒータ６が設置されている。
【００２０】
反応管４のフランジ部４ａには反応管４内に処理ガスやパージ用の不活性ガスを導入する複数のガス導入管９が設けられ、これらガス導入管９にはガス供給系の配管が接続されている。また、反応管４の頂部は漸次縮径され、この頂部には排気口１０が形成されており、この排気口１０には反応管４内を減圧制御可能な真空ポンプや圧力制御弁等を有する排気系の配管が接続されている（図示省略）。
【００２１】
熱処理炉２の下方は、蓋体５上に設けられた後述の熱処理用ボート１６を熱処理炉（すなわち反応管４）２内に搬入（ロード）したり、熱処理炉２から搬出（アンロード）したり、或いはボート１６に対するウエハｗの移載を行うための作業領域（ローディングエリア）１２となっている。この作業領域１２にはボート１６の搬入、搬出を行うべく蓋体５を昇降させるための昇降機構１３が設けられている。
【００２２】
前記蓋体５は、例えばＳＵＳ製であり、複数の緩衝機構１４を介して保持板１５上に保持されており、この保持板１５が前記昇降機構１３に連結されている。蓋体５は炉口３の開口端に当接して炉口３を密閉するように構成されている。蓋体５の下部中央部にはボート１６を回転するための後述の回転軸部２７を有する回転導入機構２６が設けられている。
【００２３】
前記ボート１６は、例えば石英製であり、大口径例えば直径３００ｍｍの多数例えば７５〜１００枚程度のウエハｗを水平状態で上下方向に間隔をおいて多段に支持するボート本体１７と、このボート本体１７をウエハの周方向に回転させるための回転軸部２７に連結される一本足の脚部１８とを備え、これらボート本体１７と脚部１８が一体に形成されている。図２に示すように前記脚部１８の回転軸部との連結部にはフランジ部１９が形成され、このフランジ部１９にはこれを回転軸部２７にネジ２０で締結するための複数例えば６つの孔部２１が設けられている。
【００２４】
前記ボート本体１７は、底板２２と天板２３の間に前記複数の支柱２４を介設してなり、支柱２４と底板２２及び天板２３とは例えば溶接等により一体的に接合されている。支柱２４は、ウエハｗを囲むように周方向に所定の間隔で配置され、両側の支柱２４間の正面側（図１の左側）が図示しない移載機構によりウエハｗの出し入れを行うための開口とされている。支柱２４には多数のウエハｗを多段に保持するための溝部２５が形成されている。前記脚部１８は所定の太さ例えば外径３０〜５０ｍｍ程度、及び所定の高さ例えばフランジ部１９を含めた高さが２５０〜３５０ｍｍ程度で形成されている。前記脚部１８は熱容量を減らすために上端（底板２２を含む）からフランジ部１９近傍まで中空に形成されていることが好ましい。
【００２５】
前記回転導入機構２６は、例えば図２に示すように、前記蓋体５の下部中央部に一体的に設けられて回転軸部２７を回転可能に収容する筒状の上部ハウジング２８と、この上部ハウジング２８の下端部に気密に連結された下部ハウジング２９とを備えている。下部ハウジング２９の下側外周には軸心部に回転軸３０を一体的に有する有底筒状の回転筒体３１が玉軸受３２を介して回転可能に設けられ、回転筒体３１の底部中央から起立した回転軸３０が下部ハウジング２９内を封止手段例えばＯリングまたは磁性流体シール３３を介して気密に貫通されている。
【００２６】
前記回転筒体３１には回転駆動手段であるモータがベルトを介して連結され（図示省略）、これにより回転軸３０が回転駆動されるようになっている。前記蓋体５の中央部には前記回転軸部２７が貫通する軸孔部３４が形成され、この軸孔部３４が上部ハウジング２８内と略同径で連通している。
【００２７】
前記ボート１６の脚部１８のフランジ部１９と回転軸部２７との間にはフランジ部１９よりも大径の台座３５が介在され、この台座３５が前記蓋体５の軸孔部３４の上面を覆っている。この台座３５は、ボート１６と同じ材質、例えば石英製である。この台座３５は、後述の炉口保温手段である炉口加熱機構（サーモプラグ）６２の貫通穴６７にボート１６の脚部１８が挿通し得るようフランジ部１９の大きさ（外径）が制限されている関係でフランジ部１９とは別体とされているが、このような制限が無ければフランジ部１９と一体に形成されていても良く、或いは、フランジ部１９の外径を大きくすることにより台座３５を不要にしても良い。
【００２８】
石英製のフランジ部１９と金属製の回転軸部２７とを石英製の台座３５を介してネジ２０で締結していることによる熱膨張時の熱膨張差に起因する接触面（特に台座側）の擦れ傷みを防止するために、前記台座３５の回転軸部２７と接触する面（実施例では下面全体）には鏡面加工（研磨仕上げ）が施されている。また、同様の理由により前記回転軸部２７の前記台座３５と接触する面（上面全体）には例えばアルミナ（Ａｉ_２Ｏ_３）、シリカ（ＳｉＯ_２）、クロミア（ＣｒＯ_３）を主成分とする耐熱性及び耐食性に富む硬質の複合セラミックス被膜がコーティングされている。
【００２９】
この複合セラミックス被膜（クロム酸化物被膜ともいう）のコーティング方法としては、例えば特開昭６３−３１７６８０号公報に記載されているクロム酸化物被膜の形成方法等が利用できる。なお、台座３５を有しない場合は、フランジ部１９の回転軸部２７との接触面に鏡面加工が施され、回転軸部２７のフランジ部１９との接触面に複合セラミックス被膜がコーティングされる。
【００３０】
前記フランジ部１９または台座（実施例では台座）３５は、図４にも示すように、蓋体５の回転軸部２７が貫通する軸孔部３４の上面を不活性ガス例えば窒素ガス（Ｎ_２）が噴出する所定の隙間Ｓを存して覆っており、その隙間Ｓを調整すべく前記回転軸部２７が高さ調整可能に設けられている。この回転軸部２７は、上端が閉塞された筒状の上部材（上ハブ）３６と、この上部材３６が昇降可能に被冠（嵌合）された下部材（下ハブ）３７とから構成されている。
【００３１】
下部材３７は、上端軸心部に芯出し用の突軸部３８を有し、下端軸心部に前記回転導入機構２６の回転軸３０の上端部が嵌合する嵌合孔３９を有している。また、下部材３７の下端にはフランジ部４０が形成され、このフランジ部４０から軸心部にねじ込んだ固定ネジ４１により下部材３７が前記回転軸３０の上端部に固定されている。上部材３６、脚部１８のフランジ部１９及び台座３５の軸心部には下部材３７の突軸部３８が嵌合する芯出し孔４２，４３，４４が形成されている。
【００３２】
また、下部材３７のフランジ部４０上面には位置決めピン４５が立設され、上部材３６、脚部１８のフランジ部１９及び台座３５には前記位置決めピン４５が嵌合する位置決め孔４６，４７，４８が形成されている。なお、上部材３６に形成された位置決め孔４６は位置決め溝であっても良い。前記上部材３６は熱容量を減らすために外周に環状溝４９が形成されていることが好ましい。
【００３３】
前記蓋体５の軸孔部３４ないし上部ハウジング２８内に腐食性を有する処理ガスが侵入するのを防止するために、軸孔部３４ないし上部ハウジング２８内に不活性ガス例えば窒素ガス（Ｎ_２）が導入されるようになっている。すなわち、図２にも示すように、下部材３７の下面と対向する下部ハウジング２９の上面部には環状溝５０が設けられ、下部ハウジング２９にはその環状溝５０に不活性ガスを導入する不活性ガス導入管５１が接続されている。また、下部材３７のフランジ部４０には環状溝５０から上部ハウジング２８内に不活性ガスが入り易いように切欠部５２が設けられている。
【００３４】
回転軸部２７の高さ調整すなわち上部材３６の高さ調整を行うために、図３ないし図４に示すように、上部材３６には下部材３７のフランジ部４０上面に対して引き寄せたり押し返したりするための引きネジ５３及び押しネジ５４が複数例えば３本ずつ設けられている。引きネジ５３の下端部は下部材３７のフランジ部４０に形成したネジ孔７０にねじ込まれ、押しネジ５４は下部材３７のフランジ部４０上面に当接されている。前記上部材３６には、ボート１６のフランジ部１９を締結するネジ（締結ネジ）２０、引きネジ５２及び押しネジ５４をねじ込むまたは挿入するためのネジ孔５５，５６，５７が周方向に適宜間隔で且つバランス良い配置で設けられている。
【００３５】
前記ボート１６の脚部１８のフランジ部１９を固定（締結）するネジ２０は、フランジ部１９上面から台座３５を介して上部材３６のネジ孔５５にねじ込まれている。前記ネジ２０は、例えばＳＵＳ製ないしインコネル製であり、ネジ２０のかじり付きを防止するために例えばニッケルアルミニウム（ＮｉＡｌ）からなる硬い超合金被膜がコーティングされている。
【００３６】
熱膨張によるネジ２０の弛みを防止するために、前記フランジ部１９とネジ２０の頭部２０ａとの間には多数の皿バネ５８が介設されている。なお、フランジ部１９と皿バネ５８の間には図示しない座金が介設されている。皿バネ５８は、ネジ２０の熱膨張を吸収し得るよう図５に示すように凹面側同士及び凸面側同士が対向するように複数例えば９枚積み重ねて用いられている。
【００３７】
腐食性を有する処理ガスによるネジ２０の頭部２０ａや皿バネ５８の腐食を防止するために、図２ないし図６に示すように前記フランジ部１９にはネジ２０の頭部２０ａ側を覆って不活性ガス例えば窒素ガスでパージするためのカバー部材５９が取付けられていると共に、回転軸部２７側からカバー部材５９内に不活性ガスを導入する不活性ガス導入孔６０が設けられている。カバー部材５９は、例えば石英製であり、フランジ部１９上面に載ってネジ２０の頭部２０ａ側を覆うように断面逆Ｕ字形状で環状に形成されており、また、着脱が容易にできるよう半割に形成されている。上部材３６及び台座３５にはフランジ部１９の不活性ガス導入孔６０と対応して連通する不活性ガス導入孔６１が設けられている（図３参照）。
【００３８】
前記蓋体５上には炉口保温手段である炉口加熱機構６２が固定されている。この炉口加熱機構６２は、蓋体５の上面を覆うように載置される環状の覆い板６３と、この覆い板６３上に周方向に適宜間隔で立設された複数の支柱６４と、これら支柱６４の上端部に水平に掛け渡した設けられた面状の発熱抵抗体６５と、この発熱抵抗体６５の下方に適宜間隔で支柱６４に掛け渡して設けられた複数例えば２枚の遮熱板６６とから主に構成されている。
【００３９】
前記覆い板６３、支柱６４及び遮熱板６６は、例えば石英製であり、覆い板６６により蓋体５上面が腐食性を有する処理ガスから保護されている。前記発熱抵抗体６５及び遮熱板６６にはボート１６のフランジ部１９を含む脚部１８が貫通する貫通穴６７が設けられている。また、前記発熱抵抗体６５に電気を供給するケーブルを導通するための導通管６８が保持板１５から蓋体５を気密に貫通した状態で設けられている。前記覆い板６３上には、前記フランジ部１９の周囲及び上方を覆う環状の遮熱カバー６９が図示例で二重に設けられている。これら遮熱カバー６９は、例えば石英製であり、着脱が容易にできるよう半割に形成されている。
【００４０】
以上の構成からなる熱処理用ボート１６によれば、多数のウエハｗを上下方向に多段に支持するボート本体１７と、このボート本体１７をウエハｗの周方向に回転させるための回転軸部２７に連結される一本足の脚部１８とを備え、前記ボート本体１７と脚部１８が一体に形成され、前記脚部１８の回転軸部２７との連結部にはフランジ部１９が形成され、このフランジ部１９にはこれを回転軸部にネジ２０で締結するための孔部２１が設けられているため、例えば石英製の一本足ボート１６の脚部１８と例えば金属製の回転軸部２７とを確実に連結することができ、ボート１６の落下、転倒、破損を防止することができ、耐震性の向上が図れる。
【００４１】
また、前記フランジ部（実施例では台座）１９の回転軸部２７と接触する面には鏡面加工が施されて摩擦抵抗の低減が図られているため、熱膨張時の石英製フランジ部１９と金属製回転軸部２７の熱膨張差に起因するフランジ部１９の擦れ傷みを防止することができ、耐久性の向上が図れる。実施例の場合、前記フランジ部１９と回転軸部２７との間にはフランジ部１９よりも大径の台座３５が介在され、この台座３５の回転軸部２７と接触する面には鏡面加工が施されているため、熱膨張時の石英製台座３５と金属製回転軸部２７の熱膨張差に起因する台座３５の擦れ傷みを防止することができ、耐久性の向上が図れる。
【００４２】
また、縦型熱処理装置１によれば、熱処理炉２と、この熱処理炉２の炉口３を開閉すべく昇降可能に設けられた蓋体５と、この蓋体５の上部に設けられ多数のウエハｗを上下方向に多段に搭載して熱処理炉２に搬入搬出される熱処理用ボート１６と、このボート１６を回転すべく蓋体５に設けられた回転導入機構２６とを備え、前記回転導入機構２６は蓋体５を貫通して炉内に露出する回転軸部２７を有し、前記ボート１６はボート本体１７に一本足の脚部１８を一体に形成してなり、この脚部１８にはフランジ部１９が形成され、このフランジ部１９が前記回転軸部２７にネジ２０で締結されているため、石英製の一本足ボート１６の脚部１８と金属製の回転軸部２７とを確実に連結することができ、ボートの落下、転倒、破損を防止することができ、耐震性の向上が図れる。
【００４３】
また、前記回転軸部２７の前記フランジ部（なお実施例では台座）１９と接触する面には複合セラミックス被膜がコーティングされて摩擦抵抗の低減が図られているため、熱膨張時の石英製フランジ部１９と金属製回転軸部２７の熱膨張差に起因するフランジ部１９の擦れ傷みを防止することができ、耐久性の向上が図れる。前記フランジ部１９または台座５３５は、蓋体５の回転軸部２７が貫通する軸孔部３４の上面を不活性ガス例えば窒素ガスが噴出する所定の隙間Ｓを存して覆っており、その隙間Ｓを調整すべく前記回転軸部２７が高さ調整可能に設けられているため、腐食防止用の不活性ガスを噴出する隙間Ｓの調整を容易に行うことができる。
【００４４】
前記隙間Ｓの調整により回転側のフランジ部１９または台座３５と固定側の蓋体５との接触及び接触にによる擦れ傷みを防止することができると共に、隙間Ｓからの不活性ガスの適正な噴出量を確保することができる。また、前記隙間Ｓから不活性ガスを吹出すことにより熱処理に使用した腐食性を有する処理ガスが蓋体５の軸孔部３４から上部ハウジング２８内へ侵入するのを防止でき、回転軸部２７等の腐食を防止することができる。前記回転軸部２７が上部材３６とこの上部材３６を上下移動可能に支持する下部材３７とからなり、これら上部材３６と下部材３７の間に引きネジ５３及び押しネジ５４を設けて上部材３６を高さ調整可能にしているため、簡単な構造で回転軸部２７の高さ調整を容易に行うことができる。
【００４５】
前記ネジ２０にはＮｉＡｌ等の超合金被膜がコーティングされているため、ネジ２０のかじり付きを防止することができる。引きネジ５３及び押しネジ５４も同様の理由により超合金被膜がコーティングされていることが好ましい。更に、前記フランジ部１９とネジ２０の頭部２０ａとの間には多数の皿バネ５８が介設されているため、熱膨張時のネジ２０の弛みを防止することができる。
【００４６】
前記フランジ部１９にはネジ２０の頭部２０ａ側を覆って不活性ガスでパージするためのカバー部材５９が取付けられていると共に回転軸部２７側からカバー部材５９内に不活性ガスを導入する不活性ガス導入孔６０が設けられているため、ネジ２０の頭部２０ａ側の腐食を防止することができる。前記蓋体５上には炉口保温手段例えば炉口加熱機構６２が固定され、この炉口加熱機構６２には前記ボート１６の脚部１８が貫通する貫通穴６７が設けられているため、炉口加熱機構６２とは非接触状態でボート１６のみを回転させることができると共に、炉口加熱機構６２の落下、転倒、破損を防止することができ、耐震性及び耐久性の向上が図れる。
【００４７】
以上、本発明の実施の形態を図面により詳述してきたが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の設計変更等が可能である。例えば、熱処理装置としては、酸化処理以外に、ＣＶＤ処理、拡散処理、アニール処理等を行うように構成されていてもよい。前記ボートの材質としては、石英以外に、例えば炭化珪素やポリシリコン（Ｓｉ）等であっても良い。被処理体としては、半導体ウエハ以外に、例えばＬＶＤ基板等であっても良い。また、反応管は、内管と外管の二重管構造とされていても良い。炉口保温手段としては、保温筒であってもよい。
【００４８】
【発明の効果】
以上要するに本発明によれば、次のような効果を奏することができる。
【００４９】
（１）請求項１の発明によれば、多数の被処理体を上下方向に多段に支持するボート本体と、該ボート本体を被処理体の周方向に回転させるための回転軸部に連結される一本足の脚部とを備えた熱処理用ボートにおいて、前記ボート本体と脚部が一体に形成され、前記脚部の回転軸部との連結部にはフランジ部が形成され、該フランジ部にはこれを回転軸部にネジで締結するための孔部が設けられ、前記フランジ部の回転軸部と接触する面には鏡面加工が施されているため、一本足ボートの脚部と回転軸部とを確実に連結することができ、ボートの落下、転倒、破損を防止することができ、耐震性の向上が図れると共に、熱膨張時の擦れ傷みを防止することができ、耐久性の向上が図れる。
【００５０】
（２）請求項２の発明によれば、多数の被処理体を上下方向に多段に支持するボート本体と、該ボート本体を被処理体の周方向に回転させるための回転軸部に連結される一本足の脚部とを備えた熱処理用ボートにおいて、前記ボート本体と脚部が一体に形成され、前記脚部の回転軸部との連結部にはフランジ部が形成され、該フランジ部にはこれを回転軸部にネジで締結するための孔部が設けられ、前記フランジ部と回転軸部との間にはフランジ部よりも大径の台座が介在され、該台座の回転軸部と接触する面には鏡面加工が施されているため、一本足ボートの脚部と回転軸部とを確実に連結することができ、ボートの落下、転倒、破損を防止することができ、耐震性の向上が図れると共に、熱膨張時の擦れ傷みを防止することができ、耐久性の向上が図れる。
【００５１】
(３)請求項３の発明によれば、熱処理炉と、該熱処理炉の炉口を開閉すべく昇降可能に設けられた蓋体と、該蓋体の上部に設けられ多数の被処理体を上下方向に多段に搭載して熱処理炉に搬入搬出される熱処理用ボートと、該ボートを回転すべく蓋体に設けられた回転導入機構とを備えた熱処理装置おいて、前記回転導入機構は蓋体を貫通して炉内に露出する回転軸部を有し、前記ボートはボート本体に一本足の脚部を一体に形成してなり、該脚部にはフランジ部が形成され、該フランジ部が前記回転軸部にネジで締結され、前記フランジ部の回転軸部と接触する面には鏡面加工が施されているため、一本足ボートの脚部と回転軸部とを確実に連結することができ、ボートの落下、転倒、破損を防止することができ、耐震性の向上が図れると共に、熱膨張時の擦れ傷みを防止することができ、耐久性の向上が図れる。
【００５２】
（４）請求項４の発明によれば、熱処理炉と、該熱処理炉の炉口を開閉すべく昇降可能に設けられた蓋体と、該蓋体の上部に設けられ多数の被処理体を上下方向に多段に搭載して熱処理炉に搬入搬出される熱処理用ボートと、該ボートを回転すべく蓋体に設けられた回転導入機構とを備えた熱処理装置おいて、前記回転導入機構は蓋体を貫通して炉内に露出する回転軸部を有し、前記ボートはボート本体に一本足の脚部を一体に形成してなり、該脚部にはフランジ部が形成され、該フランジ部が前記回転軸部にネジで締結され、前記フランジ部と回転軸部との間にはフランジ部よりも大径の台座が介在され、該台座の回転軸部と接触する面には鏡面加工が施されているため、一本足ボートの脚部と回転軸部とを確実に連結することができ、ボートの落下、転倒、破損を防止することができ、耐震性の向上が図れると共に、熱膨張時の擦れ傷みを防止することができ、耐久性の向上が図れる。
【００５３】
（５）請求項５の発明によれば、前記回転軸部の前記フランジ部と接触する面には複合セラミックス被膜がコーティングされているため、熱膨張時の擦れ傷みを防止することができ、耐久性の向上が図れる。
【００５４】
（６）請求項６の発明によれば、前記回転軸部の前記台座と接触する面には複合セラミックス被膜がコーティングされているため、熱膨張時の擦れ傷みを防止することができ、耐久性の向上が図れる。
【００５５】
（７）請求項７の発明によれば、前記フランジ部は、蓋体の回転軸部が貫通する軸孔部の上面を不活性ガスが噴出する所定の隙間を存して覆っており、その隙間を調整すべく前記回転軸部が高さ調整可能に設けられているため、腐食防止用の不活性ガスを噴出する隙間の調整を容易に行うことができる。
【００５６】
（８）請求項８の発明によれば、前記台座は、蓋体の回転軸部が貫通する軸孔部の上面を不活性ガスが噴出する所定の隙間を存して覆っており、その隙間を調整すべく前記回転軸部が高さ調整可能に設けられているため、腐食防止用の不活性ガスを噴出する隙間の調整を容易に行うことができる。
【００５７】
（９）請求項９に係る発明によれば、前記ネジには超合金被膜がコーティングされているため、ネジのかじり付きを防止することができる。
【００５８】
（１０）請求項１０に係る発明によれば、前記フランジ部にはネジの頭部側を覆って不活性ガスでパージするためのカバー部材が取付けられていると共に回転軸部側からカバー部材内に不活性ガスを導入する不活性ガス導入孔が設けられているため、ネジの頭部側の腐食を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態を示す縦型熱処理装置の縦断面図である。
【図２】同縦型熱処理装置の要部拡大断面図である。
【図３】回転軸部上面の概略的平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図５】皿バネの断面図である。
【図６】ボートのフランジに取付けられるネジカバーの構成を示す平面図である。
【符号の説明】
１縦型熱処理装置
ｗ半導体ウエハ（被処理体）
Ｓ隙間
２熱処理炉
３炉口
５蓋体
１６熱処理用ボート
１７ボート本体
１８脚部
１９フランジ部
２０ネジ
２１孔部
２６回転導入機構
２７回転軸部
３４軸孔部
５８皿バネ
５９カバー部材
６０ガス導入孔
６２炉口加熱機構（炉口保温手段）
６７貫通穴

Claims

多数の被処理体を上下方向に多段に支持するボート本体と、該ボート本体を被処理体の周方向に回転させるための回転軸部に連結される一本足の脚部とを備えた熱処理用ボートにおいて、前記ボート本体と脚部が一体に形成され、前記脚部の回転軸部との連結部にはフランジ部が形成され、該フランジ部にはこれを回転軸部にネジで締結するための孔部が設けられ、前記フランジ部の回転軸部と接触する面には鏡面加工が施されていることを特徴とする熱処理用ボート。
多数の被処理体を上下方向に多段に支持するボート本体と、該ボート本体を被処理体の周方向に回転させるための回転軸部に連結される一本足の脚部とを備えた熱処理用ボートにおいて、前記ボート本体と脚部が一体に形成され、前記脚部の回転軸部との連結部にはフランジ部が形成され、該フランジ部にはこれを回転軸部にネジで締結するための孔部が設けられ、前記フランジ部と回転軸部との間にはフランジ部よりも大径の台座が介在され、該台座の回転軸部と接触する面には鏡面加工が施されていることを特徴とする熱処理用ボート。
熱処理炉と、該熱処理炉の炉口を開閉すべく昇降可能に設けられた蓋体と、該蓋体の上部に設けられ多数の被処理体を上下方向に多段に搭載して熱処理炉に搬入搬出される熱処理用ボートと、該ボートを回転すべく蓋体に設けられた回転導入機構とを備えた熱処理装置おいて、前記回転導入機構は蓋体を貫通して炉内に露出する回転軸部を有し、前記ボートはボート本体に一本足の脚部を一体に形成してなり、該脚部にはフランジ部が形成され、該フランジ部が前記回転軸部にネジで締結され、前記フランジ部の回転軸部と接触する面には鏡面加工が施されていることを特徴とする縦型熱処理装置。
熱処理炉と、該熱処理炉の炉口を開閉すべく昇降可能に設けられた蓋体と、該蓋体の上部に設けられ多数の被処理体を上下方向に多段に搭載して熱処理炉に搬入搬出される熱処理用ボートと、該ボートを回転すべく蓋体に設けられた回転導入機構とを備えた熱処理装置おいて、前記回転導入機構は蓋体を貫通して炉内に露出する回転軸部を有し、前記ボートはボート本体に一本足の脚部を一体に形成してなり、該脚部にはフランジ部が形成され、該フランジ部が前記回転軸部にネジで締結され、前記フランジ部と回転軸部との間にはフランジ部よりも大径の台座が介在され、該台座の回転軸部と接触する面には鏡面加工が施されていることを特徴とする縦型熱処理装置。
前記回転軸部の前記フランジと接触する面には複合セラミックス被膜がコーティングされていることを特徴とする請求項３記載の縦型熱処理装置。
前記回転軸部の前記台座と接触する面には複合セラミックス被膜がコーティングされていることを特徴とする請求項４記載の縦型熱処理装置。
前記フランジ部は、蓋体の回転軸部が貫通する軸孔部の上面を不活性ガスが噴出する所定の隙間を存して覆っており、その隙間を調整すべく前記回転軸部が高さ調整可能に設けられていることを特徴とする請求項３記載の縦型熱処理装置。
前記台座は、蓋体の回転軸部が貫通する軸孔部の上面を不活性ガスが噴出する所定の隙間を存して覆っており、その隙間を調整すべく前記回転軸部が高さ調整可能に設けられていることを特徴とする請求項４記載の縦型熱処理装置。
前記ネジには超合金被膜がコーティングされていることを特徴とする請求項３又は４記載の縦型熱処理装置。
前記フランジ部にはネジの頭部側を覆って不活性ガスでパージするためのカバー部材が取付けられていると共に回転軸部側からカバー部材内に不活性ガスを導入する不活性ガス導入孔が設けられていることを特徴とする請求項３又は４記載の縦型熱処理装置。