JP3879518B2 - 磁気記憶装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記憶装置およびその製造方法に関し、詳しくは、トンネル磁気抵抗素子を構成する強磁性体のスピン方向が平行もしくは反平行によって抵抗値が変化することを利用して情報を記録する不揮発性の磁気記憶装置およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
情報通信機器、特に携帯端末などの個人用小型機器の飛躍的な普及にともない、これを構成するメモリ素子やロジック素子等の素子には、高集積化、高速化、低消費電力化など、一層の高性能化が要求されている。特に不揮発性メモリはユビキタス時代に必要不可欠の素子と考えられている。
【0003】
例えば、電源の消耗やトラブル、サーバーとネットワークが何らかの障害により切断された場合であっても、不揮発性メモリは個人の重要な情報を保護することができる。そして、不揮発性メモリの高密度化、大容量化は、可動部分の存在により本質的に小型化が不可能なハードディスクや光ディスクを置き換える技術としてますます重要になってきている。
【0004】
また、最近の携帯機器は不要な回路ブロックをスタンバイ状態にしてでき得る限り消費電力を抑えようと設計されているが、高速ネットワークメモリと大容量ストレージメモリを兼ねることができる不揮発性メモリが実現できれば、消費電力とメモリとの無駄を無くすことができる。また、電源を入れると瞬時に起動できる、いわゆるインスタント・オン機能も高速の大容量不揮発性メモリが実現できれば可能になってくる。
【0005】
不揮発性メモリとしては、半導体を用いたフラッシュメモリや、強誘電体を用いたFRAM(Ferro electric Random Access Memory)などがあげられる。しかしながら、フラッシュメモリは、構造が複雑なために高集積化が困難であり、しかも書き込み速度がμ秒の桁であるため遅いという欠点がある。一方、FRAMにおいては、書き換え可能回数が1012〜1014で完全にスタティックランダムアクセスメモリやダイナミックランダムアクセスメモリに置き換えるには耐久性が低いという問題が指摘されている。また、強誘電体キャパシタの微細加工が難しいという課題も指摘されている。
【0006】
これらの欠点を有さない不揮発性メモリとして注目されているのが、例えば「Wang et al., IEEE Trans. Magn. 33 (1997) p4498」に記載されているような、MRAM(Magnetic Random Access Memory)もしくはMR(Mageneto resistance)メモリと呼ばれる磁気メモリであり、近年のTMR(Tunnel Magnetoresistance)材料の特性向上により注目を集めるようになってきている。
【0007】
MRAMは、構造が単純であるため高集積化が容易であり、また磁気モーメントの回転により記録を行うために、書き換え回数が大であると予測されている。またアクセス時間についても、非常に高速であることが予想され、既に100MHzで動作可能であることが、R.Scheuerlein et al, ISSCC Digest of Papers (Feb.2000) p128-129 で報告されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
MRAMにおける記録は、配線に電流を流すことによって発生する電流磁場によって記録層の磁化を回転させることによって行っている。ところが、高集積化によって配線が細くなるに伴い、書き込み線に流すことのできる臨界電流値が下がるため、得られる磁界が小さくなり、被記録領域の保磁力を小さくせざるを得ない。これは、情報記録素子の信頼性が低下することを意味する。また、磁界は、光や電子線のように絞ることができないため、高集積化した場合には、クロストークの大きな原因になると考えられる。
【0009】
この信頼性の問題とクロストークの問題を同時に解決するには,高集積化を図りつつも、強磁性トンネル接合に磁界を印加する磁界印加手段とである互いに直交するビット線と書き込みワード線の配線幅を充分に確保することが重要であり、さらには、漏れ磁界を抑制する最適なシールド構造が必要になる。
【0010】
本発明が解決しようとする課題は、MRAMの構造上の本質的な問題点である高集積化による信頼性の問題とクロストークの問題を同時に解決することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するためになされた磁気記憶装置およびその製造方法である。
【0012】
本発明の磁気記憶装置は、書き込みワード線と、前記書き込みワード線と所定間隔を置いて交差するように形成されたビット線と、トンネル絶縁層を強磁性体層で挟んで構成されるもので前記書き込みワード線と前記ビット線との交差領域に設けられた磁気記憶素子と、前記磁気記憶素子の前記書き込みワード線側に形成された反強磁性体層を含む接続層とを備えた磁気記憶装置において、二つの読み出しトランジスタが形成されるもので、前記書き込みワード線の投影領域を斜めに横切る第1領域と、前記ビット線と平行でかつ前記第1領域の一端側に連続して形成された第2領域と、前記ビット線と平行でかつ前記第1領域の他端側に連続して形成された第3領域とからなる半導体領域を備えたものである。
【0013】
上記半導体磁気記憶装置では、二つの読み出しトランジスタが形成される半導体領域が、書き込みワード線の投影領域を斜めに横切る第1領域と、ビット線と平行でかつ第1領域の一端側に連続して形成された第2領域と、ビット線と平行でかつ前記第1領域の他端側に連続して形成された第3領域とからなることから、磁気記憶素子と接続層とからなる記憶セルは、ビット線と書き込みワード線との交差領域に磁気記憶素子を配置しかつ接続層を半導体領域の端部側に接続するようにしても、書き込みワード線の配設方向に対して、平面レイアウト的に見て前記書き込みワード線を挟んで斜め方向に1/2n(ただし、nは1以上の自然数を示す)ピッチずつずらして配置することが可能になる。
【0014】
しかも、書き込みワード線の配設方向に配設されている複数の半導体領域からなる第1の半導体領域列に隣接する第2の半導体領域列を構成する各半導体領域の一端部が第1の半導体領域列の各半導体領域間における第2の半導体領域列側に一つずつ配置することが可能になる。
【0015】
したがって、読み出しトランジスタが形成される各半導体領域を占有面積的な無駄をなくして効率的に素子分離領域により分離する可能となる。さらに、各半導体領域同士がショートすることなく読み出しトランジスタの拡散層とビット線とのコンタクトホールを縮小することが可能になり、記憶セルがコンタクトホールに比べてより縮小化されても半導体領域同士のショートが回避される。
【0016】
本発明の半導体磁気記憶装置の製造方法は、所定間隔を保って交差する書き込みワード線とビット線との交差領域にトンネル絶縁層を強磁性体層で挟んでなるトンネル磁気抵抗素子を有するもので前記強磁性体層のスピン方向が平行もしくは反平行によって抵抗値が変化することを利用して情報を記憶する磁気記憶素子を備えた情報記憶装置の製造方法において、半導体基板に、二つの読み出しトランジスタが形成されるもので、前記書き込みワード線の形成予定領域を投影した領域を斜めに横切る第1領域と、前記ビット線と平行でかつ前記第1領域の一端側に連続して形成された第2領域と、前記ビット線と平行でかつ前記第1領域の他端側に連続して形成された第3領域とからなる半導体領域を区分する素子分離領域を形成する工程と、前記書き込みワード線の形成予定領域と平行に前記半導体領域上にゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成するとともに前記半導体領域の第1領域が共通の拡散層となるように前記ゲート電極の両側における前記半導体領域に拡散層を形成して二つの読み出しトランジスタを構成する工程と、前記二つの読み出しトランジスタを被覆する第1絶縁膜を形成する工程と、前記第1の絶縁膜上に、前記二つの読み出しトランジスタの共通の拡散層に接続されるもので書き込みワード線の形成予定領域と平行に電源線を形成する工程と、前記電源線を被覆する第2絶縁膜を形成する工程と、前記第2絶縁膜上に、前記磁気記憶素子に磁界を印加する書き込みワード線を形成する工程と、前記書き込みワード線を被覆する第3絶縁膜を形成する工程と、前記第3絶縁膜から前記第1絶縁膜に、前記二つの読み出し用のトランジスタを構成する共通の拡散層以外の二つの拡散層に接続されるコンタクト部を形成する工程と、前記第3絶縁膜上に上記コンタクト部に接続される反強磁性体層を含む接続層を形成するとともにトンネル絶縁層を強磁性体層で挟んでなる強磁性トンネル接合を有する磁気記憶素子を形成する工程と、前記磁気記憶素子を被覆する第4絶縁膜を形成する工程と、前記第4絶縁膜上に前記磁気記憶素子に接続され前記書き込みワード線と直交するビット線を形成する工程とを備えている。
【0017】
上記磁気記憶装置の製造方法では、二つの読み出しトランジスタが形成される半導体領域が、書き込みワード線の投影領域を斜めに横切る第1領域と、ビット線と平行でかつ第1領域の一端側に連続して形成された第2領域と、ビット線と平行でかつ前記第1領域の他端側に連続して形成された第3領域とで形成されることから、磁気記憶素子と接続層とからなる記憶セルは、ビット線と書き込みワード線との交差領域に磁気記憶素子を配置しかつ接続層を半導体領域の端部側に接続するようにしても、書き込みワード線の配設方向に対して、平面レイアウト的に見て前記書き込みワード線を挟んで斜め方向に1/2n(ただし、nは1以上の自然数を示す)ピッチずつずらして配置することが可能になる。
【0018】
しかも、書き込みワード線の配設方向に配設されている複数の半導体領域からなる第1の半導体領域列に隣接する第2の半導体領域列を構成する各半導体領域の一端部が第1の半導体領域列の各半導体領域間における第2の半導体領域列側に一つずつ配置することが可能になる。したがって、読み出しトランジスタが形成される各半導体領域を占有面積的な無駄をなくして効率的に配置して形成することが可能となる。
【0019】
さらに、磁気記憶素子間の間隔および書き込みワード線間の間隔を十分に確保することができるので、クロストークの問題が解決される。
【0020】
【発明の実施の形態】
まず、一般的なMRAM(Magnetic Random Access Memory)を、図3の主要部を簡略化して示した概略構成斜視図によって説明する。図3では、簡略化して示したため、読み出し回路部分の図示は省略されている。
【0021】
図3に示すように、9個のメモリセルを含み、相互に交差する書き込みワード線11(111、112、113)およびビット線12(121、122、123)を有する。それらの書き込みワード線11とビット線12の交差領域には、磁気記憶素子として磁気抵抗効果(TMR)素子13(131〜139)が配置されている。TMR素子13への書き込みは、ビット線12および書き込みワード線11に電流を流し、それから発生する合成磁界によってビット線12と書き込みワード線11との交差領域に形成されたTMR素子13の記憶層304(詳細は図5参照)の磁化方向を磁化固定層302(詳細は図5参照)に対して平行または反平行にして行う。
【0022】
図4に示すアステロイド曲線は、印加された容易軸方向磁界HEA および困難軸方向磁界HHA による記憶層磁化方向の反転しきい値を示している。アステロイド曲線外部に相当する合成磁界ベクトルが発生すると、磁界反転が生じる。アステロイド曲線内部の合成磁界ベクトルは、その電流双安定状態の一方からセルを反転させることはない。また、電流を流しているワード線およびビット線の交点以外のセルにおいても、ワード線もしくはビット線単独で発生する磁界が印加されるため、それらの大きさが一方向反転磁界HK 以上の場合は、交点以外のセルの磁化方向も反転するので、合成磁界が斜線で示す部分401にある場合のみ、選択されたセルを選択書き込みが可能となる。
【0023】
以上のように、MRAMのアレイでは、ビット線および書き込みワード線からなる格子の交点にメモリセルが配置されている。MRAMの場合、書き込みワード線とビット線とを使用することで、アステロイド磁化反転特性を利用し、選択的に個々のメモリセルに書き込むことが一般的である。
【0024】
単一の記憶領域における合成磁化は、それに印加された容易軸方向磁界HEA と困難軸方向磁界HHA とのベクトル合成によって決まる。ビット線を流れる電流はセルに容易軸方向の磁界(HEA )を印加し、書き込みワード線を流れる電流はセルに困難軸方向の磁界(HHA )を印加する。
【0025】
なお、文献(R.H.Koch et al., Phys.Rev.Lett.84 (2000)p.5419、J.Z.Sun et al., Joint Magnetism and Magnetic Material 8 (2001))に、「磁化反転は温度を上げてアシストすると磁化困難軸方向の反転磁界HSWを下げることができる」と開示されている。したがって、本発明の磁気記憶装置においても、素子に影響を及ぼさない程度に温度を上げて磁化反転させることも有効である。
【0026】
次に、上記図3によって説明したMRAMの原理回路を図5の回路図によって説明する。
【0027】
図5に示すように、このMRAMの回路では、6個のメモリセルを含み、図2に対応する相互に交差する書き込みワード線11(111、112)およびビット線12(121、122、123)を有する。これらの書き込み線ワード線11とビット線12との交差領域には、記憶素子となるTMR素子13(131、132、134、135、137、138が配置され、さらに読み出しの際に素子選択を行うもので各記憶素子に対応して電界効果トランジスタ141、142、144、145、147、148が接続されている。さらに電界効果トランジスタ141、144、147にはセンス線151が接続され、電界効果トランジスタ142、145、148にはセンス線152が接続されている。
【0028】
上記センス線151はセンスアンプ153に接続され、センス線152はセンスアンプ154に接続され、それぞれ素子に記憶された情報を検出する。また、書き込みワード線111の両端には、双方向の書き込みワード線電流駆動回路161、162が接続され、書き込みワード線112の両端には、双方向の書き込みワード線電流駆動回路163、164が接続されている。さらにビット線121の一端にはビット線電流駆動回路171が接続され、ビット線122の一端にはビット線電流駆動回路172が接続され、ビット線123の一端にはビット線電流駆動回路173が接続されている。
【0029】
次に、磁気記憶装置の基本構成を以下に説明する。まず、メモリセルの記憶素子となるトンネル磁気抵抗素子(以下TMR素子と記す)を図6の斜視図により説明する。
【0030】
図6に示すように、磁気記憶素子(TMR素子)13は、基本的には、磁化が固定されているもので強磁性体からなる磁化固定層302と磁化が比較的容易に回転するもので強磁性体からなる記憶層304とでトンネル絶縁層303を挟む構成を有している。
【0031】
図6に示す一例では、支持基板311上に下地電極層312が形成され、その上に反強磁性体層305が形成されている。さらに、上記磁化固定層302、上記トンネル絶縁層303、上記記憶層304が順に積層されている。上記磁化固定層302は、第1の磁化固定層306と第2の磁化固定層308とを有し、この第1、第2の磁化固定層306、308との間に、磁性層が反強磁性的に結合するような導電体層307が配置されている。
【0032】
上記下地電極層312は、TMR素子13と直列に接続されるスイッチング素子との接続に用いられ、反強磁性体層305を兼ねても良い。この構成のセルにおいては磁気抵抗効果によるトンネル電流変化を検出して情報を読み出すが、その効果は記憶層304と磁化固定層302との相対磁化方向に依存する。
【0033】
上記記憶層304、上記第1の磁化固定層306、308は、強磁性体であり、例えば、ニッケル、鉄もしくはコバルト、またはニッケル、鉄およびコバルトのうちの少なくとも2種からなる合金で構成される。
【0034】
上記導電体層307は、例えば、ルテニウム、銅、クロム、金、銀等で形成されている。
【0035】
上記第1の磁化固定層306は、反強磁性体層305と接する状態に形成されていて、これらの層間に働く交換相互作用によって、第1の磁化固定層306は、強い一方向の磁気異方性を有している。
【0036】
上記反強磁性体層305は、例えば、鉄マンガン合金、ニッケルマンガン合金、白金マンガン合金、イリジウムマンガン合金、ロジウムマンガン合金、コバルト酸化物、ニッケル酸化物等からなる。
【0037】
上記トンネル絶縁層303は、例えば、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化シリコン、窒化アルミニウム、窒化マグネシウム、窒化シリコン、酸化窒化アルミニウム、酸化窒化マグネシウムもしくは酸化窒化シリコンからなる。このトンネル絶縁層303は、上記記憶層304と上記磁化固定層302との磁気的結合を切るとともに、トンネル電流を流すための機能を有する。これらの磁性膜および導電体膜は、主に、スパッタリング法によって形成される。トンネル絶縁層303は、スパッタリング法によって形成された金属膜を酸化、窒化もしくは酸化窒化させることにより得ることができる。
【0038】
さらに最上層にはトップコート膜313が形成されている。このトップコート膜313は、TMR素子13と別のTMR素子13とを接続する配線との相互拡散防止、接触抵抗低減および記憶層304の酸化防止という機能を有する。通常、窒化タンタル、タンタル、窒化チタン等の材料により形成されている。下地導電層312は、TMR素子と直列に接続されるスイッチング素子との接続に用いられるもので、上記反強磁性体層305を兼ねることも可能である。
【0039】
上記構成のTMR素子13では、磁気抵抗効果によるトンネル電流変化を検出して情報を読み出すが、その効果は記憶層304と第1、第2の磁化固定層306、308との相対磁化方向に依存する。
【0040】
上記磁性膜および導体膜は、スパッタリング法、ALD(Atomic Layer Deposition)法等により形成され、トンネルバリア層は、先に述べたようにスパッタリングで形成された金属膜を酸化、もしくは窒化させることにより得ることもできる。
【0041】
次に、本発明の磁気記憶装置に係る一実施の形態を、図1、図2によって説明する。図面では、記憶セルを1/2ピッチずらして配置した磁気記憶装置を示し、図1の(1)は図2に示したレイアウト図におけるX―X’線断面を示し、図1の(2)は図2に示したレイアウト図におけるY―Y’線断面を示す。また、図2の(1)は半導体領域を示し、(2)は読み出しトランジスタ、センス線等を示し、(3)は書き込みワード線、TMR素子、ビット線等のレイアウト図を示す。
【0042】
図1に示すように、半導体基板(例えばp型半導体基板)21の表面側には素子分離領域23により分離されるものでp型ウエル領域からなる複数の半導体領域22が形成されている。上記素子分離領域23は、いわゆるSTI(Shallow Trench Isolation)技術によって形成されている。
【0043】
上記各半導体領域22は、二つの読み出しトランジスタ24、24が形成されるもので、後に説明する書き込みワード線11の半導体基板21への投影領域を斜めに横切る第1領域22aと、ビット線12と平行でかつ第1領域22aの一端側に連続して形成された第2領域22bと、ビット線12と平行でかつ第1領域22aの他端側に連続して形成された第3領域22cとからなる。しかも、書き込みワード線11の配設方向に配設されている複数の半導体領域22からなる第1の半導体領域列22v1に隣接する第2の半導体領域列22v2を構成する各半導体領域22の一端部が第1の半導体領域列22v1の各半導体領域22間における第2の半導体領域列22v2側に一つずつ配置されている。
【0044】
図面y方向に配列されている各列の上記各半導体領域22上には、ゲート絶縁膜25を介して2本のゲート電極(読み出しワード線)26(26a)、26(26b)が形成され、ゲート電極26aの両側における半導体領域22には拡散層領域(例えばN+ 拡散層領域)27、28が形成され、ゲート電極26bの両側における半導体領域22には拡散層領域(例えばN+ 拡散層領域)28、29が形成され、二つの電界効果型トランジスタ24(24a)、24(24b)が構成されている。なお、拡散層領域28は、電界効果型トランジスタ24a、24b共通の拡散層領域となっている。
【0045】
上記電界効果トランジスタ24は読み出しのためのスイッチング素子として機能する。これには、n型またはp型電界効果トランジスタの他に、ダイオード、バイポーラトランジスタ等の各種スイッチング素子を用いることも可能である。
【0046】
上記各電界効果型トランジスタ24を覆う状態に第1の絶縁膜41が形成されている。図示したように、第1の絶縁膜41表面は平坦化されていることが好ましい。この第1の絶縁膜41には上記拡散層領域28に接続するコンタクト30が形成されている。また第1の絶縁膜41上にはコンタクト30に接続するセンス線(電源線)15が形成されている。
【0047】
さらにセンス線15を覆う状態に第2の絶縁膜42が形成されている。第2の絶縁膜42表面は、図示したように平坦化されていることが好ましい。さらに、上記第2の絶縁膜42上には、上記センス線15上方でかつセンス線15に平行に書き込みワード線11が形成されている。
【0048】
上記第2の絶縁膜42上には、上記書き込みワード線11を覆う第3の絶縁膜43が形成されている。第3の絶縁膜43表面は平坦化されていることが好ましい。この第3〜第1の絶縁膜43〜41には、上記半導体領域22に接続するコンタクト部37が上記書き込みワード線11に対して並行に配置されている。
【0049】
上記第3の絶縁膜43上には、上記書き込みワード線11上方より上記コンタクト部37の上端部に接続するように接続層31が反強磁性体層305により形成されている。さらに、上記反強磁性体層305上で、上記書き込みワード線11の上方には、TMR素子13が形成されている。このTMR素子13は、前記図6によって説明したように、反強磁性体層305上に、第1の磁化固定層306と磁性層が反強磁性的に結合するような導電体層307と第2の磁化固定層308とを順に積層してなる磁化固定層302、トンネル絶縁層303、記憶層304、さらにキャップ層313を順に積層して構成されている。このTMR素子13を構成する材料は、前記図6によって説明したような材料が用いられる。
【0050】
上記TMR素子13と上記接続層31とで構成される記憶セル41は、そのTMR素子13が各書き込みワード線11と各ビット線12との交差領域に備えられていて、各記憶セル41は、上記書き込みワード線11の配設方向に対して、書き込みワード線11のレイアウト位置を挟んで斜め方向に、1/2n(ただし、nは1以上の自然数を示す)ピッチずつずらして配置されている。
【0051】
上記第3の絶縁膜43上には上記反強磁性体層305、TMR素子13等を覆う第4の絶縁膜44が形成されている。この第4の絶縁膜44は表面が平坦化され、上記TMR素子13の最上層が露出されている。上記第4の絶縁膜44上には、上記TMR素子13の上面に接続するものでかつ上記書き込みワード線11と上記TMR素子13を間にして立体的に交差(例えば直交)するビット線12が形成されている。
【0052】
上記書き込みワード線11、センス線15、ビット線12等は、半導体装置に用いられている配線材料、例えばアルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金、導電性ポリシリコン、タングステン、モリブデン、ロジウム、ニッケル等の高融点金属、タングステンシリサイド、コバルトシリサイド等の高融点金属シリサイド等で形成することができる。
【0053】
上記磁気記憶装置1では、二つの読み出しトランジスタ24、24が形成される半導体領域22が、書き込みワード線11の投影領域を斜めに横切る第1領域22aと、ビット線12と平行でかつ第1領域22aの一端側に連続して形成された第2領域22bと、ビット線12と平行でかつ上記第1領域22aの他端側に連続して形成された第3領域22cとからなることから、TMR素子13と接続層31とからなる記憶セル41は、ビット線12と書き込みワード線11との交差領域にTMR素子13を配置しかつ接続層31を半導体領域22の端部側に接続するようにしても、書き込みワード線11の配設方向に対して、書き込みワード線11のレイアウト位置を挟んで斜め方向に1/2n(ただし、nは1以上の自然数を示す)ピッチずつずらして配置することが可能になる。
【0054】
しかも、書き込みワード線11の配設方向に配設されている複数の半導体領域22からなる第1の半導体領域列22v1に隣接する第2の半導体領域列22v2を構成する各半導体領域22の一端部が第1の半導体領域列22v1の各半導体領域22、22間における第2の半導体領域列22v2側に一つずつ配置することが可能になる。
【0055】
したがって、読み出しトランジスタ24、24が形成される各半導体領域22を占有面積的な無駄をなくして効率的に素子分離領域23により分離することが可能となる。また、センス線15と書き込みワード線11とが第2絶縁膜42を介して積層されているので、セル面積の縮小化が図れる。さらに、TMR素子13間の間隔および書き込みワード線11間の間隔を十分に確保することができるので、クロストークの問題が解決される。
【0056】
次に、本発明の半導体装置の製造方法について、図7〜図11の製造工程断面図、レイアウト図等によって説明する。各図面では、(1)にレイアウト図を示し、(2)に(1)のX―X’線断面を示し、(3)に(1)のY―Y’線断面を示す。この製造方法では、記憶セルを1/2ピッチずらして配置した磁気記憶装置の製造方法を示す。
【0057】
図7に示すように、例えば、STI(Shallow Trench Isolation)技術によって、半導体基板21に、二つの読み出しトランジスタが形成される半導体領域22を区分する素子分離領域23を形成する。この半導体領域22は、例えば、後に形成される書き込みワード線の形成予定領域を投影した領域(2点鎖線で示す領域)を斜めに横切る第1領域22aと、後に形成されるビット線と平行でかつ上記第1領域22aの一端側に連続して形成される第2領域22bと、ビット線と平行でかつ上記第1領域22aの他端側に連続して形成される第3領域22cとからなる。
【0058】
しかも、上記各半導体領域22は、書き込みワード線11の配設方向に配設されている複数の半導体領域22からなる第1の半導体領域列22v1に隣接する第2の半導体領域列22v2を構成する各半導体領域22の一端部が第1の半導体領域列22v1の各半導体領域22間における第2の半導体領域列22v2側に一つずつ配置されている。
【0059】
次いで、図8に示すように、通常の絶縁ゲート型電界効果トランジスタを形成する技術によって、上記書き込みワード線の形成予定領域11eの両側でかつ平行に上記半導体領域22上にゲート絶縁膜25を介してゲート電極26(26a)、26(26b)を形成する。さらに2本のゲート電極26、26の両側における半導体領域22に拡散層27、28、29を形成する。このうち、ゲート電極26、26間の第1領域22aに形成される拡散層28は二つの読み出しトランジスタの共通の拡散層となる。このようにして、半導体領域22に二つの読み出しトランジスタ24(24a)、24(24b)を構成する。
【0060】
次いで図9に示すように、例えば化学的気相成長法のような絶縁膜の堆積技術を用いて、半導体基板21上に、上記各読み出しトランジスタ24を被覆する第1絶縁膜41を形成する。この第1絶縁膜41表面は、例えば化学的機械研磨等の平坦化技術によって、ゲート電極26が露出しないように平坦化しておくことが好ましい。
【0061】
次いで、上記第1の絶縁膜41に、上記各読み出しトランジスタ24の共通の拡散層28に接続されるコンタクト30を形成した後、上記第1絶縁膜41上に上記コンタクト30に接続するセンス線(電源線)15を後に形成される書き込みワード線の形成予定領域と平行に形成する。このセンス線15の形成方法は、通常の配線形成と同様で、例えば第1絶縁膜41上に導電性膜を形成した後、リソグラフィー技術、エッチング技術等を用いて上記導電性膜を所定の配線形状に加工することにより形成される。
【0062】
さらに、図10に示すように、例えば化学的気相成長法のような絶縁膜の堆積技術を用いて、上記第1絶縁膜41上に、上記センス線15を被覆する第2絶縁膜42を例えば酸化シリコンもしくは酸化アルミニウムで形成する。この第2絶縁膜42表面は、例えば化学的機械研磨等の平坦化技術によってセンス線15上に例えば700nm程度の厚さを残すように平坦化しておくことが好ましい。
【0063】
前記第2絶縁膜42上に、上記センス線15上にそって、後に形成されるTMR素子に磁界を印加する書き込みワード線11を形成する。この書き込みワード線11の形成方法は、通常の配線形成と同様で、例えば第2絶縁膜42上に導電性膜を形成した後、リソグラフィー技術、エッチング技術等を用いて上記導電性膜を所定の配線形状に加工することにより形成される。
【0064】
なお、リソグラフィー技術によりセンス線15の上方に合わせずれを起こすことなく書き込みワード線11を形成する方法としては、上記コンタクト部(図示せず)を形成した後、第1絶縁膜41上にセンス線を形成する導電体膜を形成した後、第2絶縁膜42を形成し、さらに書き込みワード線11を形成するための導電体膜を形成する。その後、リソグラフィー技術、エッチング技術等を用いて上記第2絶縁膜42およびそれを挟む2層の導電体膜を、書き込みワード線の形状に加工することで、書き込みワード線11とセンス線15と第2絶縁膜42を介して重なり合う状態に形成することができる。
【0065】
次いで、上記書き込みワード線11を被覆する第3絶縁膜42を形成する。この第3絶縁膜43表面は、例えば化学的機械研磨等の平坦化技術によって平坦化しておくことが好ましい。なお、書き込みワード線11とセンス線15とを同時加工した場合には、書き込みワード線11およびセンス線15を覆う状態にして上記第1絶縁膜41上に上記第3絶縁膜43を形成することになる。
【0066】
または、上記センス線15上にP−TEOS(Plasma tetra-ethoxysilane:プラズマ−テトラエトキシシラン)膜を100nm、HDP(High density PlasmaCVD)膜を800nm、P−TEOS膜を1200nmを順次堆積した後、化学的機械研磨によって、センス線15上に厚さが700nmの第2絶縁膜42を残すように平坦化を行う。次にP−SiN(Plasma silicon nitride)膜を20nmの厚さに堆積してリソグラフィーおよびエッチング技術でP−SiN膜にビアホール(図示せず)を開孔する。次にP−TEOS膜を300nmの厚さに堆積した後、フォトレジストをマスクにSiO2 /P−SiNの選択比の高い条件で層間の酸化シリコン膜をエッチングして、ビアホールと書き込みワード線を含む配線溝を同時に形成する。次に、PVD(Physical Vapor deposition)法によって、ビアホールおよび配線溝の内面にバリア層(例えば下層よりTi膜;5nmとTiN膜;20nm)を堆積した後、続いてCVD法によって、ビアホールおよび配線溝をタングステン膜で埋め込む。その後、化学的機械研磨によって、酸化シリコン膜上の余剰なタングステン膜を除去することにより、書き込みワード線11およびそれに接続するコンタクト部(図示せず)を形成する。その後、P−TEOS膜を例えば100nmの厚さに堆積して、上記第2絶縁膜上に第3絶縁膜43を構成する。この第3絶縁膜43表面は、100nmの厚さに堆積したP−TEOS膜が平坦化された表面に形成されるため、平坦化された状態になる。
【0067】
この溝配線技術による書き込みワード線11の製造方法例では、化学的気相成長法によりタングステンを堆積して用いたが、イリジウム、オスミウム、クロム、ジルコニウム、タングステン、タンタル、チタントリウム、バナジウム、モリブデン、ロジウム、ニッケル、ルテニウムまたはその合金をスパッタリングもしくは化学的気相成長法によって堆積して形成しても良い。
【0068】
書き込みワード線は抵抗を上げるために部分的にTMRの直下付近を、細らせても効率的に発熱させる平面にしても良い。
【0069】
次いで、通常のコンタクトの形成技術によって、上記第3絶縁膜43から上記第1絶縁膜41を貫通して、上記二つの読み出しトランジスタ24、24を構成する共通の拡散層28以外の二つの拡散層27、29に接続するコンタクト部37を形成する。その際、上記コンタクト部37は、上記書き込みワード線11に対して並行に配置されるように形成する。
【0070】
次いで、図11に示すように、前記図6によって説明した構成のTMR素子13を構成する材料層を、例えばPVD法によって堆積する。
【0071】
例えば、下地電極層312を形成し、その上に反強磁性体層305を形成する。さらに、上記磁化固定層302、上記トンネル絶縁層303、上記記憶層304を順に積層する。上記磁化固定層302は、第1の磁化固定層306と磁性層が反強磁性的に結合するような導電体層307と第2の磁化固定層308とを下層より順に積層して形成する。
【0072】
例えば、上記各層を形成する材料層を積層した後、フォトレジストをマスクに用いた反応性イオンエッチング技術によって、これらの積層膜を加工することでTMR素子13を形成する。エッチングの終点は酸化アルミナ膜のトンネル絶縁層303から最下層の反強磁性体層305の途中で終わるように設定する。エッチングガスは塩素を含んだハロゲンガスまたは一酸化炭素(CO)もアンモニア(NH3 )を添加したガス系等を用いる。次にフォトレジストをマスクに用いて残りの積層膜を反応性イオンエッチング技術によって、TMR素子13とコンタクト部37と接続する接続層31を上記積層膜の一部を用いて形成する。
【0073】
上記TMR素子では、一例として、下地電極層312は、TMR素子13と直列に接続されるスイッチング素子との接続に用いられるもので、窒化チタン、タンタル、窒化タンタル等で形成する。反強磁性体層305は、例えば、例えば、鉄マンガン合金、ニッケルマンガン合金、白金マンガン合金、イリジウムマンガン合金、ロジウムマンガン合金、コバルト酸化物、ニッケル酸化物等により形成する。上記下地電極層312は反強磁性体層305で兼ねても良い。
【0074】
上記第1の磁化固定層306は、反強磁性体層305と接する状態に形成されていて、これらの層間に働く交換相互作用によって、強い一方向の磁気異方性を有しているものである。
【0075】
上記トンネル絶縁層303は、例えば、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化シリコン、窒化アルミニウム、窒化マグネシウム、窒化シリコン、酸化窒化アルミニウム、酸化窒化マグネシウムもしくは酸化窒化シリコンで形成する。その膜厚は、0.5nm〜5nmと非常に薄い。そのためALD(Atomic Layer Deposition)法による成膜またはアルミニウムをスパッタリングによって堆積した後にプラズマ酸化する方法で形成する。このトンネル絶縁層303は、上記記憶層304と上記磁化固定層302との磁気的結合を切るとともに、トンネル電流を流すための機能を有する。
【0076】
上記記憶層304、上記第1、第2磁化固定層306、308は、強磁性体であり、例えば、ニッケル、鉄もしくはコバルト、またはニッケル、鉄およびコバルトのうちの少なくとも2種からなる合金で形成する。上記第1、第2磁化固定層306、308の膜厚は一般的に0.5nm〜5nmとする。また導電体層307は、例えば、ルテニウム、銅、クロム、金、銀等で形成する。この層はTMR素子の外部印加磁場によって磁化の方向が下層強磁性体に対して、平行または反平行に変えることができる。
【0077】
これらの磁性膜および導電体膜は、主に、スパッタリング法もしくはALD法によって形成する。または、スパッタリング法によって形成された金属膜を酸化、窒化もしくは酸化窒化させることにより得ることができる。
【0078】
さらに最上層にはトップコート膜313が形成されている。このトップコート膜313は、TMR素子13と別のTMR素子13とを接続する配線との相互拡散防止、接触抵抗低減および記憶層304の酸化防止という機能を有する。通常、窒化タンタル、タンタル、窒化チタン等の材料により形成されている。
【0079】
また、下地導電層312を含む接続層31は、TMR素子13と直列に接続されるスイッチング素子である読み出しトランジスタ24との接続に用いられるもので、上記反強磁性体層305を兼ねることも可能である。
【0080】
また、図示したように、上記構成のTMR素子13と上記接続層31とで構成される記憶セル41を複数形成する際には、複数の記憶セルは、書き込みワード線11の配設方向に対して、平面視した書き込みワード線11のレイアウト位置を挟んで斜め方向に1/2n(ただし、nは1以上の自然数を示す)ピッチずつずらして配置する。
【0081】
次いで、例えば化学的気相成長法によって、上記第3絶縁膜43上に上記TMR素子13を被覆する第4絶縁膜44を形成する。この第4絶縁膜44は、例えばCVDまたはPVD法によって酸化シリコンまたは酸化アルミニウム等の絶縁膜を全面に堆積した後、化学的機械研磨によって平坦化研磨を行い、TMR素子13の最上層のトップコート膜313を露出させる。
【0082】
次いで、標準的な配線形成技術によって、ビット線12および周辺回路の配線(図示せず)、ボンディングパッド領域(図示せず)を形成する。上記ビット線12は、上記TMR素子13に接続され上記書き込みワード線11と直交するように形成される。
【0083】
次に、例えば化学的気相成長法によって、全面にプラズマシリコン窒素(P−SiN)膜(図示せず)を堆積し、ボンディングパッド部を開口してLSIのウエハプロセス工程を完了させる。
【0084】
上記製造方法では、二つの読み出しトランジスタ24、24が形成される半導体領域22が、書き込みワード線11の投影領域を斜めに横切る第1領域22aと、ビット線12と平行でかつ第1領域22aの一端側に連続して形成された第2領域22bと、ビット線12と平行でかつ第1領域22aの他端側に連続して形成された第3領域22cとで形成されることから、TMR素子13と接続層31とからなる記憶セル41は、ビット線12と書き込みワード線11との交差領域にTMR素子13を配置しかつ接続層31を半導体領域22の端部側に接続するようにしても、書き込みワード線11の配設方向に対して、平面視した書き込みワード線11のレイアウト位置を挟んで斜め方向に1/2n(ただし、nは1以上の自然数を示す)ピッチずつずらして配置することが可能になる。
【0085】
しかも、書き込みワード線11の配設方向に配設されている複数の半導体領域22からなる第1の半導体領域列22v1に隣接する第2の半導体領域列22v2を構成する各半導体領域22の一端部が第1の半導体領域列22v1の各半導体領域22、22間における第2の半導体領域列22v2側に一つずつ配置することが可能になる。したがって、読み出しトランジスタ24が形成される各半導体領域22を占有面積的な無駄をなくして効率的に配置して形成することが可能となる。
【0086】
また、センス線15と書き込みワード線11とが第2絶縁膜42を介して積層されているので、セル面積の縮小化が図れる。さらに、TMR素子13間の間隔および書き込みワード線11間の間隔を十分に確保することができるので、クロストークの問題が解決される。
【0087】
【発明の効果】
以上、説明したように本発明の磁気記憶素子およびその製造方法によれば、読み出しトランジスタが形成される各半導体領域を占有面積的な無駄をなくして効率的に配置して形成することが可能となる。また、センス線と書き込みワード線とが第2絶縁膜を介して積層されている構成では、セル面積の縮小化が図れる。さらに、TMR素子間の間隔および書き込みワード線間の間隔を十分に確保することができるので、クロストークの問題が解決される。
よって、高信頼性で高速化を達成し得るMRAM(Magnetic Random Access Memory)を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の磁気記憶装置に係る一実施の形態を示す概略構成断面図である。
【図2】本発明の磁気記憶装置に係る一実施の形態を示す主要層のレイアウト図である。
【図3】MRAMの主要部を簡略化して示した概略構成斜視図である。
【図4】容易軸方向磁界HEA および困難軸方向磁界HHA による記憶層磁化方向の反転しきい値を示すアステロイド曲線である。
【図5】図3のMRAMの原理回路を示す回路図である。
【図6】トンネル磁気抵抗素子を示す斜視図である。
【図7】本発明の磁気記憶装置の製造方法に係る一実施の形態を示す概略構成断面図およびレイアウト図である。
【図8】本発明の磁気記憶装置の製造方法に係る一実施の形態を示す概略構成断面図およびレイアウト図である。
【図9】本発明の磁気記憶装置の製造方法に係る一実施の形態を示す概略構成断面図およびレイアウト図である。
【図10】本発明の磁気記憶装置の製造方法に係る一実施の形態を示す概略構成断面図およびレイアウト図である。
【図11】本発明の磁気記憶装置の製造方法に係る一実施の形態を示す概略構成断面図およびレイアウト図である。
【符号の説明】
1…磁気記憶装置、11…書き込みワード線、12…ビット線、13…TMR素子、22…半導体領域、22a…第1領域、22b…第2領域、22c…第3領域、24…読み出しトランジスタ、31…接続層、302…磁化固定層、303…トンネル絶縁層、305…反強磁性体層
Claims (10)
- 書き込みワード線と、
前記書き込みワード線と所定間隔を置いて交差するように形成されたビット線と、
トンネル絶縁層を強磁性体層で挟んで構成されるもので前記書き込みワード線と前記ビット線との交差領域に設けられた磁気記憶素子と、
前記磁気記憶素子の前記書き込みワード線側に形成された反強磁性体層を含む接続層とを備えた磁気記憶装置において、
二つの読み出しトランジスタが形成されるもので、前記書き込みワード線の投影領域を斜めに横切る第1領域と、前記ビット線と平行でかつ前記第1領域の一端側に連続して形成された第2領域と、前記ビット線と平行でかつ前記第1領域の他端側に連続して形成された第3領域とからなる半導体領域
を備えたことを特徴とする磁気記憶装置。 - 前記磁気記憶装置は、
前記磁気記憶素子と前記接続層とで構成された記憶セルを複数備え、
前記複数の記憶セルは、前記書き込みワード線の配設方向に対して、平面レイアウト的に見て前記書き込みワード線を挟んで斜め方向に1/2n(ただし、nは1以上の自然数を示す)ピッチずつずらして配置されている
ことを特徴とする請求項1記載の磁気記憶装置。 - 前記書き込みワード線の配設方向に配設されている複数の前記半導体領域からなる第1の半導体領域列に隣接する第2の半導体領域列を構成する各半導体領域の一端部が前記第1の半導体領域列の各半導体領域間における前記第2の半導体領域列側に一つずつ配置されている
ことを特徴とする請求項1記載の磁気記憶装置。 - 前記各接続層と前記半導体領域とを接続するコンタクト部が前記書き込みワード線を挟んで並列に配置されている
ことを特徴とする請求項1記載の磁気記憶装置。 - 前記書き込みワード線と前記読み出し用のトランジスタに接続される電源線が絶縁膜を介して同一方向に形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の磁気記憶装置。 - 所定間隔を保って交差する書き込みワード線とビット線との交差領域にトンネル絶縁層を強磁性体層で挟んでなるトンネル磁気抵抗素子を有するもので前記強磁性体層のスピン方向が平行もしくは反平行によって抵抗値が変化することを利用して情報を記憶する磁気記憶素子を備えた情報記憶装置の製造方法において、
半導体基板に、二つの読み出しトランジスタが形成されるもので、前記書き込みワード線の形成予定領域を投影した領域を斜めに横切る第1領域と、前記ビット線と平行でかつ前記第1領域の一端側に連続して形成された第2領域と、前記ビット線と平行でかつ前記第1領域の他端側に連続して形成された第3領域とからなる半導体領域を区分する素子分離領域を形成する工程と、
前記書き込みワード線の形成予定領域と平行に前記半導体領域上にゲート絶縁膜を介してゲート電極を形成するとともに前記半導体領域の第1領域が共通の拡散層となるように前記ゲート電極の両側における前記半導体領域に拡散層を形成して二つの読み出しトランジスタを構成する工程と、
前記二つの読み出しトランジスタを被覆する第1絶縁膜を形成する工程と、
前記第1の絶縁膜上に、前記二つの読み出しトランジスタの共通の拡散層に接続されるもので書き込みワード線の形成予定領域と平行に電源線を形成する工程と、
前記電源線を被覆する第2絶縁膜を形成する工程と、
前記第2絶縁膜上に、前記磁気記憶素子に磁界を印加する書き込みワード線を形成する工程と、
前記書き込みワード線を被覆する第3絶縁膜を形成する工程と、
前記第3絶縁膜から前記第1絶縁膜に、前記二つの読み出し用のトランジスタを構成する共通の拡散層以外の二つの拡散層に接続されるコンタクト部を形成する工程と、
前記第3絶縁膜上に上記コンタクト部に接続される反強磁性体層を含む接続層を形成するとともにトンネル絶縁層を強磁性体層で挟んでなる強磁性トンネル接合を有する磁気記憶素子を形成する工程と、
前記磁気記憶素子を被覆する第4絶縁膜を形成する工程と、
前記第4絶縁膜上に前記磁気記憶素子に接続され前記書き込みワード線と直交するビット線を形成する工程と
を備えた磁気記憶装置の製造方法。 - 前記電源線と前記書き込みワード線とは、
前記電源線を形成する第1導電層を形成し、続いて前記導電層上に前記第2絶縁膜を形成し、さらに前記書き込みワード線を形成する第2導電層を形成した後、
前記第1導電層と前記第2絶縁膜と前記第3絶縁膜とを一括して加工して、電源線と前記書き込みワード線とで前記第2絶縁膜を挟む構成を形成する
ことを特徴とする請求項6記載の磁気記憶装置の製造方法。 - 前記磁気記憶素子と前記接続層とで構成される記憶セルを複数形成する際に、
前記複数の記憶セルは、前記書き込みワード線の配設方向に対して、平面レイアウト的に見て前記書き込みワード線を挟んで斜め方向に1/2n(ただし、nは1以上の自然数を示す)ピッチずつずらして配置する
ことを特徴とする請求項6記載の磁気記憶装置の製造方法。 - 前記半導体領域の形成工程は、
複数の前記半導体領域からなる半導体領域列を、複数本が平行に配設される前記書き込みワード線の形成予定領域に対応して複数列形成する工程であって、
前記半導体領域列のうちの第1半導体領域列に隣接する第2半導体領域列を構成する各半導体領域の一端部が前記第1半導体領域列の各半導体領域間における前記第2半導体領域列側に一つずつ配置されるように、各半導体領域を区分する素子分離領域を形成する
ことを特徴とする請求項6記載の磁気記憶装置の製造方法。 - 前記書き込みワード線を挟んで並列に前記コンタクト部を配置する
ことを特徴とする請求項6記載の磁気記憶装置の製造方法。
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