JP3876516B2 - Calibration device for optical extensometer - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、カメラにより試験片を撮影することによって得られる画像データを用いて、試験片の標線間の伸びないしは歪みを非接触のもとに計測する伸び計に用いられる校正装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば材料試験機により試験片の伸びや歪みを計測する際、その試験片の厚みが薄い場合、従来の接触式の伸び計では、試験片への影響が大きく、使用できない場合がある。このような試料の計測においては、非接触で計測する方法が要求される。
【0003】
非接触方式の伸び計としては、現時点においてビデオカメラを用いた、いわゆる光学式伸び計が簡便で精度も高いとされている。光学式伸び計では、図7に示すように、試験片Wの表面に2つの標線マークM1,M2 を付しておき、これらの標線マークM1,M2 を試験中においてビデオカメラVで撮影して得られる撮影信号から各標線マークM1,M2 を認識して、各標線マーク間の経時的変化から試験片Wの伸びを計測する。
【0004】
この種の光学式伸び計においてはビデオカメラの撮影倍率の校正を行う必要がある。その校正は、図8(A)に示すように、適当な厚みの校正器(キャリブレーションバー)CB を材料試験機等の掴み具11,12に取り付け、その面上の基準長さをビデオカメラVで撮影し、その撮影された画像データ上での長さ単位(画素)との関係をもとに、これを基準として実際の計算値(標線マークの移動量)を求める、という方法で行われている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、光学式伸び計においてカメラの撮影倍率の校正は、従来、キャリブレーションバーを材料試験機等に取り付けて校正を行った後、そのキャリブレーションバーを取り外し、次いで試験片を取り付けるという手順で行われており、その校正時において、キャリブレーションバーの厚みと試験片の厚みが異なっている場合、図8(B)に示すように、キャリブレーションバーCB の基準面とビデオカメラVとの距離が、実際の試験片Wの標線マークを含む面とビデオカメラVとの距離と等しくならない(L≠L′)。ここで、ビデオカメラの撮影倍率は、撮影対象とカメラとの距離が変化すると変化することから、キャリブレーションバーの厚みと試験片の厚みが異なっていると、その厚みの差が誤差を生む原因となる。
【0006】
これを解消する方法として、焦点距離の長いレンズを用いて、撮影対象とビデオカメラとの距離の変化に対する撮影倍率の変化の割合の程度を小さくするという方法が考えられる。
【0007】
しかし、材料の伸び範囲は、大きいものでは1000%以上のものもあり、このような材料に対しては計測視野を大きくする必要がある。これを焦点距離の長いレンズで満足するには、撮影距離を伸ばさないといけないが、その距離を確保するには装置の設置面積上の制約から限界があり、従って撮影対象とカメラとの距離の変化に対する撮影倍率の変化を完全に0にすることはできない。
【0008】
なお、撮影対象とカメラとの距離の変化による影響を0にする方法として、テレセントリックレンズと呼ばれているレンズを撮影光学系に配置するという方法も考えられるが、そのテレセントリックレンズは一般に非常に高価である。
【0009】
本発明はそのような実情に鑑みてなされたもので、誤差のない正確な校正を安価のもとに行うことができる光学式伸び計用校正装置の提供を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、試験片の表面に付された2つのマークをカメラで撮影し、その2つのマークの画像の移動から、試験片の伸びを非接触で計測する伸び計に用いられる校正装置であって、図1,図2に例示するように、長さの基準を提供する基準面1aを有し、当該校正装置を試験機の掴み具11,12に試験片W(または試験片Wと同じ厚みの板)と共に挟んで取り付けた状態で、その基準面1aとカメラとの距離Lが、実際の計測時における試験片Wのマークを含む面とカメラとの距離Lと等しくなるように構成されていることを特徴としている。
【0012】
また、本発明は、試験片の表面に付された2つのマークをカメラで撮影し、その2つのマークの画像の移動から、試験片の伸びを非接触で計測する伸び計に用いられる校正装置であって、図4〜図6に例示するように、長さの基準を提供する基準面を有する校正器2と、この校正器2の試験機への取付位置を規定する規定手段(取付板3)を備え、その規定手段が、校正器2の取付位置を、試験片Wの厚みdに応じて、試験片Wの厚みが0であるときの位置に対して、試験片Wの厚みdの1/2の距離だけ移動するように構成されており、校正を行うときに、校正器の基準面とカメラとの距離が、実際の計測時における試験片のマークを含む面とカメラとの距離に等しくなる位置に、上記基準面が配置されるように構成されていることを特徴としている。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を、以下、図面に基づいて説明する。
【0014】
図1は本発明の実施の形態の正面図(A)及び側面図(B)である。
図1に示す実施の形態は、例えばアルミニウム製の校正器(キャリブレーションバー)1であって、正面側が段付き形状に加工されており、その1段下がった面が、長さの基準を提供する基準面1aとなっている。この基準面1aには上下2本の基準マークm1,m2 が付されている。
【0015】
また、基準面1aが設けられた段付き部1bの厚みは、材料試験機等の掴み具11,12(図2参照)によって挟み込まれる掴み部1c,1dの厚みに対して1/2の寸法に加工されている。
【0016】
次に、本実施の形態の作用を図2を参照して述べる。
まず、この例では、試験機の掴み具11,12として、互いに対向する歯11aと11b、12aと12bが、それぞれ中心に向かって互いに同じ量だけ移動する方式の定位置掴み具を使用するものとする。
【0017】
校正時には、図2(A)に示すように、掴み具11,12に校正器1を、その掴み部1c,1dの背面側に、実際の計測を行う試験片Wを挟み込んだ状態で取り付け、この状態で、校正器1の基準面1aの基準マークm1,m2 をビデオカメラ(図示せず)で撮影し、その撮影画像からカメラ画面上における基準マークm1 とm2 との間隔を計測し、この計測値と、校正器1の基準面1a上でのマーク間隔とからカメラの撮影倍率を求めておく。
【0018】
次に、校正器1を試験機の掴み具11,12から取り外した後、図2(B)に示すように、実際の計測を行う試験片Wを掴み具11,12に取り付ける。この状態で、試験片Wの2つの標線マーク(図7参照)をビデオカメラで撮影して計測を開始し、刻々と得られる2つの標線マークの移動量を、先に求めたカメラの撮像倍率を用いて校正して伸びの計測データを得る。
【0019】
ここで、先に取り付けた校正器1の掴み部1c,1dの厚みを2t、段付き部1bの厚みをt、試験片Wの厚みをdとすると、図2(A)に示す状態つまり掴み具11,12に、校正器1の掴み部1c,1dと試験片Wを挟み込んだ状態における、掴み具11,12の歯11aと11b,12aと12bの中心位置(把持中心)CL は、背面側の歯11b,12bから(2t+d)/2=t+d/2の位置となり、また、校正器1の基準面1aの背面側の歯11b,12bに対する位置はt+dの位置となる。従って、その基準面1aの把持中心CL に対する位置は(t+d)−(t+d/2)=d/2となる。
【0020】
一方、掴み具11,12に試験片Wのみを挟み込んだ状態のときには、試験片Wの表面の把持中心CL に対する位置は、当然のことながら試験片Wの厚みの1/2つまりd/2であり、従って校正時における校正器1の基準面1aとビデオカメラとの距離Lは、実際の計測時における試験片Wの表面とビデオカメラとの距離Lと等しくなる。その結果、誤差のない正確な校正を行うことができる。
【0021】
ここで、以上の実施の形態において、試験片Wの厚みの関係上、校正器1の厚みが薄くする必要があり、校正器に図1に示したような段付き部を加工すると、校正器自体の強度が低下するおそれがある場合、図3に示すように校正器1′の背面側に外方に凸の段付き部1eを設けて、全体の剛性を高めるというような構造を採用すればよい。
【0022】
なお、図3に示すような校正器1′を用いる場合、段付き部1eが邪魔となって、この校正器1′と試験片Wを一緒に掴み具11,12に挟み込むことができないので、このような校正器1′を用いる場合には、試験片Wと同じ厚みの板Pを校正時に掴み具11,12に挟み込むようにする。また、先の図1に示した形状の校正器1においても、試験片Wの表面が校正器1に接触することを避けたい場合にも、同様に試験片Wと同じ厚みの板Pを挟み込むようにすればよい。
【0023】
本発明の他の実施の形態を図4〜図6を参照しつつ説明する。
この実施の形態の校正装置は、校正器2とその取付板3によって構成されている。
【0024】
校正器2は、ストレーンゲージ式伸び計などの校正に用いられる校正器で、図4に示すように、固定バー2aと、これに対向して配置された移動バー2b、及び移動バー2bに上下方向への変位を与えるマイクロメータ2cを主体として構成されている。
【0025】
取付板3は、図5の平面図及び図6の断面図に示すように、図4に示した校正器2のベース板2dを載せるベース台3aと、このベース台3aの所定位置に固定されたピン3bに回動自在に取り付けられた回転ストッパ3cと、回転ストッパ3cの一端部と対向する位置に配置され、ベース台3aに置かれた校正器2のベース板2dの一方向(カメラの撮影方向と直交する方向)における位置を規制するための固定ストッパ3dを備えている。
【0026】
回転ストッパ3cの両端部は、それぞれ半径rの円弧状に加工されており、一端側の円弧部分(固定ストッパ3dと対向する部分)の中心n1 とピン3bの中心との距離2Sが、他端側の円弧部分(校正器のベース板2d側)の中心n2 とピン3bの中心との距離Sの2倍となるように構成されている。従って、回転ストッパ3cの一端側の円弧部分と固定ストッパ3dとの間に厚みdのものを挟み込むと、回転ストッパ3cが回転し、その他端側の円弧部分が、反対側にd/2の距離だけ移動する。
【0027】
次に、本実施の形態の作用を使用方法とともに述べる。
まず、図4に示すような校正器2は、材料試験機等の掴み具及びフランジ等を取り外した状態で、その掴み具の把持中心に合わせてセットされる。この例では、校正器2のベース板2dの下に取付板3を置いて試験機にセットする。
【0028】
その要領は、まず取付板3を試験機に対して位置決めし、その取付板3のベース台3a上に校正器2を置く。このとき、取付板3の回転ストッパ3cと固定ストッパ3dとの間には何も挟まない状態つまり回転ストッパ3cの一端側の円弧部分を固定ストッパ3dに当てた状態で、校正器2のベース板2dの側面21dを回転ストッパ3cの他端側の円弧部分に当て、かつ、ベース板2dの側面22dを固定ストッパ3dに当てて、校正器2の全体を取付板3に対して位置決めする。なお、このようなセッティングおいて、取付板3を試験機に対する位置は、この取付板3に対して位置決めした校正器2の移動バー2bの基準マークmを付した面が、試験機の掴み具の把持中心に一致するような位置とする。
【0029】
次に、取付板3の回転ストッパ3cの一端側の円弧部分と固定ストッパ3dとの間に、計測を行う試験片Wを挟み込む。この操作により校正器2がビデオカメラ側に試験片Wの厚みdの1/2の距離だけ平行移動する。これにより、図5に示すように、校正器2の移動バー2bの基準マークmを付した面が、試験機の把持中心CL に対してd/2の位置に配置され、その基準マークmを付した面とビデオカメラとの距離が、実際の計測時における試験片Wとビデオカメラとの距離と等しくなり、校正時における誤差がなくなる。
【0030】
そして、校正器2の移動バー2bに付した基準マークmをビデオカメラVで撮影し、その基準マークmの位置を、校正器2のマイクロメータ2cの操作によって移動させ、マイクロメータ2cで与えたマークmの移動量とビデオカメラVで得られたマークmの計測位置の移動量との関係からカメラの撮影倍率を求める。この後、試験機の掴み具を組み立て、試験片Wを取り付けて実際の伸びの計測を行う。
【0031】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の校正装置を用いれば、校正時におけるカメラと撮影対象との距離と、実際の計測時におけるカメラと撮影対象との距離とを常に等しくすることができ、試験片の厚み起因する誤差が含まれない。従って、正確な校正を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の説明図
【図2】本発明の実施の形態の作用説明図
【図3】図1に示す実施の形態の変形例を示す図
【図4】本発明の他の実施の形態に用いる校正器2の構造を示す斜視図
【図5】本発明の他の実施の形態に用いる取付板3の要部構造を示す平面図
【図6】図5のX−X断面図
【図7】光学式伸び計の構成例を示す斜視図
【図8】光学式伸び計の校正を行う際に生じる問題点の説明図
【符号の説明】
1 校正器(キャリブレーションバー)
1a 基準面
1b 段付き部
1c,1d 掴み部
m1,m2 基準マーク
2 校正器
2a 固定バー
2b 移動バー
2c マイクロメータ
2d ベース板
3 取付板
3a ベース台
3b ピン
3c 回転ストッパ
3d 固定ストッパ
m 基準マーク
11,12 掴み具
V ビデオカメラ
W 試験片
M1,M2 標線マーク[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a calibration device used in an extensometer that measures the elongation or distortion between the marked lines of a test piece in a non-contact manner using image data obtained by photographing the test piece with a camera.
[0002]
[Prior art]
For example, when measuring the elongation and strain of a test piece with a material testing machine, if the thickness of the test piece is thin, the conventional contact-type extensometer has a large influence on the test piece and may not be used. In such a sample measurement, a non-contact measurement method is required.
[0003]
As a non-contact type extensometer, a so-called optical extensometer using a video camera at present is considered to be simple and highly accurate. In the optical extensometer, as shown in FIG. 7, two marked marks M1, M2 are attached to the surface of the test piece W, and these marked marks M1, M2 are photographed by the video camera V during the test. Then, each marked mark M1, M2 is recognized from the obtained photographing signal, and the elongation of the test piece W is measured from the change over time between the marked marks.
[0004]
In this type of optical extensometer, it is necessary to calibrate the photographing magnification of the video camera. As shown in FIG. 8A, the calibration is performed by attaching a calibrator (calibration bar) CB having an appropriate thickness to grips 11 and 12 such as a material testing machine, and setting the reference length on the surface to a video camera. By taking a picture with V, and based on the relationship with the length unit (pixel) on the taken image data, an actual calculation value (movement amount of the marked mark) is obtained based on this. Has been done.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the conventional optical extensometer, the calibration of the photographing magnification of the camera is conventionally performed by attaching the calibration bar to a material testing machine or the like, removing the calibration bar, and then attaching the test piece. If the thickness of the calibration bar and the thickness of the test piece are different at the time of calibration, the distance between the reference plane of the calibration bar CB and the video camera V is as shown in FIG. The distance between the surface of the actual test piece W including the marked mark and the video camera V is not equal (L ≠ L ′). Here, the shooting magnification of the video camera changes as the distance between the shooting target and the camera changes, so if the calibration bar thickness and test piece thickness are different, the difference in thickness causes an error. It becomes.
[0006]
As a method for solving this problem, a method of using a lens having a long focal length to reduce the ratio of the change in the shooting magnification with respect to the change in the distance between the shooting target and the video camera is considered.
[0007]
However, the elongation range of the material is 1000% or more if it is large, and it is necessary to enlarge the measurement field of view for such a material. In order to satisfy this with a lens with a long focal length, the shooting distance must be increased. However, there is a limit due to restrictions on the installation area of the device in order to secure this distance, and therefore the distance between the shooting target and the camera is limited. The change in the photographing magnification with respect to the change cannot be completely reduced to zero.
[0008]
As a method for reducing the influence of the change in the distance between the object to be photographed and the camera to 0, a method called a telecentric lens may be arranged in the photographing optical system, but the telecentric lens is generally very expensive. It is.
[0009]
The present invention has been made in view of such a situation, and an object thereof is to provide an optical extensometer calibration apparatus capable of performing accurate calibration without error at low cost.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The present invention is a calibration device used in an extensometer that takes two marks attached to the surface of a test piece with a camera and measures the elongation of the test piece in a non-contact manner by moving the images of the two marks. As shown in FIGS. 1 and 2, it has a
[0012]
In addition, the present invention is a calibration apparatus used in an extensometer that takes two marks attached to the surface of a test piece with a camera and measures the elongation of the test piece in a non-contact manner by moving the images of the two marks. As shown in FIGS. 4 to 6, the
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0014]
FIG. 1 is a front view (A) and a side view (B) of an embodiment of the present invention.
The embodiment shown in FIG. 1 is, for example, an aluminum calibrator (calibration bar) 1 whose front side is processed into a stepped shape, and the surface that is lowered by one step provides a reference for the length. The
[0015]
Further, the thickness of the
[0016]
Next, the operation of the present embodiment will be described with reference to FIG.
First, in this example, as the
[0017]
At the time of calibration, as shown in FIG. 2 (A), the
[0018]
Next, after removing the
[0019]
Here, assuming that the thickness of the
[0020]
On the other hand, when only the test piece W is sandwiched between the
[0021]
Here, in the above embodiment, it is necessary to reduce the thickness of the
[0022]
In the case of using a calibrator 1 'as shown in FIG. 3, the stepped
[0023]
Another embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
The calibration device of this embodiment is constituted by a
[0024]
The
[0025]
As shown in the plan view of FIG. 5 and the cross-sectional view of FIG. 6, the mounting plate 3 is fixed to a base base 3a on which the
[0026]
Both end portions of the
[0027]
Next, the operation of this embodiment will be described together with the usage method.
First, the
[0028]
The procedure is as follows. First, the mounting plate 3 is positioned with respect to the testing machine, and the
[0029]
Next, the test piece W to be measured is sandwiched between the arc portion on one end side of the
[0030]
Then, the reference mark m attached to the moving
[0031]
【The invention's effect】
As described above, by using the calibration apparatus of the present invention, the distance between the camera and the object to be imaged at the time of calibration and the distance between the camera and the object to be imaged at the time of actual measurement can always be made equal. Does not include errors due to the thickness. Therefore, accurate calibration can be performed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an explanatory diagram of an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an operation explanatory diagram of an embodiment of the present invention. FIG. 3 is a diagram showing a modification of the embodiment shown in FIG. FIG. 5 is a perspective view showing a structure of a
1 Calibrator (calibration bar)
Claims (2)
長さの基準を提供する基準面を有し、当該校正装置を試験機の掴み具に、試験片または試験片と同じ厚みの板と共に挟んで取り付けた状態で、その基準面とカメラとの距離が、実際の計測時における試験片のマークを含む面とカメラとの距離と等しくなるように構成されていることを特徴とする光学式伸び計用校正装置。A calibration device used for an extensometer that measures the elongation of a test piece in a non-contact manner by photographing two marks attached to the surface of the test piece with a camera and moving the images of the two marks.
The distance between the reference plane and the camera with a reference plane that provides a reference for the length, with the calibration device attached to the grip of the tester with a test piece or a plate of the same thickness as the test piece. Is configured to be equal to the distance between the surface including the mark of the test piece and the camera at the time of actual measurement.
長さの基準を提供する基準面を有する校正器と、この校正器の試験機への取付位置を規定する規定手段を備え、その規定手段は、校正器の取付位置を、試験片の厚みに応じて、試験片の厚みが0であるときの位置に対して、試験片の厚みの1/2の距離だけ移動するように構成されており、校正を行うときに、校正器の基準面とカメラとの距離が、実際の計測時における試験片のマークを含む面とカメラとの距離に等しくなる位置に、上記基準面が配置されるように構成されていることを特徴とする光学式伸び計用校正装置。A calibration device used for an extensometer that measures the elongation of a test piece in a non-contact manner by photographing two marks attached to the surface of the test piece with a camera and moving the images of the two marks.
A calibrator having a reference surface for providing a length reference and a defining means for defining the mounting position of the calibrator on the test machine, the defining means changing the mounting position of the calibrator to the thickness of the test piece. Accordingly, it is configured to move by a distance that is ½ of the thickness of the test piece with respect to the position when the thickness of the test piece is 0. An optical extension characterized in that the reference plane is arranged at a position where the distance from the camera is equal to the distance between the plane including the mark of the test piece and the camera during actual measurement. Meter calibration equipment.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04754498A JP3876516B2 (en) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | Calibration device for optical extensometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04754498A JP3876516B2 (en) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | Calibration device for optical extensometer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11248428A JPH11248428A (en) | 1999-09-17 |
JP3876516B2 true JP3876516B2 (en) | 2007-01-31 |
Family
ID=12778101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04754498A Expired - Fee Related JP3876516B2 (en) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | Calibration device for optical extensometer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3876516B2 (en) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104792297A (en) * | 2015-04-20 | 2015-07-22 | 上海市计量测试技术研究院 | Calibration device for extensometer |
US10928193B2 (en) * | 2016-05-24 | 2021-02-23 | Illinois Tool Works Inc. | Three-dimensional calibration tools and methods |
CN108827813A (en) * | 2018-06-28 | 2018-11-16 | 湖北省计量测试技术研究院 | A kind of multi-functional extensometer marking apparatus |
WO2020065815A1 (en) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 株式会社島津製作所 | Material testing machine |
CN114088567B (en) * | 2021-11-22 | 2024-07-05 | 西安汉唐分析检测有限公司 | Calibration method of non-contact video extensometer |
-
1998
- 1998-02-27 JP JP04754498A patent/JP3876516B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11248428A (en) | 1999-09-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040602 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051031 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060307 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060428 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061010 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061023 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091110 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101110 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111110 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121110 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121110 Year of fee payment: 6 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131110 Year of fee payment: 7 |
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