JP3857054B2 - サーボ制御装置 - Google Patents
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Description
この発明は、サーボ制御装置に関し、特に、工作機械等を駆動するサーボモータの制御のためのサーボ制御装置に関するものである。
背景技術
図14は、従来のサーボ制御装置を示したブロック図である。図において、1は位置指令生成部、2は位置制御部、3は速度制御部、4は機械系の固有振動数等による共振や振動の除去を目的に設けられた、例えばノッチフィルタ等からなる機械共振抑制フィルタ、5は電流制御部、6は例えば電力増幅回路等からなる電流駆動手段である。7は機械系を駆動するサーボモータ、8はサーボモータ7の回転位置を検出するエンコーダ、9はエンコーダ8の出力する位置検出信号を微分して速度を算出する微分手段である。なお、エンコーダ8及び微分手段9により、モータ速度の検出手段が構成される。
10は位置指令生成部1から出力される位置指令信号、11はエンコーダ8から出力されるサーボモータ7の回転位置を示す位置フィードバック信号、12は位置制御部2から出力される速度指令信号、13は微分手段9から出力される速度検出信号(速度フィードバック信号)、14は速度指令信号12と速度検出信号13との差分である速度偏差信号、15は速度制御部3から出力される電流指令信号、16は機械共振抑制フィルタ4を通して再度生成されたフィルタ出力電流指令信号、17はサーボモータ7に流れる電流を示す電流フィードバック信号である。
このサーボ制御装置は、位置指令生成部1により出力される位置指令信号10にエンコーダ8より検出されたサーボモータ7の回転位置を示す位置フィードバック信号11が追従するように、サーボモータ7を制御するように構成されている。また、この動作を高速安定に行うために位置指令信号10と位置フィードバック信号11との偏差信号にもとづき位置制御部2が速度指令信号12を生成する。さらに、位置フィードバック信号11に基づいて微分手段9により生成される速度フィードバック信号13が、速度指令信号12に追従するように、速度制御部3がサーボモータ7への電流指令信号15を出力している。
16は、上述したように、機械共振抑制フィルタ4が出力するフィルタ出力電流指令信号である。サーボモータ7に流れる電流値を示す電流フィードバック信号17が電流指令信号16に追従するように、電流制御部5および電力増幅器6はサーボモータ7に流す電流を制御する。また、18はサーボモータ7により駆動される機械系で、これによる反力19がサーボモータ7の出力に作用する。
ここで、サーボモータ7の指令に対する追従性を高めるために位置指令信号10から位置フィードバック信号11までの位置ループの応答性、あるいは、速度指令信号12から速度フィードバック信号13までの速度ループの応答性を上げていくと、サーボモータ7が駆動する機械系18に存在する固有振動数により機械共振や振動が発生し、機械系18の動作だけでなく、サーボモータ7の制御ループ自体にも不安定さをもたらす。
上記のような従来のサーボ制御装置においては、機械共振や振動を低減する目的で、機械共振抑制フィルタ4が電流指令信号15及び16の間に挿入されているが、機械系18の固有振動数が低く機械共振や振動の周波数が低い場合、機械共振抑制フィルタ4の共振除去周波数の設定も低くとらなければならず、その結果、この機械共振抑制フィルタ4の設定周波数が速度ループの応答帯域に近づくと、サーボ制御ループ、特に、速度指令信号12から速度フィードバック信号13までの位相の遅れの影響が大きくなり、速度指令信号12から速度フィードバック信号13までの閉ループである速度ループの位相余裕がなくなり、制御系が不安定となる。これは、サーボ制御系の応答性を向上させサーボシステムの目的である位置指令信号10への位置フィードバック信号11の追従性の向上においても性能を上げることの妨げとなるという問題点があった。
また、機械共振抑制フィルタ4としては、ある固定周波数成分だけを除去するノッチフィルタが多く用いられるが、機械系18の固有振動数は複数存在する場合が多く、全ての機械共振をノッチフィルタにより取り除くのは困難である。これに対して、機械共振抑制フィルタ4にローパスフィルタを用い、ある特定の周波数以上のゲインを落とすことも考えられるが、この場合、設定周波数に対してかなり低い周波数帯域から位相が遅れはじめるため、速度ループの制御帯域においても影響を与えやすく、ノッチフィルタに対してさらに速度ループの位相余裕を得ることが難しいという問題点があった。
発明の開示
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたものであり、機械共振抑制フィルタの位相遅れを演算し、その位相遅れに相当する速度成分を実際のモータ速度に加えたものを、制御に使用する速度フィードバック信号とすることで、機械共振フィルタを挿入したことにより生じる位相遅れの影響を低減し、結果としてサーボ系のハイゲイン化を実現できるサーボ制御装置を得ることを目的とする。
この発明は、所定の機械系を駆動するためのサーボーモータと、サーボモータの位置及び速度を検出する検出手段と、外部から入力された位置指令信号と検出手段から出力される位置検出信号との差分にもとづき速度指令信号を生成する位置制御手段と、位置制御手段に接続され、サーボモータへ流すべき電流値を示す第一の電流指令信号を生成する速度制御手段と、第一の電流指令信号を機械系の固有振動数による共振及び振動を抑制するための第二の電流指令信号に変換するための機械共振抑制フィルタ手段と、第二の電流指令信号にもとづきサーボモータに流す電流を制御する電流制御手段と、機械共振抑制フィルタ手段を設けたことによる速度指令信号から速度検出信号までの速度ループにおける位相遅れに相当する速度成分を第一の電流指令信号にもとづき演算し、演算により得られた速度成分を位相遅れ補償信号として出力する位相補償手段と、位相遅れ補償信号を速度検出信号に付加することにより速度フィードバック信号を生成する速度フィードバック信号生成手段と、を備え、速度制御手段が、位置制御手段から出力される速度指令信号と速度フィードバック信号との差分にもとづき、第一の電流指令信号を生成することを特徴とするサーボ制御装置である。
また、機械共振抑制フィルタ手段がFIR型のノッチフィルタから構成されるサーボ制御装置である。
また、機械共振抑制フィルタ手段が、特定周波数以上の周波数成分の除去を行うローパスフィルタから構成されるサーボ制御装置である。
また、ローパスフィルタが積分器を有するサーボ制御装置である。
また、位相補償手段と上記速度フィードバック信号生成手段との間に設けられ第一の電流指令信号の周波数が所定の値より低い場合に、位相遅れ補償信号を低減させる補償信号低減手段を設けたサーボ制御装置である。
また、速度制御手段が、比例制御を行う比例制御部と積分制御を行う積分制御部とから構成され、比例制御部が、位置制御手段から出力される速度指令信号と速度フィードバック信号との差分にもとづき、比例項分電流指令信号を生成し、積分制御部が、位置制御手段から出力される速度指令信号と検出手段から出力される速度検出信号との差分にもとづき、積分項分電流指令信号を生成して、比例項分電流指令信号と積分項分電流指令信号とを合わせたものを、速度制御手段の出力である上記第一の電流指令信号とするサーボ制御装置である。
また、位相補償手段の入力として、比例制御部から出力される比例項分電流指令信号を用いるサーボ制御装置である。
発明を実施するための最良の形態
以下、この発明の好適な実施の形態について図面を参照して説明する。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1によるサーボ制御装置のブロック図である。図において、1〜19は上述の図14で示したものと同様であるため、ここでは説明を省略する。なお、20は位相補償器であり、速度制御部3が出力する電流指令信号15を受けて位相遅れ補償信号21を出力するものである。また、この実施の形態における機械共振抑制フィルタ4はFIR型のノッチフィルタから構成されている。
この実施の形態1におけるサーボ制御装置の動作としては、基本的には図14の従来例と同じであるが、異なる点は、この実施の形態においては、速度検出信号13に位相補償器20の出力である位相遅れ補償信号21を加えて、速度フィードバック信号22を作成していることである。この実施の形態1において、位相補償器20は、入力として、機械共振抑制フィルタ4への入力信号である電流指令信号15と同じものを使用し、機械共振抑制フィルタ4を挿入したことによる、速度指令信号12から速度検出信号13までの速度ループにおける位相遅れ分を演算している。
図2は、この発明の実施の形態1において、機械共振抑制フィルタ4に代表的なFIRフィルタを使用した場合の、位相遅れの補償方法を示している。ここで、電流指令信号16から電流フィードバック信号17までの電流ループの応答性は一般的に、その外のループである速度ループの応答性に対して十分に高いので、電流指令信号16はそのままサーボモータ7に流れる電流値として扱うことができる。図2に示すように、この実施の形態においては、機械共振抑制フィルタ4は、(k)の項4aと、(z−n)の項4bと、(1−k)の項4cと、(1/2k)の項4dとから構成されている。電流指令信号15が項4a及び項4bに入力され、項4aの出力に項4b及び項4cを介した出力を加えたものを項4dに入力し、項4dからの出力を機械共振抑制フィルタ4の出力16とする。また、位相補償器20は、(k)の項20aと、(z−n)の項20bと、(1−k)の項20cと、(1/2k)の項20dと、(Ktハット/Jハットs)の項24とから構成されている。電流指令信号15が項20a及び項20bに入力され、項20aの出力から、項20b及び項20cを介した出力を差し引いたものを項20dに入力し、さらに、項20dからの出力を項24に入力して、項24からの出力を位相補償器20の出力21とする。なお、図2中の(Kt/Js)の項23は、モータ電流からモータの速度までを表わした項であり、モータ電流17(=電流指令信号16)から速度検出信号13までの伝達関数となる。同様に、図2の(Ktハット/Jハットs)の項24は、制御系からみたモータ電流17から速度検出信号13までの伝達関数となる。ここで、Ktはモータ電流に対してサーボモータ7の出力するトルクの比を表わすモータのトルク定数であり、Jは機械系18およびサーボモータ7を含めたモータ軸換算負荷イナーシャである。このとき、位相遅れ補償は、サーボ制御装置内部で、図2に示した構成(20a〜20d及び24)を有する位相補償器20により演算する。尚、モータのトルク定数Ktおよびモータ軸換算負荷イナーシャJは設計値、あるいは、サーボモータ7および機械製作時の実測値からKtは既知とできる。なお、図2の(k)の項4a及び20a、および、(1−k)の項4c及び20cにおける係数kは、ノッチフィルタ(デジタルフィルタ)が有する所定の比例定数であり、一般的なノッチフィルタではk=0.5という値が用いられている。k=0.5のときが入力された信号のもつフィルタの中心周波数付近の信号成分が最も除去され、kの値を0.5から1に近づけていくと除去される信号成分が減少する。また、(z−n)の項4b及び20bにおけるz−nという記号は、離散時間を表すときに用いられる一般的な記号である。実際のデジタル制御では、ある固定の周期(サンプリング周期)毎にCPUが処理を実行することが知られているが、(z−n)とは、そのサンプリングされたn回前のサンプリングデータを出力する関数を示す。
ここで、図3は、図2中の(Ktハット/Jハットs)の項24が実際の(Kt/Js)の項23と等しいとした場合の機械共振抑制フィルタ4入力前の電流指令信号15から速度フィードバック22までのブロック図を表わしたものである。図2からわかるように、機械共振抑制フィルタ4の構成要素と位相補償器20の構成要素の違いは2つであり、1つは、位相補償器20内に(Ktハット/Jハットs)の項24が余分に設けられている点で、他の構成要素4a〜4c及び20a〜20cは互いに相当するものである。もう1つは、上述したように、機械共振抑制フィルタ4においては、kの項4aの出力信号に(1−k)の項4cの出力信号を加えているが、位相補償器20においては、逆に、kの項20aの出力信号から(1−k)の項20cの出力信号を差し引いている。従って、項23と項24が同じ場合には、(1−k)の項4cの出力と(1−k)の項20cの出力とが相殺される形となって、図3のブロック図のようになる。
このように、図1及び図2のブロック図に示す位相補償器20により機械共振抑制フィルタ4による位相の遅れは補正され、機械共振抑制フィルタ4を挿入することで生じる位相遅れは改善される。また、位相補償器20は、機械共振抑制フィルタ4によりゲインがカットされた周波数帯域を補償する形で構成されているため、位相補償の必要がない低周波数帯域においてはその位相補償信号21はほとんど無視でき、実機械速度である速度検出信号13と速度指令信号12はほぼ一致する。
図9は、機械共振を約600Hzにもつ従来のサーボシステムの速度指令から速度フィードバックまでの速度ループの周波数応答を示すシミュレーション結果である。ここで、この600Hzの共振はそのゲインが0dBを超えており、サーボ制御系および機械系に対しても悪影響を及ぼす。そこで、図10はこのようなシステムにおいて、ノッチフィルタを速度制御部3の後ろに挿入した図14に示す従来のサーボシステムの場合を示す。この時、600Hzの機械共振の影響は緩和できているものの、ノッチフィルタの位相遅れの影響で速度制御の帯域において、ゲインが0dBを超えて盛り上がり、また位相余裕もなくなっており、速度制御ループとして不安定なシステムとなっていることがわかる。ここで、図11は、本発明の実施の形態1による図1および図2の位相補償器20を導入した場合のサーボ制御装置の速度指令信号12から速度検出信号13までの速度ループ周波数応答を表わしている。このとき、図10に見られた速度制御帯域におけるゲインの盛り上がりも無くなり、位相余裕も得られた安定した制御ループとすることができている。
上述したように、サーボモータを用いて工作機械や駆動装置の送り軸の位置を制御するサーボ制御装置においては、機械系のもつ固有振動数による共振や機械振動を抑制しサーボ系のハイゲイン化をはかる目的で、通常、機械共振抑制フィルタ4が挿入される。しかしながら、機械共振周波数が低く、速度ループや位置ループの制御帯域に近づいた場合、機械共振抑制フィルタ4を挿入するとそのフィルタのもつ位相遅れにより、サーボ制御系の位相余裕がなく不安定なシステムとなる場合がある。このような場合、結局、サーボループの制御帯域を落として対処せざるを得なく、サーボ系のハイゲイン化がはかれず高応答で高性能なサーボシステムを得ることが困難であったが、本発明によれば、このような機械共振抑制フィルタの位相遅れを演算し、その位相遅れに相当する速度成分を実際のモータ速度に加えた速度フィードバック信号22を制御に使用することで、機械共振フィルタを挿入したことにより生じる位相遅れの影響を低減し、結果としてサーボ系のハイゲイン化を実現することができる。
実施の形態2.
図4は、この発明の実施の形態2によるサーボ制御装置の部分ブロック図である。図4に示されていない他の構成については上述の図1と同様であるため、図1を参照する。実施の形態2においては、図1の機械共振抑制フィルタ4の代わりに、ローパスフィルタからなる機械共振抑制フィルタ4Aを使用した場合の、位相遅れの補償方法を示している。機械共振抑制フィルタ4Aは、図4に示すように、(1/(s+α))の項4eの一次遅れ系から構成されている。また、この実施の形態2における位相補償器20Aは、図4に示すように、sの項20eと、(1/s)の項20fと、αの項20gと、(Ktハット/Jハットs)の項24とから構成されている。ここで、sはラプラス演算子であり、sは微分、1/sは積分を示す。ここで、電流指令信号16から電流フィードバック信号17までの電流ループの応答性は、一般的に、その外のループである速度ループの応答性に対して十分に高いので、上述の図2同様、電流指令信号16はそのままサーボモータ7に流れる電流値として扱うことができる。
ここで、実施の形態1と同様に、図4中の(Ktハット/Jハットs)の項24が実際の(Kt/Js)の項23と等しいとした場合には機械共振抑制フィルタ4A入力前の電流指令信号15から速度フィードバック22までの伝達関数は、図3のブロック図で表わすことができる。したがって、図1及び図4のブロック図に示す位相補償により機械共振抑制フィルタ4Aによる位相の遅れは補正され、機械共振フィルタを挿入することで生じる位相遅れは改善される。また、位相補償器20Aは機械共振抑制フィルタ4Aによりゲインがカットされた周波数帯域を補償する形で構成されているため、位相補償の必要がない低周波数帯域においてはその位相補償信号21はほとんど無視でき、実機械速度である速度検出信号13と速度指令信号12はほぼ一致する。
上述したように、機械共振抑制フィルタとしてはできるだけ抑制したい周波数成分にだけフィルタ効果を作用させたい目的で、ノッチフィルタが使用されるが、多くの周波数の機械共振をもつシステムの場合、ノッチフィルタでは対処できない場合がある。このような場合、フィルタとして、特定周波数以上の周波数成分の除去を行うローパスフィルタが効果的であるが、ローパスフィルタで共振を機械抑制しようとした場合、そのカットオフ周波数はかなり低いところに設定しなくてはならず、サーボ制御帯域に及ぼす影響も大きくなりサーボ系のハイゲイン化も困難となる。しかしながら、本実施の形態によれば、このように機械共振抑制フィルタにローパスフィルタを用いた場合でも、その位相遅れを補償することで、制御系を安定にハイゲイン化することができる。
実施の形態3.
図5は、この発明の実施の形態3によるサーボ制御装置の部分ブロック図である。ここでは、上述の図4の位相補償器20Aの構成で行っていた電流指令信号15の微分器20eを無くし、かつ、項24の積分動作を無くして一次遅れ系で位相補償器20Bを構成することにより、電流指令15に含まれるノイズなどの影響による位相遅れ補償信号21の誤差を低減する。この実施の形態においては、図5に示すように、位相補償器20Bは、(1/(s+α))の項20hと、(Ktハット/Jハット)の項24Bとから構成されている。他の構成については、上述の図1及び図4と同様であるため、ここでは説明を省略する。
ここで、図12は、図9の速度ループ周波数応答を示す機械共振を約600Hzにもつサーボシステムにおいて、100Hzにカットオフ帯域をもつローパスフィルタを機械共振抑制フィルタとして速度制御部3の後ろに挿入した場合における従来のサーボシステムの速度ループ周波数応答を示したものである。ここでも、ローパスフィルタによる位相の遅れにより速度制御の帯域において、ゲインが0dBを超えて盛り上がり、また位相余裕もなくなっており、速度制御ループとして不安定なシステムとなる。
ここで、図13は、図1および図5に示した本実施の形態における位相補償器20Bを導入した場合のサーボシステムの速度指令12から速度検出信号13までの速度ループ周波数応答を表わしている。このとき、図12に見られた速度制御帯域におけるゲインの盛り上がりも無くなり、位相余裕も得られた安定した制御ループとすることができている。
以上のように、この実施の形態においては、上記実施の形態1と同様の効果が得られるとともに、さらに、機械共振抑制フィルタにローパスフィルタを用いた場合の位相遅れ補償演算を簡単な一次遅れで構成することにより、電流指令に含まれるノイズなどの影響による位相遅れ補償信号に生じる誤差を低減できる。
実施の形態4.
図6は、この発明の実施の形態4によるサーボ制御装置のブロック図である。図6に示す構成は、基本的には図1と同様であるが、この実施の形態においては、速度検出信号13に位相補償器20の出力である位相遅れ補償信号21を加える前に、更に、特定周波数以下の周波数成分の除去を行うハイパスフィルタ25を挿入し、電流指令信号15の周波数が低い場合には、低周波域の位相遅れ補償分の信号を低減させるものである。ここで、機械共振抑制フィルタ4、および、位相補償器20は、本発明の上述した実施の形態1、2及び3のいずれのものを用いるようにしてもよい。
この発明においては、機械共振抑制フィルタによる位相遅れを補償することを目的としているが、この位相遅れは上記フィルタが通常、制御帯域より高い周波数の機械共振などを抑制することを目的に挿入されるため、低周波数帯域においてはもともと位相補償の必要性がない。もともとこの発明の実施の形態1、2及び3における位相補償器20は機械共振抑制フィルタによりゲインがカットされた周波数帯域を補償する形で構成されているため、位相補償の必要がない低周波数帯域においてはその位相補償信号21はほとんど無視でき、実機械速度である速度検出信号13と速度指令信号12はほぼ一致する。しかし、機械共振抑制フィルタの設定周波数が低い場合に、例えば、電流指令信号15の周波数が所定の値より低いと、位相遅れ補償信号21の影響が機械の位置決め精度等に影響がある場合がある。そのような場合には、本実施の形態における図6に示したハイパスフィルタ25を挿入し、特定周波数以下の周波数成分を除去することにより、位相補償信号21を低減させるようにすれば、この影響を軽減することができる。このように、ハイパスフィルタ25は、位相遅れ補償信号を低減させるための補償信号低減手段を構成している。
この実施の形態においては、機械共振抑制フィルタの設定周波数が低く、位相遅れ補償信号21の影響が機械の位置決め精度等に影響がある場合においても、位相遅れ補償信号21の出力にハイパスフィルタ25を挿入することでこの影響を軽減することができる。
実施の形態5.
図7はこの発明の実施の形態5によるサーボ制御装置を示したブロック図である。この実施の形態5における速度制御部3は、PI制御を基本構成としている。ここで、機械共振抑制フィルタ4、および、位相補償器20は、本発明の上述の実施の形態1、2及び3のいずれのものも適用することができる。また、図7において、28は比例制御部、29は積分制御部、27は速度指令信号12と実機械速度を表わす速度検出信号13との偏差信号、30は比例制御部28から出力される比例項分電流指令信号、31は積分制御部29から出力される積分項分電流指令信号である。なお、速度制御部3の出力である電流指令信号15は、比例項分電流指令信号30と積分項分電流指令信号31とを合わせたものから構成されている。
この実施の形態においては、位相補償器20の出力信号21により実機械速度である速度検出信号13と速度指令信号12の間の偏差を補償することを目的とし、機械共振抑制フィルタ4による位相遅れが問題とならない低周波数帯域で上記偏差を0にするために、PI制御のうちでもI制御、つまり積分制御を行う積分制御部29の入力に、実機械速度である速度検出信号13と速度指令信号12の偏差である偏差信号27を入力し、高周波数帯域での機械共振抑制フィルタ4の位相遅れを補償するためにPI制御のうちでもP制御、つまり比例制御を行う比例制御部28の入力には、速度検出信号13に位相遅れ補償信号21を負荷した速度フィードバック信号22と速度指令信号12の偏差である偏差信号14を入力する。
以上のように、この実施の形態においては、速度制御部3CにおけるPI制御において、P制御である比例制御部28の入力には速度指令信号12と位相遅れ補償分21を加えた速度フィードバック信号22との差分を、I制御である積分制御部29の入力には速度指令信号12と位相遅れ補償分21を加えない速度検出信号(速度フィードバック信号)13との差分を用いることで、位相遅れ補償分21を速度フィードバックに加えたことで生じる速度指令信号12と実際の速度フィードバックの誤差を無くすことができる。
実施の形態6.
図8は、この発明の実施の形態6によるサーボ制御装置のブロック図である。この実施の形態6では、速度制御部3Dが、PI制御を基本構成とした場合についての構成を示している。この実施の形態における速度制御部3Dの構成は、基本的には、上述した図7の速度制御部3Cの構成と同様であるが、この実施の形態においては、位相補償器20への出力を電流指令信号15とせずに、比例制御部28の出力信号である比例項分電流指令信号30とした点が異なる。ここで、機械共振抑制フィルタ4、および、位相補償器20は、この発明の上述した実施の形態1、2及び3のいずれのものも適用することができる。
この実施の形態においては、機械系18の摩擦や負荷トルク、あるいは、重力軸等に適用した場合のアンバランストルクなどが大きいシステムにおいて、PI制御の出力する電流指令信号15が、これらのトルクの影響によりサーボモータ7の加速や減速の直接のモータ回転の動きに現れない静的な値を示した場合に、本来必要とする値より大きな位相遅れ補償信号21が発生することにより、実機械速度である速度検出信号13と速度指令信号12の間の偏差を発生させることがないように構成したものである。つまり、上記の機械系18の摩擦や負荷トルク、あるいは、重力軸等に適用した場合のアンバランストルクなどに対応した電流指令信号15は、図8中の積分項分電流指令信号31によるものが大きく比例項分電流指令信号30の占める割合は少ない。逆に高周波数帯域では比例項分電流指令30が占める割合が高くなる。したがって、この実施の形態においては、位相遅れ補償を行うための演算に使用する信号としては、比例項分電流指令信号30を使用するようにした。これにより、機械共振抑制フィルタ4に対してはその位相遅れを補償でき、摩擦や負荷トルク、あるいは重力軸等に適用した場合のアンバランストルク等により不必要に位相遅れ補償信号21が大きくなることは改善できる。
上述したように、この実施の形態においては、位相補償器20の入力信号として、電流指令信号15ではなく、比例制御部28の出力する比例項分電流指令信号30を用いることで、機械系18の負荷トルクやアンバランストルクにより電流指令信号15が静的にある値をもつ場合に位相遅れ補償信号21が大きくなり、速度指令信号12と実際の速度検出信号13(速度フィードバック信号)の誤差が大きくなるのを防止することができる。
産業上の利用の可能性
この発明は、所定の機械系を駆動するためのサーボーモータと、サーボモータの位置及び速度を検出する検出手段と、外部から入力された位置指令信号と検出手段から出力される位置検出信号との差分にもとづき速度指令信号を生成する位置制御手段と、位置制御手段に接続され、サーボモータへ流すべき電流値を示す第一の電流指令信号を生成する速度制御手段と、第一の電流指令信号を機械系の固有振動数による共振及び振動を抑制するための第二の電流指令信号に変換するための機械共振抑制フィルタ手段と、第二の電流指令信号にもとづきサーボモータに流す電流を制御する電流制御手段と、機械共振抑制フィルタ手段を設けたことによる速度指令信号から速度検出信号までの速度ループにおける位相遅れに相当する速度成分を第一の電流指令信号にもとづき演算し、演算により得られた速度成分を位相遅れ補償信号として出力する位相補償手段と、位相遅れ補償信号を速度検出信号に付加することにより速度フィードバック信号を生成する速度フィードバック信号生成手段と、を備え、速度制御手段が、位置制御手段から出力される速度指令信号と速度フィードバック信号との差分にもとづき、第一の電流指令信号を生成することを特徴とするサーボ制御装置であるので、機械共振抑制フィルタによる位相遅れを演算し、その位相遅れに相当する速度成分を実際のモータ速度に加えた速度フィードバック信号を制御に用いるようにしたので、機械共振抑制フィルタを挿入したことにより生じる位相遅れの影響を低減し、結果としてサーボ系のハイゲイン化を実現できる効果がある。
また、機械共振抑制フィルタ手段がFIR型のノッチフィルタから構成されるので、容易に固定周波数成分を取り除くことができ、製造も容易で、かつ、フィルタによる位相遅れに相当する速度成分を実際のモータ速度に加えた速度フィードバック信号を制御に用いるようにしたので、機械共振抑制フィルタを挿入したことにより生じる位相遅れの影響を低減し、結果としてサーボ系のハイゲイン化を実現できる効果がある。
また、機械共振抑制フィルタ手段が、特定周波数以上の周波数成分の除去を行うローパスフィルタから構成されるサーボ制御装置であるので、容易に所定の周波数以上のゲインを落とすことができるとともに、かつ、フィルタによる位相遅れに相当する速度成分を実際のモータ速度に加えた速度フィードバック信号を制御に用いるようにしたので、機械共振抑制フィルタを挿入したことにより生じる位相遅れの影響を低減し、結果としてサーボ系のハイゲイン化を実現できる効果がある。
また、ローパスフィルタが積分器を有するサーボ制御装置であるので、積分器による簡単な一次遅れ系で構成することにより、電流指令信号に含まれるノイズなどの影響による位相遅れ補償信号に生じる誤差を低減できる効果がある。
また、位相補償手段と上記速度フィードバック信号生成手段との間に設けられ第一の電流指令信号の周波数が所定の値より低い場合に、位相遅れ補償信号を低減させる補償信号低減手段を設けたサーボ制御装置であるので、機械共振抑制フィルタの設定周波数が低く、位相遅れ補償信号の影響が機械の位置決め精度に影響がある場合に対しても、位相遅れ補償信号の出力に補償信号低減手段を挿入することで、この影響を軽減できる効果がある。
また、速度制御手段が、比例制御を行う比例制御部と積分制御を行う積分制御部とから構成され、比例制御部が、位置制御手段から出力される速度指令信号と速度フィードバック信号との差分にもとづき、比例項分電流指令信号を生成し、積分制御部が、位置制御手段から出力される速度指令信号と検出手段から出力される速度検出信号との差分にもとづき、積分項分電流指令信号を生成して、比例項分電流指令信号と積分項分電流指令信号とを合わせたものを、速度制御手段の出力である上記第一の電流指令信号とするサーボ制御装置であるので、位相遅れ補償を速度フィードバックに加えたことで生じる速度指令信号と実際の速度フィードバック信号との誤差を無くす効果がある。
また、位相補償手段の入力として、比例制御部から出力される比例項分電流指令信号を用いるサーボ制御装置であるので、機械系の負荷トルクやアンバランストルクにより電流指令が静的に所定のある値ををもつ場合に位相補償信号が大きくなり、速度指令信号と実際の速度フィードバック信号の誤差が大きくなるのを防止する効果がある。
【図面の簡単な説明】
図1は、この発明の実施の形態1に係わるサーボ制御装置を示すブロック図、
図2は、図1のサーボ制御装置における機械共振抑制フィルタと位相補償器の関係を示す部分ブロック図、
図3は、この発明の実施の形態1の効果を示すブロック図、
図4は、この発明の実施の形態2における機械共振抑制フィルタと位相補償器の関係を示す部分ブロック図、
図5は、この発明の実施の形態3における機械共振抑制フィルタと位相補償器の関係を示す部分ブロック図、
図6は、この発明の実施の形態4に係わるサーボ制御装置を示すブロック図、
図7は、この発明の実施の形態5に係わるサーボ制御装置を示すブロック図、
図8は、この発明の実施の形態6に係わるサーボ制御装置を示すブロック図、
図9は、機械共振をもつ従来のサーボ制御装置の速度ループの周波数応答を示すグラフ、
図10は、機械共振をもつ従来のサーボ制御装置にノッチフィルタを適用した場合の速度ループの周波数応答を示すグラフ、
図11は、この発明の実施の形態1の効果を示す機械共振をもつサーボ制御装置の速度ループの周波数応答を示すグラフ、
図12は、機械共振をもつ従来のサーボ制御装置にローパスフィルタを適用した場合の速度ループの周波数応答を示すブロック図、
図13は、この発明の実施の形態3の効果を示す機械共振をもつサーボ制御装置の速度ループの周波数応答を示すグラフ、
図14は、従来のサーボ制御装置を示すブロック図である。
Claims (7)
- 所定の機械系を駆動するためのサーボーモータと、
上記サーボモータの位置及び速度を検出する検出手段と、
外部から入力された位置指令信号と上記検出手段から出力される位置検出信号との差分にもとづき速度指令信号を生成する位置制御手段と、
上記位置制御手段に接続され、上記サーボモータへ流すべき電流値を示す第一の電流指令信号を生成する速度制御手段と、
上記第一の電流指令信号を上記機械系の固有振動数による共振及び振動を抑制するための第二の電流指令信号に変換するための機械共振抑制フィルタ手段と、
上記第二の電流指令信号にもとづき上記サーボモータに流す電流を制御する電流制御手段と、
上記機械共振抑制フィルタ手段を設けたことによる上記速度指令信号から上記速度検出信号までの速度ループにおける位相遅れに相当する速度成分を上記第一の電流指令信号にもとづき演算し、演算により得られた上記速度成分を位相遅れ補償信号として出力する位相補償手段と、
上記位相遅れ補償信号を上記速度検出信号に付加することにより速度フィードバック信号を生成する速度フィードバック信号生成手段と、
を備え、
上記速度制御手段が、上記位置制御手段から出力される上記速度指令信号と上記速度フィードバック信号との差分にもとづき、上記第一の電流指令信号を生成することを特徴とするサーボ制御装置。 - 上記機械共振抑制フィルタ手段がFIR型のノッチフィルタから構成されることを特徴とする請求項1記載のサーボ制御装置。
- 上記機械共振抑制フィルタ手段が、特定周波数以上の周波数成分の除去を行うローパスフィルタから構成されることを特徴とする請求項1記載のサーボ制御装置。
- 上記ローパスフィルタが積分器を有することを特徴とする請求項3記載のサーボ制御装置。
- 上記位相補償手段と上記速度フィードバック信号生成手段との間に設けられ、上記第一の電流指令信号の周波数が所定の値より低い場合に、上記位相遅れ補償信号を低減させる補償信号低減手段を設けたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載のサーボ制御装置。
- 上記速度制御手段が、比例制御を行う比例制御部と積分制御を行う積分制御部とから構成され、
上記比例制御部が、上記位置制御手段から出力される上記速度指令信号と上記速度フィードバック信号との差分にもとづき、比例項分電流指令信号を生成し、
上記積分制御部が、上記位置制御手段から出力される上記速度指令信号と上記検出手段から出力される上記速度検出信号との差分にもとづき、積分項分電流指令信号を生成して、
上記比例項分電流指令信号と上記積分項分電流指令信号とを合わせたものを、上記速度制御手段の出力である上記第一の電流指令信号とすることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載のサーボ制御装置。 - 上記位相補償手段の入力として、上記比例制御部から出力される上記比例項分電流指令信号を用いることを特徴とする請求項6記載のサーボ制御装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP1999/002521 WO2000070739A1 (fr) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | Servocommande |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3857054B2 true JP3857054B2 (ja) | 2006-12-13 |
Family
ID=14235692
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000619082A Expired - Fee Related JP3857054B2 (ja) | 1999-05-14 | 1999-05-14 | サーボ制御装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6274994B2 (ja) |
JP (1) | JP3857054B2 (ja) |
KR (1) | KR100423713B1 (ja) |
DE (1) | DE19983362T1 (ja) |
GB (1) | GB2354087B (ja) |
TW (1) | TW469360B (ja) |
WO (1) | WO2000070739A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114460838A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-05-10 | 上海新时达机器人有限公司 | 一种机械末端抖动抑制方法、位置环和驱动装置 |
Families Citing this family (52)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000322105A (ja) * | 1999-05-07 | 2000-11-24 | Toshiba Mach Co Ltd | サーボ制御装置およびサーボ制御装置の安定化調整方法 |
DE60006666T2 (de) * | 1999-06-04 | 2004-04-15 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki, Kitakyushu | Positionsregelung fuer einen motor |
JP3492583B2 (ja) * | 2000-03-27 | 2004-02-03 | ファナック株式会社 | サーボ制御装置 |
GB2373066B (en) * | 2000-11-01 | 2004-11-10 | Mitsubishi Electric Corp | Servo controller method and its apparatus |
GB2374683B (en) * | 2000-11-01 | 2004-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | Servo control apparatus |
US6900609B2 (en) * | 2001-03-14 | 2005-05-31 | Siemens Aktiengesellschaft | Method and control structure for damping low-frequency load oscillations in drives with a motor and load |
US6949905B2 (en) * | 2001-07-04 | 2005-09-27 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Servo control system and method of setting |
DE10132807C5 (de) * | 2001-07-06 | 2009-01-08 | Siemens Ag | Regelungsverfahren zum Betrieb von gekoppelten Antriebsachsen mit überlagerten Bewegungskomponenten |
JP4578732B2 (ja) * | 2001-08-13 | 2010-11-10 | 株式会社森精機製作所 | 工作機械送り系の制御装置 |
US7813634B2 (en) | 2005-02-28 | 2010-10-12 | Tessera MEMS Technologies, Inc. | Autofocus camera |
WO2003079533A1 (fr) * | 2002-03-20 | 2003-09-25 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Dispositif de commande a fonction de reglage constant |
JP2004086702A (ja) * | 2002-08-28 | 2004-03-18 | Yaskawa Electric Corp | 振動抑制フィルタの自動設定方法 |
US7068923B2 (en) | 2002-11-26 | 2006-06-27 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Speed control apparatus of motor |
JP3739749B2 (ja) * | 2003-01-07 | 2006-01-25 | ファナック株式会社 | 制御装置 |
JP4396100B2 (ja) * | 2003-01-08 | 2010-01-13 | 株式会社安川電機 | 多軸電動機制御装置の共振周波数検出装置 |
JP3805309B2 (ja) * | 2003-01-30 | 2006-08-02 | ファナック株式会社 | サーボモータ駆動制御装置 |
JP4391218B2 (ja) * | 2003-02-20 | 2009-12-24 | 三菱電機株式会社 | サーボ制御装置 |
JP2005082034A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Koyo Seiko Co Ltd | 電動パワーステアリングシステム |
JP4301913B2 (ja) * | 2003-09-29 | 2009-07-22 | オークマ株式会社 | モータ制御装置 |
WO2005093939A1 (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | 電動機制御装置 |
TW200627109A (en) * | 2004-07-27 | 2006-08-01 | Yaskawa Denki Seisakusho Kk | Servo control apparatus |
US7317981B2 (en) * | 2004-11-19 | 2008-01-08 | Honeywell International, Inc. | Aircraft brake actuation system and method including anti-hysteresis control |
JP2006201148A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-08-03 | Toshiba Mach Co Ltd | 信号処理装置、信号処理方法、信号処理プログラム、信号処理プログラムを記録した記録媒体、速度検出装置、サーボ機構 |
US7865338B2 (en) * | 2005-04-07 | 2011-01-04 | Belimo Holding Ag | Suppression of vibrations |
US7697829B1 (en) * | 2005-09-02 | 2010-04-13 | Siimpel Corporation | Electronic damping for stage positioning |
JP4235210B2 (ja) * | 2006-02-16 | 2009-03-11 | ファナック株式会社 | サーボモータの制御装置 |
JP4837558B2 (ja) * | 2006-02-24 | 2011-12-14 | 三菱電機株式会社 | モータ制御装置 |
EP1857902A1 (en) * | 2006-05-18 | 2007-11-21 | Saab Ab | Method and device for controlling backlash |
JP5017984B2 (ja) * | 2006-09-25 | 2012-09-05 | 株式会社安川電機 | サーボ制御装置とその速度追従制御方法 |
US7969103B2 (en) * | 2007-05-14 | 2011-06-28 | Electro Standards Laboratories | Block switching transient minimization for linear motors and inductive loads |
JPWO2008146365A1 (ja) * | 2007-05-29 | 2010-08-12 | 東芝ストレージデバイス株式会社 | コントローラ及び記憶装置 |
JP4476314B2 (ja) * | 2007-08-10 | 2010-06-09 | 三洋電機株式会社 | モータ制御装置及び圧縮機 |
JP5050760B2 (ja) * | 2007-10-02 | 2012-10-17 | ブラザー工業株式会社 | 記録装置 |
JP5159463B2 (ja) * | 2008-06-20 | 2013-03-06 | 三菱電機株式会社 | 電動機の位置決め制御装置 |
DE102008031334A1 (de) * | 2008-07-02 | 2010-01-07 | Dörries Scharmann Technologie GmbH | Verfahren zur Dämpfung von Resonanzstellen mechanischer Antriebe, vorzugsweise Vorschubantriebe von Werkzeugmaschinen |
CN101877567B (zh) * | 2009-04-29 | 2012-09-19 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 马达速度命令产生装置及方法 |
TWI407279B (zh) * | 2010-03-08 | 2013-09-01 | Univ Ishou | Positioning controller |
US8412360B2 (en) | 2010-08-23 | 2013-04-02 | Hitachi Asia Ltd. | Method and system for robust attenuation of mechanical resonances using a multi-rate low pass filter |
JP5947075B2 (ja) * | 2012-03-23 | 2016-07-06 | Dmg森精機株式会社 | 同期モータの制御装置、同期モータの制御方法 |
JP6078300B2 (ja) * | 2012-11-07 | 2017-02-08 | カルソニックカンセイ株式会社 | 電動コンプレッサの制御装置 |
JP5689491B2 (ja) * | 2013-03-05 | 2015-03-25 | ファナック株式会社 | サーボモータの制御装置 |
US20160197568A1 (en) * | 2013-07-23 | 2016-07-07 | Korea Institute Of Ocean Science & Technology | Driving apparatus for motor using time delay compensation method of current detecting sensor combined with filter |
CN105083057A (zh) * | 2014-04-25 | 2015-11-25 | 德昌电机(深圳)有限公司 | 座椅位置调节***及方法 |
JP6530696B2 (ja) | 2015-11-25 | 2019-06-12 | オークマ株式会社 | 周波数同定器 |
TWI551028B (zh) * | 2015-12-01 | 2016-09-21 | Shihlin Electric & Eng Corp | Servo drive system bandwidth and phase verification of the measurement device |
JP6897545B2 (ja) | 2017-12-18 | 2021-06-30 | オムロン株式会社 | 同期制御装置 |
JP7050624B2 (ja) * | 2018-08-24 | 2022-04-08 | 日立Astemo株式会社 | モータ制御装置及びこれを備えた電動ブレーキ装置 |
CN114185370A (zh) * | 2020-08-24 | 2022-03-15 | 广东博智林机器人有限公司 | 一种伺服***及其转速补偿方法 |
CN111999555B (zh) * | 2020-08-26 | 2023-06-02 | 广东博智林机器人有限公司 | 伺服***谐振频率检测方法、装置、电子设备及存储介质 |
CN112304336B (zh) * | 2020-10-22 | 2023-04-07 | 中国计量科学研究院 | 一种高频角振动转台控制方法 |
CN113111535B (zh) * | 2021-04-22 | 2023-05-09 | 杭州电子科技大学 | 一种基于mcu的电机速度伺服***半仿真方法 |
CN114509247B (zh) * | 2021-12-30 | 2023-10-20 | 南京埃斯顿自动化股份有限公司 | 一种垂直轴负载的机械特性分析方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6248284A (ja) | 1985-08-24 | 1987-03-02 | Okuma Mach Works Ltd | 電動機の制御方法 |
JPS63123107A (ja) * | 1986-11-12 | 1988-05-26 | Fanuc Ltd | 位置制御方式 |
JPS63148315A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-21 | Fanuc Ltd | サ−ボモ−タ制御装置 |
JPH0827654B2 (ja) * | 1987-09-04 | 1996-03-21 | 株式会社日立製作所 | アクチュエータの制振回路 |
JPH01186186A (ja) | 1988-01-19 | 1989-07-25 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | Pllモータ制御装置 |
JP2811685B2 (ja) * | 1988-10-05 | 1998-10-15 | トヨタ自動車株式会社 | サーボモータ制御装置 |
JP2762364B2 (ja) * | 1989-03-20 | 1998-06-04 | ファナック株式会社 | サーボモータのフィードフォワード制御方法 |
US5134354A (en) * | 1989-04-10 | 1992-07-28 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki Seisakusho | Servo motor control apparatus |
JP2637578B2 (ja) * | 1989-11-08 | 1997-08-06 | オークマ株式会社 | 工作機械の位置制御装置 |
JP2576644B2 (ja) | 1989-11-22 | 1997-01-29 | 横河電機株式会社 | フィルタ |
JP2709969B2 (ja) * | 1989-12-12 | 1998-02-04 | ファナック株式会社 | サーボモータの制御方法 |
JP2566665B2 (ja) * | 1990-06-27 | 1996-12-25 | 川崎重工業株式会社 | 慣性系におけるロボットの制御装置 |
JPH05285786A (ja) | 1992-04-06 | 1993-11-02 | Mitsubishi Electric Corp | 位置決め制御装置 |
JPH06245582A (ja) * | 1993-02-23 | 1994-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Acサーボモータ駆動装置 |
JP2833730B2 (ja) * | 1993-03-10 | 1998-12-09 | 三菱電機株式会社 | 位置制御装置 |
JP3129622B2 (ja) * | 1994-12-26 | 2001-01-31 | ファナック株式会社 | フルクローズド・ループ方式における象限突起補正方法 |
JP3625901B2 (ja) * | 1995-06-30 | 2005-03-02 | 三菱電機株式会社 | サーボ制御システムの自動適正化方法および装置 |
JPH09320076A (ja) * | 1996-05-31 | 1997-12-12 | Olympus Optical Co Ltd | 光ディスク装置のトラッキング制御装置 |
JPH10161747A (ja) * | 1996-11-29 | 1998-06-19 | Mitsubishi Electric Corp | 接触位置検出方法および接触位置検出装置 |
JP3215067B2 (ja) * | 1997-03-21 | 2001-10-02 | ファナック株式会社 | 移動方向反転時の位置補正方法 |
-
1999
- 1999-05-14 WO PCT/JP1999/002521 patent/WO2000070739A1/ja active IP Right Grant
- 1999-05-14 KR KR10-2001-7000480A patent/KR100423713B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-05-14 GB GB0100944A patent/GB2354087B/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-05-14 JP JP2000619082A patent/JP3857054B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1999-05-14 DE DE19983362T patent/DE19983362T1/de not_active Withdrawn
- 1999-05-21 TW TW088108333A patent/TW469360B/zh not_active IP Right Cessation
-
2001
- 2001-01-12 US US09/758,201 patent/US6274994B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114460838A (zh) * | 2021-12-31 | 2022-05-10 | 上海新时达机器人有限公司 | 一种机械末端抖动抑制方法、位置环和驱动装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB0100944D0 (en) | 2001-02-28 |
WO2000070739A1 (fr) | 2000-11-23 |
GB2354087B (en) | 2003-04-02 |
TW469360B (en) | 2001-12-21 |
KR20010106402A (ko) | 2001-11-29 |
US6274994B2 (en) | 2001-08-14 |
GB2354087A (en) | 2001-03-14 |
US20010002097A1 (en) | 2001-05-31 |
KR100423713B1 (ko) | 2004-03-18 |
DE19983362T1 (de) | 2001-08-16 |
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---|---|---|
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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