JP3853641B2

JP3853641B2 - Chemical supply apparatus and method for manufacturing the same

Info

Publication number: JP3853641B2
Application number: JP2001349593A
Authority: JP
Inventors: 丈夫矢島
Original assignee: Koganei Corp
Current assignee: Koganei Corp
Priority date: 2001-11-15
Filing date: 2001-11-15
Publication date: 2006-12-06
Anticipated expiration: 2021-11-15
Also published as: JP2003148353A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は薬液などの液体を供給するための薬液供給装置およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウエハ製造技術を始めとして、液晶基板製造技術、磁気ディスク製造技術および多層配線基板製造技術などの技術分野における製造プロセスにあっては、フォトレジスト液、スピニオンガラス液、ポリイミド樹脂液、純水、現像液,エッチング液、有機溶剤などの化学薬液が使用されている。
【０００３】
たとえば、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を塗布する場合には、半導体ウエハを水平面内において回転させた状態のもとで、半導体ウエハの表面にフォトレジスト液を滴下するようにしている。このようなレジスト液の塗布のために使用される薬液供給装置としては、液体供給口と液体吐出口とに連通する膨張収縮室を有するポンプを可撓性部材によって形成したものがある。このような薬液供給装置にあっては、ポンプを弾性変形させて内部の膨張収縮室を膨張させることによって液体供給口から逆止弁を介して膨張収縮室内に液体が流入し、膨張収縮室を収縮させることによって液体は液体吐出口から逆止弁を介して吐出することになる。
【０００４】
モータや空気圧シリンダなどにより駆動される駆動部の機械的往復運動をポンプの弾性変形に伝達するために、駆動部とポンプとの間に非圧縮性媒体が間接液として封入された加圧室つまりポンプ室を設け、ポンプ室を駆動部により変形させてポンプを膨張収縮させるようにした技術が、たとえば、特開平10-61558号公報に開示されている。
【０００５】
非圧縮性媒体が封入された加圧室を有する薬液供給装置を製造するには、ポンプ室内に非圧縮性媒体を間接液として封入する作業が不可避である。従来では、ポンプ室を形成する隔壁部に形成された注入口から非圧縮性媒体を注入した後に、Ｏリングやパッキンなどのシール材が設けられたプラグを注入口に挿入してシール材によりポンプ室を封止するようにしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
このように駆動部の往復運動を間接液を介してポンプ内の膨張収縮室の膨張収縮運動に変換する場合には、間接液の容量を最適値に保持することが重要となる。しかしながら、シール材によって加圧室を封止するようにした薬液供給装置にあっては、装置を長期間使用していると、シール材が劣化しシール部から空気が内部に流入したり、非圧縮性媒体からなる間接液がポンプ室内の圧力によって外部に僅かずつ漏出することがある。間接液が漏出すると、駆動部の往復動ストロークとポンプ内の膨張収縮室の変形量との関係が崩れることになり、ポンプからの正確な吐出量の液体を吐出させることができなくなる。また、間接液の中に空気が流入すると、間接液は非圧縮性ではなくなり、正確なポンプ動作を維持できなくなる。
【０００７】
特に、間接液は一度充填したら供給されることがないので、間接液が漏れたり、内部に空気が流入すると、それ以降は性能が低下したままポンプが使用されることになり、所定量の液体を吐出することができなくなる。また、漏れ量が増えたり、流入空気量が増えるとポンプは機能しなくなるという問題点がある。
【０００８】
本発明の目的は、間接液が充填されたポンプ室内からの間接液の漏出と内部への空気の流入を防止することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の薬液供給装置は、液体流入口と液体流出口とに連通する膨張収縮室を区画形成するとともに弾性変形する可撓性部材を有するポンプと、非圧縮性媒体が充填されるポンプ室を前記可撓性部材とともに区画形成するポンプ駆動部材と、前記ポンプ駆動部材に設けられ前記ポンプ駆動部材を往復動する往復動部材とを有する薬液供給装置であって、前記ポンプ駆動部材に前記ポンプ室に連通して形成される開口部と、前記ポンプ室内に非圧縮性媒体が注入された後に前記開口部内に挿入されて前記開口部を閉塞するプラグと、前記プラグが挿入された後に前記開口部内に挿入される融着部材とを有し、前記プラグよりも外側の前記融着部材と前記開口部とを加熱して融着により前記開口部を閉塞することを特徴とする。
【００１０】
本発明の薬液供給装置の製造方法は、液体流入口と液体流出口とに連通する膨張収縮室を区画形成するとともに弾性変形する可撓性部材を有するポンプと、非圧縮性媒体が充填されるポンプ室を前記可撓性部材とともに区画形成するポンプ駆動部材と、前記ポンプ駆動部材に設けられ前記ポンプ駆動部材を往復動する往復動部材とを有する薬液供給装置の製造方法であって、前記ポンプ室内に非圧縮性媒体を注入する工程と、前記ポンプ室内に非圧縮性媒体が注入された後に、前記ポンプ駆動部材に形成された開口部内にプラグを挿入して前記開口部を閉塞する工程と、前記プラグが前記開口部内に挿入された後に前記開口部内に融着部材を挿入する工程と、前記開口部のうち前記プラグよりも外側の部分と前記融着部材とを融着により閉塞する融着工程とを有することを特徴とする。
【００１１】
本発明の薬液供給装置の製造方法においては、前記プラグを挿入した後に、前記開口部内に融着部材を挿入し、前記融着工程において前記融着部材と前記開口部とを融着させることを特徴とし、前記プラグを前記開口部内に挿入した後に前記開口部を洗浄することを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１（Ａ）〜図１（Ｃ）はそれぞれ薬液供給装置の基本構造を示す概略図である。図１（Ａ）に示す薬液供給装置はポンプ１０を有し、ポンプ１０は液体流入口１１ａが形成された流入側アダプター１１と、液体流出口１２ａが形成された流出側アダプター１２とに両端部が接合された弾性変形自在の可撓性チューブ１３とにより形成されている。可撓性チューブ１３の内部は液体流入口１１ａと液体流出口１２ａとに連通する膨張収縮室１４となっており、この膨張収縮室１４は可撓性チューブ１３が径方向外方に弾性変形することによって膨張して容積が大きくなり、可撓性チューブ１３が径方向内方に弾性変形すると収縮して容積が小さくなる。
【００１３】
液体流入口１１ａは供給側流路１５により薬液タンク１６に接続され、液体流出口１２ａは吐出側流路１７により塗布ノズル１８に接続されている。供給側流路１５には膨張収縮室１４が膨張するときには開いて薬液タンク１６内の薬液を膨張収縮室１４内に案内し、収縮するときには閉じる開閉弁１５ａが設けられ、吐出側流路１７には膨張収縮室１４が収縮するときには開いて薬液を塗布ノズル１８に向けて案内し、膨張するときには閉じる開閉弁１７ａが設けられている。それぞれの開閉弁１５ａ，１７ａとしては逆止弁が用いられているが、ソレノイドによって作動する電磁弁あるいは空気圧によって操作するエアオペレイトバルブを用いても良い。
【００１４】
径方向に弾性変形する可撓性チューブ１３は、薬液タンク１６内に収容された薬液がフォトレジスト液である場合には、薬液と反応しないように、フッ素樹脂であるフルオロエチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)により形成されており、アダプター１１，１２も同様にフッ素樹脂により形成されている。
【００１５】
可撓性チューブ１３の外側にはポンプ駆動部材としてのベローズ２１が取り付けられている。このベローズ２１は可撓性チューブ１３の流入側端部に取り付けられるエンドブロック２２と、吐出側端部に取り付けられるエンドブロック２３とを有している。これらの軸方向中央部分に設けられた駆動リング部２４とエンドブロック２２の間には有効径Ｄの大型ベローズ部２５が設けられ、駆動リング部２４とエンドブロック２３との間には、有効径Ｄよりも小径となった有効径ｄの小型ベローズ部２６が設けられており、これらは一体となっている。このベローズ２１と可撓性チューブ１３の材質はフッ素樹脂により形成されているが、ベローズ２１と可撓性チューブ１３を金属により形成するようにしても良い。
【００１６】
ベローズ２１と可撓性チューブ１３とによりポンプ室２７が区画形成されており、このポンプ室２７内には非圧縮性媒体２８が間接液として充填されている。この間接液としては、水、アルコール、油などのように非圧縮性を有する液体が使用される。また、ベローズ２１は、これの外側を覆うようにしてエンドブロック２２，２３に固定されたホルダー２９により支持されており、このホルダー２９を外部から貫通する往復動部材３０が駆動リング部２４に連結されている。この駆動リング部２４は往復動部材３０を図示しない駆動装置によって往復動することにより、軸方向に駆動される。この駆動装置としては、前述した特開平10-61558号公報に記載されるように、モータにより駆動されるボールねじの他、空気圧シリンダなどを使用することができる。
【００１７】
このように、非圧縮性媒体２８が充填されるポンプ室２７を区画して形成するポンプ駆動部材としてのベローズ２１の駆動リング部２４を往復動部材３０によって小型ベローズ部２６側に変位させると、ベローズ２１の全体では小径部が短くなり、大径部が長くなる。これにより、ベローズ２１の内側の容積が大きくなり、可撓性チューブ１３は径方向に膨張してその内部の膨張収縮室１４の容積が大きくなって薬液タンク１６内の薬液は膨張収縮室１４内に流入する。
【００１８】
一方、駆動リング部２４を大型ベローズ部２５側に変位させると、ベローズ２１は全体的に大径部が短くなり、小径部が長くなるとことから、膨張収縮室１４の容積が小さくなる。これにより、可撓性チューブ１３は径方向に収縮してその内部の膨張収縮室１４の容積が小さくなり、可撓性チューブ１３内の薬液は塗布ノズル１８に向けて吐出される。
【００１９】
図１（Ｂ）に示す薬液供給装置は、前述したものがベローズチューブ式のものであるのに対して、ダイヤフラム式の薬液供給装置であり、前述したものと共通する部材には同一の符号が付されている。この場合のポンプ１０はそれぞれ凹部が形成された２つのポンプブロック３１ａ，３１ｂを、弾性変形する可撓性部材であるダイヤフラム３２を介して合わせることにより形成されている。このダイヤフラム３２とポンプブロック３１ａとにより膨張収縮室１４が区画形成されている。
【００２０】
一方、ポンプ１０に隣接して駆動シリンダ３３が設けられ、この駆動シリンダ３３の内部には、駆動部３４ａと固定フランジ部３４ｂとこれらの間のベローズ部３４ｃとを有するポンプ駆動部材しての駆動ベローズ３４が組み込まれている。駆動シリンダ３３はポンプ１０に流路３５により連結され、ダイヤフラム３２とポンプブロック３１ｂとにより区画される空間と、駆動ベローズ３４と駆動シリンダ３３とにより区画される空間と、流路３５内の空間とによってポンプ室２７が形成され、このポンプ室２７には非圧縮性媒体２８が間接液として充填されている。駆動部３４ａには往復動部材３０が連結されるようになっており、この往復動部材３０によって駆動ベローズ３４を伸縮させると、ダイヤフラム３２が弾性変形して膨張収縮室１４を膨張収縮させてポンプ動作が行われる。
【００２１】
図１（Ｃ）に示す薬液供給装置は、図１（Ｂ）に示す薬液供給装置の変形例であり、図１（Ｃ）にあっては図１（Ｂ）に示す場合と共通する部材には同一の符号が付されている。この薬液供給装置は、ポンプブロック３１ａ，３１ｂ内に可撓性のストレートなチューブ３６を組み込むことにより、ストレートチューブ式となっている。チューブ３６の内部は膨張収縮室１４となり、外部はポンプ室２７となっており、ポンプ室２７には非圧縮性媒体２８が充填されている。
【００２２】
図２は図１（Ａ）に示された薬液供給装置の一部を拡大して示す断面図であり、図２にあっては可撓性チューブ１３とベローズ２１が組み立てられた状態を示し、ポンプ室２７内には非圧縮性媒体２８が充填されていない状態を示す。ベローズ２１の一方のエンドブロック２３には、ポンプ室２７に連通して開口部４１が形成されている。この開口部４１はポンプ室２７内に非圧縮性媒体２８を充填するための注入口として設けられており、開口部４１には外方に突出した円筒部４２が設けられ、その径方向の外方は凹部４３となっている。
【００２３】
図３（Ａ）〜図３（Ｆ）は薬液供給装置を製造する工程における非圧縮性媒体２８の充填手順を示す工程図であり、まず、図３（Ａ）に示すように、開口部４１内に注入チューブ４４を挿入してこの注入チューブ４４からポンプ室２７内に間接液としての非圧縮性媒体２８を注入する。注入時にはポンプ室２７内の空気が外部に排出されることになるが、その空気は注入チューブ４４と開口部４１との間の隙間から外部に排出されることになる。ただし、エンドブロック２３に注入口としての開口部と排気口としての開口部とをそれぞれ別々に設けるようにしても良く、ポンプ室２７内の空気が確実に外部に排出されるように、間接液を注入しながらベローズ２１に振動を加えるようにしても良い。
【００２４】
間接液の注入が終了したら、図３（Ｂ）に示すように、開口部４１内にプラグ４５を圧入して開口部４１を閉塞する。このプラグ４５は球体つまりボールによって形成されており、このプラグ４５の素材としては金属あるいはフッ素樹脂などを用いることができる。ただし、プラグとしては図３（Ｂ）に符号４５ａを付して示すように、断面円形の棒材を用いるようにしても良く、その棒材４５ａの外周にシール材４５ｂを取り付けるようにしても良い。プラグ４５の圧入が終了したら、圧入時に開口部４１から漏出した間接液を除去するために、図３（Ｃ）に示す洗浄工程において、水やアルコールなどの洗浄液を用いてベローズ２１の開口部４１の周りを洗浄する。洗浄方式としては、洗浄液を用いることなく、空気を吹き付けるようにしても良い。
【００２５】
次いで、図３（Ｄ）に示すように、開口部４１内に融着部材４６を挿入する。この融着部材４６は、ベローズ２１と同様の材質により形成されており、たとえば、ベローズ２１が前述したＰＦＡによって成形されているのであれば、同様の材質により形成されている。これにより、ベローズ２１のエンドブロック２３の軟化点温度や融点は融着部材４６とほぼ同様の温度となる。
【００２６】
融着部材４６の挿入が終了したら、図３（Ｅ）に示すように、カートリッジヒータ４７を一体に設けた加熱型４７ａを用いて、開口部４１に設けられた円筒部４２と融着部材４６とを加熱してこれらをそれぞれ軟化させたり、溶融状態とすることにより、相互に組織的に接合つまり融着する。これにより、図３（Ｆ）に示すように、薬液供給装置の製造工程における間接液の充填が完了する。図３（Ｅ）に示すように、加熱型４７ａには円筒部４２および融着部材４６が入り込む凹部４７ｂが形成されており、この凹部４７ｂの底部は円錐形となっている。
【００２７】
このような製造工程を有することから、融着部材４６と円筒部４２とが組織的に接合されて開口部４１が閉塞されるので、長期間に渡って薬液供給装置が使用されても、間接液である非圧縮性媒体２８が外部に漏出したり、ポンプ室２７の内部に空気が流入することを防止でき、薬液供給装置の耐久性を向上させることができる。
【００２８】
図３（Ａ）〜（Ｆ）は、図１（Ａ）に示した薬液供給装置の製造工程を示すが、図１（Ｂ）および図１（Ｃ）に示した薬液供給装置についても、同様の工程によりポンプ室２７内に間接液を充填することができる。たとえば、図１（Ｂ）に示した薬液供給装置にあっては、ポンプブロック３１ｂ、駆動シリンダ３３あるいは流路３５に開口部４１を形成することになり、図１（Ｃ）に示した薬液供給装置にあっては、さらに、ポンプブロック３１ａに開口部４１を形成するようにしても良い。
【００２９】
本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【００３０】
【発明の効果】
本発明によれば、ポンプ室内に所定の非圧縮性媒体が充填された後には、この非圧縮性媒体を注入したり、内部の空気を排出するための開口部を融着によって閉塞するようにしたので、内部から非圧縮性媒体の漏出や内部空気の排出を確実に防止することができ、薬液供給装置の耐久性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（Ａ）〜（Ｃ）はそれぞれ本発明の一実施の形態である薬液供給装置の概略構造を示す断面図である。
【図２】図１（Ａ）の一部を拡大して示す断面図である。
【図３】（Ａ）〜（Ｆ）はそれぞれ本発明の薬液供給装置の製造工程を示す工程図である。
【符号の説明】
１０ポンプ
１１流入側アダプター
１１ａ液体流入口
１２流出側アダプター
１２ａ液体流出口
１３可撓性チューブ
１４膨張収縮室
１５供給側流路
１５ａ開閉弁
１６薬液タンク
１７吐出側流路
１７ａ開閉弁
１８塗布ノズル
２１ベローズ
２２エンドブロック
２３エンドブロック
２４駆動リング部
２５大型ベローズ部
２６小型ベローズ部
２７ポンプ室
２８非圧縮性媒体
２９ホルダー
３０往復動部材
３１ａ，３１ｂポンプブロック
３２ダイヤフラム
３３駆動シリンダ
３４駆動ベローズ
３５流路
３６チューブ
４１開口部
４２円筒部
４３凹部
４４注入チューブ
４５プラグ
４５ａ棒材
４５b シール材
４６融着部材
４７カートリッジヒータ
４７ａ加熱型[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a chemical solution supply apparatus for supplying a liquid such as a chemical solution and a method for manufacturing the same.
[0002]
[Prior art]
In the manufacturing processes in the technical fields such as semiconductor wafer manufacturing technology, liquid crystal substrate manufacturing technology, magnetic disk manufacturing technology and multilayer wiring board manufacturing technology, photoresist liquid, spinion glass liquid, polyimide resin liquid, pure water Chemical solutions such as developer, etching solution and organic solvent are used.
[0003]
For example, when a photoresist solution is applied to the surface of a semiconductor wafer, the photoresist solution is dropped onto the surface of the semiconductor wafer while the semiconductor wafer is rotated in a horizontal plane. As a chemical solution supply apparatus used for applying such a resist solution, there is one in which a pump having an expansion / contraction chamber communicating with a liquid supply port and a liquid discharge port is formed by a flexible member. In such a chemical solution supply apparatus, the pump is elastically deformed to expand the internal expansion / contraction chamber, whereby liquid flows from the liquid supply port into the expansion / contraction chamber via the check valve, and the expansion / contraction chamber is formed. By contracting, the liquid is discharged from the liquid discharge port via the check valve.
[0004]
In order to transmit the mechanical reciprocating motion of the drive unit driven by a motor or a pneumatic cylinder to the elastic deformation of the pump, a pressurizing chamber in which an incompressible medium is sealed as an indirect liquid between the drive unit and the pump. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 10-61558 discloses a technique in which a pump chamber is provided and the pump chamber is deformed by a drive unit to expand and contract the pump.
[0005]
In order to manufacture a chemical supply apparatus having a pressurizing chamber in which an incompressible medium is sealed, it is inevitable to enclose the incompressible medium as an indirect liquid in the pump chamber. Conventionally, after injecting an incompressible medium from an inlet formed in a partition wall forming a pump chamber, a plug provided with a sealing material such as an O-ring or packing is inserted into the inlet and pumped by the sealing material. The chamber is sealed.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
Thus, when converting the reciprocating motion of the drive unit into the expansion / contraction motion of the expansion / contraction chamber in the pump via the indirect liquid, it is important to maintain the capacity of the indirect liquid at an optimum value. However, in the chemical solution supply device in which the pressurizing chamber is sealed with the sealing material, if the device is used for a long period of time, the sealing material deteriorates and air flows into the inside from the sealing portion. The indirect liquid made of a compressible medium may leak little by little due to the pressure in the pump chamber. When the indirect liquid leaks, the relationship between the reciprocating stroke of the driving unit and the deformation amount of the expansion / contraction chamber in the pump is lost, and it becomes impossible to discharge an accurate discharge amount of liquid from the pump. Further, when air flows into the indirect liquid, the indirect liquid is not incompressible and accurate pump operation cannot be maintained.
[0007]
In particular, once the indirect liquid is filled, it will not be supplied. Therefore, if the indirect liquid leaks or air flows into the interior, the pump will be used with the performance deteriorated thereafter. Cannot be discharged. In addition, there is a problem that the pump does not function when the leakage amount increases or the inflow air amount increases.
[0008]
An object of the present invention is to prevent leakage of indirect liquid from a pump chamber filled with indirect liquid and inflow of air into the inside.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
The chemical liquid supply apparatus of the present invention, a pump having a flexible member elastically deformed together defining a expansion and contraction chamber communicating with a liquid inlet and a liquid outlet, the pump chamber incompressible medium is filled wherein the flexible member pump drive member which partitions and forms together with a chemical liquid supply apparatus having a reciprocating member for reciprocating the pump drive member is provided to the pump drive member, the said pump drive member An opening formed in communication with the pump chamber, a plug that is inserted into the opening after the incompressible medium is injected into the pump chamber and closes the opening, and the plug is inserted after the plug is inserted. and a fuser member that is inserted into the opening, by fusion by heating the outside of the fusing member and said opening than said plug, characterized in that for closing the opening.
[0010]
Method for producing a chemical liquid supply apparatus of the present invention includes a pump having a flexible member elastically deformable, non-compressible medium is filled with defining a expansion and contraction chamber communicating with a liquid inlet and a liquid outlet a pump drive member for defining a pump chamber together with the flexible member, a manufacturing method of a chemical liquid supply apparatus having a reciprocating member for reciprocating the pump drive member is provided to the pump drive member, the implanting an incompressible medium in the pump chamber, after the incompressible medium in the pump chamber is injected, by inserting a plug to close the opening to the pump drive member which is formed in the opening a step, a step of inserting the fusing member in the opening after the plug is inserted in the opening, by fusion of said fusing member and outside portion of the plug out of the opening Occlusion And having a RuToruchaku step.
[0011]
In the manufacturing method of the chemical solution supply apparatus of the present invention, after the plug is inserted, a fusion member is inserted into the opening, and the fusion member and the opening are fused in the fusion step. It is characterized in that the opening is washed after the plug is inserted into the opening.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1A to FIG. 1C are schematic views showing the basic structure of a chemical solution supply apparatus. The chemical supply apparatus shown in FIG. 1 (A) has a pump 10, and both ends of the pump 10 are connected to an inflow side adapter 11 in which a liquid inflow port 11a is formed and an outflow side adapter 12 in which a liquid outflow port 12a is formed. Is formed by an elastically deformable flexible tube 13 joined together. The inside of the flexible tube 13 is an expansion / contraction chamber 14 communicating with the liquid inlet 11a and the liquid outlet 12a. The expansion / contraction chamber 14 is elastically deformed outward in the radial direction of the flexible tube 13. This expands to increase the volume, and when the flexible tube 13 is elastically deformed radially inward, it contracts to decrease the volume.
[0013]
The liquid inflow port 11 a is connected to the chemical liquid tank 16 by the supply side flow path 15, and the liquid outflow port 12 a is connected to the application nozzle 18 by the discharge side flow path 17. The supply side channel 15 is provided with an opening / closing valve 15a that opens when the expansion / contraction chamber 14 expands, guides the chemical solution in the chemical solution tank 16 into the expansion / contraction chamber 14, and closes when the expansion / contraction chamber 14 contracts. An open / close valve 17a is provided that opens when the expansion / contraction chamber 14 contracts and guides the chemical toward the application nozzle 18, and closes when the expansion / contraction chamber 14 expands. As each of the on-off valves 15a and 17a, a check valve is used, but an electromagnetic valve operated by a solenoid or an air operated valve operated by air pressure may be used.
[0014]
The flexible tube 13 elastically deformed in the radial direction is made of fluoroethylene perfluoroalkyl vinyl ether, which is a fluororesin, so that it does not react with the chemical liquid when the chemical liquid stored in the chemical liquid tank 16 is a photoresist liquid. It is formed of a polymer (PFA), and the adapters 11 and 12 are also formed of a fluororesin.
[0015]
A bellows 21 as a pump driving member is attached to the outside of the flexible tube 13. The bellows 21 has an end block 22 attached to the inflow side end of the flexible tube 13 and an end block 23 attached to the discharge side end. A large bellows portion 25 having an effective diameter D is provided between the drive ring portion 24 and the end block 22 provided in the central portion in the axial direction, and an effective diameter is provided between the drive ring portion 24 and the end block 23. A small bellows portion 26 having an effective diameter d that is smaller than D is provided, and these are integrated. The bellows 21 and the flexible tube 13 are made of a fluororesin, but the bellows 21 and the flexible tube 13 may be made of metal.
[0016]
A pump chamber 27 is defined by the bellows 21 and the flexible tube 13, and an incompressible medium 28 is filled in the pump chamber 27 as an indirect liquid. As the indirect liquid, a liquid having incompressibility such as water, alcohol, oil or the like is used. The bellows 21 is supported by a holder 29 fixed to the end blocks 22 and 23 so as to cover the outside of the bellows 21, and a reciprocating member 30 penetrating the holder 29 from the outside is connected to the drive ring portion 24. Has been. The drive ring portion 24 is driven in the axial direction by reciprocating the reciprocating member 30 with a driving device (not shown). As this driving device, as described in Japanese Patent Laid-Open No. 10-61558, a ball screw driven by a motor, a pneumatic cylinder, or the like can be used.
[0017]
Thus, when the drive ring portion 24 of the bellows 21 as a pump drive member formed by partitioning the pump chamber 27 filled with the incompressible medium 28 is displaced to the small bellows portion 26 side by the reciprocating member 30, In the entire bellows 21, the small diameter portion is shortened and the large diameter portion is lengthened. As a result, the inner volume of the bellows 21 is increased, the flexible tube 13 is expanded in the radial direction, and the volume of the expansion / contraction chamber 14 inside thereof is increased, so that the chemical solution in the chemical solution tank 16 is contained in the expansion / contraction chamber 14. Flow into.
[0018]
On the other hand, when the drive ring portion 24 is displaced toward the large bellows portion 25, the bellows 21 has a large diameter portion and a small diameter portion as a whole, so that the volume of the expansion / contraction chamber 14 becomes small. As a result, the flexible tube 13 is contracted in the radial direction to reduce the volume of the expansion / contraction chamber 14 therein, and the chemical solution in the flexible tube 13 is discharged toward the application nozzle 18.
[0019]
The chemical solution supply apparatus shown in FIG. 1 (B) is a bellows tube type device as described above, but is a diaphragm type chemical solution supply device, and members common to those described above are given the same reference numerals. It is attached. The pump 10 in this case is formed by combining two pump blocks 31a and 31b each having a recess formed through a diaphragm 32 which is a flexible member that is elastically deformed. The diaphragm 32 and the pump block 31 a define the expansion / contraction chamber 14.
[0020]
On the other hand, a drive cylinder 33 is provided adjacent to the pump 10, and a drive as a pump drive member having a drive portion 34a, a fixed flange portion 34b, and a bellows portion 34c therebetween is provided inside the drive cylinder 33. A bellows 34 is incorporated. The drive cylinder 33 is connected to the pump 10 by a flow path 35, a space defined by the diaphragm 32 and the pump block 31 b, a space defined by the drive bellows 34 and the drive cylinder 33, and a space in the flow path 35. As a result, a pump chamber 27 is formed, and the pump chamber 27 is filled with an incompressible medium 28 as an indirect liquid. A reciprocating member 30 is connected to the driving portion 34a. When the driving bellows 34 is expanded and contracted by the reciprocating member 30, the diaphragm 32 is elastically deformed to expand and contract the expansion / contraction chamber 14 to pump. Operation is performed.
[0021]
The chemical solution supply apparatus shown in FIG. 1 (C) is a modification of the chemical solution supply apparatus shown in FIG. 1 (B). In FIG. 1 (C), members common to the case shown in FIG. 1 (B) are used. Are given the same reference numerals. This chemical supply device is of a straight tube type by incorporating a flexible straight tube 36 in the pump blocks 31a and 31b. The inside of the tube 36 is an expansion / contraction chamber 14 and the outside is a pump chamber 27. The pump chamber 27 is filled with an incompressible medium 28.
[0022]
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view showing a part of the chemical liquid supply apparatus shown in FIG. 1 (A). In FIG. 2, the flexible tube 13 and the bellows 21 are assembled. A state where the incompressible medium 28 is not filled in the pump chamber 27 is shown. An opening 41 is formed in one end block 23 of the bellows 21 so as to communicate with the pump chamber 27. The opening 41 is provided as an inlet for filling the pump chamber 27 with the incompressible medium 28, and the opening 41 is provided with a cylindrical portion 42 protruding outwardly. The direction is a recess 43.
[0023]
3 (A) to 3 (F) are process diagrams showing the filling procedure of the incompressible medium 28 in the process of manufacturing the chemical solution supply apparatus. First, as shown in FIG. The injection tube 44 is inserted thereinto, and the incompressible medium 28 as an indirect liquid is injected from the injection tube 44 into the pump chamber 27. At the time of injection, the air in the pump chamber 27 is discharged to the outside, but the air is discharged to the outside through the gap between the injection tube 44 and the opening 41. However, the end block 23 may be provided with an opening portion as an inlet and an opening portion as an exhaust port, respectively, so that the air in the pump chamber 27 is reliably discharged to the outside. Vibrations may be applied to the bellows 21 while injecting.
[0024]
When the indirect liquid injection is completed, the plug 45 is press-fitted into the opening 41 to close the opening 41 as shown in FIG. The plug 45 is formed of a sphere, that is, a ball, and the plug 45 can be made of metal, fluorine resin, or the like. However, as shown in FIG. 3B with reference numeral 45a, the plug may be a rod having a circular cross section, and a seal member 45b may be attached to the outer periphery of the rod 45a. good. When the press-fitting of the plug 45 is completed, in order to remove the indirect liquid leaking from the opening 41 during the press-fitting, the opening 41 of the bellows 21 is used with a cleaning liquid such as water or alcohol in the cleaning step shown in FIG. Wash around. As a cleaning method, air may be blown without using a cleaning liquid.
[0025]
Next, as shown in FIG. 3D, the fusion member 46 is inserted into the opening 41. The fusion member 46 is formed of the same material as that of the bellows 21. For example, if the bellows 21 is formed of the above-described PFA, it is formed of the same material. As a result, the softening point temperature and melting point of the end block 23 of the bellows 21 are substantially the same as those of the fusion member 46.
[0026]
When the insertion of the fusion member 46 is completed, as shown in FIG. 3E, the cylindrical portion 42 provided in the opening 41 and the fusion member 46 are used by using a heating die 47a integrally provided with a cartridge heater 47. Are heated and softened or melted to form a joint or fusion systematically. Thereby, as shown in FIG.3 (F), the filling of the indirect liquid in the manufacturing process of a chemical | medical solution supply apparatus is completed. As shown in FIG. 3E, the heating mold 47a is formed with a concave portion 47b into which the cylindrical portion 42 and the fusion member 46 enter, and the bottom of the concave portion 47b has a conical shape.
[0027]
Since it has such a manufacturing process, since the fusion member 46 and the cylindrical portion 42 are systematically joined and the opening 41 is closed, even if the chemical solution supply device is used for a long period of time, it is indirect. The incompressible medium 28 that is a liquid can be prevented from leaking to the outside or air can be prevented from flowing into the pump chamber 27, and the durability of the chemical liquid supply apparatus can be improved.
[0028]
3 (A) to 3 (F) show the manufacturing process of the chemical solution supply apparatus shown in FIG. 1 (A), but the same applies to the chemical solution supply apparatuses shown in FIGS. 1 (B) and 1 (C). The indirect liquid can be filled into the pump chamber 27 by the process. For example, in the chemical solution supply apparatus shown in FIG. 1B, the opening 41 is formed in the pump block 31b, the drive cylinder 33 or the flow path 35, and the chemical solution supply shown in FIG. In the apparatus, an opening 41 may be formed in the pump block 31a.
[0029]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.
[0030]
【The invention's effect】
According to the present invention, after the pump chamber is filled with a predetermined incompressible medium, the incompressible medium is injected, or the opening for discharging the internal air is closed by fusion. As a result, leakage of the incompressible medium and discharge of internal air from the inside can be reliably prevented, and the durability of the chemical solution supply apparatus can be improved.
[Brief description of the drawings]
FIGS. 1A to 1C are cross-sectional views each showing a schematic structure of a chemical solution supply apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of a part of FIG.
FIGS. 3A to 3F are process diagrams showing manufacturing steps of the chemical solution supply apparatus of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Pump 11 Inflow side adapter 11a Liquid inflow port 12 Outflow side adapter 12a Liquid outflow port 13 Flexible tube 14 Expansion / contraction chamber 15 Supply side flow path 15a Open / close valve 16 Chemical liquid tank 17 Discharge side flow path 17a Open / close valve 18 Application nozzle 21 Bellows 22 End block 23 End block 24 Drive ring portion 25 Large bellows portion 26 Small bellows portion 27 Pump chamber 28 Incompressible medium 29 Holder 30 Reciprocating members 31a and 31b Pump block 32 Diaphragm 33 Drive cylinder 34 Drive bellows 35 Flow path 36 Tube 41 Opening portion 42 Cylindrical portion 43 Recess 44 Injection tube 45 Plug 45a Bar material 45b Sealing material 46 Fusion member 47 Cartridge heater 47a Heating type

Claims

液体流入口と液体流出口とに連通する膨張収縮室を区画形成するとともに弾性変形する可撓性部材を有するポンプと、非圧縮性媒体が充填されるポンプ室を前記可撓性部材とともに区画形成するポンプ駆動部材と、前記ポンプ駆動部材に設けられ前記ポンプ駆動部材を往復動する往復動部材とを有する薬液供給装置であって、
前記ポンプ駆動部材に前記ポンプ室に連通して形成される開口部と、
前記ポンプ室内に非圧縮性媒体が注入された後に前記開口部内に挿入されて前記開口部を閉塞するプラグと、
前記プラグが挿入された後に前記開口部内に挿入される融着部材とを有し、
前記プラグよりも外側の前記融着部材と前記開口部とを加熱して融着により前記開口部を閉塞することを特徴とする薬液供給装置。Compartment formed pump and the pump chamber incompressible medium is filled with the flexible member having a flexible member elastically deformed together defining a expansion and contraction chamber communicating with a liquid inlet and a liquid outlet a pump drive member which, a chemical liquid supply apparatus having a reciprocating member for reciprocating the pump drive member is provided to the pump drive member,
An opening formed to communicate with the pump chamber to the pump drive member,
A plug that is inserted into the opening after the incompressible medium is injected into the pump chamber and closes the opening ;
A fusion member inserted into the opening after the plug is inserted ,
A chemical supply apparatus, wherein the fusion member and the opening outside the plug are heated and the opening is closed by fusion .

液体流入口と液体流出口とに連通する膨張収縮室を区画形成するとともに弾性変形する可撓性部材を有するポンプと、非圧縮性媒体が充填されるポンプ室を前記可撓性部材とともに区画形成するポンプ駆動部材と、前記ポンプ駆動部材に設けられ前記ポンプ駆動部材を往復動する往復動部材とを有する薬液供給装置の製造方法であって、
前記ポンプ室内に非圧縮性媒体を注入する工程と、
前記ポンプ室内に非圧縮性媒体が注入された後に、前記ポンプ駆動部材に形成された開口部内にプラグを挿入して前記開口部を閉塞する工程と、
前記プラグが前記開口部内に挿入された後に前記開口部内に融着部材を挿入する工程と、
前記開口部のうち前記プラグよりも外側の部分と前記融着部材とを融着により閉塞する融着工程とを有することを特徴とする薬液供給装置の製造方法。Compartment formed pump and the pump chamber incompressible medium is filled with the flexible member having a flexible member elastically deformed together defining a expansion and contraction chamber communicating with a liquid inlet and a liquid outlet a pump drive member to a method for manufacturing a chemical liquid supply apparatus having a reciprocating member for reciprocating the pump drive member is provided to the pump drive member,
Injecting an incompressible medium into the pump chamber;
After incompressible medium is injected into the pump chamber, a step of closing the opening by inserting the plug into the pump drive member to the formed opening,
Inserting a fusing member in the opening after the plug is inserted in the opening,
The manufacturing method of the chemical | medical solution supply apparatus characterized by having the melt | fusion process which obstruct | occludes the part outside the said plug among the said opening parts, and the said melt | fusion member by melt | fusion.

請求項２記載の薬液供給装置の製造方法において、前記プラグを前記開口部内に挿入した後に前記開口部を洗浄することを特徴とする薬液供給装置の製造方法。 3. The method for manufacturing a chemical liquid supply apparatus according to claim 2 , wherein the opening is washed after the plug is inserted into the opening.