JP3840090B2

JP3840090B2 - Cylindrical seal structure and apparatus including the same, optical element holding structure, and exposure apparatus

Info

Publication number: JP3840090B2
Application number: JP2001333076A
Authority: JP
Inventors: 直樹入江
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2001-10-30
Filing date: 2001-10-30
Publication date: 2006-11-01
Anticipated expiration: 2021-10-30
Also published as: JP2003140015A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の環状部材の軸方向端面同士を接触させて形成された円筒体のシール構造に関し、特に、光学装置においてレンズ、ミラー等の光学素子を保持する円筒体の内部空間をシールするのに好適なシール構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体集積回路の製造を行う露光装置では、光源から照射された照明光により所定の倍率で原版のパターンを基板上に露光転写する際に、投影光学系が用いられる。特に、近年では、パターンの微細化に伴い、露光波長の単波長化が図られ、例えば、波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザ、１５７ｎｍのＦ２エキシマレーザ等が用いられる。
【０００３】
このＡｒＦエキシマレーザ、Ｆ２エキシマレーザ等の露光光では、その発光スペクトルが酸素の吸収スペクトルと重なるため、光の透過率が酸素の吸収により低下し、投影露光装置の性能低下につながる。
【０００４】
このため、ＡｒＦエキシマレーザ、Ｆ２エキシマレーザ等の露光光を用いる投影露光装置では、露光光路の雰囲気を光化学反応に対して不活性なガス（窒素ガス、ヘリウムガス等）に置換する技術が用いられる。
【０００５】
ところで、このような露光装置の投影光学系では、数枚の光学素子が各々の保持部材によって保持され、光学素子の光軸方向にこれらの保持部材が配列される構成となっている。
【０００６】
これらの保持部材内に不活性ガスを供給し、保持部材間において大気の流入を防止するため、特開平１１−２３３４１２号公報には、鏡筒を構成する上部鏡筒と下部鏡筒の部材間にシール部を設け、これらのシール部を下部リングの溝とこの溝に挿入される上部リングとこれらの溝および上部リング間に充填された不活性グリス等のシール構造が提案されている。
【０００７】
また、他の構成として、下部鏡筒の上端部のフランジと上部鏡筒の下端部のフランジとの外周面側にゴム製の筒状部材を設け、大気の流入を防止する構成も提案されている。
【０００８】
また、従来のシール構造として、数枚の光学素子を保持する保持部材間に弾性材料を挟み込みシールするものがある。このシール構成について図６を用いて説明する。
【０００９】
この図において、重力方向は光軸方向と一致し、図中の−Ｚ方向である。６１は第１の光学素子、６２は第２の光学素子、６３は第１の光学素子６１を保持するための第１のセル部材、６４は第２の光学素子６２を保持するための第２のセル部材である。
【００１０】
６５は第１のセル部材６３を収納しかつ保持するための第１の鏡筒部材、６６は第２のセル部材６４を収納しかつ保持するための第２の鏡筒部材である。
【００１１】
また、６７は第１および第２の鏡筒部材６５，６６間に挟み込まれた弾性材料であるＯリング、６８は接合材、６９は第１および第２の鏡筒部材６５，６６を締結するためのボルト、７０は各セル部材６３，６４を各鏡筒部材６５，６６に押し付けて光軸方向位置決めをするための押え環である。
【００１２】
第１の光学素子６１は、第１のセル部材６３の内周に配置され、第１の光学素子６１の外周面と第１のセル部材６３の内周面との間に注入された接合材６８によって第１のセル部材６３に接合される。
【００１３】
第１のセル部材６３は、第１の鏡筒部材６５に嵌合して径方向の位置決めがなされるとともに、押え環７０により光軸方向について位置決めされる。また、同様に、第２の光学素子６２は、第２のセル部材６４を用いて保持し、接合材６８により接合される。第２のセル部材６４は、第２の鏡筒部材６６に嵌合して径方向の位置決めがなされるとともに、押え環７０により光軸方向について位置決めされる。
【００１４】
そして、第１の鏡筒部材６５と第２の鏡筒部材６６との間にＯリング６７を挟み込み、第１の光学素子６１と第２の光学素子６２の光軸を一致させるようにこれら鏡筒部材６５，６６を位置決めした状態でボルト６９により締結する。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特開平１１−２３３４１２号公報にて提案のシール構造では、鏡筒を構成する上部鏡筒と下部鏡筒との間にシール部を備えるための新たなスペースが必要である。
【００１６】
また、ゴム製の筒状部材を設ける場合においては、下部鏡筒の上端部のフランジ近辺と上部鏡筒の下端部のフランジ近辺においてゴム製の筒状部材を所望の力で全周にわたり押圧しなければ、大気の流入を防ぐことは困難である。
【００１７】
さらに、図５に示すように、鏡筒部材６５，６６間にＯリング６７を挟み込んでシールする場合、両鏡筒部材６５，６６をボルト６９によって強固に締結する前に、鏡筒部材６５，６６同士をそれぞれが保持している光学素子の光軸を一致させるように位置調整する必要があるが、鏡筒部材６５，６６間での挟み込み力によりつぶれたＯリング６７と鏡筒部材６５，６６との間に生じる摩擦によって、鏡筒部材６５，６６間の位置決めを高精度に行うことが困難となるという問題がある。
【００１８】
なお、はじめに両鏡筒部材６５，６６の光軸位置調整をしておき、その後、Ｏリング６７を挟み込んでボルト締結する方法も可能ではあるが、ボルト締結時にＯリング６７がつぶされる際にＯリング６７に発生する弾性力によって両鏡筒部材６５，６６が予期しない方向へずれてしまうおそれがある。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明では、第１環状部材と第２環状部材とをこれら両環状部材の軸方向端面同士を接触させて形成された円筒体のシール構造において、両環状部材の接触部の外周に互いに上記軸方向に対する傾斜が逆である傾斜面（例えば、径方向外方に向かって開いたＶ字形状断面を有する溝を形成する傾斜面）を形成し、これら両傾斜面に環状の弾性部材を当接させる。そして、この弾性部材の外周側に、第２環状部材の傾斜面に概ね対向するよう軸方向に対して傾斜し弾性部材に接触する内周面を有した環状の第１押圧部材と、第１環状部材の傾斜面に概ね対向するよう軸方向に対して傾斜し弾性部材に接触する内周面を有した環状の第２押圧部材とを配置し、これら第１および第２押圧部材を上記軸方向に相対的に接近する方向に変位させる変位付与手段を設けている。
【００２０】
すなわち、変位付与手段によって第１および第２押圧部材を上記軸方向に相対的に接近する方向に変位させることによって、弾性部材を両環状部材の傾斜面に確実に押圧するようにしている。また、軸合わせを行った両環状部材をボルト等によって締結した後にその外周に弾性部材を配置すればよいため、弾性部材が両環状部材の軸合わせの支障となることはない。
【００２１】
しかも、変位付与手段から第１および第２押圧部材の全周にわたって均等な変位力が付与されなくても、第１および第２押圧部材から弾性部材には全周にわたって均等な押圧力が作用するので、両環状部材の接触部を全周にわたって確実にシールすることが可能となる。
【００２２】
なお、変位付与手段としては、それぞれ第１および第２押圧部材の外周に接触する、第２および第１環状部材の傾斜面に概ね対向するよう上記軸方向に対して傾斜した２つの内周面を有し、径方向内方への締め付け力を発生する略環状の締め付け部材を用いてもよい。また、第１および第２押圧部材間に取り付けられたボルトを用いてもよい。
【００２３】
また、第１環状部材と第２環状部材とを締結するボルト等の締結部材を有する場合には、上記円筒体の径方向において、このシール構造を上記締結部材よりも外側に設けるのがよい。
【００２４】
そして、本発明のシール構造によれば、例えば円筒体の内側に光学素子が保持される場合、円筒体の内側空間への外気の流入、さらには流入した外気（酸素等）によるレーザー光等の吸収を防止することが可能となる。また、円筒体の内側空間からの不活性ガス等の流出を確実に防止することも可能である。
【００２５】
【発明の実施の形態】
（第１実施形態）
図１（ａ），（ｂ）には、本発明の第１実施形態であるレンズ鏡筒（光学素子保持構造）５０を示している。この図において、重力方向は光軸と一致し、図中の−Ｚ方向である。また、図２には、上記レンズ鏡筒におけるシール構造を拡大して示している。
【００２６】
１〜３は第１〜第３光学素子、４は第１光学素子１の外周部を保持する第１環状部材としての第１セル部材、５は第２光学素子２の外周部を保持する第２環状部材としての第２セル部材、６は第３光学素子３の外周部を保持する第３セル部材である。
【００２７】
第１光学素子１の下面周辺部と第１セル部材４の内周段部との当接により、第１光学素子１の第１セル部材４に対する光軸方向の位置決めが行われ、第２光学素子２の下面周辺部と第２セル部材５の内周段部との当接により、第２光学素子２の第２セル部材５に対する光軸方向の位置決めが行われる。
【００２８】
そして、第１光学素子１の外周部と第１セル部材４の内周部、第２光学素子２の外周部と第２セル部材５の内周部および第３光学素子３の外周部と第３セル部材６の内周部はそれぞれ接合材７で接合されている。
【００２９】
接合材７によって接合された第１光学素子１および第１セル部材３により第１鏡筒ユニットが構成される。同様に、第２光学素子２および第２セル部材４により第２鏡筒ユニットが構成され、第３光学素子３および第３セル部材５により第３鏡筒ユニットが構成される。
【００３０】
なお、第１〜第３光学素子１〜３としては、レンズ、平行平板ガラス、ミラー、プリズムおよびバイナリーオプティクス等が用いられる。また、第１〜第３セル部材４〜６の材質としては、真鍮などの銅合金、ステンレス鋼、鉄、低熱膨張金属のインバー、炭素鋼などの金属、セラミック等が用いられる。また、接合材７としては、低融点金属、接着剤、溶接材等が用いられる。
【００３１】
そして、これら鏡筒ユニットは、第１〜第３セル部材４〜５のフランジ部の光軸方向端面が互いに当接するように配置され（すなわち、第１〜第３光学素子１〜３の光軸方向に配列され）第１〜第３光学素子１〜３の光軸が一致するように径方向の位置決めがなされた後、両フランジ部が周方向等間隔に配置された複数の第１ボルト８により締結される。
【００３２】
第１ボルト８により締結された第１〜第３セル部材３〜５によって、円筒体としてのレンズ鏡筒本体が構成される。このレンズ鏡筒本体の上部開口と下部開口はそれぞれ、第１および第３光学素子１，３によって封止されている。このため、レンズ鏡筒本体内には、このレンズ鏡筒本体と第１および第３光学素子１，３とによって囲まれた密封空間が形成される。
【００３３】
なお、第２セル部材５におけるレンズ保持部よりも外周側には、第２光学素子２によって仕切られた形となるレンズ鏡筒本体内の上下空間を連通させる通気孔ＡＡが形成されている。
【００３４】
また、第１ボルト８の頭部底面と第１セル部材７のボルト穴の周囲との間には、Ｏリング２０が配置されており、ボルト穴を通じたレンズ鏡筒本体内の空間への外気の流入を防止している。
【００３５】
以上のように作成されたレンズ鏡筒５０を、例えば図４に示す露光装置（この装置については後述する）の投影光学系に用いる場合、光化学反応に対して不活性なガスを第３セル部材６に形成されたガス供給口９を通してレンズ鏡筒５０内に供給し、第２セル部材５に形成された通気孔ＡＡと排出口１０を通じて、レンズ鏡筒５０をパージする。
【００３６】
第１セル部材４のフランジ部における第２セル部材５のフランジ部の上端面に接する面（接触部）の外周には、光軸方向に対して外周側が上になるように傾斜した第１面取り部（傾斜面）４ａが形成されている。また、第２セル部材５のフランジ部における第１セル部材４のフランジ部の下端面に接する面（接触部）の外周には、光軸方向に対して外周側が下になるように傾斜した第２面取り部（傾斜面）５ａが形成されている。これら第１および第２面取り部４ａ，５ａにより径方向外方に向かって開いた横向きＶ字形状断面を有する溝が形成される。
【００３７】
また、第１および第２面取り部４ａ，５ａにより形成されるＶ字溝内には、弾性部材であるＯリング１２が装着され、Ｏリング１２の内周部分は第１および第２面取り部４ａ，５ａに対してその全周にわたって接触する。なお、Ｏリング１２の材質としては、フッ素ゴム等が用いられる。
【００３８】
さらに、Ｏリング１２の外周上側には第１押圧リング１３が、外周下側には第２押圧リング１４が配置される。第１押圧リング１３の内周面１３ａおよび外周面１３ｂはいずれも、第２面取り部５ａに概ね対向する傾斜面となっている。また、第２押圧リング１４の内周面１４ａおよび外周面１４ｂはいずれも、第１面取り部４ａに概ね対向する傾斜面となっている。
【００３９】
なお、本実施形態では、第１および第２押圧リング１３，１４の内周面１４ａ，１４ａおよび外周面１３ｂ，１４ｂをそれぞれ、第２および第１面取り部５ａ，４ａに略平行な斜面としている。但し、これらの内外周面は第２および第１面取り部５ａ，４ａに概ね対向する傾斜面となっていればよく、各面取り部５ａ，４ａに対して略平行でなくてもよい。また、これらの内外周面の傾斜角度が異なっていてもよい。
【００４０】
さらに、第１および第２押圧リング１３，１４の外周側には、カップリング部材（変位付与手段）１５が配置される。このカップリング部材１５は２つの円弧形状部材の一端同士が連結板１７により回動可能に連結され、かつこれら２つの円弧形状部材の他端間が第２ボルト１６により連結されて略環状に構成されている。第２ボルト１６を締め込むことによりカップリング部材１５の２つの円弧形状部材は連結板１７との連結位置を中心に内側に回動する。これにより、カップリング部材１５の径方向寸法が小さくなり、径方内方への締め付け力が発生する。
【００４１】
カップリング部材１５を径方向に締め付けると（図２における締め付け力力Ｆが作用すると）、カップリング部材１５の内周面１５ａ，１５ｂが前述したような傾斜面となっていることによって、第１押圧リング１３および第２押圧リング１４が相対的に近接する方向（光軸方向上下）に変位する。
【００４２】
このため、第１押圧リング１３の内周面１３ａがＯリング１２の外周上側を内周下側に向かって押しつぶし、第２押圧リング１４の内周面１４ａがＯリング１２の外周下側を内周上側に向かって押しつぶす。したがって、Ｏリング１２の内周上下部分が第１面取り部４ａおよび第２面取り部５ａに強く押圧され完全なシール状態となる。
【００４３】
ここで、カップリング部材１５は、前述したように連結部材１７の部分およびボルト１６を介してある程度離れた状態で連結された部分とがあり、これらの部分はカップリング部材１５における隙間となっており、第１および第２押圧リング１３，１４に締め付け力を作用させない部分となっている。
【００４４】
しかし、本実施形態では、カップリング部材１５とＯリング１２との間に隙間のない環形状である第１および第２押圧リング１３，１４を介在させているので、Ｏリング１２にはその全周にわたって第１および第２面取り部４ａ，５ａに押圧させる力が作用する。したがって、第１および第２面取り部４ａ，５ａをその全周にわたって完全にシールすることができる。
【００４５】
なお、第１および第２面取り部４ａ，５ａ、第１および第２押圧リング１３，１４およびカップリング部材１５に形成する各傾斜面の傾斜角度と、第２ボルト１６の締め付けトルクとを管理することで、Ｏリング１２を第１および第２面取り部４ａ，５ａに押圧する面圧を制御することができる。
【００４６】
本実施形態では、第１〜第３光学素子１〜３の光軸調整を行うため、第１光学素子１と第１セル部材４の外周面、第２光学素子２と第２セル部材５の外周面、第３光学素子３と第３セル部材６の外周面が各々所望の同軸度で設置されており、第１〜第３セル部材４〜６の外周面を基準として第１〜第３光学素子１〜３の光軸調整を行い、各鏡筒ユニットを所望の位置で高精度に位置決めし、第１ボルト８により第１〜第３セル部材４〜６を締結する。
【００４７】
その後、本実施形態のシール構造を用いて、Ｏリング１２を第１面取り部４ａ、第２面取り部５ｂとに、その全周にわたり均等な力で押圧し、シールする手順である。
【００４８】
このため、従来のように鏡筒ユニット間にＯリングを挟み込んだ状態で光軸調整を行う場合に比べて、第１〜第３の鏡筒ユニットの位置決めに費やす時間を短縮することができるとともに、簡易な構造でレンズ鏡筒５０のシールを行うことができる。
【００４９】
（第２実施形態）
図３（ａ），（ｂ）には、本発明の第２実施形態であるレンズ鏡筒（光学素子保持構造）１５０を示している。この図において、重力方向は光軸と一致し、図中の−Ｚ方向である。なお、図３（ｂ）は、光軸方向からの平面図である図３（ａ）におけるａ−ａ線断面図である。また、図４には、上記レンズ鏡筒におけるシール構造を拡大して示している。
【００５０】
本実施形態において、１２１〜１２４は第１〜第４光学素子、１２５〜１２８は各光学素子１２１〜１２４を保持する第１〜第４セル部材である。
各々において通気孔ＡＡを設けている。
【００５１】
１２９は第１および第２セル部材１２５，１２６を収納するための第１鏡筒部材（第１環状部材）であり、１３０は第３および第４セル部材１２７，１２８を収納するための第２鏡筒部材（第１環状部材）、１３１は第１光学素子１２１と第２光学素子１２２の間隔を調整するための第１スペーサ、１３２は第３光学素子１２３と第４光学素子１２４の間隔を調整するための第２スペーサである。また、１３３は第２光学素子１２２と第３光学素子１２３の間隔を調整するための第３スペーサ（第２環状部材）である。
【００５２】
第１光学素子１２１の下面周辺部と第１セル部材１２５の内周段部との当接により、第１光学素子１２１の第１セル部材１２５に対する光軸方向の位置決めが行われ、第２光学素子１２２の下面周辺部と第２セル部材１２６の内周段部との当接により、第２光学素子１２２の第１セル部材１２６に対する光軸方向の位置決めが行われる。
【００５３】
また、第３光学素子１２３の下面周辺部と第３セル部材１２７の内周段部との当接により、第３光学素子１２３の第３セル部材１２７に対する光軸方向の位置決めが行われ、第４光学素子１２４の下面周辺部と第４セル部材１２８の内周段部との当接により、第４光学素子１２４の第４セル部材１２８に対する光軸方向の位置決めが行われる。
【００５４】
そして、第１光学素子１２１の外周部と第１セル部材１２５の内周部、第２光学素子１２２の外周部と第２セル部材１２６の内周部、第３光学素子１２３の外周部と第３セル部材１２７の内周部および第４光学素子１２４の外周部と第４セル部材１２８の内周部はそれぞれ接合材１０７で接合されている。
【００５５】
第１鏡筒部材１２９の内周下部に形成された段部上には、第２光学素子１２２を保持した第２セル部材１２６、第１スペーサ１３１、第１光学素子１２１を保持した第１セル部材１２５の順で上に重ねられていき、第１セル部材１２５の上面は、第１鏡筒部材１２９の内周上部にねじ込まれた押え環１３４により押さえ込まれる。これにより、第１鏡筒部材１２９に対して第１および第２セル部材１２５，１２６（つまりは第１および第２光学素子１２１，１２２）が光軸方向にて位置決めされる。
【００５６】
一方、第２鏡筒部材１３０の内周下部に形成された段部上には、第４光学素子１２４を保持した第４セル部材１２８、第２スペーサ１３２、第３光学素子１２３を保持した第３セル部材１２７の順で上に重ねられていき、第３セル部材１２７の上面は、第２鏡筒部材１３０の内周上部にねじ込まれた押え環１３４により押さえ込まれる。これにより、第２鏡筒部材１３０に対して第３および第４セル部材１２７，１２８（つまりは第３および第４光学素子１２３，１２４）が光軸方向にて位置決めされる。
【００５７】
そして、このようにそれぞれ光学素子およびセル部材を収容した第１および第２鏡筒部材１２９，１３０は、間に挟んだ第３スペーサ１３３の光軸方向端面に第１および第２鏡筒部材１２９，１３０のフランジ部の光軸方向端面が当接するように重ねられ、第１〜第４光学素子１２１〜１２４の光軸が一致するように径方向の位置決めがなされた後、両フランジ部と第３スペーサ１３３とが周方向にて均等配置された複数の第１ボルト１０８によって締結される。
【００５８】
第１ボルト１０８により締結された第１および第２鏡筒部材１２９，１３０によって、円筒体としてのレンズ鏡筒本体が構成される。このレンズ鏡筒本体の上部開口と下部開口はそれぞれ、第１および第４光学素子１２１，１２４によって封止されている。このため、レンズ鏡筒本体内には、このレンズ鏡筒本体と第１および第４光学素子１２１，１２４とによって囲まれた密封空間が形成される。
【００５９】
このように構成されたレンズ鏡筒１５０を、例えば図４に示す露光装置（この装置については後述する）の投影光学系に用いる場合、第４セル部材１２８におけるレンズ保持部よりも外周側に形成されたガス供給口１０９を通じて、光化学反応に対して不活性なガスをレンズ鏡筒本体内の空間に導入し、第２，第３セル部材１２５，１２６に形成された通気孔ＡＡおよび第１セル部材１２５におけるレンズ保持部よりも外周側に形成されたガス排出口１１０を通じてレンズ鏡筒１５０をパージする。
【００６０】
第１鏡筒部材１２９のフランジ部における第３スペーサ１３３の上端面に接する面（接触部）の外周には、光軸方向に対して外周側が上になるように傾斜した第１面取り部（傾斜面）１２９ａが形成されている。また、第３スペーサ１３３における第１鏡筒部材１２９のフランジ部の下端面に接する面（接触部）の外周には、光軸方向に対して外周側が下になるように傾斜した第２面取り部（傾斜面）１３３ａが形成されている。これら第１および第２面取り部１２９ａ，１３３ａにより径方向外方に向かって開いた横向きＶ字形状断面を有する溝が形成される。
【００６１】
また、第２鏡筒部材１３０のフランジ部における第３スペーサ１３３の下端面に接する面（接触部）の外周には、光軸方向に対して外周側が下になるように傾斜した第３面取り部（傾斜面）１３０ａが形成されている。また、第３スペーサ１３３における第２鏡筒部材１３０のフランジ部の上端面に接する面（接触部）の外周には、光軸方向に対して外周側が上になるように傾斜した第４面取り部（傾斜面）１３３ｂが形成されている。これら第３および第４面取り部１３０ａ，１３３ｂにより径方向外方に向かって開いた横向きＶ字形状断面を有する溝が形成される。
【００６２】
第１および第２面取り部１２９ａ，１３３ａにより形成されるＶ字溝内には、弾性部材であるＯリング１１２ａが装着され、Ｏリング１１２ａの内周部分は第１および第２面取り部１２９ａ，１３３ａに対してその全周にわたって接触する。
【００６３】
また、第３および第４面取り部１３０ａ，１３３ｂにより形成されるＶ字溝内にも、弾性部材であるＯリング１１２ｂが装着され、Ｏリング１１２ｂの内周部分は第３および第４面取り部１３０ａ，１３３ｂに対してその全周にわたって接触する。なお、Ｏリング１１２ａ，１１２ｂの材質としては、フッ素ゴム等が用いられる。
【００６４】
さらに、Ｏリング１１２ａの外周上側には第１押圧リング１３７が、外周下側には第２押圧リング１３８が配置される。第１押圧リング１３７の内周面１３７ａは、第２面取り部１３３ａに概ね対向する傾斜面となっている。また、第２押圧リング１３８の内周面１３８ａは、第１面取り部１２９ａに概ね対向する傾斜面となっている。
【００６５】
なお、本実施形態では、第１および第２押圧リング１３７，１３８の内周面１３７ａ，１３８ａをそれぞれ、第２および第１面取り部１３３ａ，１２９ａに略平行な斜面としている。但し、これらの内周面は第２および第１面取り部１３３ａ，１２９ａに概ね対向する傾斜面となっていればよく、各面取り部１３３ａ，１２９ａに対して略平行でなくてもよい。また、これらの内周面の傾斜角度が異なっていてもよい。
【００６６】
さらに、第１および第２押圧リング１３７，１３８は、その周方向等間隔で配置された複数の第２ボルト（変位付与手段）１１６によって連結されている。この第２ボルト１１６を締め付けると、第１押圧リング１３７および第２押圧リング１３８が相対的に近接する方向（光軸方向上下）に変位する。
【００６７】
このため、第１押圧リング１３７の内周面１３７ａがＯリング１１２ａの外周上側を内周下側に向かって押しつぶし、第２押圧リング１３８の内周面１３８ａがＯリング１１２ａの外周下側を内周上側に向かって押しつぶす。したがって、Ｏリング１１２ａの内周上下部分が第１面取り部１２９ａおよび第２面取り部１３３ａに強く押圧され完全なシール状態となる。
【００６８】
本実施形態では、第２ボルト１１６は第１および第２押圧リング１３７，１３８をその周方向の複数箇所でのみ両押圧リング１１２ａ，１１２ｂを接近させる方向に力を作用させるが、第１および第２押圧リング１３７，１３８は切れ目のない環形状であるので、Ｏリング１１２ａにはその全周にわたって第１および第２面取り部１２９ａ，１３３ａに押圧させる力が作用する。したがって、第１および第２面取り部１２９ａ，１３３ａをその全周にわたって完全にシールすることができる。
【００６９】
そして、第１および第２面取り部１２９ａ，１３３ａと第１および第２押圧リング１３７，１３８の内周面の傾斜角度と第２ボルト１１６の締め付けトルクとを管理することで、Ｏリング１１２ａを第１および第２面取り部１２９ａ，１３３ａに押圧する面圧を制御することができる。
【００７０】
また、同様に、Ｏリング１１２ｂの外周上側には第３押圧リング１３９が、外周下側には第４押圧リング１４０が配置される。第３押圧リング１３９の内周面１３９ａは、第４面取り部１３０ａに概ね対向する傾斜面となっている。また、第４押圧リング１４０の内周面１４０ａは、第３面取り部１３３ｂに概ね対向する傾斜面となっている。
【００７１】
なお、本実施形態では、第３および第４押圧リング１３９，１４０の内周面１３９ａ，１４０ａをそれぞれ、第４および第３面取り部１３０ａ，１３３ｂに略平行な斜面としている。但し、これらの内周面１３９ａ，１４０ａはそれぞれ略対向する面取り部に対して概ね対向する傾斜面となっていればよく、各面取り部ａに対して略平行でなくてもよい。また、これらの内周面の傾斜角度が異なっていてもよい。
【００７２】
さらに、第３および第４押圧リング１３９，１４０は、その周方向等間隔で配置された複数の第２ボルト（変位付与手段）１１６によって連結されている。この第２ボルト１１６を締め付けると、第３押圧リング１３９および第４押圧リング１４０が相対的に近接する方向（光軸方向上下）に変位する。
【００７３】
このため、第３押圧リング１３９の内周面１３９ａがＯリング１１２ｂの外周上側を内周下側に向かって押しつぶし、第４押圧リング１４０の内周面１４０がＯリング１１２ｂの外周下側を内周上側に向かって押しつぶす。したがって、Ｏリング１１２ｂの内周上下部分が第３面取り部１３３ｂおよび第４面取り部１３０ａに強く押圧され完全なシール状態となる。
【００７４】
本実施形態では、第２ボルト１１６は第１および第２押圧リング１３７，１３８をその周方向の複数箇所でのみ両押圧リング１１２ａ，１１２ｂを接近させる方向に力を作用させるが、第１および第２押圧リング１３７，１３８は切れ目のない環形状であるので、Ｏリング１１２ａにはその全周にわたって第１および第２面取り部１２９ａ，１３３ａに押圧させる力が作用する。したがって、第１および第２面取り部１２９ａ，１３３ａをその全周にわたって完全にシールすることができる。
【００７５】
そして、第３および第４面取り部１３３ｂ，１４０ａと第３および第４押圧リング１３９，１４０の内周面の傾斜角度と第２ボルト１１６の締め付けトルクとを管理することで、Ｏリング１１２ｂを第３および第４面取り部１３３ｂ，１４０ａに押圧する面圧を制御することができる。
【００７６】
本実施形態では、第１および第２光学素子１２１，１２２と第１鏡筒部材１２９の外周面とは所望の同軸度で設置されており、同様に第３および第４光学素子１２３，１２４と第２鏡筒部材１３０の外周面は所望の同軸度で設置されている。このため、第１鏡筒部材１２９と第２鏡筒部材１３０の外周面を用いて、第１〜第４光学素子１２１〜１２４の光軸調整を行い、所望の位置に高精度に位置決めした後、第１ボルト１０８により第１鏡筒部材１２９と第２鏡筒部材１３０とを締結する。
【００７７】
その後、本実施形態のシール構造を用いて、Ｏリング１１２ａを第１面取り部１２９ａと第２面取り部１３３ａとにその全周にわたり均等な力で押圧し、またＯリング１１２ｂを第３面取り部１３３ｂと第４面取り部１３０ａとにその全周にわたり均等な力で押圧し、シールする手順である。
【００７８】
このため、従来のように鏡筒ユニット間にＯリングを挟み込んだ状態で光軸調整を行う場合に比べて、第１および第２鏡筒部材１２９，１３０および第３スペーサ１３３の位置決めに費やす時間を短縮することができるとともに、簡易な構造でレンズ鏡筒１５０のシールを行うことができる。
【００７９】
なお、上記第１実施形態にて説明した第１〜第３セル部材４〜６と比較して、本実施形態における第１鏡筒部材１２９、第２鏡筒部材１３０および第３スペーサ１３３の外径が大きくなる場合、第１実施形態にて説明したシール構造では、局所的にシール面圧が不十分となり、レンズ鏡筒内に外気が流入するおそれが生じる。
【００８０】
このため、本実施形態では、Ｏリング１１２ａ，１１２ｂの各面取り部１２９ａ，１３３ａ，１３３ｂ，１３０ａに対する接触面圧が不十分な箇所の第２ボルト１１６の締め付けトルクを増すことで、接触面圧を局所的に調節することを可能としている。
【００８１】
（第３実施形態）
図５には、第１実施形態にて説明したシール構造を用いたレンズ鏡筒５０’を投影光学系として備えた露光装置の構成を示している。この図において、重力方向は光軸と一致し、図中の−Ｚ方向である。
【００８２】
５１は照明光学系、５２は転写されるパターンの原版であるレチクル、５３はレチクル５２を保持するレチクルステージである。５４は投影光学系（レンズ鏡筒）５０’を露光装置本体の所定の位置に設置するための定盤である。
【００８３】
５５はパターンが転写されるウエハ、５６はウエハ５５を保持するウエハステージである。
【００８４】
照明光学系５１における光源には、波長４３６ｎｍのｇ線、波長３６５ｎｍのｉ線、波長２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザ、波長１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザ、波長１５７ｎｍのＦ２エキシマレーザ等を用いる。
【００８５】
レチクル５２に描かれたパターン領域には、照明光学系５１からの光が照射され、投影光学系５０’により所定の倍率（例えば１／４又は１／５）で縮小され、ウエハステージ５６に保持されたウエハ５５に転写される。
【００８６】
投影光学系５０’に対して、レチクル５２とウエハ５５を走査することにより、レチクル５２のパターン領域をウエハ５５の感光材に転写する。この走査露光がウエハ５５上の複数の転写領域に対して繰り返し行われる。
【００８７】
投影光学系５０’において、光の利用効率を高めるために、ガス供給口９を通じて光化学反応に対して不活性なガスを供給し、ガス排出口１０より不活性ガスを排出して投影光学系５０’をパージする。
【００８８】
この際、光学素子を保持するセル部材間から外気が流入することを防止するため、第１実施形態にて説明したシール構造によりセル部材間をシールしている。これにより、光学特性や照明光の均等性の劣化を防ぎ、露光量減少を抑止し、露光装置の性能維持および向上を簡易で省スペース的な構造を用いて低コストで実現可能となる。
【００８９】
なお、第１実施形態のシール構造に代えて又はこれとともに、第２実施形態にて説明したシール構造を用いてもよい。
【００９０】
また、本実施形態において説明した露光装置は、ステップアンドスキャン方式の露光装置であるが、本発明のシール構造をステッパ方式の露光装置にも用いることができる。
【００９１】
また、本実施形態では、投影光学系を構成するレンズ鏡筒に本発明のシール構造を適用した場合について説明したが、照明光学系を構成するレンズ鏡筒等に適用してもよいし、両光学系における屈折型光学系、反射屈折型光学系、反射型光学系に本発明のシール構造を適用してもよい。
【００９２】
さらに、上記各実施形態では、露光装置に用いられるレンズ鏡筒にシール構造を設けた場合について説明したが、本発明のシール構造は他の装置の円筒体（例えば、真空装置の配管）にも適用することができる。
【００９３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、変位付与手段によって第１および第２押圧部材を軸方向に相対的に接近する方向に変位させるようにしているので、弾性部材を両環状部材の傾斜面に確実に押圧させることができ、簡易な構成で完全なシール効果を得ることができる。
【００９４】
また、軸合わせを行った両環状部材をボルト等によって締結した後にその外周に弾性部材を配置し、接触部のシールを行えばよいため、弾性部材が両環状部材の軸合わせの支障となることがなく、軸合わせに要する時間を短くすることができる。
【００９５】
しかも、変位付与手段から第１および第２押圧部材の全周にわたって均等な変位力が付与されなくても、第１および第２押圧部材から弾性部材にその全周にわたって均等な押圧力を作用させることができるので、両環状部材の接触部を全周にわたって確実にシールすることができる。
【００９６】
そして、本発明のシール構造によれば、例えば円筒体の内側に光学素子が保持される場合、円筒体の内側空間への外気の流入、さらには流入した外気（酸素等）によるレーザー光の吸収等を防止することができ、これを用いた露光装置等の光学性能の維持・向上を図ることができる。また、円筒体の内側空間からの不活性ガス等の流出をも確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態であるレンズ鏡筒の斜視図（一部断面図）。
【図２】上記レンズ鏡筒に用いられたシール構造の拡大図。
【図３】本発明の第２実施形態であるレンズ鏡筒の平面図および側面断面図。
【図４】上記第２実施形態のレンズ鏡筒に用いられたシール構造の拡大図。
【図５】本発明の第３実施形態である露光装置の概略構成図。
【図６】従来のシール構造の概略図。
【符号の説明】
１〜３光学素子
４〜６セル部材
４ａ，５ａ面取り部
７接合材
８第１ボルト
９ガス供給口
１０ガス排出口
１２Ｏリング
１３，１４押圧リング
１５カップリング部材
１６第２ボルト
５０レンズ鏡筒
１１２ａ，１１２ｂＯリング
１２１〜１２４光学素子
１２５〜１２８セル部材
１２９，１３０鏡筒部材
１３１，１３３スペーサ
１３４押え環
１２９ａ，１３０ａ，１３３ａ，１３３ｂ面取り部
１３７〜１４０押圧リング
１５０レンズ鏡筒
５０’ 投影光学系
５１照明光学系
５２レチクル
５３レチクルステージ
５５ウエハ
５６ウエハステージ
６１，６２光学素子
６３，６４セル部材
６５，６６鏡筒部材
６７Ｏリング
６８接合材
６９ボルト
７０押え環
ＡＡ通気孔[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a cylindrical sealing structure formed by bringing axial end surfaces of a plurality of annular members into contact with each other, and in particular, seals the internal space of a cylindrical body that holds optical elements such as lenses and mirrors in an optical device. The present invention relates to a suitable seal structure.
[0002]
[Prior art]
In an exposure apparatus that manufactures a semiconductor integrated circuit, a projection optical system is used when an original pattern is exposed and transferred onto a substrate at a predetermined magnification with illumination light emitted from a light source. In particular, in recent years, with the miniaturization of patterns, the exposure wavelength has been reduced to a single wavelength. For example, an ArF excimer laser having a wavelength of 193 nm, an F2 excimer laser having a wavelength of 157 nm, or the like is used.
[0003]
In exposure light such as this ArF excimer laser, F2 excimer laser, etc., the emission spectrum overlaps with the absorption spectrum of oxygen, so that the light transmittance decreases due to the absorption of oxygen, leading to a decrease in performance of the projection exposure apparatus.
[0004]
For this reason, in a projection exposure apparatus using exposure light such as ArF excimer laser and F2 excimer laser, a technique is used in which the atmosphere in the exposure optical path is replaced with a gas (nitrogen gas, helium gas, etc.) inert to the photochemical reaction. .
[0005]
By the way, in such a projection optical system of an exposure apparatus, several optical elements are held by each holding member, and these holding members are arranged in the optical axis direction of the optical element.
[0006]
In order to supply an inert gas into these holding members and prevent the inflow of air between the holding members, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-233212 discloses a space between the upper and lower lens barrels constituting the lens barrel. A seal structure has been proposed in which a seal portion is provided, a groove of the lower ring, an upper ring inserted into the groove, and inert grease filled between the groove and the upper ring.
[0007]
As another configuration, a configuration has been proposed in which a rubber cylindrical member is provided on the outer peripheral surface side of the upper end flange of the lower barrel and the lower end flange of the upper barrel to prevent inflow of air. Yes.
[0008]
Further, as a conventional sealing structure, there is a sealing structure in which an elastic material is sandwiched between holding members that hold several optical elements. This seal configuration will be described with reference to FIG.
[0009]
In this figure, the direction of gravity coincides with the optical axis direction, and is the −Z direction in the figure. 61 is a first optical element, 62 is a second optical element, 63 is a first cell member for holding the first optical element 61, and 64 is a second cell for holding the second optical element 62. It is a cell member.
[0010]
Reference numeral 65 denotes a first lens barrel member for storing and holding the first cell member 63, and 66 denotes a second lens barrel member for storing and holding the second cell member 64.
[0011]
67 is an O-ring that is an elastic material sandwiched between the first and second lens barrel members 65 and 66, 68 is a bonding material, and 69 is the first and second lens barrel members 65 and 66. A bolt 70 is a press ring for pressing the cell members 63 and 64 against the lens barrel members 65 and 66 for positioning in the optical axis direction.
[0012]
The first optical element 61 is disposed on the inner periphery of the first cell member 63, and is a bonding material injected between the outer peripheral surface of the first optical element 61 and the inner peripheral surface of the first cell member 63. The first cell member 63 is joined by 68.
[0013]
The first cell member 63 is fitted in the first lens barrel member 65 to be positioned in the radial direction, and is positioned in the optical axis direction by the presser ring 70. Similarly, the second optical element 62 is held using the second cell member 64 and bonded by the bonding material 68. The second cell member 64 is fitted in the second lens barrel member 66 and positioned in the radial direction, and is positioned in the optical axis direction by the presser ring 70.
[0014]
Then, an O-ring 67 is sandwiched between the first lens barrel member 65 and the second lens barrel member 66 so that the optical axes of the first optical element 61 and the second optical element 62 coincide with each other. The cylinder members 65 and 66 are fastened with bolts 69 while being positioned.
[0015]
[Problems to be solved by the invention]
However, the seal structure proposed in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-233412 requires a new space for providing a seal portion between the upper lens barrel and the lower lens barrel constituting the lens barrel.
[0016]
When a rubber cylindrical member is provided, the rubber cylindrical member is pressed over the entire circumference with a desired force near the flange at the upper end of the lower barrel and near the flange at the lower end of the upper barrel. Without it, it is difficult to prevent the inflow of air.
[0017]
Further, as shown in FIG. 5, when the O-ring 67 is sandwiched between the lens barrel members 65 and 66 and sealed, before the lens barrel members 65 and 66 are firmly fastened by the bolts 69, Although it is necessary to adjust the position so that the optical axes of the optical elements held by 66 are aligned with each other, the O-ring 67 and the barrel member 65, which are crushed by the sandwiching force between the barrel members 65, 66, There is a problem that it is difficult to position the lens barrel members 65 and 66 with high accuracy due to the friction generated between the lens barrel members 65 and 66.
[0018]
It is possible to adjust the optical axis positions of the lens barrel members 65 and 66 first, and then tighten the bolt by inserting the O-ring 67. However, when the O-ring 67 is crushed when the bolt is fastened, There is a risk that both lens barrel members 65 and 66 may be displaced in an unexpected direction by the elastic force generated in the ring 67.
[0019]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problems, in the present invention, in the cylindrical seal structure formed by bringing the first annular member and the second annular member into contact with each other in the axial end surfaces thereof, both annular members are provided. Are formed on the outer periphery of the contact portion of each of the contact portions with opposite inclinations relative to the axial direction (for example, inclined surfaces forming a groove having a V-shaped cross section opened radially outward). An annular elastic member is brought into contact with the surface. And on the outer peripheral side of this elastic member, an annular first pressing member having an inner peripheral surface that is inclined with respect to the axial direction so as to be substantially opposed to the inclined surface of the second annular member, and is in contact with the elastic member; An annular second pressing member having an inner peripheral surface that is inclined with respect to the axial direction and is in contact with the elastic member so as to be substantially opposed to the inclined surface of the annular member is disposed, and the first and second pressing members are arranged on the shaft. Displacement imparting means for displacing in a direction relatively approaching the direction is provided.
[0020]
In other words, the elastic member is reliably pressed against the inclined surfaces of the two annular members by displacing the first and second pressing members in a direction relatively approaching the axial direction by the displacement applying means. Moreover, since it is only necessary to arrange the elastic member on the outer periphery after the two annular members that have undergone axial alignment are fastened with bolts or the like, the elastic member does not hinder the alignment of the two annular members.
[0021]
Moreover, even if a uniform displacement force is not applied from the displacement applying means to the entire circumference of the first and second pressing members, an equal pressing force acts on the entire circumference from the first and second pressing members. Therefore, it is possible to reliably seal the contact portions of both annular members over the entire circumference.
[0022]
The displacement applying means includes two inner peripheral surfaces that are inclined with respect to the axial direction so as to be generally opposed to the inclined surfaces of the second and first annular members, which contact the outer periphery of the first and second pressing members, respectively. A substantially annular fastening member that generates a fastening force radially inward may be used. Further, a bolt attached between the first and second pressing members may be used.
[0023]
Moreover, when it has fastening members, such as a volt | bolt which fastens a 1st annular member and a 2nd annular member, it is good to provide this seal structure outside the said fastening member in the radial direction of the said cylindrical body.
[0024]
According to the seal structure of the present invention, for example, when the optical element is held inside the cylindrical body, the inflow of outside air into the inner space of the cylindrical body, and further, laser light or the like by the flowing outside air (oxygen etc.) Absorption can be prevented. It is also possible to reliably prevent the outflow of inert gas or the like from the inner space of the cylindrical body.
[0025]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(First embodiment)
1A and 1B show a lens barrel (optical element holding structure) 50 according to the first embodiment of the present invention. In this figure, the direction of gravity coincides with the optical axis and is the −Z direction in the figure. FIG. 2 shows an enlarged seal structure in the lens barrel.
[0026]
1 to 3 are first to third optical elements, 4 is a first cell member as a first annular member that holds the outer periphery of the first optical element 1, and 5 is a first cell member that holds the outer periphery of the second optical element 2. A second cell member as a two annular member, 6 is a third cell member for holding the outer peripheral portion of the third optical element 3.
[0027]
Positioning of the first optical element 1 with respect to the first cell member 4 in the optical axis direction is performed by the contact between the lower surface peripheral portion of the first optical element 1 and the inner peripheral step of the first cell member 4, and the second optical Positioning of the second optical element 2 with respect to the second cell member 5 in the optical axis direction is performed by contact between the lower surface peripheral portion of the element 2 and the inner peripheral step portion of the second cell member 5.
[0028]
The outer periphery of the first optical element 1, the inner periphery of the first cell member 4, the outer periphery of the second optical element 2, the inner periphery of the second cell member 5, the outer periphery of the third optical element 3, and the first The inner periphery of the three-cell member 6 is joined with a joining material 7.
[0029]
A first lens barrel unit is constituted by the first optical element 1 and the first cell member 3 bonded together by the bonding material 7. Similarly, a second lens barrel unit is configured by the second optical element 2 and the second cell member 4, and a third lens barrel unit is configured by the third optical element 3 and the third cell member 5.
[0030]
As the first to third optical elements 1 to 3, lenses, parallel flat glass, mirrors, prisms, binary optics, and the like are used. Moreover, as a material of the 1st-3rd cell members 4-6, metals, such as copper alloys, such as brass, stainless steel, iron, a low thermal expansion metal invar, carbon steel, ceramics, etc. are used. As the bonding material 7, a low melting point metal, an adhesive, a welding material, or the like is used.
[0031]
These lens barrel units are arranged so that the end surfaces in the optical axis direction of the flange portions of the first to third cell members 4 to 5 are in contact with each other (that is, the optical axes of the first to third optical elements 1 to 3). A plurality of first bolts 8 in which both flange portions are arranged at equal intervals in the circumferential direction after the radial positioning is performed so that the optical axes of the first to third optical elements 1 to 3 coincide with each other. It is concluded by.
[0032]
The first to third cell members 3 to 5 fastened by the first bolt 8 constitute a lens barrel body as a cylindrical body. The upper opening and the lower opening of the lens barrel body are sealed by the first and third optical elements 1 and 3, respectively. Therefore, a sealed space surrounded by the lens barrel body and the first and third optical elements 1 and 3 is formed in the lens barrel body.
[0033]
A vent hole AA is formed on the outer peripheral side of the lens holding portion in the second cell member 5 to communicate the upper and lower spaces in the lens barrel body that is partitioned by the second optical element 2.
[0034]
Further, an O-ring 20 is disposed between the bottom surface of the head of the first bolt 8 and the periphery of the bolt hole of the first cell member 7, and the outside air to the space in the lens barrel body through the bolt hole. Inflow.
[0035]
When the lens barrel 50 created as described above is used, for example, in the projection optical system of the exposure apparatus shown in FIG. 4 (this apparatus will be described later), a gas that is inert to the photochemical reaction is supplied to the third cell member. 6 is supplied into the lens barrel 50 through the gas supply port 9 formed at 6, and the lens barrel 50 is purged through the vent hole AA and the discharge port 10 formed in the second cell member 5.
[0036]
A first chamfer inclined on the outer periphery of the surface (contact portion) of the flange portion of the first cell member 4 that is in contact with the upper end surface of the flange portion of the second cell member 5 with the outer peripheral side facing up with respect to the optical axis direction. A portion (inclined surface) 4a is formed. In addition, the outer periphery of the surface (contact portion) that contacts the lower end surface of the flange portion of the first cell member 4 in the flange portion of the second cell member 5 is inclined so that the outer peripheral side is downward with respect to the optical axis direction. Two chamfered portions (inclined surfaces) 5a are formed. These first and second chamfered portions 4a and 5a form a groove having a lateral V-shaped cross section that opens radially outward.
[0037]
An O-ring 12 that is an elastic member is mounted in the V-shaped groove formed by the first and second chamfered portions 4a and 5a, and the inner peripheral portion of the O-ring 12 is the first and second chamfered portions 4a. , 5a is contacted over its entire circumference. In addition, as a material of the O-ring 12, fluorine rubber or the like is used.
[0038]
Further, a first pressing ring 13 is disposed on the outer periphery upper side of the O-ring 12, and a second pressing ring 14 is disposed on the outer periphery lower side. Both the inner peripheral surface 13a and the outer peripheral surface 13b of the first pressing ring 13 are inclined surfaces that are generally opposed to the second chamfered portion 5a. Further, both the inner peripheral surface 14a and the outer peripheral surface 14b of the second pressing ring 14 are inclined surfaces that are generally opposed to the first chamfered portion 4a.
[0039]
In the present embodiment, the inner peripheral surfaces 14a and 14a and the outer peripheral surfaces 13b and 14b of the first and second pressing rings 13 and 14 are inclined substantially parallel to the second and first chamfered portions 5a and 4a, respectively. . However, these inner and outer peripheral surfaces need only be inclined surfaces that are generally opposed to the second and first chamfered portions 5a, 4a, and may not be substantially parallel to the respective chamfered portions 5a, 4a. Moreover, the inclination angles of these inner and outer peripheral surfaces may be different.
[0040]
Furthermore, a coupling member (displacement imparting means) 15 is disposed on the outer peripheral side of the first and second pressing rings 13 and 14. The coupling member 15 has a substantially annular shape in which one end of two arc-shaped members is rotatably connected by a connecting plate 17 and the other end of the two arc-shaped members is connected by a second bolt 16. Has been. By tightening the second bolt 16, the two arc-shaped members of the coupling member 15 rotate inwardly about the connection position with the connection plate 17. As a result, the radial dimension of the coupling member 15 is reduced, and a tightening force radially inward is generated.
[0041]
When the coupling member 15 is tightened in the radial direction (when the tightening force F in FIG. 2 is applied), the inner peripheral surfaces 15a and 15b of the coupling member 15 are inclined surfaces as described above. The pressing ring 13 and the second pressing ring 14 are displaced in a direction in which they are relatively close to each other (up and down in the optical axis direction).
[0042]
For this reason, the inner peripheral surface 13a of the first pressing ring 13 crushes the outer peripheral upper side of the O-ring 12 toward the inner peripheral lower side, and the inner peripheral surface 14a of the second pressing ring 14 contacts the outer peripheral lower side of the O-ring 12 inside. Crush toward the upper circumference. Therefore, the inner peripheral upper and lower portions of the O-ring 12 are strongly pressed against the first chamfered portion 4a and the second chamfered portion 5a, and a complete sealing state is obtained.
[0043]
Here, as described above, the coupling member 15 includes a portion of the connecting member 17 and a portion connected with a certain distance through the bolts 16, and these portions become gaps in the coupling member 15. In other words, the first and second pressing rings 13 and 14 are portions that do not exert a tightening force.
[0044]
However, in this embodiment, since the first and second pressing rings 13 and 14 having a ring shape without a gap are interposed between the coupling member 15 and the O-ring 12, the O-ring 12 has all of them. A force for pressing the first and second chamfered portions 4a and 5a is applied over the circumference. Therefore, the first and second chamfered portions 4a and 5a can be completely sealed over the entire circumference.
[0045]
In addition, the inclination angle of each inclined surface formed in the first and second chamfered portions 4a and 5a, the first and second pressing rings 13 and 14 and the coupling member 15 and the tightening torque of the second bolt 16 are managed. Thereby, the surface pressure which presses the O-ring 12 against the first and second chamfered portions 4a and 5a can be controlled.
[0046]
In this embodiment, in order to adjust the optical axes of the first to third optical elements 1 to 3, the outer peripheral surfaces of the first optical element 1 and the first cell member 4, the second optical element 2 and the second cell member 5. The outer peripheral surface, the outer peripheral surface of the third optical element 3 and the third cell member 6 are respectively installed with a desired coaxiality, and the first to third are based on the outer peripheral surfaces of the first to third cell members 4 to 6. The optical axes of the optical elements 1 to 3 are adjusted, the lens barrel units are positioned with high accuracy at desired positions, and the first to third cell members 4 to 6 are fastened by the first bolts 8.
[0047]
Thereafter, using the seal structure of the present embodiment, the O-ring 12 is pressed against the first chamfered portion 4a and the second chamfered portion 5b with uniform force and sealed.
[0048]
For this reason, it is possible to reduce the time spent for positioning the first to third lens barrel units as compared with the conventional case where the optical axis adjustment is performed with the O-ring sandwiched between the lens barrel units. The lens barrel 50 can be sealed with a simple structure.
[0049]
(Second Embodiment)
3A and 3B show a lens barrel (optical element holding structure) 150 according to the second embodiment of the present invention. In this figure, the direction of gravity coincides with the optical axis and is the −Z direction in the figure. FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line aa in FIG. 3A which is a plan view from the optical axis direction. FIG. 4 shows an enlarged seal structure in the lens barrel.
[0050]
In the present embodiment, reference numerals 121 to 124 denote first to fourth optical elements, and 125 to 128 denote first to fourth cell members that hold the optical elements 121 to 124.
Each is provided with a vent AA.
[0051]
Reference numeral 129 denotes a first lens barrel member (first annular member) for accommodating the first and second cell members 125, 126, and reference numeral 130 denotes a second lens member for accommodating the third and fourth cell members 127, 128. The lens barrel member (first annular member) 131 is a first spacer for adjusting the distance between the first optical element 121 and the second optical element 122, and 132 is the distance between the third optical element 123 and the fourth optical element 124. It is the 2nd spacer for adjusting. Reference numeral 133 denotes a third spacer (second annular member) for adjusting the distance between the second optical element 122 and the third optical element 123.
[0052]
Positioning of the first optical element 121 with respect to the first cell member 125 in the optical axis direction is performed by contact between the lower surface peripheral portion of the first optical element 121 and the inner peripheral step portion of the first cell member 125, and the second optical element is positioned. Positioning of the second optical element 122 with respect to the first cell member 126 in the optical axis direction is performed by contact between the lower surface peripheral portion of the element 122 and the inner peripheral step portion of the second cell member 126.
[0053]
The third optical element 123 is positioned in the optical axis direction with respect to the third cell member 127 by the contact between the lower surface peripheral portion of the third optical element 123 and the inner peripheral step of the third cell member 127, and Positioning of the fourth optical element 124 with respect to the fourth cell member 128 in the optical axis direction is performed by contact between the lower surface peripheral portion of the fourth optical element 124 and the inner peripheral step of the fourth cell member 128.
[0054]
The outer periphery of the first optical element 121, the inner periphery of the first cell member 125, the outer periphery of the second optical element 122, the inner periphery of the second cell member 126, the outer periphery of the third optical element 123, and the first The inner peripheral portion of the three-cell member 127, the outer peripheral portion of the fourth optical element 124, and the inner peripheral portion of the fourth cell member 128 are joined by a joining material 107, respectively.
[0055]
On the step formed in the lower inner periphery of the first lens barrel member 129, the second cell member 126 holding the second optical element 122, the first spacer 131, and the first cell holding the first optical element 121 are provided. The members 125 are stacked in this order, and the upper surface of the first cell member 125 is pressed down by a presser ring 134 screwed into the upper part of the inner periphery of the first lens barrel member 129. Accordingly, the first and second cell members 125 and 126 (that is, the first and second optical elements 121 and 122) are positioned in the optical axis direction with respect to the first lens barrel member 129.
[0056]
On the other hand, the fourth cell member 128 holding the fourth optical element 124, the second spacer 132, and the third optical element 123 holding the third optical element 123 are formed on the step formed in the lower inner periphery of the second lens barrel member 130. The three cell members 127 are stacked in this order, and the upper surface of the third cell member 127 is pressed by a presser ring 134 screwed into the upper part of the inner periphery of the second lens barrel member 130. As a result, the third and fourth cell members 127 and 128 (that is, the third and fourth optical elements 123 and 124) are positioned in the optical axis direction with respect to the second barrel member 130.
[0057]
Then, the first and second lens barrel members 129 and 130 each containing the optical element and the cell member in this way are arranged on the end surfaces in the optical axis direction of the third spacer 133 sandwiched therebetween, and the first and second lens barrel members 129. , 130 are overlapped so that the end surfaces in the optical axis direction of the flange portions are in contact with each other, and are positioned in the radial direction so that the optical axes of the first to fourth optical elements 121 to 124 coincide with each other. The three spacers 133 are fastened by a plurality of first bolts 108 that are equally arranged in the circumferential direction.
[0058]
The first and second lens barrel members 129 and 130 fastened by the first bolt 108 constitute a lens barrel body as a cylindrical body. The upper opening and the lower opening of the lens barrel main body are sealed by first and fourth optical elements 121 and 124, respectively. Therefore, a sealed space surrounded by the lens barrel body and the first and fourth optical elements 121 and 124 is formed in the lens barrel body.
[0059]
When the lens barrel 150 configured in this way is used, for example, in the projection optical system of the exposure apparatus shown in FIG. 4 (this apparatus will be described later), it is formed on the outer peripheral side of the lens holding portion in the fourth cell member 128. A gas inert to the photochemical reaction is introduced into the space inside the lens barrel body through the gas supply port 109, and the air holes AA and the first cells formed in the second and third cell members 125 and 126 are introduced. The lens barrel 150 is purged through the gas discharge port 110 formed on the outer peripheral side of the lens holding portion in the member 125.
[0060]
A first chamfered portion (inclined) is formed on the outer periphery of the surface (contact portion) in contact with the upper end surface of the third spacer 133 in the flange portion of the first lens barrel member 129 so that the outer peripheral side is upward with respect to the optical axis direction. Surface) 129a is formed. In addition, a second chamfered portion that is inclined so that the outer peripheral side is downward with respect to the optical axis direction on the outer periphery of the surface (contact portion) in contact with the lower end surface of the flange portion of the first lens barrel member 129 in the third spacer 133 (Inclined surface) 133a is formed. The first and second chamfered portions 129a and 133a form a groove having a lateral V-shaped cross section that opens outward in the radial direction.
[0061]
In addition, a third chamfered portion that is inclined so that the outer peripheral side is downward with respect to the optical axis direction is provided on the outer periphery of the surface (contact portion) in contact with the lower end surface of the third spacer 133 in the flange portion of the second barrel member 130. (Inclined surface) 130a is formed. In addition, a fourth chamfered portion is inclined on the outer periphery of the surface (contact portion) in contact with the upper end surface of the flange portion of the second barrel member 130 in the third spacer 133 so that the outer peripheral side is on the upper side with respect to the optical axis direction. (Inclined surface) 133b is formed. These third and fourth chamfered portions 130a and 133b form a groove having a lateral V-shaped cross section that opens radially outward.
[0062]
An O-ring 112a, which is an elastic member, is mounted in the V-shaped groove formed by the first and second chamfered portions 129a and 133a, and the inner peripheral portion of the O-ring 112a is the first and second chamfered portions 129a and 133a. Against the entire circumference.
[0063]
Further, an O-ring 112b, which is an elastic member, is also mounted in a V-shaped groove formed by the third and fourth chamfered portions 130a and 133b, and the inner peripheral portion of the O-ring 112b is the third and fourth chamfered portions 130a. , 133b contacts the entire circumference. In addition, as a material of the O-rings 112a and 112b, fluorine rubber or the like is used.
[0064]
Further, a first pressing ring 137 is disposed on the outer periphery upper side of the O-ring 112a, and a second pressing ring 138 is disposed on the outer periphery lower side. The inner peripheral surface 137a of the first pressing ring 137 is an inclined surface that generally faces the second chamfered portion 133a. Further, the inner peripheral surface 138a of the second pressing ring 138 is an inclined surface that generally faces the first chamfered portion 129a.
[0065]
In the present embodiment, the inner peripheral surfaces 137a and 138a of the first and second pressing rings 137 and 138 are inclined substantially parallel to the second and first chamfered portions 133a and 129a, respectively. However, these inner peripheral surfaces need only be inclined surfaces that are generally opposed to the second and first chamfered portions 133a and 129a, and may not be substantially parallel to the respective chamfered portions 133a and 129a. Moreover, the inclination angles of these inner peripheral surfaces may be different.
[0066]
Further, the first and second pressing rings 137 and 138 are connected by a plurality of second bolts (displacement imparting means) 116 arranged at equal intervals in the circumferential direction. When the second bolt 116 is tightened, the first pressing ring 137 and the second pressing ring 138 are displaced in a relatively close direction (up and down in the optical axis direction).
[0067]
For this reason, the inner peripheral surface 137a of the first pressing ring 137 crushes the outer peripheral upper side of the O-ring 112a toward the inner peripheral lower side, and the inner peripheral surface 138a of the second pressing ring 138 inwards the outer peripheral lower side of the O-ring 112a. Crush toward the upper circumference. Therefore, the inner peripheral upper and lower portions of the O-ring 112a are strongly pressed against the first chamfered portion 129a and the second chamfered portion 133a, and a complete sealing state is obtained.
[0068]
In the present embodiment, the second bolt 116 applies a force in the direction in which the first and second pressing rings 137 and 138 approach the pressing rings 112a and 112b only at a plurality of locations in the circumferential direction. Since the two pressing rings 137 and 138 have an unbroken ring shape, the O-ring 112a is subjected to a force for pressing the first and second chamfered portions 129a and 133a over the entire circumference. Therefore, the first and second chamfered portions 129a and 133a can be completely sealed over the entire circumference.
[0069]
Then, by managing the inclination angle of the inner peripheral surfaces of the first and second chamfered portions 129a and 133a and the first and second pressing rings 137 and 138 and the tightening torque of the second bolt 116, the O-ring 112a is The surface pressure pressed against the first and second chamfered portions 129a and 133a can be controlled.
[0070]
Similarly, the third pressing ring 139 is disposed on the upper outer periphery of the O-ring 112b, and the fourth pressing ring 140 is disposed on the lower outer periphery. The inner peripheral surface 139a of the third pressing ring 139 is an inclined surface that generally faces the fourth chamfered portion 130a. The inner peripheral surface 140a of the fourth pressing ring 140 is an inclined surface that generally faces the third chamfered portion 133b.
[0071]
In the present embodiment, the inner peripheral surfaces 139a and 140a of the third and fourth pressing rings 139 and 140 are inclined substantially parallel to the fourth and third chamfered portions 130a and 133b, respectively. However, the inner peripheral surfaces 139a and 140a may be inclined surfaces that are substantially opposed to the substantially chamfered portions, and may not be substantially parallel to the chamfered portions a. Moreover, the inclination angles of these inner peripheral surfaces may be different.
[0072]
Further, the third and fourth pressing rings 139 and 140 are connected by a plurality of second bolts (displacement applying means) 116 arranged at equal intervals in the circumferential direction. When the second bolt 116 is tightened, the third pressing ring 139 and the fourth pressing ring 140 are displaced in a relatively close direction (up and down in the optical axis direction).
[0073]
For this reason, the inner peripheral surface 139a of the third pressing ring 139 crushes the outer peripheral upper side of the O-ring 112b toward the inner peripheral lower side, and the inner peripheral surface 140 of the fourth pressing ring 140 inwardly contacts the outer peripheral lower side of the O-ring 112b. Crush toward the upper circumference. Therefore, the inner peripheral upper and lower portions of the O-ring 112b are strongly pressed against the third chamfered portion 133b and the fourth chamfered portion 130a, and a complete sealing state is obtained.
[0074]
In the present embodiment, the second bolt 116 applies a force in the direction in which the first and second pressing rings 137 and 138 approach the pressing rings 112a and 112b only at a plurality of locations in the circumferential direction. Since the two pressing rings 137 and 138 have an unbroken ring shape, the O-ring 112a is subjected to a force for pressing the first and second chamfered portions 129a and 133a over the entire circumference. Therefore, the first and second chamfered portions 129a and 133a can be completely sealed over the entire circumference.
[0075]
Then, by managing the inclination angles of the inner peripheral surfaces of the third and fourth chamfered portions 133b and 140a and the third and fourth pressing rings 139 and 140 and the tightening torque of the second bolt 116, the O-ring 112b is The surface pressure pressed against the third and fourth chamfered portions 133b and 140a can be controlled.
[0076]
In the present embodiment, the first and second optical elements 121 and 122 and the outer peripheral surface of the first lens barrel member 129 are installed with a desired coaxiality. Similarly, the third and fourth optical elements 123 and 124 The outer peripheral surface of the second lens barrel member 130 is installed with a desired coaxiality. For this reason, after performing the optical axis adjustment of the 1st-4th optical elements 121-124 using the outer peripheral surface of the 1st lens barrel member 129 and the 2nd lens barrel member 130, and positioning to the desired position with high precision The first barrel member 129 and the second barrel member 130 are fastened by the first bolt 108.
[0077]
Thereafter, using the seal structure of this embodiment, the O-ring 112a is pressed against the first chamfered portion 129a and the second chamfered portion 133a with an equal force over the entire circumference, and the O-ring 112b is pressed against the third chamfered portion 133b. And the fourth chamfered portion 130a with a uniform force and sealed over the entire circumference.
[0078]
Therefore, the time spent for positioning the first and second lens barrel members 129 and 130 and the third spacer 133 as compared with the conventional case where the optical axis adjustment is performed with the O-ring sandwiched between the lens barrel units. The lens barrel 150 can be sealed with a simple structure.
[0079]
In addition, compared with the 1st-3rd cell members 4-6 demonstrated in the said 1st Embodiment, the 1st lens-barrel member 129 in this embodiment, the 2nd lens-barrel member 130, and the 3rd spacer 133 outside When the diameter increases, the seal structure described in the first embodiment has a local insufficient seal surface pressure, which may cause the outside air to flow into the lens barrel.
[0080]
For this reason, in this embodiment, the contact surface pressure is increased by increasing the tightening torque of the second bolt 116 at a location where the contact surface pressure with respect to the chamfered portions 129a, 133a, 133b, and 130a of the O-rings 112a and 112b is insufficient. It is possible to adjust locally.
[0081]
(Third embodiment)
FIG. 5 shows the arrangement of an exposure apparatus that includes the lens barrel 50 ′ using the seal structure described in the first embodiment as a projection optical system. In this figure, the direction of gravity coincides with the optical axis and is the −Z direction in the figure.
[0082]
Reference numeral 51 denotes an illumination optical system, 52 denotes a reticle that is an original of a pattern to be transferred, and 53 denotes a reticle stage that holds the reticle 52. Reference numeral 54 denotes a surface plate for installing the projection optical system (lens barrel) 50 ′ at a predetermined position of the exposure apparatus main body.
[0083]
Reference numeral 55 denotes a wafer onto which a pattern is transferred, and reference numeral 56 denotes a wafer stage that holds the wafer 55.
[0084]
As a light source in the illumination optical system 51, a g-line with a wavelength of 436 nm, an i-line with a wavelength of 365 nm, a KrF excimer laser with a wavelength of 248 nm, an ArF excimer laser with a wavelength of 193 nm, an F2 excimer laser with a wavelength of 157 nm, or the like is used.
[0085]
The pattern area drawn on the reticle 52 is irradiated with light from the illumination optical system 51, reduced by a projection optical system 50 ′ at a predetermined magnification (for example, ¼ or ５), and held on the wafer stage 56. The transferred wafer 55 is transferred.
[0086]
By scanning the projection 52 and the wafer 55 with respect to the projection optical system 50 ′, the pattern area of the reticle 52 is transferred to the photosensitive material of the wafer 55. This scanning exposure is repeatedly performed on a plurality of transfer regions on the wafer 55.
[0087]
In the projection optical system 50 ′, in order to increase the light utilization efficiency, a gas inert to the photochemical reaction is supplied through the gas supply port 9, and the inert gas is discharged from the gas discharge port 10 to project the projection optical system 50. Purge '.
[0088]
At this time, in order to prevent outside air from flowing in between the cell members holding the optical elements, the cell members are sealed by the seal structure described in the first embodiment. As a result, deterioration of optical characteristics and uniformity of illumination light can be prevented, reduction in exposure amount can be suppressed, and performance maintenance and improvement of the exposure apparatus can be realized at low cost using a simple and space-saving structure.
[0089]
In addition, it may replace with the seal structure of 1st Embodiment, and may use the seal structure demonstrated in 2nd Embodiment with this.
[0090]
The exposure apparatus described in the present embodiment is a step-and-scan type exposure apparatus, but the seal structure of the present invention can also be used for a stepper type exposure apparatus.
[0091]
In the present embodiment, the case where the seal structure of the present invention is applied to the lens barrel that constitutes the projection optical system has been described. However, the present invention may be applied to a lens barrel that constitutes the illumination optical system. The seal structure of the present invention may be applied to a refractive optical system, a catadioptric optical system, and a reflective optical system in an optical system.
[0092]
Further, in each of the above embodiments, the case where the lens barrel used in the exposure apparatus is provided with a seal structure has been described. However, the seal structure of the present invention is also applied to a cylindrical body of another apparatus (for example, a pipe of a vacuum apparatus). Can be applied.
[0093]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, since the first and second pressing members are displaced in the direction relatively approaching in the axial direction by the displacement applying means, the elastic member is inclined between the two annular members. The surface can be surely pressed, and a complete sealing effect can be obtained with a simple configuration.
[0094]
In addition, after the two annular members that have been axially aligned are fastened with bolts or the like, an elastic member may be disposed on the outer periphery thereof to seal the contact portion, so that the elastic member may interfere with the axial alignment of the two annular members. The time required for axis alignment can be shortened.
[0095]
Moreover, even if a uniform displacement force is not applied from the displacement applying means to the entire circumference of the first and second pressing members, an equal pressing force is applied from the first and second pressing members to the elastic member over the entire circumference. Therefore, the contact portions of both annular members can be reliably sealed over the entire circumference.
[0096]
According to the seal structure of the present invention, for example, when the optical element is held inside the cylinder, the inflow of outside air into the inner space of the cylinder, and further absorption of laser light by the outside air (oxygen etc.) that flows in Etc., and the optical performance of an exposure apparatus using the same can be maintained and improved. In addition, outflow of inert gas or the like from the inner space of the cylindrical body can be reliably prevented.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view (partially sectional view) of a lens barrel according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged view of a seal structure used in the lens barrel.
FIG. 3 is a plan view and a side sectional view of a lens barrel that is a second embodiment of the present invention.
FIG. 4 is an enlarged view of a seal structure used in the lens barrel of the second embodiment.
FIG. 5 is a schematic block diagram of an exposure apparatus that is a third embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a schematic view of a conventional seal structure.
[Explanation of symbols]
1-3 Optical elements
4-6 Cell material
4a, 5a Chamfer
7 Bonding material
8 First bolt
9 Gas supply port
10 Gas outlet
12 O-ring
13, 14 Press ring
15 Coupling member
16 Second bolt
50 lens barrel
112a, 112b O-ring
121-124 Optical elements
125-128 cell member
129, 130 Lens barrel member
131, 133 Spacer
134 Presser ring
129a, 130a, 133a, 133b Chamfer
137-140 Press ring
150 lens barrel
50 'projection optical system
51 Illumination optics
52 reticle
53 Reticle Stage
55 wafers
56 Wafer stage
61, 62 optical elements
63, 64 cell members
65, 66 Lens barrel member
67 O-ring
68 Bonding material
69 volts
70 Presser ring
AA Vent

Claims

第１環状部材と第２環状部材とをこれら両環状部材の軸方向端面同士を接触させて形成された円筒体のシール構造であって、
前記両環状部材の接触部の外周に互いに前記軸方向に対する傾斜が逆である傾斜面を形成し、
前記両傾斜面に当接する環状の弾性部材と、
この弾性部材の外周側に配置され、前記第２環状部材の傾斜面に概ね対向するよう前記軸方向に対して傾斜し前記弾性部材に接触する内周面を有した環状の第１押圧部材および前記第１環状部材の傾斜面に概ね対向するよう前記軸方向に対して傾斜し前記弾性部材に接触する内周面を有した環状の第２押圧部材と、
これら第１および第２押圧部材を前記軸方向に相対的に接近する方向に変位させる変位付与手段とを有することを特徴とする円筒体のシール構造。A cylindrical seal structure formed by bringing the first annular member and the second annular member into contact with each other in the axial direction of both annular members,
Forming an inclined surface that is opposite in inclination to the axial direction on the outer periphery of the contact portion of both annular members;
An annular elastic member that contacts both the inclined surfaces;
An annular first pressing member that is disposed on the outer peripheral side of the elastic member and has an inner peripheral surface that is inclined with respect to the axial direction so as to substantially face the inclined surface of the second annular member and that contacts the elastic member; An annular second pressing member having an inner peripheral surface that is inclined with respect to the axial direction so as to substantially face the inclined surface of the first annular member and contacts the elastic member;
Displacement providing means for displacing the first and second pressing members in a direction relatively approaching the axial direction has a cylindrical seal structure.

前記変位付与手段が、それぞれ前記第１および第２押圧部材の外周面に接触する、前記第２および第１環状部材の傾斜面に概ね対向するよう前記軸方向に対して傾斜した２つの内周面を有し、径方向内方への締め付け力を発生する略環状の締め付け部材であることを特徴とする請求項１に記載の円筒体のシール構造。Two inner peripheries that are inclined with respect to the axial direction so that the displacement imparting means is generally opposed to the inclined surfaces of the second and first annular members, which contact the outer peripheral surfaces of the first and second pressing members, respectively. The cylindrical sealing structure according to claim 1, wherein the cylindrical sealing structure has a face and is a substantially annular fastening member that generates a fastening force radially inward.

前記締め付け部材が、周方向に少なくとも２つに分割された円弧状の部材を連結して構成されていることを特徴とする請求項２に記載の円筒体のシール構造。3. The cylindrical sealing structure according to claim 2, wherein the fastening member is configured by connecting arc-shaped members divided into at least two parts in the circumferential direction.

前記変位付与手段が、前記第１および第２押圧部材間に取り付けられたボルトであることを特徴とする請求項１に記載の円筒体のシール構造。2. The cylindrical seal structure according to claim 1, wherein the displacement applying means is a bolt attached between the first and second pressing members.

前記第１環状部材と第２環状部材とを締結する締結部材を有しており、
前記円筒体の径方向において、このシール構造が前記締結部材よりも外側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の円筒体のシール構造。A fastening member for fastening the first annular member and the second annular member;
The cylindrical seal structure according to claim 1, wherein the seal structure is provided outside the fastening member in a radial direction of the cylindrical body.

請求項１から５のいずれかに記載の円筒体のシール構造を備えたことを特徴とする装置。An apparatus comprising the cylindrical sealing structure according to any one of claims 1 to 5.

請求項１から５のいずれかに記載の円筒体のシール構造を備え、前記円筒体の内側に光学素子が保持されていることを特徴とする光学素子保持構造。An optical element holding structure comprising the cylindrical seal structure according to claim 1, wherein an optical element is held inside the cylindrical body.

請求項１から５のいずれかに記載の円筒体のシール構造を備え、前記円筒体の内側に光学素子を保持した部材が収納されていることを特徴とする光学素子保持構造。An optical element holding structure comprising the cylindrical seal structure according to claim 1, wherein a member holding an optical element is housed inside the cylindrical body.

請求項７又は８に記載の光学素子保持構造を有し、原版のパターンを前記光学素子を通る光により基板上に露光転写することを特徴とする露光装置。9. An exposure apparatus comprising the optical element holding structure according to claim 7 or 8, wherein an original pattern is exposed and transferred onto a substrate by light passing through the optical element.