JP3836602B2 - 真空チャンバーの製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、予め製作した複数のアルミニウム又はアルミニウム合金部材で構成され、これらを組み合わせて圧縮により接合する真空チャンバー(容器)の製造方法に関し、特に半導体の製造や液晶の製造に用いられる真空チャンバー(容器)の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体の製造等の製造に用いられる真空チャンバーは、図7〜図9に示すようなものが知られている。
図7(a)(b)に示す真空チャンバーは、予め製作した板状部材(11)(12)(13)(14)(15)の接合部(33)を溶接したものである。
図8(a)(b)に示すものは、金属の塊を削り出して真空チャンバー(34)を作るものである。
図9(a)(b)に示す真空チャンバーでは、予め製作した板状部材(11)(12)(13)(14)(15)の接合部(35)は凹部(36)にOリング(37)を設け、ボルト(38)で締めたものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来技術の図7に示す溶接によるものは、溶接時に生じるピンホールやガスの巻き込みにより、チャンバーを高真空下で使用するには、その信頼性が低下し半導体等の製作歩留まりが悪くなる問題がある。また全周を溶接するのでコスト的に割高になるという問題があった。
図8に示すように、金属の一体の塊から機械加工により削り出す場合は、機械加工による削り出し作業が多く製作費が嵩みコスト高になり、特に真空チャンバー(真空容器)が大型になると、その機械加工による削り出し作業工数が多くなり、また使用する素材の塊も大きくなって製作費が嵩みコスト高になるという問題があった。
【0004】
図9に示すシールパッキンとボルト締めによる場合は、シールパッキン用溝(凹部)及びボルトホールを組み込むためのスペースを必要とするため、コンパクトにできない問題があり、また製作コストも高くなる。さらに半導体等の製造時の使用雰囲気が高温になる場合は使用できないという問題があった。
本発明は、締結部のシールにピンホール等の欠陥を防止でき高い気密性を保つことができ、大きな一体の塊から削り出すより低コストでの製造が可能であり、高温での使用に耐えることができ、また真空容器(真空チャンバー)を製作サイズにとらわれることなく、安価に製作し得ることを目的とする真空チャンバーの製造方法を提供するものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、予め製作した複数のアルミニウム又はアルミニウム合金部材で構成される真空チャンバーを製造する方法において、複数のアルミニウム又はアルミニウム合金部材が同一材料であり、前記アルミニウム又はアルミニウム合金部材の接合面の全周に一方に凸状突出部を設け、もう一方の部材の接合面の全周に前記凸状突出部に対向する凹溝を設け、前記凸状突出部及び前記凹溝は断面コの字状であり、凹溝の深さは凸状突出部の高さより数%〜数十%浅いもので、また前記凹溝の幅は凸状突出部を挿入できる寸法のものであり、前記接合面の表面を洗浄し、前記凹溝に前記凸状突出部を組み合わせ、挿入後鍛圧し、環状溝に環状突出部を充満密封させ、さらに鍛圧することにより両者を金属接合させることを特徴とするアルミニウム又はアルミニウム合金よりなる真空チャンバーの製造方法である。
また、本発明は、真空チャンバーを構成する予め製作したアルミニウム又はアルミニウム合金部材が、筒状部材と板状部材あるいは全て板状部材で構成することを特徴とするものである。
【0006】
【作用】
本発明においては、予め製作したアルミニウム又はアルミニウム合金部材の一方の部材の凸状突出部を、もう一方の部材の凹溝に挿入し、圧縮して締結、接合させるもので、溝部に突出部が圧入、充満して高度な密閉度が確保された真空チャンバーを製造できるものである。
さらに環状突出部の圧入のみならず、接合されるアルミニウム又はアルミニウム合金部材を圧縮して金属接合されることにより高い密閉度を確保することができるものである。また締結部は金属接合されているため使用温度が500℃前後の高温でも高度な密閉度が保たれるものである。
【0007】
また本発明の真空チャンバーは、アルミニウム又はアルミニウム合金部材で構成されているので腐食ガスに対する耐食性を有する。例えば半導体の製造においてシランガスが用いられる場合、シランガスの成分に含まれるSiで汚染されるが、それを洗浄するためにフッ素を含有する洗浄ガスを通気させるが、アルミニウム又はアルミニウム合金部材であるのでこのような洗浄ガス(フッ素含有ガス)に対する耐食性を有しているものである。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態について詳細に説明する。
本発明において、真空チャンバーを構成するアルミニウム又はアルミニウム合金部材は、その製法、材質については特定しないが、耐リーク性を考慮すると、内部欠陥の少ない圧延板、鍛造品を素材とすることが望ましい。
また材質は、例えば、純度99.5%以上のJIS1050、JIS1100(SiとFe:1.0%、Cu:0.05〜0.20%、Mn:0.05%以下、Zn:0.10%以下、残部Al)、JIS3003(Si:0.6%以下、Fe:0.7%以下、Cu:0.05〜0.20%、Mn:1.0〜1.5%、Zn:0.10%以下、残部Al)、JIS6063(Si:0.20〜0.6%、Fe:0.35%以下、Cu:0.10%以下、Mn:1.0%以下、Mg:0.45〜0.9%、Cr:0.10%以下、Zn:0.10%以下、Ti:0.10%以下、残部Al)、JIS6061(Si:0.40〜0.8%、Fe:0.7%以下、Cu:0.15〜0.40%、Mn:0.15%以下、Mg:0.8〜1.2%、Cr:0.04〜0.35%、Zn:0.25%以下、Ti:0.15%以下、残部Al)、JIS3004(Si:0.03%以下、Fe:0.7%以下、Cu:0.25%以下、Mn:1.0〜1.5%、Mg:0.8〜1.3%、Zn:0.10%以下、残部Al)等を用いることができる。
【0009】
本発明において、真空チャンバーを構成するアルミニウム又はアルミニウム合金部材は、予め板状部材に製作して、これを組み合わせ圧縮し締結、接合するものである。
予め製作した板状部材の接合面の一方に凸状突出部を設け、もう一方の部材の接合面に前記凸状突出部に対向する凹溝を設ける。この凸状突出部と凹溝は接合面の全周に設けることが好ましい。
【0010】
また、予め筒状部材と板状部材に製作して、これを組み合わせ圧縮し締結、接合するものである。この筒状部材は、角形筒状部材または円形筒状部材に製作し、その端部に板状部材を組み合わせ真空チャンバーとする。この場合筒状部材端面に環状凸状突出部を形成し、この凸状突出部に対向する位置に環状凹溝を板状部材に形成する。あるいは筒状部材端面に環状凹溝を形成し、この環状凹溝の対向する位置に環状凸状突出部を板状部材に形成する。
【0011】
本発明において、接合面の凸状突出部、対向する凹溝は、1組又は2組以上設ける。これらは例えば機械加工により成形する。
また、凹溝に凸状突出部を挿入し、圧縮により締結、接合するものであるが、圧縮は鍛圧圧縮が好ましい。
また、圧縮により締結、接合する前処理として、接合面の表面を洗浄することが望ましい。例えば、▲1▼硝酸で表面の油とり、▲2▼水洗、▲3▼化性処理(アルカリ溶液によるエッチング)、▲4▼水洗、▲5▼硝酸での洗浄、▲6▼水洗、▲7▼湯洗等の適宜の工程を組みて表面を洗清浄する。
【0012】
このように、真空チャンバーを構成する部材の接合部は、凹溝に凸状突出部を組み合わせ、挿入後鍛圧し、環状溝に環状突出部を充満密封させ、さらに鍛圧することにより両者を金属接合させることができるので、この密閉度、即ち耐リーク性は、半導体製造装置で求められる高真空に対応できるものであり、10−8〜10−10Torrの高真空にも対応できるものである。
また、部材接合部の凹溝に凸状突出部を組み合わせ、挿入する場合、挿入が可能な範囲であれば、凹溝の幅より凸状突出部の幅が少し大きく、いわゆる圧入状態となってもよい。
また、凹溝に凸状突出部を組み合わせ、挿入後、鍛圧圧縮し締結部を密封充満させ締結し、さらに金属接合するアルミニウム又はアルミニウム合金部材が同一材料であると、鍛圧圧縮時のメタルフローにより複数部材同志が圧着し物理的に金属接合し易い。
【0013】
アルミニウム又はアルミニウム合金部材の接合面に形成する凹溝として、凹溝への鍛圧時の空気の巻き込み等を考慮すると、断面コの字状(長形)が好ましい。凹溝に組み合わせられる凸状突出部は断面コの字状(長形)が用いられる。また、凹溝に凸状突出部を組み合わせを容易にするために、断面コの字状突出部の先端を面取りした形状にしてもよい。
【0014】
【実施例1】
本発明の実施例1について、図1〜図4を参照して説明する。
図1(a)は真空容器(真空チャンバー)の概略図(真空容器として必要な排気口、取出し口、および器具は省略した図)であり、図1(b)は接合部を示す図である。図2(a)(b)は接合部を説明する図である。
図1(a)に示す真空容器(1)は、予め製作したアルミニウム部材(11)(12)(13)(14)(15)で構成されるものである。なお蓋部材は省略している。アルミニウム部材の接合部の1つは、図1(b)に示すようにアルミニウム部材(12)の接合面に凸状突出部(5)を設け、またアルミニウム部材(11)の接合面の対向する位置に凹溝を設ける。
【0015】
図2(a)(b)で、部材(11)(12)の接合部を説明する。
図2(a)に示すように、アルミニウム部材(12)の接合面に高さ(A)、幅(B)の凸状突出部(5)を形成し、アルミニウム部材(11)の接合面に深さ(C)、幅(D)の凹溝(4)を形成する。そしてアルミニウム部材(12)の凸状突出部(5)をアルミニウム部材(11)の凹溝(4)に挿入する。
凹溝(4)の深(C)は、凸状突出部(5)の高さ(A)より数%〜数十%浅く製作する。また凹溝(4)の幅(D)は、凸状突出部(5)の幅(B)を挿入できる寸法に公差に設定する。
【0016】
次いで、図2(b)に示すように、アルミニウム部材(12)の凸状突出部(5)をアルミニウム部材(11)の凹溝(4)に挿入し、各部材を組み合わせた後に、挿入し組み合わせた接合部に、矢印に示す方向から圧縮を加え、凸状突出部(5)の高さ(A)寸法が部分的に圧縮され、体積変形を生じて、凹溝(4)の深さ(C)の寸法とさせることで、幅(D)の凹溝(4)に強固に圧着を生じさせ、強固なシール性を持たせるものである。
例えば、アルミニウム部材として材質1050を用い、凹溝(4)の深(C)は5mm、凸状突出部(5)の高さ(A)は7mm、凹溝(4)の幅(D)は5mm、凸状突出部(5)の幅(B)4.8mmとし、これを鍛圧・圧縮により締結、接合した真空チャンバーの真空度は、10−8〜10−10Torrであり、強固なシール性を持った真空チャンバーを製造することができた。
【0017】
図3(a)(b)は、アルミニウム部材(11)の接合面に凸状突出部(5)を形成し、アルミニウム部材(12)の接合面に凹溝(4)を形成し、アルミニウム部材(11)の凸状突出部(5)をアルミニウム部材(12)の凹溝(4)に挿入し、各部材を組み合わせた後に、挿入し組み合わせた接合部に、矢印に示す方向から圧縮を加え、部材(11)凸状突出部(5)が圧縮され、体積変形を生じさせ部材(12)の凹溝(4)に強固に圧着を生じさせ、強固なシール性を持たせるものである。
【0018】
また、図4(a)(b)は、接合面の凸状突出部、対向する凹溝を2組設けたものである。
アルミニウム部材(12)の接合面に2列の凸状突出部(9)を形成し、アルミニウム部材(12)の接合面の対向する位置に2列の凹溝(8)を形成し、アルミニウム部材(12)の2列の凸状突出部(9)をアルミニウム部材(11)の2列の凹溝(8)に挿入し、凸状突出部(9)と凹溝(8)を2組としたものである。2組と凸状突出部(9)と凹溝(8)で各部材を組み合わせた後に接合部に、矢印に示す方向から圧縮を加え、部材(12)の凸状突出部(9)が圧縮され、体積変形を生じさせ部材(11)の凹溝(8)に強固に圧着を生じさせ、強固で高いシール性を持たせるものである。
【0019】
【実施例2】
本発明の実施例2について、図5を参照して説明する。
図5(a)は真空容器(真空チャンバー)の概略図(真空容器として必要な排気口、取出し口、および器具は省略した図)であり、図5(b)は接合部を示す図である。
図5(a)に示す真空容器(2)は、予め製作した筒状部材(16)と板状部材(11)とからなるもので、図5(b)に示すように、筒状部材(16)の端面に環状の突出部(7)を形成し、また板状部材(11)の対向する位置に環状凹溝(6)を形成し、筒状部材(16)の環状突出部(7)を板状部材(11)の環状凹溝(6)に挿入し、組み合わせた接合部に、矢印に示す方向から圧縮を加え、環状突出部(7)を圧縮して体積変形を生じさせ環状凹溝(6)に強固に圧着を生じさせ、強固なシール性を持たせたものである。
【0020】
【実施例3】
図6(a)〜(d)は、真空容器を構成する部材(11)(12)の接合面の凸状突出部、対向する凹溝の実施例を示したものである。
図6(a)は、凸状突出部(21)に面取り部を設けて断面コの字の凹溝(22)に凸状突出部を挿入し易くしたものである。
図6(b)は、断面コの字の凹溝(24)の口を面取して凸状突出部(23)が凹溝(24)に挿入し易くしたものである。
図6(c)は、断面コの字の凹溝(26)の底を角取りしたものであり、また凸状突出部(25)が山型のものである。これは凹溝(26)に凸状突出部(25)を組み合わせ易くしたものである。
【0021】
図6(d)は、断面コの字の凹溝(26)の底に空気溜まりを設けて、凸状突出部(25)が圧縮され、体積変形を生じたときに空気の巻き込みが起こらないようにしたものである。
【0022】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、アルミニウム又はアルミニウム合金部材の接合面の凸状突出部を凹溝に挿入し、圧縮して締結、接合させるもので、溝部に突出部が充満して高度な密閉度が確保された真空チャンバーを得ることができるという効果を有する。接合部が物理的に圧着することで、ピンホール等の欠陥を防止でき、高真空度で使用しても高い気密性を保つことができる。また両者が金属的に接合しているため使用温度が500℃前後の高温でも高度な密閉度が保たれる。また機械加工により凹溝、凸状突出部を形成し鍛圧することで、締結部が金属的に接合した接合部が得られるので、低コストでの製造が可能となる。さらに、従来技術のようなピンホール等の欠陥を防止できるので高い気密性を保つことができる。また組み合わせ前の各部材の組み合わせ部周囲に、機械加工による鍛圧締結用の凹溝と凸状突出部を付け鍛圧する方法をとるため、大きな一体の塊から削り出すより遙かに低コストでの製造が可能となる。またボルトナット締結によるスペースを必要とせず、Oリングを使用しなくてすむため高精度加工のOリング溝を必要としないので、安価な製造が可能であるという効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1の真空容器を示す図
【図2】本発明の実施例1の真空容器の接合部を説明する図
【図3】本発明の実施例1の真空容器の接合部を説明する図
【図4】本発明の実施例1の真空容器の接合部を説明する図
【図5】本発明の実施例2の真空容器を示す図
【図6】本発明の実施例3の真空容器の接合部を説明する図
【図7】従来例を示す図
【図8】従来例を示す図
【図9】従来例を示す図
【符号の説明】
1,2 真空容器
4,凹溝
5 凸状突出部
11,12,13,14,15,16 予め製作したアルミニウム部材
Claims (2)
- 予め製作した複数のアルミニウム又はアルミニウム合金部材で構成される真空チャンバーを製造する方法において、複数のアルミニウム又はアルミニウム合金部材が同一材料であり、前記アルミニウム又はアルミニウム合金部材の接合面の全周に一方に凸状突出部を設け、もう一方の部材の接合面の全周に前記凸状突出部に対向する凹溝を設け、前記凸状突出部及び前記凹溝は断面コの字状であり、凹溝の深さは凸状突出部の高さより数%〜数十%浅いもので、また前記凹溝の幅は凸状突出部を挿入できる寸法のものであり、前記接合面の表面を洗浄し、前記凹溝に前記凸状突出部を組み合わせ、挿入後鍛圧し、環状溝に環状突出部を充満密封させ、さらに鍛圧することにより両者を金属接合させることを特徴とするアルミニウム又はアルミニウム合金よりなる真空チャンバーの製造方法。
- 真空チャンバーを構成する予め製作したアルミニウム又はアルミニウム合金部材が、筒状部材と板状部材であることを特徴とする請求項1に記載のアルミニウム又はアルミニウム合金よりなる真空チャンバーの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16422198A JP3836602B2 (ja) | 1998-05-28 | 1998-05-28 | 真空チャンバーの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16422198A JP3836602B2 (ja) | 1998-05-28 | 1998-05-28 | 真空チャンバーの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11342437A JPH11342437A (ja) | 1999-12-14 |
JP3836602B2 true JP3836602B2 (ja) | 2006-10-25 |
Family
ID=15788982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3836602B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8263908B2 (en) | 2004-10-08 | 2012-09-11 | Furukawa-Sky Aluminum Corp. | Heater plate and a method for manufacturing the heater plate |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004214110A (ja) | 2003-01-08 | 2004-07-29 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子線装置、および電子線装置の試料室容器の製造方法 |
JP4764647B2 (ja) * | 2004-03-09 | 2011-09-07 | 昭和電工株式会社 | 偏平管製造用板状体、偏平管、熱交換器および熱交換器の製造方法 |
KR100674879B1 (ko) | 2004-09-17 | 2007-01-26 | 주식회사 디엠에스 | 진공 쳄버의 제작 방법 및 그를 이용한 진공 쳄버 |
JP5403716B2 (ja) * | 2010-02-26 | 2014-01-29 | 入江工研株式会社 | 組立て式密閉チャンバ |
KR101195125B1 (ko) | 2010-05-15 | 2012-10-29 | 엔알티 주식회사 | 조립형 진공챔버 |
KR101947426B1 (ko) * | 2015-12-14 | 2019-02-13 | 주식회사 씨에이치솔루션 | 실링부재를 구비한 진공 챔버와 이에 이용되는 실링 부재 |
WO2019140769A1 (zh) | 2018-01-17 | 2019-07-25 | 广东长盈精密技术有限公司 | 手机中框加工工艺 |
CN108326514B (zh) * | 2018-01-17 | 2020-04-07 | 广东长盈精密技术有限公司 | 手机中框加工工艺 |
-
1998
- 1998-05-28 JP JP16422198A patent/JP3836602B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|---|---|---|
US8263908B2 (en) | 2004-10-08 | 2012-09-11 | Furukawa-Sky Aluminum Corp. | Heater plate and a method for manufacturing the heater plate |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11342437A (ja) | 1999-12-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040121 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040202 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040305 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040305 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040602 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040614 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040802 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20040809 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20040924 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060727 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090804 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804 Year of fee payment: 6 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120804 Year of fee payment: 6 |
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