JP3816090B2 - 化学気相成長装置および膜成長方法 - Google Patents
化学気相成長装置および膜成長方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3816090B2 JP3816090B2 JP2004361396A JP2004361396A JP3816090B2 JP 3816090 B2 JP3816090 B2 JP 3816090B2 JP 2004361396 A JP2004361396 A JP 2004361396A JP 2004361396 A JP2004361396 A JP 2004361396A JP 3816090 B2 JP3816090 B2 JP 3816090B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- barrier gas
- supply unit
- processing chamber
- susceptor
- gas supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
化合物や反応性ガスを原料として半導体層を成長させる有機金属化学気相成長装置(MOCVD装置)を示している。
図1(a)は、本発明の実施形態に係る化学気相成長装置の構成を示す断面図であり、(b)は、Ib−Ib線における化学気相成長装置の断面を示す図である。ここでは、化学気相成長装置の例として、MOCVD装置を示している。
図3は、本実施形態および従来の化学気相成長装置を用いてそれぞれ薄膜形成を行った場合に、基板3に付着したパーティクル数を比較した図である。薄膜形成は減圧条件下で行い、原料ガスの供給量を50(L/min)、第1のバリアガス供給部9および第2のバリアガス供給部10からのバリアガスの供給量を共に10(L/min)とした。
3 基板
4 真空処理室
5 対向板
6 原料ガス導入管
7a 第1のMFC
7b 第2のMFC
8 排気管
9 第1のバリアガス供給部
10 第2のバリアガス供給部
11 ヒータ
12 トレイ
13 灼熱板
Claims (5)
- 基板上に膜を成長させるための基板処理室と、
前記基板処理室内に配置され、前記膜の成長面を下に向けて複数の前記基板を設置するためのサセプタと、
前記基板処理室内の前記サセプタの上方に配置され、前記基板を加熱するヒータと、
前記基板処理室の上部に開口し、バリアガスを前記サセプタの上面に供給する第1のバリアガス供給部と、
前記基板処理室の上部に開口し、前記バリアガスを前記ヒータの上面に供給する第2のバリアガス供給部と、
原料ガスを前記サセプタの下面に供給する原料ガス導入部と、
前記バリアガスおよび前記原料ガスを前記基板処理室から排気する排気管とを備え、
前記第1のバリアガス供給部から供給される前記バリアガスの流量と前記第2のバリアガス供給部から供給される前記バリアガスの流量とが独立に制御される化学気相成長装置。 - 前記第1のバリアガス供給部は前記基板処理室の上部の中央領域に輪状に開口し、
前記第2のバリアガス供給部は前記中央領域に前記第1のバリアガス供給部を囲む輪状に開口し、
前記原料ガス導入部は、前記サセプタの下方に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の化学気相成長装置。 - 基板処理室と、サセプタと、前記基板処理室内の前記サセプタの上方に配置されたヒータと、前記基板処理室の上部に開口する第1のバリアガス供給部と、前記基板処理室の上部に開口する第2のバリアガス供給部と、原料ガス導入部とを備えた化学気相成長装置を用いた膜成長方法であって、
前記サセプタに、膜の成長面を下に向けて基板を設置する工程(a)と、
前記工程(a)の後、前記第1のバリアガス供給部から前記サセプタの上面にバリアガスを供給するとともに、前記第2のバリアガス供給部から前記ヒータの上面に、前記第1のバリアガス供給部とは独立に流量制御された前記バリアガスを供給する工程(b)と、
前記工程(b)と同時に、原料ガスを前記原料ガス導入部から前記サセプタの下面に供給して前記基板上に前記膜を成長させる工程(c)とを備えている膜成長方法。 - 前記工程(b)では、前記第1のバリアガス供給部から供給される前記バリアガスの流量と前記第2のバリアガス供給部から供給される前記バリアガスの流量とは互いに等しくなるよう制御されていることを特徴とする請求項3に記載の膜成長方法。
- 前記工程(b)では、前記ヒータの下面との間の空間における前記バリアガスの単位容積当たりの流量が、前記工程(c)での前記サセプタの下面と前記基板処理室との間の空間における前記原料ガスの単位容積当たりの流量に等しくなるように、前記第1のバリアガス供給部から供給される前記バリアガスの流量を制御することを特徴とする請求項3に記載の膜成長方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004361396A JP3816090B2 (ja) | 2004-02-03 | 2004-12-14 | 化学気相成長装置および膜成長方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004026428 | 2004-02-03 | ||
JP2004361396A JP3816090B2 (ja) | 2004-02-03 | 2004-12-14 | 化学気相成長装置および膜成長方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005252231A JP2005252231A (ja) | 2005-09-15 |
JP3816090B2 true JP3816090B2 (ja) | 2006-08-30 |
Family
ID=35032383
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004361396A Expired - Fee Related JP3816090B2 (ja) | 2004-02-03 | 2004-12-14 | 化学気相成長装置および膜成長方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3816090B2 (ja) |
-
2004
- 2004-12-14 JP JP2004361396A patent/JP3816090B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005252231A (ja) | 2005-09-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100580062B1 (ko) | 화학기상성장장치 및 막 성장방법 | |
US11286566B2 (en) | Apparatus for deposition of a III-V semiconductor layer | |
EP1612854A1 (en) | Loading table and heat treating apparatus having the loading table | |
US20110073039A1 (en) | Semiconductor deposition system and method | |
JP2007173467A (ja) | 半導体薄膜製造装置 | |
CN102576667A (zh) | 中空阴极喷头 | |
TW201446330A (zh) | 處理腔室中之清洗及電漿抑制方法及設備 | |
WO2018042756A1 (ja) | 原子層成長装置および原子層成長方法 | |
JP2016225325A (ja) | 原子層成長装置 | |
JPH09246192A (ja) | 薄膜気相成長装置 | |
GB2282825A (en) | Chemical vapour deposition apparatus | |
EP1024210B1 (en) | Apparatus and method for producing tungsten nitride film | |
KR20070098104A (ko) | 가스커튼을 구비한 박막증착장치 | |
TWI661075B (zh) | 用於生產經塗覆的半導體晶圓的方法和裝置 | |
JP4600820B2 (ja) | エピタキシャル成長装置 | |
JP2010238831A (ja) | 気相成長装置及び気相成長方法 | |
JP3816090B2 (ja) | 化学気相成長装置および膜成長方法 | |
CN111349908A (zh) | SiC化学气相沉积装置 | |
JP2008294217A (ja) | 気相成長装置及び気相成長方法 | |
JPH11240794A (ja) | エピタキシャル成長装置 | |
JPH0936053A (ja) | 半導体の製造方法 | |
US20240200226A1 (en) | Process for manufacturing semiconductor wafers containing a gas-phase epitaxial layer in a deposition chamber | |
JPH04320025A (ja) | 化学気相成長装置 | |
JPH03190218A (ja) | 半導体製造装置 | |
JPH08170175A (ja) | 薄膜製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060515 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060523 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060606 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100616 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100616 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110616 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120616 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120616 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130616 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |