JP3805341B2 - 2-axis compound motor - Google Patents
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Description
本発明は、2軸複合モータに関し、特に、1個の輪状軸体の内側と外側に1対の輪状ステータを設けて第1、第2モータを形成すると共に、各突極にスキュー面を形成し、輪状軸体の回転と直動を得るための新規な改良に関する。 The present invention relates to a two-shaft composite motor, and in particular, a pair of ring-shaped stators are provided on the inside and outside of a ring-shaped shaft body to form first and second motors, and skew surfaces are formed on each salient pole. And a new improvement for obtaining rotation and linear motion of the ring-shaped shaft.
従来、用いられていた2軸複合モータとしては、例えば、特許文献1、2、3等に示される構成があり、その構成の原理構造を、図5に示すことができる。
すなわち、図5において符号1で示されるものは第1ステータ巻線2を有する第1輪状ステータであり、この第1輪状ステータ1の上方位置には、間隔Dをおいて第2ステータ巻線3を有する第2輪状ステータ4が、図示しない筒状ケースによって保持されている。
Conventionally, as a biaxial compound motor used conventionally, there exists a structure shown by
That is, what is indicated by
前記第1、第2輪状ステータ1、4を貫通するように、円柱状をなす可動軸体10が回転及び直動自在に設けられており、この可動軸体10の上半分は軸方向に形成された複数の第2突極11が形成され、下半分は円周方向に形成された第1突極12が形成されている。
A columnar
前記第1輪状ステータ1と第1突極12とによって、例えば、特開平11−206102号公報によって周知のリニアパルスモータ等のリニアモータ13を構成し、前記第2輪状ステータ4と第2突極11によって、例えば、特開平10−23732号公報によって周知のハイブリッドステップモータ等の回転モータ14を構成している。尚、第1、第2輪状ステータ1、4の内面には、図示していないが、第1、第2突極11、12に対応した各突極が形成されている。
The first
従って、前述のリニアモータ13と回転モータ14の動作を組合わせることにより、Z軸及びθ軸の動作を可動軸体10に与えることができ、各種半導体製造装置の駆動手段として採用されている。
Therefore, by combining the operations of the linear motor 13 and the
従来の2軸複合モータは、以上のように構成されていたため、次のような課題が存在していた。
すなわち、リニアモータと回転モータが軸方向に分離して形成されているため、複合モータ自体の長さが長くなり、軸長の短い複合モータの要望には応じることが困難であった。
また、図示していないが、実際の複合モータの構成としては、ナットやスプラインを用いる必要があり、複雑な構成となっていた。
Since the conventional two-axis compound motor is configured as described above, the following problems exist.
That is, since the linear motor and the rotary motor are formed separately in the axial direction, the length of the composite motor itself is long, and it is difficult to meet the demand for a composite motor with a short shaft length.
Although not shown in the figure, the actual configuration of the composite motor requires the use of nuts and splines, resulting in a complicated configuration.
本発明による2軸複合モータは、同心円上に互いに隙間を介して配設され第1ステータ巻線を有する第1輪状ステータ及び第2ステータ巻線を有する第2輪状ステータと、前記隙間内に設けられ軸方向移動及び回転自在な輪状軸体と、前記輪状軸体の内周面に円周状に形成された複数の第1突極と、前記輪状軸体の外周面に円周状に形成された複数の第2突極とを備え、前記第1、第2突極は、第1、第2スキュー面を形成し、前記輪状軸体は回転及び軸方向移動を行うようにした構成であり、また、前記第1輪状ステータと第1突極で第1モータを形成し、前記第2輪状ステータと第2突極で第2モータを形成する構成であり、また、前記輪状軸体は、基台に設けられた直進ベアリングの内側に直動自在に配設された支柱の外周の回転ベアリングに回転自在に設けられている構成であり、また、前記第1、第2輪状ステータは、前記輪状軸体の軸方向における同一位置に配設されている構成である。 A two-axis composite motor according to the present invention is provided in a concentric circle with a first annular stator having a first stator winding and a second annular stator having a second stator winding, which are disposed with a gap therebetween. A ring-shaped shaft body that is axially movable and rotatable, a plurality of first salient poles formed circumferentially on the inner peripheral surface of the ring-shaped shaft body, and formed circumferentially on the outer peripheral surface of the ring-shaped shaft body A plurality of second salient poles, wherein the first and second salient poles form first and second skew surfaces, and the ring-shaped shaft body rotates and moves in the axial direction. A first motor is formed by the first annular stator and the first salient pole, and a second motor is formed by the second annular stator and the second salient pole, and the annular shaft is Rotating bearer on the outer circumference of the support column, which is disposed inside the rectilinear bearing provided on the base so as to freely move A configuration is provided rotatably on ring, also the first, second annular stator is a configuration that is disposed at the same position in the axial direction of the annular shaft member.
本発明による2軸複合モータは、以上のように構成されているため、次のような効果を得ることができる。
すなわち、1個の輪状軸体に対して1対の輪状ステータを同心円上に配置し、輪状軸体の内周及び外周の突極がスキューを有するスキュー面で形成されているため、輪状軸体の回転と直動を行うことができる。
また、軸受けとしては片持ち構造とし、大径で低速・高出化が可能である。
また、輪状軸体の軸方向に沿って1対の輪状ステータを同一位置に配置しているため、軸長を大幅に縮小でき、かつ、機器の小型化にも大きく寄与することができる。
Since the two-axis composite motor according to the present invention is configured as described above, the following effects can be obtained.
That is, since a pair of ring-shaped stators are arranged concentrically with respect to one ring-shaped shaft body, and the salient poles on the inner periphery and outer periphery of the ring-shaped shaft body are formed by skew surfaces having a skew, the ring-shaped shaft body Can be rotated and linearly moved.
In addition, the bearing has a cantilever structure, and has a large diameter and can achieve low speed and high output.
Further, since the pair of ring-shaped stators are arranged at the same position along the axial direction of the ring-shaped shaft body, the shaft length can be greatly reduced and the apparatus can be greatly contributed to downsizing.
本発明は、輪状軸体に対して一対の輪状ステータを同心円上に配設し、内周及び外周の突極にスキューをつけてスキュー面とし、軸長を縮小して小型化することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a pair of ring-shaped stators concentrically with respect to a ring-shaped shaft body, skew the inner and outer salient poles to form a skew surface, and reduce the shaft length to reduce the size. And
以下、図面と共に本発明による2軸複合モータの好適な実施の形態について説明する。尚、図1と同一又は同等部分には同一符号を用いて説明する。
図1において符号1で示されるものは輪状軸体であり、この輪状軸体10の外周面10aには軸方向に対して傾斜するスキュー角を有する状態の第2スキュー面11aを形成する多数の第2突極11が所定間隔で設けられており、この外周面10a側には、第2ステータ巻線3を有し前記第2突極11に対応するスキュー状の突極(図示せず)を内面に有する第2輪状ステータ4が配設されている。
前記第2突極11と第2輪状ステータ4とによって第2モータ14が構成されている。
Hereinafter, preferred embodiments of a two-axis composite motor according to the present invention will be described with reference to the drawings. The same reference numerals are used for the same or equivalent parts as in FIG.
1 is a ring-shaped shaft body, and a large number of second skew surfaces 11a having a skew angle inclined with respect to the axial direction are formed on the outer
The second
前記輪状軸体10の内周面10bには、多数の第1突極12が所定間隔でスキュー角を有する状態の第1スキュー面12aを形成するように形成されており、この内周面10b側には、第1ステータ巻線2を有する第1輪状ステータ1が配設されている。
前記第1輪状ステータ1の外周には、前記第1突極12と対応してスキュー状の突極1aが形成され、第1突極12と第1輪状ステータ1とにより第1モータ13を構成している。
A large number of first
A skew-shaped salient pole 1 a is formed on the outer periphery of the first
前記各輪状ステータ1、4間の隙間G内に位置する輪状軸体10は、回転及び軸方向すなわち直動自在に配設され、前記各ステータ巻線2、3への駆動信号の組合わせにより、前述の2軸方向の動作が可能となる。
The ring-
すなわち、各ステータ巻線2、3への駆動信号をA相の−A〜+A、B相の−B〜+Bとすると、軸方向であるZ軸及び回転方向であるθに対し、−A〜+A、−B〜+Aの駆動信号は、図1及び図3のベクトル図で表されるように互いに交叉した状態となる。
That is, assuming that the drive signals to the
従って、前記輪状軸体10の具体的な動作としては、図4の(1)〜(4)で示されるように、図4の(1)の場合、+Bと−Aの合成により+θ方向の回転となり、図4の(2)の場合、−Aと−Bの合成により−Z方向の直動となり、図4の(3)の場合、−Aと−Bの合成により−θ方向の回転となり、図3の(4)の場合、−Bと+Aの合成により−Z方向の直動となる。
尚、前述の具体的駆動原理は、ここでは省略しているが、本出願人と同一の出願人の発明者によるスキューのないステップモータ(特開平10−23732号公報に開示された構成)を援用することができる。
Therefore, as a specific operation of the ring-
Although the specific driving principle described above is omitted here, a step motor without skew (structure disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-23732) by the inventors of the same applicant as the present applicant. Can be used.
前述の図1は原理的構成について述べたものであるが、図1の構成を実際のモータとして製品化する場合には、例えば、図2の構成となる。
すなわち、図2において符号20で示されるものは、全体形状が筒状をなし輪状溝21を有する基台であり、この輪状溝21の上部には前記第1、第2輪状ステータ1、4が同心円上でかつ軸方向の同一位置に対向配置されている。
FIG. 1 described above describes the basic configuration, but when the configuration of FIG. 1 is commercialized as an actual motor, for example, the configuration of FIG. 2 is obtained.
That is, what is indicated by reference numeral 20 in FIG. 2 is a base having a cylindrical shape as a whole and having a ring-
前記基台20の軸心の中空部22内には、直進ベアリング23を介して支柱24がZ軸に沿って上下動自在に設けられ、この支柱24の上部には回転ベアリング25を介してカップ形に形成された前記輪状軸体10が回転自在に設けられている。
In the hollow portion 22 of the shaft center of the base 20, a support column 24 is provided so as to be movable up and down along the Z axis via a linear bearing 23. A cup is connected to the upper portion of the support column 24 via a rotation bearing 25. The ring-
従って、前記輪状軸体10の上部に、例えば、各種半導体製造装置のアーム等の被駆動体(図示せず)を接続し、各モータ13、14の駆動状態を制御することにより、この被駆動体の回転状態と直動状態あるいは回転しつつ上下動するようなこれらの組合せ動作を自在に制御することができる。
Accordingly, a driven body (not shown) such as an arm of various semiconductor manufacturing apparatuses is connected to the upper portion of the ring-
本発明は、民生用の各種用途に限らず、防衛用の用途にも適用可である。 The present invention can be applied not only to various consumer uses but also to defense uses.
1 第1輪状ステータ
2 第1ステータ巻線
3 第2ステータ巻線
4 第2輪状ステータ
G 隙間
10 輪状軸体
11 第2突極
12 第1突極
13 リニアモータ
14 回転モータ
20 基台
22 中空部
23 直進ベアリング
24 支柱
25 回転ベアリング
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記第1、第2突極(12,11)は、第1、第2スキュー面(12a,11a)を形成し、前記輪状軸体(10)は回転及び軸方向移動を行うように構成したことを特徴とする2軸複合モータ。 A first annular stator (1) having a first stator winding (2) and a second annular stator (4) having a second stator winding (3) arranged concentrically with each other via a gap (G); A ring-shaped shaft body (10) provided in the gap (G) and capable of axial movement and rotation, and a plurality of first salient poles formed circumferentially on the inner peripheral surface of the ring-shaped shaft body (10). (12) and a plurality of second salient poles (11) formed circumferentially on the outer peripheral surface of the ring-shaped shaft body (10),
The first and second salient poles (12, 11) form first and second skew surfaces (12a, 11a), and the annular shaft body (10) is configured to rotate and move in the axial direction. A two-axis composite motor characterized by the above.
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