JP3798872B2

JP3798872B2 - Method for producing metal catalyst carrier

Info

Publication number: JP3798872B2
Application number: JP07119697A
Authority: JP
Inventors: 保杉本
Original assignee: Calsonic Kansei Corp
Current assignee: Calsonic Kansei Corp
Priority date: 1997-03-25
Filing date: 1997-03-25
Publication date: 2006-07-19
Anticipated expiration: 2017-03-25
Also published as: JPH10263417A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、自動車用の触媒コンバータに使用される金属製触媒担体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種の金属製触媒担体の製造方法としては、例えば、特開平２−１３９０４４号公報等に開示されるものが知られている。
これを図３乃至図７により説明する。
図３は、金属製触媒担体５を示す。この金属製触媒担体５は、後述するように、平板状の金属製板２と波板状の金属製板３とを交互に巻回した金属製触媒担体素子１を真空炉中で拡散接合することに得ることができる。
【０００３】
次に、金属製触媒担体５の製造方法を説明する。
先ず、図４又は図５に示すように、平板状の金属製板２と波板状の金属製板３とを交互に巻回した金属製触媒担体素子１を作成する。ここで、波板状の金属製板３の波の山部と谷部との高さ３ａは 0.5〜3.0mm 、波の山部と山部とのピッチ３ｂは 1.0〜3.0mm とした。尚、図５の金属製板２は、平板状の金属製板２が、波板状の金属製板３の波の高さよりも低い小波２ａが設けられている。この小波２ａは、波の山部と谷部との高さ２ｂは0.05〜0.5mm 、波の山部と山部とのピッチ２ｃは 1.0〜3.0mm とした。
【０００４】
次に、この金属製触媒担体素子１を、図６に示すように、真空炉６内で、炉中温度 850〜1,200℃、真空度10^-2〜10^-6トール、焼成時間30分〜８時間の条件下で焼成し、この焼成により、図７に示すように、金属製板２と金属製板３との金属層間で拡散接合を起こすことによって、一体的に結合された接合部４を形成する。
真空炉６は、内部に断熱材７で囲繞した金属製触媒担体素子１を配置するための空間が形成され、この空間内には電気ヒータ８が配置されている。又、真空炉６には、高真空にするための拡散ポンプ９が取り付けられている。
【０００５】
斯して構成された金属製触媒担体５は、従来のろう付け方式に比して、ろう材が不要となることから、ろう材による酸化劣化のない低廉で高強度の担体を調製することができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
然し乍ら、斯かる従来の金属製触媒担体５では、真空度10^-2〜10^-6トール（1.3Ｐａ〜0.00013Ｐａ）という高真空、且つ炉中温度 850〜1,200℃という温度条件で、製造されるため、金属製板２と金属製板３との表面に形成される Al₂O₃が無くなり、金属が剥き出しになり、Ａｌ含有材の持つ耐酸化性が低下するという問題がある。
【０００７】
又、高真空での拡散接合では、金属製板２、３の蒸発が起き、真空炉６内を汚染するという問題がある。特に、真空炉６では、電気ヒータ８を用いるため、蒸発した金属が電気ヒータ８に氷柱状に付着し、電気ヒータ８間を短絡し、漏電するという問題がある。
【０００８】
更に、高真空を確保するために用いられている拡散ポンプ９は、高価で、メンテナンスを要するという問題がある。
そこで、大気圧下で処理すると、素材の急速な酸化が発生し、素材表面に酸化物が生成し、接合が阻害される。但し、表面酸化は全部ではなく、不完全な接合により、得られる金属製触媒担体の強度が弱くなる。
【０００９】
この問題を解決するために、アルゴンガス雰囲気により拡散接合することが提案されている（例えば、特開昭４７−３３６５０号公報、特開昭６０−２４４４８９号公報、特開昭６４−８７０８５号公報、特開平７−１１６５２２号公報等）。
然し乍ら、何れも高真空での拡散接合を行っており、上述した問題点の解決には成り得ていない。
【００１０】
又、空気の一部を窒素ガスに置き換える場合には、窒化アルミが生成し、金属製触媒担体の接合強度を低下させるという問題がある。
本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為されたもので、その目的は、低真空で真空炉内の汚染を防止すると共に高強度の金属製触媒担体を得ることができる製造方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載の発明は、金属製板と金属製板を交互に巻回又は積層して金属製触媒担体素子を形成し、この金属製触媒担体素子を真空炉で熱処理し、拡散接合して金属製板と金属製板との接合部を一体的に接合する金属製触媒担体の製造方法において、アルゴンガス雰囲気下、20Ｐａ〜200Ｐａの圧力、1,200℃〜1,250℃の処理温度で５〜30分間熱処理することを特徴とする。
【００１２】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の金属製触媒担体の製造方法において、回転式ポンプにより真空にすることを特徴とする。
【００１３】
（作用）
請求項１及び２記載の発明においては、先ず、常法に従って、金属製板を交互に巻回又は積層して金属製触媒担体素子を形成する。次に、この金属製触媒担体素子を、真空炉内に配置し、真空炉内にアルゴンガスを流しながら真空ポンプにより真空引きし、圧力を20Ｐａ〜200Ｐａ（約1.5×10^-1トール〜約1.5トール）、1,200℃〜1,250℃で５〜30分間熱処理することにより、高強度の金属製触媒担体を得ることができる。
【００１４】
請求項１記載の発明において、圧力を20Ｐａ〜200Ｐａとした根拠は、200Ｐａは通常の工業的真空炉において高価なアルゴンガスを用いる場合に取り得る経済的な限界値であり、これを上回ると不経済であり、採算がとれないためであり、逆に、20Ｐａを下回ると、真空炉の汚染を防止することには十分でなく、アルゴン分圧が低く空気と水分の影響を可及的に防止することができないためである。
【００１５】
又、熱処理温度を1,200℃〜1,250℃とした根拠は、拡散接合するためには1,200℃以上である必要があり、1,250℃を超えると金属劣化を起こす虞があるからである。
又、熱処理時間を５〜30分間とした根拠は、５分未満では、 Al₂O₃で素材中のＦｅ，Ｃｒ，Ａｌ合金組織粒の周囲を被覆する反応が完結できず、30分を超えると、素材が痛む虞があるからである。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係る金属製触媒担体の製造方法を示すフローチャートである。図２はその製造装置１０を示す。
本発明の一実施形態に係る金属製触媒担体の製造方法に先立ち製造装置１０について説明する。
【００１７】
製造装置１０は、真空炉１１と、内部に配置した断熱材１２と、断熱材１２で囲繞された空間１３内に配設された電気ヒータ１４と、空間１３内に挿入されたアルゴンガス注入管１５と、真空炉１１に取り付けた回転式ポンプ（ロータリーポンプ）１６とで構成され、空間１３内の圧力はピラニゲージ圧力計を介してアルゴンガスの注入量と回転式ポンプ１６の回転数をフィードバック制御することにより制御されている。
【００１８】
次に、図１に基づいて本発明の一実施形態に係る金属製触媒担体の製造方法について説明する。
先ず、図１の（ａ）工程で、常法に従って、平板状の金属製板（Ｆｅ−２０Ｃｒ−５Ａｌ合金）２と波板状の金属製板（Ｆｅ−２０Ｃｒ−５Ａｌ合金）３とを交互に巻回して金属製触媒担体素子１を形成する（図４に示す金属製触媒担体素子１に相当）。巻回後の金属製触媒担体素子１は、任意の治具によって巻回時の締付力によって当接した状態に保持されている。
【００１９】
次に、図１の（ｂ）工程で、金属製触媒担体素子１を真空炉１１中に入れ、アルゴンガス（濃度99.99％）を注入管１５から真空炉１１内に注入すると共に、回転式ポンプ１６により真空炉１１内の空気を吸引し、圧力を20Ｐａ〜200Ｐａに維持する。同時に、電気ヒータ１４に電気を供給して空間１３内の温度を1,200℃〜1,250℃とし、５分〜30分間熱処理する。
【００２０】
この熱処理によって、金属製板２と金属製板３の素材中のＡｌが、1,200℃を超えると、Ｆｅ，Ｃｒ，Ａｌ合金組織粒の周囲に Al₂O₃の薄い膜を形成すると共に、金属製板２と金属製板３において固体拡散層から成る強固な接合部４を形成する。
そして、アルゴンガス雰囲気により窒化アルミの生成を抑えることができる。
次に、図１の（ｃ）工程で、常法に従って、触媒化処理として金属製触媒担体素子１にウォッシュコート処理（触媒化処理）を施した。
【００２１】
斯して金属製触媒担体（図３に示す金属製触媒担体５に相当）を得ることができた。
以上のように、本実施形態では、低真空であるため、従来のように真空炉１１内を汚染することがなくなる。
【００２２】
又、低真空であるため、従来のように高価な拡散ポンプを必要とせず、維持管理が容易で低廉な回転式ポンプ１６を用いることができる。
而も、アルゴンガス雰囲気下での熱処理となるため、窒化アルミの生成を抑制することが可能となり、高強度の金属製触媒担体を得ることができる。
尚、上記実施形態では、金属製板２と金属製板３とを交互に巻回して金属製触媒担体素子１を形成したが、金属製板２と金属製板３とを交互に積層して金属製触媒担体素子１を形成しても良い。
【００２３】
又、上記実施形態では、平板状の金属製板２と波板状の金属製板３を用いた場合について説明したが、例えば、図５に示すように、平板状の金属製板２は小波２ａを設けたものとしても良い。
更に、本発明で使用可能な素材としては、一般に金属製触媒担体に使用されているものであれば任意であるが、例えば、Ｃｒ10〜40重量％，Ａｌ１〜７重量％，Ｆｅ残量；Ｃｒ10〜40重量％，Ｌａ0.1 〜１重量％，Ｃｅ０〜１重量％，Ａｌ2.5 重量％，Ｆｅ残量；Ｃｒ3.5 〜10重量％，Ａｌ１〜７重量％，Ｎｂ1.5 重量％，Ｚｒ0.15重量％，Ｌａ0.1 〜１重量％，Ｆｅ残量；Ｃｒ10〜15重量％，Ａｌ３〜5.5 重量％，Ｍｏ１重量％，Ｌａ0.1 〜５重量％，Ｃｅ0.01〜１重量％，Ｆｅ残量等がある。
【００２４】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１及び２記載の発明によれば、金属製触媒担体素子をアルゴンガス雰囲気下において20Ｐａ〜200Ｐａという低真空で、1,200℃〜1,250℃、５分〜30分間熱処理するので、窒化アルミの生成を抑えた拡散接合が可能となり、高強度の金属製触媒担体を得ることができる。
又、低真空であるため、従来のように真空炉内汚染を防止することができる。
又、低真空であるため、従来のように高価な拡散ポンプを必要とせず、維持管理が容易で低廉な回転式ポンプを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る金属製触媒担体の製造方法を示すフローチャートである。
【図２】本発明の一実施形態に用いる製造装置を示す断面図である。
【図３】金属製触媒担体を示す斜視図である。
【図４】金属製触媒担体素子の斜視図である。
【図５】金属製触媒担体素子の斜視図である。
【図６】従来の製造装置を示す断面図である。
【図７】金属製触媒担体素子の拡散接合部を示す断面図である。
【符号の説明】
１金属製触媒担体素子
２，３金属製板
４接合部
５金属製触媒担体
１０製造装置
１１真空炉
１２断熱材
１３空間
１４電気ヒータ
１５アルゴンガス注入管
１６回転式ポンプ（ロータリーポンプ）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for producing a metal catalyst carrier used in, for example, a catalytic converter for automobiles.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, as a method for producing this type of metal catalyst carrier, for example, one disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2-139044 is known.
This will be described with reference to FIGS.
FIG. 3 shows a metal catalyst carrier 5. As will be described later, the metal catalyst carrier 5 is formed by diffusion bonding a metal catalyst carrier element 1 in which a flat metal plate 2 and a corrugated metal plate 3 are alternately wound in a vacuum furnace. Can be obtained.
[0003]
Next, a method for producing the metal catalyst carrier 5 will be described.
First, as shown in FIG. 4 or FIG. 5, a metal catalyst carrier element 1 in which a flat metal plate 2 and a corrugated metal plate 3 are alternately wound is prepared. Here, the height 3a of the wave crest and trough of the corrugated metal plate 3 was 0.5 to 3.0 mm, and the pitch 3b between the wave crest and crest was 1.0 to 3.0 mm. 5 is provided with a small wave 2a in which the flat metal plate 2 is lower than the wave height of the corrugated metal plate 3. In this small wave 2a, the height 2b between the crest and trough of the wave was 0.05 to 0.5 mm, and the pitch 2c between the crest and crest of the wave was 1.0 to 3.0 mm.
[0004]
Next, as shown in FIG. 6, this metal catalyst carrier element 1 is heated in a furnace 6 at a temperature of 850 to 1,200 ° C., a degree of vacuum of 10 ⁻² to 10 ⁻⁶ Torr, and a firing time of 30 minutes to 8 minutes. By firing under the condition of time, and by firing, diffusion bonding is caused between the metal layers of the metal plate 2 and the metal plate 3 as shown in FIG. Form.
In the vacuum furnace 6, a space for arranging the metal catalyst carrier element 1 surrounded by the heat insulating material 7 is formed, and an electric heater 8 is arranged in this space. The vacuum furnace 6 is provided with a diffusion pump 9 for making a high vacuum.
[0005]
Since the metal catalyst carrier 5 thus configured does not require a brazing material as compared with the conventional brazing method, it is possible to prepare a low-priced and high-strength carrier that is free from oxidative deterioration due to the brazing material. it can.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, such a conventional metal catalyst carrier 5 is produced under a high vacuum of 10 ⁻² to 10 ⁻⁶ Torr (1.3 Pa to 0.00013 Pa) and a furnace temperature of 850 to 1,200 ° C. Therefore, there is a problem that Al ₂ O ₃ formed on the surfaces of the metal plate 2 and the metal plate 3 is lost, the metal is exposed, and the oxidation resistance of the Al-containing material is lowered.
[0007]
Moreover, in diffusion bonding in a high vacuum, there is a problem that the metal plates 2 and 3 are evaporated and the inside of the vacuum furnace 6 is contaminated. In particular, since the vacuum furnace 6 uses the electric heater 8, there is a problem in that the evaporated metal adheres to the electric heater 8 in an ice column shape, short-circuits between the electric heaters 8 and causes electric leakage.
[0008]
Furthermore, the diffusion pump 9 used to ensure a high vacuum is expensive and requires maintenance.
Therefore, when the treatment is performed under atmospheric pressure, rapid oxidation of the material occurs, oxide is generated on the surface of the material, and bonding is inhibited. However, the surface oxidation is not all, but the strength of the resulting metal catalyst carrier is weakened due to incomplete bonding.
[0009]
In order to solve this problem, it has been proposed to perform diffusion bonding in an argon gas atmosphere (for example, JP-A-47-33650, JP-A-60-244489, JP-A-64-87085). JP, 7-116522, A, etc.).
However, all of them perform diffusion bonding in a high vacuum, and cannot solve the above-described problems.
[0010]
Further, when a part of air is replaced with nitrogen gas, there is a problem that aluminum nitride is generated and the bonding strength of the metal catalyst carrier is lowered.
The present invention has been made in order to solve such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a production method capable of preventing contamination in a vacuum furnace with a low vacuum and obtaining a high-strength metal catalyst carrier. Is to provide.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
According to the first aspect of the present invention, a metal catalyst carrier element is formed by alternately winding or laminating a metal plate and a metal plate, heat-treating the metal catalyst carrier element in a vacuum furnace, and performing diffusion bonding. In a method for producing a metal catalyst carrier that integrally joins a joint between a metal plate and a metal plate, in an argon gas atmosphere, at a pressure of 20 Pa to 200 Pa and a treatment temperature of 1,200 ° C. to 1,250 ° C. for 5 to 30 minutes It is characterized by heat treatment.
[0012]
According to a second aspect of the present invention, in the method for producing a metal catalyst carrier according to the first aspect, the vacuum is generated by a rotary pump.
[0013]
(Function)
In the first and second aspects of the invention, first, a metal catalyst carrier element is formed by alternately winding or laminating metal plates according to a conventional method. Next, this metal catalyst carrier element is placed in a vacuum furnace, and is evacuated by a vacuum pump while flowing an argon gas in the vacuum furnace, so that the pressure is 20 Pa to 200 Pa (about 1.5 × 10 ⁻¹ torr to about 1.5 Torr), a high-strength metal catalyst carrier can be obtained by heat treatment at 1,200 ° C. to 1,250 ° C. for 5 to 30 minutes.
[0014]
In the invention described in claim 1, the basis for setting the pressure to 20 Pa to 200 Pa is that 200 Pa is an economical limit value that can be taken when an expensive argon gas is used in a normal industrial vacuum furnace. This is because it is economical and unprofitable, and conversely, if it is below 20 Pa, it is not enough to prevent contamination of the vacuum furnace, and the argon partial pressure is low, preventing the effects of air and moisture as much as possible. This is because it cannot be done.
[0015]
Further, the reason why the heat treatment temperature is set to 1,200 ° C. to 1,250 ° C. is that the heat treatment temperature needs to be 1,200 ° C. or higher for diffusion bonding, and if it exceeds 1,250 ° C., there is a risk of metal deterioration.
Also, the reason for setting the heat treatment time to 5 to 30 minutes is that if less than 5 minutes, the reaction of covering the periphery of the Fe, Cr, Al alloy structure grains in the material with Al ₂ O ₃ cannot be completed, and it exceeds 30 minutes. This is because the material may hurt.
[0016]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is a flowchart showing a method for producing a metal catalyst carrier according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 shows the manufacturing apparatus 10.
Prior to the method of manufacturing a metal catalyst carrier according to an embodiment of the present invention, the manufacturing apparatus 10 will be described.
[0017]
The manufacturing apparatus 10 includes a vacuum furnace 11, a heat insulating material 12 disposed therein, an electric heater 14 disposed in a space 13 surrounded by the heat insulating material 12, and an argon gas injection tube inserted in the space 13. 15 and a rotary pump (rotary pump) 16 attached to the vacuum furnace 11, and the pressure in the space 13 feedback controls the injection amount of argon gas and the rotational speed of the rotary pump 16 through a Pirani gauge pressure gauge. It is controlled by doing.
[0018]
Next, a method for producing a metal catalyst carrier according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
First, in the step (a) of FIG. 1, a flat metal plate (Fe-20Cr-5Al alloy) 2 and a corrugated metal plate (Fe-20Cr-5Al alloy) 3 are alternately arranged according to a conventional method. To form a metal catalyst carrier element 1 (corresponding to the metal catalyst carrier element 1 shown in FIG. 4). The metal catalyst carrier element 1 after being wound is held in a state in which the metal catalyst carrier element 1 is in contact with the tightening force at the time of winding by an arbitrary jig.
[0019]
Next, in step (b) of FIG. 1, the metal catalyst carrier element 1 is placed in the vacuum furnace 11 and argon gas (concentration 99.99%) is injected into the vacuum furnace 11 from the injection tube 15 and the rotary pump. The air in the vacuum furnace 11 is sucked by 16 and the pressure is maintained at 20 Pa to 200 Pa. At the same time, electricity is supplied to the electric heater 14 to set the temperature in the space 13 to 1,200 ° C. to 1,250 ° C. and heat treatment is performed for 5 minutes to 30 minutes.
[0020]
By this heat treatment, when Al in the material of the metal plate 2 and the metal plate 3 exceeds 1,200 ° C., a thin film of Al ₂ O ₃ is formed around the Fe, Cr, Al alloy textured grains, and the metal A strong joint 4 made of a solid diffusion layer is formed on the plate 2 and the metal plate 3.
And the production | generation of aluminum nitride can be suppressed by argon gas atmosphere.
Next, in step (c) of FIG. 1, according to a conventional method, the metal catalyst carrier element 1 was subjected to a wash coat treatment (catalytic treatment) as a catalytic treatment.
[0021]
Thus, a metal catalyst carrier (corresponding to the metal catalyst carrier 5 shown in FIG. 3) could be obtained.
As described above, in this embodiment, since the vacuum is low, the inside of the vacuum furnace 11 is not contaminated unlike the conventional case.
[0022]
In addition, since the vacuum is low, an expensive diffusion pump is not required as in the prior art, and the rotary pump 16 that is easy to maintain and inexpensive can be used.
In addition, since the heat treatment is performed in an argon gas atmosphere, the formation of aluminum nitride can be suppressed, and a high-strength metal catalyst carrier can be obtained.
In the above embodiment, the metal catalyst carrier element 1 is formed by alternately winding the metal plate 2 and the metal plate 3, but the metal plate 2 and the metal plate 3 are alternately stacked. A metal catalyst carrier element 1 may be formed.
[0023]
Moreover, although the said embodiment demonstrated the case where the flat metal plate 2 and the corrugated metal plate 3 were used, for example, as shown in FIG. 2a may be provided.
Further, the material that can be used in the present invention is arbitrary as long as it is generally used for a metal catalyst carrier. For example, Cr 10 to 40 wt%, Al 1 to 7 wt%, Fe remaining amount; Cr 10 -40 wt%, La0.1-1 wt%, Ce0-1 wt%, Al2.5 wt%, Fe remaining amount; Cr3.5-10 wt%, Al1-7 wt%, Nb1.5 wt%, Zr0 .15 wt%, La 0.1 to 1 wt%, Fe remaining amount: Cr 10 to 15 wt%, Al 3 to 5.5 wt%, Mo 1 wt%, La 0.1 to 5 wt%, Ce 0.01 to 1 wt%, Fe There is a remaining amount.
[0024]
【The invention's effect】
As described above, according to the first and second aspects of the invention, the metal catalyst carrier element is heat-treated at 1,200 ° C. to 1,250 ° C. for 5 minutes to 30 minutes in an argon gas atmosphere at a low vacuum of 20 Pa to 200 Pa. Therefore, diffusion bonding with suppressed generation of aluminum nitride is possible, and a high-strength metal catalyst carrier can be obtained.
Further, since the vacuum is low, contamination in the vacuum furnace can be prevented as in the conventional case.
In addition, since the vacuum is low, an expensive diffusion pump as in the prior art is not required, and a rotary pump that is easy to maintain and inexpensive can be used.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a flowchart showing a method for producing a metal catalyst carrier according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a manufacturing apparatus used in an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a perspective view showing a metal catalyst carrier.
FIG. 4 is a perspective view of a metal catalyst carrier element.
FIG. 5 is a perspective view of a metal catalyst carrier element.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a conventional manufacturing apparatus.
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a diffusion bonding portion of a metal catalyst carrier element.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Metal catalyst carrier element 2, 3 Metal plate 4 Joint part 5 Metal catalyst carrier 10 Manufacturing apparatus 11 Vacuum furnace 12 Heat insulating material 13 Space 14 Electric heater 15 Argon gas injection pipe 16 Rotary pump (rotary pump)

Claims

金属製板（２）と金属製板（３）とを交互に巻回又は積層して金属製触媒担体素子（１）を形成し、この金属製触媒担体素子（１）を真空炉（１１）で熱処理し、拡散接合して金属製板（２）と金属製板（３）との接合部（４）を一体的に接合する金属製触媒担体の製造方法において、
アルゴンガス雰囲気下、20Ｐａ〜200Ｐａの圧力、1,200℃〜1,250℃の処理温度で５〜30分間熱処理する
ことを特徴とする金属製触媒担体の製造方法。A metal catalyst carrier element (1) is formed by alternately winding or laminating metal plates (2) and metal plates (3), and the metal catalyst carrier element (1) is vacuum furnace (11). In the method for producing a metal catalyst carrier, which is heat-treated and diffusely joined to integrally join the joint (4) between the metal plate (2) and the metal plate (3),
A method for producing a metal catalyst support, comprising heat-treating at a pressure of 20 Pa to 200 Pa and a treatment temperature of 1,200 ° C. to 1,250 ° C. for 5 to 30 minutes in an argon gas atmosphere.

請求項１記載の金属製触媒担体の製造方法において、
回転式ポンプ（１６）により真空にする
ことを特徴とする金属製触媒担体の製造方法。In the manufacturing method of the metal catalyst carrier of Claim 1,
A method for producing a metal catalyst carrier, wherein a vacuum is generated by a rotary pump (16).