JP3789083B2 - 洗浄溶液を用いた集積回路基板の汚染物質の除去方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は集積回路基板用洗浄溶液及びそれを用いた洗浄方法に係り、より詳細には半導体基板またはLCD基板表面用洗浄溶液及びこれを用いた洗浄方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
通常の洗浄工程は、記憶装置及び液晶装置(LCD)のような半導体装置及び集積回路の製造時に重要な役割をする。集積回路基板は工程中に汚染されやすいために洗浄工程が重要である。金属物質、自然酸化膜などの酸化膜及び損傷膜質や、さらにはパーチクルのような汚染物質が基板上に残存しやすく、これによって装置の信頼性の低下がもたらされうる。効果的な洗浄方法によれば汚染物質が除去されて製造収率が高まる。
【0003】
一連の湿式洗浄方法が現在広く使われている。一連の湿式洗浄方法の例が、APM(Ammonia hydrogen peroxide mixture)工程、SPM(sulfuric acid hydrogen peroxide mixture)工程及びHPM(hydrochloric acid hydrogen peroxide mixture)工程よりなる方法である。このような一連の湿式洗浄工程は、各々パーチクルまたは微粒子、有機汚染物及び金属汚染物を効果的に除去する工程である。
【0004】
しかし、このような一連の湿式洗浄工程はそれぞれ問題点も有しているが、例えば、APM工程はパーチクル除去能力に優れた反面、金属汚染物の除去能は弱く、HPM工程は金属汚染物の除去力に優れるが、激しい腐食性と毒性があってパーチクル除去には弱いという問題点がある。
【0005】
したがって、目的の洗浄効果を得るためにはこれら工程を適切に組合せしたり変形したりして適用する必要がある。
【0006】
その一例として、SPM工程、APM工程及びHPM工程を順に実施する方法がある。この方法によれば、SPM工程により集積回路基板上の有機物を除去し、APM工程により基板上のパーチクルを除去する。次に、HPM工程を実施して金属汚染物を除去する。
【0007】
しかし、この方法はその順序が複雑なだけでなく、生産コストが高い。また、過量の洗浄溶液とリンス用脱イオン水を連続して使用することによって環境公害を起こす可能性が高い。また、SPM、APM及びHPM溶液は強力な酸化剤の過酸化水素(H2O2)を含むため、洗浄後に基板上に化学的酸化膜が形成される。また、集積回路製造工程時に集積回路基板が大気中の酸素や水分と反応し、基板表面に薄い自然酸化膜が生じうる。このように生じた酸化膜は集積回路装置の特性に悪影響を及ぼす。特に、自然酸化膜がコンタクト表面に生じればコンタクト抵抗を増加させ、ゲート酸化膜の成長前に自然酸化膜が生じればゲート酸化膜の特性を低下させる。
【0008】
酸化膜除去方法として最も広く知られた方法が、フッ酸洗浄液を用いる湿式洗浄方法である。フッ酸洗浄液は、基板と酸化膜との間に高い蝕刻選択比を維持するだけでなく、酸化膜洗浄後にシリコン基板の表面上に水素パッシべーション膜を形成するという点では効果的である。
【0009】
しかし、フッ酸洗浄液を用いた湿式洗浄方法には短所がある。すなわち、この方法はイン-シチュ(in-situ)工程で進行し難く、長時間がかかるために汚染物質を順に制御し難い。その上、洗浄工程の後続工程のウェーハ乾燥工程時に各種汚染が生じうるが、このような汚染に対する制御がほとんど不可能であるという致命的な短所がある。
【0010】
また、狭くて深いコンタクトホールの洗浄時に、洗浄液がコンタクトホールに流入し、コンタクトホールから排出し難く、酸化膜の完全な除去が不可能であり、洗浄残留物の除去も容易ではないという問題点もある。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
本発明が解決しようとする技術的課題は集積回路基板上の汚染物質の除去方法を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の技術的課題は、集積回路の基板から汚染源を除去する方法において、1)前記基板をヒドロキシル芳香族化合物から構成されたキレート剤を含む過酸化水素洗浄溶液で処理する段階と、2)前記基板を水素ガス及びフッ素含有ガスで処理する段階と、3)前記基板をアニーリングする、それによって、上記2)の段階で形成された反応層と、前記反応層が存在した所の酸化膜を除去する、段階とを順に含むことを特徴とする方法によってなされうる。
【0013】
本発明の一態様において、過酸化水素洗浄溶液がアンモニウム、過酸化水素、脱イオン水及びキレート剤を含み、この洗浄溶液の温度が約40℃ないし約80℃である。
【0014】
基板を水素ガス及びフッ素-含有ガスで処理する段階が約−25℃ないし約50℃の温度及び約0.01torrないし約10torrの圧力下で実施されることが望ましい。
【0015】
基板をアニーリングする段階は約100℃ないし約500℃の温度で約20秒ないし約60秒で実施される。
【0016】
フッ素-含有ガスが三フッ化窒素(NF3)、六フッ化硫黄(SF6)及び三フッ化塩素(ClF3)よりなる群から選択された少なくとも一つであり、フッ素-含有ガスの供給量が前記水素ガスに対して約0.1〜約5000vol%であることが望ましい。
【0017】
この方法は、望ましくは基板を洗浄溶液で処理した後にオゾン水でリンスする段階をさらに含むことができる。洗浄溶液の処理段階とオゾン水のリンス段階は同一バス内で実施され、オゾン水の温度は約0ないし約30℃である。オゾン水は脱イオン水とオゾンを含むが、オゾンの含量が脱イオン水に対して約1ppmないし約1,000ppmである。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の望ましい具現例を示した添付図面を挙げて発明をより詳細に説明する。
【0019】
図1は本発明に係る洗浄方法を示すフローチャートである。まず、汚染物質が形成されている集積回路基板、例えば、半導体基板または液晶表示装置基板を準備する。次いで、前記基板を洗浄溶液で処理する(段階10)。洗浄溶液は塩基性過酸化水素水溶液とキレート剤とを含む。この洗浄溶液を基板表面上に噴射したり、基板を洗浄溶液が入っているバスまたは浴にディッピングしたりする方法で洗浄できる。キレート剤は金属汚染物質を除去するのに使われうる。通常、使われるキレート剤の種類には制限がない。しかし、望ましくはクエン酸、グルコン酸のようなカルボン酸化合物と、ヒドロキシエタンジホスホン酸、エチレンジアミンテトラキス-メチレンホスホン酸のようなホスホン酸化合物と、カテコール、レゾルシノール、ヒドロキノン、ピロガロールのようなヒドロキシ芳香族化合物から選択された1種ないし3種を使用できる。望ましいキレート剤添加量は、洗浄用液中の水含量を基準として、約500ppmないし約5,000ppmである。もし約500ppm未満であれば金属汚染物質の除去効果が低いし、約5,000ppmを超過する場合には有機汚染物質が生じうる。
【0020】
塩基性過酸化水素水溶液を用いた洗浄工程は、基板の一部で除去された金属物質が基板の他の部分に再付着する、いわゆる"金属逆汚染"によって金属汚染物質を完全に除去し難い場合がある。一方、キレート剤は洗浄溶液内で金属イオンと配位結合して錯化合物を形成することによって、金属汚染物により基板が再汚染されないようにする。また、洗浄溶液は何回使用してもきれいなために繰り返して使用できる。本発明において、この段階は望ましくは約40℃ないし約80℃の温度範囲で実施されうる。
【0021】
次いで、洗浄溶液で処理した基板を脱イオン水またはオゾン水でリンスして、基板上の残留物を除去する(段階20)。オゾン水を用いてリンスすれば、洗浄溶液処理段階(段階10)時にキレート剤から出る有機汚染物を効果的に除去できるという利点がある。オゾン水を用いる場合、望ましくはオゾン水の温度が約0℃ないし約30℃で、オゾン水中のオゾン濃度が約1ppmないし約1,000ppmである。もし、オゾン水の温度が約0℃より低ければO3の溶解が容易でより高いO3濃度を得られるという利点はあるが、反応性が落ちるのでオゾン水を用いたリンス効果が落ち、約30℃を超過する場合にはO3が容易に溶解され難いという問題点がある。リンス工程は、基板上に脱イオン水またはオゾン水を持続的に流しながら実施するオーバーフロー法、または基板をオゾン水が入っているバスに入れて取り出すクィックダンプ法中でいずれかによって実施しても構わない。
【0022】
次に、前記基板を水素ガスとフッ素-含有ガスで化学的に処理する(段階30)。この時、水素ガスはプラズマ状態で工程チャンバに供給され、フッ素-含有ガスは自然状態で工程チャンバに供給される。望ましくは、前記水素ガスとフッ素-含有ガスを所定比で混合した後、キャリアガスの窒素及び/またはアルゴンガスと共に工程チャンバに供給する。
【0023】
前記フッ素含有ガスにはフッ化窒素(NF3)、六フッ化硫黄(SF6)または三フッ化塩素(ClF3)を使用できるが、望ましくはフッ化窒素を使用する。フッ素-含有ガスの混合比は、水素ガスに対して、約0.1〜約5000vol%であることが望ましい。
【0024】
水素ガスとフッ素-含有ガスの注入後、約−25ないし約50℃、望ましくは約0℃ないし約50℃の温度、及び約0.01torrないし約10torrの圧力で工程条件を制御しながら約20ないし約600秒間反応を実施する。前述したように工程チャンバ内に水素ガスとフッ素-含有ガスを供給して反応条件を設定すれば、水素ガスとフッ素-含有ガスが基板表面に形成された酸化膜と化学的反応を起こして酸化膜を除去する。この時、前記酸化膜は大気中の酸素や水分と反応して自発的に形成される自然酸化膜である場合もあり、任意の酸化膜パターンを形成するために蝕刻される被蝕刻酸化膜である場合もある。
【0025】
基板を水素ガスプラズマとフッ素-含有ガスで処理する段階(段階30)は、既存のRIE方法とは違って、化学的反応にのみ基づくのでウェーハ表面が傷つく恐れがないだけでなくチャージ損傷される恐れもない。例えば、工程チャンバに供給された水素ガスと三フッ化窒素ガスは酸化膜、すなわち二酸化シリコンと化学的反応を起こして前記供給ガスと酸化膜が出合う所に、例えば、(NH4)2SiF6のような反応層を形成する。このように形成された反応層は化学的反応に対する障壁層で作用するが、すなわち供給ガスと酸化膜との持続的な化学的反応を妨害する。
【0026】
基板を水素ガス及びフッ素-含有ガスで処理した後、基板をアニーリングして障壁層で作用する反応層を気化させて除去する(段階40)。前記アニーリング工程は低温で、具体的に約100ないし約500℃の温度で、約20ないし約600秒間実施される。もし、アニーリング温度と時間範囲が前記範囲を外れれば、反応層が充分に除去されないという問題点がある。このようなアニーリング工程は、イン-シチュまたはエックス-シチュ(ex-situ)状態中で、いずれかの状態で進行しても構わない。
【0027】
アニーリング工程により反応層を除去すれば、前記反応層が存在した所の酸化膜は除去されると同時に、基板表面は水素でパッシべーションされる。
【0028】
前記ガス供給段階とアニーリング段階は除去されねばならない酸化膜が自然酸化膜の場合には一般に1回の工程だけでも充分であるが、除去されねばならない酸化膜が一般のパターンを形成するための酸化膜の場合には酸化膜の厚さによって1回以上反復して実施することが望ましい。
【0029】
【実施例】
以下、実施例及び比較例をあげて本発明をより詳細に説明する。
【0030】
(実施例1)
先ず基板2枚を準備し、これら各々をメタルスタンダードソリューション(metal standard solution)で処理して、その表面を金属汚染物で強制汚染させた。金属汚染物の水準は全て1E13atoms/cm2であった。次いで、これら基板の各々を通常のAPM洗浄溶液とキレート剤含有APM洗浄溶液で各々処理した後に、処理された基板の金属汚染度をまた測定した。その結果を下記の表1に示した。
【0031】
【表1】
【0032】
前記表1に示したように、通常のAPMで処理した後にFeの汚染水準は減少した。しかし、Al汚染物質の水準は増加した。反対に、キレート剤含有APMで処理した後は2種の金属(FeとAl)とも大幅に増加した。
【0033】
(実施例2)
基板2枚を準備した後、これら基板を各々洗浄した後、その上にゲート酸化膜を蒸着した。まず、2枚の基板中で、1枚はAPM洗浄及びHF洗浄を順に実施する通常の洗浄方法で処理し、他の1枚はキレート剤が添加されたAPM洗浄溶液でまず洗浄した後、水素プラズマとフッ素含有ガスの混合物を供給して乾燥式洗浄する本発明の洗浄方法によって処理した。
【0034】
次いで、スパイダーマスクを用いて各々をパターニングした後、各々パターンが形成された基板でゲート酸化膜に対するTDDB(Time Dependent Dielectric Breakdown)特性を測定して、ゲート酸化膜の信頼度を評価した。この時、TDDB測定は室温で50Aの電流及び−7.4Vの電圧の条件下で実施した。その結果を図2に示した。図2において、曲線(a)は通常の洗浄方法で処理した場合のTDDB特性を、曲線(b)は本発明に係る洗浄方法で処理した場合のTDDB特性を示したものである。図2の結果から分かるように、所定のフェイル発生率で本発明に係る曲線(b)の経過時間が曲線(a)よりもっと長かった。したがって、本発明に係る洗浄方法で処理した場合、ゲート酸化膜に対する信頼性により優れたことが分かる。
【0035】
【発明の効果】
本発明に係る望ましい基板洗浄方法により、有機汚染物、パーチクル、金属汚染物のような各種汚染物が効果的に除去できる。特に、金属汚染物の再付着による逆汚染問題がないし、自然酸化膜などの各種酸化膜を下部膜質の損傷なしに効果的に除去できるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る洗浄方法を順に示したフローチャートである。
【図2】従来の洗浄方法で処理された基板に対するTDDB特性(a)及び本発明に係る洗浄方法で処理された基板に関するTDDB特性(b)を各々示したグラフである。
Claims (19)
- 集積回路の基板から汚染源を除去する方法において、
1)前記基板をヒドロキシル芳香族化合物から構成されたキレート剤を含む過酸化水素洗浄溶液で処理する段階と、
2)前記基板を水素ガス及びフッ素含有ガスで処理する段階と、
3)前記基板をアニーリングする、それによって、上記2)の段階で形成された反応層と、前記反応層が存在した所の酸化膜を除去する、段階とを順に含むことを特徴とする方法。 - 前記過酸化水素洗浄溶液がアンモニウム、過酸化水素、脱イオン水及びキレート剤を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記キレート剤の含量が洗浄溶液中の水含量を基準として約500ppmないし約5,000ppmであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記洗浄溶液の温度が約40℃ないし約80℃であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記フッ素−含有ガスが三フッ化窒素(NF3)、六フッ化硫黄(SF6)及び三フッ化塩素(ClF3)よりなる群から選択されたものであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- フッ素−含有ガスの供給量が前記水素ガスに対して約0.1〜約5000vol%であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記水素ガスとフッ素−含有ガスが工程チャンバ内部に供給され、前記水素ガスはプラズマ状態であり、前記フッ素−含有ガスは自然状態であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 窒素またはアルゴンから選択された1種以上のキャリアガスを前記水素ガス及びフッ素含有ガスと共に工程チャンバ内部に供給することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 基板を水素ガス及びフッ素−含有ガスで処理する段階が約−25℃ないし約50℃の温度及び約0.01torrないし約10torrの圧力下で実施されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 基板を水素ガス及びフッ素−含有ガスで処理する段階が約20秒ないし約600秒で実施されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 基板を水素ガス及びフッ素−含有ガスで処理する段階及び基板をアニーリングする段階が同じ工程チャンバ内で実施されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 基板を洗浄溶液で処理した後にオゾン水を用いてリンスする段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記洗浄溶液処理及びオゾン水を用いたリンスが同一バス内で実施されることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記オゾン水の温度が約0℃ないし約30℃であることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記オゾン水が脱イオン水とオゾンを含み、オゾンの含量が脱イオン水に対して約1ppmないし約1,000ppmであることを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記オゾン水の温度が約0℃ないし約30℃であることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記オゾン水が脱イオン水とオゾンを含み、オゾンの含量が脱イオン水に対して約1ppmないし約1,000ppmであることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 基板をアニーリングする段階が約100℃ないし約500℃で約20秒ないし約600秒で実施されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 基板を水素ガス及びフッ素−含有ガスで処理する段階と基板をアニーリングする段階が2回以上反復的に進行されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
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US20060151007A1 (en) * | 1997-05-09 | 2006-07-13 | Bergman Eric J | Workpiece processing using ozone gas and chelating agents |
US7223676B2 (en) * | 2002-06-05 | 2007-05-29 | Applied Materials, Inc. | Very low temperature CVD process with independently variable conformality, stress and composition of the CVD layer |
US6939434B2 (en) * | 2000-08-11 | 2005-09-06 | Applied Materials, Inc. | Externally excited torroidal plasma source with magnetic control of ion distribution |
US20070042580A1 (en) * | 2000-08-10 | 2007-02-22 | Amir Al-Bayati | Ion implanted insulator material with reduced dielectric constant |
US7294563B2 (en) * | 2000-08-10 | 2007-11-13 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor on insulator vertical transistor fabrication and doping process |
US7166524B2 (en) * | 2000-08-11 | 2007-01-23 | Applied Materials, Inc. | Method for ion implanting insulator material to reduce dielectric constant |
US7037813B2 (en) * | 2000-08-11 | 2006-05-02 | Applied Materials, Inc. | Plasma immersion ion implantation process using a capacitively coupled plasma source having low dissociation and low minimum plasma voltage |
US7288491B2 (en) * | 2000-08-11 | 2007-10-30 | Applied Materials, Inc. | Plasma immersion ion implantation process |
US7465478B2 (en) * | 2000-08-11 | 2008-12-16 | Applied Materials, Inc. | Plasma immersion ion implantation process |
US7479456B2 (en) * | 2004-08-26 | 2009-01-20 | Applied Materials, Inc. | Gasless high voltage high contact force wafer contact-cooling electrostatic chuck |
US7094670B2 (en) * | 2000-08-11 | 2006-08-22 | Applied Materials, Inc. | Plasma immersion ion implantation process |
US20050230047A1 (en) * | 2000-08-11 | 2005-10-20 | Applied Materials, Inc. | Plasma immersion ion implantation apparatus |
US7183177B2 (en) * | 2000-08-11 | 2007-02-27 | Applied Materials, Inc. | Silicon-on-insulator wafer transfer method using surface activation plasma immersion ion implantation for wafer-to-wafer adhesion enhancement |
US7303982B2 (en) * | 2000-08-11 | 2007-12-04 | Applied Materials, Inc. | Plasma immersion ion implantation process using an inductively coupled plasma source having low dissociation and low minimum plasma voltage |
US7320734B2 (en) * | 2000-08-11 | 2008-01-22 | Applied Materials, Inc. | Plasma immersion ion implantation system including a plasma source having low dissociation and low minimum plasma voltage |
JP3929261B2 (ja) * | 2000-09-25 | 2007-06-13 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置および基板処理方法 |
US7111629B2 (en) * | 2001-01-08 | 2006-09-26 | Apl Co., Ltd. | Method for cleaning substrate surface |
SG96665A1 (en) * | 2001-11-21 | 2003-06-16 | Environmental Technology Inst | An apparatus and method for cleaning glass substrates using a cool hydrogen flame |
KR20040024051A (ko) * | 2002-09-12 | 2004-03-20 | 어드벤스드 알케미(주) | 반도체 소자의 세정액 및 이를 이용한 세정 방법 |
EP1562225A4 (en) * | 2002-11-08 | 2007-04-18 | Wako Pure Chem Ind Ltd | CLEANING COMPOSITION AND METHOD FOR CLEANING WITH THE COMPOSITION |
US7799141B2 (en) * | 2003-06-27 | 2010-09-21 | Lam Research Corporation | Method and system for using a two-phases substrate cleaning compound |
US7648584B2 (en) * | 2003-06-27 | 2010-01-19 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for removing contamination from substrate |
US7913703B1 (en) | 2003-06-27 | 2011-03-29 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for uniformly applying a multi-phase cleaning solution to a substrate |
US8316866B2 (en) * | 2003-06-27 | 2012-11-27 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for cleaning a semiconductor substrate |
US8522801B2 (en) * | 2003-06-27 | 2013-09-03 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for cleaning a semiconductor substrate |
US20040261823A1 (en) * | 2003-06-27 | 2004-12-30 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for removing a target layer from a substrate using reactive gases |
US7737097B2 (en) * | 2003-06-27 | 2010-06-15 | Lam Research Corporation | Method for removing contamination from a substrate and for making a cleaning solution |
US20050124160A1 (en) * | 2003-12-05 | 2005-06-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. | Novel multi-gate formation procedure for gate oxide quality improvement |
US8323420B2 (en) | 2005-06-30 | 2012-12-04 | Lam Research Corporation | Method for removing material from semiconductor wafer and apparatus for performing the same |
US8522799B2 (en) * | 2005-12-30 | 2013-09-03 | Lam Research Corporation | Apparatus and system for cleaning a substrate |
US8043441B2 (en) * | 2005-06-15 | 2011-10-25 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for cleaning a substrate using non-Newtonian fluids |
US7862662B2 (en) * | 2005-12-30 | 2011-01-04 | Lam Research Corporation | Method and material for cleaning a substrate |
US7416370B2 (en) * | 2005-06-15 | 2008-08-26 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for transporting a substrate using non-Newtonian fluid |
US7568490B2 (en) * | 2003-12-23 | 2009-08-04 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for cleaning semiconductor wafers using compressed and/or pressurized foams, bubbles, and/or liquids |
US20050230350A1 (en) * | 2004-02-26 | 2005-10-20 | Applied Materials, Inc. | In-situ dry clean chamber for front end of line fabrication |
US20050205835A1 (en) * | 2004-03-19 | 2005-09-22 | Tamboli Dnyanesh C | Alkaline post-chemical mechanical planarization cleaning compositions |
US20050211171A1 (en) * | 2004-03-26 | 2005-09-29 | Applied Materials, Inc. | Chemical vapor deposition plasma reactor having an ion shower grid |
US7695590B2 (en) * | 2004-03-26 | 2010-04-13 | Applied Materials, Inc. | Chemical vapor deposition plasma reactor having plural ion shower grids |
US7767561B2 (en) * | 2004-07-20 | 2010-08-03 | Applied Materials, Inc. | Plasma immersion ion implantation reactor having an ion shower grid |
US8058156B2 (en) * | 2004-07-20 | 2011-11-15 | Applied Materials, Inc. | Plasma immersion ion implantation reactor having multiple ion shower grids |
US7666464B2 (en) * | 2004-10-23 | 2010-02-23 | Applied Materials, Inc. | RF measurement feedback control and diagnostics for a plasma immersion ion implantation reactor |
US7422775B2 (en) * | 2005-05-17 | 2008-09-09 | Applied Materials, Inc. | Process for low temperature plasma deposition of an optical absorption layer and high speed optical annealing |
US7312162B2 (en) * | 2005-05-17 | 2007-12-25 | Applied Materials, Inc. | Low temperature plasma deposition process for carbon layer deposition |
US20060260545A1 (en) * | 2005-05-17 | 2006-11-23 | Kartik Ramaswamy | Low temperature absorption layer deposition and high speed optical annealing system |
US7312148B2 (en) * | 2005-08-08 | 2007-12-25 | Applied Materials, Inc. | Copper barrier reflow process employing high speed optical annealing |
US7429532B2 (en) * | 2005-08-08 | 2008-09-30 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor substrate process using an optically writable carbon-containing mask |
US7323401B2 (en) * | 2005-08-08 | 2008-01-29 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor substrate process using a low temperature deposited carbon-containing hard mask |
US7335611B2 (en) * | 2005-08-08 | 2008-02-26 | Applied Materials, Inc. | Copper conductor annealing process employing high speed optical annealing with a low temperature-deposited optical absorber layer |
US20070048980A1 (en) * | 2005-08-24 | 2007-03-01 | International Business Machines Corporation | Method for post-rie passivation of semiconductor surfaces for epitaxial growth |
SG154438A1 (en) | 2005-12-30 | 2009-08-28 | Lam Res Corp | Cleaning compound and method and system for using the cleaning compound |
US20080009134A1 (en) * | 2006-07-06 | 2008-01-10 | Tsung-Yu Hung | Method for fabricating metal silicide |
US20080268617A1 (en) * | 2006-08-09 | 2008-10-30 | Applied Materials, Inc. | Methods for substrate surface cleaning suitable for fabricating silicon-on-insulator structures |
US20080057678A1 (en) * | 2006-08-31 | 2008-03-06 | Kishor Purushottam Gadkaree | Semiconductor on glass insulator made using improved hydrogen reduction process |
US20080148595A1 (en) * | 2006-12-20 | 2008-06-26 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for drying substrates using a surface tensions reducing gas |
WO2008089168A2 (en) * | 2007-01-19 | 2008-07-24 | Applied Materials, Inc. | Plasma immersion chamber |
US7897213B2 (en) * | 2007-02-08 | 2011-03-01 | Lam Research Corporation | Methods for contained chemical surface treatment |
US20100151677A1 (en) * | 2007-04-12 | 2010-06-17 | Freescale Semiconductor, Inc. | Etch method in the manufacture of a semiconductor device |
US8211846B2 (en) | 2007-12-14 | 2012-07-03 | Lam Research Group | Materials for particle removal by single-phase and two-phase media |
JP5286290B2 (ja) * | 2008-02-15 | 2013-09-11 | ライオン株式会社 | 洗浄剤組成物および電子デバイス用基板の洗浄方法、並びに電子デバイス用基板 |
SG173462A1 (en) * | 2009-03-05 | 2011-09-29 | Applied Materials Inc | Methods for depositing layers having reduced interfacial contamination |
US20120080053A1 (en) * | 2009-04-30 | 2012-04-05 | Lion Corporation | Method for cleaning of semiconductor substrate and acidic solution |
US9324576B2 (en) | 2010-05-27 | 2016-04-26 | Applied Materials, Inc. | Selective etch for silicon films |
JP5713808B2 (ja) * | 2010-07-09 | 2015-05-07 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及び半導体装置の製造方法 |
CN102453957A (zh) * | 2010-10-25 | 2012-05-16 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 降低锗硅外延表面缺陷的方法 |
US10283321B2 (en) | 2011-01-18 | 2019-05-07 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing system and methods using capacitively coupled plasma |
US8771539B2 (en) | 2011-02-22 | 2014-07-08 | Applied Materials, Inc. | Remotely-excited fluorine and water vapor etch |
US9064815B2 (en) | 2011-03-14 | 2015-06-23 | Applied Materials, Inc. | Methods for etch of metal and metal-oxide films |
US8999856B2 (en) | 2011-03-14 | 2015-04-07 | Applied Materials, Inc. | Methods for etch of sin films |
US8771536B2 (en) | 2011-08-01 | 2014-07-08 | Applied Materials, Inc. | Dry-etch for silicon-and-carbon-containing films |
US8679982B2 (en) | 2011-08-26 | 2014-03-25 | Applied Materials, Inc. | Selective suppression of dry-etch rate of materials containing both silicon and oxygen |
US8679983B2 (en) | 2011-09-01 | 2014-03-25 | Applied Materials, Inc. | Selective suppression of dry-etch rate of materials containing both silicon and nitrogen |
US8927390B2 (en) | 2011-09-26 | 2015-01-06 | Applied Materials, Inc. | Intrench profile |
US8808563B2 (en) | 2011-10-07 | 2014-08-19 | Applied Materials, Inc. | Selective etch of silicon by way of metastable hydrogen termination |
WO2013070436A1 (en) | 2011-11-08 | 2013-05-16 | Applied Materials, Inc. | Methods of reducing substrate dislocation during gapfill processing |
US9267739B2 (en) | 2012-07-18 | 2016-02-23 | Applied Materials, Inc. | Pedestal with multi-zone temperature control and multiple purge capabilities |
US9373517B2 (en) | 2012-08-02 | 2016-06-21 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing with DC assisted RF power for improved control |
US9034770B2 (en) | 2012-09-17 | 2015-05-19 | Applied Materials, Inc. | Differential silicon oxide etch |
US9023734B2 (en) | 2012-09-18 | 2015-05-05 | Applied Materials, Inc. | Radical-component oxide etch |
US9390937B2 (en) | 2012-09-20 | 2016-07-12 | Applied Materials, Inc. | Silicon-carbon-nitride selective etch |
US9132436B2 (en) | 2012-09-21 | 2015-09-15 | Applied Materials, Inc. | Chemical control features in wafer process equipment |
US8765574B2 (en) | 2012-11-09 | 2014-07-01 | Applied Materials, Inc. | Dry etch process |
US8969212B2 (en) | 2012-11-20 | 2015-03-03 | Applied Materials, Inc. | Dry-etch selectivity |
US9064816B2 (en) | 2012-11-30 | 2015-06-23 | Applied Materials, Inc. | Dry-etch for selective oxidation removal |
US8980763B2 (en) | 2012-11-30 | 2015-03-17 | Applied Materials, Inc. | Dry-etch for selective tungsten removal |
US9111877B2 (en) | 2012-12-18 | 2015-08-18 | Applied Materials, Inc. | Non-local plasma oxide etch |
US8921234B2 (en) | 2012-12-21 | 2014-12-30 | Applied Materials, Inc. | Selective titanium nitride etching |
US10256079B2 (en) | 2013-02-08 | 2019-04-09 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing systems having multiple plasma configurations |
US9362130B2 (en) | 2013-03-01 | 2016-06-07 | Applied Materials, Inc. | Enhanced etching processes using remote plasma sources |
US9040422B2 (en) | 2013-03-05 | 2015-05-26 | Applied Materials, Inc. | Selective titanium nitride removal |
US8801952B1 (en) | 2013-03-07 | 2014-08-12 | Applied Materials, Inc. | Conformal oxide dry etch |
US10170282B2 (en) | 2013-03-08 | 2019-01-01 | Applied Materials, Inc. | Insulated semiconductor faceplate designs |
US20140271097A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Applied Materials, Inc. | Processing systems and methods for halide scavenging |
US8895449B1 (en) | 2013-05-16 | 2014-11-25 | Applied Materials, Inc. | Delicate dry clean |
US9114438B2 (en) | 2013-05-21 | 2015-08-25 | Applied Materials, Inc. | Copper residue chamber clean |
CN104226625B (zh) * | 2013-06-07 | 2016-08-10 | 中国航天科工集团第三研究院第八三五八研究所 | 一种高反射膜表面层的去除方法 |
US9493879B2 (en) | 2013-07-12 | 2016-11-15 | Applied Materials, Inc. | Selective sputtering for pattern transfer |
US9773648B2 (en) | 2013-08-30 | 2017-09-26 | Applied Materials, Inc. | Dual discharge modes operation for remote plasma |
US8956980B1 (en) | 2013-09-16 | 2015-02-17 | Applied Materials, Inc. | Selective etch of silicon nitride |
US8951429B1 (en) | 2013-10-29 | 2015-02-10 | Applied Materials, Inc. | Tungsten oxide processing |
US9236265B2 (en) | 2013-11-04 | 2016-01-12 | Applied Materials, Inc. | Silicon germanium processing |
US9576809B2 (en) | 2013-11-04 | 2017-02-21 | Applied Materials, Inc. | Etch suppression with germanium |
US9520303B2 (en) | 2013-11-12 | 2016-12-13 | Applied Materials, Inc. | Aluminum selective etch |
US9245762B2 (en) | 2013-12-02 | 2016-01-26 | Applied Materials, Inc. | Procedure for etch rate consistency |
US9117855B2 (en) | 2013-12-04 | 2015-08-25 | Applied Materials, Inc. | Polarity control for remote plasma |
US9287095B2 (en) | 2013-12-17 | 2016-03-15 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor system assemblies and methods of operation |
US9263278B2 (en) | 2013-12-17 | 2016-02-16 | Applied Materials, Inc. | Dopant etch selectivity control |
US9190293B2 (en) | 2013-12-18 | 2015-11-17 | Applied Materials, Inc. | Even tungsten etch for high aspect ratio trenches |
US9287134B2 (en) | 2014-01-17 | 2016-03-15 | Applied Materials, Inc. | Titanium oxide etch |
US9396989B2 (en) | 2014-01-27 | 2016-07-19 | Applied Materials, Inc. | Air gaps between copper lines |
US9293568B2 (en) | 2014-01-27 | 2016-03-22 | Applied Materials, Inc. | Method of fin patterning |
US9385028B2 (en) | 2014-02-03 | 2016-07-05 | Applied Materials, Inc. | Air gap process |
US9499898B2 (en) | 2014-03-03 | 2016-11-22 | Applied Materials, Inc. | Layered thin film heater and method of fabrication |
US9299575B2 (en) | 2014-03-17 | 2016-03-29 | Applied Materials, Inc. | Gas-phase tungsten etch |
US9299537B2 (en) | 2014-03-20 | 2016-03-29 | Applied Materials, Inc. | Radial waveguide systems and methods for post-match control of microwaves |
US9299538B2 (en) | 2014-03-20 | 2016-03-29 | Applied Materials, Inc. | Radial waveguide systems and methods for post-match control of microwaves |
US9136273B1 (en) | 2014-03-21 | 2015-09-15 | Applied Materials, Inc. | Flash gate air gap |
US9903020B2 (en) | 2014-03-31 | 2018-02-27 | Applied Materials, Inc. | Generation of compact alumina passivation layers on aluminum plasma equipment components |
US9269590B2 (en) | 2014-04-07 | 2016-02-23 | Applied Materials, Inc. | Spacer formation |
US9309598B2 (en) | 2014-05-28 | 2016-04-12 | Applied Materials, Inc. | Oxide and metal removal |
US9847289B2 (en) | 2014-05-30 | 2017-12-19 | Applied Materials, Inc. | Protective via cap for improved interconnect performance |
US9378969B2 (en) | 2014-06-19 | 2016-06-28 | Applied Materials, Inc. | Low temperature gas-phase carbon removal |
US9406523B2 (en) | 2014-06-19 | 2016-08-02 | Applied Materials, Inc. | Highly selective doped oxide removal method |
US9425058B2 (en) | 2014-07-24 | 2016-08-23 | Applied Materials, Inc. | Simplified litho-etch-litho-etch process |
US9378978B2 (en) | 2014-07-31 | 2016-06-28 | Applied Materials, Inc. | Integrated oxide recess and floating gate fin trimming |
US9496167B2 (en) | 2014-07-31 | 2016-11-15 | Applied Materials, Inc. | Integrated bit-line airgap formation and gate stack post clean |
US9159606B1 (en) | 2014-07-31 | 2015-10-13 | Applied Materials, Inc. | Metal air gap |
US9165786B1 (en) | 2014-08-05 | 2015-10-20 | Applied Materials, Inc. | Integrated oxide and nitride recess for better channel contact in 3D architectures |
US9659753B2 (en) | 2014-08-07 | 2017-05-23 | Applied Materials, Inc. | Grooved insulator to reduce leakage current |
US9553102B2 (en) | 2014-08-19 | 2017-01-24 | Applied Materials, Inc. | Tungsten separation |
US9355856B2 (en) | 2014-09-12 | 2016-05-31 | Applied Materials, Inc. | V trench dry etch |
US9368364B2 (en) | 2014-09-24 | 2016-06-14 | Applied Materials, Inc. | Silicon etch process with tunable selectivity to SiO2 and other materials |
US9478434B2 (en) | 2014-09-24 | 2016-10-25 | Applied Materials, Inc. | Chlorine-based hardmask removal |
US9613822B2 (en) | 2014-09-25 | 2017-04-04 | Applied Materials, Inc. | Oxide etch selectivity enhancement |
US9355922B2 (en) | 2014-10-14 | 2016-05-31 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for internal surface conditioning in plasma processing equipment |
US9966240B2 (en) | 2014-10-14 | 2018-05-08 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for internal surface conditioning assessment in plasma processing equipment |
US11637002B2 (en) | 2014-11-26 | 2023-04-25 | Applied Materials, Inc. | Methods and systems to enhance process uniformity |
US9299583B1 (en) | 2014-12-05 | 2016-03-29 | Applied Materials, Inc. | Aluminum oxide selective etch |
US10224210B2 (en) | 2014-12-09 | 2019-03-05 | Applied Materials, Inc. | Plasma processing system with direct outlet toroidal plasma source |
US10573496B2 (en) | 2014-12-09 | 2020-02-25 | Applied Materials, Inc. | Direct outlet toroidal plasma source |
US9502258B2 (en) | 2014-12-23 | 2016-11-22 | Applied Materials, Inc. | Anisotropic gap etch |
US9343272B1 (en) | 2015-01-08 | 2016-05-17 | Applied Materials, Inc. | Self-aligned process |
US11257693B2 (en) | 2015-01-09 | 2022-02-22 | Applied Materials, Inc. | Methods and systems to improve pedestal temperature control |
US9373522B1 (en) | 2015-01-22 | 2016-06-21 | Applied Mateials, Inc. | Titanium nitride removal |
US9449846B2 (en) | 2015-01-28 | 2016-09-20 | Applied Materials, Inc. | Vertical gate separation |
US20160225652A1 (en) | 2015-02-03 | 2016-08-04 | Applied Materials, Inc. | Low temperature chuck for plasma processing systems |
US9728437B2 (en) | 2015-02-03 | 2017-08-08 | Applied Materials, Inc. | High temperature chuck for plasma processing systems |
US9881805B2 (en) | 2015-03-02 | 2018-01-30 | Applied Materials, Inc. | Silicon selective removal |
US9741593B2 (en) | 2015-08-06 | 2017-08-22 | Applied Materials, Inc. | Thermal management systems and methods for wafer processing systems |
US9691645B2 (en) | 2015-08-06 | 2017-06-27 | Applied Materials, Inc. | Bolted wafer chuck thermal management systems and methods for wafer processing systems |
US9349605B1 (en) | 2015-08-07 | 2016-05-24 | Applied Materials, Inc. | Oxide etch selectivity systems and methods |
US10504700B2 (en) | 2015-08-27 | 2019-12-10 | Applied Materials, Inc. | Plasma etching systems and methods with secondary plasma injection |
US10504754B2 (en) | 2016-05-19 | 2019-12-10 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for improved semiconductor etching and component protection |
US10522371B2 (en) | 2016-05-19 | 2019-12-31 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for improved semiconductor etching and component protection |
US9865484B1 (en) | 2016-06-29 | 2018-01-09 | Applied Materials, Inc. | Selective etch using material modification and RF pulsing |
US10062575B2 (en) | 2016-09-09 | 2018-08-28 | Applied Materials, Inc. | Poly directional etch by oxidation |
US10629473B2 (en) | 2016-09-09 | 2020-04-21 | Applied Materials, Inc. | Footing removal for nitride spacer |
US10546729B2 (en) | 2016-10-04 | 2020-01-28 | Applied Materials, Inc. | Dual-channel showerhead with improved profile |
US9721789B1 (en) | 2016-10-04 | 2017-08-01 | Applied Materials, Inc. | Saving ion-damaged spacers |
US10062585B2 (en) | 2016-10-04 | 2018-08-28 | Applied Materials, Inc. | Oxygen compatible plasma source |
US9934942B1 (en) | 2016-10-04 | 2018-04-03 | Applied Materials, Inc. | Chamber with flow-through source |
US10062579B2 (en) | 2016-10-07 | 2018-08-28 | Applied Materials, Inc. | Selective SiN lateral recess |
US9947549B1 (en) | 2016-10-10 | 2018-04-17 | Applied Materials, Inc. | Cobalt-containing material removal |
US9768034B1 (en) | 2016-11-11 | 2017-09-19 | Applied Materials, Inc. | Removal methods for high aspect ratio structures |
US10163696B2 (en) | 2016-11-11 | 2018-12-25 | Applied Materials, Inc. | Selective cobalt removal for bottom up gapfill |
US10026621B2 (en) | 2016-11-14 | 2018-07-17 | Applied Materials, Inc. | SiN spacer profile patterning |
US10242908B2 (en) | 2016-11-14 | 2019-03-26 | Applied Materials, Inc. | Airgap formation with damage-free copper |
US10566206B2 (en) | 2016-12-27 | 2020-02-18 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for anisotropic material breakthrough |
US10403507B2 (en) | 2017-02-03 | 2019-09-03 | Applied Materials, Inc. | Shaped etch profile with oxidation |
US10431429B2 (en) | 2017-02-03 | 2019-10-01 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for radial and azimuthal control of plasma uniformity |
US10043684B1 (en) | 2017-02-06 | 2018-08-07 | Applied Materials, Inc. | Self-limiting atomic thermal etching systems and methods |
US10319739B2 (en) | 2017-02-08 | 2019-06-11 | Applied Materials, Inc. | Accommodating imperfectly aligned memory holes |
US10943834B2 (en) | 2017-03-13 | 2021-03-09 | Applied Materials, Inc. | Replacement contact process |
US10319649B2 (en) | 2017-04-11 | 2019-06-11 | Applied Materials, Inc. | Optical emission spectroscopy (OES) for remote plasma monitoring |
US11276590B2 (en) | 2017-05-17 | 2022-03-15 | Applied Materials, Inc. | Multi-zone semiconductor substrate supports |
US11276559B2 (en) | 2017-05-17 | 2022-03-15 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing chamber for multiple precursor flow |
US10497579B2 (en) | 2017-05-31 | 2019-12-03 | Applied Materials, Inc. | Water-free etching methods |
US10049891B1 (en) | 2017-05-31 | 2018-08-14 | Applied Materials, Inc. | Selective in situ cobalt residue removal |
US10920320B2 (en) | 2017-06-16 | 2021-02-16 | Applied Materials, Inc. | Plasma health determination in semiconductor substrate processing reactors |
US10541246B2 (en) | 2017-06-26 | 2020-01-21 | Applied Materials, Inc. | 3D flash memory cells which discourage cross-cell electrical tunneling |
US10727080B2 (en) | 2017-07-07 | 2020-07-28 | Applied Materials, Inc. | Tantalum-containing material removal |
US10541184B2 (en) | 2017-07-11 | 2020-01-21 | Applied Materials, Inc. | Optical emission spectroscopic techniques for monitoring etching |
US10354889B2 (en) | 2017-07-17 | 2019-07-16 | Applied Materials, Inc. | Non-halogen etching of silicon-containing materials |
US10170336B1 (en) | 2017-08-04 | 2019-01-01 | Applied Materials, Inc. | Methods for anisotropic control of selective silicon removal |
US10043674B1 (en) | 2017-08-04 | 2018-08-07 | Applied Materials, Inc. | Germanium etching systems and methods |
US10297458B2 (en) | 2017-08-07 | 2019-05-21 | Applied Materials, Inc. | Process window widening using coated parts in plasma etch processes |
US10283324B1 (en) | 2017-10-24 | 2019-05-07 | Applied Materials, Inc. | Oxygen treatment for nitride etching |
US10128086B1 (en) | 2017-10-24 | 2018-11-13 | Applied Materials, Inc. | Silicon pretreatment for nitride removal |
US10256112B1 (en) | 2017-12-08 | 2019-04-09 | Applied Materials, Inc. | Selective tungsten removal |
US10903054B2 (en) | 2017-12-19 | 2021-01-26 | Applied Materials, Inc. | Multi-zone gas distribution systems and methods |
US11328909B2 (en) | 2017-12-22 | 2022-05-10 | Applied Materials, Inc. | Chamber conditioning and removal processes |
US10854426B2 (en) | 2018-01-08 | 2020-12-01 | Applied Materials, Inc. | Metal recess for semiconductor structures |
US10964512B2 (en) | 2018-02-15 | 2021-03-30 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing chamber multistage mixing apparatus and methods |
US10679870B2 (en) | 2018-02-15 | 2020-06-09 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing chamber multistage mixing apparatus |
TWI716818B (zh) | 2018-02-28 | 2021-01-21 | 美商應用材料股份有限公司 | 形成氣隙的系統及方法 |
US10593560B2 (en) | 2018-03-01 | 2020-03-17 | Applied Materials, Inc. | Magnetic induction plasma source for semiconductor processes and equipment |
US10319600B1 (en) | 2018-03-12 | 2019-06-11 | Applied Materials, Inc. | Thermal silicon etch |
US10497573B2 (en) | 2018-03-13 | 2019-12-03 | Applied Materials, Inc. | Selective atomic layer etching of semiconductor materials |
US10573527B2 (en) | 2018-04-06 | 2020-02-25 | Applied Materials, Inc. | Gas-phase selective etching systems and methods |
US10490406B2 (en) | 2018-04-10 | 2019-11-26 | Appled Materials, Inc. | Systems and methods for material breakthrough |
US10699879B2 (en) | 2018-04-17 | 2020-06-30 | Applied Materials, Inc. | Two piece electrode assembly with gap for plasma control |
US10886137B2 (en) | 2018-04-30 | 2021-01-05 | Applied Materials, Inc. | Selective nitride removal |
US10755941B2 (en) | 2018-07-06 | 2020-08-25 | Applied Materials, Inc. | Self-limiting selective etching systems and methods |
US10872778B2 (en) | 2018-07-06 | 2020-12-22 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods utilizing solid-phase etchants |
US10672642B2 (en) | 2018-07-24 | 2020-06-02 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for pedestal configuration |
US11049755B2 (en) | 2018-09-14 | 2021-06-29 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor substrate supports with embedded RF shield |
US10892198B2 (en) | 2018-09-14 | 2021-01-12 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for improved performance in semiconductor processing |
US11062887B2 (en) | 2018-09-17 | 2021-07-13 | Applied Materials, Inc. | High temperature RF heater pedestals |
US11417534B2 (en) | 2018-09-21 | 2022-08-16 | Applied Materials, Inc. | Selective material removal |
US11682560B2 (en) | 2018-10-11 | 2023-06-20 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for hafnium-containing film removal |
US11121002B2 (en) | 2018-10-24 | 2021-09-14 | Applied Materials, Inc. | Systems and methods for etching metals and metal derivatives |
US11437242B2 (en) | 2018-11-27 | 2022-09-06 | Applied Materials, Inc. | Selective removal of silicon-containing materials |
US11721527B2 (en) | 2019-01-07 | 2023-08-08 | Applied Materials, Inc. | Processing chamber mixing systems |
US10920319B2 (en) | 2019-01-11 | 2021-02-16 | Applied Materials, Inc. | Ceramic showerheads with conductive electrodes |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3435698B2 (ja) * | 1992-03-11 | 2003-08-11 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 半導体基板の洗浄液 |
JP3084497B2 (ja) * | 1992-03-25 | 2000-09-04 | 東京エレクトロン株式会社 | SiO2膜のエッチング方法 |
US5275687A (en) * | 1992-11-20 | 1994-01-04 | At&T Bell Laboratories | Process for removing surface contaminants from III-V semiconductors |
JP2760418B2 (ja) * | 1994-07-29 | 1998-05-28 | 住友シチックス株式会社 | 半導体ウエーハの洗浄液及びこれを用いた半導体ウエーハの洗浄方法 |
KR0140652B1 (ko) * | 1994-12-21 | 1998-07-15 | 김주용 | 반도체 기판의 세정방법 |
KR0170459B1 (ko) * | 1994-12-28 | 1999-03-30 | 김주용 | 웨이퍼 세정방법 및 그 장치 |
KR100510440B1 (ko) * | 1997-08-20 | 2005-10-21 | 삼성전자주식회사 | 세정용액및이를이용한반도체소자의세정방법 |
US5962384A (en) * | 1997-10-28 | 1999-10-05 | International Business Machines Corporation | Method for cleaning semiconductor devices |
JP3039493B2 (ja) * | 1997-11-28 | 2000-05-08 | 日本電気株式会社 | 基板の洗浄方法及び洗浄溶液 |
US6029608A (en) * | 1998-07-30 | 2000-02-29 | Johnson; Terry D. | Animal containment device |
US6313042B1 (en) * | 1999-09-03 | 2001-11-06 | Applied Materials, Inc. | Cleaning contact with successive fluorine and hydrogen plasmas |
US6348420B1 (en) * | 1999-12-23 | 2002-02-19 | Asm America, Inc. | Situ dielectric stacks |
-
2000
- 2000-07-18 KR KR10-2000-0040986A patent/KR100366623B1/ko active IP Right Grant
-
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