JP3773650B2

JP3773650B2 - Vacuum pump

Info

Publication number: JP3773650B2
Application number: JP07363798A
Authority: JP
Inventors: 清純福井; 栄治桝重
Original assignee: Nabtesco Corp
Current assignee: Nabtesco Corp
Priority date: 1998-03-23
Filing date: 1998-03-23
Publication date: 2006-05-10
Anticipated expiration: 2018-03-23
Also published as: JPH11270485A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スクリュー型の真空ポンプに関し、特に、スクリューの機械加工が容易で且つ高圧縮比を得られるようにした多段スクリュー型の真空ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来の真空装置システムは、例えば、半導体の製造に際して供されるチャンバを１〜１０^-3torr程度の真空度とする場合のように、メカニカルブースタと称される大容量の容積型真空ポンプに加え、ドライポンプと称される比較的少容量の容積型ポンプ（主ポンプ）が併用されている。そして、主ポンプは真空チャンバ内の圧力が大気圧のときから運転され、メカニカルブースタポンプは真空チャンバ内の圧力が１０Torr程度以下になってから運転されるのが通常の運転態様である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、真空チャンバが大型化すると、メカニカルブースタポンプと主ポンプとをほぼ同時に運転するようなことも必要となる。したがって、そのような場合には、従来のメカニカルブースタポンプと主ポンプとの併用に代えて、高い圧縮比を有する多段のスクリュー型ポンプ１台を以て置き換えることが望まれることとなる。また、そのような１台のポンプで所定の排気速度や真空度を得るためには、少なくとも４対１、通常は１０対１程度の圧縮比が要求されることになる。
【０００４】
しかし、このような高い圧縮比を得るための多数巻のスクリューは機械加工が極めて困難で実用化の障害となる。すなわち、このような高い圧縮比を達成するためには、スクリューの吐出側のリードは極めて密とならざるを得ず、切削加工において使用できる工具の形状寸法は空間的に制約を受けることになる。これが高圧縮比を得るための多数巻スクリューの機械加工を困難にする最大の原因となる。
【０００５】
つまり、スクリューの機械加工の困難さの程度は、ねじリードの粗密によって決まると言っても過言ではなく、このことは、スクリュー全長が不等リードからなるスクリューでも、吐出エンドの一部が等リードであって他の部分が不等リードで構成されるスクリューであっても同様である。
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑み、高い圧縮比が得られ且つスクリューの機械加工が容易な多段スクリュー型真空ポンプを提供することを目的とする。
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明のスクリュー型真空ポンプは、軸に対し垂直断面の形状が同一であり、軸方向に沿って吸入エンドから吐出エンドまで同一径である多数巻のスクリューを備えており、該スクリューは、吸入エンドから吐出エンド側に向けて漸次リードが密となる不等リードの吸入エンド側スクリュー部と、該吸入エンド側スクリュー部に対しリードが密な等リードの吐出エンド側スクリュー部とで構成されていることを特徴とするものである。
【０００７】
この発明では、吸入エンド側と吐出エンド側の各スクリュー部を別体に形成してこれらを結合するようにしているので、リードの粗い吸入エンド側スクリュー部とリードの密な吐出エンド側スクリュー部を、夫々に適した刃物で機械加工することができ、スクリュー全体で見た機械加工が容易且つ短時間で達成可能となる。また、吸入エンドの一回転当たりの吐出し量と吐出エンドの一回転当たり吐出し量の容積比が少なくとも４対１となる高圧縮比を容易に実現することができる。
【０００８】
また、請求項２の発明のように、それぞれ別体に形成された前記吸入エンド側スクリュー部と前記吐出エンド側スクリュー部とが結合されて前記スクリューが構成されるようにすると、機械加工が困難な吐出エンド側スクリュー部の加工を、不等リードの場合のような創成加工ではなく、総型刃物による加工とすることができ、機械加工がより容易となる。
また、請求項３の発明のように、吸入エンド側スクリュー部の吐出側端部のリードを、吐出エンド側スクリュー部のリードより大きくすることにより、吸入エンド側スクリュー部の加工を容易にすることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明の真空ポンプは、複数の螺旋状の歯部および溝部を有する雄スクリューと、同様に螺旋状の歯部および溝部を有し、該雄スクリューと噛合う雌スクリューと、該雄スクリューと該雌スクリューを収容する空間と、該空間に連通して形成された吸入部と吐出部とを有するケーシングとを備えたものであり、以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明に係る真空ポンプの一実施形態を示す概略図であり、雄スクリューロータ２１ｍのスクリューは、不等リードからなる吸入エンド側スクリュー部分２２ｍと、密なリードからなる吐出エンド側スクリュー部分２４ｍとから構成され、また、雌スクリューロータ２１ｆのスクリューは、不等リードからなる吸入エンド側スクリュー部分２２ｆと、これに対し密な等リードからなる吐出エンド側スクリュー部分２４ｆとから構成されている。スクリューを製作する際の機械加工の労力を軽減するため、吸入エンド側スクリュー部分２２ｍ、２２ｆと、密なリードからなる吐出エンド側スクリュー部分２４ｍ、２４ｆとは、スクリュー結合面２３において分割されている。ここで、吐出エンド側スクリュー部分２４ｍ、２４ｆは等リードで構成されている。３０は、このポンプのハウジングである。このハウジングには３０には吸気口３０ａおよび排気口３０ｂが形成されている。３１は雌雄のスクリューを駆動する駆動手段で、雄スクリューの軸に連結された電動モータ３１ａと、雌雄の各スクリュー軸にそれぞれ固定され互いに噛み合う同期歯車３１ｂ，３１ｃと、を含んで構成されている。同期歯車３１ｂ，３１ｃは、雌雄スクリューを同期回転させる機能を有している。
【００１０】
図２は、本発明の真空ポンプに供する雄スクリューの構成を説明するものである。図面においてシャフト１０ｍに不等リードからなる吸入エンド側スクリュー部分２２ｍと等リードからなる吐出エンド側スクリュー部分２４ｍとが結合面２３で当接し、該当接部での両スクリュー部分２２ｍ、２４ｍの位相が合うように、シャフト１０ｍと個々のスクリュー部分２２ｍ、２４ｍとはスプライン３４によって位置決めされナット３２ｍで固定されている。
【００１１】
図２に示したように、スクリュー部分２２ｍとスクリュー部分２４ｍとは別々に機械加工することが可能である。つまり、リードが密な部分をリードが粗な部分とは別体として製作することにより、その加工困難性を解決することができる。
なお、図２では、雄スクリューについて説明したが、雌スクリューに関しても雄スクリューと同様であるので雌スクリューについての説明を省略する。
【００１２】
図３は、スプラインを用いないで不等リードのスクリュー部分２２ｍと等リードのスクリュー部分２４ｍとの位置を決めるための治具による位相合わせの要領を説明するものである。
先ず、スクリューの内径を精度良く加工し、この内径を基準にスクリューの切削加工を実施する。この結果、シャフトとスクリューとの同心性が確保できる。この際、スクリューとシャフトには、適度のシメシロまたはスキマを持たせる。次に、回転方向の位相合わせは、不等リードの部分および等リードの部分の各歯溝に合わせた寸法からなる鋼球がその先端に設けられている位置決め棒６２、６４をスクリューの各々の歯溝に押し当てることにより、位置決めをすることができる。このようにして歯溝の位置が決まった後、ナット３２ｍにより締め付けて固定する。
【００１３】
本発明の真空ポンプは、高い圧縮比を達成するための不等リード部を形成するスクリュー部分の加工が重要であるので、この点と等リード部分との位相合わせを含めて更に補説する。
図４は、不等リードのスクリューを製作する研削加工機の概略を示す斜視図である。また、図５は、図４のツール台に変位計を取り付けて不等リードスクリューと等リードスクリューが所定の理論歯型通りに結合されているか否かを検査する状況を示す説明図である。更に、図６は、製作されたスクリューの結合部が理論歯型通りに結合されている場合の状況を示す説明図であり、図７は、理論歯型通りに結合されていない場合の状態を示す摸式図（説明図）である。
【００１４】
不等リードの加工機は直線軸２軸と回転軸２軸とを有し、具体的には図４で示されるような構造である。そして、数値制御（ＮＣ制御）により不等リードのスクリューの形状を創成加工することができる。なお、直線軸とは、図４ではＸ軸（ワークの軸方向送り）およびＹ軸（切削、研磨時の切り込み方向）であり、回転軸とはＡ軸（ワークの軸中心の回転）およびＢ軸（回転工具の角度方向の回転）である。図４において、ワーク４０は、Ａ軸サーボモータ４８とテールストック４７によって支えられており、加工台４６は、Ｂ軸サーボモータ４９によって支承されている。この加工台４６は、回転工具４６ａを回転させることでワーク４０の外周部に所要のスクリュー形状を形成することができる。
【００１５】
図４の加工機の加工台の部分に、図５に示したように、変位計５６を取り付けることができる。変位計としてはレバー式の如き接触型のものも、レーザの如き非接触型のものも適用できる。このような変位計（センサ）を加工を施す工具に代えて設置すると、このセンサをスクリューの理論歯型に沿って移動させることができる。つまり、製作されたスクリューの歯型が、理論通りに加工されているか否かを知ることが可能となる。例えば、つる巻き螺旋の設計形状に沿ってセンサ（変位計）を動かせたとき、スクリューの形状が理論通りであるか否かをチェックできる。更に本発明の不等リード部分と等リード部分との結合したスクリューの場合に、結合部分の位相が合っているか否かも検査することが可能である。もし、スクリューの位相が結合部分で合っていれば変位計は変位を示すことなくセンサの出力は一定となる（図６参照）。ところが、もし、スクリューの位相がずれているか、不等リード部の研削が理論歯型通りでない場合には、理論通りに動かした変位計と実際のスクリューの歯型とにずれを生じてくる（図７参照）。不等リード部の加工に問題がないならば、変位計の出力が一定となるように２つのスクリュー部分の位相を調節することによって、スクリューの位相および位置合わせが矯正できる。
【００１６】
なお、変位計を用い、センサを理論歯型通りに動かすために使用した機構について、ここではスクリュー加工機を例に示したが、この機構に限定されるものではない。同様な軸制御機構を備えた機械であれば、この要領でスクリューの結合位置や歯や溝の位相合わせができる。また、この説明の例では、スクリュー歯面に対し垂直に変位を測定するため、図４の装置のＢ軸（サーボ機構）を必要としているが、センサの角度のずれを予め考慮したセンサを動かし得るプログラムを設定しておけば、つまり、例えば、プログラムに補正を加えるか、例えば、センサの測定位置の変動が僅少で角度ずれが実質的に問題とならないような場合では、センサの角度を変化させる必要がなく、Ｂ軸を省略することも可能となる。
【００１７】
以上説明したように、雄、雌一対のスクリューが噛合い、図１で示したような、各々の中心線で回転可能な両持ちで支承された（軸受けを排気口側だけに設け、片持ち支承としてもよい）真空ポンプにおいて、スクリューは、総巻数が３巻きを越える螺旋ネジ（すなわち、多数巻きの螺旋ネジ）が形成されている。そして、該スクリューは、吸入エンド側が不等リードで吐出エンド側の１リードは等リードとなされている。そして、吐出エンドから略１リード程度の位置で雄雌一対のスクリューは、分断され、別体に形成され、リードが粗な不等リードからなるスクリュー部分と、密なリードからなる等リードまたは不等リードのスクリュー部分とは別な加工が可能となされている。また、該スクリューは、吸入エンドの一回転当たりの吐出し量と吐出エンドの一回転当たり吐出し量の容積比は、少なくとも４対１、好ましくは、１０対１程度となるように、螺旋状の歯や溝が創られている。
【００１８】
また、雌雄スクリュー部の全長に亘る外径は、製作の容易性を図るため、また、軸方向の温度膨張の対策が不要で構造の簡素化と性能の安定を図るため、段差のない一様な外径を採用している。
【００１９】
【発明の効果】
本発明によれば、不等リード部を含んでなるスクリューを備えた高い圧縮比のスクリュー型ポンプの実用化が可能となる。また、例えば半導体製造用チャンバを真空にするポンプとして、大容量と高真空度とを両立できるスクリュー型ポンプが経済的に製造可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の真空ポンプの概略を示すモデル図である。
【図２】本発明の真空ポンプを構成する雄スクリューの構成を示す概略図である。
【図３】本発明の真空ポンプを構成する雄スクリューの組立に際し使用する治具の説明図である。
【図４】本発明の真空ポンプのスクリューの加工機の概略斜視図である。
【図５】本発明の真空ポンプに供するスクリューの歯型および組立の状況を検査する説明図である。
【図６】スクリューの結合部が理論歯型通りになっている状況を示す説明図である。
【図７】スクリューの結合部が理論歯型通りになっていない状況を示す説明図である。
【符号の説明】
１０ｍ、１０ｆシャフト
２２ｍ、２２ｆ不等リードからなるスクリュー部
２４ｍ、２４ｆ等リードからなるスクリュー部
３０ハウジング
３２ナット
３４スプライン
６２位置決め棒（大）
６４位置決め棒（小）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a screw-type vacuum pump, and more particularly, to a multi-stage screw-type vacuum pump that is easy to machine a screw and can obtain a high compression ratio.
[0002]
[Prior art]
A conventional vacuum apparatus system is added to a large-capacity positive displacement vacuum pump called a mechanical booster, for example, in a case where a chamber provided for semiconductor manufacturing is set to a vacuum degree of about 1 to 10 ⁻³ torr. A relatively small capacity positive displacement pump (main pump) called a dry pump is used in combination. The normal operation mode is that the main pump is operated when the pressure in the vacuum chamber is atmospheric pressure, and the mechanical booster pump is operated after the pressure in the vacuum chamber is about 10 Torr or less.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, when the vacuum chamber is increased in size, it becomes necessary to operate the mechanical booster pump and the main pump almost simultaneously. Therefore, in such a case, it is desired to replace the conventional mechanical booster pump and the main pump with one multi-stage screw pump having a high compression ratio. In addition, in order to obtain a predetermined exhaust speed and degree of vacuum with such a single pump, a compression ratio of at least 4 to 1, usually about 10 to 1, is required.
[0004]
However, a multi-turn screw for obtaining such a high compression ratio is extremely difficult to machine and becomes an obstacle to practical use. That is, in order to achieve such a high compression ratio, the lead on the discharge side of the screw has to be extremely dense, and the geometry of the tool that can be used in cutting is spatially restricted. . This is the biggest cause of difficulty in machining a multi-turn screw to obtain a high compression ratio.
[0005]
In other words, it is not an exaggeration to say that the degree of difficulty in screw machining depends on the density of the screw leads. This means that even if the screw has a total length of unequal leads, a part of the discharge end is equal. However, the same applies to a screw in which other parts are formed of unequal leads.
An object of the present invention is to provide a multi-stage screw type vacuum pump that can obtain a high compression ratio and that can easily machine a screw in view of such problems of the prior art.
[0006]
In order to achieve the above object, the screw type vacuum pump of the present invention includes a multi-turn screw having the same cross-sectional shape perpendicular to the shaft and the same diameter from the suction end to the discharge end along the axial direction. The screw has a suction end side screw portion having an unequal lead in which the lead gradually becomes dense from the suction end toward the discharge end side, and a discharge end having an equal lead having a dense lead with respect to the suction end side screw portion. It is comprised by the side screw part.
[0007]
In this invention, since the screw parts on the suction end side and the discharge end side are formed separately and joined together, the suction end side screw part with a coarse lead and the discharge end side screw part with a dense lead are provided. Can be machined with a blade suitable for each of them, and machining as viewed from the entire screw can be achieved easily and in a short time. Further, it is possible to easily realize a high compression ratio in which the volume ratio of the discharge amount per rotation of the suction end and the discharge amount per rotation of the discharge end is at least 4 to 1.
[0008]
Further, as in the second aspect of the invention, when the suction end side screw portion and the discharge end side screw portion, which are formed separately, are combined to form the screw, machining is difficult. The processing of the screw portion on the discharge end side can be performed by a general-purpose blade, rather than the creation processing as in the case of unequal leads, and machining is easier.
Further, as in the invention of claim 3, by making the lead of the discharge side end portion of the suction end side screw portion larger than the lead of the discharge end side screw portion, the processing of the suction end side screw portion is facilitated. Can do.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The vacuum pump of the present invention includes a male screw having a plurality of helical teeth and grooves, a female screw having the same helical teeth and grooves, and meshing with the male screw, the male screw and the male screw. An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. The embodiment includes a space for accommodating a female screw, and a casing having a suction portion and a discharge portion formed in communication with the space. .
FIG. 1 is a schematic view showing an embodiment of a vacuum pump according to the present invention. The screw of a male screw rotor 21m includes a suction end side screw portion 22m made of unequal leads and a discharge end side made of dense leads. is composed of a screw portion 24m, also screw of the female screw rotor 21f is constituted by a suction end side screw portion 22f formed of unequal lead, whereas the discharge end side screw portion 24f made of dense even lead ing. In order to reduce the machining effort when manufacturing the screw, the suction end side screw portions 22m and 22f and the discharge end side screw portions 24m and 24f made of dense leads are divided at the screw coupling surface 23. . Here, the discharge end side screw portions 24m and 24f are configured by equal leads . Reference numeral 30 denotes a housing of this pump. The housing 30 has an intake port 30a and an exhaust port 30b. Reference numeral 31 denotes a driving means for driving the male and female screws, and includes an electric motor 31a connected to the male screw shaft and synchronous gears 31b and 31c which are fixed to the male and female screw shafts and mesh with each other. . The synchronous gears 31b and 31c have a function of rotating the male and female screws synchronously.
[0010]
FIG. 2 explains the configuration of the male screw used in the vacuum pump of the present invention. In the drawing, the suction end side screw portion 22m made of unequal leads and the discharge end side screw portion 24m made of equal leads contact the shaft 10m at the coupling surface 23, and the phases of the screw portions 22m and 24m at the corresponding contact portions are in contact. The shaft 10m and the individual screw portions 22m and 24m are positioned by a spline 34 and fixed by a nut 32m so as to match.
[0011]
As shown in FIG. 2, the screw portion 22m and the screw portion 24m can be machined separately. In other words, the difficulty in processing can be solved by manufacturing the dense part of the lead separately from the rough part of the lead.
In FIG. 2, the male screw has been described. However, the female screw is the same as the male screw, and thus the description of the female screw is omitted.
[0012]
FIG. 3 explains the procedure of phase alignment by a jig for determining the positions of the unequal lead screw portion 22m and the equal lead screw portion 24m without using a spline.
First, the inner diameter of the screw is processed with high accuracy, and the screw is machined based on the inner diameter. As a result, concentricity between the shaft and the screw can be ensured. At this time, the screw and the shaft are provided with an appropriate scissors or gap. Next, phase alignment in the rotation direction is performed by positioning rods 62 and 64 each having a steel ball having a size matched with each tooth groove of the unequal lead portion and the equal lead portion at each end of each screw. Positioning can be performed by pressing against the tooth gap. After the position of the tooth gap is determined in this way, the nut 32m is tightened and fixed.
[0013]
In the vacuum pump of the present invention, since it is important to process the screw portion that forms the unequal lead portion in order to achieve a high compression ratio, this point is further supplemented by including phase matching between the point and the equal lead portion.
FIG. 4 is a perspective view showing an outline of a grinding machine for producing unequal lead screws. FIG. 5 is an explanatory diagram showing a situation in which a displacement meter is attached to the tool base of FIG. 4 to inspect whether or not the unequal lead screw and the equal lead screw are coupled according to a predetermined theoretical tooth shape. Furthermore, FIG. 6 is an explanatory view showing a situation when the coupling part of the manufactured screw is coupled according to the theoretical tooth pattern, and FIG. 7 shows a state when the coupled part is not coupled according to the theoretical tooth pattern. It is a model diagram (description figure) which shows.
[0014]
The unequal lead processing machine has two linear axes and two rotation axes, and specifically has a structure as shown in FIG. Then, the shape of the unequal lead screw can be created by numerical control (NC control). In FIG. 4, the linear axes are the X axis (feeding the workpiece in the axial direction) and the Y axis (cutting direction during cutting and polishing), and the rotation axes are the A axis (rotation about the workpiece axis) and B Axis (rotational tool rotation in the angular direction). In FIG. 4, a workpiece 40 is supported by an A-axis servo motor 48 and a tail stock 47, and a processing table 46 is supported by a B-axis servo motor 49. The working table 46 can form a required screw shape on the outer periphery of the workpiece 40 by rotating the rotary tool 46a.
[0015]
As shown in FIG. 5, a displacement meter 56 can be attached to the part of the processing table of the processing machine of FIG. As the displacement meter, a contact type such as a lever type or a non-contact type such as a laser can be applied. If such a displacement meter (sensor) is installed in place of a tool for processing, this sensor can be moved along the theoretical tooth pattern of the screw. In other words, it is possible to know whether or not the manufactured tooth profile of the screw is processed according to theory. For example, when the sensor (displacement meter) can be moved along the design shape of the helical spiral, it can be checked whether or not the shape of the screw is as expected. Further, in the case of the screw in which the unequal lead portion and the equal lead portion of the present invention are coupled, it is possible to inspect whether or not the coupling portion is in phase. If the screw phases are matched at the coupling portion, the displacement meter does not show displacement and the output of the sensor becomes constant (see FIG. 6). However, if the screw is out of phase or the grinding of the unequal lead is not according to the theoretical tooth profile, the displacement meter moved as theoretically and the actual tooth profile of the screw will be displaced ( (See FIG. 7). If there is no problem in processing the unequal lead portion, the screw phase and alignment can be corrected by adjusting the phase of the two screw portions so that the output of the displacement meter is constant.
[0016]
In addition, about the mechanism used in order to move a sensor according to a theoretical tooth type using a displacement meter, although the screw processing machine was shown here as an example, it is not limited to this mechanism. If the machine is provided with a similar shaft control mechanism, the screw coupling position and the teeth and grooves can be phase aligned in this manner. In the example of this description, the B axis (servo mechanism) of the apparatus of FIG. 4 is required to measure the displacement perpendicular to the screw tooth surface, but the sensor is moved in consideration of the sensor angle deviation in advance. If the program to be obtained is set, that is, for example, if the program is corrected, or if the sensor measurement position fluctuation is small and angular deviation does not cause a problem, the sensor angle is changed. Therefore, it is possible to omit the B-axis.
[0017]
As described above, a pair of male and female screws meshed with each other and supported by both ends that can rotate on their respective center lines as shown in FIG. In a vacuum pump (which may be a support), a screw is formed with a spiral screw having a total number of turns exceeding 3 (ie, a multi-turn spiral screw) . The screw has an unequal lead on the suction end side and an equal lead on the discharge end side. Then, a pair of male and female screws are separated from each other at a position of about one lead from the discharge end, and are formed as separate bodies. The lead is composed of a rough uneven lead and a dense lead. Processing different from the screw part of the equal lead is made possible. The screw has a spiral shape so that the volume ratio of the discharge amount per rotation of the suction end and the discharge amount per rotation of the discharge end is at least 4 to 1, preferably about 10 to 1. Teeth and grooves are created.
[0018]
Also, the outer diameter over the entire length of the male and female screw parts is uniform with no steps in order to facilitate manufacture, and to eliminate the need for measures for thermal expansion in the axial direction and to simplify the structure and stabilize the performance. The outer diameter is adopted.
[0019]
【The invention's effect】
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the practical use of the screw type pump of the high compression ratio provided with the screw containing an unequal lead part is attained. Further, for example, as a pump for evacuating a semiconductor manufacturing chamber, a screw type pump that can achieve both a large capacity and a high degree of vacuum can be manufactured economically.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a model diagram showing an outline of a vacuum pump according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic view showing a configuration of a male screw constituting the vacuum pump of the present invention.
FIG. 3 is an explanatory view of a jig used for assembling the male screw constituting the vacuum pump of the present invention.
FIG. 4 is a schematic perspective view of a screw processing machine of a vacuum pump according to the present invention.
FIG. 5 is an explanatory view for inspecting a tooth shape of a screw provided for the vacuum pump of the present invention and an assembly state;
FIG. 6 is an explanatory view showing a situation where the connecting portion of the screw is in accordance with the theoretical tooth shape.
FIG. 7 is an explanatory diagram showing a situation in which a screw coupling portion is not in accordance with a theoretical tooth pattern.
[Explanation of symbols]
10m, 10f Shaft 22m, 22f Screw part 24m consisting of unequal leads, 24f Screw part consisting of 24f equivalent leads 30 Housing 32 Nut 34 Spline 62 Positioning rod (large)
64 Positioning rod (small)

Claims

軸に対し垂直断面の形状が同一であり、軸方向に沿って吸入エンドから吐出エンドまで同一径である多数巻のスクリューを備えており、The shape of the cross section perpendicular to the shaft is the same, and a multi-turn screw having the same diameter from the suction end to the discharge end along the axial direction is provided.
該スクリューは、吸入エンドから吐出エンド側に向けて漸次リードが密となる不等リードの吸入エンド側スクリュー部と、該吸入エンド側スクリュー部に対しリードが密な等リードの吐出エンド側スクリュー部とで構成されていることを特徴とするスクリュー型真空ポンプ。The screw includes a non-uniform lead suction end side screw portion in which the lead gradually becomes dense from the suction end toward the discharge end side, and an equal lead discharge end side screw portion in which the lead is dense with respect to the suction end side screw portion. A screw-type vacuum pump characterized by comprising:

それぞれ別体に形成された前記吸入エンド側スクリュー部と前記吐出エンド側スクリュー部とが結合されて前記スクリューが構成されていることを特徴とする請求項１に記載のスクリュー型真空ポンプ。2. The screw type vacuum pump according to claim 1, wherein the suction end side screw portion and the discharge end side screw portion, which are formed separately from each other, are combined to constitute the screw. 3.

前記吸入エンド側スクリュー部の吐出側端部のリードが、吐出エンド側スクリュー部のリードより大きいことを特徴とする請求項１又は２に記載のスクリュー型真空ポンプ。 The screw type vacuum pump according to claim 1 or 2, wherein a lead at a discharge side end portion of the suction end side screw portion is larger than a lead at a discharge end side screw portion.