JP3773132B2 - Magnetic seal device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転軸、直動軸等といった運動軸のまわりに形成される2つの空間領域を磁性流体を用いて遮蔽する磁気シール装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
産業界においては、内部が気密に遮蔽された空間内を外部の圧力と異なった圧力状態、すなわち差圧状態に保持し、その差圧状態下において種々の処理を行うようにした各種の装置が存在する。また、その差圧状態に加えて内部を防塵状態、あるいは特殊なガス雰囲気状態に保持した状態で種々の処理を行う場合もある。例えば、半導体ウエハの減圧処理装置、真空乾燥機、回転対陰極形式のX線発生装置等においては、真空に減圧された防塵状態下で所定の処理が行われる。磁気シール装置は、それらの所定の処理が行われる空間領域と大気圧領域との2つの空間領域を互いに遮蔽するために用いられる。
【0003】
例えば、回転対陰極X線発生装置を例にあげると、図2に示すように、ケーシング1の内部の真空で無塵状態である領域Qと大気圧領域Pとの間で、磁気シール装置2によって差圧状態及び防塵状態を保持する。このX線発生装置では、ターボ分子ポンプ、ロータリポンプ等によって構成される排気装置4によってケーシング1の内部を真空状態に排気し、そして、モータ等の回転駆動装置3によって円筒状のターゲット5を回転させる。通電によりフィラメント6から放出された熱電子はターゲット5の表面に高速で衝突し、その衝突部分からX線が発生する。発生したX線は、ケーシング1の所定箇所に設けられたベリリウム等によって形成されたX線取出し用窓7を通して外部へ取り出される。このX線が、X線回折測定等といった物理分析等に用いられる。
【0004】
磁気シール装置2として、従来、特公昭63−24196号公報に開示されたように、複数の磁石を同磁極面、すなわちN極同士又はS極同士、が対向するように運動軸の軸方向に並べて配置し、さらに磁性流体の大気圧側すなわち高圧側を排気して磁性流体に加わる圧力差を低減した磁気シール装置が知られている。この磁気シール装置によれば、隣り合う磁石の磁極面を同磁極面としたので、各磁石間の磁力線が反発しあって個々の磁石と運動軸との間に形成される磁力線を狭い幅に高密度に集束できる。このため、ポールピースと運動軸との間の間隙に密度の高い強固な磁性流体膜を形成できることになり、よって、それらの磁性流体膜によって区画される2つの空間領域の間の差圧を確実に保持でき、しかも磁性流体が低圧側へ漏れ出ることを防止できる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら本発明者等の経験によれば、この従来の磁気シール装置では、設計当初に想定していた高精度の軸封能力が希望通りに得られないことが、しばしば見受けられた。また、稼働当初は所望の軸封能力が得られていたものの、比較的短期間の後に軸封能力が予想以上に低下してしまうということも見受けられた。本発明者等は、そのような現象が何故起こるのかについて種々の実験を行った。そしてその結果、ポールピースと運動軸との間に高密度の磁性流体膜を形成するために各磁石を同磁極面が対向するように並べたときに、各磁石の磁束分布に大きな乱れが発生することが、上記のような不都合な現象の原因ではないかということを知見した。
【0006】
本発明は、上記の知見に基づいて成されたものであって、隣り合う磁石を同磁極面が対向するように並べることによって強固な磁性流体膜を形成するという技術をできる限り確保した上で、できる限り磁束に乱れが発生することを防止して、安定した軸封能力を長期間にわたって保持できる磁気シール装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る磁気シール装置は、磁性材料によって形成された運動軸のまわりに配置される複数のポールピースと、各ポールピースと運動軸との間に磁気通路を形成する複数の磁石と、各ポールピースと運動軸との間に充填された磁性流体とを有しており、運動軸のまわりに2つの空間領域を磁性流体によって遮蔽する磁気シール装置に関するものである。そして本発明の特徴とするところは、上記複数の磁石が、同磁極面が対向する一対の磁石から成る磁石ペアを運動軸の軸方向に複数個並べることによって構成されると共に、それら複数個の磁石ペアのうち互いに隣り合う少なくとも1組の磁石ペアに関しては異磁極面同士が対向するということである。
【0008】
特公昭63−24196号公報にも開示されているように、磁気シール装置には、磁性流体にかかる圧力差を軽減するために中間排気室を設けることがある。この中間排気室は、特公昭63−24196号公報に示されるように、複数個の磁石の全てよりも高圧側の位置に設けられることもあるが、それとは別に複数個の磁石の中間位置に配置される場合もある。この場合には、その中間排気室を設けた所の磁石に関して、特に、磁束の乱れが大きいことを知見した。従って中間排気室を複数個の磁石の中間位置に配設した場合には、その中間排気室の両側に位置する磁石ペアに関して異磁極面同士を対向させることが望ましい。
【0009】
一般に、真空室側が絶えず真空になっていれば、その隔壁を成している磁性流体は圧力差によって真空側へ引かれており、これを引き戻す力は磁束によって賄われている。それ故、何等かの不都合により、真空側の吸引力が磁束力よりも大きくなると、磁性流体が真空側へ進入して真空室を汚染する。この現象を回避するために行われるのが中間排気であり、その詳細を説明すれば以下の通りである。
【0010】
真空状態を維持するために磁性流体膜によって形成される複数の小室は、組み付け当初には全て大気圧となっており、真空排気を行うときにそれらの小室が徐々に真空度を上げてゆく。このように各小室が徐々に真空度を上げるというのは、それらの小室が真空室側への開放を起こしているということに他ならず、このことは、本来であれば清浄に保持されなければならない真空室を汚しているということである。
【0011】
近年、半導体製造プロセス等においては、プロセスを実施するための部屋内の雰囲気を非常にクリーンに保持することが要求されるようになってきた。このような状況下で磁気シール装置を半導体製造プロセスに使用する場合、長時間の運転の途中にプロセス室内の清浄度不良が指摘されることがあり、その原因を調べたところ、磁性流体の構成成分である鉄分がプロセス室内から検出されることがあった。
【0012】
このような鉄分の混入は、主に、上記のようにして磁性流体が真空室へ飛散することが原因であると考えられる。またさらに、磁性流体の製造過程中に使われた水分を磁性流体から除去することが不十分であるときに、磁性流体に混入している成分が、プロセス室等に関する排気時点や真空維持運転中に破裂して、その結果、脱泡中に見られる泡の破裂のように、あるいはシャボン玉が破裂するときのようにして、破裂片が飛散することも原因となると考えられる。
【0013】
以上のような不都合を解消するため、真空室側と大気圧側との間の中間位置に排気機構を設け、真空室側と大気圧側との圧力差の大半をその排気機構に分担させることにより、その排気機構と真空室との間の圧力差を極力小さくして、その結果、真空室に近い位置にある磁性流体内の成分が飛散して真空室内へ浸出することを防止するのである。
【0014】
本発明では、同磁極面同士が対向する一対の磁石から成る磁石ペアを運動軸の軸方向に複数個並べたので、1個の磁石ペア内においては磁力線の反発による磁束の集束化が得られ、これにより強固な磁性流体膜を得ることができる。そしてその上、複数個の磁石ペアのうち互いに隣り合う少なくとも1組の磁石ペアに関しては、異磁極面同士が対向するように配置されるので、この所では磁力線の反発は発生せず、その磁石ペアはあたかも1つの磁石のように振る舞い、このため、複数の磁石のまわりの磁束が安定化する。この磁束の安定により、磁気シール装置の軸封能力を長期間にわたって安定状態に確保できる。また、磁束が安定するので、磁気シール装置の磁力特性に関する設計がし易くなる。
【0015】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明に係る磁気シール装置の一実施形態を示している。この磁気シール装置は、図1(a)に示すように、円筒状のハウジング10を有している。ハウジング10の右側内部にはベアリング16が固定状態にはめ込まれ、磁性材料によって形成された運動軸17がそのベアリングによって支持されている。運動軸17は、回転軸であっても良いし、直動軸であっても良い。磁性材料というのは、磁石によって磁化される性質を有する材料のことであり、例えば、鋼材等によって形成される。運動軸17のまわりには大気圧領域すなわち高圧領域P及び真空領域すなわち低圧領域Qの2つの空間領域が設定されており、これらの領域間の圧力差が本磁気シール装置によって維持される。また、本磁気シール装置は、高圧領域P内の塵、ゴミ、ガス等が低圧領域Q内に侵入することを防止して低圧領域Q内をクリーンな状態に維持する。
【0016】
ハウジング10の内部には、5個のリング状のポールピース8と、各ポールピースの間に挟まれた4個のリング状の磁石9a,9b,9c,9dとが収納されている。図1(b)に示すように、左側の一対の磁石9a及び9bは第1磁石ペア9Aを構成し、右側の一対の磁石9c及び9dは第2磁石ペア9Bを構成している。第1磁石ペア9Aと第2磁石ペア9Bとの間には中間排気室20が形成され、その中間排気室の排気口21には真空ポンプその他の排気装置22が接続されている。
【0017】
第1磁石ペア9A内の一対の磁石9a及び9bは、N磁極面同士が対向すなわち同磁極面が対向している。また、第2磁石ペア9B内の一対の磁石9c及び9dは、S磁極面同士が対向すなわち同磁極面が対向している。そしてさらに、中間排気室20を挟んで対向するそれらの磁石ペア9A及び9Bは異磁極面同士が対向すなわちN磁極面とS磁極面とが対向している。換言すれば、中間排気室20を挟んで互いに隣り合う一対の磁石9b及び9cは異磁極面同士が対向していて、残りの磁石9a及び9dは、それぞれが隣り合う磁石9b及び9cに対して同磁極面同士が対向している。
【0018】
各ポールピース8の内周端と運動軸17との間に形成される間隙には磁性流体12が注入、すなわち充填されている。この磁性流体12は、非磁性の流体媒体に磁性体の金属微粒子をコロイド状に分散させることによって形成された流体であり、例えば、炭化水素、炭化フッ素、あるいは脂肪酸等の流体にフェライトその他の磁性体粉末を分散した流体を用いることができる。充填された磁性流体は、各磁石9a〜9dのN極から出て各ポールピース8及び運動軸17を通って各磁石のS極へ到達する磁力線に集中して磁性流体膜を形成する。こうして各ポールピースの内周端の適所に形成した複数段の磁性流体膜によって、高圧領域Pと低圧領域Qとの間の差圧状態及び低圧領域Q内のクリーンな雰囲気が保持される。
【0019】
磁石9aと磁石9bとによって挟まれるポールピース8aの内部及び磁石9cと磁石9dとによって挟まれるポールピース8bの内部には、冷却水通路13が形成され、図1(a)に示すように、これらの冷却水通路13に給水ポンプその他の冷却水供給装置15が接続されている。冷却水通路13内を流れる冷却水は、磁性流体12を冷却し、磁性流体12に含まれるフッ素系オイルやアルキル系オイルが蒸散するのを防止する。
【0020】
本実施形態に係る磁気シール装置は以上のように構成されているので、磁力の作用によって各ポールピース8と運動軸17との間に形成された磁性流体膜12の働きによって、低圧領域Q内の低圧状態及びクリーン状態が維持される。また、同磁極面であるN極同士が対向する一対の磁石9a及び9bから成る第1磁石ペア9Aと、同磁極面であるS極同士が対向する一対の磁石9c及び9dから成る第2磁石ペア9Bとを運動軸17の軸線方向に並べたので、個々の磁石ペア9A又は9Bのそれぞれの内部においては磁力線の反発による磁束の集束化が得られ、これにより強固な磁性流体膜12を得ることができる。
【0021】
しかもその上、互いに隣り合う第1磁石ペア9Aと第2磁石ペア9Bとの関係においては、異磁極面同士が対向するよう、すなわちN極とS極とが対向するように配置されるので、この所では磁力線の反発は発生せず、その磁石ペアはあたかも1つの磁石のように振る舞い、このため、複数の磁石9a〜9dのまわりの磁束が安定化する。この磁束の安定により、磁気シール装置の軸封能力を長期間にわたって安定状態に保持できる。また、磁束が安定するので、磁気シール装置の磁力特性に関する設計がし易くなる。
【0022】
以上、好ましい実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明はその実施形態に限定されるものではなく、請求の範囲に記載した技術的範囲内で種々に改変できる。例えば、図1に示した実施形態では、4個のリング状磁石によって2個の磁石ペアを形成する場合を示したが、6個の磁石によって3個の磁石ペアを形成したり、あるいは、より多くの磁石によってより多くの磁石ペアを形成することもできる。但しそのような場合でも、個々の磁石ペア内の一対の磁石については同磁極面同士を対向させ、そして少なくとも1組の互いに隣り合う磁石ペア間では異磁極面同士を対向させる。
【0023】
また、請求項3に記載した磁気シール装置は、上記のような磁石ペアの考えに拘束されるのではなく、少なくとも、複数個の磁石のうち中間排気室を挟んで互いに隣り合う一対の磁石に関しては、異磁極面同士を対向させるということを要旨とするものである。よって、磁石ペアという概念を考えた場合には、必然的に、磁石の総個数が偶数になるが、請求項3に記載の磁気シール装置においては、磁石の総個数が偶数の場合もあるし、奇数の場合もある。但し、本発明者の実験によれば、磁石の数を偶数にした方が磁気シール装置内の磁束の安定化を達成する上でより効果的であった。
【0024】
【発明の効果】
請求項1記載の磁気シール装置によれば、運動軸に沿って並べられた複数個の磁石のうちの互いに隣り合う磁石を同磁極面同士が対向するように並べることによって、強固な磁性流体膜を形成するという技術をできる限り確保した上で、さらにその磁石列群の中の少なくとも1箇所に異磁極面同士が対向する磁石対を形成することにより、磁気シール装置内の磁束分布に乱れが発生することをできる限り防止した。これにより、安定した軸封能力を長期間にわたって保持できる磁気シール装置が得られた。
【0025】
請求項2及び請求項3記載の磁気シール装置によれば、特に磁束の乱れが発生しやすい中間排気室の両側に位置する磁石を互いに異磁局面同士が対向するように配置したので、磁気シール装置内の磁束の状態をより一層安定にすることができた。
【0026】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る磁気シール装置の一実施形態を示す図、特に(a)はその磁気シール装置の全体の側面断面図であり、(b)は要部の拡大断面図である。
【図2】磁気シール装置を使用するシステムの一例である回転対陰極方式のX線発生装置を示す概略断面図である。
【符号の説明】
1 ケーシング
2 磁気シール装置
3 回転駆動装置
4 排気装置
5 ターゲット
6 フィラメント
7 X線取出し用窓
8,8a,8b ポールピース
9a,9b,9c,9d 磁石
9A,9B 磁石ペア
10 ハウジング
12 磁性流体
13 冷却水通路
15 冷却水供給装置
16 ベアリング
17 運動軸
20 中間排気室
21 中間排気口
22 排気装置[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a magnetic seal device that shields two spatial regions formed around a motion axis such as a rotation axis and a linear motion axis using a magnetic fluid.
[0002]
[Prior art]
In the industry, there are various devices in which a space in which the inside is hermetically shielded is maintained in a pressure state different from the external pressure, that is, a differential pressure state, and various processes are performed under the differential pressure state. Exists. In addition to the differential pressure state, various treatments may be performed with the inside kept in a dustproof state or a special gas atmosphere state. For example, in a semiconductor wafer depressurization apparatus, a vacuum drier, a rotating counter-cathode type X-ray generator, etc., a predetermined process is performed in a dust-proof state depressurized to a vacuum. The magnetic seal device is used to shield two space areas, that is, a space area where the predetermined processing is performed and an atmospheric pressure area.
[0003]
For example, taking a rotating anti-cathode X-ray generator as an example, as shown in FIG. 2, a magnetic seal device 2 between a region Q that is dust-free in a vacuum inside the
[0004]
As the magnetic seal device 2, as disclosed in Japanese Patent Publication No. 63-24196, a plurality of magnets are arranged in the axial direction of the movement axis so that the same magnetic pole surfaces, that is, N poles or S poles face each other. There is known a magnetic seal device that is arranged side by side and further evacuates the atmospheric pressure side, that is, the high pressure side, of the magnetic fluid to reduce the pressure difference applied to the magnetic fluid. According to this magnetic seal device, since the magnetic pole surfaces of adjacent magnets are the same magnetic pole surface, the magnetic lines of force between the magnets repel each other and the magnetic lines of force formed between the individual magnets and the motion axis are made narrow. It can be focused at high density. For this reason, it is possible to form a strong magnetic fluid film having a high density in the gap between the pole piece and the motion axis, thereby ensuring the differential pressure between the two spatial regions partitioned by these magnetic fluid films. In addition, the magnetic fluid can be prevented from leaking to the low pressure side.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, according to the experience of the present inventors, it has often been found that with this conventional magnetic seal device, the high-accuracy shaft sealing ability assumed at the beginning of the design cannot be obtained as desired. In addition, although the desired shaft sealing ability was obtained at the beginning of operation, it was also found that the shaft sealing ability declined more than expected after a relatively short period of time. The present inventors conducted various experiments on why such a phenomenon occurs. As a result, when the magnets are arranged so that the magnetic pole surfaces face each other in order to form a high-density ferrofluid film between the pole piece and the motion axis, a large disturbance occurs in the magnetic flux distribution of each magnet. It has been found that this may be a cause of such an inconvenient phenomenon.
[0006]
The present invention has been made based on the above-mentioned knowledge, and after securing as much as possible the technology of forming a strong magnetic fluid film by arranging adjacent magnets so that the magnetic pole faces face each other. An object of the present invention is to provide a magnetic seal device that can prevent the magnetic flux from being disturbed as much as possible and can maintain a stable shaft sealing ability over a long period of time.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
A magnetic seal device according to the present invention includes a plurality of pole pieces arranged around a motion axis formed of a magnetic material, a plurality of magnets that form a magnetic path between each pole piece and the motion axis, The present invention relates to a magnetic seal device having a magnetic fluid filled between a pole piece and a motion axis, and shielding two spatial regions around the motion axis with the magnetic fluid. A feature of the present invention is that the plurality of magnets are configured by arranging a plurality of magnet pairs including a pair of magnets facing the same magnetic pole surface in the axial direction of the motion axis. The at least one magnet pair adjacent to each other among the magnet pairs means that the different magnetic pole faces face each other.
[0008]
As disclosed in Japanese Patent Publication No. 63-24196, the magnetic seal device may be provided with an intermediate exhaust chamber in order to reduce a pressure difference applied to the magnetic fluid. As shown in Japanese Patent Publication No. 63-24196, the intermediate exhaust chamber may be provided at a position on the high-pressure side from all of the plurality of magnets. Sometimes it is arranged. In this case, it was found that the turbulence of the magnetic flux was particularly large with respect to the magnet provided with the intermediate exhaust chamber. Therefore, when the intermediate exhaust chamber is disposed at an intermediate position between the plurality of magnets, it is desirable that the different magnetic pole surfaces be opposed to each other with respect to the magnet pair positioned on both sides of the intermediate exhaust chamber.
[0009]
In general, if the vacuum chamber side is constantly in a vacuum, the magnetic fluid constituting the partition wall is drawn to the vacuum side by the pressure difference, and the force to pull back the magnetic fluid is covered by the magnetic flux. Therefore, if the suction force on the vacuum side becomes larger than the magnetic flux force due to some inconvenience, the magnetic fluid enters the vacuum side and contaminates the vacuum chamber. In order to avoid this phenomenon, intermediate exhaust is performed, and the details will be described as follows.
[0010]
The plurality of chambers formed by the magnetic fluid film in order to maintain the vacuum state are all atmospheric pressure at the beginning of assembly, and these chambers gradually increase the degree of vacuum when evacuating. The fact that each chamber gradually raises the degree of vacuum in this way is not only that these chambers are opened to the vacuum chamber side, but this must be kept clean. It means that the vacuum chamber must be dirty.
[0011]
In recent years, in a semiconductor manufacturing process or the like, it has been required to keep an atmosphere in a room for performing a process very clean. When the magnetic seal device is used in a semiconductor manufacturing process under such circumstances, a poor cleanliness in the process chamber may be pointed out during a long-term operation. The component iron was sometimes detected from the process chamber.
[0012]
Such mixing of iron is considered to be mainly caused by the scattering of the magnetic fluid into the vacuum chamber as described above. Furthermore, when it is insufficient to remove the water used during the magnetic fluid production process from the magnetic fluid, the components mixed in the magnetic fluid may be exhausted at the time of exhausting the process chamber or during vacuum maintenance operation. It is thought that this also causes the bursting pieces to scatter as a result of the bursting of bubbles, such as the bursting of bubbles seen during defoaming or when the soap bubbles burst.
[0013]
In order to eliminate the above inconveniences, an exhaust mechanism is provided at an intermediate position between the vacuum chamber side and the atmospheric pressure side, and most of the pressure difference between the vacuum chamber side and the atmospheric pressure side is shared by the exhaust mechanism. Thus, the pressure difference between the exhaust mechanism and the vacuum chamber is made as small as possible, and as a result, the components in the magnetic fluid located near the vacuum chamber are prevented from scattering and leaching into the vacuum chamber. .
[0014]
In the present invention, since a plurality of magnet pairs composed of a pair of magnets whose magnetic pole faces are opposed to each other are arranged in the axial direction of the motion axis, the magnetic flux can be focused by repulsion of the magnetic force lines in one magnet pair. Thereby, a strong magnetic fluid film can be obtained. In addition, since at least one magnet pair adjacent to each other among the plurality of magnet pairs is arranged so that the different magnetic pole surfaces face each other, the repulsion of the magnetic field lines does not occur at this place, and the magnet The pair behaves like a single magnet, which stabilizes the magnetic flux around multiple magnets. Due to the stability of the magnetic flux, the shaft sealing ability of the magnetic seal device can be secured in a stable state for a long period of time. In addition, since the magnetic flux is stabilized, it becomes easy to design the magnetic characteristics of the magnetic seal device.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
FIG. 1 shows an embodiment of a magnetic seal device according to the present invention. This magnetic seal device has a
[0016]
Housed in the
[0017]
In the pair of
[0018]
A
[0019]
A cooling
[0020]
Since the magnetic seal device according to the present embodiment is configured as described above, the
[0021]
Moreover, in the relationship between the
[0022]
The present invention has been described with reference to the preferred embodiments. However, the present invention is not limited to the embodiments, and various modifications can be made within the technical scope described in the claims. For example, in the embodiment shown in FIG. 1, the case where two magnet pairs are formed by four ring-shaped magnets is shown, but three magnet pairs are formed by six magnets, or more Many magnet pairs can be formed by many magnets. However, even in such a case, the same magnetic pole faces are made to face each other for a pair of magnets in each magnet pair, and different magnetic pole faces are made to face each other between at least one pair of adjacent magnet pairs.
[0023]
In addition, the magnetic seal device according to
[0024]
【The invention's effect】
According to the magnetic seal device of
[0025]
According to the magnetic seal device according to claim 2 and
[0026]
[Brief description of the drawings]
1A and 1B are views showing an embodiment of a magnetic seal device according to the present invention, in particular, FIG. 1A is a side sectional view of the entire magnetic seal device, and FIG. 1B is an enlarged cross-sectional view of a main part.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing a rotating counter-cathode X-ray generator that is an example of a system using a magnetic seal device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (3)
上記複数の磁石は、同磁極面が対向する一対の磁石から成る磁石ペアを運動軸の軸方向に複数個並べることによって構成されており、それら複数個の磁石ペアのうち互いに隣り合う少なくとも1組の磁石ペアは異磁極面が対向することを特徴とする磁気シール装置。A plurality of pole pieces arranged around a motion axis formed by a magnetic material, a plurality of magnets forming a magnetic path between each pole piece and the motion axis, and between each pole piece and the motion axis A magnetic seal device having a magnetic fluid filled therein and shielding two spatial regions around the motion axis with the magnetic fluid;
The plurality of magnets are configured by arranging a plurality of magnet pairs, each composed of a pair of magnets facing the same magnetic pole surface, in the axial direction of the motion axis, and at least one set adjacent to each other among the plurality of magnet pairs. A magnetic seal device in which different magnetic pole faces are opposed to each other.
中間排気室を挟んで互いに隣り合う一対の磁石は異磁極面が対向し、残りの磁石は同磁極面が対向することを特徴とする磁気シール装置。A plurality of pole pieces arranged around a motion axis formed by a magnetic material, a plurality of magnets forming a magnetic path between each pole piece and the motion axis, and between each pole piece and the motion axis In a magnetic seal device having a magnetic fluid to be filled and an intermediate exhaust chamber disposed at an intermediate position of the plurality of magnets, and shielding two space regions around the motion axis with the magnetic fluid,
A magnetic seal device, wherein a pair of magnets adjacent to each other across an intermediate exhaust chamber face opposite magnetic pole faces, and the remaining magnet faces opposite magnetic pole faces.
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1996
- 1996-08-22 JP JP23976496A patent/JP3773132B2/en not_active Expired - Fee Related
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JPH1061782A (en) | 1998-03-06 |
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