JP3767131B2

JP3767131B2 - Inkjet head

Info

Publication number: JP3767131B2
Application number: JP30848397A
Authority: JP
Inventors: 久喜櫻井
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 1997-11-11
Filing date: 1997-11-11
Publication date: 2006-04-19
Anticipated expiration: 2017-11-11
Also published as: JPH11138796A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インク滴を飛翔させ記録紙等の記録媒体上にインク像を形成するインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドの構成については各種の提案がされており、その一例として、キャビティプレートに形成されたインク圧力室の開放面に固定された圧電素子の駆動電極に対して駆動パルスを印加し、圧電素子にシェアモード変形を発生させてインク圧力室の容積を変化させることによりインク吐出口からインク滴を吐出するように構成したインクジェットヘッドが知られている。シェアモードは圧電層の分極方向と直交する電界を発生させて圧電層の変形を得るが、変形効率は前記圧電層が薄い方がより高効率となることから、変形効率を勘案すれば前記圧電層を可能な限り薄くするのが好ましい。
【０００３】
一方、圧力室の一壁を構成する圧電層はその厚さが薄いと前記圧力室内に発生した圧力に対して剛性不足となり、インク滴吐出時に撓んでしまうため圧力室内に発生する圧力の低下を招来する事となる。変形効率と圧力低下防止の両立を試みた場合には圧電層は一定厚さは必要となり、結果、十分な変形量が得られない問題があった。
【０００４】
そこで、前記シェアモードに伸縮変形を利用したユニモルフモードを併用した複合モード構造とすることで大きな変形を得る試みがなされている。図５は、この複合モードを説明する為の断面図である。図５（ａ）において、側壁１００により形成されたインク圧力室１０１を備えたキャビティプレート１０３と、２層に積層され矢印Ａの方向に分極された積層圧電素子１０５が一体的に形成されており、前記積層圧電素子１０５の上面１０７には共通駆動用電極１０９が、前記積層圧電素子１０５の第１層１１３と第２層１１５の間には、各インク圧力室１０１に対応した位置に個別駆動用電極１１１ａが、側壁１００に対応した位置に個別駆動用電極１１１ｂが形成されている。前記個別駆動用電極１１１ａはプラス側端子に、前記共通駆動用電極１０９及び前記個別駆動用電極１１１ｂはマイナス側端子に接続されている。
【０００５】
この状態で駆動電圧を印加すると、積層圧電素子１０５は個別駆動用電極１１１ａと個別駆動用電極１１１ｂとの間に前記積層圧電素子１０５の分極方向と直交する方向（矢印Ｂ方向）に電界を生じ、前記個別駆動用電極１１１ａと前記個別駆動用電極１１１ｂとの間ではシェアモードで変形する。また、共通駆動用電極１０９と前記個別駆動用電極１１１ａとの間では、積層圧電素子１０５の分極方向と平行な方向（矢印Ｃ方向）に電界を生じ、前記積層圧電素子１０５の第１層１１３は厚み方向には伸び、長さ方向には縮むため前記積層圧電素子１０５の第２層１１５との間のバイモルフ効果により下向きに凸となるように変形し、全体では図５（ｂ）に示すように変形する。以上の変形の複合により、それぞれの単独モードよりも大きな変形を得ることが可能となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記複合モードでは伸縮モードも用いているため、駆動電圧印可時において長さ方向に縮む積層圧電素子１０５によって隣接するインク圧力室１０１ａ及び１０１ｂのそれぞれの側壁１００ａ及び１０１ｂは変形させられ、その結果、前記インク圧力室１０１、１０１ａ及び１０１ｂの不要な容積（圧力）変化が発生するため、隣接するインク圧力室１０１同士で相互に悪影響を及ぼし合ってインク滴の吐出状態が変化する問題（以後、クロストークと呼ぶ）が発生していた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために、本発明の請求項１に記載のインクジェットヘッドは、キャビティプレートに形成されると共に一面が開放されたインク圧力室と、インク圧力室の一面を閉塞するようにキャビティプレートに固定され、且つ、積層された層方向に分極された積層圧電素子とを有するインクジェットヘッドにおいて、前記積層圧電素子は、前記インク圧力室のほぼ中央に対応する位置に形成された第１電極、各インク圧力室を隔てる側壁に対応した位置に形成された第２電極、最外層表面に形成された共通電極及び前記インク圧力室の側壁に対応して位置する前記インク圧力室側とは反対側の面の少なくとも１ヶ所に形成された溝を有し、前記第１電極と、前記第２電極及び共通電極との間に駆動電圧を印加することで、前記分極方向と直交する方向に電界が発生する前記第１電極と前記第２電極との間におけるシェアモードの変形と前記分極方向に電界が発生する前記第１電極と前記共通電極との間における伸縮モードの変形とを併用して前記積層圧電素子を変形させることにより前記インク圧力室内のインクをインク吐出口から吐出することを特徴とする。
【０００８】
前記請求項１のインクジェットヘッドによれば、シェアモードと伸縮モードを併用した複合モードにおいてクロストークを十分小さく抑え、安定したインク吐出性能を実現することが可能となる。
また、請求項２に記載の発明に係るインクジェットヘッドは、請求項１に記載のインクジェットヘッドであって、前記積層圧電素子は複数層のシート状圧電材料から構成され、前記第１電極及び前記第２電極は、前記共通電極が形成された圧電材料が積層する前記圧電材料上に、所定のピッチでそれぞれ形成されていることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のインクジェットヘッドを具体化した実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１０】
図１は本発明の一実施例を示す概略構成を表す分解斜視図であり、図２は、本実施の形態のインクジェットヘッドの縦断面図である。図１及び図２において、本実施の形態のインクジェットヘッド１は、インクを貯留する板状のキャビティプレート3と、そのキャビティプレート3に接合されるシート状の積層圧電素子５と、インクを吐出するための板状のノズルプレート7と、インクを補充するためのマニホールドプレート１７とから構成されている。
【００１１】
尚、シート状積層圧電素子を形成している圧電材料としては、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、マグネシウムニオブ酸鉛、ニッケルニオブ酸鉛、亜鉛ニオブ酸鉛、マンガンニオブ酸鉛、アンチモンスズ酸鉛、チタン酸鉛等を主成分とする材料が挙げられる。
【００１２】
キャビティプレート３は、側壁２７ｂによって仕切られた複数のインク圧力室９を有し、そのインク圧力室９は、溝状に上面が開放された状態に形成され、該インク圧力室９にはインクが貯留されている。また、前記キャビティプレート３の一方の底部には、前記インク圧力室９に連通する貫通孔１５ａが設けられている。また、ノズルプレート７は、インク圧力室９及び貫通孔１１ａに連通する、インクを吐出するためのノズル１３ａを備え、積層圧電素子５の上面に接合されている。
【００１３】
マニホールドプレート１７には、インク圧力室９に貫通孔１５ａを介してインクを補給する為のインク溜り１７ａと、プリンタに組み込んだ場合に図示しないカートリッジからインクを吸入するための貫通孔１７ｂとが設けられている。
【００１４】
次に、積層圧電素子５について更に詳細に説明する。
【００１５】
図３は、本実施形態のインクジェットヘッドにおける積層圧電素子５の分解斜視図である。図３において、積層圧電素子５のうち下面側の第２圧電材料１９ｂには、その上面に、プラス側端子に接合される個別駆動用電極２１ａ及びマイナス側端子に接合される個別駆動用電極２１ｂが、所定のピッチでそれぞれ銀ペースト等の導電性ペーストにより形成されている。これら２枚のシート状の圧電材料１９ａ及び１９ｂは、未焼成の状態でプレスによって一体に積層されて焼成、分極された後、前記第１圧電材料１９ａの側壁２７ｂに対応する部分がショットブラスト等によって削除され、後述する溝２９が形成される。
【００１６】
さらに、該第１圧電材料１９ａの上面のほぼ全幅に亘って、全インク圧力室９に共通の共通駆動用電極２５が形成されて積層圧電素子５が完成する。その後、該積層圧電素子５は、図１に示したようにキャビティプレート３の開放面側に接合される。この場合、個別駆動用電極２１ａを、キャビティプレート３の各インク圧力室９のほぼ中央に対応する位置に、個別駆動用電極２１ｂを、キャビティプレート３の側壁２７ｂに対応する位置になるように接合する。
【００１７】
尚、本実施の形態においては、積層圧電素子５は２層構造であるが３層以上の構造でも構わない。
【００１８】
そして、ノズルプレート７を、積層圧電素子５の貫通孔１１ａにノズル１３ａを合わせて接合し、マニホールドプレート１７を、貫通孔１５ａの位置に合わせて接合してインクジェットヘッドが完成される。その後、共通駆動用電極２５、個別駆動用電極２１ａ及び２１ｂを図示しないスイッチング回路を介して図示しない駆動電源に接続させてインクジェットヘッドのセットが完了する。
【００１９】
次に、本実施の形態のインクジェットヘッド１の動作について説明する。
【００２０】
図４は、本実施の形態のインクジェットヘッドの動作を説明する説明図である。図４（ａ）は、インクを吐出する前の状態を示し、図４（ｂ）は、インクを吐出している時の状態を示す。図４（ａ）において、本インクジェットヘッドは、側壁２７ｂによって仕切られた複数のインク圧力室９ａ及び９ｂにインクを貯留するためのキャビティプレート３と、２層に積層され、その層方向に分極された積層圧電素子５とを備えている。積層圧電素子５は、上側の第１圧電材料１９ａと、下側の第２圧電材料１９ｂとの２層によって構成され、前記第１圧電材料１９ａと前記第２圧電材料１９ｂとの間において、前記インク圧力室９ａ及び９ｂのほぼ中央部に対応した位置に個別駆動用電極２１ａが、前記側壁２７ｂに対応した位置に個別駆動用電極２１ｂが形成されている。そして図示しない駆動電源のプラス側端子には前記個別駆動用電極２１ａが、マイナス側端子には前記個別駆動用電極２１ｂが接続されている。
【００２１】
このように構成されたインクジェットヘッド１に駆動電圧を印加すると、積層圧電素子５は、個別駆動用電極２１ａと個別駆動用電極２１ｂとの間において、シェアモードで変形し、前記個別駆動用電極２１ａと共通駆動電極２５との間においてはユニモルフモードで変形する。その結果、積層圧電素子５は、図４（ｂ）に示すようにインク圧力室９（ａ）に向かって凸状態となり、前記インク圧力室９ａ内のインク圧力が上昇する。そして、インクがノズル１３ａから吐出される。
【００２２】
ここで、積層圧電素子５の上面には、隣接するインク圧力室９（ｂ）、（ｃ）との連接を弱めるように溝２９が形成されているため、ユニモルフモードによる側壁２７（ｂ）、２７（ｃ）の変形は殆ど発生しないため、クロストークが問題となることはなく安定したインク吐出性能が得られる。
【００２３】
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように、本発明の請求項１に記載のインクジェットヘッドは、シェアモードとユニモルフモードを併せ持つ複合モードインクジェットヘッドにおいて、インク圧力室の側壁に対応して位置する積層圧電素子の少なくとも一ヶ所に溝を設けたので、クロストークを十分小さく抑え安定したインク吐出が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態におけるインクジェットヘッドの概略構成を示す分解斜視図である。
【図２】本実施の形態のインクジェットヘッドの概略縦断面図である。
【図３】本実施の形態における積層体の分解斜視図である。
【図４】本実施の形態におけるインクジェットの動作説明図である。
【図５】従来の複合モードインクジェットヘッドを示す図である。
【符号の説明】
１インクジェットヘッド
３キャビティプレート
５積層圧電素子
７ノズルプレート
９インク圧力室
１３ノズル
１７インク溜り
１９シート状圧電材料
２１個別駆動用電極
２５共通駆動用電極
２９溝[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an ink jet head that ejects ink droplets to form an ink image on a recording medium such as recording paper.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, various proposals have been made for the configuration of an ink jet head mounted on an ink jet printer. As an example, for the drive electrode of a piezoelectric element fixed to the open surface of an ink pressure chamber formed in a cavity plate, Inkjet heads configured to eject ink droplets from an ink ejection port by applying a drive pulse and generating shear mode deformation in a piezoelectric element to change the volume of an ink pressure chamber are known. The shear mode generates an electric field orthogonal to the polarization direction of the piezoelectric layer to obtain deformation of the piezoelectric layer. However, the deformation efficiency is higher when the piezoelectric layer is thinner. It is preferred to make the layer as thin as possible.
[0003]
On the other hand, if the thickness of the piezoelectric layer constituting one wall of the pressure chamber is small, the rigidity of the piezoelectric layer is insufficient with respect to the pressure generated in the pressure chamber, and the pressure generated in the pressure chamber is reduced due to bending when ink droplets are ejected. Will be invited. When attempting to achieve both deformation efficiency and pressure drop prevention, the piezoelectric layer needs to have a certain thickness, and as a result, there is a problem that a sufficient amount of deformation cannot be obtained.
[0004]
Therefore, an attempt has been made to obtain a large deformation by using a composite mode structure in which the unimorph mode using expansion / contraction deformation is combined with the shear mode. FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining this composite mode. In FIG. 5A, a cavity plate 103 having an ink pressure chamber 101 formed by a side wall 100 and a laminated piezoelectric element 105 laminated in two layers and polarized in the direction of arrow A are integrally formed. A common driving electrode 109 is provided on the upper surface 107 of the multilayer piezoelectric element 105, and is individually driven at a position corresponding to each ink pressure chamber 101 between the first layer 113 and the second layer 115 of the multilayer piezoelectric element 105. The individual driving electrode 111b is formed at a position corresponding to the side wall 100 of the working electrode 111a. The individual driving electrode 111a is connected to the plus side terminal, and the common driving electrode 109 and the individual driving electrode 111b are connected to the minus side terminal.
[0005]
When a driving voltage is applied in this state, the laminated piezoelectric element 105 generates an electric field between the individual driving electrode 111a and the individual driving electrode 111b in a direction orthogonal to the polarization direction of the laminated piezoelectric element 105 (arrow B direction). Then, the individual drive electrode 111a and the individual drive electrode 111b are deformed in a shear mode. In addition, an electric field is generated between the common driving electrode 109 and the individual driving electrode 111 a in a direction parallel to the polarization direction of the laminated piezoelectric element 105 (arrow C direction), and the first layer 113 of the laminated piezoelectric element 105. 5 expands in the thickness direction and contracts in the length direction, so that it is deformed so as to be convex downward by the bimorph effect between the multilayer piezoelectric element 105 and the second layer 115, as shown in FIG. 5B as a whole. It deforms as follows. By combining the above deformations, it is possible to obtain larger deformations than the individual modes.
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, since the composite mode also uses the expansion / contraction mode, the side walls 100a and 101b of the adjacent ink pressure chambers 101a and 101b are deformed by the laminated piezoelectric element 105 that contracts in the length direction when the drive voltage is applied, As a result, unnecessary volume (pressure) changes of the ink pressure chambers 101, 101a, and 101b occur, so that the adjacent ink pressure chambers 101 adversely affect each other and the ink droplet ejection state changes (hereinafter referred to as the ink droplet discharge state). , Called crosstalk).
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve this object, an ink jet head according to claim 1 of the present invention includes an ink pressure chamber formed on a cavity plate and having one surface open, and a cavity plate so as to close one surface of the ink pressure chamber. is secured to, and, in an inkjet head to have a a laminated piezoelectric element which is polarized in the stacked layer direction, the laminated piezoelectric element includes a first electrode formed substantially corresponding to the center position of the ink pressure chamber The second electrode formed at a position corresponding to the side wall separating each ink pressure chamber, the common electrode formed on the outermost layer surface, and opposite to the ink pressure chamber side positioned corresponding to the side wall of the ink pressure chamber A groove formed in at least one location on the side surface, and applying the drive voltage between the first electrode, the second electrode, and the common electrode, Of the shear mode between the first electrode and the second electrode in which an electric field is generated in a direction orthogonal to the first electrode and the expansion mode in the first electrode and the common electrode in which an electric field is generated in the polarization direction. The laminated piezoelectric element is deformed in combination with deformation to discharge ink in the ink pressure chamber from an ink discharge port .
[0008]
According to the ink jet head of the first aspect, it is possible to sufficiently suppress the crosstalk in the combined mode in which the share mode and the expansion / contraction mode are used together, and to realize a stable ink ejection performance.
An ink jet head according to a second aspect of the present invention is the ink jet head according to the first aspect, wherein the laminated piezoelectric element is composed of a plurality of layers of sheet-like piezoelectric material, and the first electrode and the first The two electrodes are respectively formed at a predetermined pitch on the piezoelectric material on which the piezoelectric material on which the common electrode is formed is laminated.
[0009]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment embodying an ink jet head of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0010]
FIG. 1 is an exploded perspective view showing a schematic configuration showing an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a longitudinal sectional view of an ink jet head according to the present embodiment. 1 and 2, an inkjet head 1 according to the present embodiment ejects ink by a plate-like cavity plate 3 that stores ink, a sheet-like laminated piezoelectric element 5 that is bonded to the cavity plate 3, and ink. It comprises a plate-like nozzle plate 7 for replenishing and a manifold plate 17 for replenishing ink.
[0011]
The piezoelectric material forming the sheet-like laminated piezoelectric element includes lead zirconate titanate (PZT), lead magnesium niobate, lead nickel niobate, lead zinc niobate, lead manganese niobate, lead antimony stannate. In addition, a material mainly composed of lead titanate or the like can be used.
[0012]
The cavity plate 3 has a plurality of ink pressure chambers 9 partitioned by a side wall 27b. The ink pressure chambers 9 are formed in a groove shape with an upper surface opened, and the ink pressure chambers 9 are filled with ink. Reserved. Further, a through hole 15 a communicating with the ink pressure chamber 9 is provided at one bottom portion of the cavity plate 3. The nozzle plate 7 includes a nozzle 13 a that communicates with the ink pressure chamber 9 and the through hole 11 a and ejects ink, and is joined to the upper surface of the multilayer piezoelectric element 5.
[0013]
The manifold plate 17 is provided with an ink reservoir 17a for supplying ink to the ink pressure chamber 9 through the through-hole 15a, and a through-hole 17b for sucking ink from a cartridge (not shown) when incorporated in the printer. It has been.
[0014]
Next, the laminated piezoelectric element 5 will be described in more detail.
[0015]
FIG. 3 is an exploded perspective view of the laminated piezoelectric element 5 in the ink jet head of this embodiment. In FIG. 3, the second piezoelectric material 19b on the lower surface side of the laminated piezoelectric element 5 has an individual driving electrode 21a bonded to the plus terminal and an individual driving electrode 21b bonded to the minus terminal on the upper surface. However, each of them is formed of a conductive paste such as a silver paste at a predetermined pitch. These two sheet-like piezoelectric materials 19a and 19b are integrally laminated by a press in an unfired state, fired and polarized, and then a portion corresponding to the side wall 27b of the first piezoelectric material 19a is shot blasted or the like The groove 29 described later is formed.
[0016]
Further, the common driving electrode 25 is formed in all the ink pressure chambers 9 over almost the entire width of the upper surface of the first piezoelectric material 19a, and the laminated piezoelectric element 5 is completed. Thereafter, the laminated piezoelectric element 5 is bonded to the open surface side of the cavity plate 3 as shown in FIG. In this case, the individual drive electrode 21 a is joined to a position corresponding to the approximate center of each ink pressure chamber 9 of the cavity plate 3, and the individual drive electrode 21 b is joined to a position corresponding to the side wall 27 b of the cavity plate 3. To do.
[0017]
In the present embodiment, the laminated piezoelectric element 5 has a two-layer structure, but may have a structure of three or more layers.
[0018]
Then, the nozzle plate 7 is joined to the through hole 11a of the multilayer piezoelectric element 5 by joining the nozzle 13a, and the manifold plate 17 is joined to the position of the through hole 15a to complete the ink jet head. Thereafter, the common driving electrode 25 and the individual driving electrodes 21a and 21b are connected to a driving power source (not shown) via a switching circuit (not shown) to complete the setting of the ink jet head.
[0019]
Next, the operation of the inkjet head 1 of the present embodiment will be described.
[0020]
FIG. 4 is an explanatory diagram for explaining the operation of the ink jet head according to the present embodiment. FIG. 4A shows a state before ink is ejected, and FIG. 4B shows a state when ink is ejected. In FIG. 4A, the inkjet head is laminated in two layers, a cavity plate 3 for storing ink in a plurality of ink pressure chambers 9a and 9b partitioned by a side wall 27b, and polarized in the layer direction. The laminated piezoelectric element 5 is provided. Laminated piezoelectric element 5, a first piezoelectric material 19a of the upper, is constituted by two layers of the second piezoelectric material 19b of the lower, between said first piezoelectric material 19a and the second piezoelectric material 19b, the An individual drive electrode 21a is formed at a position corresponding to substantially the center of the ink pressure chambers 9a and 9b, and an individual drive electrode 21b is formed at a position corresponding to the side wall 27b. The individual driving electrode 21a is connected to a plus side terminal of a driving power source (not shown), and the individual driving electrode 21b is connected to a minus side terminal.
[0021]
When a driving voltage is applied to the inkjet head 1 configured as described above, the multilayer piezoelectric element 5 is deformed in a shear mode between the individual driving electrode 21a and the individual driving electrode 21b, and the individual driving electrode Between 21a and the common drive electrode 25, it deform | transforms in a unimorph mode. As a result, the laminated piezoelectric element 5 becomes convex toward the ink pressure chamber 9 (a) as shown in FIG. 4B, and the ink pressure in the ink pressure chamber 9a increases. Then, ink is ejected from the nozzle 13a.
[0022]
Here, since the groove 29 is formed on the upper surface of the laminated piezoelectric element 5 so as to weaken the connection with the adjacent ink pressure chambers 9 (b), (c), the side wall 27 (b) in the unimorph mode, Since the deformation of 27 (c) hardly occurs, crosstalk does not become a problem and stable ink ejection performance can be obtained.
[0023]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, the ink jet head according to claim 1 of the present invention is a multi-layered piezoelectric element positioned corresponding to the side wall of the ink pressure chamber in a composite mode ink jet head having both a shear mode and a unimorph mode. Since the groove is provided in at least one place, the crosstalk is sufficiently reduced and stable ink discharge is possible.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of an inkjet head according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic longitudinal sectional view of an ink jet head according to the present embodiment.
FIG. 3 is an exploded perspective view of a laminated body in the present embodiment.
FIG. 4 is an explanatory diagram of ink jet operation in the present embodiment.
FIG. 5 is a diagram showing a conventional composite mode inkjet head.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inkjet head 3 Cavity plate 5 Multilayer piezoelectric element 7 Nozzle plate 9 Ink pressure chamber 13 Nozzle 17 Ink reservoir 19 Sheet-like piezoelectric material 21 Individual drive electrode 25 Common drive electrode 29 Groove

Claims

キャビティプレートに形成されると共に一面が開放されたインク圧力室と、インク圧力室の一面を閉塞するようにキャビティプレートに固定され、且つ、積層された層方向に分極された積層圧電素子とを有するインクジェットヘッドにおいて、
前記積層圧電素子は、
前記インク圧力室のほぼ中央に対応する位置に形成された第１電極、各インク圧力室を隔てる側壁に対応した位置に形成された第２電極、最外層表面に形成された共通電極及び前記インク圧力室の側壁に対応して位置する前記インク圧力室側とは反対側の面の少なくとも１ヶ所に形成された溝を有し、
前記第１電極と、前記第２電極及び共通電極との間に駆動電圧を印加することで、前記分極方向と直交する方向に電界が発生する前記第１電極と前記第２電極との間におけるシェアモードの変形と前記分極方向に電界が発生する前記第１電極と前記共通電極との間における伸縮モードの変形とを併用して前記積層圧電素子を変形させることにより前記インク圧力室内のインクをインク吐出口から吐出することを特徴とするインクジェットヘッド。An ink pressure chamber formed on the cavity plate and having one surface opened , and a laminated piezoelectric element fixed to the cavity plate so as to close one surface of the ink pressure chamber and polarized in the laminated layer direction. In an inkjet head
The laminated piezoelectric element is
A first electrode formed at a position corresponding substantially to the center of the ink pressure chamber; a second electrode formed at a position corresponding to a sidewall separating each ink pressure chamber; a common electrode formed on the outermost layer surface; and the ink A groove formed in at least one place on the surface opposite to the ink pressure chamber side located corresponding to the side wall of the pressure chamber;
By applying a driving voltage between the first electrode, the second electrode, and the common electrode, an electric field is generated between the first electrode and the second electrode in a direction orthogonal to the polarization direction. The ink in the ink pressure chamber is changed by deforming the laminated piezoelectric element by using both the shear mode deformation and the expansion mode deformation between the first electrode and the common electrode in which an electric field is generated in the polarization direction. An ink jet head which discharges from an ink discharge port .

前記積層圧電素子は複数層のシート状圧電材料から構成され、The laminated piezoelectric element is composed of a plurality of layers of sheet-like piezoelectric material,
前記第１電極及び前記第２電極は、前記共通電極が形成された圧電材料が積層する前記圧電材料上に、所定のピッチでそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。The inkjet according to claim 1, wherein the first electrode and the second electrode are formed at a predetermined pitch on the piezoelectric material on which the piezoelectric material on which the common electrode is formed is laminated. head.